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WO2009124542A3 - Verfahren und vorrichtung zum zünden eines lichtbogens - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zum zünden eines lichtbogens Download PDF

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WO2009124542A3
WO2009124542A3 PCT/DE2009/000498 DE2009000498W WO2009124542A3 WO 2009124542 A3 WO2009124542 A3 WO 2009124542A3 DE 2009000498 W DE2009000498 W DE 2009000498W WO 2009124542 A3 WO2009124542 A3 WO 2009124542A3
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cathode
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ignition
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Julius Roch
Volkmar Hopfe
Ines Dani
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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Zünden eines Lichtbogens zwischen einer Anode und in einem Abstand dazu angeordneten Kathode einer für eine Substratoberflächenmodifizierung einsetzbaren Plasmaquelle bei Umgebungsatmosphärenbedingungen. Aufgabe der Erfindung ist es, den Aufwand für die Zündung eines Lichtbogens einer Plasmaquelle zu reduzieren und den Zündprozess sicherer zu machen. Bei der Erfindung wird so vorgegangen, dass mittels zweier parallel zur Längsachse zwischen Anode und Kathode angeordneten Elektroden, die an einen Hochspannungsgenerator angeschlossen und bei der Zündung mit einer hochfrequenten elektrischen Wechselspannung beaufschlagt sind, eine Barriere-Entladung mit einem zugeführten Gas gezündet wird. Dadurch kann dann bei an die Anode und die Kathode angelegter elektrischer Gleichspannung mittels der durch die Barriere- Entladung zwischen Anode und Kathode vorhandenen Ladungsträger ein Lichtbogen gezündet werden.
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