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WO2009109799A3 - Transducteur capacitif monolithique - Google Patents

Transducteur capacitif monolithique Download PDF

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WO2009109799A3
WO2009109799A3 PCT/IB2008/000601 IB2008000601W WO2009109799A3 WO 2009109799 A3 WO2009109799 A3 WO 2009109799A3 IB 2008000601 W IB2008000601 W IB 2008000601W WO 2009109799 A3 WO2009109799 A3 WO 2009109799A3
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comb fingers
plane
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PCT/IB2008/000601
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  • Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)
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Abstract

L'invention porte sur un transducteur capacitif qui inclut un substrat présentant une première surface et une seconde surface. La première surface du substrat définit un premier plan. Le substrat possède une cavité avec une bordure périphérique intérieure. La cavité s'étend entre la première surface et la seconde surface. Il est disposé un corps qui possède une bordure périphérique extérieure. Le corps est parallèle au premier plan et bloque au moins partiellement la cavité. Le corps est relié au substrat par des articulations élastiques de telle sorte que, lors de l'application d'une force, le corps se déplace perpendiculairement au premier plan. Un premier ensemble de dents de peigne est monté sur le substrat. Le premier ensemble de dents de peigne est relié à une première connexion électrique. Un second ensemble de dents de peigne est monté sur le corps et s'étend au-delà de la bordure périphérique extérieure du corps. Le second ensemble de dents de peigne est relié à une seconde connexion électrique qui est isolée de la première connexion. Le premier ensemble de dents de peigne et le second ensemble de dents de peigne s'interdigitent de telle sorte que, à mesure que le corps se déplace, le premier ensemble de dents de peigne et le second ensemble de dents de peigne maintiennent un espacement relatif. Le premier ensemble de dents de peigne et le second ensemble de dents de peigne définissent une capacité. La capacité est apparentée à la position relative du premier ensemble de dents de peigne d'entraînement et du second ensemble de dents de peigne d'entraînement.
PCT/IB2008/000601 2008-03-03 2008-03-03 Transducteur capacitif monolithique Ceased WO2009109799A2 (fr)

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