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WO2009151665A3 - Procédés et dispositifs pour le traitement d'une couche de précurseur dans un environnement du groupe via - Google Patents

Procédés et dispositifs pour le traitement d'une couche de précurseur dans un environnement du groupe via Download PDF

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WO2009151665A3
WO2009151665A3 PCT/US2009/036083 US2009036083W WO2009151665A3 WO 2009151665 A3 WO2009151665 A3 WO 2009151665A3 US 2009036083 W US2009036083 W US 2009036083W WO 2009151665 A3 WO2009151665 A3 WO 2009151665A3
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Craig R. Leidholm
Nathaniel Stanley
Matthew Rail
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Abstract

L'invention porte sur des procédés et des dispositifs pour une impression à haut débit d'une matière précurseur pour former un film d'un composé chalcogénure du groupe IB-IIIA. Dans un mode de réalisation, le procédé comprend la formation d'une couche de précurseur sur un substrat, le précurseur étant traité ultérieurement en une ou plusieurs étapes dans un environnement VIA.
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