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WO2009010792A3 - Réacteur à plasma - Google Patents

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WO2009010792A3
WO2009010792A3 PCT/GB2008/050569 GB2008050569W WO2009010792A3 WO 2009010792 A3 WO2009010792 A3 WO 2009010792A3 GB 2008050569 W GB2008050569 W GB 2008050569W WO 2009010792 A3 WO2009010792 A3 WO 2009010792A3
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WO
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plasma
inlet
open end
reaction chamber
gas
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PCT/GB2008/050569
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Inventor
Gary Peter Knight
Andrew Chambers
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Edwards Ltd
Original Assignee
Edwards Ltd
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Publication date
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    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
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    • H01J37/32798—Further details of plasma apparatus not provided for in groups H01J37/3244 - H01J37/32788; special provisions for cleaning or maintenance of the apparatus
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    • H—ELECTRICITY
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Abstract

La présente invention concerne un réacteur à plasma comportant une chambre de réaction et une tête d'orifice d'entrée reliée à la chambre de réaction. La tête d'orifice d'entrée comporte une extrémité ouverte reliée à la chambre de réaction, un orifice d'entrée de plasma située en regard de l'extrémité ouverte, une surface intérieure se rétrécissant depuis l'extrémité ouverte vers l'orifice d'entrée de plasma, et des premier et second orifices d'entrée de gaz situés chacun entre l'orifice d'entrée de plasma et l'extrémité ouverte. Un chalumeau à plasma injecte un flux de plasma dans la chambre de réaction à travers l'orifice d'entrée de plasma, qui est conformé pour entraîner la diffusion du flux de plasma vers l'extérieur en direction des premier et second orifices d'entrée de gaz. Cette conformtion de la tête d'orifice d'entrée et de l'orifice d'entrée de plasma peut permettre le flux de plasma de créer un impact sur les flux de gaz lors de leur sortie depuis les orifices d'entrée de flux de gaz et d'entraîner ainsi la réaction d'une proportion importante d'au moins un constituant des flux de gaz avant le début du mélange des flux de gaz dans la chambre.
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102125818B (zh) * 2010-12-31 2013-12-11 武汉凯迪工程技术研究总院有限公司 用等离子体制取高温、富含活性粒子水蒸汽的方法及装置
GB2493752A (en) * 2011-08-17 2013-02-20 Edwards Ltd Apparatus for treating a gas stream
US9240308B2 (en) * 2014-03-06 2016-01-19 Applied Materials, Inc. Hall effect enhanced capacitively coupled plasma source, an abatement system, and vacuum processing system
GB2534890A (en) * 2015-02-03 2016-08-10 Edwards Ltd Thermal plasma torch
GB2536905B (en) 2015-03-30 2020-01-08 Edwards Ltd Radiant burner
CN117105189A (zh) * 2018-10-12 2023-11-24 四川大学 利用电浆流分解磷矿的方法及其实施装置
CN113371679A (zh) * 2021-05-27 2021-09-10 中国矿业大学 一种二氧化碳-甲烷等离子高温重整装置及高温重整方法
GB2625846A (en) * 2022-12-27 2024-07-03 Csk Inc Scrubber burner
CN118692887B (zh) * 2024-08-22 2024-12-17 巨玻固能(苏州)薄膜材料有限公司 一种用于氮气的离子化装置及镀膜设备

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5846275A (en) * 1996-12-31 1998-12-08 Atmi Ecosys Corporation Clog-resistant entry structure for introducing a particulate solids-containing and/or solids-forming gas stream to a gas processing system
US6617538B1 (en) * 2000-03-31 2003-09-09 Imad Mahawili Rotating arc plasma jet and method of use for chemical synthesis and chemical by-products abatements
JP2005205330A (ja) * 2004-01-23 2005-08-04 Kanken Techno Co Ltd パーフルオロコンパウンド排ガスのプラズマ分解処理方法および該方法を利用したプラズマ分解処理装置並びにこのプラズマ分解処理装置を搭載した排ガス処理システム
WO2006008521A1 (fr) * 2004-07-22 2006-01-26 The Boc Group Plc Reduction des gaz
WO2006082357A1 (fr) * 2005-02-07 2006-08-10 Edwards Limited Pompe a jet

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW442842B (en) * 1996-12-31 2001-06-23 Atmi Ecosys Corp Effluent gas stream treatment system for oxidation treatment of semiconductor manufacturing effluent gases

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5846275A (en) * 1996-12-31 1998-12-08 Atmi Ecosys Corporation Clog-resistant entry structure for introducing a particulate solids-containing and/or solids-forming gas stream to a gas processing system
US6617538B1 (en) * 2000-03-31 2003-09-09 Imad Mahawili Rotating arc plasma jet and method of use for chemical synthesis and chemical by-products abatements
JP2005205330A (ja) * 2004-01-23 2005-08-04 Kanken Techno Co Ltd パーフルオロコンパウンド排ガスのプラズマ分解処理方法および該方法を利用したプラズマ分解処理装置並びにこのプラズマ分解処理装置を搭載した排ガス処理システム
WO2006008521A1 (fr) * 2004-07-22 2006-01-26 The Boc Group Plc Reduction des gaz
WO2006082357A1 (fr) * 2005-02-07 2006-08-10 Edwards Limited Pompe a jet

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Publication number Publication date
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