[go: up one dir, main page]

WO2009086976A3 - Composant micromécanique et procédé de production de composant micromécanique - Google Patents

Composant micromécanique et procédé de production de composant micromécanique Download PDF

Info

Publication number
WO2009086976A3
WO2009086976A3 PCT/EP2008/065524 EP2008065524W WO2009086976A3 WO 2009086976 A3 WO2009086976 A3 WO 2009086976A3 EP 2008065524 W EP2008065524 W EP 2008065524W WO 2009086976 A3 WO2009086976 A3 WO 2009086976A3
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
micromechanical component
lateral surface
production method
electrode
subjected
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/EP2008/065524
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
WO2009086976A2 (fr
Inventor
Tjalf Pirk
Stefan Pinter
Joachim Fritz
Christoph Friese
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Publication of WO2009086976A2 publication Critical patent/WO2009086976A2/fr
Publication of WO2009086976A3 publication Critical patent/WO2009086976A3/fr
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
    • B81C1/00015—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems
    • B81C1/00134—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems comprising flexible or deformable structures
    • B81C1/00182—Arrangements of deformable or non-deformable structures, e.g. membrane and cavity for use in a transducer
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
    • B81B2201/03—Microengines and actuators
    • B81B2201/033—Comb drives
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
    • B81B2201/04—Optical MEMS
    • B81B2201/042—Micromirrors, not used as optical switches
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C2201/00—Manufacture or treatment of microstructural devices or systems
    • B81C2201/01—Manufacture or treatment of microstructural devices or systems in or on a substrate
    • B81C2201/0101—Shaping material; Structuring the bulk substrate or layers on the substrate; Film patterning
    • B81C2201/0128—Processes for removing material
    • B81C2201/013—Etching
    • B81C2201/0132—Dry etching, i.e. plasma etching, barrel etching, reactive ion etching [RIE], sputter etching or ion milling

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Micromachines (AREA)

Abstract

L'invention concerne un composant micromécanique qui présente au moins une électrode de stator (21) comportant une face latérale divisée en au moins deux segments électroconducteurs (26, 27, 29, 30) qui sont isolés électriquement l'un vis-à-vis de l'autre et peuvent être sollicités par différents potentiels. Ledit composant micromécanique comprend en outre au moins une électrode d'actionneur (22) comportant une face latérale divisée en au moins deux segments électroconducteurs (32, 34; 80, 82) qui sont isolés électriquement l'un vis-à-vis de l'autre et peuvent être sollicités par différents potentiels électriques. La face latérale de l'électrode d'actionneur (22) est disposée de manière à être tournée vers la face latérale de l'électrode de stator (21; 71a, 71b; 103, 104).
PCT/EP2008/065524 2008-01-07 2008-11-14 Composant micromécanique et procédé de production de composant micromécanique Ceased WO2009086976A2 (fr)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200810003344 DE102008003344A1 (de) 2008-01-07 2008-01-07 Mikromechanisches Bauelement und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauelement
DE102008003344.8 2008-01-07

Publications (2)

Publication Number Publication Date
WO2009086976A2 WO2009086976A2 (fr) 2009-07-16
WO2009086976A3 true WO2009086976A3 (fr) 2010-01-07

Family

ID=40719441

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2008/065524 Ceased WO2009086976A2 (fr) 2008-01-07 2008-11-14 Composant micromécanique et procédé de production de composant micromécanique

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE102008003344A1 (fr)
WO (1) WO2009086976A2 (fr)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008042967B4 (de) 2008-10-20 2017-04-06 Robert Bosch Gmbh Kaskadierte mikromechanische Aktuatorstruktur
DE102017215276B4 (de) 2017-08-31 2023-02-23 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Multidirektionale Übersetzungs- und Neigungsplattform unter Verwendung von Biegeaktuatoren als aktive Entität
US11101746B2 (en) * 2018-12-13 2021-08-24 Beijing Voyager Technology Co., Ltd. Bipolar staggered comb drive for bidirectional MEMS actuation

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020005976A1 (en) * 2000-03-24 2002-01-17 Behrang Behin Multi-layer, self-aligned vertical combdrive electrostatic actuators and fabrication methods
US20040232107A1 (en) * 2002-10-24 2004-11-25 Fujitsu Limited Method for manufacturing microstructure
WO2005068353A1 (fr) * 2004-01-20 2005-07-28 National University Of Singapore Lecture optique au moyen de reseaux de diffraction vibratoires
US20070054433A1 (en) * 2005-09-08 2007-03-08 Rockwell Scientific Licensing Llc High temperature microelectromechanical (MEM) devices and fabrication method

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7479402B2 (en) 2006-03-20 2009-01-20 Honeywell International Inc. Comb structure fabrication methods and systems

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020005976A1 (en) * 2000-03-24 2002-01-17 Behrang Behin Multi-layer, self-aligned vertical combdrive electrostatic actuators and fabrication methods
US20040232107A1 (en) * 2002-10-24 2004-11-25 Fujitsu Limited Method for manufacturing microstructure
WO2005068353A1 (fr) * 2004-01-20 2005-07-28 National University Of Singapore Lecture optique au moyen de reseaux de diffraction vibratoires
US20070054433A1 (en) * 2005-09-08 2007-03-08 Rockwell Scientific Licensing Llc High temperature microelectromechanical (MEM) devices and fabrication method

Also Published As

Publication number Publication date
DE102008003344A1 (de) 2009-07-09
WO2009086976A2 (fr) 2009-07-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
IL199769A0 (en) Method for the production of structured, electrically conductive surfaces
TW200745557A (en) Motion sensor and method of manufacturing the same
EP2315810B8 (fr) Polyuréthanes antistatiques ou électroconducteurs et procédé de production
WO2009003542A3 (fr) Procédé de production d'un composant, et composant obtenu
WO2010000261A8 (fr) Transducteur comprenant un matériau composite et procédé de fabrication dudit matériau composite
WO2010014679A3 (fr) Procédés de fabrication d'électrodes composites
WO2009092421A3 (fr) Procédé de fabrication d'un composant thermoélectrique et composant thermoélectrique
WO2011099831A3 (fr) Élément chauffant transparent souple utilisant du graphène et procédé pour sa fabrication
WO2011096700A3 (fr) Panneau tactile et procédé de fabrication associé
WO2009115686A3 (fr) Composant de connexion muni d'inserts creux et son procede de realisation
GB2505825A (en) Micro-electro-mechanical system (MEMS) and related actuator bumps, methods of manufacture and design structures
WO2011021824A3 (fr) Dispositif de serrage électrostatique et procédé de fabrication dudit dispositif
WO2008037765A3 (fr) Procede d'assemblage de pieces en ceramique refractaire par frittage a chaud avec champ electrique pulse (' sps ')
WO2014102131A3 (fr) Procédé de production d'un élément galvanique, et élément galvanique
WO2008124084A3 (fr) Systèmes nano-électromécaniques et procédés de fabrication de ceux-ci
WO2007116004A3 (fr) Procédé de réalisation d'une électrode en diamant et électrode en diamant
WO2012091487A3 (fr) Électrode et dispositif à électrode comprenant ladite électrode
WO2009056235A3 (fr) Système multicouche comprenant des éléments de contact et procédé de production d'un élément de contact pour un système multicouche
WO2013011127A3 (fr) Module thermoélectrique, procédé de fabrication d'un module thermoélectrique et utilisation d'un verre métallique ou d'un matériau fritté
WO2010094511A3 (fr) Agencement de composant et procédé de production
WO2007098736A3 (fr) Procede pour produire des modules a effet peltier, et module peltier ainsi obtenu
WO2009050209A3 (fr) Procédé de fabrication d'un élément mems sur un substrat
WO2011083271A3 (fr) Capteur tactile multicontacts a resistance de contact electrique elevee
WO2011065816A3 (fr) Fiche électrique pour charger un véhicule électrique
WO2009086976A3 (fr) Composant micromécanique et procédé de production de composant micromécanique

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 08870186

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 08870186

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2