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WO2009059693A1 - Kompaktes linnik-interferometer - Google Patents

Kompaktes linnik-interferometer Download PDF

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WO2009059693A1
WO2009059693A1 PCT/EP2008/008906 EP2008008906W WO2009059693A1 WO 2009059693 A1 WO2009059693 A1 WO 2009059693A1 EP 2008008906 W EP2008008906 W EP 2008008906W WO 2009059693 A1 WO2009059693 A1 WO 2009059693A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
interferometer according
side lens
beam splitter
prisms
interferometer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/EP2008/008906
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Peter Lehmann
Jan Niehues
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Mahr Holding GmbH
Original Assignee
Carl Mahr Holding GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Mahr Holding GmbH filed Critical Carl Mahr Holding GmbH
Publication of WO2009059693A1 publication Critical patent/WO2009059693A1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02—Interferometers
    • G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
    • G01B9/02075—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration of particular errors
    • G01B9/02076—Caused by motion
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02—Interferometers
    • G01B9/02049—Interferometers characterised by particular mechanical design details
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/04—Measuring microscopes

Definitions

  • the invention relates to a Linnik interferometer for metrological applications.
  • interferometric measuring devices are preferably used on account of the high achievable measuring accuracies.
  • phase-shifting interferometry or deep-scanning white light interferometry used.
  • the latter is known, for example, from DE 10 2004 025 290 A1.
  • phase-shifting interferometry can be deduced, for example, from DE 102 56 273 B3.
  • Michelson interferometers are suitable for quantitative interference microscopy.
  • a beam splitter which is inclined by 45 °, is located between an object-side microscope objective and the object to be measured, which splits the incident light into a measuring beam and a reference beam. Due to the spatial extent of the
  • Beam splitter are the remaining working distance and the maximum achievable numerical aperture low, so that Michelson interferometer in conjunction with low magnifications (maximum 5X magnification) are used.
  • a beam splitter plate and a reference mirror are located in the optical beam path between the actual object and the measurement object. This arrangement is characterized by compactness out. However, a part of the working distance in front of the lens is also claimed by the jet engine and the reference mirror.
  • Mirau interferometers are therefore preferably used in the range of medium magnifications (10 times to 50 times) and average numerical apertures (0.3 to 0.55).
  • Linnik interferometers are typically realized by means of an equilateral beam splitter cube in which the beam splitter surface is inclined by 45 ° to the optical beam path.
  • the two optical axes of the four optically active surfaces of the beam splitter cube which are offset by 90 ° from one another are the two 90 ° offset lenses, the light source with the illumination optics and the imaging beam path optionally with a tube lens, an observation device e.g. in the form of a camera and / or an eyepiece.
  • the Linnik lens has the advantage that the entire working distance of the microscope objective is free and available, so that all known from the light microscopy combinations of working distance and numerical aperture of the lens can be realized.
  • very large working distances of over 5 mm at numerical apertures of more than 0.5 and at low working distances numerical apertures greater than 0.7 and thus high lateral resolutions can be achieved.
  • this arrangement has the disadvantage that it must be accessible from three sides in order to adjust the reference mirror, the light source and the camera or another observation device.
  • the star-shaped spatial arrangement has a disturbing effect due to its large size. This applies in particular if such an interferometer is to be integrated, for example, in a measuring and positioning system such as, for example, in a coordinate measuring device.
  • corresponding Linnik interferometers have proved to be susceptible to vibration, especially at large working distances, which makes industrial use more difficult.
  • Linnik interferometer should be designed so that it has the least possible spatial expansion and is robust and compact.
  • the Linnik interferometer is of modular design and flexible in its arrangement, whereby both the use of objectives with a large working distance and the use of high-aperture objectives with a short working distance should be possible.
  • the Linnik interferometer has a measuring-object-side objective, a reference-mirror-side objective, a reference mirror, a lighting device and an observation device, for example in the form of a camera and / or an eyepiece.
  • a beam divider arrangement connects these elements with each other.
  • the observation device, the Lighting device, the reference mirror side lens and the reference mirror arranged on one and the same side of the beam splitter assembly. This results in a compact, robust and vibration-insensitive construction.
  • Such an interferometer is particularly suitable for use in measuring machines as a measuring head.
  • the illumination device, the observation device and the reference mirror-side lens are arranged on one side of the measuring head.
  • the measuring head thus builds slim and compact.
  • the access to the individual elements, in particular the reference-mirror-side lens, the reference mirror, the light source and the camera is very good. All of these elements are located on one side of the interferometer. Adjustment work, such as the adjustment of the reference mirror, the light source and the camera can thus be carried out very easily and in a clear manner.
  • the system proves to be very less susceptible to vibration at long working distances, i. large distances between obj ekt Schemeen objective and measurement object or between the reference mirror side lens and reference mirror.
  • Such large working distances have hitherto often led to difficulties with regard to the vibration susceptibility.
  • the reduction in susceptibility to vibration allows an increase in the measuring speed.
  • the reference mirror-side objective, the observation device and the illumination device each define an optical axis, wherein these optical axes are preferably arranged in a common plane. Further preferably, these optical axes are oriented parallel to each other.
  • the structure is correspondingly clear and robust.
  • the object-side lens also has an optical axis. This can lie with the other optical axes in a common plane or be oriented at a different angle. For example, this can be a right angle.
  • the optical axis of the object-side lens is thus perpendicular to the above-mentioned plane. This may correspond to a fixed setting.
  • the optical axis of the object-side lens may also be possible to bring the optical axis of the object-side lens against the above-mentioned plane by appropriate adjustment in various settings. This is achieved in an embodiment in which the object-side lens is connected via a pivotally mounted prism to the rest of the beam splitter assembly.
  • the beam splitter arrangement preferably has at least two beam splitter prisms. These are preferably as isosceles 90 ° prisms, i. formed by isosceles, right-angled triangular surfaces each with two Kathe- tenflachen and one hypotenuse area.
  • the two triangular prisms abut one another with a catheter surface and thereby define a beam divider plane.
  • the remaining elements of the interferometer are connected to the hypotenuse surfaces of these beam splitter prisms.
  • one of the beam splitter prisms or both may be subdivided perpendicular to the hypotenuse into subprisms.
  • individual elements for example the object-side objective, can be pivotably connected to the beam splitter arrangement about an optical axis.
  • the reference mirror-side lens and the reference mirror form a structural unit. This is particularly advantageous if a lens change is provided. Then, the object-side lens and the reference-mirror-side lens can be easily exchanged at the same time, for example, to set another aperture or magnification. Access to the reference mirror-side lens is then particularly easy.
  • FIG. 1 shows a measuring head of a measuring machine with the interferometer according to the invention in a perspective, schematic view
  • FIG. 2 shows the interferometer of the measuring head according to FIG. 1, in a schematic functional representation
  • FIG. 3 shows a modified embodiment of an interferometer according to the invention, in a schematic plan view
  • Fig. 4 shows the interferometer of Figure 3, in a schematic side view
  • FIG. 1 illustrates an arm 1 of a measuring machine, which carries a measuring head 2 at its free end and is freely positionable in space, in at least one, preferably several directions.
  • the measuring head 2 is used to measure a measuring object 3, for example a workpiece.
  • the measuring head 2 is constructed as a Linnik interferometer 4, the beam path of Figure 2 shows. To him belong a lens 5, which faces the measuring object 3 and has an optical axis 7, an objective 8, which has an optical axis 9 and a reference mirror 10 faces.
  • the optical axes 7, 9 are perpendicular to each other and lie in this embodiment in a common plane.
  • the reference mirror 10 is oriented perpendicular to the optical axis 9 and adjustable by adjusting means, such as three adjusting screws 11, 12, 13, in its distance from the lens 8 as well as in its inclination.
  • the reference mirror 10 and the lens 8 form a structural unit 14, which is detachably connected to the measuring head 2.
  • the unit 14 is on one side of the measuring head 2, e.g. arranged accessible on its upper side 19.
  • the unit 14 is arranged on the same side as the measuring arm 1 and mounted on a support plate.
  • the Linnik interferometer 4 also includes an observer 15, e.g. in the form of a CCD camera 16, which may have a tube lens 17 or another optical element defining an optical axis 18 for the observation device 15.
  • the observation device 15 is preferably arranged on the same side 19 of the measuring head 2 as the unit 14.
  • the Linnik Interferometer 4 also includes a Lighting device 20 with a light source 21, for example in the form of an LED and an illumination optical system 22, which defines an optical axis 23.
  • the optical axes 9, 18, 23 are preferably oriented parallel to one another and arranged in a common plane, which is parallel to the plane of the drawing in FIG.
  • the unit 14, the observation device 15 and optionally also the illumination device 20 are preferably mounted together on the carrier plate and, if necessary, interchangeable.
  • the carrier plate is connected to the carrier arm 1 for reasons of vibration technology.
  • the objectives 6, 8, the observation device 15 and the illumination device 20 are connected to one another by a beam splitter arrangement 24, which preferably comprises at least two prisms 25, 26 coupled to one another. These are preferably constructed as isosceles triangle prisms.
  • the prism 25 has a hypotenuse surface 27 and two catheter surfaces 28, 29, which form a right angle with each other.
  • the prism 26 also has a hypotenuse surface 30 and two catheter surfaces 31, 32 that enclose a right angle with each other.
  • the catheter surfaces 29, 31 abut each other and form an interface at which the division into measuring beam and reference beam takes place.
  • the hypotenuse surface 27 is aligned perpendicular to the optical axis 7 of the objective 6.
  • the hypotenuse surface 30 is aligned perpendicular to the optical axis of the objective 8, which is directed to the reference mirror 10.
  • lenses which have been corrected to an infinite image width are used, so that the optical image is formed in the focal plane of a tube lens facing the objective.
  • the prisms 25, 26 are isosceles 90 ° prisms. These can be inexpensively Precision be made so that the path lengths in the glass from the Hypotenuse Chemistry 27 to the lens side surfaces formed by the Hypotenuse vom 27, 30 and back to the also formed by the Hypotenuse constitutional 30 light exit surface, which faces the observation device 15, to a sufficient extent to match. Dispersion effects are avoided, as they could result from the use of short-coherent light from different lengths of glass.
  • the illumination device 20 is connected to the hypotenuse surface 27, for example via a further prism 33.
  • This can also be formed as an isosceles 90 ° prism whose hypotenuse surface acts as a mirror.
  • the accuracy requirements for the prism 33, which serves to 90 ° deflection of the illumination beam path, are significantly lower.
  • the prism 33 can be omitted if the illumination device 20 is mounted perpendicular to the hypotenuse surface 27, so that its optical axis 23 is perpendicular to the Hypotenuse Structure 27.
  • the catheter surfaces 28, 32 can be formed mirrored to deflect the optical axes 7, 9 of the two lenses 6, 8 in each case by 90 °.
  • the deflected optical axes meet at a common point, in which the deflected optical axis 23 of the illumination device 20, such as the optical axis 18 of the observation device 15, enters.
  • the common point is at the interface between the catheter surfaces 29, 31.
  • the Linnik interferometer 4 described so far generates at the interface of the light beam of the illumination device 20, a reference beam which is guided by the prism 26 in the lens 8, is guided by this on the reference mirror 10 and back to the interface.
  • the other part of the light beam emanating from the illumination device 20 is led back at the interface to the catheter surface 28 and from there into the objective 6 and to the measurement object 3 and in the same way.
  • the measurement beam and the reference beam are reunited and guided along the optical axis 18 to the observation device 15.
  • the measuring beam and the reference beam can be superposed here in order to generate interference images which are recorded, evaluated or further processed by a connected evaluation device.
  • the lenses 6, 8 are preferably designed to be changeable. For example, they can be exchanged in pairs with appropriate changers or by hand. This becomes particularly simple when the objective 8 is linked to the reference mirror 10 and its adjustment mechanism to form a structural unit which is to be changed as a whole.
  • FIG. 3 to 5 illustrate a modified embodiment in the form of a Linnik interferometer 34.
  • elements are present that are structurally and / or functionally identical to the above-described elements of the Linnik interferometer 4, the already introduced reference symbols are still used. The above description applies accordingly based on the same.
  • the prism 25 is subdivided into two subprisms 25a, 25b along a surface 35.
  • the surface 35 is perpendicular to the hypotenuse surface 27.
  • the subprism 25a is at 90 ° to the surface
  • the optical axis 7 is perpendicular to a plane passing through the optical prism 25b Axes 9, 18, 23 is fixed.
  • the prism 26 ' may be undivided or, as shown in FIG. 3, likewise divided, its dividing surface 36 then being at right angles to the hypotenuse surface 30.
  • Figure 5 illustrates the arrangements in front view. In another embodiment, it may be provided to pivot the prism 25a against the remainder of the beam splitter assembly 24 'thereby to make the angle ⁇ variable at which the optical axis 7 intersects the plane defined by the remaining optical axes.
  • Interferometry be performed by e.g. a mechanical drive device is connected to the reference mirror 10 to move it in the direction of the optical axis 89.
  • a mechanical drive device is connected to the reference mirror 10 to move it in the direction of the optical axis 89.
  • the Linnik interferometer 4 has a central beam splitter arrangement 24, which is arranged such that at least the observation device 15 and a unit 14 comprising an objective 8 and the reference mirror 10 are arranged on one and the same side of the measuring head. This opens the way to integrate the Linnik interferometer into a measuring machine. This results in a vibration-resistant, robust and space-saving arrangement.

Landscapes

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract

Das erfindungsgemäße Linnik-Interferometer (4) weist eine zentrale Strahlteileranordnung (24) auf, die so beschaffen ist, dass zumindest die Beobachtungseinrichtung (15), die Beleuchtungseinrichtung (20) und eine Einheit (14), die ein Objektiv (8) und den Referenzspiegel (10) umfasst an ein und derselben Seite des Messkopfs angeordnet sind. Dieser öffnet den Weg der Integration des Linnik-Interferometers in eine Messmaschine. Es ergibt sich eine vibrationsunempfindliche, robuste und raumsparende Anordnung.

Description

Kompaktes Linnik-Interferometer
Die Erfindung betrifft ein Linnik-Interferometer für messtechnische Anwendungen.
Zur Erfassung mikroskopischer 3D-Geometrien werden aufgrund der hohen erreichbaren Messgenauigkeiten bevorzugt interferometrische Messeinrichtungen eingesetzt. Hierbei werden z.B. phasenschiebende Interferometrie oder tiefenscannende Weißlichtinterferometrie genutzt. Letztere ist beispielsweise aus der DE 10 2004 025 290 Al bekannt. Phasenschiebende Interferometrie ist hingegen beispielsweise aus der DE 102 56 273 B3 zu entnehmen.
Für die quantitative Interferenzmikroskopie eignen sich, je nach Anwendung, Michelson- Interferometer, Mirau-
Interferometer oder Linnik-Interferometer . Hierzu wird beispielsweise auf die US-PS 5,398,113 (Interferometer nach Linnik) , sowie die WO 2005/108915 Al und die US 2002/0196450 Al ( Interferometer nach Mirau) verwiesen.
Beim Michelson- Interferometer befindet sich zwischen einem objektseitigen Mikroskopobjektiv und dem Messobjekt ein um 45° geneigter Strahlteiler, der das einfallende Licht in ein Messstrahlenbündel und ein Referenzstrahlen- bündel aufteilt. Aufgrund der räumlichen Ausdehnung des
Strahlteilers sind der verbleibende Arbeitsabstand und die maximal erreichbare numerische Apertur gering, so dass Mi- chelson-Interferometer in Verbindung mit geringen Vergrößerungen (maximal 5facher Vergrößerung) eingesetzt werden.
Beim Mirau- Interferenzobjektiv befinden sich eine Strahlteilerplatte und ein Referenzspiegel im optischen Strahlengang zwischen dem eigentlichen Objekt und dem Messobjekt. Diese Anordnung zeichnet sich durch Kompaktheit aus. Jedoch wird hier ebenfalls ein Teil des Arbeitsabstandes vor dem Objektiv durch den Strahlteuer und Referenz - Spiegel beansprucht .
Mirau-Interferometer werden daher bevorzugt im Bereich mittlerer Vergrößerungen (10fach bis 50fach) und mittlerer numerischer Aperturen (0,3 bis 0,55) eingesetzt.
Sollen große Arbeitsabstände und große numerische A- perturen verwirklicht werden, ist eine Interferenzanordnung nach Linnik erforderlich. Diese zeichnet sich dadurch aus, dass zwei separate Mikroskopobjektive verwendet werden. Ein erstes bildet das objektseitige Objektiv, das auf das Messobjekt gerichtet ist und das zweite Objektiv bildet ein re- ferenzspiegelseitiges Objektiv und ist auf den Referenz- spiegel gerichtet. Die Aufteilung des Lichts in Mess- und Referenzstrahlenbündel findet bei dieser Anordnung statt, bevor das Licht in das jeweilige Objektiv eintritt. Linnik- Interferometer werden typischerweise mit Hilfe eines gleichseitigen Strahlteilerwürfels realisiert, bei dem die Strahlteilerfläche um 45° zum optischen Strahlengang geneigt ist. Auf den jeweils um 90° gegeneinander versetzten optischen Achsen der vier optisch wirksamen Flächen des Strahlteilerwürfels befinden sich die beiden um 90° gegeneinander versetzten Objektive, die Lichtquelle mit der Be- leuchtungsoptik sowie der Abbildungsstrahlengang gegebenenfalls mit einer Tubuslinse, einer Beobachtungseinrichtung z.B. in Form einer Kamera und/oder einem Okular.
Grundsätzlich bietet das Linnik-Objektiv den Vorzug, dass der gesamte Arbeitsabstand des Mikroskopobjektivs frei ist und zur Verfügung steht, so dass hier alle aus der Lichtmikroskopie bekannten Kombinationen aus Arbeitsabstand und numerischer Apertur des Objektivs realisiert werden können. Insbesondere können sehr große Arbeitsabstände von über 5 mm bei numerischen Aperturen von mehr als 0,5 sowie bei geringen Arbeitsabständen numerischer Aperturen größer 0,7 und somit hohe laterale Auflösungen erreicht werden. Diese Anordnung hat aber den Nachteil, dass sie von drei Seiten aus zugänglich sein muss, um den Referenzspiegel, die Lichtquelle und die Kamera oder eine sonstige Beobachtungseinrichtung zu justieren. Außerdem wirkt sich die sternförmige räumliche Anordnung aufgrund ihrer großen Ausdehnung störend aus. Dies gilt insbesondere dann, wenn ein solches Interferometer beispielsweise in ein Mess- und Po- sitioniersystem wie beispielsweise in ein Koordinaten- Messgerät integriert werden soll. Außerdem haben sich entsprechende Linnik- Interferometer vor allem bei großen Arbeitsabständen als schwingungsanfällig erwiesen, was einen industriellen Einsatz erschwert. Davon ausgehend ist es Aufgabe der Erfindung, ein Linnik- Interferometer anzugeben, das sich insbesondere für Industrieanwendungen eignet .
Weiter soll sich das Linnik- Interferometer so gestalten lassen, dass es eine möglichst geringe räumliche Aus- dehnung aufweist und robust und kompakt ist.
Weiter wird gewünscht, dass das Linnik- Interferometer modular aufgebaut und in seiner Anordnung flexibel ist, wobei sowohl der Einsatz von Objektiven mit großem Arbeitsab- stand als auch der Einsatz von Hoch-Apertur-Objektiven mit geringem Arbeitsabstand möglich sein soll.
Das erfindungsgemäße Linnik- Interferomter weist ein messobjektseitiges Objektiv, ein referenzspiegelseitiges Objektiv, einen Referenzspiegel, eine Beleuchtungseinrichtung und eine Beobachtungseinrichtung beispielsweise in Form einer Kamera und/oder eines Okulars auf. Eine Strahl - teileranordnung verbindet diese Elemente miteinander. Erfindungsgemäß sind die Beobachtungseinrichtung, die Be- leuchtungseinrichtung, das referenzspiegelseitige Objektiv und der Referenzspiegel an ein und derselben Seite der Strahlteileranordnung angeordnet. Dadurch ergibt sich ein kompakter, robuster und schwingungsunempfindlicher Aufbau. Ein solches Interferometer eignet sich insbesondere für den Einsatz in Messmaschinen als Messkopf.
Besonders vorteilhaft ist, dass die Beleuchtungseinrichtung, die Beobachtungseinrichtung und das referenzspiegelseitige Objektiv an einer Seite des Messkopfs angeordnet sind. Der Messkopf baut somit schlank und kompakt. Der Zugang zu den einzelnen Elementen, wie insbesondere dem refe- renzspiegelseitigen Objektiv, dem Referenzspiegel, der Lichtquelle und der Kamera ist sehr gut. Alle diese Elemente liegen an einer Seite des Interferometers . Justagearbei- ten, wie beispielsweise die Justage des Referenzspiegels, der Lichtquelle und der Kamera können somit sehr leicht und auf übersichtliche Weise ausgeführt werden.
Insbesondere erweist sich das System als sehr wenig schwingungsanfällig bei großen Arbeitsabständen, d.h. großen Abständen zwischen obj ektseitigen Objektiv- und Messobjekt bzw. zwischen referenzspiegelseitigem Objektiv und Referenzspiegel . Solchen großen Arbeitsabstände haben bislang häufig zu Schwierigkeiten hinsichtlich der Schwingungsan- fälligkeit geführt. Die Verminderung der Schwingungsanfälligkeit gestattet eine Steigerung der Messgeschwindigkeit.
Vorzugsweise legen das referenzspiegelseitige Objektiv, die Beobachtungseinrichtung und die Beleuchtungsein- richtung jeweils eine optische Achse fest, wobei diese optischen Achsen vorzugsweise in einer gemeinsamen Ebene angeordnet sind. Weiter vorzugsweise sind diese optischen Achsen zueinander parallel orientiert. Der Aufbau ist entsprechend übersichtlich und robust. Das objektseitige objektiv weist ebenfalls eine optische Achse auf. Diese kann mit den anderen optischen Achsen in einer gemeinsamen Ebene liegen oder in einem anderen Winkel orientiert sein. Beispielsweise kann dies ein rech- ter Winkel sein. Die optische Achse des objektseitigen Objektivs steht somit senkrecht auf der oben genannten Ebene. Dies kann einer festen Einstellung entsprechen. In einer Abwandlung kann es auch möglich sein, die optische Achse des objektseitigen Objektivs gegen die oben genannte Ebene durch entsprechende Justage in verschiedene Einstellungen bringen zu können. Dies gelingt bei einer Ausführungsform, bei der das objektseitige Objektiv über ein schwenkbar gelagertes Prisma an die restliche Strahlteileranordnung angeschlossen ist .
Vorzugsweise weist die Strahlteileranordnung mindestens zwei Strahlteilerprismen auf. Diese sind vorzugsweise als gleichschenklige 90°-Prismen, d.h. durch gleichschenklige, rechtwinklige Dreieckflächen mit jeweils zwei Kathe- tenflachen und jeweils einer Hypotenusenfläche gebildet.
Vorzugsweise liegen die beiden Dreieckprismen mit einer Kathetenfläche aneinander an und legen dadurch eine Strahl - teilerebene fest. Die übrigen Elemente des Interferometers sind an die Hypotenusenflächen dieser Strahlteilerprismen angeschlossen. Falls gewünscht, kann eins der Strahlteilerprismen oder auch beide senkrecht zur Hypotenuse in Teil- prismen unterteilt sein. Dadurch können einzelne Elemente, beispielsweise das objektseitige Objektiv, um eine optische Achse schwenkbar an die Strahlteileranordnung angeschlossen werden.
Bei einer weiter bevorzugten Ausführungsform bilden das referenzspiegelseitige Objektiv und der Referenzspiegel eine bauliche Einheit. Dies ist insbesondere von Vorteil, wenn ein Objektivwechsel vorgesehen wird. Es können dann das objektseitige Objektiv und das referenzspiegelseitige Objektiv auf einfache Weise gleichzeitig ausgewechselt werden, um beispielsweise eine andere Apertur oder eine andere Vergrößerung festzulegen. Der Zugang zu dem referenzspie- gelseitigen Objektiv ist dann besonders einfach.
Weitere Einzelheiten vorteilhafter Ausführungsformen der Erfindung sind Gegenstand der Zeichnung, der Beschreibung oder von Ansprüchen. Die Beschreibung beschränkt sich auf wesentliche Aspekte der Erfindung und sonstiger Gegebenheiten. Die Zeichnung offenbart weitere Einzelheiten und ist ergänzend heranzuziehen. Es zeigen:
Fig. 1 einen Messkopf einer Messmaschine mit dem erfin- dungsgemäßen Interferometer in perspektivischer, schemati- scher Ansicht;
Fig. 2 das Interferometer des Messkopfs nach Figur 1, in schematischer Funktionsdarstellung;
Fig. 3 eine abgewandelte Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Interferometers, in schematischer Draufsicht;
Fig. 4 das Interferometer nach Figur 3, in schematischer Seitenansicht, und
Fig. 5 das Interferometer nach Figur 3, in schematischer Vorderansicht . Figur 1 veranschaulicht einen Arm 1 einer Messmaschine, der an seinem freien Ende einen Messkopf 2 trägt und im Raum, in zumindest einer, vorzugsweise mehreren Richtungen frei positionierbar ist. Der Messkopf 2 dient zur Vermessung eines Messobjekts 3, beispielsweise eines Werkstücks.
Der Messkopf 2 ist als Linnik-Interferometer 4 aufgebaut, dessen Strahlengang aus Figur 2 hervorgeht. Zu ihm gehören ein Objektiv 5, das dem Messobjekt 3 zugewandt ist und eine optische Achse 7 aufweist, ein Objektiv 8, das ei- ne optische Achse 9 aufweist und einem Referenzspiegel 10 zugewandt ist. Die optischen Achsen 7, 9 stehen rechtwinklig zueinander und liegen bei dieser Ausführungsform in einer gemeinsamen Ebene. Der Referenzspiegel 10 ist senkrecht zu der optischen Achse 9 orientiert und durch Stellmittel, wie beispielsweise drei Einstellschrauben 11, 12, 13, in seinem Abstand zu dem Objektiv 8 wie auch in seiner Neigung justierbar. Vorzugsweise bilden der Referenzspiegel 10 und das Objektiv 8 eine bauliche Einheit 14, die mit dem Messkopf 2 lösbar verbunden ist. Vorzugsweise ist die Einheit 14 an einer Seite des Messkopfs 2, z.B. an seiner Oberseite 19 zugänglich angeordnet. Vorzugsweise ist die Einheit 14 an derselben Seite angeordnet wie der Messarm 1 und auf einer Trägerplatte montiert.
Zu dem Linnik-Interferometer 4 gehören außerdem eine Beobachtungseinrichtung 15, z.B. in Form einer CCD-Kamera 16, die eine Tubuslinse 17 oder ein sonstiges optisches E- lement aufweisen kann, die eine optische Achse 18 für die Beobachtungseinrichtung 15 festlegen. Wie Figur 1 zeigt, ist die Beobachtungseinrichtung 15 vorzugsweise an der gleichen Seite 19 des Messkopfs 2 angeordnet wie die Einheit 14.
Zu dem Linnik-Interferometer 4 gehört außerdem eine Beleuchtungseinrichtung 20 mit einer Lichtquelle 21, z.B. in Form einer LED und einer Beleuchtungsoptik 22, die eine optische Achse 23 festgelegt. Die optischen Achsen 9, 18, 23 sind vorzugsweise parallel zueinander orientiert und in einer gemeinsamen Ebene angeordnet, die in Figur 2 parallel zur Zeichenebene ist. Die Einheit 14, die Beobachtungseinrichtung 15 und ggfs. auch die Beleuchtungseinrichtung 20 sind vorzugsweise gemeinsam auf der Trägerplatte montiert und bedarfsweise auswechselbar. Die Trägerplatte ist aus schwingungstechnischen Gründen mit dem Trägerarm 1 verbun- den.
Die Objektive 6, 8, die Beobachtungseinrichtung 15 und die Beleuchtungseinrichtung 20 sind untereinander durch eine Strahlteileranordnung 24 verbunden, die vorzugsweise zu- mindest zwei miteinander gekoppelte Prismen 25, 26 umfasst . Diese sind vorzugsweise als gleichschenklige Dreieckprismen aufgebaut. Das Prisma 25 weist eine Hypotenusenfläche 27 und zwei Kathetenflächen 28, 29 auf, die miteinander einen rechten Winkel einschließen. Das Prisma 26 weist ebenfalls eine Hypotenusenfläche 30 und zwei Kathetenflächen 31, 32 auf, die miteinander einen rechten Winkel einschließen. Die Kathetenflächen 29, 31 liegen aneinander an und bilden eine Grenzfläche, an der die Aufteilung in Messstrahl und Referenzstrahl erfolgt. Die Hypotenusenfläche 27 ist senkrecht zu der optischen Achse 7 des Objektivs 6 ausgerichtet. Die Hypotenusenfläche 30 ist senkrecht zu der optischen Achse des Objektivs 8 ausgerichtet, das auf den Referenzspiegel 10 gerichtet ist. In der hier dargestellten Ausführungsform werden auf eine unendliche Bildweite korrigierte Objektive verwendet, so dass die optische Abbildung in der dem Objektiv zugewandten Brennebene einer Tubuslinse entsteht.
Bei den Prismen 25, 26 handelt es sich um gleichschenklige 90° Prismen. Diese können kostengünstig mit ho- her Präzision so gefertigt werden, dass die Weglängen im Glas von der Hypotenusenfläche 27 zu den durch die Hypotenusenflächen 27, 30 gebildeten objektivseitigen Planflächen und zurück zu der ebenfalls durch die Hypotenusenfläche 30 ausgebildeten Lichtaustrittsfläche, die der Beobachtungs- einrichtung 15 zugewandt ist, in ausreichendem Maße übereinstimmen. Dispersionseffekte werden vermieden, wie sie bei der Verwendung von kurzkohärentem Licht von unterschiedlich langen Glasstrecken herrühren könnten.
Die Beleuchtungseinrichtung 20 ist an die Hypotenusenfläche 27 zum Beispiel über ein weiteres Prisma 33 angeschlossen. Dieses kann ebenfalls als gleichschenkliges 90° Prisma ausgebildet sein, dessen Hypotenusenfläche als Spiegel wirkt. Die Genauigkeitsanforderungen an das Prisma 33, das zur 90° -Umlenkung des Beleuchtungsstrahlengangs dient, sind deutlich geringer. Außerdem kann das Prisma 33 entfallen, wenn die Beleuchtungseinrichtung 20 senkrecht zu der Hypotenusenfläche 27 angebracht wird, so dass ihre optische Achse 23 senkrecht zu der Hypotenusenfläche 27 steht.
Die Kathetenflächen 28, 32 können verspiegelt ausgebildete werden, um die optischen Achsen 7, 9 der beiden Objektive 6, 8 jeweils um 90° umzulenken. Die umgelenkten optischen Achsen treffen sich in einem gemeinsamen Punkt, in dem auch die umgelenkte optische Achse 23 der Beleuchtungseinrichtung 20, wie die optische Achse 18 der Beobachtungseinrichtung 15, einläuft. Der gemeinsame Punkt liegt an der Grenzfläche zwischen den Kathetenflächen 29, 31.
Das insoweit beschriebene Linnik-Interferometer 4 erzeugt an der Grenzfläche aus dem Lichtstrahl der Beleuchtungseinrichtung 20 einen Referenzstrahl, der von dem Prisma 26 in das Objektiv 8 geleitet, von diesem auf den Referenzspiegel 10 und zurück zu der Grenzfläche geleitet wird. Der andere Teil des von der Beleuchtungseinrichtung 20 ausgehenden Lichtstrahls wird an der Grenzfläche zu der Kathetenfläche 28 und von dort in das Objektiv 6 und zu dem Messobjekt 3 und auf gleichem Wege zurück geleitet. An der Grenzfläche werden der Messstrahl und der Referenzstrahl wiedervereinigt und entlang der optischen Achse 18 zu der Beobachtungseinrichtung 15 geleitet. Der Messstrahl und der Referenzstrahl können hier zur Überlagerung gebracht werden, um Interferenzbilder zu erzeugen, die von einer angeschlossenen Auswerteinrichtung aufgezeichnet, ausgewertet oder weiter verarbeitet werden.
Die Objektive 6, 8 sind vorzugsweise wechselbar ausgebildet. Beispielsweise können sie mit entsprechenden Wechslern oder von Hand jeweils paarweise ausgewechselt werden. Besonders einfach wird dies, wenn das Objektiv 8 mit dem Referenzspiegel 10 und seiner Einstellmechanik zu einer baulichen Einheit verknüpft ist, die im Ganzen zu wechseln ist.
Figur 3 bis 5 veranschaulicht eine abgewandelte Ausführungsform in Form eines Linnik-Interferometers 34. Soweit Elemente vorhanden sind, die mit den vorbeschriebenen Elementen des Linnik-Interferometers 4 bau- und/oder funktionsgleich sind, werden die bereits eingeführten Bezugs- zeichen weiter verwandt. Die vorstehende Beschreibung gilt unter Zugrundelegung derselben entsprechend.
Im Gegensatz zu der vorstehend beschriebenen Ausführungsform ist jedoch zumindest das Prisma 25" entlang einer Fläche 35 in zwei Teilprismen 25a, 25b unterteilt. Die Fläche 35 steht senkrecht auf der Hypotenusenfläche 27. Wie Figur 4 veranschaulicht, ist das Teilprisma 25a um 90° gegen das Teilprisma 25b gedreht. Dadurch steht die optische Achse 7 senkrecht auf einer Ebene, die durch die optischen Achsen 9, 18, 23 festgelegt ist. Das Prisma 26' kann ungeteilt oder, wie in Figur 3 dargestellt, ebenfalls geteilt ausgebildet sein, wobei seine teilende Fläche 36 dann jedenfalls rechtwinklig auf der Hypotenusenfläche 30 steht. Figur 5 veranschaulicht die Anordnungen in Vorderansicht. Bei einer weiteren Ausführungsform kann vorgesehen werden, das Prisma 25a gegen die übrige Strahlteileranordnung 24' schwenken zu können, um dadurch den Winkel α variabel zu machen, unter dem die optische Achse 7, die von den übrigen optischen Achsen festgelegte Ebene schneidet.
Mit dem vorgestellten Linnik-Interferometer 4 können interferometrische Messungen durchgeführt werden, bei denen der Messkopf 2 relativ zu dem Messobjekt 3 bewegt wird. Die Bewegung erfolgt insbesondere in Richtung der optischen Achse 7. Ergänzend oder alternativ kann phasenschiebende
Interferometrie durchgeführt werden, indem z.B. eine mechanische Antriebsvorrichtung mit dem Referenzspiegel 10 verbunden wird, um diesen in Richtung der optischen Achse 89 zu bewegen. Andere Maßnahmen, die zu einer gezielten Ver- kürzung oder Verlängerung des Referenzwegs und/oder des
Messwegs nutzbar sind, können ebenso gut Anwendung finden.
Das erfindungsgemäße Linnik-Interferometer 4 weist eine zentrale Strahlteileranordnung 24 auf, die so beschaffen ist, dass zumindest die Beobachtungseinrichtung 15 und eine Einheit 14, die ein Objektiv 8 und den Referenzspiegel 10 umfasst, an ein und derselben Seite des Messkopfs angeordnet sind. Dieser öffnet den Weg der Integration des Linnik- Interferometers in eine Messmaschine. Es ergibt sich eine vibrationsunempfindliche, robuste und raumsparende Anordnung . Bezugszeichen
1 Arm
2 Messkopf
3 Messobjekt
4 Linnik-Interferometer
5 Objektiv
7 optische Achse
8 Objektiv
9 optische Achse
10 Referenzspiegel
11, 12, 13 Stellschrauben
14 Einheit
15 Beobachtungseinrichtung
16 CCD-Kamera
17 Tubuslinse
18 optische Achse
19 Seite
20 Beleuchtungseinrichtung
21 Lichtquelle
22 Beleuchtungsoptik
23 optische Achse
24 Strahlteileranordnung
25, 26 Prismen
27 Hypotenusenfläche
28, 29 Kathetenfläche
30 Hypotenusenfläche
31, 32 Kathetenfläche
33 Prisma
34 Linnik- Interferometer
35, 36 Fläche

Claims

Patentansprüche :
1. Linnik-Interferometer (4, 34) für messtechnische Anwendungen,
mit einem objektseitigen Objektiv (5),
mit einer Beleuchtungseinrichtung (20) ,
mit einem Referenzspiegel (10) ,
mit einem referenzspiegelseitigen Objektiv (8) ,
mit einer Beobachtungseinrichtung (15) , und
mit einer Strahlteileranordnung (24, 24') zur optischen Verbindung der Objektive (6, 8), der Beleuchtungseinrichtung (20) und der Beobachtungseinrichtung (15),
wobei das referenzspiegelseitige Objektiv (8), der Referenzspiegel (10) , die Beobachtungseinrichtung (15) und die Beleuchtungseinrichtung (20) an einer gemeinsamen Seite (19) der Strahlteileranordnung (24, 24') angeordnet sind.
2. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das referenzspiegelseitige Objektiv (8), die Beobachtungseinrichtung (15) und die Beleuch- tungseinrichtung (20) jeweils eine optische Achse
(9, 18, 23) festlegen und dass diese optischen Achsen (9, 18, 23) in einer gemeinsamen Ebene angeordnet sind.
3. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das referenzspiegelseitige Objektiv (8) , die Beobachtungseinrichtung (15) und die Beleuchtungseinrichtung (20) jeweils eine optische Achse (9, 18, 23) festlegen und dass diese optischen Ach- sen (9, 18, 23) zueinander parallel angeordnet sind.
4. Interferometer nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das objektseitige Objektiv (6) eine optische Achse (7) festlegt, die in der Ebene liegt.
5. Interferometer nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das objektseitige Objektiv (6) eine optische Achse (7) festlegt, die rechtwinklig zu den optischen Achsen (9, 18, 23) des referenzspiegelseiti- gen Objektivs (8), der Beobachtungseinrichtung (15) und der Beleuchtungseinrichtung (20) angeordnet ist.
6. Interferometer nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das objektseitige Objektiv (6) eine opti- sehe Achse (7) festlegt, die auf der Ebene senkrecht steht.
7. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlteileranordnung (24, 24') zumin- dest zwei Strahlteilerprismen (25, 26; 25', 26') aufweist .
8. Interferometer nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass beide Strahlteilerprismen (25, 26; 25', 26') jeweils ein gleichschenkliges rechtwinkliges
Dreieckprisma mit jeweils zwei Kathetenflächen (28, 29; 31, 32) und jeweils einer Hypotenusenfläche (27; 30) sind.
9. Interferometer nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Dreieckprismen (25, 26; 25', 26') mit einer Kathetenfläche (29, 31) aneinander anliegen, um eine Strahlteilerebene festzulegen.
10. Interferometer nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Dreieckprismen (25, 26; 25', 26') jeweils eine verspiegelte Kathetenfläche (28, 32) aufweisen.
11. Interferometer nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Objektive (6, 8) an die Hypotenusenflächen (27, 30) der Dreieckprismen (25, 26; 25', 26') anschließen.
12. Interferometer nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass an die Hypotenusenfläche (27, 30) eines der Strahlteilerprismen (26, 26') das referenzspie- gelseitige Objektiv (8) und die Beobachtungseinrichtung (15) anschließen.
13. Interferometer nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass an die Hypothenusenflache (27) eines der Strahlteilerprismen (25, 25') das objektseitige Objektiv (6) und die Beleuchtungseinrichtung (20, 33) anschließen.
14. Interferometer nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eines der Dreieckprismen (25', 26') entlang einer Ebene (35, 36) in jeweils zwei Teilprismen (25a, 25b; 26a, 26b) unterteilt ist, die senkrecht auf der Hypotenusenfläche (27, 30) steht.
15. Interferometer nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Teilprismen (25a, 25b) um 90° gegeneinander verdreht sind.
16. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich- net, dass das referenzspiegelseitige Objektiv (8) und der Referenzspiegel (10) eine bauliche Einheit bilden.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102010056122B3 (de) * 2010-12-20 2012-06-28 Universität Stuttgart Verfahren zur robusten, insbesondere weitskaligen Interferometrie

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1301626A (de) * 1970-06-29 1973-01-04
US5493394A (en) * 1994-05-25 1996-02-20 The Boeing Company Method and apparatus for use in measuring frequency difference between light signals
US20040179202A1 (en) * 2003-03-13 2004-09-16 Abdurrahman Sezginer Scatterometry by phase sensitive reflectometer
WO2007002898A2 (en) * 2005-06-29 2007-01-04 University Of South Florida Variable tomographic scanning with wavelength scanning digital interface holography
DE102006015387A1 (de) * 2006-04-03 2007-10-04 Robert Bosch Gmbh Interferometrische Messvorrichtung

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4818110A (en) * 1986-05-06 1989-04-04 Kla Instruments Corporation Method and apparatus of using a two beam interference microscope for inspection of integrated circuits and the like
US5398113A (en) * 1993-02-08 1995-03-14 Zygo Corporation Method and apparatus for surface topography measurement by spatial-frequency analysis of interferograms
US6172349B1 (en) * 1997-03-31 2001-01-09 Kla-Tencor Corporation Autofocusing apparatus and method for high resolution microscope system
US6624894B2 (en) * 2001-06-25 2003-09-23 Veeco Instruments Inc. Scanning interferometry with reference signal
DE10256273B3 (de) * 2002-12-03 2004-03-18 Carl Mahr Holding Gmbh Interferenzoptische Formmesseinrichtung mit Phasenschiebung
DE102004022341A1 (de) * 2004-05-04 2005-12-29 Carl Mahr Holding Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur kombinierten interferometrischen und abbildungsbasierten Geometrieerfassung insbesondere in der Mikrosystemtechnik
DE102004025290A1 (de) * 2004-05-19 2005-12-22 Carl Mahr Holding Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur optischen Erfassung von Abstandsänderungen

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1301626A (de) * 1970-06-29 1973-01-04
US5493394A (en) * 1994-05-25 1996-02-20 The Boeing Company Method and apparatus for use in measuring frequency difference between light signals
US20040179202A1 (en) * 2003-03-13 2004-09-16 Abdurrahman Sezginer Scatterometry by phase sensitive reflectometer
WO2007002898A2 (en) * 2005-06-29 2007-01-04 University Of South Florida Variable tomographic scanning with wavelength scanning digital interface holography
DE102006015387A1 (de) * 2006-04-03 2007-10-04 Robert Bosch Gmbh Interferometrische Messvorrichtung

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
S. FRANZ, R. WINDECKER, H.J. TIZIANI: "Machine-tool-embedded white light interferometrical sensor for diameter measurements", PROCEEDINGS OF SPIE, vol. 5144, 13 February 2004 (2004-02-13), pages 484 - 491, XP002507893, Retrieved from the Internet <URL:http://dx.doi.org/10.1117/12.501072> *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102010056122B3 (de) * 2010-12-20 2012-06-28 Universität Stuttgart Verfahren zur robusten, insbesondere weitskaligen Interferometrie

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