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WO2008154907A3 - Procédé et dispositif de transfert de micro- ou de nanostructures par poinçons de contact - Google Patents

Procédé et dispositif de transfert de micro- ou de nanostructures par poinçons de contact Download PDF

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WO2008154907A3
WO2008154907A3 PCT/DE2008/001002 DE2008001002W WO2008154907A3 WO 2008154907 A3 WO2008154907 A3 WO 2008154907A3 DE 2008001002 W DE2008001002 W DE 2008001002W WO 2008154907 A3 WO2008154907 A3 WO 2008154907A3
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WO
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micro
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Steffen Howitz
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GeSiM Gesellschaft fur Silizium-Mikrosysteme mbH
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Abstract

L'invention concerne un procédé et un dispositif de transfert de micro- ou de nanostructures sur un substrat par poinçons de contact. Le poinçon comprend un réceptacle de poinçon et une partie inférieure de poinçon qui sont assemblés amovibles entre eux. Ceci permet aussi bien d'échanger rapidement différentes parties inférieures de tampon avec différentes micro- ou nanostructures, que d'éviter une contrainte mécanique des membranes de structure. Le transfert des matériaux à imprimer de la source au substrat s'effectue en humectant la membrane de structure avec les substances à transférer, puis en mettant en contact le substrat avec une zone de contact initiale située au centre de la membrane de structure croissant concentriquement vers l'extérieur. On obtient ainsi un transfert reproductible de la substance. La déformation convexe de la membrane de structure est obtenue par une pression en excès exercée dans la chambre formée par le réceptacle et la membrane de structure, cependant qu'un gaz ou un liquide est envoyé dans la chambre via une connexion pour fluides. Dans le cas d'une membrane de structure perméable, la chambre possède une fonction réservoir pour les matériaux à transférer, lesquels diffusent à travers la membrane de structure. Un mécanisme de positionnement à système de marquage permet de produire sur la surface du substrat, des micro- ou des nano-réseaux de structures fines différentes.
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