WO2008035658A1

WO2008035658A1 - Procédé de fabrication de guide de lumière

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Publication number: WO2008035658A1
Application number: PCT/JP2007/068049
Authority: WO
Inventors: Masatoshi Yamaguchi; Tomoaki Shibata; Tatsuya Makino; Masami Ochiai; Toshihiko Takasaki; Atsushi Takahashi
Original assignee: Hitachi Chemical Co Ltd
Current assignee: Resonac Corp
Priority date: 2006-09-22
Filing date: 2007-09-18
Publication date: 2008-03-27
Anticipated expiration: 2009-03-22
Also published as: JPWO2008035658A1; KR20090058511A; TW200821643A; US20100040986A1

Description

明細書

光導波路の製造方法

技術分野

[0001] 本発明は、均一なコアを有し、生産性に優れた光導波路の製造方法に関するものである。

背景技術

[0002] 情報容量の増大に伴い、幹線やアクセス系といった通信分野のみならず、ルータやサーバ内の情報処理にも光信号を用いる光インターコネクション技術の開発が進められている。具体的には、ルータやサーバ装置内のボード間あるいはボード内の短距離信号伝送に光を用いるために、電気配線板に光伝送路を複合した光電気混載基板の開発がなされている。光伝送路としては、光ファイバに比べ、配線の自由度が高ぐかつ高密度化が可能な光導波路を用いることが望ましぐ中でも、加工性や経済性に優れたポリマー材料を用いた光導波路が有望である。

[0003] 光導波路は電気配線板と共存するため、高透明性とともに高耐熱性も要求される力このような光導波路材として、フッ素化ポリイミド（例えば非特許文献 1)やェポキシ樹脂 (例えば特許文献 1)が提案されてレ、る。

[0004] フッ素化ポリイミドは、 300°C以上の高耐熱性と、波長 850nmにおいて 0. 3dB/c mの高透明性を有するものの、製膜には 300°C以上で数十分から数時間の加熱条件が必要であるため、電気配線板上での製膜が困難であった。また、フッ素化ポリイミドには感光性がないため、感光 '現像による光導波路作製法が適用できず、生産性 -大面積化に劣っていた。さらに、液状の材料を基板上に塗布し製膜する方法を用いて光導波路を作製するため、膜厚管理が煩雑であり、し力、も基板上に塗布した樹脂が、硬化前は液状であるため、基板上で樹脂が流れてしまい、膜厚の均一性を保つことが困難であるなど、材料形態が液状であることに起因した課題があった。

[0005] 一方、液状エポキシ樹脂に光重合開始剤を添加した光導波路形成用エポキシ樹脂は、感光 ·現像法によりコアパターンが形成可能であり、高透明性、高耐熱性を有するものもある力材料が液状であることに起因した同様な課題があった。 [0006] そこで、放射線重合可能な成分を含有するドライフィルムを基板上に積層し、所定量の光を照射することで所定場所を放射線硬化させてクラッドを形成するとともに、必要に応じて未露光部を現像することによりコア部分などを形成、さらに該コア部分を埋め込むためのクラッドを形成して、伝送特性に優れる光導波路を製造する方法は有用である。この方法を用いるとコア埋め込み後のクラッドの平坦性確保が容易である。また、大面積の光導波路を製造することにも適している。ドライフィルムを基板上にラミネートする方法として、特許文献 2の図 1および図 2に開示されているような、相対的に上下動が可能な一対のブロック体によって形成される真空室を有する真空式ラミネータを用いて減圧下でラミネートする、いわゆる真空ラミネート方式が知られている。しかし、真空室内を真空引きする際、真空室内で空気が流れるため、周辺のゴミなどを巻き上げ、ラミネート前にドライフィルムと基材の間にゴミが付着しやすいという問題があった。また、ラミネート時にしわが発生しやすぐこのしわによつて光導波路のコア形成時にコアが太ったり、欠けたりする変形が発生し、光信号を通した際、コア変形部で光が散乱し、損失が大きくなるという問題があった。

[0007] 特許文献 1 :特開平 6— 228274号公報

特許文献 2：特開平 11 320682号公報

非特許文献 1 :ユレク卜口ュクス実装学会誌、 Vol. 7、 No. 3、 pp. 213— 218、 2004 年

発明の開示

[0008] 本発明は、上記問題点に鑑み、均一なコアを有する光導波路を生産性良く製造する方法を提供することを目的とする。

[0009] 本発明者らは、鋭意検討を重ねた結果、下記に記載の方法により、上記課題を解決し得ることを見出した。

すなわち、本発明は、

(1)基材上に形成されたクラッド層形成用樹脂を硬化して下部クラッド層を形成する工程、該下部クラッド層上にコア層形成用樹脂フィルムを積層してコア層を形成する工程、該コア層を露光現像してコアパターンを形成する工程、および該コアパターンを埋め込むように形成されたクラッド層形成用樹脂を硬化して、上部クラッド層を形成する工程を有する光導波路の製造方法であって、

該コア層を形成する工程が、（1 )ロールラミネータを用いて下部クラッド層上にコア層形成用樹脂フィルムを仮貼りする工程と、（2)該仮貼りされたコア層形成用樹脂フィルムを減圧雰囲気下で加熱圧着する工程とを有することを特徴とする光導波路の製造方法、

(2)前記工程（1 )が、ロールラミネータとしてヒートロールを有するラミネータを用いて

、下部クラッド層上にコア層形成用樹脂フィルムを加熱圧着して仮貼りすることを特徴とする、前記項（1 )に記載の光導波路の製造方法、

(3)前記工程（2)が、前記工程（1 )で仮貼りされたコア層形成用樹脂フィルムを、平板型ラミネータを用いて減圧雰囲気下で加熱圧着することを特徴とする、前記項（1 ) または（2)に記載の光導波路の製造方法、および

(4)前記下部クラッド層力 S、コア層積層側の表面に段差が形成されていないことを特徴とする、前記項（1 )〜（3)のいずれかに記載の光導波路の製造方法を提供するものである。

[0010] 本発明によれば、均一なコアを有する光導波路を生産性良く製造する方法を提供すること力 Sでさる。

図面の簡単な説明

[0011] [図 1]クラッド層形成用樹脂フィルムの支持体フィルムを基材として利用した本発明の光導波路の製造方法を説明する図である。

[図 2]クラッド層形成用樹脂フィルムの支持体フィルムとは別の基材に、クラッド層形成用樹脂を形成した本発明の光導波路の製造方法を説明する図である。

[図 3]本発明の光導波路の製造方法に用いるクラッド層形成用樹脂フィルムを説明する図である。

[図 4]本発明のフレキシブル光導波路の製造方法に用いるコア層形成用樹脂フィノレムを説明する図である。

符号の説明

[0012] 1 ;基材

2 ;下部クラッド層 3 ;コア層

4；支持体フィルム（コア層形成用）

5 ;ローノレラミネータ

6 ;真空加圧ラミネータ

7 ;ホトマスク

8 ;コアパターン

9 ;上部クラッド層

10 ;支持体フィルム（クラッド層形成用）

11 ;保護フィルム (保護層）

20 ;クラッド層形成用樹脂

30 ;コア層形成用樹脂

200；クラッド層形成用樹脂フィルム

300；コア層形成用樹脂フィルム

発明を実施するための最良の形態

[0013] 本発明により製造される光導波路は、例えば、図 1 (f)および図 2 (g)に示すように、基材 1上に下部クラッド層 2、コアパターン 8および上部クラッド層 9を有する光導波路であって、高屈折率である 1つのコア層形成用樹脂フィルム（図 4、 300)と、低屈折率である 2つのクラッド層形成用樹脂、好ましくはクラッド層形成用樹脂フィルム（図 3 、 200)を用いて作製することができる。フィルム状材料を用いることで、液状材料特有の生産性ゃ大面積対応に関する課題を解決できる。

[0014] (基材）

基材 1の種類としては、特に制限されるものではないが、例えば、 FR— 4基板、ポリイミド、半導体基板、シリコン基板やガラス基板等を用いることができる。

また、基材 1としてフィルムを用いることで、光導波路に柔軟性および強靭性を付与させること力 Sできる。フィルムの材料としては、特に限定されないが、柔軟性、強靭性を有するとの観点から、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリアミド、ポリカーボネート、ポリフエ二レンエーテル、ポリエーテルサルファイド、ポリアリレート、液晶ポリマー、ポリスノレホン、ポリエーテノレスノレホン、ポリエーテノレエーテノレケトン、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド、ポリイミドなどが好適に挙げられる。

フィルムの厚さは、目的とする柔軟性により適宜変えてよいが、 5〜250 111であることが好ましい。 5 m以上であると強靭性が得易いという利点があり、 250 m以下であると十分な柔軟性が得られる。

[0015] 図 1に示した基材 1として、後述するクラッド層形成用樹脂フィルム 200の製造過程で用いる支持体フィルム 10を用いることができる。この場合、クラッド層形成用樹脂フイノレム 200としては、図 3に示すように、接着処理を施した支持体フィルム 10上にクラッド層形成用樹脂 20が製膜されていることが好ましい。これにより、下部クラッド層 2と基材 1の接着力を向上させ、下部クラッド層 2と基材 1の剥離不良を抑制できる。ここで接着処理とは、易接着樹脂コート、コロナ処理、サンドブラスト等によるマット加工などにより、支持体フィルム 10とこの上に形成されるクラッド層形成用樹脂 20との接着力を向上させる処理である。

また、基材 1として上記支持体フィルム 10とは別の基材を用いる場合、図 2に示すように、支持体フィルム 10上にクラッド層形成用樹脂 20が製膜されたクラッド層形成用樹脂フィルム 200を基材 1上にラミネート法などにより転写してもよい。この場合、該支持体フィルム 10上には、接着処理を行って!/、な!/、ことが好まし!/、。

また、上部クラッド層の外側に基材を有していてもよぐ該基材の種類としては、前述した基材 1と同様のものが挙げられ、例えば、図 1 (f)に示すように後述するクラッド層形成用樹脂フィルム 200の製造過程で用いる支持体フィルム 10等が挙げられる。

[0016] 上述の基材 1の片面または両面上にコアパターンおよびクラッド層を有する高分子層を複数積層し、多層光導波路を作製してもよい。

さらに、上述の基材 1上には電気配線を設けてもよぐこの場合、予め電気配線を設けたものを基材 1として用いることができる。あるいは、光導波路製造後に、基材 1 上に電気配線を形成することが可能である。これにより、基板 1上の金属配線の信号伝送線と光導波路の信号伝送線との両方を備えられ、両者を使レ、分けることが可能になり、高速でかつ早い長い距離の信号伝送を容易に行うことができる。

[0017] (クラッド層形成用樹脂およびクラッド層形成用樹脂フィルム）以下、本発明で使用されるクラッド層形成用樹脂およびクラッド層形成用樹脂フィルム（図 3、 200)について詳述する。

[0018] 本発明で用いるクラッド層形成用樹脂としては、コア層より低屈折率で、光または熱により硬化する樹脂組成物であれば特に限定されず、熱硬化性樹脂組成物や感光性樹脂組成物を好適に使用することができる。より好適にはクラッド層形成用樹脂が、（A)ベースポリマー、（B)光重合性化合物および (C)光重合開始剤を含有する樹脂組成物により構成されることが好ましい。なお、クラッド層形成用樹脂に用いる樹脂組成物は、上部クラッド層 9と下部クラッド層 2において、該樹脂組成物に含有する成分が同一であっても異なっていてもよぐ該樹脂組成物の屈折率が同一であっても異なっていてもよい。

[0019] ここで用いる (A)ベースポリマーはクラッド層を形成し、該クラッド層の強度を確保するためのものであり、該目的を達成し得るものであれば特に限定されず、フエノキシ樹脂、エポキシ樹脂、（メタ）アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリエーテルアミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルホン等、あるいはこれらの誘導体などが挙げられる。これらのベースポリマーは 1種単独でも、また 2種以上を混合して用いてもよい。上記で例示したベースポリマーのうち、耐熱性が高いとの観点から、主鎖に芳香族骨格を有することが好ましぐ特にフエノキシ樹脂が好ましい。また、 3次元架橋し、耐熱性を向上できるとの観点からは、エポキシ樹脂、特に室温で固形のエポキシ樹脂が好ましい。さらに、後に詳述する (B)光重合性化合物との相溶性が、クラッド層形成用樹脂の透明性を確保するために重要である力この点からは上記フエノキシ樹脂および (メタ）アクリル樹脂が好ましい。なお、ここで (メタ）アタリノレ樹脂とは、アクリル樹脂およびメタクリル樹脂を意味するものである。

[0020] フエノキシ樹脂の中でも、ビスフエノール A、ビスフエノーノレ A型エポキシ化合物またはそれらの誘導体、およびビスフエノール F、ビスフエノール F型エポキシ化合物またはそれらの誘導体を共重合成分の構成単位として含むものは、耐熱性、密着性および溶解性に優れるため好ましレ、。ビスフエノーノレ Aまたはビスフエノーノレ A型エポキシ化合物の誘導体としては、テトラブロモビスフエノーノレ A、テトラブロモビスフエノール A型エポキシ化合物等が好適に挙げられる。また、ビスフエノール Fまたはビスフエノール F型エポキシ化合物の誘導体としては、テトラブロモビスフエノール F、テトラブロモビスフエノール F型エポキシ化合物等が好適に挙げられる。ビスフエノール A/ビスフエノール F共重合型フエノキシ樹脂の具体例としては、東都化成 (株)製「フエノト一ト YP— 70」（商品名）が挙げられる。

[0021] 室温で固形のエポキシ樹脂としては、例えば、東都化学 (株)製「ェポトート YD— 7 020、ェポトート YD— 7019、ェポトート YD— 7017」（いずれも商品名）、ジャパンェポキシレジン（株）製「ェピコート 1010、ェピコート 1009、ェピコート 1008」（いずれも商品名 )などのビスフエノール A型エポキシ樹脂が挙げられる。

[0022] 次に、（B)光重合性化合物としては、紫外線等の光の照射によって重合するものであれば特に限定されず、分子内にエチレン性不飽和基を有する化合物や分子内に 2つ以上のエポキシ基を有する化合物などが挙げられる。

分子内にエチレン性不飽和基を有する化合物としては、（メタ）アタリレート、ハロゲン化ビユリデン、ビュルエーテル、ビュルピリジン、ビュルフエノール等が挙げられる 1S これらの中で、透明性と耐熱性の観点から、（メタ）アタリレートが好ましい。

(メタ）アタリレートとしては、 1官能性のもの、 2官能性のもの、 3官能性以上の多官能性のもののいずれをも用いることができる。なお、ここで (メタ）アタリレートとは、ァクリレートおよびメタタリレートを意味するものである。

分子内に 2つ以上のエポキシ基を有する化合物としては、ビスフエノール A型ェポキシ樹脂等の 2官能または多官能芳香族グリシジルエーテル、ポリエチレングリコール型エポキシ樹脂等の 2官能または多官能脂肪族グリシジルエーテル、水添ビスフェノール A型エポキシ樹脂等の 2官能脂環式グリシジルエーテル、フタル酸ジグリシジルエステル等の 2官能芳香族グリシジルエステル、テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル等の 2官能脂環式グリシジルエステル、 N, N—ジグリシジルァ二リン等の 2 官能または多官能芳香族グリシジルァミン、アリサイクリックジエポキシカルボキシレート等の 2官能脂環式エポキシ樹脂、 2官能複素環式エポキシ樹脂、多官能複素環式エポキシ樹脂、 2官能または多官能ケィ素含有エポキシ樹脂などが挙げられる。これらの（B)光重合性化合物は、単独でまたは 2種類以上組み合わせて用いることができる。 [0023] 次に（C)成分の光重合開始剤としては、特に制限はなぐ例えば (B)成分にェポキシ化合物を用いる場合の開始剤として、ァリールジァゾニゥム塩、ジァリールョードニゥム塩、トリアリールスルホニゥム塩、トリアリルセレノニゥム塩、ジアルキルフエナジルスルホニゥム塩、ジアルキル一 4—ヒドロキシフエニルスルホニゥム塩、スルホン酸エステルなどが挙げられる。

[0024] また、（B)成分に分子内にエチレン性不飽和基を有する化合物を用いる場合の開始剤としては、ベンゾフエノン等の芳香族ケトン、 2—ェチルアントラキノン等のキノン類、ベンゾインメチルエーテル等のベンゾインエーテル化合物、ベンゾイン等のベンゾイン化合物、ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体、 2—（o クロ口フエニル） 4, 5 ジフエ二ルイミダゾ一ルニ量体等の 2, 4, 5 トリアリールイミダゾール二量体、 2 メルカプトべンゾイミダゾール等のベンゾイミダゾール類、ビス（2, 4, 6 -トリメチルベンゾィル）フエニルフォスフィンオキサイド等のフォスフィンオキサイド類、 9—フエ二ルァクリジン等のアタリジン誘導体、 N フエニルグリシン、 N フエ二ノレグリシン誘導体、クマリン系化合物などが挙げられる。また、ジェチルチオキサントンとジメチルァミノ安息香酸の組み合わせのように、チォキサントン系化合物と 3級ァミン化合物とを組み合わせてもよい。なお、コア層およびクラッド層の透明性を向上させる観点からは、上記化合物のうち、芳香族ケトンおよびフォスフィンオキサイド類が好ましい。これらの（C)光重合開始剤は、単独でまたは 2種類以上組み合わせて用いること力 Sできる。

[0025] (A)ベースポリマーの配合量は、（A)成分および（B)成分の総量に対して、 5〜80 質量％とすることが好ましい。また、（B)光重合性化合物の配合量は、（A)および (B )成分の総量に対して、 95〜20質量％とすることが好ましい。

この (A)成分および (B)成分の配合量として、（A)成分が 5質量％以上であり、 (B) 成分が 95質量％以下であると、樹脂組成物を容易にフィルム化することができる。一方、（A)成分が 80質量％以下あり、（B)成分が 20質量％以上であると、（A)ベースポリマーを絡み込んで硬化させることが容易にでき、光導波路を形成する際に、バターン形成性が向上し、かつ光硬化反応が十分に進行する。以上の観点から、この (A )成分および（B)成分の配合量として、（A)成分 10〜75質量％、（B)成分 90〜25 質量％がより好ましぐ（A)成分 20〜70質量％、（B)成分 80〜30質量％がさらに好ましい。

(C)光重合開始剤の配合量は、（A)成分および (B)成分の総量 100質量部に対して、 0. ；!〜 10質量部とすることが好ましい。この配合量が 0. 1質量部以上であると、光感度が十分であり、一方 10質量部以下であると、露光時に樹脂組成物の表層での光吸収が増大することがなぐ内部の光硬化が十分となる。さらに、光導波路として使用する際には、重合開始剤自身の光吸収の影響により伝搬損失が増大することもなく好適である。以上の観点から、（C)光重合開始剤の配合量は、 0. 2〜5質量部とすることがより好ましい。

[0026] また、このほかに必要に応じて、クラッド層形成用樹脂中には、酸化防止剤、黄変防止剤、紫外線吸収剤、可視光吸収剤、着色剤、可塑剤、安定剤、充填剤などのいわゆる添加剤を本発明の効果に悪影響を与えな!/、割合で添加してもよレ、。

[0027] クラッド層形成用樹脂フィルム（図 3、 200)は、前記 (A)〜（C)成分を含有する樹脂組成物を溶媒に溶解して、前記支持体フィルム 10に塗布し、溶媒を除去することにより容易に製造すること力 Sできる。

クラッド層形成用樹脂フィルム 200の製造過程で用いられる支持体フィルム 10は、その材料については特に限定されず、種々のものを用いることができる。支持体フィルムとしての柔軟性および強靭性の観点から、上記した基材 1のフィルム材料として例示したものが同様に挙げられる。

支持体フィルム 10の厚さは、目的とする柔軟性により適宜変えてよいが、 5-250 mであることが好ましい。 5 m以上であると強靭性が得られ、 250 m以下であると十分な柔軟性が得られる。

このとき、クラッド層形成用樹脂フィルム 200の保護やロール状に製造するときの巻き取り性などの観点から、必要に応じクラッド層形成用樹脂フィルム 200に保護フィルム 11を貼り合わせてもよい。保護フィルム 11としては、支持体フィルム 10として例に挙げたものと同様なものを用いることができ、必要に応じて離型処理や帯電防止処理がされていてもよい。

ここで用いる溶媒としては、該樹脂組成物溶解し得るものであれば特に限定されず、例えば、アセトン、メチルェチルケトン、メチルセ口ソルブ、ェチルセ口ソルブ、トルェン、 N, N—ジメチルァセトアミド、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコーノレモノメチノレエーテノレアセテート、シクロへキサノン、 N—メチノレー 2—ピロリドン等の溶媒またはこれらの混合溶媒を用いることができる。樹脂溶液中の固形分濃度は 30〜80質量％程度であることが好ましい。

[0028] 下部クラッド層 2および上部クラッド層 9 (以下、クラッド層 2, 9と略す）の厚さに関しては、乾燥後の厚さで、 5〜500 111の範囲が好ましい。 5 m以上であると、光の閉じ込めに必要なクラッド厚さが確保でき、 500 111以下であると、膜厚を均一に制御すること力 S容易である。以上の観点から、該クラッド層 2、 9の厚さは、さらに 10〜； 100 11 mの範囲であることがより好まし!/、。

[0029] また、クラッド層 2, 9の厚さは、最初に形成される下部クラッド層 2と、コアパターンを埋め込むための上部クラッド層 9において、同一であっても異なってもよいが、コアパターンを埋め込むために、上部クラッド層 9の厚さは、コア層 3の厚さよりも厚くすることが好ましい。

[0030] (コア層形成用樹脂フィルム）

次に、本発明で使用するコア層形成用樹脂フィルム（図 4、 300)について詳述する

〇

コア層形成用樹脂フィルム 300を構成するコア層形成用樹脂 30としては、コア層 3 力 Sクラッド層 2, 9より高屈折率であるように設計され、活性光線によりコアパターン 8を形成し得る樹脂組成物を用いることができ、感光性樹脂組成物が好適である。具体的には、前記クラッド層形成用樹脂で用いたのと同様の樹脂組成物、すなわち、前記 (A)、（B)および (C)成分を含有し、必要に応じて前記任意成分を含有する樹脂組成物を用いることが好ましレ、。

[0031] コア層形成用樹脂フィルム 300は、前記 (A)〜（C)成分を含有する樹脂組成物を溶媒に溶解して支持体フィルム 4に塗布し、溶媒を除去することにより容易に製造すること力 Sできる。溶媒としては、該樹脂組成物を溶解し得るものであれば特に限定されず、クラッド層形成用樹脂フィルムの製造に用いる溶媒として例示したものを同様に用いることができる。樹脂溶液中の固形分濃度は、 30〜80質量％程度であることが好ましい。

[0032] コア層形成用樹脂フィルム 300の厚さについては特に限定されず、乾燥後のコア層 3の厚さが、通常は 10〜； lOO ^ mとなるように調整される。該フィルムの厚さが 10 11 m以上であると、光導波路形成後の受発光素子または光ファイバとの結合において位置合わせトレランスが拡大できるという利点があり、 100 m以下であると、光導波路形成後の受発光素子または光ファイバとの結合において、結合効率が向上するという利点がある。以上の観点から、該フィルムの厚さは、さらに 30〜70 111の範囲であることが好ましい。

[0033] コア層形成用樹脂フィルム 300の製造過程で用いる支持体フィルム 4は、コア層形成用樹脂 30を支持する支持体フィルムであって、その材料につ!/、ては特に限定されないが、後にコア層形成用樹脂 30を剥離することが容易であり、かつ、耐熱性および耐溶剤性を有するとの観点から、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリプロピレン、ポリエチレンなどが好適に挙げられる。

該支持体フィルム 4の厚さは、 5〜50 111であることが好ましい。 5 111以上であると、支持体フィルム 4としての強度が得やすいという利点があり、 50 m以下であると、パターン形成時のマスクとのギャップが小さくなり、より微細なパターンが形成できるという利点がある。以上の観点から、該支持体フィルム 4の厚さは 10〜40 111の範囲であること力り好ましく、 15〜30 111であることが特に好ましい。

コア層形成用樹脂フィルム 300の保護やロール状に製造するときの巻き取り性などの観点から、必要に応じコア層形成用樹脂フィルム 300に保護フィルム 11を貼り合わせてもよい。保護フィルム 11としては、支持体フィルム 4として例に挙げたものと同様なものが使用でき、必要に応じ離型処理や帯電防止処理がされていてもよい。

[0034] (光導波路の製造方法）

以下、本発明の光導波路の製造方法について詳述する（図 1 , 2参照）。なお、以下の製造例では、クラッド層形成用樹脂フィルム（図 3、 200)およびコア層形成用樹脂フィルム（図 4、 300)を用いた場合の実施形態の一例を具体的に説明する。

まず、第 1の工程として、クラッド層形成用樹脂 20と支持体フィルム 10から構成されたクラッド層形成用樹脂フィルム（図 3、 200)を用いて、該クラッド層形成用樹脂 20を光または加熱により硬化し、下部クラッド層 2を形成する（図 l (a) )。このとき、上記支持体フィルム 10が、図 1 (a)に示す下部クラッド層 2の基材 1となる。

この下部クラッド層 2は、後述するコア層との密着性の観点から、コア層積層側の表面において段差がなく平坦であることが好ましい。また、クラッド層形成用樹脂フィルムを用いることにより、クラッド層 2の表面平坦性を確保することができる。

図 3に示すようにクラッド層形成用樹脂フィルム 200の支持体フィルム 10の反対側に保護フィルム 11を設けている場合には、該保護フィルムを剥離後、クラッド層形成用樹脂 20を光または加熱により硬化し、クラッド層 2を形成する。このとき、クラッド層形成用樹脂 20は、接着処理を施した支持体フィルム 10上に製膜されていることが好ましい。一方、保護フィルム 11は、クラッド層形成用樹脂フィルム 200からの剥離を容易にするため接着処理が施されていないことが好ましぐ必要に応じ離型処理が施されていてもよい。

基材 1として支持体フィルム 10とは別の基材を用いることもできる。この場合には、クラッド層形成用樹脂フィルム 200に保護層 11がある場合は保護層 11を剥離し、次いで、図 2 (a)に示すようにクラッド層形成用樹脂フィルム 200を基材 1にロールラミネータ 5を用いたラミネート法などにより転写し、支持体フィルム 10を剥離する。次いで、クラッド層形成用樹脂 20を光または加熱により硬化し下部クラッド層 2を形成する。また、この場合には、クラッド層形成用樹脂フィルム 200としてはクラッド層形成用樹脂 20 単独で構成されて!/、るものを用いてもょレ、。

次いで、下記に詳述する第 2および第 3の工程によって、下部クラッド層 2上にコア層 3を形成する。この第 2および第 3の工程において、下部クラッド層 2上にコア層形成用樹脂フィルム 300を積層して、下部クラッド層 2より屈折率の高いコア層 3を形成する。

具体的には、第 2の工程として、下部クラッド層 2上にコア層形成用樹脂フィルム 30 0をロールラミネータ 5を用いて仮貼りしコア層 3を積層する（図 1 (b) )。ここで、密着性および追従性向上の観点から、圧着しながら仮貼りすることが好ましぐ圧着する際、ヒートロールを有するラミネータを用いて加熱しながら行なっても良い。ラミネート温度は、室温（25°C)〜； 100°Cの範囲が好ましい。室温より高い温度であると、下部クラッド層とコア層との密着性が向上し、 40°C以上であると、更に密着力を向上させること力 Sできる。一方、 100°C以下であると、コア層がロールラミネート時に流動することなぐ必要とする膜厚が得られる。以上の観点から、 40〜100°Cの範囲がより好ましい。圧力は 0. 2〜0. 9MPaが好ましい。ラミネート速度は 0.；!〜 3m/minが好ましいが、これらの条件には特に制限はない。

[0036] 次いで、第 3の工程として、前記第 2の工程で仮貼りしたコア層形成用樹脂フィルム

300を減圧雰囲気下において加熱圧着する（図 1 (c) )。ここで、第 3の工程は、密着性および追従性向上の観点から、加熱圧着の際、減圧雰囲気下で行なうものである。好ましくは平板型ラミネータ 6を用いて減圧雰囲気下で加熱圧着することが好ましい。なお、本発明において平板型ラミネータとは、積層材料を一対の平板の間に挟み、平板を加圧することにより圧着させるラミネータのことをいう。平板型ラミネータとして、例えば、特許文献 2に記載されているような真空加圧式ラミネータを好適に用いること力 Sできる。減圧の尺度である真空度の上限は、 lOOOOPa以下が好ましぐさらには 1000Pa以下が好ましい。真空度は、密着性および追従性の見地から低い方が望ましい。一方、真空度の下限は、生産性の観点 (真空引きにかかる時間）から、 10 Pa程度であることが好ましい。加熱温度は、 40〜； 130°Cとすることが好ましぐ圧着圧力は、 0. 1〜； ! · OMPa (；！〜 10kgf/cm²)とすることが好ましいが、これらの条件には特に制限はない。

コア層形成用樹脂フィルム 300は、取扱性の観点から、コア層形成用樹脂 30と支持体フィルム 4から構成されていることが好ましぐこの場合、コア層形成用樹脂 30を下部クラッド層 2側にしてラミネートする。また、コア層形成用樹脂フィルム 300はコア層形成用樹脂 30単独で構成されて!/、ても良!/、。

図 4に示すようにコア層形成用樹脂フィルム 300の基材の反対側に保護フィルム 11 を設けている場合には、該保護フィルム 11を剥離後、コア層形成用樹脂フィルム 30 0をラミネートする。このとき、保護フィルム 11および支持体フィルム 4は、コア層形成用樹脂フィルム 300からの剥離を容易にするため接着処理は行っていないことが好ましぐ必要に応じ離型処理が施されていてもよい。

[0037] 次に、第 4の工程として、コア層 3を露光現像し、光導波路のコアパターン 8を形成する（図 1 (d) , (e) )。具体的には、ホトマスクパターン 7を通して活性光線が画像状に照射される。活性光線の光源としては、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気ァーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等の紫外線を有効に放射する公知の光源が挙げられる。また、他にも写真用フラッド電球、太陽ランプ等の可視光を有 ¾]に放射するものも用いること力できる。

[0038] 次いで、コア層形成用樹脂フィルム 300の支持体フィルム 4が残っている場合には、支持体フィルム 4を剥離し、ウエット現像等で未露光部を除去して現像し、コアバターン 8を形成する。ウエット現像の場合は、前記フィルムの組成に適した有機溶剤系現像液を用いて、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング等の公知の方法により現像する。

[0039] 有機溶剤系現像液としては、例えば、 N—メチルピロリドン、 N, N—ジメチルホルムアミド、 N, N—ジメチルァセトアミド、シクロへキサノン、メチルェチルケトン、メチルイソブチルケトン、 γ —ブチロラタトン、メチルセ口ソルブ、ェチルセ口ソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等力 S挙げられる。また、必要に応じて 2種類以上の現像方法を併用してもよい。

[0040] 現像の方式としては、例えば、ディップ方式、パドル方式、高圧スプレー方式等のスプレー方式、ブラッシング、スクラッピング等が挙げられ、高圧スプレー方式が解像度向上のためには最も適している。

現像後の処理として、必要に応じて 60〜250°C程度の加熱または 0. ；!〜 lOOOmJ /cm²程度の露光を行うことにより、コアパターン 8をさらに硬化して用いてもよい。

[0041] この後、コアパターン 8埋込みのためクラッド層形成用樹脂フィルム 200をラミネート、および該クラッド層形成用樹脂フィルム 200のクラッド層形成用樹脂 20を硬化し、上部クラッド層 9を形成する第 5の工程を行う（図 1 (f) )。ラミネートは、クラッド層形成用樹脂フィルム 200がクラッド層形成用樹脂 20と支持体フィルム 10からなる場合には、クラッド層形成用樹脂 20をコアパターン 8側にしてラミネートする。このときのクラッド層 9の厚さは、前述のようにコア層 3の厚さより大きくすることが好ましい。硬化は、光または加熱によって上記と同様に行う。

図 4に示すように、クラッド層形成用樹脂フィルム 200の支持体フィルム 10の反対側 j . ,

15

に保護フィルム 11を設けている場合には、該保護フィルム 11を剥離後、クラッド層形成用樹脂フィルム 200をラミネートして光または加熱により硬化することによりクラッド層 9を形成する。このとき、クラッド層形成用樹脂 20は接着処理を施した支持体フィルム 10上に製膜されていることが好ましい。一方、保護フィルム 11は、クラッド層形成用樹脂フィルム 200からの剥離を容易にするため接着処理は行ってヽなレ、ことが好ましぐ必要に応じ離型処理が施されていてもよい。

[0042] 本発明の製造方法によれば、コア層 3を積層する工程において、前記第 2の工程

および、その後に前記第 3の工程を行なうことにより、従来の課題であったコア太りや、欠けなどのコア変形そして異物の付着が無い、均一なコアを有する光導波路 (図 1 ( f)、図 2 (g) )を生産性よく製造することができる。

[0043] 以下に、本発明を実施例によりさらに具体的に説明する力本発明は、これらの実施例によってなんら限定されるものではな、。

[0044] 製造例 1

(コア層形成用樹脂フィルムおよぴクラッド層形成用樹脂フィルムの作製）

表 1に示す配合にて、コア層およびクラッド層形成用樹脂組成物を用意し、これに溶剤としてェチルセ口ソルフ"を全量に対して 40質量部加え、コア層用おょぴクラッド層形成用樹脂ワニスを調合した。なお、表 1に示す配合において、（A)ベースポリマ一おょぴ (B)光重合性化合物の配合量は、 (A)成分および (B)成分の総量に対する質量％であり、（C)光重合開始剤の配合量は、（A)成分おょぴ (B)成分の総量 10 0質量部に対する割合 (質量部)である。

[0045] [表 1]

差替え用紙側^{1 6}) [0046] * 1 フエノトート YP 70 ;東都化成（株）製、ビスフエノール A/ビスフエノール F共重合型フエノキシ樹脂

* 2 A—BPEF ;新中村工業（株）製、 9, 9 ビス [4一（2—アタリロイルォキシェトキシ）フエ二ノレ]フノレ才レン

* 3 EA— 1020 ;新中村工業（株）製、ビスフエノール A型エポキシアタリレート * 4 KRM— 2110 ;新中村工業（株）製、アリサイクリックジエポキシカルボキシレー卜

* 5 2, 2 ビス（2 クロ口フエ二ノレ） 4, 4，， 5, 5，ーテトラフエニノレー 1 , 2，ービィミダゾール；東京化成工業 (株)製

* 6 4, ビス（ジェチルァミノ)ベンゾフエノン;東京化成工業 (株)製

* 7 2 メルカプトべンゾイミダゾール;東京化成工業 (株)製

* 8 SP— 170 ;旭電化工業（株）製、トリフエニルスルホニゥムへキサフロロアンチモネート塩

[0047] 得られたコア層およびクラッド層形成用樹脂ワニスを、 PETフィルム（東洋紡績 (株）製、商品名「コスモシャイン A1517」、厚さ 16 m)にアプリケーター (ヨシミツ精機（株)製、「YBA— 4」）を用いて塗布し（クラッド層形成用樹脂フィルム：巻内の接着処理面使用、コア層形成用樹脂フィルム：巻外の非処理面使用）、 80°C、 10分、その後 100°C、 10分で溶剤を乾燥させ、コア層およびクラッド層形成用樹脂フィルムを得た。このときのフィルムの厚さは、アプリケーターの間隙を調節することで、 5〜； 100〃 mの間で任意に調整可能であり、本製造例では、硬化後の膜厚が、コア層 40 111、下部クラッド層 20 m、上部クラッド層 70 mとなるように調節した。

[0048] 実施例 1

(光導波路の作製）

紫外線露光機（ (株）大日本スクリーン製、 MAP— 1200)にて紫外線 (波長 365η m)を lOOOmj/cm²照射し、上記製造例 1で得られたクラッド層形成用樹脂フィルムを光硬化して下部クラッド層 2を形成した（図 1 (a)参照）。

[0049] 次に、この下部クラッド層上に、ロールラミネータ（ (株）日立化成工業製、 HLM- 1 500)を用い圧力 0. 4MPa、温度 50°C、ラミネート速度 0· 2m/minの条件で、上記製造例 1で得られたコア層形成用樹脂フィルムをラミネートした（図 1 (b)参照）。

次いで、平板型ラミネータとして真空加圧式ラミネータ（(株)名機製作所製、 MVL P— 500)を用い、 500Pa以下に真空引きした後、圧力 0. 4MPa、温度 70°C、加圧時間 30秒の条件にて、上記工程でラミネートされたコア層形成用樹脂フィルムを加熱圧着してコア層を積層した（図 1 (c)参照)。

[0050] 続いて幅 40 inのホトマスク（ネガ型）を介し、上記紫外線露光機にて紫外線 (波長 365nm)を 1000mj/cm²照射した後（図 1 (d)参照）、ェチルセ口ソルブと N, N ージメチルァセトアミドの 8対 2質量比混合溶剤にて、コアパターンを現像した（図 1 (e )参照）。現像液の洗浄には、メタノールおよび水を用いた。

[0051] 次いで、真空加圧式ラミネータ（（株）名機製作所製、 MVLP— 500)を用い、 500 Pa以下に真空引きした後、圧力 0. 4MPa、温度 70°C、加圧時間 30秒のラミネート条件にて、コアパターンを埋込むように、上記製造例 1で得られたクラッド層形成用樹脂フィルムをラミネートし、上記と同様の方法および条件で紫外線照射し、その後 11 0°Cで加熱処理を行って上部クラッド層 9を形成し、光導波路を作製した（図 1 (f)参昭）

[0052] なお、コア層およびクラッド層の屈折率を Metricon社製プリズムカプラー（Model2 010)で彻」定したところ、波長 850nmにて、コア層力 1. 584、クラッド層力 537であった。

[0053] 上記の方法により作製した光導波路の場合、コア太りや、欠けなどのコア変形および異物の混入が無ぐ 10cm長さ光導波路 200本での歩留りは 80%であり、伝搬損失は、光源に 855nmの LED ( (株）アドバンテスト製、 Q81201)および受光センサ（ (株）アドバンテスト製、 Q82214)を用い、入射ファイノく； GI— 50/125マルチモードファイノく（ΝΑ = 0· 20)、出射ファイノく； SI—114/125 (NA=0. 22)、入射光；実効コア径 26 mにより測定したところ、 1. 5 ! · 7dB/cmであった。

[0054] 製造例 2

(クラッド層形成用樹脂フィルムの作製）

上記製造例 1において、クラッド層用形成用樹脂ワニスを支持体フィルム 10として P ETフィルム（東洋紡績（株）製、商品名「コスモシャイン A1517」、厚さ 16 111)の非処理面に形成したこと以外は、製造例 1と同様にクラッド層形成用樹脂フィルムを作

； ^^し/

[0055] 実施例 2

(光導波路の作製）

実施例 1の下部クラッド層 2を形成する工程において、基材 1として FR— 4上に、上記製造例 2で得られたクラッド層形成用樹脂フィルム 200をロールラミネータ法により転写し、 PETフィルムを剥離した後、クラッド層形成用樹脂側から紫外線により硬化して下部クラッド層 2を形成したこと以外は、実施例 1と同様に光導波路を作製した。

[0056] このように作製した光導波路は、コア太りや、欠けなどのコア変形および異物の混入が無ぐ 10cm長さ光導波路 200本の歩留りは 90%であった。伝搬損失は、光源に 855nmの LED ( (株）アドバンテスト製、 Q81201)および受光センサ（（株）アドバンテスト製、 Q82214)を用い、入射ファイノく； GI— 50/125マルチモードファイバ（ NA=0. 20)、出射ファイノく； SI— 114/125 (ΝΑ=0· 22)、入射光；実効コア径 2 6〃mにより測定したところ、 1. 5dB/cmであった。

[0057] 比較例 1

(光導波路の作製）

実施例 1におけるロールラミネータ、次いで真空加圧式ラミネータを用いて下部クラッド層上にコア層形成用樹脂フィルムを積層する工程に変えて、ロールラミネータを用いたラミネート工程を行なわずに、真空加圧ラミネータを実施例 1と同様の条件で用いて下部クラッド層上にコア層形成用樹脂フィルムを積層したこと以外は、実施例 1と同様に光導波路を作製した。

この場合、コアにコア太りや、コア欠け、異物の混入があつたため、 10cm長さ光導波路 200本での歩留りは 15%であり、伝搬損失は、光源に 855nmの LED ( (株）アドバンテスト製、 Q81201)および受光センサ（（株）アドバンテスト製、 Q82214)を用い、入射ファイノく； GI— 50/125マルチモードファイノく（ΝΑ=0· 20)、出射ファイバ； SI- 114/125 (NA=0. 22)、入射光；実効コア径 26 mにより測定したところ、 1 . 5 4· OdB/cmであり実施例 1よりばらつきが大きかった。

[0058] 比較例 2 (光導波路の作製）

実施例 1におけるロールラミネータ、次いで真空加圧式ラミネータを用いて下部クラッド層上にコア層形成用樹脂フィルムを積層する工程に変えて、ロールラミネータを実施例 1と同様の条件で用いて下部クラッド層上にコア層形成用樹脂フィルムを積層して、次いで真空加圧ラミネータを用いた加熱圧着工程を行なかったこと以外は、実施例 1と同様に光導波路を作製した。

この場合、密着力不足から発生するコア剥離不良により 10cm長さ光導波路 200本での歩留りは 10%であり、伝搬損失は、光源に 855nmの LED ( (株）アドバンテスト製、 Q81201)および受光センサ（（株）アドバンテスト製、 Q82214)を用い、入射ファイノく； GI— 50/125マルチモードファイノく（ΝΑ=0· 20)、出射ファイノく； SI— 114 /125 (NA = 0. 22)、入射光；実効コア径 26 により測定したところ、 1. 5〜30d B/cmであり実施例 1よりばらつきが大きかった。

産業上の利用可能性

本発明によれば、変形のない均一なコアを有し、異物による不良が少なぐかつコァパターンとクラッドとの密着性に優れた光導波路を生産性良く製造することが可能である。本発明の製造方法により得られた光導波路は、光伝送特性に優れ、ボード間あるいはボード内における光インターコネクション等の幅広い分野に適用可能であ

Claims

請求の範囲

[1] 基材上に形成されたクラッド層形成用樹脂を硬化して下部クラッド層を形成するェ程、該下部クラッド層上にコア層形成用樹脂フィルムを積層してコア層を形成するェ程、該コア層を露光現像してコアパターンを形成する工程、および該コアパターンを埋め込むように形成されたクラッド層形成用樹脂を硬化して、上部クラッド層を形成する工程を有する光導波路の製造方法であって、

該コア層を形成する工程が、（1)ロールラミネータを用いて、下部クラッド層上にコア層形成用樹脂フィルムを仮貼りする工程と、（2)該仮貼りされたコア層形成用樹脂フイルムを減圧雰囲気下で加熱圧着する工程とを有することを特徴とする光導波路の製造方法。

[2] 前記工程（1)が、ロールラミネータとしてヒートロールを有するラミネータを用いて、下部クラッド層上にコア層形成用樹脂フィルムを加熱圧着して仮貼りすることを特徴とする、請求項 1に記載の光導波路の製造方法。

[3] 前記工程（2)が、前記工程（1)で仮貼りされたコア層形成用樹脂フィルムを、平板型ラミネータを用いて減圧雰囲気下で加熱圧着することを特徴とする、請求項 1または 2に記載の光導波路の製造方法。

[4] 前記下部クラッド層が、コア層積層側の表面に段差が形成されていないことを特徴とする、請求項;!〜 3のいずれかに記載の光導波路の製造方法。