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WO2008081872A1 - Appareil de régénération et procédé de régénération - Google Patents

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WO2008081872A1
WO2008081872A1 PCT/JP2007/075131 JP2007075131W WO2008081872A1 WO 2008081872 A1 WO2008081872 A1 WO 2008081872A1 JP 2007075131 W JP2007075131 W JP 2007075131W WO 2008081872 A1 WO2008081872 A1 WO 2008081872A1
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WO
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cleaning liquid
regeneration
regenerating
supply
regenerated
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PCT/JP2007/075131
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Japanese (ja)
Inventor
Tokuo Takamoto
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THREE DYNE Corp
Hirata Corp
Original Assignee
THREE DYNE Corp
Hirata Corp
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Publication date
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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Abstract

Dans un traitement, tel qu'un nettoyage, il est souhaité réaliser non seulement l'utilisation d'un liquide de nettoyage, mais encore la régénération du liquide de nettoyage utilisé et la réutilisation en tant que liquide de nettoyage régénéré. L'invention concerne un appareil de régénération de liquide comprenant des moyens de récupération pour récupérer tout liquide de nettoyage utilisé par un équipement de traitement où un liquide de nettoyage est utilisé ; des moyens de régénération pour la régénération du liquide de nettoyage utilisé récupéré pour ainsi obtenir un liquide de nettoyage régénéré ; des moyens d'alimentation pour l'alimentation du liquide de nettoyage régénéré vers l'équipement de traitement ; et des moyens de commande pour commander les moyens de récupération, les moyens de régénération et les moyens d'alimentation. L'appareil peut en outre comporter des moyens de liaison pour, afin de réaliser une opération simultanée de l'équipement de traitement et les moyens de régénération, conduire entre ceux-ci l'alimentation du liquide de nettoyage utilisé et du liquide de nettoyage régénéré.
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