[go: up one dir, main page]

WO2008046654A1 - Tube hood for preheating the housing of an x-ray tube and method for operating an x-ray tube - Google Patents

Tube hood for preheating the housing of an x-ray tube and method for operating an x-ray tube Download PDF

Info

Publication number
WO2008046654A1
WO2008046654A1 PCT/EP2007/009111 EP2007009111W WO2008046654A1 WO 2008046654 A1 WO2008046654 A1 WO 2008046654A1 EP 2007009111 W EP2007009111 W EP 2007009111W WO 2008046654 A1 WO2008046654 A1 WO 2008046654A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
tube
ray tube
housing body
hood
heating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/EP2007/009111
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Martin Münker
Markus Harbecke
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yxlon International X Ray GmbH
Original Assignee
Yxlon International X Ray GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yxlon International X Ray GmbH filed Critical Yxlon International X Ray GmbH
Publication of WO2008046654A1 publication Critical patent/WO2008046654A1/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00X-ray tubes
    • H01J35/02Details
    • H01J35/16Vessels; Containers; Shields associated therewith
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00X-ray tubes
    • H01J35/02Details
    • H01J35/14Arrangements for concentrating, focusing, or directing the cathode ray
    • H01J35/147Spot size control
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05GX-RAY TECHNIQUE
    • H05G1/00X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
    • H05G1/02Constructional details

Definitions

  • the invention relates to a tube hood for an X-ray tube with a housing and an X-ray tube with a cathode and an anode, which are arranged in a tube cap.
  • the invention also deals with a method for operating an X-ray tube.
  • X-ray tubes which have a very small focal spot, so-called microfocus tubes.
  • the focus size is partly in the micrometer range, for example at a diameter of 1 to 10 microns. Due to this low geometric fuzziness, it is possible to use such microfocus tubes to irradiate objects with high geometric magnification.
  • an exact positioning of the imaging elements to each other is essential to obtain a good image quality.
  • the position of the focal spot must be precisely determined. If the focal spot moves during the measurement or between the calibration of the X-ray tube and the measurement on the anode, this leads to significant losses in terms of image quality.
  • the geometry of the X-ray hood changes depending on the
  • the entire X-ray system can only be used to a limited extent since high-magnification images do not reliably lead to a reproducible result.
  • the object of the invention is therefore to provide a tube hood, an X-ray tube and a method for operating an X-ray tube with which the usable measuring time of an X-ray tube, in particular a microfocus tube, can be increased.
  • a tube hood with the features of claim 1.
  • This means that the X-ray tube can be used for measuring at a much earlier date.
  • An active heating device is understood to mean a device for specifically heating the tube hood, which is independent of the remaining, heat or regulated or controlled by the x-ray components of the x-ray tube.
  • the heating device is a heating foil which is applied directly to the housing body.
  • the required heat is introduced directly into the housing body by means that are easy to control.
  • the heating device is a heat radiation source that radiates its thermal radiation directly onto the housing body.
  • heat radiation sources are well known in the art and operate reliably and inexpensively.
  • a heating device in the form of a hot water heater is advantageous.
  • the cooling water circuit of the anode of the X-ray tube can be modified integrated.
  • the infrastructure used for cooling the anode can be used directly for tempering the housing body.
  • a further advantageous embodiment of the invention provides that the heating power of the heater is adjustable. This makes it possible to vary the heating power in different operating modes or at different operating times and to introduce the optimum heating power in the housing body, so that it is kept at a constant temperature and thus subject over long periods of no elongation.
  • the heating power of the heater corresponds to the heat transfer from the anode to the housing body under full load.
  • the minimum heating power transmitted by the coupling between the heated anode and the housing body into the housing body.
  • the heater is turned on before or during startup of the X-ray tube, so that the constant operating temperature of the housing body of the tube hood is given already after the startup of the X-ray tube and the focus no longer changes due to a lack of elongation of the tube hood. This allows a longer operating time without readjusting the focus.
  • FIG. 1 shows a schematic view of a tube hood with different heating devices
  • Fig. 2 is a diagram of the temperature of the tube hood as a function of time.
  • FIG. 1 shows a schematic arrangement of various heating devices on a tubular hood 1.
  • the tubular hood 1 has a housing body 2, in which inter alia an anode 6 is installed.
  • the anode 6 is thermally not completely decoupled from the housing body 2, so that the heat deposited in it is transferred to the housing body 2 despite a predominant discharge through a cooling water circuit according to the laws of thermodynamics.
  • heating foils 3 are applied. These are known in principle from the prior art, so that further details of their operation will not be discussed below. They serve to keep the housing body 2 at a constant temperature or to bring it as quickly as possible to this temperature. About the operation and in particular the procedure of the invention will be discussed in more detail with regard to the description of FIG.
  • FIG. 1 Another heating device in the form of a heat radiation source 4 is shown symbolically in FIG.
  • the heat radiation source 4 emits heat radiation 5. This is directed directly to the housing body 2 (thus obliquely in this embodiment, via the anode 6 on the housing). Body 2 radiant) and is absorbed by this. As a result, either the temperature of the housing body 2 increases or it is kept at a constant value. More about the temperature setting will be described with reference to FIG.
  • the tube hood 1 still has a third heating device.
  • a cooling water connection 7 is shown, the cooling water past the anode 6 and thus dissipates a portion of the heat generated therein.
  • the cooling water circuit is via the anode 6 with the housing body 2 in thermal contact and can thus be used to control their temperature.
  • hot coolant must circulate if the hot water supply is not to be used as additional heating, but as the only heating device.
  • the three heaters do not all have to be present. In the illustrated embodiment, it is a redundant embodiment, since even a single heater is sufficient to achieve the advantages of the invention.
  • all other heating devices for heating or keeping the temperature of the housing body 2 are also interactible with it.
  • the three heaters shown are designed so that they can transmit a variable heating power to the housing body 2.
  • the heating foil 3 is designed so that the heating power can be changed by the control of the heating current.
  • the lower curve shows the temporal temperature profile of the housing body 2 in a known from the prior art X-ray tube having no additional heating device.
  • start-up 8 of the X-ray tube is started.
  • Startup 8 is completed after 30 minutes. This is only an exemplary value that can vary greatly with different X-ray tubes.
  • the temperature of the housing body 2 rises only very slowly - and in the illustrated embodiment, linear - on.
  • the X-ray tube then runs under full load 12 (from approx. 30 minutes to approx. 140 minutes).
  • the temperature of the housing body 2 rises more strongly under full load 12 and approaches asymptotically the limit value - the stationary temperature distribution T a -, which the housing body 2 assumes during continuous operation under full load 12.
  • preheating 10 takes place through the heating device.
  • the heating power of the heating device is varied so that the sum of it and the heat output currently transmitted by the X-ray tube keeps the temperature of the housing body 2 constant.
  • the additional heat output that is currently introduced by the heating device can be recognized by the size of the difference between the two temperature curves at the respective time. Since the X-ray tube is driven in the example to about 140 minutes under full load 12, the additional heat energy required by the heater decreases continuously.
  • the respective heater is - as stated above - regulated accordingly.
  • the constant held temperature of the housing body 2 is in the illustrated embodiment slightly above the stationary temperature distribution T a , which would be given 12 without a heater at full load. Thus, a certain amount of heating is constantly provided by the heater; This also applies to the steady-state operation of the X-ray tube under full load 12. It is equally possible to choose the stationary temperature distribution T a so that it corresponds to the temperature without heater at full load 12 of the X-ray tube. Then no additional heating power is required during steady-state full load operation of the x-ray tube.
  • the invention can be described as integrating a kind of "auxiliary heating" into an X-ray tube which brings the housing body 2 as quickly as possible to a constant temperature and then also maintains this temperature during operation of the X-ray tube
  • the fastest possible attainment of the desired temperature increases the usable measuring time 11 and it is not necessary to adjust the focus of the x-ray tube since it is not subject to migration due to the elongation of the tube hood 1. This leads to a saving of time and a smaller one technical effort.

Landscapes

  • X-Ray Techniques (AREA)

Abstract

The invention relates to a tube hood (1) for an X-ray tube, in particular for a microfocus tube, with a housing body (2). The invention provides that the tube hood (1) has an active heating apparatus for the housing body (2). The invention also relates to an X-ray tube with a cathode and an anode (6), which are arranged in a tube hood (1) according to the invention. The invention finally also relates to a method for operating an X-ray tube, in which the invention provides that the temperature of the tube hood (1) is maintained using a heating apparatus at a predeterminable value within a tolerance range.

Description

ROHRENHAUBE ZUM VORHEIZEN DES GEHAUSES EINER RÖNTGENRÖHRE SOWIE VERFAHREN ZUM BETRIEB EINER RÖNTGENRÖHRE PIPE HOOD FOR HEATING THE HOUSING OF AN X-RAY TUBE AND METHOD FOR OPERATING AN X-RAY TUBE

Die Erfindung befasst sich mit einer Röhrenhaube für eine Röntgenröhre mit einem Gehäuse sowie einer Röntgenröhre mit einer Kathode und einer Anode, die in einer Röhrenhaube angeordnet sind. Außerdem befasst sich die Erfindung auch noch mit einem Verfahren zum Betrieb einer Röntgenröhre.The invention relates to a tube hood for an X-ray tube with a housing and an X-ray tube with a cathode and an anode, which are arranged in a tube cap. In addition, the invention also deals with a method for operating an X-ray tube.

Es sind Röntgenröhren bekannt, die einen sehr kleinen Brennfleck aufweisen, sog. Mikrofokusrohren . Die Fokusgröße liegt dabei teilweise im Mikrometerbereich, beispielsweise bei einem Durchmesser von 1 bis 10 μm. Aufgrund dieser geringen ge- ometrischen Unscharfe ist es möglich, mit solchen Mikrofokusröhren Objekte mit hoher geometrischer Vergrößerung zu durchstrahlen. Bei manchen Anwendungsfällen, beispielsweise der industriellen Computertomographie, ist eine exakte Positionierung der bildgebenden Elemente zueinander unabdingbar, um eine gute Bildqualität zu erhalten. Hierzu muss die Position des Brennflecks genau bestimmt sein. Falls der Brennfleck während der Messung oder auch zwischen der Kalibrierung der Röntgenröhre und der Messung auf der Anode wandert, führt dies zu erheblichen Einbußen bezüglich der Bildqualität. Die Geometrie der Röntgenhaube ändert sich in Abhängigkeit derX-ray tubes are known which have a very small focal spot, so-called microfocus tubes. The focus size is partly in the micrometer range, for example at a diameter of 1 to 10 microns. Due to this low geometric fuzziness, it is possible to use such microfocus tubes to irradiate objects with high geometric magnification. In some applications, such as industrial computed tomography, an exact positioning of the imaging elements to each other is essential to obtain a good image quality. For this purpose, the position of the focal spot must be precisely determined. If the focal spot moves during the measurement or between the calibration of the X-ray tube and the measurement on the anode, this leads to significant losses in terms of image quality. The geometry of the X-ray hood changes depending on the

Temperatur, da Längendehnung stattfindet. Bekanntermaßen wird in Röntgenröhren nur ein geringer Teil der Bewegungsenergie der im Hochspannungsfeld beschleunigten Elektronen in Röntgenstrahlung umgewandelt. Der größte Teil dieser Energie wird als Wärme in der Anode deponiert und muss über ein Kühlsystem abgeführt werden. Obwohl die Kühlsysteme gut arbeiten, erhitzt sich die Anode, da sie in die Röhrenhaube integriert ist und keine vollständige thermische Entkopplung vorliegt. Somit ist beim Hochfahren der Röntgenröhre oder bei einem Teillastbetrieb eine unterschiedliche Längendehnung der Röhrenhaube die Folge. Bei einem kontinuierlichen Betrieb der Röntgenröhre ist ein thermisch stabiler Zustand nach ca. zwei Stunden erreicht. Die Röntgenröhre ist dann betriebswarm. Bis zum Erreichen dieses stabilen Zustands ist die gesamte Rönt- genanlage nur eingeschränkt nutzbar, da Aufnahmen mit hoher Vergrößerung nicht verlässlich zu einem reproduzierbaren Er- gebnis führen. Dies folgt daraus, dass die Wanderung des Fokus auf der Anode durch die thermisch induzierte Längendehnung der Röhrenhaube in einem Bereich von bis zu 15 μm liegen kann. Bei einem sehr kleinen Fokus im Bereich von 1 bis 2 μm bedeutet dies, dass die Abbildungsgeometrie ständig nachjus- tiert werden muss, da ansonsten der Fokus vollständig aus dem nutzbaren Bereich herauslaufen kann.Temperature, since elongation takes place. As is known, only a small part of the kinetic energy of the electrons accelerated in the high-voltage field is converted into X-rays in X-ray tubes. Most of this energy is deposited as heat in the anode and must be dissipated via a cooling system. Although the cooling systems work well, the anode heats up because it is integrated into the hood and there is no complete thermal decoupling. Thus, when starting the X-ray tube or at a partial load operation, a different elongation of the tube hood the result. In a continuous operation of the X-ray tube is a thermally stable state after about two Hours reached. The x-ray tube is then warm. Until this stable state is reached, the entire X-ray system can only be used to a limited extent since high-magnification images do not reliably lead to a reproducible result. This follows from the fact that the migration of the focus on the anode can be within a range of up to 15 μm due to the thermally induced elongation of the tube cap. With a very small focus in the range of 1 to 2 μm, this means that the imaging geometry has to be constantly rejuvenated, otherwise the focus can completely run out of the usable area.

Aufgabe der Erfindung ist es deshalb, eine Röhrenhaube, eine Röntgenröhre und ein Verfahren zum Betrieb einer Röntgenröhre zur Verfügung zu stellen, mit denen die nutzbare Messzeit einer Röntgenröhre, insbesondere einer Mikrofokusröhre, erhöht werden kann.The object of the invention is therefore to provide a tube hood, an X-ray tube and a method for operating an X-ray tube with which the usable measuring time of an X-ray tube, in particular a microfocus tube, can be increased.

Die Aufgabe wird durch eine Röhrenhaube mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst. Dadurch, dass der Gehäusekörper mit einer aktiven Heizvorrichtung versehen ist, kann dieser schnell auf die Temperatur gebracht werden, die er im Falle des Betriebs der Röntgenröhre unter Volllast im Dauerbetrieb aufweist. Diese Temperatur wird so bedeutend schneller er- reicht, als wenn nur eine thermische Kopplung zwischen Anode und Gehäusekörper vorliegt. Dadurch wird ein schneller stationärer Zustand der Röhrenhaube, insbesondere hinsichtlich der Längendehnung, erreicht und der Fokus auf der Anode bleibt unverändert an seinem Ort, ohne zu wandern. So kann die Rönt- genröhre schon zu einem viel früheren Zeitpunkt zur Messung eingesetzt werden. Außerdem ist es dann bei einem Teillastbetrieb auch möglich, die Temperatur des Gehäusekörpers konstant zu halten und somit keine Nachjustierung des Fokus vornehmen zu müssen. Unter einer aktiven Heizvorrichtung wird eine Vorrichtung zum gezielten Heizen der Röhrenhaube verstanden, die unabhängig von den übrigen, wärme- oder abwar- meerzeugenden Bestandteilen der Röntgenröhre geregelt oder gesteuert wird.The object is achieved by a tube hood with the features of claim 1. The fact that the housing body is provided with an active heater, this can be quickly brought to the temperature it has in case of operation of the X-ray tube under full load in continuous operation. This temperature is reached significantly faster than if there is only a thermal coupling between the anode and the housing body. As a result, a fast stationary state of the tube hood, in particular with respect to the elongation, achieved and the focus on the anode remains unchanged in place, without wandering. This means that the X-ray tube can be used for measuring at a much earlier date. In addition, it is then possible for a partial load operation, to keep the temperature of the housing body constant and thus have to make any readjustment of the focus. An active heating device is understood to mean a device for specifically heating the tube hood, which is independent of the remaining, heat or regulated or controlled by the x-ray components of the x-ray tube.

Eine vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung sieht vor, dass die Heizvorrichtung eine Heizfolie ist, die direkt auf dem Gehäusekörper aufgebracht ist. Dadurch wird die benötigte Wärme mittels gut zu kontrollierenden Mitteln direkt in den Gehäusekörper eingebracht.An advantageous development of the invention provides that the heating device is a heating foil which is applied directly to the housing body. As a result, the required heat is introduced directly into the housing body by means that are easy to control.

Eine andere vorteilhafte Ausbildung der Erfindung sieht vor, dass die Heizvorrichtung eine WärmeStrahlungsquelle ist, die ihre Wärmestrahlung direkt auf den Gehäusekörper abstrahlt. Solche Wärmestrahlungsquellen sind aus dem Stand der Technik gut bekannt und arbeiten zuverlässig und preiswert.Another advantageous embodiment of the invention provides that the heating device is a heat radiation source that radiates its thermal radiation directly onto the housing body. Such heat radiation sources are well known in the art and operate reliably and inexpensively.

Darüber hinaus ist auch eine Heizvorrichtung in Form einer Warmwasserheizung vorteilhaft. In eine solche Heizvorrichtung kann der Kühlwasserkreislauf der Anode der Röntgenröhre modifiziert integriert werden. So kann die zum Kühlen der Anode eingesetzte Infrastruktur direkt zum Temperieren des Gehäusekörpers verwendet werden.In addition, a heating device in the form of a hot water heater is advantageous. In such a heater, the cooling water circuit of the anode of the X-ray tube can be modified integrated. Thus, the infrastructure used for cooling the anode can be used directly for tempering the housing body.

Eine weitere vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung sieht vor, dass die Heizleistung der Heizvorrichtung regelbar ist. Dadurch ist es möglich, die Heizleistung in verschiedenen Betriebsmodi oder zu verschiedenen Betriebszeiten zu variieren und die optimale Heizleistung in den Gehäusekörper einzubringen, so dass dieser auf einer konstanten Temperatur gehalten wird und somit über lange Zeiträume keinerlei Längendehnung unterliegt.A further advantageous embodiment of the invention provides that the heating power of the heater is adjustable. This makes it possible to vary the heating power in different operating modes or at different operating times and to introduce the optimum heating power in the housing body, so that it is kept at a constant temperature and thus subject over long periods of no elongation.

Besonders vorteilhaft ist es dabei, wenn die Heizleistung der Heizvorrichtung dem Wärmeübertrag von der Anode auf den Gehäusekörper unter Volllast entspricht. Dadurch ist es mög- lieh, immer die minimale, von der Kopplung zwischen der erhitzten Anode und dem Gehäusekörper übertragene Heizleistung in den Gehäusekörper einzubringen. Es ist damit nicht nötig, über den stationären Betrieb der Röntgenröhre abgegebene Heizleistung durch die Wärmekopplung auf den Gehäusekörper noch durch zusätzliche Heizleistung der Heizvorrichtung zu ergänzen. So erhält man eine konstante Temperatur des Gehäu- sekörpers auf möglichst niedrigem Niveau über eine lange Zeitspanne.It is particularly advantageous if the heating power of the heater corresponds to the heat transfer from the anode to the housing body under full load. As a result, it is possible to always introduce the minimum heating power transmitted by the coupling between the heated anode and the housing body into the housing body. It is not necessary to supplement the heat output delivered by the stationary operation of the X-ray tube by the heat coupling to the housing body by additional heating power of the heater. Thus, one obtains a constant temperature of the housing body at the lowest possible level over a long period of time.

Die Aufgabe wird auch durch eine Röntgenröhre mit den Merkmalen des Patentanspruchs 8 gelöst. Da eine solche Röntgenröhre eine erfindungsgemäße Röhrenhaube umfasst, gelten die oben gemachten Ausführungen zur Röhrenhaube und die damit jeweils erzielten Vorteile analog auch für die gesamte Röntgenröhre.The object is also achieved by an X-ray tube having the features of patent claim 8. Since such an X-ray tube comprises a tube hood according to the invention, the statements made above on the tube hood and the advantages thus achieved apply analogously to the entire X-ray tube.

Schließlich wird die Aufgabe auch durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Patentanspruchs 9 gelöst. Durch das Konstanthalten der Temperatur der Röhrenhaube mittels der Heizvorrichtung auf einem vorgebbaren Wert innerhalb eines Toleranzbereichs werden die oben zum Patentanspruch 1 schon ausgeführten Vorteile erreicht. Es wird ein Dauerbetrieb schon zu einem früheren Zeitpunkt — eventuell schon direkt nach demFinally, the object is also achieved by a method having the features of patent claim 9. By keeping the temperature of the tubular hood by means of the heating device to a predeterminable value within a tolerance range, the advantages already set out above for patent claim 1 are achieved. It will be a continuous operation at an earlier date - possibly right after the

Hochfahren der Röntgenröhre — ermöglicht und über die gesamte Betriebszeit der Röntgenröhre werden Messungen ermöglicht, ohne den Fokus temperaturbedingt nachjustieren zu müssen.Starting up the X-ray tube - enables measurements over the entire operating time of the X-ray tube without having to readjust the focus due to temperature.

Bevorzugt wird die Heizvorrichtung schon vor oder während des Hochfahrens der Röntgenröhre eingeschaltet, so dass die konstante Betriebstemperatur des Gehäusekörpers der Röhrenhaube schon nach dem Hochfahren der Röntgenröhre gegeben ist und sich der Fokus aufgrund einer fehlenden Längendehnung der Röhrenhaube danach nicht mehr ändert. Dadurch wird eine längere Betriebszeit ohne Nachjustieren des Fokus ermöglicht.Preferably, the heater is turned on before or during startup of the X-ray tube, so that the constant operating temperature of the housing body of the tube hood is given already after the startup of the X-ray tube and the focus no longer changes due to a lack of elongation of the tube hood. This allows a longer operating time without readjusting the focus.

Die Vorteile, die sich durch eine zeitlich veränderliche Heizleistung ergeben, wurden oben schon bezüglich der Weiter- bildungen der Röhrenhaube ausgeführt. Dasselbe gilt bezüglich einer konstanten Summe der veränderlichen Heizleistung zusammen mit dem aktuellen Wärmeübertrag von der Anode auf den Röhrenkörper auf einem gleich bleibenden Wert, der dem Wärmeübertrag innerhalb der Röntgenröhre unter Volllast entspricht.The advantages that result from time-varying heating performance have already been explained above with regard to the further developments of the tube hood. The same applies with respect to a constant sum of the variable heat output together with the actual heat transfer from the anode to the anode Tubular body at a constant value, which corresponds to the heat transfer within the X-ray tube under full load.

Weitere Einzelheiten und Vorteile der Erfindung sind anhand des in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert. Es zeigen:Further details and advantages of the invention are explained in more detail with reference to the embodiment shown in FIGS. Show it:

Figur 1 eine schematische Ansicht einer Röhrenhaube mit un- terschiedlichen Heizvorrichtungen und1 shows a schematic view of a tube hood with different heating devices and

Fig. 2 ein Diagramm der Temperatur der Röhrenhaube in Abhängigkeit von der Zeit.Fig. 2 is a diagram of the temperature of the tube hood as a function of time.

Figur 1 zeigt eine schematische Anordnung verschiedener Heizvorrichtungen an einer Röhrenhaube 1. Die Röhrenhaube 1 weist einen Gehäusekörper 2 auf, in dem unter anderem eine Anode 6 eingebaut ist. Die Anode 6 ist dabei thermisch nicht vollständig vom Gehäusekörper 2 entkoppelt, so dass die in ihr deponierte Wärme trotz eines überwiegenden Abführens durch einen Kühlwasserkreislauf nach den Gesetzen der Thermodynamik auch auf den Gehäusekörper 2 übertragen wird.FIG. 1 shows a schematic arrangement of various heating devices on a tubular hood 1. The tubular hood 1 has a housing body 2, in which inter alia an anode 6 is installed. The anode 6 is thermally not completely decoupled from the housing body 2, so that the heat deposited in it is transferred to the housing body 2 despite a predominant discharge through a cooling water circuit according to the laws of thermodynamics.

Direkt auf dem Gehäusekörper 2 sind Heizfolien 3 aufgebracht. Diese sind prinzipiell aus dem Stand der Technik bekannt, so dass im Weiteren nicht näher auf deren Funktionsweise eingegangen wird. Sie dienen dazu, den Gehäusekörper 2 auf einer konstanten Temperatur zu halten bzw. ihn möglichst schnell auf diese Temperatur zu bringen. Über die Funktionsweise und insbesondere auch den Verfahrensablauf der Erfindung wird hinsichtlich der Beschreibung zu Figur 2 näher eingegangen.Directly on the housing body 2 heating foils 3 are applied. These are known in principle from the prior art, so that further details of their operation will not be discussed below. They serve to keep the housing body 2 at a constant temperature or to bring it as quickly as possible to this temperature. About the operation and in particular the procedure of the invention will be discussed in more detail with regard to the description of FIG.

Eine weitere Heizvorrichtung in Form einer Wärmestrahlungsquelle 4 ist in Figur 1 symbolisch dargestellt. Die Wärme- Strahlungsquelle 4 strahlt Wärmestrahlung 5 ab. Diese ist direkt auf den Gehäusekörper 2 gerichtet (demnach in diesem Ausführungsbeispiel schräg über die Anode 6 auf den Gehäuse- körper 2 strahlend) und wird von diesem aufgenommen. Dadurch steigt entweder die Temperatur des Gehäusekörpers 2 oder sie wird auf einem konstanten Wert gehalten. Näheres zur Temperatureinstellung wird anhand der Figur 2 beschrieben.Another heating device in the form of a heat radiation source 4 is shown symbolically in FIG. The heat radiation source 4 emits heat radiation 5. This is directed directly to the housing body 2 (thus obliquely in this embodiment, via the anode 6 on the housing). Body 2 radiant) and is absorbed by this. As a result, either the temperature of the housing body 2 increases or it is kept at a constant value. More about the temperature setting will be described with reference to FIG.

Darüber hinaus weist die Röhrenhaube 1 noch eine dritte Heizvorrichtung auf. Es handelt sich dabei um die oben schon erwähnte Warmwasserversorgung in der Form eines modifizierten Kühlwasserkreislaufs. Hierzu ist ein Kühlwasseranschluss 7 dargestellt, der Kühlwasser an der Anode 6 vorbeiführt und somit einen Teil der darin entstehenden Wärme abführt. Der Kühlwasserkreislauf ist über die Anode 6 auch mit dem Gehäusekörper 2 in thermischem Kontakt und kann somit zu deren Temperierung genutzt werden. Vor und während des Hochfahrens muss allerdings heißes Kühlmittel zirkulieren, wenn die Warmwasserversorgung nicht als Zusatzheizung eingesetzt werden soll, sondern als einzige Heizvorrichtung.In addition, the tube hood 1 still has a third heating device. It is the above-mentioned hot water supply in the form of a modified cooling water circuit. For this purpose, a cooling water connection 7 is shown, the cooling water past the anode 6 and thus dissipates a portion of the heat generated therein. The cooling water circuit is via the anode 6 with the housing body 2 in thermal contact and can thus be used to control their temperature. Before and during start-up, however, hot coolant must circulate if the hot water supply is not to be used as additional heating, but as the only heating device.

Die drei Heizvorrichtungen müssen nicht alle vorhanden sein. Im dargestellten Ausführungsbeispiel handelt es sich um eine redundante Ausführungsform, da schon eine einzelne Heizvorrichtung ausreicht, um die erfindungsgemäßen Vorteile zu erzielen. Neben den drei explizit dargestellten Heizvorrichtungen sind auch alle anderen Heizvorrichtungen zum Erwärmen bzw. Gleichhalten der Temperatur des Gehäusekörpers 2 mit diesem in Wechselwirkung bringbar. Die drei dargestellten Heizvorrichtungen sind so ausgebildet, dass sie eine veränderliche Heizleistung auf den Gehäusekörper 2 übertragen können. Beispielsweise ist die Heizfolie 3 so ausgestaltet, dass durch die Steuerung des Heizstroms die Heizleistung verändert werden kann. So kann während des Konditionierens der Röntgenröhre, das nahezu stromlos und somit auch nahezu ohne Heizleistung erfolgt, der Gehäusekörper 2 schon bis zum stabilen Zustand aufgeheizt werden. In Figur 2 sind zwei Kurven dargestellt, wobei die Temperatur T des Gehäusekörpers 2 über der Zeit t (in Minuten angegeben) aufgetragen ist.The three heaters do not all have to be present. In the illustrated embodiment, it is a redundant embodiment, since even a single heater is sufficient to achieve the advantages of the invention. In addition to the three heating devices explicitly shown, all other heating devices for heating or keeping the temperature of the housing body 2 are also interactible with it. The three heaters shown are designed so that they can transmit a variable heating power to the housing body 2. For example, the heating foil 3 is designed so that the heating power can be changed by the control of the heating current. Thus, during the conditioning of the x-ray tube, which takes place almost without current and thus also almost without heating power, the housing body 2 can already be heated up to the stable state. Two curves are shown in FIG. 2, the temperature T of the housing body 2 being plotted over time t (indicated in minutes).

Die untere Kurve zeigt den zeitlichen Temperaturverlauf des Gehäusekörpers 2 bei einer aus dem Stand der Technik bekannten Röntgenröhre, die keine zusätzliche Heizvorrichtung aufweist. Zum Zeitpunkt 0 wird mit dem Hochfahren 8 der Röntgenröhre begonnen. Das Hochfahren 8 ist nach 30 Minuten beendet. Hierbei handelt es sich nur um einen exemplarischen Wert, der bei verschiedenen Röntgenröhren durchaus auch stark variieren kann. Während des Hochfahrens 8 der Röntgenröhre steigt die Temperatur des Gehäusekörpers 2 nur sehr langsam — und im dargestellten Ausführungsbeispiel linear — an. Danach läuft die Röntgenröhre unter Volllast 12 (von ca. 30 Minuten bis ca. 140 Minuten). Die Temperatur des Gehäusekörpers 2 steigt unter Volllast 12 stärker an und nähert sich asymptotisch dem Grenzwert — der stationären Temperaturverteilung Ta — an, den der Gehäusekörper 2 bei einem Dauerbetrieb unter Volllast 12 annimmt.The lower curve shows the temporal temperature profile of the housing body 2 in a known from the prior art X-ray tube having no additional heating device. At time 0, start-up 8 of the X-ray tube is started. Startup 8 is completed after 30 minutes. This is only an exemplary value that can vary greatly with different X-ray tubes. During startup 8 of the X-ray tube, the temperature of the housing body 2 rises only very slowly - and in the illustrated embodiment, linear - on. The X-ray tube then runs under full load 12 (from approx. 30 minutes to approx. 140 minutes). The temperature of the housing body 2 rises more strongly under full load 12 and approaches asymptotically the limit value - the stationary temperature distribution T a -, which the housing body 2 assumes during continuous operation under full load 12.

Wird, hier exemplarisch nach ca. 140 Minuten, die Röntgenröhre nicht mehr unter Volllast 12 gefahren, sondern nur noch in einem Teillastbetrieb 9, reduziert sich die Wärmeleistung, die von der Anode 6 an den Gehäusekörper 2 abgegeben wird, da die gesamte Wärmeleistung, die in der Anode 6 produziert wird, ebenfalls abnimmt. Dies bedeutet, dass — in Abhängigkeit von der Höhe der Teillast — die Temperatur des Gehäusekörpers 2 absinkt. Dies gilt analog für jede Art des Last- wechseis.If, as an example, after about 140 minutes, the X-ray tube is no longer driven at full load 12, but only in a partial load operation 9, reduces the heat output, which is discharged from the anode 6 to the housing body 2, since the total heat output, the is produced in the anode 6, also decreases. This means that - depending on the height of the partial load - the temperature of the housing body 2 decreases. This applies analogously to any type of load change.

Im Ergebnis führt dies dazu, dass der Gehäusekörper 2 einer Längendehnung unterworfen ist, da er regelmäßig aus einem Metall bzw. einer Metalllegierung besteht. Dies führt zu der schon bezüglich des Standes der Technik beschriebenen Problematik, dass die Geometrie der Röntgenröhre geändert wird und der Fokus auf der Anode 6 wandert. Wie oben schon ausgeführt, kann dies bis zu 15 μm betragen. Bei Anwendungsfällen, die eine hohe Genauigkeit bezüglich der Abbildungsgeometrie erfordern, beispielsweise bei hoher Vergrößerung, ist es somit nötig, eine NachJustierung des Fokus vorzunehmen. Jede Jus- tierung benötigt Zeit und zusätzlichen Aufwand, so dass dieses Problem ausgeschaltet werden soll.As a result, this results in the housing body 2 being subjected to a longitudinal expansion since it regularly consists of a metal or a metal alloy. This leads to the already described with respect to the prior art problem that the geometry of the X-ray tube is changed and the focus on the anode 6 moves. As stated above, this can be up to 15 microns. In applications requiring high accuracy in imaging geometry, for example at high magnification, it is thus necessary to re-adjust the focus. Every adjustment takes time and extra effort, so this problem should be eliminated.

Dies geschieht mittels der oben zu Figur 1 schon beschriebenen Heizvorrichtungen. In Figur 2 ist in der oberen Kurve der Temperaturverlauf über der Zeit aufgetragen, der sich für eine erfindungsgemäße Röhrenhaube 1 gemäß Figur 1 und ein erfindungsgemäßes Verfahren ergibt.This is done by means of the already described above for Figure 1 heaters. In Figure 2, the temperature curve over time is plotted in the upper curve, which results for a tube hood 1 according to the invention according to Figure 1 and a method according to the invention.

Während des Hochfahrens 8 der Röntgenröhre erfolgt ein Vor- heizen 10 durch die Heizvorrichtung. Hierbei wird möglichst viel Wärmeleistung von der Heizvorrichtung auf den Gehäusekörper 2 übertragen, um möglichst schnell die stationäre Temperaturverteilung Ta des Gehäusekörpers 2 unter Volllast 12 der Röntgenröhre zu erzielen. Diese wird im dargestellten Ausführungsbeispiel nach ca. 30 Minuten erreicht. Dies entspricht dem Zeitpunkt, zu dem die Röntgenröhre konditioniert und hochgefahren ist. Ab diesem Zeitpunkt wird die Heizleistung der Heizvorrichtung so variiert, dass die Summe aus ihr und der von der Röntgenröhre aktuell übertragenen Wärmeleis- tung die Temperatur des Gehäusekörpers 2 konstant hält. In Figur 2 ist die zusätzliche Wärmeleistung, die aktuell durch die Heizvorrichtung eingebracht wird, daran zu erkennen, wie groß der Unterschied zwischen den beiden Temperaturkurven zum jeweiligen Zeitpunkt ist. Da die Röntgenröhre im Beispiel bis ca. 140 Minuten unter Volllast 12 gefahren wird, nimmt die zusätzlich benötigte Wärmeenergie durch die Heizvorrichtung kontinuierlich ab. Die jeweilige Heizvorrichtung wird — wie oben schon ausgeführt — dementsprechend geregelt.During start-up 8 of the x-ray tube, preheating 10 takes place through the heating device. Here as much heat output from the heater is transferred to the housing body 2 in order to achieve as quickly as possible the stationary temperature distribution T a of the housing body 2 under full load 12 of the X-ray tube. This is achieved in the illustrated embodiment after about 30 minutes. This corresponds to the time when the X-ray tube is conditioned and started up. From this point on, the heating power of the heating device is varied so that the sum of it and the heat output currently transmitted by the X-ray tube keeps the temperature of the housing body 2 constant. In FIG. 2, the additional heat output that is currently introduced by the heating device can be recognized by the size of the difference between the two temperature curves at the respective time. Since the X-ray tube is driven in the example to about 140 minutes under full load 12, the additional heat energy required by the heater decreases continuously. The respective heater is - as stated above - regulated accordingly.

Ab dem Zeitpunkt, zu dem die Röntgenröhre von Volllast 12 auf Teillastbetrieb 9 umgeschaltet wird, muss wieder mehr Wärmeenergie durch die Heizvorrichtung auf den Gehäusekörper 2 ü- bertragen werden. Auch hier ist wieder das Maß der zusätzlichen Wärmeenergie gut durch die Differenz zwischen den beiden Kurven zu erkennen.From the time at which the X-ray tube of full load 12 is switched to part-load operation 9, again more heat energy through the heater on the housing body 2 ü be transferred. Again, the measure of additional heat energy is well recognized by the difference between the two curves.

Die konstant gehaltene Temperatur des Gehäusekörpers 2 liegt im dargestellten Ausführungsbeispiel leicht oberhalb der stationären Temperaturverteilung Ta, die ohne Heizvorrichtung bei Volllast 12 gegeben wäre. Somit ist ständig eine gewisse Heizleistung durch die Heizvorrichtung zu erbringen; dies gilt auch für den stationären Betrieb der Röntgenröhre unter Volllast 12. Es ist genauso gut möglich, die stationären Temperaturverteilung Ta auch so zu wählen, dass sie der Temperatur ohne Heizvorrichtung bei Volllast 12 der Röntgenröhre entspricht. Dann ist während des stationären Volllastbetriebs der Röntgenröhre keine zusätzliche Heizleistung nötig.The constant held temperature of the housing body 2 is in the illustrated embodiment slightly above the stationary temperature distribution T a , which would be given 12 without a heater at full load. Thus, a certain amount of heating is constantly provided by the heater; This also applies to the steady-state operation of the X-ray tube under full load 12. It is equally possible to choose the stationary temperature distribution T a so that it corresponds to the temperature without heater at full load 12 of the X-ray tube. Then no additional heating power is required during steady-state full load operation of the x-ray tube.

Zusammengefasst kann die Erfindung so beschrieben werden, dass eine Art „Standheizung" in eine Röntgenröhre integriert wird, die den Gehäusekörper 2 möglichst schnell auf eine kon- stante Temperatur bringt und diese Temperatur dann auch während des Betriebs der Röntgenröhre beibehält. Dazu ist die vorgesehene Heizvorrichtung vorzugsweise regelbar. Durch das möglichst schnelle Erreichen der gewünschten Temperatur wird die nutzbare Messzeit 11 vergrößert und ein Justieren des Fo- kus der Röntgenröhre ist nicht nötig, da dieser keiner Wanderung aufgrund der Längendehnung der Röhrenhaube 1 unterliegt. Dies führt zu einer Zeitersparnis und einem geringeren technischen Aufwand. BezugszeichenlisteIn summary, the invention can be described as integrating a kind of "auxiliary heating" into an X-ray tube which brings the housing body 2 as quickly as possible to a constant temperature and then also maintains this temperature during operation of the X-ray tube The fastest possible attainment of the desired temperature increases the usable measuring time 11 and it is not necessary to adjust the focus of the x-ray tube since it is not subject to migration due to the elongation of the tube hood 1. This leads to a saving of time and a smaller one technical effort. LIST OF REFERENCE NUMBERS

RöhrenhaubeTubehousing

Gehäusekörperhousing body

Heizfolieheating film

WärmeStrahlungsquelleRadiant heat source

Wärmestrahlungthermal radiation

Anodeanode

KühlwasseranschlussCooling water connection

Hochfahrengo up

TeillastbetriebPartial load operation

Vorheizen nutzbare MesszeitPreheat usable measuring time

Volllastfull load

stationäre Temperaturverteilung stationary temperature distribution

Claims

Patentansprüche claims 1. Röhrenhaube (1) für eine Röntgenröhre, insbesondere für eine Mikrofokusröhre, mit einem Gehäusekörper (2), dadurch gekennzeichnet, dass sie eine aktive Heizvorrichtung für den Gehäusekörper (2) aufweist.1. tube hood (1) for an X-ray tube, in particular for a microfocus tube, with a housing body (2), characterized in that it comprises an active heating device for the housing body (2). 2. Röhrenhaube (1) nach Patentanspruch 1, dadurch gekenn- zeichnet, dass die Heizvorrichtung eine Heizfolie (3) ist, die direkt auf dem Gehäusekörper (2) aufgebracht ist.2. tube cap (1) according to claim 1, characterized in that the heating device is a heating foil (3), which is applied directly to the housing body (2). 3. Röhrenhaube (1) nach Patentanspruch 1, dadurch gekenn- zeichnet, dass die Heizvorrichtung eine Wärmestrahlungsquelle (4) ist, die ihre Wärmestrahlung (5) direkt auf den Gehäusekörper (2) abstrahlt.3. tube cap (1) according to claim 1, characterized in that the heating device is a heat radiation source (4), which radiates its thermal radiation (5) directly to the housing body (2). 4. Röhrenhaube (1) nach Patentanspruch 1, dadurch gekenn- zeichnet, dass die Heizvorrichtung eine Warmwasserversorgung ist.4. tube cap (1) according to claim 1, characterized in that the heating device is a hot water supply. 5. Röhrenhaube (1) nach Patentanspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Heizungssystem als Teil des Kühlwas- serkreislaufes einer Anode (6) der Röntgenröhre ausgebildet ist und thermisch leitend mit dem Gehäusekörper (2) verbunden ist.5. tube cap (1) according to claim 4, characterized in that the heating system is formed as part of the cooling water serkreises an anode (6) of the X-ray tube and thermally conductively connected to the housing body (2). 6. Röhrenhaube ( 1 ) nach einem der vorstehenden Patentan- sprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Heizleistung der Heizvorrichtung regelbar ist.6. tube cap (1) according to one of the preceding patent claims, characterized in that the heating power of the heater is adjustable. 7. Röhrenhaube (1) nach einem der Patentansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Heizleistung der Heiz- Vorrichtung dem Wärmeübertrag von der Anode auf den Gehäusekörper (2) unter Volllast (12) entspricht. 7. Tubular cap (1) according to one of the claims 1 to 6, characterized in that the heating power of the heating device corresponds to the heat transfer from the anode to the housing body (2) under full load (12). 8. Röntgenröhre, insbesondere Mikrofokusröhre , mit einer Kathode und einer Anode ( 6 ) , die in einer Röhrenhaube (1) angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, dass die Röhrenhaube (1) nach einem der vorstehenden Patentansprüche ausgebildet ist.8. X-ray tube, in particular microfocus tube, with a cathode and an anode (6), which are arranged in a tube hood (1), characterized in that the tube cap (1) is designed according to one of the preceding claims. 9. Verfahren zum Betrieb einer Röntgenröhre, insbesondere einer Mikrofokusröhre, bei der die Temperatur der Röh- renhaube (1) mittels einer Heizvorrichtung auf einem vorgebbaren Wert innerhalb eines Toleranzbereichs gehalten wird.9. A method for operating an X-ray tube, in particular a microfocus tube, in which the temperature of the tube hood (1) is held by means of a heating device to a predefinable value within a tolerance range. 10. Verfahren nach Patentanspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Heizvorrichtung schon vor oder während des10. The method according to claim 9, characterized in that the heating device before or during the Hochfahrens (8) der Röntgenröhre eingeschaltet ist.Startup (8) of the X-ray tube is turned on. 11. Verfahren nach Patentanspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Heizvorrichtung eine zeitlich verän- derliche Heizleistung abgibt.11. The method according to claim 9 or 10, characterized in that the heater emits a temporally variable heating power. 12. Verfahren nach Patentanspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Summe der veränderlichen Heizleistung zusammen mit der aktuellen Leistungsaufnahme der Röntgen- röhre immer gleich ist wie der Wärmeübertrag von der A- node auf den Gehäusekörper (2) unter Volllast (12). 12. The method according to claim 11, characterized in that the sum of the variable heating power together with the current power consumption of the X-ray tube is always the same as the heat transfer from the anode to the housing body (2) under full load (12).
PCT/EP2007/009111 2006-10-20 2007-10-19 Tube hood for preheating the housing of an x-ray tube and method for operating an x-ray tube Ceased WO2008046654A1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102006049549.7 2006-10-20
DE102006049549A DE102006049549A1 (en) 2006-10-20 2006-10-20 Tubular hood for an X-ray tube, X-ray tube and method for operating an X-ray tube

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2008046654A1 true WO2008046654A1 (en) 2008-04-24

Family

ID=38941846

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2007/009111 Ceased WO2008046654A1 (en) 2006-10-20 2007-10-19 Tube hood for preheating the housing of an x-ray tube and method for operating an x-ray tube

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE102006049549A1 (en)
WO (1) WO2008046654A1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011088238B4 (en) * 2011-12-12 2019-09-19 Siemens Healthcare Gmbh Radiator cooling unit, spotlight system and operating method for a radiator cooling unit
DE102024201890B3 (en) 2024-02-29 2025-07-10 Siemens Healthineers Ag Method for temperature control of an X-ray device, X-ray device and computer program product

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE916853C (en) * 1951-10-19 1954-08-19 Siemens Reiniger Werke Ag Liquid instantaneous water heater, especially for preheating the coolant in body cavity roentgen pipes
DE2016372A1 (en) * 1969-04-22 1970-11-19 Lundin, Sven Vilhelm Emanuel, Saltsjöbaden (Schweden) Device especially intended for dentists, comprising an X-ray apparatus and operating light
US4305631A (en) * 1979-12-05 1981-12-15 Radiologic Sciences, Inc. High temperature bearing bakeout process
JP2002042704A (en) * 2000-07-19 2002-02-08 Toshiba Corp Rotating anode type X-ray tube device
JP2002100497A (en) * 2000-09-20 2002-04-05 Rigaku Corp X-ray blocking cover for x-ray equipment

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19800766C1 (en) * 1998-01-12 1999-07-29 Siemens Ag Electron beam tube especially X=ray tube
DE19843649C2 (en) * 1998-09-23 2000-08-24 Siemens Ag Low-cost X-ray tube
EP1217642A1 (en) * 2000-12-22 2002-06-26 Radi Medical Technologies AB Active cooling of a miniature x-ray tube
EP1493466B1 (en) * 2003-06-30 2012-06-20 Nucletron Operations B.V. Miniature X-ray source with cryogenic cooling
US20060126789A1 (en) * 2004-12-10 2006-06-15 Carl Zeiss Stiftung Catheter with inflatable balloon assembly and optically activated x-ray source

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE916853C (en) * 1951-10-19 1954-08-19 Siemens Reiniger Werke Ag Liquid instantaneous water heater, especially for preheating the coolant in body cavity roentgen pipes
DE2016372A1 (en) * 1969-04-22 1970-11-19 Lundin, Sven Vilhelm Emanuel, Saltsjöbaden (Schweden) Device especially intended for dentists, comprising an X-ray apparatus and operating light
US4305631A (en) * 1979-12-05 1981-12-15 Radiologic Sciences, Inc. High temperature bearing bakeout process
JP2002042704A (en) * 2000-07-19 2002-02-08 Toshiba Corp Rotating anode type X-ray tube device
JP2002100497A (en) * 2000-09-20 2002-04-05 Rigaku Corp X-ray blocking cover for x-ray equipment

Also Published As

Publication number Publication date
DE102006049549A1 (en) 2008-04-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102005061358A1 (en) A temperature control integrated circuit in a semiconductor material and method of controlling the temperature of a semiconductor integrated circuit having an integrated circuit
DE69118315T2 (en) Wafer holding fixture for exposure device
DE102010002207B4 (en) Temperature control for gas lasers
DE112008003714T5 (en) Temperature control for electronic components
DE102017219982A1 (en) Processing machine for the layer-wise production of three-dimensional components and method for heating a powder
DE112014002250T5 (en) lonenbearbeitungsvorrichtung
EP2274475B1 (en) Heated embossing roll
DE102004031205A1 (en) System and method for thermal management of CT detector circuits
DE102009033818A1 (en) Temperature control device for an optical assembly
DE102020210026A1 (en) Projection exposure system with temperature control device
DE102007039365A1 (en) Thermal resistance determining device for determining thermal resistance of sample, has sample retainer retaining sample in test chamber in such manner that sample is isolated against thermal conduction
DE102016001981B4 (en) Temperature controllable gas laser oscillator
DE102019205251A1 (en) Projection exposure machine with a heater
WO2008046654A1 (en) Tube hood for preheating the housing of an x-ray tube and method for operating an x-ray tube
DE102012200733A1 (en) Mirror assembly for optical system e.g. microlithographic projection exposure apparatus, has radiator whose sections are designed in such way that relative contribution of sections compensate to temperature-induced deformation
DE102013215197A1 (en) Extreme UV (EUV) projection exposure system used for microlithography process, has control unit that controls heating/cooling device, so that absolute constant temperature profile is adjustable in partial region of mirrors
AT509894A1 (en) METHOD AND DEVICE FOR PRODUCING OVERHEATED SATURATING STEAM IN A CONTINUOUS CASTING MACHINE
DE102020214130A1 (en) Process for temperature control of an optical element and optical assembly
DE102021001254B4 (en) WAFER TEST STATION
DE102019202531A1 (en) Optical correction element, projection exposure system for semiconductor lithography with a correction element and method for designing a correction element
DE112006004059T5 (en) Automatic adjustment of printer drum spacing
DE102014017287A1 (en) Temperable optical lens and method for its use
AT516385A4 (en) Temperature control unit for a gaseous or liquid medium
AT516611B1 (en) Temperature control unit for a gaseous or liquid medium
DE102009037724B4 (en) X-ray

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 07819176

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 07819176

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1