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WO2007066379A1 - Reflective optical system and method of controlling reflective optical system - Google Patents

Reflective optical system and method of controlling reflective optical system Download PDF

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WO2007066379A1
WO2007066379A1 PCT/JP2005/022307 JP2005022307W WO2007066379A1 WO 2007066379 A1 WO2007066379 A1 WO 2007066379A1 JP 2005022307 W JP2005022307 W JP 2005022307W WO 2007066379 A1 WO2007066379 A1 WO 2007066379A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
lens
shape
mirror
optimized
academic system
Prior art date
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Ceased
Application number
PCT/JP2005/022307
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French (fr)
Japanese (ja)
Inventor
Makoto Sasaki
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
University of Tokyo NUC
Original Assignee
University of Tokyo NUC
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Publication date
Application filed by University of Tokyo NUC filed Critical University of Tokyo NUC
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B17/00Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
    • G02B17/08Catadioptric systems
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B17/00Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
    • G02B17/08Catadioptric systems
    • G02B17/0884Catadioptric systems having a pupil corrector

Definitions

  • the aim is to provide a reflection system of 000 3, Nokaku and.
  • a spherical mirror a lens provided in order from the light entrance side, a lens of 2 and a lens of 3 in this face mirror, and a focus provided between the face mirror and the lens of 3 Related to reflexology.
  • Ming can provide a field of reflection and a reflex system.
  • 001 is an example of Ming University.
  • the reflection system shown in Fig. 3 has a spherical mirror and lenses 2, 2 and 3 3 and 4, respectively, which are sequentially provided from the light entrance side in this spherical mirror. Also, between the spherical mirror 3 and lens 4, It has 5 spherical surfaces.
  • the spherical mirror since a spherical mirror is mainly used, it is possible to secure a large viewing angle with a large aperture. On the other hand, in order to obtain sufficient radius, the spherical mirror must be small, but the correction lenses 2 to 4 can suppress the large aberration due to the small size of the spherical mirror. [0113] Next, the shape and position of the spherical mirror dish and lenses 2 to 4 of the reflection system shown in are optimized.
  • the academic system focuses light by the reflection of light by the mirror and the bending of light by the lens.
  • the ray by the lens depends on the angle of incidence of the ray with respect to the axis of the ray.
  • the range of movement depends on the quality of. Therefore, in order to optimize it, it is necessary to make a judgment on the basis of a ray having a human incidence angle of 0 rays in the range according to the purpose of use and which focal point is generated as the sum thereof.
  • An evaluation number can be given as an example of quantifying 001 5.
  • the focus of 5 (6) assuming a given value can be evaluated by tracing the ray with an instrument. Then, by collecting various values within the range of the target angle of incidence of 0 and adding them together, the points that actually occur can be reproduced by an experiment with a computer.
  • the optical system that is, the shape and position of the lens, which minimizes the value of the point reproduced at The optimum optical meter should be able to be determined in the range of 0 for the light entry angle.
  • the following evaluations are defined in order to quantify the above. This is a well-established umpire. )twenty two ( )
  • D , 0 is the incident angle of light with respect to the child, and is the wavelength of light.
  • Z is the distance from the reference plane to the surface, is the distance from the axis of the child, is the child, is the fourth complement, and is the sixth complement.
  • C is the 8th complement, which is the position of the surface on the optical axis.
  • the spherical mirror It is defined by the numbers 2 to 4 and the numerical values shown in.
  • the surface means the space at the line of the lens 2
  • the surface 2 means the surface of the mirror 2 at the surface 2.
  • 3 means 3 in line 3 of 2 and surface 4 means 4 on the side of the 2 3 mirror.
  • 5 means 5 in the line of 3 in 4 and surface 6 is the mirror of 3 in 4
  • Means 6 7 means 7 in the line of the spherical mirror.
  • Means 6 7 means 7 in the line of the spherical mirror.
  • a plane perpendicular to the optical axis that passes through the midpoint between the two surfaces of the 2nd lens 3 of the spherical mirror and the optical axis, and the 2nd surface of 2nd lens 3 of the correction lenses 2 to 4 is used. It is a plane that passes through the midpoint of the two points where the and the optical axis intersect and is perpendicular to the optical axis.
  • 002 means that the radius of curvature is infinite, that is, it is a flat plate with no curvature.
  • 002 2 is a visual representation of the 2 of 2 of 3 and 3 is a visual representation of the 3 of the 3 of 2.
  • the height from the reference plane can be set to 5 °
  • the surface can be sufficiently nipped, and the compensating lens 2 3 is formed from the net. I know what I can do.
  • the correction lens 4 can be formed from the predetermined surface.
  • 002 4 is the reflection shown in, defined by the number of
  • 0028 especially in combination with photo diodes, disaster prevention, defense, It can be preferably used industrially in fields such as science, ta, and inspection.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract

A novel reflective optical system having a wide viewing angle and a high resolution is provided. The reflective optical system includes a spherical mirror (11); and a first correcting lens (12), a second correcting lens (13), and a third correcting lens (14) that are provided on the curvature-center side of the spherical mirror sequentially from the incident side. Between the spherical mirror (11) and the third correcting lens (14) is provided a focal plane (15).

Description

学系、 学系の 御方、法  Academics, Academics, Law

術分野  Surgical field

0001 、反射 学系、 学系の 御方法に関する。 001, Reflexology, related to academic methods.

0002 これまでの 遠鏡に使用された従来の 学系では 速度を切る高 のものや 魚眼 ンズなどを使用した広角 学系はあるが、広角と高 とを 立さ た反 射 学系は存在しな た。 えば、人工衛星の 広角カメラなどでも、 度の し な 、全天空を覆 には 大な費用が り実現は不可能であ た。 また、魚眼 ンズなどを利用した広角カメラなども 在するが、 ンズ 学系であるた めに、 が低 とともに、検知 度が低 、 ンズに対する の 題で 、検知 能な光波長 域も限られる 題があ た。 000 2 In the conventional science systems used for telescopes up to now, there are high-speed systems that cut speed and wide-angle systems that use fisheyes, but there are reflection systems that establish a wide angle and high height. I'm sorry. For example, even with a wide-angle camera such as a satellite, it was not possible to realize it because it cost too much to cover the entire sky. There is also a wide-angle camera that uses a fisheye lens, etc., but since it is an academic system, it has a low detection rate, and the degree of detection is low, so the detectable optical wavelength range is also limited. There was a problem.

明の  Of Ming

明が解決しよ とする課題  Problems that Ming is trying to solve

0003 、 野角及び の な反射 学系を提供することを目的と する。 The aim is to provide a reflection system of 000 3, Nokaku and.

題を解決するための  To solve the problem

0004 的を達成す 、 、 To achieve the goal of

球面鏡と、この 面鏡の にお て、光の入 側 ら順次に設けられた の ンズ、 2の ンズ 3の ンズとを 、前記 面鏡と 前記 3の ンズとの間に焦点 を設けたことを特徴とする、反射 学系に関 する。  A spherical mirror, a lens provided in order from the light entrance side, a lens of 2 and a lens of 3 in this face mirror, and a focus provided between the face mirror and the lens of 3 Related to reflexology.

0005 明の 学系にお ては、球面鏡を主 として て るので、大口径 で大きな視野角を確保することができる。 方、十分な るさの を得るためには 、前記 面鏡の 小さ しなければならな が、前述した 補正 ンズを 設けて るため、前記 面鏡の の 小に 収差の 大を抑制すること ができる。 0006 また、上述したよ に3 の ンズを用 て るので、その 状を種 の 御法に基 て制御することにより、反射 学系全体の 野角及び を自在 に制御することができ、前記 上に広 野角の を高 さ るこ とができるよ になる。 In the academic system of 005 Ming, since it mainly uses spherical mirrors, it is possible to secure a large viewing angle with a large aperture. On the other hand, in order to obtain a sufficient radius, it is necessary to make the surface mirror small, but since the correction lens described above is provided, it is possible to suppress the large amount of aberration even if the surface mirror is small. it can. Moreover, as described above, since the three lenses are used, by controlling the shape based on the control method of the species, it is possible to freely control the field angle and of the entire reflex system, and the above-mentioned wide range. You will be able to raise the angle.

明の  Of Ming

0007 上 明したよ に、 明によれば、 野角及び の な反射 学系を提供することができる。 As mentioned above, Ming can provide a field of reflection and a reflex system.

0008 明の 学系の 例を示す である。The following is an example of the school system of 0008 Ming.

2 に示す 学系の、 の ンズの 面の 状を視覚化した図である。 3 に示す 学系の、 2の ンズの 面の 状を視覚化した図である。 4 に示す 学系の、焦点 上におけるスポットサイズd 人射角 との 係を 示すグラ である。  It is a diagram that visualizes the surface of the lens of the academic system shown in 2. It is a diagram that visualizes the shape of the surface of the second lens of the academic system shown in 3. This is a graph showing the relationship between the spot size d on the focal point and the human incidence angle of the academic system shown in Fig. 4.

号の  Of the issue

0009 学系 000 school system

面鏡 Surface mirror

2 の ンズ 2's

3 2の ンズ 3 2 in

4 3の ンズ 4 3 in

5  Five

明を実施するための 良の  Good for carrying out Ming

0010 下、本 明の 、並びにその他の特徴及び 点に て、最良の 態に基 て詳細に説明する。 00100, other features and points of the present invention will be described in detail based on the best mode.

0011 は、 明の 学系の 例を示す である。 に示す反射 学系 は、球面鏡 、この 面鏡の にお て、光の入 側 ら順次 に設けられた の ンズ 2、 2の ンズ 3 3の ンズ 4と を えて る。また、球面鏡 3の ンズ 4との間に、球面鏡 同一の 有する球面 の 5が設けられて る。 001 is an example of Ming University. The reflection system shown in Fig. 3 has a spherical mirror and lenses 2, 2 and 3 3 and 4, respectively, which are sequentially provided from the light entrance side in this spherical mirror. Also, between the spherical mirror 3 and lens 4, It has 5 spherical surfaces.

0012 に示す反射 学系 にお ては、球面鏡 を主 として て るので、 大口径で大きな視野角を確保することができる。 方、十分な るさの を得るた めには、球面鏡 の 小さ しなければならな が、補正 ンズ 2~ 4によ て、球面鏡 の の 小による収差の 大を抑制することができる。 0013 次に、 に示す反射 学系 の、球面鏡皿及び ンズ 2~ 4の 状 及び 置を最適化する。 In the reflection system shown in 001, since a spherical mirror is mainly used, it is possible to secure a large viewing angle with a large aperture. On the other hand, in order to obtain sufficient radius, the spherical mirror must be small, but the correction lenses 2 to 4 can suppress the large aberration due to the small size of the spherical mirror. [0113] Next, the shape and position of the spherical mirror dish and lenses 2 to 4 of the reflection system shown in are optimized.

0014 学系は鏡による光の反射と ンズによる光の屈 との 合 によ て光を焦 する。 ンズによる光線の 、光線の 軸に対する人射角度 とそ の 線の とに依存する。また、その 動する範囲は の 質による。したが て、最適 するためには使用目的に応じた 囲で人射角度0 光線の さ 、その 和としてどれ の焦点の が生じる を判断の 準にす き である。 001 The academic system focuses light by the reflection of light by the mirror and the bending of light by the lens. Of the ray by the lens depends on the angle of incidence of the ray with respect to the axis of the ray. The range of movement depends on the quality of. Therefore, in order to optimize it, it is necessary to make a judgment on the basis of a ray having a human incidence angle of 0 rays in the range according to the purpose of use and which focal point is generated as the sum thereof.

0015 を定量 するものとして評価 数を例示することができる。 定の 学 系 計に対して、所定の とを仮定した時の焦点の 5 ( 6 )は、光線を ンピ タ にて追跡することで評価できる。そして、 目的とする人射角度0 との 囲内で ろ ろな値を採取して足し合わ ることで、現実に起こるであ 点の を ンピ タ による 験にて再現できる。 An evaluation number can be given as an example of quantifying 001 5. For a given scientific system, the focus of 5 (6) assuming a given value can be evaluated by tracing the ray with an instrument. Then, by collecting various values within the range of the target angle of incidence of 0 and adding them together, the points that actually occur can be reproduced by an experiment with a computer.

0016 したが て、光学系 計、すなわち、 ンズの 状と 置を少しず さ 、 に再現される 点の の 価を最小 する ンズの 状と 置を 探 ば、与えられた目的、すなわち、観測した 光の入 角度0 光線の と の 囲における、最適な光学 計が決定できる筈である。 明では、前述したよ を定量するために、以下に示すよ 評価 を定義する。なお、この は、 ンピ ア ズムとして既に確立されて る ウ 呼 ばれるものである。 )2 2 ( ) Therefore, the optical system, that is, the shape and position of the lens, which minimizes the value of the point reproduced at The optimum optical meter should be able to be determined in the range of 0 for the light entry angle. In the description, the following evaluations are defined in order to quantify the above. This is a well-established umpire. )twenty two ( )

D 、 0は 子に対する光の入 角度であり、 は光の波長である。 D , 0 is the incident angle of light with respect to the child, and is the wavelength of light.

0017 また、上述した評価 によ て 面鏡皿及び ンズ 2~ 4の 状及び 置を一 の 学系として体系 に最適 するには、これらの 状及び 置を デ することが好ま 。 明にお ては、前記 デ として光の波 性を無視し た、光線 プ グラムを用 ることができる。この 合、球面鏡皿及び ンズ 2~ 4の 子の 状及び[0117] Further, in order to optimize the shapes and positions of the face plate and the lenses 2 to 4 as a system in the system based on the above-mentioned evaluation, it is preferable to remove these shapes and positions. In the clear, a ray program in which the wave nature of light is ignored can be used as the above-mentioned data. In this case, the spherical mirror plate and the lens shape of lenses 2-4 and

2 2  twenty two

Z 。A Z. A

R2 h C z 2)  R2 h C z 2)

なる式で表すことができる。なお、Z 子における表面の、基準面 らの さであり、 は 子の 軸 らの 離であり、 は 子の であ り、 は4次の補 数であり、 は6次の補 数であり、Cは8次の補 数であり 、光軸上での 面の 置である。 Can be expressed by Where Z is the distance from the reference plane to the surface, is the distance from the axis of the child, is the child, is the fourth complement, and is the sixth complement. , C is the 8th complement, which is the position of the surface on the optical axis.

0018 したが て、観測した 光の入 角度0 光線の との 囲にお て、 (2)式 における 数を変 さ 、 ( )式で表される評価 が最小となるときの 数 を求めることによ て、前記入 角度 の 囲で、最適な 面鏡皿 及び ンズ 2~ 4の 状及び 置を決定することができる。 Therefore, by changing the number in Eq. (2) within the range of 0 and the incident angle of the observed light, we obtain the number when the evaluation expressed by Eq. Therefore, it is possible to determine the optimum shape and position of the face mirror dish and the lenses 2 to 4 within the range of the entry angle.

0019 に示す反射 学系 にお て、球面鏡皿及び ンズ 2~ 4 の 線の 角度 が 度 ら25度の範囲で変 、光線の ~4 の間で輝線スペクト をも 光の 布を仮定すると、球面鏡 ンズ 2~ 4の 状及び 、 に示すよ 数の 数値によ て定義 けられる。 In the reflection system shown in 0019, if the angle of the line of the spherical mirror plate and the lenses 2 to 4 changes in the range of 25 degrees, and if the line of light also has the emission line spectrum between ~ 4 of the rays, the spherical mirror It is defined by the numbers 2 to 4 and the numerical values shown in.

0020 S face Zo Pa a e s002 S face Zo Pa aes

88 R  88 R

2 58 R 43306 2 58 R 43306

A 9 3768X 0 A 9 3768X 0

Figure imgf000007_0001
Figure imgf000007_0001

3 5 R 89383  3 5 R 89383

A 57635X 0

Figure imgf000007_0002
A 57635X 0
Figure imgf000007_0002

4 5 R 89383

Figure imgf000007_0003
4 5 R 89383
Figure imgf000007_0003

5 58 R 43 06 5 58 R 43 06

A 9 376 00  A 9 376 00

324485X  324485X

6 88 R  6 88 R

7 9038 R 8974  7 9 38 R 8974

( mm)  (mm)

0021 なお、 に最左 の 、 に示す ンズ 2~ 4の 面、 002 In addition, the leftmost surface of the 2nd to 4th surface of,

面鏡 5の 面に相当する。すなわち、表面 は、 の ンズ 2の 線の におけ ㌣を意味し、表面 2は、 の ンズ 2の 面 鏡 2 を意味する。 3は、 2の ンズ 3の 線の におけ 3を意味し、表面 4は、 2 3 面鏡 側 の 4を意味する。 5は、 3の ンズ 4の 線の に おけ 5 を意味し、表面 6は、 3の ンズ 4の 面鏡  It corresponds to the surface of the mirror 5. That is, the surface means the space at the line of the lens 2, and the surface 2 means the surface of the mirror 2 at the surface 2. 3 means 3 in line 3 of 2 and surface 4 means 4 on the side of the 2 3 mirror. 5 means 5 in the line of 3 in 4 and surface 6 is the mirror of 3 in 4

6 を意味する。 7は、球面鏡 の 線の におけ 7 を意 味する。 0022 また、上記 にお て、 の ンズ 2 3の ンズ 4とが、 2の ンズ 3に対して対称の 係にあり、 に示す 学系 の 、補正 ンズ 2~ 4の 中心部を通るものとした。さらに、球面鏡 の 2の ンズ 3の2個の表面と光軸とが交わる2点の中点を通り、光軸に垂直な平面とし 、補正 ンズ 2~ 4の 2の ンズ 3の2個の表面と光軸とが交わる 2点の中点を通り、光軸に垂直な平面とした。 Means 6 7 means 7 in the line of the spherical mirror. 002 In addition, in the above, there is a symmetry relation between the lens 2 3 and the lens 4 4 with respect to the lens 2 3 and it passes through the center of the correction lens 2 to 4 of the academic system shown in . Furthermore, a plane perpendicular to the optical axis that passes through the midpoint between the two surfaces of the 2nd lens 3 of the spherical mirror and the optical axis, and the 2nd surface of 2nd lens 3 of the correction lenses 2 to 4 is used. It is a plane that passes through the midpoint of the two points where the and the optical axis intersect and is perpendicular to the optical axis.

0023 なお、 にお て とは、曲率 径が無限大、すなわち 子が曲率を 有することな 平板であることを意味する。 002 means that the radius of curvature is infinite, that is, it is a flat plate with no curvature.

0024 2は、 の ンズ 2の 2の 状を視覚 したものであり、 3は、 2 の ンズ 3の 3の 状を視覚 したものである。 2 3を参照すると、 例えば、 ネ 化の 、チを とした場合、基準面 らの さを ・ 5 度 とすることができ、 る表面を十分に ネ でき、補正 ンズ 2 3を ネ ンズ ら 成できることが分 る。なお、 はして な が、補正 ンズ 4 に ても同様の 果を得ることができ、この 合も所定の 面を ネ して、 補正 ンズ 4を ネ ンズ ら 成することができる。 002 2 is a visual representation of the 2 of 2 of 3 and 3 is a visual representation of the 3 of the 3 of 2. Referring to 2 3 for example, when the change of the nech is set to, the height from the reference plane can be set to 5 °, the surface can be sufficiently nipped, and the compensating lens 2 3 is formed from the net. I know what I can do. However, the same effect can be obtained with the correction lens 4, and in this case also, the correction lens 4 can be formed from the predetermined surface.

0025 4は、 に示す 数の によ て定義 けられた に示す反射 002 4 is the reflection shown in, defined by the number of

学系 の、波長 ら の間で輝線スペクト をも 素によ る 光の 線に対する 5上におけるスポットサイズd 人射角 との 係を示 すグラ である。 4 ら明ら なよ に、人射角 0が 25度の範囲まで 以下の きさの 細なスポットサイズが保持されて ることが分 る。したが て、 5 度の 広 野角の 囲における 下の で得られることが分 る。 0026 したが て、 に示すよ 反射 学系 を 程度 備することにより、全 天空を 度の でもれな 監視することができる。  It is a graph showing the relationship between the spot size d and the human glancing angle on the line 5 of light in the scientific system between the wavelengths and the line of light due to the element. It is clear from 4 that a fine spot size of the following size is maintained up to the range where the human angle of incidence 0 is 25 degrees. Therefore, it can be seen that the following can be obtained in the 5 ° wide angle circle. Therefore, by preparing a reflection system as shown in, it is possible to monitor the entire sky with every degree.

0027 上、具体例を挙げながら発明の 施の 態に基 て 明を詳細に説明し てきたが、 上記 容に限定されるものではな 、 明の 逸脱しな 限りにお てあらゆる変形や 更が可能である。 Although the description has been given in detail above based on the modes of carrying out the invention with reference to specific examples, the present invention is not limited to the above, and all modifications and alterations can be made without departing from the scope of the invention. It is possible.

上の利用 , 0028 、特に光電 子との み合わ により、防災、防衛、 学、 タ 、検査などの 野における産業的 として好適に用 ることが できる。 Use above, 0028, especially in combination with photo diodes, disaster prevention, defense, It can be preferably used industrially in fields such as science, ta, and inspection.

Claims

求の Wanted 面鏡と、この 面鏡の にお て、光の入 側 ら順次に設けられた の ンズ、 2の ンズ 3の ンズとを 、前記 面鏡と 前記 3の ンズとの間に焦点 を設けたことを特徴とする、反射 学系。2 面鏡及び ンズの 状及び 置が  A face mirror, a lens provided sequentially from the entrance side of the light in this face mirror, a second lens and a third lens are provided, and a focal point is provided between the first mirror and the third lens. This is a reflexology system. The shape and position of the two-sided mirror and lens 2 R 2 R Z A C z ( ) Z A C z () 2 R2 Z 子における表面の、基準面 らの 子の 軸 らの 、 子の 、 4次の補 数、 6次の補 数、C 8次の 補 数、Z 上での 面の )なる式で表されることを特徴とする 、請求 に記載の 学系。 2 R2 Z surface of the surface, from the reference plane to the axis of the child, of the child, of the 4th order of complement, of the 6th order of complement, of the C 8th order of complement, of the surface on Z) The academic system of the claim, characterized by being represented. 3 面鏡及び ンズの ( )式に基 形状及び 置をThe shape and position of the three-sided mirror and 2 (2)  twenty two) D  D (0 子に対する光の入 角度、 の )なる評価 数に基 て、 その値が最小となるよ にして最適 することを特徴とする、請求 2に記載の According to claim 2, characterized in that, based on the evaluation number (of the incident angle of light with respect to zero), the value is optimized so as to be the minimum. 学系。 Academic system. 4 の ンズの、前記 の 記入 における形状及び 置が、上記( )式にお て、Z 8・ 8、 、 C として最適 されたことを特徴 とする、請求 2又は3に記載の 学系。The academic system according to claim 2 or 3, characterized in that the shape and position of the four dots in the above-mentioned entry are optimized as Z8, 8, and C in the above formula (). 5 の ンズの、前記 面鏡 の 状及び 置が、上記( )式にお て 一 The shape and position of the surface mirror of the lens of 5 are 、Z 8 8、 0 , Z 8 8, 0 433 6、 g・ 3768X 、 3・ 24485X C として最適 されたことを特徴とする、請求 2~4の ずれ 一に記載の 学系。433 6, g · 3768X, 3 · 24485X C, characterized in that it is characterized by the deviation of claims 2 to 4 Academic system. 6 2の の、前記 の 記入 における形状及び 置が、上記( )式にお て、Z 5、 8938 3、 5 763 5 2 939 2 C 4 7 85 として最適 されたことを特徴とする、請求 2~5の ずれ 一に記載の 学系。6 2 The shape and position in the above-mentioned entry are optimized as Z 5, 8938 3, 5 763 5 2 939 2 C 4 7 85 in the above formula (), claim 2 The gap between 5 and 5 7 2の ンズの、前記 面鏡 の 状及び 置が、上記( )式にお て 、Z ・ 5、 8938 3、 5 763 5X 2 93923 C 4・ 7 85 として最適 されたことを特徴とする、請求 2~6の ずれ 一 に記載の 学系。The shape and position of the surface mirror of the lens of 7 2 are optimized as Z ・ 5, 8938 3, 5 763 5X 2 93923 C 4 ・ 7 85 in the above formula (). The academic system according to claim 1. 8 3の ンズの、前記 の 記入 における形状及び 置が、上記( )式にお て、Z 5 8、 433 6、 9 3768X 3 2448 5X C として最適化されたことを特徴とする、請求 2~7の ずれ 一に 記載の 学系。Claim 2 ~, characterized in that the shape and position of the 8 3 nds in the above-mentioned entry are optimized as Z 58, 433 6, 9 3768X 3 2448 5X C in the above formula (). Academic discipline described in Part 1 of 7. 9 3の ンズの、前記 面鏡 の 状及び 置が、上記( )式にお て 、Z 8・ 8、 、 C として最適 されたことを特徴とする、請求 2 ~8の ずれ 一に記載の 学系。 The shape and position of the mirror of the lens of 9 3 are optimized as Z 8 · 8, and C in the above formula (), according to any one of claims 2 to 8. Academic system. 0 面鏡の、前記 の 記入 における形状及び 置が、上記( )式にお て、Z 9 3 The shape and position of the 0-faced mirror in the above-mentioned notation are Z 9 3 in the above formula (). 0 ・ 8、 897・4、 C として最適 されたことを特徴とする 、請求 2~9の ずれ 一に記載の 学系。  The academic system according to any one of claims 2 to 9, characterized by being optimized as 0, 8, 897.4, C. の ンズ、前記 2の ンズ 3の ンズの な とも一 は ネ ンズであることを特徴とする、請求 ~ の ずれ 一に記 載の 学系。 According to claim 1, the academic system described in claim 1 is characterized in that at least one of the above-mentioned 2nd and 3rd one is a lens. 2 の 25 以上であ て、前記 スポットサイズが 以下であるこ とを特徴とする、請求 ~皿の ずれ 一に記載の 学系。 2. The academic system according to claim 1, wherein the spot size is 25 or more and the spot size is 2 or less. 3 面鏡と、この 面鏡の にお て、光の入 側 ら順次に第 の  In the three-sided mirror and this one, the first side ンズ、 2の ンズ 3の ンズとを設ける工程と、  And 2 and 3 and 3, 前記 面鏡と前記 3の ンズとの間に焦点 を設定する工程と、  Setting a focus between the mirror and the lens of 3; 前記 面鏡及び ンズの 状及び 置を 3 z Z ( )Check the shape and position of the mirror and lens. 3 z Z ()
Figure imgf000012_0001
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Z : 上での 面の (Z 子における表面の、基準面 らの 子の 軸 らの 、 子の 、 4次の補 数、 6次の補 数、C 8次の 補 )なる式で表すとともに、 Z: is expressed by the formula of (the surface of Z, the surface of Z, the axis of the child of the reference plane, the child's 4th complement, the 6th complement, and the C 8th complement of Z). , 前記 面鏡及び ンズの ( )式に基 前記 状及び 置を 4 Ⅸ (  Based on the formula () of the surface mirror and the lens, the shape and position are described in 4 Ⅸ ( (0 子に対する光の入 角度、 の )なる評価 数に基 て、 その値が最小となるよ にして最適 することを特徴とする、反射 学系の 御方 法。Based on the evaluation number (of the incident angle of light with respect to the zero), the value is optimized so that the value is minimized. 4 の ンズの、前記 の 記入 における形状及び 置が、上記( )式にお て、Z 8・ 8、 、 C として最適 されたことを特徴 とする、請求 3に記載の 学系の 御方法。The method of controlling an academic system according to claim 3, characterized in that the shape and position of the four dots in the above-mentioned entry are optimized as Z 8.8, and C in the above formula (). 5 の ンズの、前記 面鏡 の 状及び 置が、上記( )式にお て 、Z 8 8、 一The shape and position of the mirror of the lens of 5 is Z 8 8 433 6、 g 0  433 6, g 0 ・ 3768X 、 3・ 24485X C として最適 されたことを特徴とする、請求 3又は 4に記載の 学系の 御方法。 ・ The method for controlling an academic system according to claim 3 or 4, characterized in that it is optimized as 3768X and 3 / 24485X C. 6 2の ンズの、前記 の 記入 における形状及び 置が、上記( )式にお て、Z 5、 8938 3、 5 763 5 2 939 2 C 4 7 85 として最適 されたことを特徴とする、請求 ~ の ずれ 一に記載の 学系の 御方法。 7 2の ンズの、前記 面鏡 の 状及び 置が、上記( )式にお て 、Z ・ 5、 8938 3、 5 763 5X 2 93923 C 4・ 7 85 として最適 されたことを特徴とする、請求 3~ 6の ずれ 一に記載の 学系の 御方法。The shape and position of the 6 2nd lens in the above-mentioned entry are optimized as Z 5, 8938 3, 5 763 5 2 939 2 C 4 7 85 in the above formula (). The difference between the following methods of academic system. The shape and position of the surface mirror of the lens of 7 2 are optimized as Z ・ 5, 8938 3, 5 763 5X 2 93923 C 4 ・ 7 85 in the above formula (). The method of controlling an academic system according to claim 3-6. 8 3の ンズの、前記 の 記入 における形状及び 置が、上記( )式にお て、Z 5 8、 433 6、 9 3768X 3 2448 5X C として最適化されたことを特徴とする、請求 3~ 7の ずれ 一に記載の 学系の 御方法。 Claim 3 ~, characterized in that the shape and position of the 8 3 nds in the above-mentioned entry are optimized as Z 5 8, 433 6, 9 3768X 3 2448 5X C in the above formula (). Method of academic system described in 1 of 7. 9 3の ンズの、前記 面鏡 の 状及び 置が、上記( )式にお て 、Z 8・ 8、 、 C として最適 されたことを特徴とする、請求 3~ 8の ずれ 一に記載の 学系の 御方法。 9. The shape and position of the mirror of the lens of 9 3 are optimized as Z 8 · 8, and C in the above formula (), according to any one of claims 3 to 8. Academic method. 20 面鏡の、前記 の 記入 における形状及び 置が、上記( )式にお て、Z 9 3The shape and position of the 20-faced mirror in the above-mentioned notation are Z 9 3 0 ・ 8、 897・4、 C として最適 されたことを特徴とする 、請求 3~ 9の ずれ 一に記載の 学系の 御方法。 The method of controlling an academic system according to any one of claims 3 to 9, characterized by being optimized as 0, 8, 897.4, and C. 2 ( )式及び上記(2)式を用 た最適 に基 て、前記 の ンズ、前 記 2の ンズ 3の ンズの な とも一 を ネ ンズ ら 成することを特徴とする、請求 3~2 の ずれ 一に記載の 学系 の 御方法。2 to 3, characterized in that, based on the equation (2) and the optimum using the above equation (2), one of the above-mentioned lens and the lens of the above-mentioned lens 3 is formed from the lens. The method of controlling the academic system described in Section 1. 22 の 25 以上であ て、前記 スポットサイズが 以下であるこ とを特徴とする、請求 3~2 の ずれ 一に記載の 学系の 御方法。 22. The method according to claim 3, wherein the spot size is 25 or more and the spot size is less than or equal to 22.
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