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WO2006057053A1 - 放電表面処理用電極及び放電表面処理方法並びに放電表面処理装置 - Google Patents

放電表面処理用電極及び放電表面処理方法並びに放電表面処理装置 Download PDF

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WO2006057053A1
WO2006057053A1 PCT/JP2004/017699 JP2004017699W WO2006057053A1 WO 2006057053 A1 WO2006057053 A1 WO 2006057053A1 JP 2004017699 W JP2004017699 W JP 2004017699W WO 2006057053 A1 WO2006057053 A1 WO 2006057053A1
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WO
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powder
electrode
surface treatment
discharge surface
discharge
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PCT/JP2004/017699
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French (fr)
Inventor
Akihiro Goto
Kazushi Nakamura
Masao Akiyoshi
Hiroyuki Teramoto
Hiroyuki Ochiai
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
IHI Corp
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Ishikawajima Harima Heavy Industries Co Ltd
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Publication date
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Priority to TW094105535A priority patent/TWI256325B/zh
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Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

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Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C26/00—Coating not provided for in groups C23C2/00 - C23C24/00
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F2998/00—Supplementary information concerning processes or compositions relating to powder metallurgy
    • B22F2998/10—Processes characterised by the sequence of their steps

Definitions

  • the present invention generates a pulsed discharge between a molded body electrode formed by solidifying a metal powder, a metal compound powder, or a ceramic powder, and the workpiece, and the energy is used to generate the workpiece.
  • the present invention relates to a discharge surface treatment for forming a film made of an electrode material or a material obtained by reacting an electrode material with discharge energy on the surface, and particularly relates to the production of a molded electrode.
  • a technique for improving the corrosion resistance and wear resistance by coating the surface of a metal material by a submerged electric discharge machining method is disclosed in, for example, WC (Tungsten) as disclosed in JP-A-5-148615.
  • This electrode material is deposited on the work by performing pulse discharge in liquid with an electrode formed by mixing carbide and Co powder and compression molding, and then using another electrode (for example, copper electrode, graphite electrode)
  • a method has been established for remelting electrical discharge machining to obtain higher hardness and higher adhesion.
  • Non-Patent Document 1 The literature based on the study by the present inventors shows that a thick film of about 3 mm can be formed using a WC-Co (9: 1) electrode (see Non-Patent Document 1).
  • the film formation is unstable and difficult to reproduce, it appears to be dense with a metallic luster at first glance, but it is a brittle film with many vacancies, and it is weak enough to be removed when rubbed strongly with metal pieces. It was.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 5-148615
  • Patent Document 2 JP-A-9-192937
  • Patent Document 3 Patent No. 3227454
  • Non-Patent Document 1 “Formation of Thick Film by Discharge Surface Treatment (EDC)” Akihiro Goto et al., Mold Technology, (1999), Nikkan Kogyo Shimbun
  • the inventors have found that a dense thick film can be formed when a predetermined amount or more of a material that does not easily become carbide is mixed in the electrode material.
  • Co Cobalt
  • thicker films can be obtained by increasing the number of materials such as Ni (nickel) and Fe (iron).
  • the electrode is produced mainly by compression molding in which powder is put into a mold and pressed.
  • the 1S electrode size increases, it becomes difficult to produce a uniform product by pressing.
  • the size of the electrode to be manufactured is pressed because the Co alloy powder is pressed from above and below in a predetermined mold. This is because the pressure is not transmitted as the upper and lower press surface forces are separated, and the central portion is not sufficiently compressed.
  • the present invention has been made in view of the above, and establishes a technique for uniformly and stably manufacturing an electrode for discharge surface treatment by a discharge pulse in a liquid regardless of size. With the goal.
  • An electrode for discharge surface treatment generates a pulsed discharge between a metal powder, a metal compound powder, or a molded electrode formed from a ceramic powder and a workpiece, With this energy, a discharge surface treatment that forms an electrode material on the workpiece surface or a coating made of a material that reacts with the discharge energy of the electrode material!
  • a discharge surface treatment that forms an electrode material on the workpiece surface or a coating made of a material that reacts with the discharge energy of the electrode material!
  • a liquid of water or organic solvent with a dispersant added a metal Powder, metal compound powder, or A step of mixing a ceramic powder to prepare a liquid mixed powder; a step of pouring the mixed powder into a mold; and removing the liquid by volatilization or absorption into the mold to form a powder compact; Heating the powder compact to a temperature at which electrical conductivity is obtained.
  • the discharge surface treatment electrode according to the present invention can improve the uniformity of the electrode and can improve the film formation.
  • a large-shaped electrode can be easily formed, even when a small electrode is required, a large electrode force can be cut out and used, and the productivity of the electrode can be increased.
  • FIG. 1 is an explanatory diagram for explaining the production of an electrode for discharge surface treatment.
  • FIG. 2 Process for manufacturing electrodes for discharge surface treatment.
  • FIG. 3 Shows the relationship between the heating temperature when a powder compact made of Co alloy powder is heated for 1 hour and the electrical resistance value after heating at that temperature!
  • FIG. 4 is a diagram showing a state in which discharge surface treatment is performed.
  • FIG. 5 is a diagram showing the relationship between voltage and current in discharge surface treatment.
  • FIG. 1 is an explanatory diagram for explaining the production of an electrode for discharge surface treatment in Embodiment 1 of the present invention.
  • acetone which is an organic solvent to which a dispersant 2 is added in a container 1
  • a Co alloy powder serving as a discharge surface treatment electrode are mixed to produce a mixed powder liquid.
  • the electrode material may be, for example, an alloy powder material such as a Ni alloy or Fe alloy, a metal powder of Co, Ni or Fe alone, a conductive ceramic, or a powder in which a plurality of metal ceramics are mixed.
  • the metal element is not limited to these materials.
  • a predetermined amount that is, 40% by volume or more, more desirably 50% by volume or more, of a metal that does not form carbide or is hard to be carbonized, such as Co, Ni, Fe, etc. You should be! /
  • volume% of the material in the alloy is difficult to define, here, the ratio of the value obtained by dividing the weight of each powder to be mixed by the density of each material is defined as volume%.
  • Co with (cobalt) alloy (chromium) is the volume 0/0 of Co (cobalt) is ((weight% of Co) / (specific gravity of Co)) ⁇ (((weight% of Cr) / (Cr specific gravity)) + ((Co weight%) Z (Co specific gravity))).
  • the material to be mixed as an alloy has a material with a specific gravity close to the original, it is almost the same as the weight percentage.
  • the liquid to be mixed with the powder is not limited to acetone, but may be an organic solvent such as alcohol or toluene, or water if it is a material that is difficult to oxidize, such as ceramics or metal such as Co.
  • FIG. 2 shows a process for manufacturing an electrode for discharge surface treatment according to the present embodiment.
  • 3 is a mold made of a porous material such as gypsum
  • 4 is a powder compact formed by removing the organic solvent from the mixed powder liquid 2.
  • the process for manufacturing the electrode for discharge surface treatment roughly includes the following steps.
  • the powder compact can be easily taken out.
  • a mold 3 made of gypsum add a Co alloy powder with an average particle size of 1 to 2 ⁇ m or less, and a mixture 2 of an organic solvent and a dispersant.
  • a dispersing agent stearic acid is added about 3 wt% of the Co alloy.
  • the powder compact can be taken out by splitting the split mold.
  • the surface of the molded electrode is polished.
  • the powder compact 4 has good electrical conductivity and can be used as an electrode for discharge surface treatment, but in most cases, the electrical resistance is too high, In many cases, the strength is too weak to be used as an electrode as it is.
  • the powder molded body 4 is heated so that it can be used as an electrode for discharge surface treatment.
  • the powder compact 4 is made of a powder material, so it is easy to oxidize! For this reason, if the powder is heated simply, the powder will oxidize and adversely affect the conductivity of the electrode. Therefore, it is desirable to heat in an atmosphere such as a vacuum furnace!
  • FIG. 3 shows the relationship between the heating temperature when the powder compact 4 made of Co alloy powder is heated for 1 hour and the electrical resistance value after heating at that temperature.
  • the electric resistance value before heating varies depending on the material, etc. Usually, it is a value of 10 ⁇ or more, and it cannot be used as an electrode for discharge surface treatment.
  • the electrical resistance can be lowered by heating the powder compact 4.
  • the heating temperature is too high, the powder molded body 4 becomes too hard and becomes a so-called sintered state, and the electric resistance is reduced, but it cannot be used as an electrode for discharge surface treatment.
  • the temperature resistance at which the electric resistance drops below 1 ⁇ and the force does not become too hard The optimum heating temperature for the powder compact 4.
  • FIG. 4 shows a state where the discharge surface treatment is performed by the electrode manufactured by the above method.
  • the electrode 11 and the workpiece 12 are spaced apart from each other and placed in a working fluid 14 such as oil, and a discharge is generated by applying a pulsed voltage from the discharge surface treatment power source 14.
  • a working fluid 14 such as oil
  • 15 is the arc column of the discharge that is generated at the moment when the discharge occurs.
  • the discharge surface treatment power source 13 has a negative electrode polarity, and generates a pulsed discharge having a pulse width te of about several ⁇ m to several tens of ⁇ m as shown in FIG.
  • the film formed by the above method is uniform and has a constant performance even if the location of the electrode changes. It is a film.
  • the present embodiment it is possible to improve the uniformity of the electrode in the case of a carbide-based thin hard coating, and in particular, the uniformity of an electrode including a metal material that does not easily form carbides such as Co, Ni, and Fe. Improve sex.
  • a large-shaped electrode can be easily formed, so that even when a small electrode is required, a large electrode force can be cut out and used, and the productivity of the electrode can be increased.
  • the present invention relates to an electrode manufacturing technique used for discharge surface treatment.

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Abstract

　金属粉末、金属の化合物の粉末、あるいは、セラミックスの粉末を成形した成形電極と、ワークとの間にパルス状の放電を発生させ、そのエネルギにより、ワーク表面に電極材料あるいは電極材料が放電エネルギにより反応した物質からなる被膜を形成する放電表面処理において、分散剤を添加した水あるいは有機溶剤の液体中に、金属粉末、金属の化合物の粉末、あるいは、セラミックスの粉末を混合して液体混合粉末を作成する工程と、該混合粉末を型に流し込み、該液体を揮発あるいは前記型への吸収により除去し、粉末成形体を形成する工程と、該粉末成形体を導電性が得られる温度に加熱する工程と、からで放電表面処理用電極を製造する。

Description

放電表面処理用電極及び放電表面処理方法並びに放電表面処理装置 技術分野
[0001] 本発明は、金属粉末、金属の化合物の粉末、あるいは、セラミックスの粉末を固めて 成形した成形体電極と、ワークとの間にパルス状の放電を発生させ、そのエネルギに より、ワーク表面に電極材料あるいは電極材料が放電エネルギにより反応した物質か らなる被膜を形成する放電表面処理に関するものであり、特に、成形体電極製造に 関する。
背景技術
[0002] 液中放電加工法によって金属材料の表面をコーティングして、耐食性、耐磨耗性を 高める技術は、例えば、特開平 5— 148615号公報に開示されているように、 WC (タ ングステンカーバイド）と Coの粉末を混合して圧縮成形した電極で液中パルス放電を 行うことによりこの電極材料をワークに堆積させ、この後、別の電極 (例えば、銅電極 、グラフアイト電極）によって、再溶融放電加工を行い、より高い硬度と高い密着力を 得る方法が確立している。（特許文献 1参照）
また、特開平 9— 192937号公報に示されるように、 TiH2 (水素化チタン)など、金 属の水素化物の圧粉体を電極として、ワークとの間に放電を発生させると、 Ti等の材 料を使用する場合よりも、速くそして密着性よぐ硬質膜を形成できる技術が確立され ている。（特許文献 2参照）
また、日本特許第 3227454号公報に示されるように、予備焼結により強度の高い 表面処理電極製造技術が確立して!/ヽる。（特許文献 3参照)。
また、本発明者らの研究に基づく文献には、 WC- Co (9 : 1)電極を用いて 3mm程 度の厚膜が形成できたことが示されているが (非特許文献 1参照）、被膜形成が安定 せず再現が困難であること、一見金属光沢があり緻密に見えるが空孔が多く脆い被 膜であること、金属片などで強く擦ると除去されてしまうほど弱い状態であった。
[0003] 特許文献 1 :特開平 5 - 148615号公報
特許文献 2 :特開平 9— 192937号公報 特許文献 3：特許第 3227454号
非特許文献 1：「放電表面処理 (EDC)による厚膜の形成」後藤昭弘他、型技術、 ( 1999)、 日刊工業新聞社
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0004] 上記表面処理に用いられる電極としては、発明者らにより、電極材質中に炭化物に なりにくい材質を所定量以上混入すると、緻密な厚膜が形成できることが見出され、 Co (コバルト）、 Ni (ニッケル)、 Fe (鉄)などの材質を増やすことで厚膜がきることがわ かってきている。
しかしながら、前述の薄い硬質被膜の場合も厚膜を形成する場合も、その電極の製 造方法は、主に金型に粉末を入れてプレスする圧縮成形により製造される。
プレスにより圧縮成形する方法では、小さな電極を均一に製造することは可能である
1S 電極サイズが大きくなると、プレスでは、均一なものを製造することは困難になる。 例えば、 Coを主成分とする Co合金粉末をプレスして電極を製造する場合、 Co合金 粉末を所定の型に入れた状態で、上下から粉末を押すようにプレスするため、製造 する電極のサイズが大きくなると、上下のプレス表面力 離れるにしたがい圧力が伝 わらなくなり、中心部分が十分に圧縮されなくなるためである。
なお、このように均一に圧縮されず、品質にばらつきのある電極を用いて放電表面処 理を行うと、被膜の品質を安定に保つことが出来ない。
[0005] この発明は、上記に鑑みてなされたもので、液中での放電パルスによる放電表面処 理用の電極をサイズによらず、均一に安定して製造するための技術を確立することを 目的とする。
課題を解決するための手段
[0006] この発明に係る放電表面処理用電極は、金属粉末、金属の化合物の粉末、ある 、 は、セラミックスの粉末を成形した成形電極と、ワークとの間にパルス状の放電を発生 させ、そのエネルギにより、ワーク表面に電極材料あるいは電極材料が放電エネルギ により反応した物質からなる被膜を形成する放電表面処理にお!ヽて、分散剤を添カロ した水あるいは有機溶剤の液体中に、金属粉末、金属の化合物の粉末、あるいは、 セラミックスの粉末を混合して液体混合粉末を作成する工程と、該混合粉末を型に流 し込み、該液体を揮発あるいは前記型への吸収により除去し、粉末成形体を形成す る工程と、該粉末成形体を導電性が得られる温度に加熱する工程と、から製造するも のである。
発明の効果
[0007] 本発明に係わる放電表面処理用電極は、電極の均一性の改善を図ることができ、被 膜形成の改善を図れる。
また、大きな形状の電極が容易に成形できるため、小さな電極が必要な場合にも大 きな電極力も切り出して使うなどでき、電極の生産性をあげることができる。
図面の簡単な説明
[0008] [図 1]放電表面処理用電極製造の説明のための説明図である。
[図 2]放電表面処理用電極製造のためのプロセスである。
[図 3]Co合金粉末からできた粉末成形体を 1時間加熱した場合の加熱温度と、その 温度での加熱後の電気抵抗値との関係を示して!/ヽる。
[図 4]放電表面処理を行なって 、る様子を示して 、る図である。
[図 5]放電表面処理における電圧及び電流の関係を示す図である。
発明を実施するための最良の形態
[0009] 実施の形態 1.
以下、本発明の実施の形態について図を用いて説明する。
図 1は、本発明の実施の形態 1における放電表面処理用電極製造の説明のための 説明図である。
図において、容器 1で分散剤 2を添加した有機溶剤であるアセトンと放電表面処理電 極となる Co合金の粉末を混合し、混合粉末液体を製造する。
ここでは一例として、 Co合金粉末をアセトンに混合した場合で説明を行なうが、他 の電極材質でもよ 、ことは 、うまでな 、。
電極材料としては、例えば、 Ni合金、 Fe合金等の合金粉末材料、 Co、 Ni、 Fe単体 の金属粉末、導電性があるセラミックス、複数の金属'セラミックスを混合した粉末でも よい。なお、金属元素はこれらの材質だけには限らない。 なお、厚膜を形成するためには、炭化物を形成しないもしくは炭化しにくい金属、例 えば、 Co、 Ni、 Feなどが、所定量、すなわち、 40体積％以上、より望ましくは 50体積 %以上含まれて 、るのがよ!/、。
[0010] 合金での材料の体積％は定義しにくいが、ここでは、混合するそれぞれ粉末の重 量をそれぞれの材料の密度で割った値の比率を体積％としている。
例えば Co (コバルト）と (クロム）の合金の場合には Co (コバルト）の体積0 /0とは、（（ Coの重量％) / (Coの比重）） ÷ ( ( (Crの重量％) / (Crの比重） ) + ( (Coの重量％ )Z (Coの比重)））である。
合金として混合する材料の元々の比重が近い材料であれば、重量％とほぼ同じにな るのはいうまでない。
一方、粉末に混合する液体もアセトンに限らず、アルコール、トルエンなど有機溶剤 ならばよいし、セラミックスや、 Coなどの金属のように、酸化し難い材質であれば水で ちょい。
[0011] 図 2は、本実施の形態の放電表面処理用電極製造のためのプロセスである。
図において、 3は石膏などポーラスな材料カゝらなる型、 4は混合粉末液体 2から有機 溶剤が抜けてできた粉末成形体である。
次に、放電表面処理用電極製造のためのプロセスについて説明する。 粉末成形体 4を製造するプロセスは、おおよそ以下のような工程からなる。
1) 石膏で作った型 3を準備する。
ここで、割り型にしておくと、粉末成形体が取り出し易い。
2) 石膏で作った型 3に、平均粒径が 1から 2 μ m以下程度の Co合金粉末と、有機 溶剤と分散剤の混合物 2を入れる。ここで、分散剤としては、ステアリン酸を Co合金の 3wt%程度カ卩えている。
3) 混合粉末液体 2から溶剤を除去する乾燥工程。
有機溶剤が揮発あるいは型への吸収により減少
4) 有機溶剤のほとんどが揮発'型への吸収でなくなると Co合金が固まる。
5) 割り型を割ると粉末成形体が取り出せる。
なお、必要に応じて成形電極の表面研磨等を行う。 [0012] 粉末の材質'粒径によっては、粉末成形体 4の状態で通電性がよく放電表面処理 用電極として使用できる場合もあるが、たいていの場合には、電気抵抗が大きすぎ、 また、強度が弱すぎ、そのまま電極として使用するのは困難な場合が多い。
そこで、放電表面処理用電極として使用できる状態とするために、粉末成形体 4を加 熱する。
粉末成形体 4は、粉末材料カゝらできて ヽるため酸化しやす!/ヽ状態になって!/ヽる。 そのため単に加熱すると粉末の酸化がすすみ、逆に電極としての導電性に悪影響を 与えることがあるので、真空炉ある!、はアルゴン炉など酸ィ匕しな 、雰囲気で加熱する ことが望ましい。
[0013] 図 3は、 Co合金粉末からできた粉末成形体 4を 1時間加熱した場合の加熱温度と、 その温度での加熱後の電気抵抗値との関係を示している。
加熱前の電気抵抗値は材質などにより異なる力 通常 10 Ω以上の値であり、放電表 面処理用電極として使用できる状態にはな 、。
しかし、この粉末成形体 4を加熱することで、電気抵抗を下げることができる。
ここで、加熱温度が高すぎると、粉末成形体 4が硬くなりすぎ、いわゆる焼結の状態と なり、電気抵抗はさがるが、放電表面処理用電極としては使用できなくなる。電気抵 抗が 1 Ω以下に下がり、し力も、硬くなりすぎない温度力 粉末成形体 4の最適な加熱 温度である。
もちろん加熱しなくても十分な導電性がある場合にはかならずしも加熱の必要はない
[0014] 図 4は、上記方法で製作された電極により放電表面処理を行なっている様子を示し ている。
図に示されるように、電極 11とワーク 12を所定間隙離間して油などの加工液 14中に 配置し、放電表面処理用電源 14からパルス状の電圧を印加することにより放電を発 生させる。図中 15は放電が発生した瞬間にできる放電のアーク柱である。
放電表面処理用電源 13は、電極極性マイナスで、図 5に示すようなパルス幅 teは数 μ m—数 10 μ m程度のパルス状の放電を発生させる。
[0015] 以上の方法により形成した被膜は、電極の場所が変わっても均一であり、一定性能 の膜になっている。
また、電極サイズが大きくなつても電極の硬さ、電気抵抗などのばらつきが小さくなつ ており、被膜の品質を安定させることが可能になった。
本実施の形態によれば、炭化物系の薄い硬質被膜の場合の電極の均一性の改善を 図れると共に、特に、 Co、 Ni、 Feなどの炭化物を形成しにくい金属材料を含んだ電 極の均一性の改善を図れる。
また、本方法によると、大きな形状の電極が容易に成形できるため、小さな電極が必 要な場合にも大きな電極力も切り出して使うなどでき、電極の生産性をあげることがで きる。
産業上の利用可能性
本発明は、放電表面処理に使用する電極製造技術に関する。

Claims

請求の範囲
[1] 金属粉末、金属の化合物の粉末、ある!、は、セラミックスの粉末を成形した成形電 極と、ワークとの間にパルス状の放電を発生させ、そのエネルギにより、ワーク表面に 電極材料あるいは電極材料が放電エネルギにより反応した物質カゝらなる被膜を形成 する放電表面処理にぉ ヽて、
分散剤を添加した水あるいは有機溶剤の液体中に、金属粉末、金属の化合物の粉 末、あるいは、セラミックスの粉末を混合して液体混合粉末を作成する工程と、 該混合粉末を型に流し込み、該液体を揮発ある!/ヽは前記型への吸収により除去し、 粉末成形体を形成する工程と、
該粉末成形体を導電性が得られる温度に加熱する工程と、
から製造したことを特徴とする放電表面処理用電極。
[2] 粉末材料が炭化物を形成しな!、、もしくは形成し難!、金属材料を 40体積％以上含 むことを特徴とする請求項 1記載の放電表面処理用電極。
[3] 炭化物を形成しな 、もしくは形成し難 、金属材料が、 Co、 Ni、 Feであることを特徴 とする請求項 2記載の放電表面処理用電極。
[4] 金属粉末、金属の化合物の粉末、ある!、は、セラミックスの粉末を成形した成形電 極と、ワークとの間にパルス状の放電を発生させ、そのエネルギにより、ワーク表面に 電極材料あるいは電極材料が放電エネルギにより反応した物質カゝらなる被膜を形成 する放電表面処理にぉ ヽて、
分散剤を添加した水あるいは有機溶剤の液体中に、金属粉末、金属の化合物の粉 末、あるいは、セラミックスの粉末を混合して液体混合粉末を作成する工程と、 該混合粉末を型に流し込み、該液体を揮発ある!ヽは前記型への吸収により除去し、 粉末成形体を形成する工程と、
該粉末成形体を導電性が得られる温度に加熱する工程と、
からなる放電表面処理用電極製造方法。
[5] 粉末材料が炭化物を形成しな 、もしくは形成し難 、金属材料を 40体積％以上含 むことを特徴とする請求項 4記載の放電表面用電極製造方法。
[6] 炭化物を形成しな 、もしくは形成し難 、金属材料が、 Co、 Ni、 Feであることを特徴 とする請求項 5記載の放電表面処理方法。
[7] 分散剤を添加した水あるいは有機溶剤の液体中に、金属粉末、金属の化合物の粉 末、あるいは、セラミックスの粉末を混合した液体混合粉末を型に流し込み、該液体 を揮発あるいは前記型への吸収により除去して粉末成形体を形成した後、該粉末成 形体を導電性が得られる温度に加熱して製造した電極と、
該電極とワークとを力卩工液中に浸漬させる、あるいは、該電極とワークとの間に加工 液を供給する、加工液供給装置と、
該電極とワークとを力卩工液中に電圧を印加して、パルス状の放電を発生させる電源 装置と、を有し、ワーク表面に電極成分あるいは電極成分が放電により変化した成分 を主成分とする被膜を形成する放電表面処理装置。
[8] 電極成分が炭化物を形成しな!、もしくは形成し難!、金属材料を 40体積％以上含 むことを特徴とする請求項 7記載の放電表面処理装置。
[9] 炭化物を形成しな 、もしくは形成し難 、金属材料が、 Co、 Ni、 Feであることを特徴 とする請求項 7、 8記載の放電表面処理装置。
PCT/JP2004/017699 2004-11-29 2004-11-29 放電表面処理用電極及び放電表面処理方法並びに放電表面処理装置 Ceased WO2006057053A1 (ja)

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