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WO2006043377A1 - Sheet for forming solder bump and method for manufacture thereof - Google Patents

Sheet for forming solder bump and method for manufacture thereof Download PDF

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WO2006043377A1
WO2006043377A1 PCT/JP2005/016744 JP2005016744W WO2006043377A1 WO 2006043377 A1 WO2006043377 A1 WO 2006043377A1 JP 2005016744 W JP2005016744 W JP 2005016744W WO 2006043377 A1 WO2006043377 A1 WO 2006043377A1
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recess
powder
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Takeo Kuramoto
Kaichi Tsuruta
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Senju Metal Industry Co Ltd
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Definitions

  • the present invention is a method for producing a sheet for forming solder bumps in which a solder ball or solder powder is held at a predetermined position, including the following steps:
  • solder powder (Sn-3Ag-0.5Cu, melting point 217 ° C) having a particle size of 25 to 36 ⁇ m is placed on the surface of the resist layer of the sheet, and is ground with a squeegee to form all the depressions Filled with solder powder. Thereafter, excess solder powder that did not adhere to the recess was swept away with a brush and removed.

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Abstract

A method for manufacturing a sheet for forming a solder bump which comprises providing a sheet (1) having recesses (5) at prescribed positions, the bottom surface of the recess being comprised of an adhesive (3); filling the recess (5) with a solder powder (6) to thereby attach and hold the solder powder with the adhesive (3); removing the solder powder (6) being not held with the adhesive from the sheet (1); and coating the solder powder in the recess (5) of the sheet (1) with a flux or a thermoplastic resin layer having the function of a flux, to thereby manufacture a sheet for forming a solder bump holding a solder powder in respective recesses. Another method for manufacturing a sheet for forming a solder bump which further comprises heating the above resultant sheet (1), to convert the powder in each dent to one molten sphere (10); and cooling the sheet to form solidified solder balls (11) in respective recesses and thereby manufacture a sheet for forming a solder bump holding solder balls in respective recesses. The above sheet holds solder balls or lots of solder powder in the recesses formed in the sheet, with a loading rate of 100 %.

Description

明 細 書  Specification

はんだバンプ形成用シートとその製造方法  Solder bump forming sheet and manufacturing method thereof

技術分野  Technical field

[0001] 本発明は、シートの片面に設けた窪み内にはんだボール又ははんだ粉末を保持し た、はんだバンプ形成用シートとその製造方法に関する。このはんだバンプ形成用シ ートは、表面実装部品の電極上にはんだバンプを形成するのに適している。  The present invention relates to a solder bump forming sheet in which solder balls or solder powder is held in a recess provided on one side of the sheet, and a method for manufacturing the same. This sheet for forming solder bumps is suitable for forming solder bumps on the electrodes of surface mount components.

背景技術  Background art

[0002] 表面実装部品(SMD)とは、プリント基板の表面に形成されたランドに直接はんだ で接合して実装するようにパッケージ化された電子部品であり、はんだ付けは一般に リフローソルダリングにより行われる。表面実装部品を用いたプリント基板の実装方式 は表面実装技術 (SMT)と呼ばれ、近年の電子機器の小型化、高性能化、高密度化 、低コストィ匕の実現に大きく貢献している。  [0002] A surface mount component (SMD) is an electronic component that is packaged so that it can be directly soldered and mounted on a land formed on the surface of a printed circuit board. Soldering is generally performed by reflow soldering. Is called. The method of mounting printed circuit boards using surface mount components is called surface mount technology (SMT), and has greatly contributed to the recent miniaturization, high performance, high density, and low cost of electronic devices.

[0003] 表面実装部品のうち、 QFP (Quad Flat Package)、 PLCC (Plastic Leaded Chip Car rier)、 SOP (Small Outline Package)、 SOJ (Small Outline J- bend package)等は、部 品の側面力 突き出た端子 (リード)を有する。この種の表面実装部品のプリント基板 への実装は、プリント基板のランドにソルダペーストを塗布し、ランドに表面実装部品 のリードを合わせて部品を搭載してソルダペーストの粘着力で部品を基板上に保持 した後、プリント基板をリフロー炉で加熱して、ソルダペーストを溶融させ、表面実装 部品をプリント基板にはんだ付けすることにより行われる。このような部品側面にリード を有する表面実装部品は、端子数を大きく増やすことができず、多機能化には制約 がある。  [0003] Among surface-mounted components, QFP (Quad Flat Package), PLCC (Plastic Leaded Chip Carrier), SOP (Small Outline Package), SOJ (Small Outline J-bend package), etc. It has a terminal (lead). When mounting this type of surface mount component on a printed circuit board, solder paste is applied to the land of the printed circuit board, the surface mount component lead is aligned with the land, and the component is mounted on the substrate by the adhesive strength of the solder paste. Then, the printed circuit board is heated in a reflow furnace to melt the solder paste, and solder the surface mount components to the printed circuit board. Such surface-mounted components that have leads on the side of the component cannot greatly increase the number of terminals, and there are restrictions on the increase in functionality.

[0004] そのため、現在では、 BGA (Ball Grid Array)、 CSP (Chip Size Package)、 TAB (T ape Automated Bonding)、 MCM (Multi Chip Module)といった、部品の底面(または 上面)に所定パターンで配置されたはんだバンプを端子として利用する、より小型化 と多機能化が可能な表面実装部品が多く使用されるようになってきた。以下、この種 の底面端子型の表面実装部品を単にワークと称することがある。  [0004] Therefore, at present, BGA (Ball Grid Array), CSP (Chip Size Package), TAB (Tape Automated Bonding), MCM (Multi Chip Module), etc. are arranged in a predetermined pattern on the bottom (or top) of the part. Surface mount components that use smaller solder bumps as terminals and that can be made smaller and more multifunctional have come to be used. Hereinafter, this type of bottom surface terminal type surface-mounted component is sometimes simply referred to as a workpiece.

[0005] BGM、 CSP等の底面端子型の表面実装部品(ワーク)のプリント基板への実装は、 ワークの底面に端子として形成されたはんだバンプを利用して行われる。通常は、プ リント基板のランドにフラックスを塗布し、ランドにワークのはんだバンプを合わせてヮ ークを搭載し、フラックスの粘着力でワークを基板上に保持する。その後、基板をリフ ロー炉で加熱し、ワーク底面のはんだバンプを溶融させて、ワークとプリント基板とを はんだ付けする。 [0005] BGM, CSP and other bottom surface type surface mount components (workpieces) are mounted on a printed circuit board. This is performed using solder bumps formed as terminals on the bottom surface of the workpiece. Usually, flux is applied to the land of the printed circuit board, and the workpiece is mounted on the land by aligning the solder bump of the work with the land, and the work is held on the board by the adhesive force of the flux. After that, the substrate is heated in a reflow oven to melt the solder bumps on the bottom of the workpiece and solder the workpiece to the printed circuit board.

[0006] ワークのはんだバンプは、ワーク底面に存在する電極の上に形成される。はんだバ ンプの形成は、ワークの電極に粘着性のフラックスまたはソルダペーストを塗布し、該 塗布部にはんだボールを搭載することにより行われる。はんだボールが搭載されたヮ 一クをリフロー炉で加熱してはんだボールを溶融させると、ワークの電極上にはんだ バンプが形成される。  [0006] Solder bumps of the workpiece are formed on the electrodes present on the bottom surface of the workpiece. The solder bump is formed by applying an adhesive flux or solder paste to the workpiece electrode and mounting a solder ball on the application part. When a solder ball is heated in a reflow furnace to melt the solder ball, solder bumps are formed on the workpiece electrodes.

[0007] 従来のワーク(底面端子型の SMD)は、 30 X 30mmのワーク基板〖こ 150〜250個 の電極を有し、隣接した電極間のピッチは 1.0〜 1.2mm ( 1000〜 1200 m)のよう な広いピッチであった。そのため、直径 0.76mm (760 m)という比較的大きなはん だボールが使用できた。しかし、電子機器のさらなる小型化に伴ってワークはより小 型化し、小型化されたワークに使用するはんだボールも小さいものとなってきている。 例えば、 10 X 10mmのワーク基板に 400個の電極が形成されたワークでは、隣接し た電極間のピッチが 0.5mm以下という狭ピッチになっている。このような狭ピッチのヮ ークに使用するはんだボールは、直径 0.3mm (300 μ m)以下という微小サイズのも のとなる。  [0007] The conventional workpiece (bottom terminal type SMD) has a 30 x 30mm workpiece substrate with 150 to 250 electrodes, and the pitch between adjacent electrodes is 1.0 to 1.2mm (1000 to 1200 m) It was a wide pitch like this. Therefore, a relatively large solder ball with a diameter of 0.76 mm (760 m) could be used. However, with the further miniaturization of electronic devices, workpieces have become smaller and the solder balls used for the miniaturized workpieces have become smaller. For example, in a workpiece in which 400 electrodes are formed on a 10 x 10 mm workpiece substrate, the pitch between adjacent electrodes is as narrow as 0.5 mm or less. Solder balls used in such narrow pitch forks are of a very small size with a diameter of 0.3 mm (300 μm) or less.

[0008] 従来の広ピッチのワークの場合、ワークへのはんだボールの搭載は、ワークの電極 に対応する位置に吸引孔を有する吸引治具により行われていた。はんだボールをこ の治具の吸引孔に吸引保持した後、治具をワーク上に移動させて電極力 少し離し た状態に配置する。その後、治具の吸引孔からの逆噴射によりはんだボールを治具 力 リリースすることにより、ワークの電極上にはんだボールが載置される。  [0008] In the case of a conventional wide-pitch workpiece, mounting of solder balls on the workpiece has been performed by a suction jig having suction holes at positions corresponding to the workpiece electrodes. After the solder ball is sucked and held in the suction hole of this jig, the jig is moved onto the workpiece and placed in a state where the electrode force is slightly separated. Then, the solder balls are placed on the workpiece electrodes by releasing the solder balls from the jig suction holes by reverse injection.

[0009] し力し、はんだボールが直径 0.3mm以下の微小サイズであると、吸引孔を有する 治具によるはんだボールの搭載には、さまざまな問題が出てくる。例えば、治具で吸 引する時に、はんだボールが全ての吸引孔に吸引されない、治具からはんだボール をリリースする時に、はんだボールが治具の吸引孔に詰まって吸引孔から出てこない 、逆噴射時にはんだボールが吹き飛ばされて所定の電極上に載置されない、といつ た不具合が起こりうる。 [0009] If the solder ball is a minute size having a diameter of 0.3 mm or less, various problems arise in mounting the solder ball with a jig having a suction hole. For example, when sucking with a jig, the solder balls are not sucked into all the suction holes. When releasing the solder balls from the jig, the solder balls are clogged with the jig's suction holes and do not come out of the suction holes. If the solder ball is blown off during reverse injection and is not placed on a predetermined electrode, there may be a problem.

[0010] そこで、狭ピッチのワークに対しては、吸引治具を用いず、はんだボールを所定位 置に保持して!/、るはんだボール配置シートを用いて、はんだボールをワークの電極 上に搭載することが行われている。はんだボール配置シートは、その片面にワークの 電極に対応する位置に形成された多数の窪みを有していて、各窪みの内部に、はん だボールが一個ずつ保持されて ヽる。  [0010] Therefore, for a narrow-pitch workpiece, hold the solder ball at a predetermined position without using a suction jig! / Use the solder ball placement sheet to place the solder ball on the workpiece electrode. It is done to be installed. The solder ball arrangement sheet has a large number of dents formed at positions corresponding to the workpiece electrodes on one side, and one solder ball is held inside each dent.

[0011] このはんだボール配置シートを用いてワークの電極にはんだバンプを形成するに は、予めワークの電極にソルダペーストまたはフラックスを塗布しておく。その後、配 置シートを、はんだボールの保持面を下向きにして、各はんだボールがワークの電極 に対向するようにワークの上に載置する。その後、配置シートを加圧しながら、はんだ が溶融しない温度に加熱して、はんだボールをワークの電極上に仮止めすることが 好ましい。その場合は、仮止め後に配置シートを取り除く。次いで、はんだボールが 電極上に配置されたワークを加熱して、はんだボールを溶融させる。ワークの電極上 ではんだボールが溶融すると、電極には予めソルダペーストまたはフラックスが塗布 されているため、電極は溶融したはんだボールで濡れ、電極上にはんだバンプが形 成される。仮止めを行わな力つた場合には、ワーク上に配置された配置シートを加圧 しながら加熱し、はんだバンプ形成後に配置シートを取り除く。  In order to form solder bumps on workpiece electrodes using the solder ball arrangement sheet, solder paste or flux is applied to the workpiece electrodes in advance. After that, the placement sheet is placed on the workpiece with the solder ball holding surface facing downward so that each solder ball faces the workpiece electrode. After that, it is preferable to temporarily fix the solder ball onto the workpiece electrode by heating the placement sheet while heating it to a temperature at which the solder does not melt. In that case, the placement sheet is removed after temporary fixing. Next, the work in which the solder balls are arranged on the electrodes is heated to melt the solder balls. When the solder balls are melted on the workpiece electrodes, solder paste or flux is applied to the electrodes in advance, so that the electrodes are wetted by the molten solder balls and solder bumps are formed on the electrodes. When force is applied without temporary fixing, the placement sheet placed on the workpiece is heated while being pressed, and the placement sheet is removed after the solder bumps are formed.

[0012] 従来のはんだボール配置シートは、別途製造してお!、た微小なはんだボールをシ ートの微小な窪みに一つずつ装填することにより製造されている。窪み内に装填され たはんだボールを粘着剤で保持するカゝ、シート表面をカバーフィルムまたは榭脂で 覆うことにより、はんだボール保持面を下向きにして配置シートをワーク上に載置する 時にシートからはんだボールが脱落するのを防止している。特開平 2— 295186号、 特開平 8— 309523号、特開平 10— 51123号、特開 2003— 204144号、特開 200 4— 80024号、および特開 2004— 193334号の各公報を参照。  [0012] A conventional solder ball arrangement sheet is manufactured separately! It is manufactured by loading minute solder balls one by one in a minute recess of a sheet. Cover the solder balls loaded in the recess with adhesive, cover the sheet surface with a cover film or grease, and place the placed sheet on the workpiece with the solder ball holding surface facing down. This prevents the solder balls from falling off. See JP-A-2-295186, JP-A-8-309523, JP-A-10-51123, JP-A-2003-204144, JP-A-2004-80024, and JP-A-2004-193334.

[0013] しかし、微小はんだボールの製造には多大な手間がかかり、さらに微小はんだボー ルを配置シートの小さな窪みに一つずつ装填するのにも手間がかかる。また、窪み 内におけるはんだボールの保持力も十分ではない場合がある。 [0014] 微小はんだボールの製造は一般に、先ず非常に細い径の線状はんだを作り、この 線状はんだを所定の長さに切断してはんだチップにし、このはんだチップを油中で球 状にすることにより行われている。しかし、この方法は、次に述べるように、非常に多く の工程を必要とする。 [0013] However, it takes much time to manufacture the fine solder balls, and it also takes time to load the fine solder balls one by one in the small recesses of the arrangement sheet. Also, the holding force of the solder ball in the recess may not be sufficient. [0014] In general, a fine solder ball is generally manufactured by first producing a linear solder with a very thin diameter, cutting the linear solder into a predetermined length, and then soldering this solder chip into a spherical shape in oil. Is done by doing. However, this method requires a large number of steps as described below.

[0015] 細径の線状はんだを作るには、大きなはんだビレットを押出機で押出して中間径の 線状はんだにし、この中間径の線状はんだを引き抜き機械で多数のダイスを通過さ せて細径にする、時間の力かる多くの工程を必要とする。この細径の線状はんだを力 ッターで所定長さに切断して、はんだチップを作る。得られたはんだチップを油中造 球法によりはんだボールに成形する。油中造球法では、上部が高温、下部が低温と なった油中にはんだチップを投入する。油の上部で、はんだチップが溶融して、表面 張力により球状になり、それが油中を下降して低温の下部に達すると、冷却固化して はんだボールになる。油中造球法で製造されたはんだボールは、表面に油が付着し ているため、油を除去する洗浄工程と、その後の乾燥工程が必要である。  [0015] In order to make a small-diameter linear solder, a large solder billet is extruded by an extruder into an intermediate-diameter linear solder, and this intermediate-diameter linear solder is pulled out and passed through a large number of dies by a drawing machine. It requires many time-consuming processes to reduce the diameter. This thin wire solder is cut into a predetermined length with a force cutter to make a solder chip. The obtained solder chip is formed into a solder ball by a ball-in-oil method. In the ball-in-oil method, the solder tip is poured into oil with the upper part at a high temperature and the lower part at a low temperature. At the upper part of the oil, the solder chip melts and becomes spherical due to surface tension, and when it descends into the oil and reaches the lower part of the low temperature, it cools and solidifies into solder balls. Since the solder balls manufactured by the ball-in-oil method have oil on the surface, a cleaning process to remove the oil and a subsequent drying process are required.

[0016] こうして製造された微小はんだボールを配置シートの窪みに装填するには、シート 上に多数の微小はんだボールを載置し、微小はんだボールをブラシで掃きながらシ ートに形成された全ての窪みの中に入れる。しかし、微小はんだボールをブラシで掃 くと、はんだボールが転がって、ブラシ力も離れて四散する。そのため、装填すべき窪 みにはんだボールが入りにくぐ全ての窪みにはんだボールが入った装填率 100% を得るのに非常な手間がかかる。はんだボール配置シートでは、はんだボールが入 つていない窪みが一箇所でもあると、ワークの全ての電極上にはバンプが形成され ずに、不良品の原因となる。  [0016] In order to load the manufactured fine solder balls into the depressions of the arrangement sheet, a large number of the fine solder balls are placed on the sheet, and all of the fine solder balls formed on the sheet are swept with a brush. Put it in the dent. However, when a small solder ball is swept with a brush, the solder ball rolls and the brush force is also separated and scattered. For this reason, it takes a lot of work to obtain a loading rate of 100% in which all the dents are filled with solder balls. In the solder ball arrangement sheet, if there is even one recess that does not contain solder balls, bumps are not formed on all the electrodes of the workpiece, causing defective products.

[0017] また、従来のはんだボール配置シートでは、特定の窪みだけに他のものより大径ま たは小径のはんだボールを充填することは実際上非常に困難である。  [0017] In addition, in the conventional solder ball arrangement sheet, it is actually very difficult to fill only specific recesses with solder balls having a diameter larger or smaller than the others.

発明の開示  Disclosure of the invention

[0018] 本発明は、従来のはんだボール配置シートと同様に、シートの各窪みにはんだボ ールを保持したはんだバンプ形成用シートの製造方法を提供する。この製造方法は 、 V、ずれも手間の力かる「はんだボールの製造」と「シートの窪みへのはんだボール の装填」のどちらも不要にする。 [0019] 本発明はまた、シートの窪みにはんだ粉末を保持した、はんだバンプ形成用シート とその製造方法も提供する。このはんだバンプ形成用シートは、シートの窪み内には んだボールの代りにはんだ粉末を保持するものである力 従来のはんだボール配置 シートと同様の操作によりワークの電極上にはんだバンプを形成することができる。 [0018] The present invention provides a method for producing a sheet for forming solder bumps, in which a solder ball is held in each recess of the sheet, as in the conventional solder ball arrangement sheet. This manufacturing method eliminates the need for both “manufacture of solder balls” and “loading of solder balls into the dents of the sheet”, where V and misalignment are laborious. [0019] The present invention also provides a sheet for forming solder bumps in which solder powder is held in a recess of the sheet and a method for manufacturing the same. This solder bump forming sheet is a force that holds the solder powder in place of the solder balls in the recess of the sheet. Solder bumps are formed on the electrodes of the workpiece by the same operation as the conventional solder ball arrangement sheet. be able to.

[0020] 本発明はさらに、シートの窪みに必ずはんだボール又ははんだ粉末が存在する、 装填率 100%で、かつはんだボール又ははんだ粉末が窪みにしつ力り保持されてい る、はんだバンプ形成用シートを、確実かつ容易に製造することができる方法を提供 する。従って、このはんだバンプ形成用シートを利用して、ワークの全ての電極上に はんだバンプを確実に形成することができる。  [0020] The present invention further provides a sheet for forming a solder bump, in which a solder ball or solder powder is always present in the depression of the sheet, the loading rate is 100%, and the solder ball or solder powder is held in the depression. A method for reliably and easily manufacturing the device is provided. Therefore, solder bumps can be reliably formed on all the electrodes of the workpiece by using this solder bump forming sheet.

[0021] 本発明はさらに、はんだバンプを形成するワークの電極の一部が他の電極より大径 または小径である場合にも容易に対応できる、はんだバンプ形成用シートの製造方 法を提供する。  [0021] The present invention further provides a method for producing a solder bump forming sheet that can easily cope with a case where a part of a work electrode on which a solder bump is formed has a larger or smaller diameter than other electrodes. .

[0022] 本発明者らは、はんだ粉末は、ブラシやスキージで移動させたときに四散せずに、 山状になってブラシやスキージとともに移動すること、また一定面積の粘着部にはん だ粉末を付着させると、粘着部に接触した表層部分のはんだ粉末だけが付着する、 つまり平面的に一定量のはんだ粉末が付着するという、粉末固有の特性に着目して 、本発明に至った。  [0022] The present inventors have found that the solder powder does not scatter when moved with a brush or squeegee, moves in a mountain shape and moves with the brush or squeegee, and is soldered to an adhesive portion having a certain area. When the powder is applied, only the solder powder in the surface layer portion that is in contact with the adhesive portion is attached, that is, a certain amount of solder powder is attached in a planar manner, and the present invention has been achieved.

[0023] 1側面において、本発明は、下記工程を含む、所定位置にはんだボール又ははん だ粉末を保持した、はんだバンプ形成用シートの製造方法である:  [0023] In one aspect, the present invention is a method for producing a sheet for forming solder bumps in which a solder ball or solder powder is held at a predetermined position, including the following steps:

A.片面に、底面が粘着剤力も構成された多数の窪みを所定位置に有するシートを 準備し;  A. Prepare a sheet having a number of indentations in one position on one side, the bottom side of which also has adhesive strength;

B.シートの各窪みにはんだ粉末を充填して、窪み底面の粘着剤によりはんだ粉末 を付着保持し;  B. Fill each recess of the sheet with solder powder, and adhere and hold the solder powder with the adhesive on the bottom of the recess;

C.粘着剤で保持されて 、な 、はんだ粉末をシートから除去し、そして  C. Hold with adhesive, remove the solder powder from the sheet, and

D.シートの窪み内のはんだ粉末を被覆する。  D. Cover the solder powder in the recess of the sheet.

[0024] はんだ粉末をシートの窪みに充填するには、窪みが形成されたシートの面に多め のはんだ粉末を載せ、はんだ粉末をブラシやスキージで搔き均せばよい。それにより 、全ての窪みにはんだ粉末を確実かつ容易に充填することができる。窪みに充填し たはんだ粉末のうち、窪み底面の粘着剤に付着した粉末は粘着剤により保持される 。それ以外の余剰の窪み内のはんだ粉末や、シート表面に残ったはんだ粉末をシー トから除去する。余剰のはんだ粉末は、シートを裏返して軽くシートをたたくか、圧縮 空気で吹き飛ばすか、またはブラシで掃くことにより容易に除去できる。 [0024] In order to fill the dents of the sheet with the solder powder, a large amount of solder powder is placed on the surface of the sheet on which the dents are formed, and the solder powder is spread by a brush or squeegee. Thereby, the solder powder can be reliably and easily filled in all the recesses. Fill the dent Of the solder powder, the powder adhering to the adhesive on the bottom of the recess is held by the adhesive. Remove any other solder powder in the surplus dent and the solder powder remaining on the sheet surface from the sheet. Excess solder powder can be easily removed by turning the sheet over and tapping it lightly, blowing it with compressed air, or sweeping with a brush.

[0025] 第 1の態様において、本発明の方法は、従来のはんだボール配置シートと同様に、 シートの窪み内にはんだボールを保持したはんだバンプ形成用シートを製造する。 その場合、本方法は、上記工程 Dにおいてシートの窪み内のはんだ粉末をフラックス で被覆することが好ましぐさらに下記の工程 Eおよび Fを含む:  [0025] In the first aspect, the method of the present invention produces a solder bump forming sheet in which solder balls are held in a recess of the sheet, similar to a conventional solder ball arrangement sheet. In that case, the method preferably comprises coating the solder powder in the depressions of the sheet with flux in step D above, further comprising the following steps E and F:

E.シートを加熱して、各窪み内においてはんだ粉末を溶融させ、溶融はんだを表 面張力により 1個の球状体とし;  E. Heat the sheet to melt the solder powder in each recess and make the molten solder into one spherical body by surface tension;

F.シートを冷却して、球状ィ匕した溶融はんだを固化させてはんだボールを形成する と同時に、固化したフラックスで該はんだボールを窪み内に保持する。  F. Cool the sheet to solidify the spherical molten solder to form a solder ball, and simultaneously hold the solder ball in the recess with the solidified flux.

[0026] 第 2の態様では、はんだボールを形成するための上記工程 Eおよび Fを行わず、シ ートに形成された窪みにはんだ粉末を保持したはんだバンプ形成用シートを製造す る。シートの窪み底面にはんだ粉末が付着した状態のはんだバンプ形成用シートで あっても、これをワークの電極と対向して配置し、加熱および圧着を経てワーク電極 上にはんだバンプを形成できることが判明した。この態様では、ワーク電極上へのシ ートの配置時のはんだ粉末の脱落の防止とはんだ粉末の酸ィヒ防止のため、上記ェ 程 Dにお 、て、シートの窪み内のはんだ粉末を熱可塑性榭脂層またはフラックスで被 覆する。熱可塑性榭脂層は、加熱により溶融するとフラックス機能を発揮し、かつ常 温でタックフリーであることが好まし!/、。  [0026] In the second aspect, the above-described steps E and F for forming solder balls are not performed, and a solder bump forming sheet is manufactured in which solder powder is held in a recess formed in a sheet. Even if it is a sheet for forming solder bumps with solder powder attached to the bottom of the sheet recess, it is found that this can be placed facing the workpiece electrode and solder bumps can be formed on the workpiece electrode through heating and crimping. did. In this embodiment, in order to prevent the solder powder from falling off when the sheet is placed on the work electrode and to prevent the oxidization of the solder powder, the solder powder in the recess of the sheet is removed in the above step D. Cover with thermoplastic resin layer or flux. The thermoplastic resin layer preferably exhibits a flux function when melted by heating, and is tack-free at normal temperature! /.

[0027] 別の側面において、本発明は、上記の第 2の態様の方法により製造されたはんだ バンプ形成用シートを提供する。このはんだバンプ形成用シートは、片面に所定位 置に形成された多数の窪みを有し、各窪みの底面が粘着剤から構成され、各窪み内 に底面の粘着剤に付着したはんだ粉末が保持され、かつ該はんだ粉末が熱可塑性 榭脂層およびフラックスよりなる群力も選ばれた少なくとも 1種の材料で被覆されて ヽ ることを特徴とする。  [0027] In another aspect, the present invention provides a sheet for forming solder bumps produced by the method of the second aspect. This sheet for forming solder bumps has a large number of dents formed at predetermined positions on one side, the bottom surface of each dent is made of an adhesive, and the solder powder attached to the adhesive on the bottom surface is held in each dent. The solder powder is coated with at least one material selected from the group consisting of a thermoplastic resin layer and a flux.

[0028] 本発明によれば、シートの窪み底面を構成する粘着剤の付着力により窪み内に保 持されるはんだ粉末の量は、窪みの底面積に略比例する。従って、シートに形成した 全ての窪みの底面積が一定であれば、窪み内に保持されるはんだ粉末の量も全て の窪みにおいて略一定となり、このはんだ粉末を溶融させて表面張力で球形にして 生ずるはんだボールも全ての窪みにおいて直径が略一定となる。こうして、製造に多 大な手間の力かるはんだボールを使用せずに、シートの各窪み内に直径が揃ったは んだボールを安価に形成できる。さらに、このはんだボールからワークの電極上に形 成されるはんだバンプも略同一径のものとなる。 [0028] According to the present invention, the adhesive is held in the depression by the adhesive force that forms the bottom of the depression of the sheet. The amount of solder powder held is approximately proportional to the bottom area of the recess. Therefore, if the bottom area of all the dents formed on the sheet is constant, the amount of solder powder held in the dent will be substantially constant in all the dents, and the solder powder is melted to form a spherical shape with surface tension. The diameter of the resulting solder ball is substantially constant in all the depressions. In this way, it is possible to inexpensively form a solder ball having a uniform diameter in each recess of the sheet without using a solder ball that requires a lot of labor for manufacturing. Furthermore, the solder bumps formed on the workpiece electrodes from the solder balls have substantially the same diameter.

[0029] また、シートの窪みの底面にはんだ粉末を付着したままの状態で (すなわち、シート の加熱と冷却によるはんだボールの形成を行わずに)予めフラックスを塗布したヮー ク電極上にシートを配置して、はんだバンプ形成用シートとして使用することができる 。この場合も、全ての窪みの底面積が同一であれば、窪み内に略同量のはんだ粉末 が保持され、各窪み内のはんだ粉末の溶融によりワークの電極上に形成されるはん だバンプも略同一径となる。この態様では、はんだボールを形成するための上記ェ 程 Eおよび Fを省略できるため、はんだバンプ形成用シートの製造コストはさらに低く なる。  [0029] In addition, with the solder powder attached to the bottom surface of the recess of the sheet (that is, without forming a solder ball by heating and cooling the sheet), the sheet is placed on the work electrode to which flux has been applied in advance. It can be used as a sheet for forming solder bumps. Also in this case, if the bottom area of all the recesses is the same, approximately the same amount of solder powder is held in the recesses, and the solder bumps formed on the workpiece electrodes by melting of the solder powder in each recess. Also have substantially the same diameter. In this embodiment, since the steps E and F for forming the solder balls can be omitted, the manufacturing cost of the solder bump forming sheet is further reduced.

[0030] シートの窪みは全て同一の底面積とする必要はない。逆に、窪みの底面積を変化 させることによって、同一シート内で異なる径のはんだバンプを形成できるはんだバン プ形成用シートが容易に実現できることは、本発明の特筆すべき利点の 1つである。  [0030] It is not necessary for all the depressions of the sheet to have the same bottom area. Conversely, it is one of the notable advantages of the present invention that a solder bump forming sheet that can form solder bumps of different diameters within the same sheet can be easily realized by changing the bottom area of the recess. .

[0031] ワークによっては、一部の電極の径を他の電極より小さくする力 または大きくする 必要がある。接続の確実性を確保するためはんだバンプの高さを同一にしょうとする と、小径の電極上に供給するはんだ量を少なくしなければならない。本発明では、は んだバンプ形成用シートの窪みのうち、小径の電極に対応する窪みの底面積を小さ くすることにより、小径の電極上に供給するはんだ量を少なくすることができ、上記の 要求に応えられる。他の電極より径の大きい電極がある場合も、同様にその電極に対 応する窪みの底面積を大きくすることにより、電極上に供給するはんだ量を増やすこ とができる。従って、本発明は、同一ワーク内で電極径が異なる高精細電極パターン のワークに対しても、同じ高さのはんだバンプを形成するように容易に対応可能であ る。従来のはんだボール搭載法やソルダペースト法では、この対応は極めて困難で ある。 [0031] Depending on the workpiece, it is necessary to make the diameter of some electrodes smaller or larger than other electrodes. If solder bumps are to be made the same height to ensure connection reliability, the amount of solder supplied on the small-diameter electrode must be reduced. In the present invention, by reducing the bottom area of the depression corresponding to the small-diameter electrode among the depressions of the solder bump forming sheet, the amount of solder supplied onto the small-diameter electrode can be reduced. To meet the demands of When there is an electrode having a larger diameter than other electrodes, the amount of solder supplied onto the electrode can be increased by similarly increasing the bottom area of the recess corresponding to the electrode. Therefore, the present invention can easily cope with the formation of solder bumps having the same height even on workpieces having high-definition electrode patterns having different electrode diameters within the same workpiece. This is extremely difficult with the conventional solder ball mounting method and solder paste method. is there.

[0032] さらに、転がって四散するはんだボールではなぐ転がらないはんだ粉末をシートの 窪みに充填し、場合により、さらにシートの加熱と冷却により窪み内にはんだボール を形成する。そのため、窪み内に必ずはんだボール又ははんだ粉末が存在する、装 填率 100%のはんだバンプ形成用シートを確実に製造することができる。  [0032] Further, a solder powder that does not roll with a solder ball that rolls and scatters is filled in the recess of the sheet, and in some cases, a solder ball is formed in the recess by further heating and cooling of the sheet. Therefore, a solder bump forming sheet with a filling rate of 100% in which solder balls or solder powder always exist in the recesses can be reliably produced.

[0033] また、各窪みの内部では、はんだボールは固化したフラックスにより、はんだ粉末は それを被覆する熱可塑性榭脂層またはフラックスにより、しつカゝり保持されている。そ のため、はんだバンプ形成用シートの取扱!、や搬送中にシートからはんだボール又 ははんだ粉末が脱落することが防止される。また、窪み内のはんだ粉末の酸ィ匕が被 覆により防止される。  [0033] Further, inside each recess, the solder ball is held by the solidified flux and the solder powder is held by the thermoplastic resin layer or flux covering the solder ball. For this reason, it is possible to prevent the solder balls or solder powder from dropping off from the sheet during handling or transporting of the solder bump forming sheet. Also, the solder powder is prevented from being oxidized in the recess.

[0034] 窪み内のはんだボールまたははんだ粉末をフラックスで被覆した場合、このフラック スがはんだバンプ形成中にその機能を発揮するため、はんだバンプを形成するヮー クの電極にフラックスを塗布しなくても、電極上にボイドのな ヽ良好なはんだバンプを 形成することができる。窪み内のはんだ粉末を被覆する材料がフラックス機能を有す る熱可塑性榭脂層である場合も、同様である。  [0034] When the solder balls or solder powder in the recesses are coated with a flux, this flux performs its function during the formation of the solder bumps. Therefore, it is not necessary to apply the flux to the electrodes of the workpiece forming the solder bumps. However, it is possible to form a solder bump with no voids on the electrode. The same applies when the material covering the solder powder in the recess is a thermoplastic resin layer having a flux function.

[0035] 従って、本発明により、ワークの全ての電極に高さの揃った良好なはんだバンプを 確実に形成できる、信頼性に優れたはんだバンプ形成用シートを、低コストで製造す ることが可能となる。  Therefore, according to the present invention, a highly reliable solder bump forming sheet capable of reliably forming good solder bumps having a uniform height on all electrodes of a work can be manufactured at low cost. It becomes possible.

図面の簡単な説明  Brief Description of Drawings

[0036] [図 1]図 1(A)〜図 1(F)は、本発明に係るはんだバンプ形成用シートの製造方法の各 工程を模式的に示す説明図である。  FIG. 1 (A) to FIG. 1 (F) are explanatory views schematically showing each step of a method for producing a solder bump forming sheet according to the present invention.

発明を実施するための最良の形態  BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION

[0037] 本発明によれば、底面が粘着剤から構成された窪みを片面の所定位置に有するシ 一トの各窪み内に、底面の粘着剤の付着力によりはんだ粉末を保持する。その後、 場合によりシートの加熱と冷却によりはんだ粉末をはんだボールに変える。シートに 形成する窪みの位置は、ワークの電極と同一位置とすることができる。  [0037] According to the present invention, the solder powder is held by the adhesive force of the adhesive on the bottom surface in each recess of the sheet having the recess composed of the adhesive on the bottom surface at a predetermined position on one side. Then, if necessary, the solder powder is changed to solder balls by heating and cooling the sheet. The position of the recess formed in the sheet can be the same position as the electrode of the workpiece.

[0038] 粘着剤の面積により、窪み内に保持されるはんだ粉末の量、従って、電極上に形 成されるはんだバンプの体積が規定されるので、粘着剤は窪みの底面だけに存在さ せることが好ましい。 [0038] Since the area of the adhesive regulates the amount of solder powder retained in the recess, and thus the volume of the solder bump formed on the electrode, the adhesive is present only on the bottom surface of the recess. Preferably.

[0039] 底面が粘着剤から構成される窪みを片面に有するシートは、有利には、貫通孔を 設けた層と基材シートとの間に膜状粘着剤を挟んだ構造の複層構造のシートから作 製される。本発明で使用するのに好適な複層シートについて図 1(A)を参照しながら 説明する。  [0039] A sheet having a depression having a bottom surface made of an adhesive on one side is advantageously a multilayer structure having a structure in which a film-like adhesive is sandwiched between a layer having a through hole and a base sheet. Made from sheet. A multilayer sheet suitable for use in the present invention will be described with reference to FIG.

[0040] ワークの電極位置に合わせて多数の窪み 5を有する複層シート 1は、耐熱性基材シ ート 2、膜状粘着剤 3、および貫通孔を有するレジスト層 4の 3層から構成されている。 膜状粘着剤 3の粘着力を利用して、耐熱性基材シート 2の上に膜状粘着剤 3を貼り付 け、その上にレジスト層 4を貼り付ける。こうして複層シートを形成すると、レジスト層 4 の貫通孔は窪み 5となり、その底面は粘着剤 3により形成される。窪み 5となるレジスト 層 4の貫通孔は、ワークの電極位置に対応する所定位置に形成する。  [0040] The multilayer sheet 1 having a number of depressions 5 according to the electrode position of the workpiece is composed of three layers: a heat-resistant base sheet 2, a film-like adhesive 3, and a resist layer 4 having through holes. Has been. Using the adhesive strength of the film-like adhesive 3, the film-like adhesive 3 is stuck on the heat-resistant substrate sheet 2, and the resist layer 4 is stuck on it. When the multilayer sheet is formed in this way, the through hole of the resist layer 4 becomes a depression 5 and the bottom surface thereof is formed by the adhesive 3. The through hole of the resist layer 4 to be the depression 5 is formed at a predetermined position corresponding to the electrode position of the workpiece.

[0041] 耐熱性基材シート 2は、はんだ粉末の溶融温度で炭化や変形を生じな 、耐熱性を 有し、かつ溶融はんだが接合しない材料カゝら構成する。好適な耐熱性基材の材料は 、ステンレス、チタン、アルミニウム等の金属、ならびに耐熱性榭脂、セラミック等の非 金属である。耐熱性基材シート 2の厚さは特に限定されるものではないが、ワークへ の搭載、搬送、ハンドリング等を考慮すると、 100〜300 m(0.1〜0.3mm)が適し ている。  [0041] The heat-resistant base sheet 2 is made of a material that does not cause carbonization or deformation at the melting temperature of the solder powder and has heat resistance and does not join the molten solder. Suitable heat-resistant substrate materials are metals such as stainless steel, titanium, and aluminum, and non-metals such as heat-resistant resin and ceramic. The thickness of the heat-resistant substrate sheet 2 is not particularly limited, but 100 to 300 m (0.1 to 0.3 mm) is suitable in consideration of mounting on a workpiece, conveyance, handling, and the like.

[0042] 膜状粘着剤 3は、窪み内の底部のはんだ粉末を粘着保持する。粘着剤としては、 付着したはんだ粉末が容易に脱落しな 、程度のタック力を有するものであれば如何 なる粘着剤でも使用可能である。好適な粘着剤としては、アクリル系、シリコーン系、 ゴム系のものがある。膜状粘着剤 3の厚さは 5〜10 μ mが適当である。 10 μ mを超え ると、はんだ粉末を溶融させるときやはんだバンプ形成時に邪魔となることがる。  [0042] The film-like pressure-sensitive adhesive 3 sticks and holds the solder powder at the bottom in the recess. As the pressure-sensitive adhesive, any pressure-sensitive adhesive can be used as long as it has a sufficient tack force so that the attached solder powder does not easily fall off. Suitable adhesives include acrylic, silicone and rubber types. The thickness of the film-like pressure-sensitive adhesive 3 is suitably 5 to 10 μm. If it exceeds 10 μm, it may become an obstacle when melting the solder powder or forming solder bumps.

[0043] 窪みを形成するレジスト層 4は、はんだに濡れないソルダレジストの層であって、感 光性と耐熱性を併せ持つ材料から形成することが好ましい。レジスト材料は、ドライフ イルムまたは液状レジストの形で使用することができる。  [0043] The resist layer 4 that forms the depression is a solder resist layer that does not wet the solder, and is preferably formed of a material having both photosensitivity and heat resistance. The resist material can be used in the form of dry film or liquid resist.

[0044] レジスト層 4の厚さは、窪み内のはんだ粉末を溶融してはんだボールを形成する第 1の態様では、形成されるはんだボールの直径より小さくなるように設定することが好 ましい。より好ましくは、形成されるはんだボールがレジスト層 4から 10 m以上、最も 好ましくは 20 /z m以上の高さで突出するような厚みとする。 [0044] In the first mode in which the solder ball is formed by melting the solder powder in the recess, the thickness of the resist layer 4 is preferably set to be smaller than the diameter of the solder ball to be formed. . More preferably, the solder balls to be formed have a resist layer of 4 to 10 m or more, most The thickness preferably protrudes at a height of 20 / zm or more.

[0045] 窪み内のはんだ粉末を底面の粘着剤で付着保持したままはんだバンプ形成用シ ートとして使用する第 2の態様では、レジスト層 4は、付着するはんだ粉末の最大粒径 より小さな厚みとすることが好ましい。それにより、シートの窪みをワークの電極と対向 させて加熱圧着した時にはんだ粉末が電極と確実に接触することができる。より好ま しくは、レジスト層 4の厚みははんだ粉末の最大粒径より 5 m以上小さくする。それ より厚みが大きくなると、接触が不確実になることがある。  [0045] In the second mode in which the solder powder in the recess is used as a sheet for forming solder bumps while being adhered and held by the adhesive on the bottom surface, the resist layer 4 has a thickness smaller than the maximum particle size of the adhered solder powder. It is preferable that As a result, the solder powder can surely come into contact with the electrode when the sheet recess is opposed to the electrode of the workpiece and heat-pressed. More preferably, the thickness of the resist layer 4 is 5 m or more smaller than the maximum particle size of the solder powder. If the thickness is larger than that, contact may be uncertain.

[0046] レジスト層 4の貫通孔は、従来力も公知の各種の方法で形成することができる。例え ば、所定箇所を露光して現像するフォトリソグラフィ一法が利用できる。この方法では 、複層シート 1を形成した後に、最上層のレジスト層 4だけに、それを貫通する深さの 孔を形成することができる。別の方法として、パンチング、ドリル力卩ェ、レーザ加工等も 利用できる。これらの方法を利用する場合には、レジスト層 4が感光性である必要は ない。これらの方法、特にパンチングおよびドリルカ卩ェでは、レジスト層 4を膜状粘着 剤 3に貼り合わせる前に予めレジスト層 4に貫通孔を形成しておく。貫通孔の形成に は 2以上の方法を組み合わせて利用することも可能である。  [0046] The through hole of the resist layer 4 can be formed by various methods known in the art. For example, a photolithography method in which a predetermined portion is exposed and developed can be used. In this method, after the multilayer sheet 1 is formed, it is possible to form a hole having a depth penetrating therethrough only in the uppermost resist layer 4. Other methods such as punching, drilling force, and laser processing can also be used. When using these methods, the resist layer 4 does not need to be photosensitive. In these methods, particularly punching and drilling, a through hole is formed in the resist layer 4 in advance before the resist layer 4 is bonded to the film-like adhesive 3. A combination of two or more methods can be used to form the through-hole.

[0047] 前述したように、シート内の窪みの底面積により窪み内に付着保持されるはんだ粉 末の量が決まる。従って、窪みの底面積は、ワークの電極上に供給すべきはんだ量 に応じて設定する。ワークの電極径が全て同じである場合には窪みの底面積を全て 同一にすることが好ましい。一方、ワークが異なる径の電極を有する高精細電極パタ ーンを有する場合には、その電極パターンの電極径に応じてシートの窪みの底面積 を変ィ匕させることができる。  [0047] As described above, the amount of solder powder adhered and held in the recess is determined by the bottom area of the recess in the sheet. Therefore, the bottom area of the recess is set according to the amount of solder to be supplied onto the workpiece electrode. When the electrode diameters of the workpieces are all the same, it is preferable that the bottom areas of the recesses are all the same. On the other hand, when the workpiece has a high-definition electrode pattern having electrodes of different diameters, the bottom area of the sheet depression can be changed according to the electrode diameter of the electrode pattern.

[0048] 本発明で使用するはんだ粉末は、アトマイズ法、回転円板法、油中攪拌法等で得 られたものを適宜分級したものでよい。粉末の混合状態が一様であれば、粒度分布 を極めて狭くする必要はないが、粒度分布が広すぎると、形成されたはんだボールの 粒径のバラツキが大きくなる可能性がある。  [0048] The solder powder used in the present invention may be obtained by appropriately classifying those obtained by an atomizing method, a rotating disk method, a stirring method in oil, or the like. If the mixed state of the powder is uniform, it is not necessary to make the particle size distribution very narrow. However, if the particle size distribution is too wide, there may be a large variation in the particle size of the formed solder balls.

[0049] はんだ粉末の粒径は、窪み底面に付着するはんだ粉末の個数が多 、ほど、付着 量のバラツキが少なくなるため、粒径の小さいはんだ粉末の方が好ましい。図中では 、はんだ粉末を単純化して球形粉末として示しているが、球形粉末である必要はなく 、不規則形状の粉末であってもよい。 [0049] As the particle size of the solder powder, the larger the number of solder powders adhering to the bottom of the dent, the smaller the variation in the adhering amount. Therefore, the solder powder having a smaller particle size is preferable. In the figure, solder powder is simplified and shown as spherical powder, but it does not have to be spherical powder. The powder may be irregularly shaped.

[0050] はんだ粉末の種類は特に制限されない。鉛を含有するはんだ合金の粉末でも、鉛 フリーはんだ合金の粉末でもよ!/、。  [0050] The type of solder powder is not particularly limited. Either a solder alloy powder containing lead or a lead-free solder alloy powder! /.

次に本発明のはんだバンプ形成用シートの製造方法の 1態様について、図面を参 照しながら説明する。  Next, one embodiment of the method for producing a solder bump forming sheet of the present invention will be described with reference to the drawings.

[0051] A.シートの準備  [0051] A. Sheet preparation

前述のように、シート 1は、耐熱性基材シート 2の片面に膜状粘着剤 3を介してレジ スト層 4が貼り付けられた複層シートからなる。レジスト層 4は、はんだバンプを形成す べきワークの電極に対応する所定の位置に所定の直径または大きさの多数の貫通 孔を有し、これらの貫通孔が複層シート 1の窪み 5を形成する。この窪み 5の底面には 粘着剤 3が露出しているので、窪みの底面は粘着剤から構成される。貫通孔 (窪み 5 )の形状は、普通は円柱状であるが、角柱状 (例、四角柱、六角柱等)などの他の形 状でもよ 、。窪み 5の側面はテーパーがつ!/ヽて 、てもよ!/、。  As described above, the sheet 1 is composed of a multilayer sheet in which the resist layer 4 is attached to one side of the heat-resistant substrate sheet 2 via the film-like adhesive 3. The resist layer 4 has a large number of through holes of a predetermined diameter or size at predetermined positions corresponding to the workpiece electrodes on which solder bumps are to be formed, and these through holes form the depressions 5 of the multilayer sheet 1. To do. Since the adhesive 3 is exposed on the bottom surface of the recess 5, the bottom surface of the recess is made of an adhesive. The shape of the through-hole (indentation 5) is usually a cylindrical shape, but may be other shapes such as a prismatic shape (eg, quadrangular prism, hexagonal prism, etc.). The side of dent 5 has a taper!

[0052] シート 1の窪み 5の底面積により、窪み内に付着保持されるはんだ粉末の量、従つ て、このはんだ粉末力も形成されるはんだボールの直径、が決まる。シート 1の窪み 5 (従って、レジスト層 4の貫通孔)の直径 (より正確には底面の面積)は、ワークの電極 に応じて、全て同一であってもよぐ或いは変化させてもよい。窪み 5のピッチはヮー クの電極ピッチに一致させる。窪みの直径は、例えば、ワークの電極ピッチが 100 mの場合で 60 μ m前後、 200 μ mの場合で 120 μ m前後とすることができる。  [0052] The bottom area of the recess 5 in the sheet 1 determines the amount of solder powder adhered and held in the recess, and thus the diameter of the solder ball on which this solder powder force is also formed. The diameter (more precisely, the area of the bottom surface) of the recess 5 in the sheet 1 (and hence the through-hole of the resist layer 4) may be all the same or may vary depending on the workpiece electrode. The pitch of the recesses 5 should match the electrode pitch of the cake. The diameter of the recess can be, for example, about 60 μm when the electrode pitch of the workpiece is 100 m, and about 120 μm when the electrode pitch is 200 μm.

[0053] B.はんだ粉末の充填  [0053] B. Filling with solder powder

シート 1の窪み 5が形成された面を上側にして、シート最上層のレジスト層 4の上に 多めのはんだ粉末 6を載置し、はんだ粉末 6をスキージ 7で矢印方向に搔いて、はん だ粉末 6を窪み 5内に充填する。はんだ粉末は転がらないので、このようにして全て の窪みにはんだ粉末を容易に充填することできる。スキージの代わりにブラシを使用 することもできる。窪み 5内に充填されたはんだ粉末は、その最下部の粘着剤 3に接 しているものだけが粘着剤に付着して保持される。必要によりシートを揺動させて、窪 みの底面全体に確実にはんだ粉末を付着させる。  Place a large amount of solder powder 6 on top of the resist layer 4 on the top of the sheet, with the surface of the sheet 1 where the dents 5 are formed on the top, and squeeze the solder powder 6 with the squeegee 7 in the direction of the arrow. Fill the hollow 5 with the powder 6. Since the solder powder does not roll, the solder powder can be easily filled in all the recesses in this way. You can also use a brush instead of a squeegee. Only the solder powder filled in the recess 5 is in contact with the adhesive 3 at the bottom and adheres to the adhesive and is held. If necessary, rock the sheet to ensure that the solder powder adheres to the entire bottom surface of the recess.

[0054] C.余剰はんだ粉末の除去 はんだ粉末 6が全ての窪み 5に充填されたシート 1を反転させて、窪み 5内で粘着 剤 3に付着して ヽな 、余剰のはんだ粉末と、シート 1の表面に残留するはんだ粉末を 除去する。この余剰はんだ粉末の除去は、反転させたシート 1を軽く叩くだけで行うこ とがでさる。 [0054] C. Removal of excess solder powder The sheet 1 filled with the solder powder 6 in all the depressions 5 is reversed, and the adhesive powder 3 adheres to the adhesive 3 in the depressions 5 and removes excess solder powder and solder powder remaining on the surface of the sheet 1. To do. This excess solder powder can be removed simply by tapping the inverted sheet 1.

[0055] 別の方法として、シートを反転させ、もしくは反転させずに、圧縮空気などを吹きつ けて、付着していないはんだ粉末を吹き飛ばすことによりはんだ粉末を除去すること ができる。或いは、窪み内をブラシで掃くことにより余剰のはんだ粉末を除去すること ちでさる。  [0055] As another method, the solder powder can be removed by blowing the compressed air or the like and blowing away the unattached solder powder without turning the sheet upside down. Alternatively, the excess solder powder can be removed by sweeping the inside of the recess with a brush.

[0056] この工程で除去されたはんだ粉末や、工程 Bにおいて充填されなかった余剰のは んだ粉末は、工程 Bに再利用することができる。  [0056] The solder powder removed in this step and the excess solder powder that has not been filled in step B can be reused in step B.

D.はんだ粉末の被覆  D. Solder powder coating

窪み 5やシート表面力 余剰のはんだ粉末を除去した後、窪み内のはんだ粉末 6を 被覆する。被覆材料は、シートの加熱と冷却により窪み内のはんだ粉末を溶融させて はんだボールにする第 1の態様ではフラックスを使用し、はんだボールを形成せずに はんだ粉末のままではんだバンプ形成用シートとして使用する第 2の態様では、熱可 塑性榭脂層またはフラックスとすることが好ましい。  Indentation 5 and sheet surface force After removing excess solder powder, coat the solder powder 6 in the indentation. The coating material is a solder bump forming sheet that uses the flux in the first embodiment to melt the solder powder in the recesses by heating and cooling the sheet to form solder balls, and without forming the solder balls. In the second embodiment used as a thermoplastic resin layer or flux, it is preferable.

[0057] 第 1の態様におけるはんだ粉末のフラックスによる被覆は、加熱スプレーフラクサ一 8により窪み 5内のはんだ粉末 6にフラックス 9を塗布することにより行うことができる。 使用するフラックスは電子部品のはんだ付けに使用可能なものから選択すればよぐ 水溶性フラックスとロジン系フラックスのいずれも使用できる。図示のように、フラックス 9は窪み 5内だけでなぐシート 1の上面(レジスト層 4の表面)の全面に塗布してもか まわないので、塗布は容易である。  The coating of the solder powder with the flux in the first embodiment can be performed by applying the flux 9 to the solder powder 6 in the recess 5 with a heat spray fluxer 8. The flux to be used can be selected from those that can be used for soldering electronic components. Either a water-soluble flux or a rosin flux can be used. As shown in the figure, the flux 9 may be applied to the entire upper surface of the sheet 1 (the surface of the resist layer 4) just inside the recess 5, so that the application is easy.

[0058] 第 2の態様における熱可塑性榭脂層またはフラックスによるはんだ粉末の被覆は、 はんだ粉末の脱落防止に加えて、はんだ粉末の酸ィヒ防止にも役立つ。熱可塑性榭 脂層は、フラックス機能を有するものであることが好ましい。熱可塑性榭脂層は、表面 が常温でタックフリーの乾いた皮膜であると、取扱いと性能上、都合がよい。  [0058] The coating of the solder powder with the thermoplastic resin layer or the flux in the second embodiment is useful for preventing the solder powder from falling off in addition to preventing the solder powder from falling off. It is preferable that the thermoplastic resin layer has a flux function. It is convenient in terms of handling and performance that the surface of the thermoplastic resin layer is a tack-free dry film at room temperature.

[0059] 好まし ヽ熱可塑性榭脂層は、水溶性の熱可塑性榭脂とヒドロキシル基またはエーテ ル基を含有する有機化合物とを主成分とするものである。この種の有機化合物はフラ ックスとして作用するので、この榭脂層はフラックス機能を果たすことができる。ヒドロ キシル基又はエーテル基含有有機化合物に代えて、またはカ卩えて、他の 1種または 2種以上の水溶性有機化合物を使用することもできる。 Preferred [0059] The thermoplastic resin layer is mainly composed of a water-soluble thermoplastic resin and an organic compound containing a hydroxyl group or an ether group. This type of organic compound is This oil layer can serve as a flux. Instead of or in addition to the hydroxyl group- or ether group-containing organic compound, one or more other water-soluble organic compounds can also be used.

[0060] 水溶性榭脂としては、例えば、ポリエチレングリコールおよびその誘導体、ポリビ- ルブチラール誘導体などが例示される。 [0060] Examples of the water-soluble rosin include polyethylene glycol and derivatives thereof, polyvinyl butyral derivatives, and the like.

ヒドロキシル基またはエーテル基含有有機化合物としては、グリコール酸、ジグリコ ール酸などのカルボキシル基を含有する化合物、トリエタノールァミン、モノエタノー ルァミンなどのヒドロキシ含有ァミン、ならびにエチレングリコール、プロピレングリコー ルなどのグリコール、グリセリン、トリメチロールプロパンなどの多価アルコールが挙げ られる。多価アルコールについては、一部の水酸基を有機酸でエステル化したもの であってもよい。  Examples of the organic compound containing a hydroxyl group or an ether group include compounds containing a carboxyl group such as glycolic acid and diglycolic acid, hydroxy-containing amines such as triethanolamine and monoethanolamine, and glycols such as ethylene glycol and propylene glycol. And polyhydric alcohols such as glycerin and trimethylolpropane. The polyhydric alcohol may be one obtained by esterifying some hydroxyl groups with an organic acid.

[0061] 水溶性榭脂とヒドロキシル基またはエーテル基含有有機化合物との割合は、皮膜 が形成できる限り特に限定されないが、通常は水溶性榭脂 100質量部に対してヒドロ キシル基含有有機化合物 0.1〜10質量部の範囲である。  [0061] The ratio of the water-soluble rosin to the hydroxyl group or ether group-containing organic compound is not particularly limited as long as a film can be formed. Usually, the hydroxyl group-containing organic compound is 0.1 to 100 parts by mass of the water-soluble rosin. It is the range of ~ 10 mass parts.

[0062] 熱可塑性榭脂層によるはんだ粉末の被覆は、はんだ粉末に榭脂液 (例、水溶液ま たは有機溶媒溶液)をスプレー等の適当な塗布手段により塗布し、必要に応じてカロ 熱して塗膜を乾燥させることにより行うことができる。或いは、予め形成した榭脂層(榭 脂フィルム)を全ての窪みを覆うようにシートに被覆することにより窪み内のはんだ粉 末を被覆することもできる。榭脂層の厚みは 0.1〜10 mの範囲内とすることが好ま しい。  [0062] The coating of the solder powder with the thermoplastic resin layer is performed by applying a resin solution (eg, an aqueous solution or an organic solvent solution) to the solder powder by an appropriate application means such as a spray, and heating it with heat if necessary. This can be done by drying the coating film. Alternatively, it is possible to cover the solder powder in the recess by covering the sheet with a pre-formed resin layer (resin film) so as to cover all the recesses. The thickness of the resin layer is preferably in the range of 0.1 to 10 m.

[0063] 第 2の態様においてはんだ粉末をフラックスで被覆する場合、フラックスによる被覆 は第 1の態様について述べたのと同様に行うことができる。フラックスで窪み内のはん だ粉末を被覆した後、はんだ粉末が溶融しない温度に加熱して、フラックス中の揮発 性物質を除去し、そのタック性を低減させてもよい。  [0063] When the solder powder is coated with the flux in the second embodiment, the coating with the flux can be performed in the same manner as described in the first embodiment. After coating the solder powder in the recess with the flux, the solder powder may be heated to a temperature at which the solder powder does not melt to remove volatile substances in the flux and reduce its tackiness.

[0064] 第 2の態様では、こうして窪みの底面への付着により窪み内に保持されたはんだ粉 末を熱可塑性榭脂層またはフラックスで被覆したシートを、はんだバンプ形成用シー トとして使用する。  [0064] In the second embodiment, a sheet in which the solder powder held in the depression by adhesion to the bottom of the depression is coated with a thermoplastic resin layer or flux is used as a sheet for forming solder bumps.

[0065] 一方、第 1の態様では、窪み内のはんだ粉末を好ましくはフラックスにより被覆した 後、さらに下記の工程 Eおよび Fを行って、はんだ粉末をはんだボールに変える。[0065] On the other hand, in the first embodiment, the solder powder in the recess is preferably coated with a flux. Thereafter, the following steps E and F are further performed to change the solder powder into solder balls.

E.加熱溶融 E. Melting by heating

窪み 5内のはんだ粉末 6にフラックス 9が塗布されたシート 1を、リフロー炉のような加 熱装置で加熱して、窪み 5内のはんだ粉末 6を溶融させる。この溶融時に、各窪み 5 内に存在する多数のはんだ粉末 6は、フラックスにより個々のはんだ粉末の表面に生 じていた酸ィ匕物や汚れが除去され、清浄な表面となるため、合一して、 1つの溶融は んだ塊 10となる。この溶融はんだ塊 10は自らの表面張力で球状となる。  The sheet 1 in which the flux 9 is applied to the solder powder 6 in the recess 5 is heated by a heating device such as a reflow furnace to melt the solder powder 6 in the recess 5. At the time of melting, a large number of solder powders 6 present in the respective depressions 5 are removed by the oxides and dirt generated on the surfaces of the individual solder powders by the flux and become a clean surface. Thus, one melt becomes a lump 10. The molten solder lump 10 becomes spherical due to its surface tension.

[0066] フラックス 9は加熱中に流動性が高まるので、シート表面に存在するフラックスも窪 み 5の底部にたまるようになる。また、加熱中にフラックス中の溶剤成分は蒸発する。 [0066] Since the fluidity of the flux 9 increases during heating, the flux present on the sheet surface also accumulates at the bottom of the recess 5. Further, the solvent component in the flux evaporates during heating.

F.冷却  F. Cooling

窪み 5内に球状ィ匕した溶融はんだ塊 10を有するシート 1を、適当な冷却装置で冷 却する。球状の溶融はんだ塊は窪み 5内で固化して、はんだボール 11となる。このと き同時に、窪み内にたまった、溶剤が蒸発してしまったフラックス 9も固化する。形成 されたはんだボールの直径は、工程 Cで粘着剤 3に付着して窪み 5の底部に残留す るはんだ粉末の量、即ち、窪み 5の底面積により決まる。  The sheet 1 having the molten solder lump 10 spherically formed in the recess 5 is cooled with an appropriate cooling device. The spherical molten solder lump is solidified in the recess 5 and becomes a solder ball 11. At the same time, the flux 9 that has accumulated in the recess and has evaporated the solvent also solidifies. The diameter of the formed solder ball is determined by the amount of solder powder that adheres to the adhesive 3 in Step C and remains at the bottom of the recess 5, that is, the bottom area of the recess 5.

[0067] 各窪み 5の内部において、形成されたはんだボール 11は、窪み 5の底面に存在す る膜状粘着剤 3により保持されるが、膜状粘着剤が工程 Eでの加熱中に劣化して粘 着性を失った場合でも、固化したフラックス 9がはんだボール 11を強固に保持するよ うになる。こうして、各窪み 5の内部にはんだボール 11が保持されている、はんだバン プ形成用シートができ上がる。  [0067] Inside each depression 5, the formed solder ball 11 is held by the film-like adhesive 3 present on the bottom surface of the depression 5, but the film-like adhesive deteriorates during heating in step E. Even if the adhesiveness is lost, the solidified flux 9 holds the solder balls 11 firmly. Thus, a solder bump forming sheet is obtained in which the solder balls 11 are held inside the recesses 5.

[0068] 本発明のはんだバンプ形成用シートは、窪みに保持されているのがはんだボール とはんだ粉末のいずれであっても、従来のはんだボール配置シートと同様に、窪みが ワークの電極に対向するようにシートをワーク上に配置し、加熱して窪み内のはんだ ボール又ははんだ粉末を溶融させることにより、電極上にはんだバンプを形成するこ とがでさる。  [0068] In the solder bump forming sheet of the present invention, whether the solder ball or the solder powder is held in the depression, the depression faces the electrode of the workpiece, as in the conventional solder ball arrangement sheet. As described above, the sheet is placed on the workpiece and heated to melt the solder balls or solder powder in the recesses, thereby forming solder bumps on the electrodes.

[0069] ワークの電極には予めフラックスを塗布してもよいが、窪み内のはんだボール又は はんだ粉末を被覆する材料がフラックスであるか、またはフラックス機能を有する熱可 塑性榭脂層である場合には、電極へのフラックス塗布を省略することができる。加熱 は、シートに圧力をカ卩えながら行うことが好ましい。好ましい圧力は 1電極当たり 0.01 〜0.1Nの範囲である。形成されたはんだバンプは、窪みに保持されたはんだ粉末の 量に応じた径を有する。フラックスまたは熱可塑性榭脂層が水溶性である場合には、 最後にワークを水洗して残存するフラックスまたは榭脂層を除去する。 [0069] Flux may be applied to the electrode of the workpiece in advance, but the material for coating the solder balls or solder powder in the recesses is a flux or a thermoplastic resin layer having a flux function. In this case, flux application to the electrode can be omitted. heating Is preferably performed while pressure is applied to the sheet. A preferred pressure is in the range of 0.01 to 0.1 N per electrode. The formed solder bump has a diameter corresponding to the amount of solder powder held in the recess. When the flux or thermoplastic resin layer is water-soluble, the workpiece is finally washed with water to remove the remaining flux or resin layer.

実施例 1  Example 1

[0070] 本例は、図 1(A)〜(F)の工程により、各窪み内にはんだボールが保持された第 1の 態様によるはんだバンプ形成用シートの製造を例示する。このはんだバンプ形成用 シートによりはんだバンプを形成するワークは、 3600個の電極を 200 (0.2mm) ピッチで有するものであつた。  [0070] This example illustrates the production of a sheet for forming solder bumps according to the first embodiment in which solder balls are held in the respective recesses by the steps of FIGS. 1 (A) to (F). The work for forming solder bumps with this solder bump forming sheet had 3600 electrodes at a pitch of 200 (0.2 mm).

[0071] 耐熱性基材シートとなる 200 μ m厚みのステンレス鋼シートの片面に、アクリル系膜 状粘着剤(10 μ m厚)を貼り付け、さらにその上に厚み 25 μ mのドライフィルム状のソ ルダレジスト(日立化成工業社製 Raytec SR- FZ)をラミネートして、下力ら基材、粘着 剤、レジスト層の 3層力 なる A4サイズの複層シートを準備した。  [0071] Acrylic film adhesive (10 μm thick) is pasted on one side of a 200 μm-thick stainless steel sheet to be a heat-resistant substrate sheet, and a 25 μm-thick dry film is further formed thereon. A4 (multi-layer sheet) was prepared by laminating a solder resist (Raytec SR-FZ, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.).

[0072] 形成された複層シートの最上層のレジスト層に、レジスト層を完全に貫通する深さの 直径 120 /z mの窪みを、マスクを介した露光と現像を含むリソグラフィ一法により、ヮ ークの電極ピッチに合わせて、 1ワークに対して 200 μ mピッチで 3600個形成するこ とにより、多数個ワーク用の窪みを備えた複層シートを得た。形成された各窪みの底 面には粘着剤が露出していた。  [0072] A recess having a diameter of 120 / zm that penetrates completely through the resist layer is formed in the uppermost resist layer of the formed multilayer sheet by a lithography method including exposure and development through a mask. By forming 3600 pieces with a 200 μm pitch for one workpiece in accordance with the electrode pitch of the workpiece, a multilayer sheet having a plurality of depressions for the workpiece was obtained. The adhesive was exposed on the bottom surface of each formed depression.

[0073] 次いで、複層シートのレジスト層の表面に粒径 25〜36 μ mのはんだ粉末(Sn— 3 Ag— 0.5Cu、融点 217°C)を置き、スキージで搔き均して、全ての窪みにはんだ粉 末を充填した。その後、圧縮空気をシートに吹き付けることにより、窪み内やシート表 面に残る、粘着剤に付着していない余剰のはんだ粉末を全てシートから除去した。  [0073] Next, a solder powder (Sn-3Ag-0.5Cu, melting point 217 ° C) having a particle size of 25 to 36 μm is placed on the surface of the resist layer of the multilayer sheet, and all of them are ground with a squeegee. The hollow was filled with solder powder. Thereafter, by blowing compressed air onto the sheet, all of the excess solder powder remaining in the recesses and on the sheet surface and not adhering to the adhesive was removed from the sheet.

[0074] 次に、シート表面に水溶性フラックスをスプレーフラクサ一により塗布し、窪み内の はんだ粉末をフラックスで被覆した。このシートを次 、で窒素雰囲気のリフロー炉で、 はんだ粉末が溶融する温度に加熱した。リフロー炉内での加熱により、各窪み内で は溶融したはんだ粉末が合一して、 1個の球状の溶融はんだ塊となった。その後、リ フロー炉に付設されて 、る冷却装置でシートを室温まで冷却して、はんだ塊を固ィ匕 すると、全ての窪みの内部に、直径 60 ± 3 mのはんだボールが存在するはんだバ ンプ形成用シートが得られた。 Next, a water-soluble flux was applied to the sheet surface with a spray fluxer, and the solder powder in the recess was covered with the flux. This sheet was then heated to a temperature at which the solder powder melts in a reflow oven in a nitrogen atmosphere. Due to the heating in the reflow furnace, the molten solder powders were united in each recess to form one spherical molten solder lump. After that, when the sheet is cooled to room temperature with a cooling device attached to a reflow furnace and the solder lump is solidified, a solder ball having a solder ball with a diameter of 60 ± 3 m is present inside all the depressions. An amplifier forming sheet was obtained.

[0075] このはんだボーノレは、レジスト表面から約 35 μ m突出しており、シートをワーク表面 に載置した時に、窪み内のはんだボールがワークの電極と接するのに充分な突出状 態であった。また、各窪み内のはんだボールは、窪み内で固化したフラックスにより強 固に保持されており、シートを上下に反転させても、はんだボールが窪みから脱落す ることはなかった。  [0075] This solder bowlet protrudes about 35 μm from the resist surface, and when the sheet is placed on the workpiece surface, the solder ball is sufficiently protruding so that the solder balls in the recess come into contact with the workpiece electrode. . In addition, the solder balls in each recess were firmly held by the flux solidified in the recess, and the solder balls did not fall out of the recess even when the sheet was turned upside down.

[0076] 得られたはんだバンプ形成用シートから 1ワーク分のシートを切り出し、シートのは んだボールがワークの電極と対向するようにワーク上に載置し、シートに 100-ユート ンの圧力をかけながら、設定温度 230°Cで 30秒間加熱圧着したところ、ワークの 360 0個の電極の全てに良好なはんだバンプが形成された。このとき、ワークの電極には フラックスを塗布しな力つた力 窪み内ではんだボールを保持して 、たフラックスが溶 け出して電極を清浄にし、きれいなはんだ付けが行えた。はんだバンプの接合部を X 線透過により検査したところ、ボイドは観察されな力つた。  [0076] A sheet for one work piece is cut out from the obtained solder bump forming sheet, placed on the work piece so that the solder ball of the sheet faces the work electrode, and a pressure of 100 to Uton is applied to the sheet. When applying heat and pressure for 30 seconds at a set temperature of 230 ° C., good solder bumps were formed on all 3600 electrodes of the workpiece. At this time, the solder balls were held in the dents where the flux was applied to the workpiece electrode, and the flux was melted to clean the electrodes and clean soldering was possible. When the solder bump joints were examined by X-ray transmission, no voids were observed.

実施例 2  Example 2

[0077] 本例は、図 1(A)〜(D)の工程により、各窪み内にはんだ粉末を付着保持した第 2の 態様によるはんだバンプ形成用シートの製造を例示する。このはんだバンプ形成用 シートによりはんだバンプを形成するワークは、 3600個の電極を 200 (0.2mm) ピッチで有するものであつた。  [0077] This example illustrates the production of the solder bump forming sheet according to the second embodiment in which the solder powder is adhered and held in each recess by the steps of FIGS. 1 (A) to (D). The work for forming solder bumps with this solder bump forming sheet had 3600 electrodes at a pitch of 200 (0.2 mm).

[0078] 実施例 1に記載したのと同様にして、基材、粘着剤、レジスト層の 3層力もなる A4サ ィズの複層シートに、直径 120 mの窪みを、ワークの電極ピッチに合わせて、 1ヮー クに対して 200 mピッチで 3600個形成した、多数個ワーク用の窪みを備えた複層 シートを得た。  [0078] In the same manner as described in Example 1, a recess having a diameter of 120 m is formed in the electrode pitch of the workpiece in a multi-layer sheet of A4 size that also has a three-layer force of a base material, an adhesive, and a resist layer. In total, 3600 sheets were formed at a pitch of 200 m per square, and a multilayer sheet with multiple workpiece depressions was obtained.

[0079] 次いで、シートのレジスト層の表面に粒径 25〜36 μ mのはんだ粉末(Sn— 3Ag— 0.5Cu、融点 217°C)を置き、スキージで搔き均して、全ての窪みにはんだ粉末を充 填した。その後、窪み内に付着しな力つた余剰のはんだ粉末をブラシで掃き出して除 去した。  [0079] Next, a solder powder (Sn-3Ag-0.5Cu, melting point 217 ° C) having a particle size of 25 to 36 μm is placed on the surface of the resist layer of the sheet, and is ground with a squeegee to form all the depressions Filled with solder powder. Thereafter, excess solder powder that did not adhere to the recess was swept away with a brush and removed.

[0080] 次に、シートの表面に、ポリエチレングリコール系の水溶性熱可塑性榭脂およびダリ コール酸 (榭脂 100質量部に対して 5質量部の量)を主成分とする水性の被覆組成 物をスプレー塗布して厚み約 5 mの皮膜を形成することにより、窪み内のはんだ粉 末を榭脂層で被覆した。乾燥後の皮膜表面はタックフリーでベとつきがなぐ取扱い が容易であった。こうして、シートの全ての窪み内にはんだ粉末を付着保持したはん だバンプ形成用シートが得られた。 [0080] Next, an aqueous coating composition mainly composed of polyethylene glycol-based water-soluble thermoplastic rosin and dallic acid (amount of 5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of rosin) on the surface of the sheet. By spray-coating the product to form a film with a thickness of about 5 m, the solder powder in the depression was covered with a resin layer. The surface of the film after drying was tack-free and easy to handle with no stickiness. Thus, a solder bump forming sheet in which solder powder was adhered and held in all the depressions of the sheet was obtained.

[0081] 得られたはんだバンプ形成用シートから 1ワーク分のシートを切り出し、シートのは んだボールがワークの電極と対向するようにワーク上に載置し、シートに 100-ユート ンの圧力をかけながら、設定温度 230°Cで 30秒間加熱圧着したところ、ワークの 360 0個の電極の全てに良好なはんだバンプが形成された。このとき、ワークの電極には フラックスを塗布しな力つた力 窪み内ではんだ粉末を保持して 、た榭脂層が示すフ ラックス機能により、きれいなはんだ付けが行えた。はんだバンプの接合部を X線透 過により検査したところ、ボイドは観察されな力つた。  [0081] A sheet for one work piece was cut out from the obtained solder bump forming sheet, placed on the work piece so that the solder ball of the sheet faced the work electrode, and the pressure of 100 to Uton was applied to the sheet. When applying heat and pressure for 30 seconds at a set temperature of 230 ° C., good solder bumps were formed on all 3600 electrodes of the workpiece. At this time, the solder powder was held in the recess of the force applied by applying flux to the workpiece electrode, and the soldering function was performed by the flux function exhibited by the resin layer. When the solder bump joints were examined by X-ray transmission, no voids were observed.

[0082] 本発明の方法は、直径 300 μ m以下の微小はんだボール、又はそれに相当する 量のはんだ粉末を各窪み内に保持したはんだバンプ形成用シートの製造に適して いるが、より大直径のはんだボール又はそれに相当する量のはんだ粉末を各窪み内 に保持したはんだバンプ形成用シートを製造することも可能である。また、同一シート 内に保持されたはんだボールの直径またははんだ粉末の量を窪みごとに変化させる ことが容易に実現しうる。  [0082] The method of the present invention is suitable for the manufacture of a solder bump forming sheet in which a minute solder ball having a diameter of 300 μm or less or a corresponding amount of solder powder is held in each recess, but has a larger diameter. It is also possible to manufacture a solder bump forming sheet in which each solder ball or an equivalent amount of solder powder is held in each recess. In addition, the diameter of the solder balls or the amount of solder powder held in the same sheet can be easily changed for each depression.

[0083] 本発明のはんだバンプ形成用シートの用途は、 BGA、 CSPのような表面実装部品 の電極へのはんだバンプ形成に限られるものではない。例えば、所定位置へのはん だボールの搭載又ははんだバンプの形成が行われる他の用途にも適用可能である  [0083] The use of the solder bump forming sheet of the present invention is not limited to the formation of solder bumps on the electrodes of surface mount components such as BGA and CSP. For example, it can be applied to other applications in which solder balls are mounted in place or solder bumps are formed.

Claims

請求の範囲 The scope of the claims [1] 下記工程を含む、所定位置にはんだボール又ははんだ粉末を保持した、はんだバ ンプ形成用シートの製造方法:  [1] A method for manufacturing a solder bump forming sheet that holds solder balls or solder powder in place, including the following steps: A.片面に、底面が粘着剤力も構成された多数の窪みを所定位置に有するシートを 準備し;  A. Prepare a sheet having a number of indentations in one position on one side, the bottom side of which also has adhesive strength; B.シートの各窪みにはんだ粉末を充填して、窪み底面の粘着剤によりはんだ粉末 を付着保持し;  B. Fill each recess of the sheet with solder powder, and adhere and hold the solder powder with the adhesive on the bottom of the recess; C.粘着剤で保持されて 、な 、はんだ粉末をシートから除去し、そして  C. Hold with adhesive, remove the solder powder from the sheet, and D.シートの窪み内のはんだ粉末を被覆する。  D. Cover the solder powder in the recess of the sheet. [2] 下記工程を含む、所定位置にはんだボールを保持したはんだバンプ形成用シート の製造方法:  [2] A method for producing a solder bump forming sheet with solder balls held in place, including the following steps: A.片面に、底面が粘着剤力も構成された多数の窪みを所定位置に有するシートを 準備し;  A. Prepare a sheet having a number of indentations in one position on one side, the bottom side of which also has adhesive strength; B.シートの各窪みにはんだ粉末を充填して、窪み底面の粘着剤によりはんだ粉末 を付着保持し;  B. Fill each recess of the sheet with solder powder, and adhere and hold the solder powder with the adhesive on the bottom of the recess; C.粘着剤で保持されて 、な 、はんだ粉末をシートから除去し、  C. Hold the adhesive, remove the solder powder from the sheet, D.シートの窪み内のはんだ粉末をフラックスで被覆し、  D. Cover the solder powder in the recess of the sheet with flux, E.シートを加熱して、各窪み内においてはんだ粉末を溶融させ、溶融はんだを表 面張力により 1個の球状体とし;そして  E. Heat the sheet to melt the solder powder in each depression, and make the molten solder into one sphere by surface tension; and F.シートを冷却して、球状ィ匕した溶融はんだを固化させてはんだボールを形成する と同時に、固化したフラックスで該はんだボールを窪み内に保持する。  F. Cool the sheet to solidify the spherical molten solder to form a solder ball, and simultaneously hold the solder ball in the recess with the solidified flux. [3] 下記工程を含む、所定位置にはんだ粉末を保持したはんだバンプ形成用シートの 製造方法:  [3] Manufacturing method of solder bump forming sheet holding solder powder in place, including the following steps: A.片面に、底面が粘着剤力も構成された多数の窪みを所定位置に有するシートを 準備し;  A. Prepare a sheet having a number of indentations in one position on one side, the bottom side of which also has adhesive strength; B.シートの各窪みにはんだ粉末を充填して、窪み底面の粘着剤によりはんだ粉末 を付着保持し;  B. Fill each recess of the sheet with solder powder, and adhere and hold the solder powder with the adhesive on the bottom of the recess; C.粘着剤で保持されて 、な 、はんだ粉末をシートから除去し、そして D.シートの窪み内のはんだ粉末を、熱可塑性榭脂層およびフラックスよりなる群か ら選ばれた少なくとも 1種の材料で被覆する。 C. Hold with adhesive, remove the solder powder from the sheet, and D. Cover the solder powder in the recess of the sheet with at least one material selected from the group consisting of a thermoplastic resin layer and a flux. [4] 工程 Aにお 、て準備されたシートが、耐熱性基材シートの上に、膜状粘着剤を介し て、所定位置に多数の貫通孔を有するソルダーレジスト層が積層されている複層シ ートである、請求項 1〜3のいずれかに記載の方法。 [4] In step A, the sheet prepared in step A is a composite in which a solder resist layer having a large number of through holes at a predetermined position is laminated on a heat-resistant substrate sheet via a film-like adhesive. 4. The method according to any one of claims 1 to 3, which is a layer sheet. [5] 工程 Aにおいて準備されたシートが有する全ての窪みの底面積が実質的に同一で あり、それにより工程 Dにおいてシートの窪み内のはんだ粉末の量が全ての窪みに おいて略同一である、請求項 1〜3のいずれかに記載の方法。 [5] The bottom areas of all the recesses of the sheet prepared in step A are substantially the same, so that in step D, the amount of solder powder in the recesses of the sheet is substantially the same in all recesses. The method according to any one of claims 1 to 3, wherein: [6] 工程 Aにおいて準備されたシートが底面積の異なる窪みを有し、それにより工程 D においてシートの窪み内のはんだ粉末の量が変動する、請求項 1〜3のいずれかに 記載の方法。 [6] The method according to any one of claims 1 to 3, wherein the sheet prepared in step A has depressions having different bottom areas, whereby the amount of solder powder in the depression of the sheet varies in step D. . [7] 片面に所定位置に形成された多数の窪みを有し、各窪みの底面が粘着剤から構 成され、各窪み内には底面の粘着剤に付着したはんだ粉末が保持され、かつ該は んだ粉末が熱可塑性榭脂層およびフラックスよりなる群力 選ばれた少なくとも 1種の 材料で被覆されて ヽることを特徴とする、はんだバンプ形成用シート。  [7] It has a number of depressions formed at predetermined positions on one side, and the bottom surface of each depression is composed of an adhesive, and solder powder attached to the adhesive on the bottom is held in each depression, and A solder bump forming sheet, wherein the solder powder is coated with at least one material selected from the group consisting of a thermoplastic resin layer and a flux. [8] 熱可塑性榭脂層が、加熱溶融した時にフラックス機能を発揮することができ、常温 でタックフリーである、請求項 7に記載のはんだバンプ形成用シート。  [8] The solder bump forming sheet according to [7], wherein the thermoplastic resin layer can exhibit a flux function when heated and melted and is tack-free at room temperature. [9] 熱可塑性榭脂層が、水溶性の熱可塑性榭脂とヒドロキシル基またはエーテル基を 含有する有機化合物とを主成分とするものである、請求項 8記載のはんだバンプ形 成用シート。  [9] The solder bump forming sheet according to claim 8, wherein the thermoplastic resin layer is composed mainly of a water-soluble thermoplastic resin and an organic compound containing a hydroxyl group or an ether group.
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