[go: up one dir, main page]

WO2004042337A1 - Drucksensor - Google Patents

Drucksensor Download PDF

Info

Publication number
WO2004042337A1
WO2004042337A1 PCT/DE2003/003223 DE0303223W WO2004042337A1 WO 2004042337 A1 WO2004042337 A1 WO 2004042337A1 DE 0303223 W DE0303223 W DE 0303223W WO 2004042337 A1 WO2004042337 A1 WO 2004042337A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
pressure sensor
membrane
sensor according
insert
monolith body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/DE2003/003223
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Frank Dietrich
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Metallux GmbH
Original Assignee
Metallux GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Metallux GmbH filed Critical Metallux GmbH
Publication of WO2004042337A1 publication Critical patent/WO2004042337A1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/14—Housings
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0042—Constructional details associated with semiconductive diaphragm sensors, e.g. etching, or constructional details of non-semiconductive diaphragms
    • G01L9/0044—Constructional details of non-semiconductive diaphragms
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance

Definitions

  • the present invention relates to a pressure sensor with the features of the preamble of claim 1.
  • Pressure sensors are used in many areas of technology, especially in process engineering, to measure pressures in liquid or gaseous fluids.
  • a pressure sensor of the type mentioned at the outset is known from the "PD 1000/2000 series pressure sensor" data sheet from Metallux and has a monolithic body which comprises an annular support body and a membrane
  • the strain gauges are made from a hardened, conductive high-temperature paste.
  • Such a high-temperature paste usually contains precious metals and is comparatively expensive.
  • the monolith body of the known pressure sensor is made of ceramic, so that the production costs of the monolith bodies are comparatively high. that the range of applications of the pressure sensors is reduced, since for a large number of applications fertilize only comparatively inexpensive pressure sensors are economically sensible.
  • Such a pressure sensor is usually installed in a housing, which e.g. made of steel, at least not ceramic, so that there are different temperature coefficients. To avoid tensioning the membrane due to thermal expansion effects, it may therefore be necessary to store the pressure sensor in the respective housing.
  • the membrane is made of ceramic, which entails further restrictions.
  • the membrane can be made relatively thin, which makes manufacturing complex. Due to the tolerance, this can result in comparatively large fluctuations in the diaphragm thickness, which means that the overall sensitivity of the pressure sensors is subject to strong scattering, since the diaphragm thickness, in the third power, is included in the spring characteristic of the diaphragm.
  • a ceramic membrane has a relatively high rigidity, so that in order to realize a pressure sensor with a comparatively high sensitivity for sensing relatively small pressures, the membrane must have a correspondingly large geometry.
  • the present invention is concerned with the problem of specifying an improved embodiment for a pressure sensor of the type mentioned at the outset, which is particularly inexpensive to manufacture. According to the invention, this problem is solved by the subject matter of the independent claim. Advantageous embodiments are the subject of the dependent claims.
  • the invention is based on the general idea of producing the monolith body from plastic and the circuit components from a polymer paste.
  • the series production of a plastic monolith is very inexpensive.
  • the invention uses the knowledge that a high temperature resistance of the pressure sensor is not important for a large number of applications. At comparatively low process temperatures, monolith bodies can therefore achieve sufficient service lives on a corresponding high-temperature plastic.
  • the use of a polymer paste to form the circuit components, in particular the strain gauges enables the printed circuit to cure at comparatively low temperatures, at least at temperatures which the high-temperature plastic of the monolith body withstands.
  • a low-temperature paste is therefore expediently used as the polymer paste.
  • a polymer paste can be used without or with a comparatively low proportion of noble metal, whereby a price advantage can also be achieved here.
  • the invention thus provides an extremely inexpensive to manufacture pressure sensor for low temperature applications.
  • the plastic membrane can be made comparatively soft by appropriate shaping, so that with a small geometry, very great sensitivity opportunities to measure small pressures.
  • shape tolerances can be reduced by selecting a suitable manufacturing process, so that fluctuations in the overall sensitivity of the respective pressure sensor are comparatively small. Small manufacturing tolerances result in particular if an injection molding process is used to produce the monolith body.
  • the pressure sensor has electrical connections which are designed as insert or insert parts and are embedded in the monolith body.
  • these connections can thus already be integrated into the monolith body during the production thereof.
  • a subsequent attachment of connections on the printed circuit can therefore be omitted, which makes the manufacture of the pressure sensors considerably easier and cheaper to implement.
  • an embodiment is particularly advantageous in which the membrane is coupled in motion with a one-part or multi-part insert or insert element which is firmly connected to the monolith body.
  • the elasticity of the membrane can be influenced in a targeted manner.
  • this insert or insert element can be formed by a single or multi-part membrane core which is arranged in the membrane and is completely encased by the plastic of the monolith body. With this construction, the membrane body can be integrated into the membrane during the manufacture of the monolith body.
  • the membrane core Due to the complete covering of the membrane core by the plastic of the monolith body, such materials, in particular metals, can also be used for the membrane core that are not suitable for printing on the circuit on the one hand and / or the specific media in which the pressure is to be measured, cannot be exposed without protection, otherwise there is a risk of corrosion, for example.
  • the suspension characteristic of the membrane can be influenced or modeled in a particularly simple manner by designing the membrane core accordingly.
  • the insert or insert element can be formed by a vacuum can which is arranged in the membrane and is completely encased in the plastic of the monolith body.
  • the vacuum can is expediently installed in the membrane during the manufacture of the monolith body. Coupling the membrane with a vacuum can enables the pressure sensor to be designed as an absolute pressure sensor. It is particularly advantageous that such vacuum cans are comparatively inexpensive to manufacture and the vacuum incorporated therein maintained for a sufficient time. The tight sealing of the vacuum can with the plastic of the monolith body results in an additional seal of the vacuum can. At the same time, the encapsulation of the vacuum can with the plastic also allows a free selection for the material of the vacuum can.
  • FIG. 1 shows a longitudinal section through a pressure sensor in a first embodiment
  • FIG. 2 is a plan view of the pressure sensor of FIG. 1, 3 shows a longitudinal section as in FIG. 1, but in a second embodiment,
  • FIG. 4 is a plan view as in FIG. 2, but in the embodiment according to FIG. 3,
  • FIG. 6 is a plan view as in FIG. 5, but in another embodiment,
  • FIG. 7 shows a longitudinal section as in FIG. 1, but in a third embodiment
  • FIG. 8 is a plan view as in FIG. 2, but in the embodiment according to FIG. 7.
  • a pressure sensor 1 has a monolith body 2, which according to the invention is made from a plastic, in particular from a thermoplastic, preferably from a high-temperature plastic.
  • the monolith body 2 u holds a support body 3 and a membrane 4 formed thereon in one piece.
  • the support body 3 is designed here as a closed circular ring; other, in particular angular, ring geometries are also possible.
  • the membrane 4. formed at an axial end of the support body 3 .
  • an upper side 6 of the membrane 4 facing away from an interior 5 of the support body 3 is particularly well suited for printing on a bridge circuit, not shown here, made of strain gauges.
  • a curable and conductive polymer paste is used for the production of the strain gauges, which is in particular without or low in precious metals.
  • the bridge circuit is expediently printed on the upper side 6 of the membrane 4 using the so-called thick-film technology in a screen printing process.
  • the printed circuit can comprise a temperature compensation network.
  • Such a bridge circuit usually comprises four strain gauges, two of which are arranged in tension zones and two in pressure zones of membrane 4.
  • the polymer paste used to form the strain gauges or other components, eg resistors, of the circuit is expediently a low-temperature paste.
  • the monolith body 2 has electrical connections 7, at which, for example, the signals generated by the printed circuit can be tapped. Furthermore, other connections can serve, for example, to connect integrated circuits to the pressure sensor 1.
  • the connections then form so-called “lead frames” which provide one or more slots for integrated circuits.
  • the pressure sensor 1 can thereby be combined in a particularly convenient manner with at least one so-called “ASIC”, which essentially comprises an integrated one defined by the respective user Circuit represents.
  • the monolith body 2 is preferably designed as an injection-molded component, as a result of which it is particularly easy to embed the connections 7 in the monolith body 2 by encapsulation or injection molding with the plastic. As a result, the connections 7 are integrated into the monolith body 2 during the manufacture thereof.
  • the support body 3 is equipped at its other end facing away from the membrane 4 with an annular receiving groove 8 into which a seal 9, here an O-ring, can be inserted.
  • a seal 9 can seal radially and / or axially.
  • annular welding projection 10 is formed on the other axial end of the support body 3 facing away from the membrane 4.
  • this welding projection 10 can be used to weld the monolith body 2 to a component that is to be equipped with the pressure sensor 1. An ultrasonic welding process is particularly suitable for this.
  • the membrane 4 can be specifically designed such that a desired spring elasticity results.
  • the spring elasticity of the membrane 4 determines the sensitivity of the pressure sensor 1 and the pressure range in which the pressure sensor 1 can be used.
  • the membrane 4 is expediently exposed to the medium on an underside 12 facing the interior 5, the pressure of which is to be measured using the pressure sensor 1. That is, the printed circuit usually has no contact with the medium to be measured.
  • the membrane 4 can be motion-coupled with an insert element 11, i.e. the membrane 4 follows the movements of the insert or insert element 11.
  • This insert or insert element 11 can be designed in one part or in several parts.
  • the spring elasticity or the spring characteristic of the membrane 4 can thus be influenced.
  • the insert or insert element 11 is firmly anchored in the support body 3. Furthermore, the insert or insert element 11 each has essentially the same cross-sectional area as the membrane 4. This construction ensures that the insert or insert element 11 used in each case also acts as a membrane, the insert or insert element 11 and the membrane 4 through their coupling of motion like a act membrane, which has a resulting suspension characteristics.
  • the insert or insert element 11 is formed by a membrane core 13.
  • the membrane core 13 is arranged in the membrane 4 such that the plastic of the monolith body 2 completely envelops the membrane core 13. Due to this design, the membrane core 13 is not exposed to the medium to be measured, but is protected by the plastic of the monolith body 2.
  • the plastic of the monolith body 2 is selected so that it is particularly well suited for printing with the polymer paste. Accordingly, a material that is not suitable for printing with the polymer paste can also be used for the membrane core 13.
  • the membrane core 13 is preferably made of metal. In principle, however, other materials are also conceivable which are suitable for influencing the elasticity of the membrane 4. Since a membrane core 13 made of metal is considerably stiffer than the plastic membrane 4, the elasticity of the membrane core 13 dominates the spring characteristic of the (resulting) membrane 4 of the pressure sensor 1.
  • the membrane core 13 can be formed by a full disc.
  • the suspension characteristics of the membrane 4 can be determined by the selection of the material and the wall thickness.
  • any suitable shape or form can be used for the membrane core 13 in order to specifically model the spring characteristic of the membrane 4.
  • a special embodiment for the membrane core 13 is shown by way of example in FIG. 6.
  • the membrane core 13 here shows a ring 14, of which several, here four, tongues 15 project radially inwards. The tongues 15 do not touch each other in order to have greater mobility.
  • the monolith body 2 here has an indexing 16 in the form of a recess in the region of its support body 3. Such an indexing 16 simplifies the series production of the pressure sensor 1, since the respective relative position of the otherwise rotationally symmetrical monolith body 2 can always be recognized or set by machine via the indexing 16.
  • the membrane core 13 can also be suitably equipped with an indexing 17 in the form of a recess.
  • the embodiments of FIGS. 1 to 6 show a pressure sensor 1 which can be used as a differential pressure sensor. This means that the pressure sensor 1 can only detect a pressure difference between the top 6 and the bottom 12 of the membrane 4. The pressure sensor 1 must then also be installed in a corresponding manner.
  • FIGS. 7 and 8 show an embodiment in which the pressure sensor 1 is designed as an absolute pressure sensor.
  • the insert or insert element 11 is formed by a vacuum can 18.
  • This vacuum can 18 is manufactured in a conventional manner and contains a vacuum in its interior 19 and can hold it for a sufficiently long time.
  • such a vacuum can 18 can be produced by tightly connecting, in particular by means of laser welding, two half-shells under vacuum.
  • the membrane 4 always deforms as a function of the pressure difference between the upper side 6 and the lower side 12 applied pressure and the vacuum of the vacuum can 18, that is, depending on the absolute pressure.
  • the vacuum can 18 is also expediently integrated into the membrane 4 in such a way that it is completely surrounded by the plastic of the monolith body 2. Accordingly, here too Material of the .Vacuumdose 18 protected against an attack of the respective medium, the pressure of which is to be measured. Furthermore, the printing of the circuit on the membrane 4 is simplified.
  • the pressure sensor 1 can also be configured as an absolute pressure sensor in that the interior 5 of the monolith body 2 at the end of the support body 3 facing away from the membrane 4 is provided with an, e.g. about the welding projection 10, welded lid is closed under vacuum.
  • a circuit On the membrane 4 is a circuit, not shown here, using thick-film technology, e.g. in the screen printing process, which is suitable for determining the pressure acting on the membrane 4.
  • Individual components of the circuit are applied from a hardenable paste, which is hardened in a subsequent work step.
  • this is a polymer paste.
  • the circuit is expediently a bridge circuit composed of strain gauges which are produced from the polymer paste mentioned.
  • the integration of the membrane core 13 or the vacuum can 18 can be realized particularly simply by the plastic insert molding or molding around the respective insert or insert element 11 when the monolith body is being injected or cast becomes.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Drucksensor (1) mit einem Monolithkörper (2), der einen Tragkörper (3) und eine Membran (4) umfasst, auf die eine Schaltung zur Druckermittlung aufgedruckt ist. Komponenten der Schaltung sind aus einer ausgehärteten Paste hergestellt. Der Drucksensor (1) kann besonders preiswert hergestellt werden, wenn der Monolithkörper (2) aus Kunststoff besteht und wenn die Paste eine Polymerpaste ist.

Description

Drucksensor
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Drucksensor mit den Merkmalen des Oberbegriffs des Anspruchs 1.
Drucksensoren kommen in vielen Bereichen der Technik, insbesondere bei der Verfahrenstechnik, zur Anwendung, um in flüssigen oder gasförmigen Fluiden Drücke zu messen.
Aus dem Datenblatt „Drucksensor der Serie PD 1000/2000" der Firma Metallux ist ein Drucksensor der eingangs genannten Art bekannt und besitzt einen Monolithkörper, der einen kreisringförmigen Tragkörper und eine Membran umfasst. Auf die Membran ist mittels Dickschichttechnik im Siebdruckverfahren eine Brückenschaltung aus Dehnmeßstreifen aufgedruckt. Die Dehnmeßstreifen sind dabei aus einer ausgehärteten, leitfähigen Hochtemperaturpaste hergestellt. Eine derartige Hochtemperaturpaste enthält in der Regel Edelmetalle und ist vergleichsweise teuer. Der Monolithkörper des bekannten Drucksensors besteht aus Keramik, so dass die Herstellungskosten der Monolithkörper vergleichsweise hoch sind. Dies hat zur Folge, dass das Anwendungsspektrum der Drucksensoren reduziert ist, da für eine Vielzahl von Anwen- düngen nur vergleichsweise preiswerte Drucksensoren wirtschaftlich sinnvoll sind.
Üblicherweise erfolgt der Einbau eines solchen Drucksensors in ein Gehäuse, das z.B. aus Stahl, jedenfalls nicht aus Keramik, besteht, so dass unterschiedliche Temperaturkoeffizienten vorliegen. Um Verspannungen der Membran aufgrund von Wärmedehnungseffekten zu vermeiden, kann daher eine aufwändige Lagerung des Drucksensors im jeweiligen Gehäuse erforderlich sein. Beim bekannten Drucksensor besteht die Membran aus Keramik, was weitere Einschränkungen mit sich bringt. Zum einen kann die Membran relativ dünn ausgebildet werden, was die Herstellung aufwändig gestaltet. Toleranzbedingt können sich dadurch vergleichsweise starke Schwankungen hinsichtlich der Membrandicke ergeben, wodurch die Gesamtempfindlichkeit der Drucksensoren starken Streuungen unterworfen ist, da die Membrandicke in der dritten Potenz in die Federkennlinie der Membran eingeht. Zum anderen besitzt eine Keramikmembran eine relativ große Steifigkeit, wodurch zur Realisierung eines Drucksensors mit einer vergleichsweise großen Empfindlichkeit zum Sensieren relativ kleiner Drücke die Membran eine entsprechend große Geometrie besitzen muss.
Die vorliegende Erfindung beschäftigt sich mit dem Problem, für einen Drucksensor der eingangs genannten Art eine verbesserte Ausführungsform anzugeben, die insbesondere preiswert herstellbar ist. Dieses Problem wird erfindungsgemäß durch den Gegenstand des unabhängigen Anspruchs gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.
Die Erfindung beruht auf dem allgemeinen Gedanken, den Monolithkörper aus Kunststoff und die Schaltungskomponenten aus einer Polymerpaste herzustellen. Die serienmäßige Herstellung eines Kunststoffmonolithen ist sehr preiswert realisierbar. Die Erfindung nutzt dabei die Erkenntnis, dass es für eine Vielzahl von Anwendungen nicht auf eine hohe Temperaturbeständigkeit des Drucksensors ankommt. Bei vergleichsweise niedrigen Prozesstemperaturen können daher Monolithkörper auf einem entsprechenden Hochtemperaturkunststoff hinreichende Standzeiten realisieren. Die Verwendung einer Polymerpaste zur Ausbildung der Schaltungskomponenten, insbesondere der Dehnmeßstreifen, ermöglicht das Aushärten der aufgedruckten Schaltung bei vergleichsweise niedrigen Temperaturen, jedenfalls bei Temperaturen, denen der Hochtemperaturkunststoff des Monolithkörpers standhält. Zweckmäßig wird als Polymerpaste daher eine Niedertemperaturpaste verwendet. Darüber hinaus kann eine Polymerpaste ohne oder mit vergleichsweise wenig Edelmetallanteil verwendet werden, wodurch auch hier ein Preisvorteil erzielbar ist. Die Erfindung stellt somit für Niedertemperaturanwendungen einen extrem preiswert herstellbaren Drucksensor zur Verfügung.
Des weiteren kann durch eine entsprechende Formgebung die Kunststoffmembran vergleichsweise weich gestaltet werden, so dass sich bei einer kleinen Geometrie sehr große Empfind- lichkeiten zur Messung kleiner Drücke erzielen lassen. Außerdem können Formtoleranzen durch die Auswahl eines geeigneten Herstellungsverfahrens reduziert werden, so dass Schwankungen der Gesamtempfindlichkeit des jeweiligen Drucksensors vergleichsweise klein sind. Kleine Herstellungstoleranzen ergeben sich insbesondere dann, wenn zur Herstellung des Monolithkörpers ein Spritzgußverfahren angewandt wird.
Bei einer vorteilhaften Weiterbildung besitzt der Drucksensor elektrische Anschlüsse, die als Einsatz- oder Einlegeteile ausgestaltet und in den Monolithkörper eingebettet sind. Insbesondere können diese Anschlüsse somit bereits bei der Herstellung des Monolithkörpers in diesen integriert werden. Ein nachträgliches Anbringen von Anschlüssen auf der aufgedruckten Schaltung kann daher entfallen, wodurch sich die Herstellung der Drucksensoren erheblich vereinfacht und preiswerter realisieren lässt.
Besonders vorteilhaft ist eine Ausführungsform, bei welcher die Membran mit einem ein- oder mehrteiligen Einsatz- oder Einlegeelement bewegungsgekoppelt ist, das fest mit dem Monolithkörper verbunden ist. Mit Hilfe eines solchen Einsatzoder Einlegeelements kann die Elastizität der Membran gezielt beeinflusst werden. Insbesondere ist es dadurch möglich, das Dehnungsverhalten der Membran gezielt im Hinblick auf eine gewünschte Empfindlichkeit und/oder Anwendungsform des Drucksensors auszulegen. Bei einer bevorzugten Weiterbildung kann dieses Einsatzoder Einlegeelement durch einen ein- oder mehrteiligen Membrankern gebildet sein, der in der Membran angeordnet und vom Kunststoff des Monolithkörpers vollständig umhüllt ist. Bei dieser Bauweise kann der Membrankörper bereits bei der Herstellung des Monolithkörpers in die Membran integriert werden. Durch die vollständige Umhüllung des Membrankerns durch den Kunststoff des Monolithkörpers können für den Membrankern auch solche Materialien, insbesondere Metalle, verwendet werden, die sich einerseits nicht zum Bedrucken mit der Schaltung eignen und/oder die bestimmten Medien, in denen der Druck gemessen werden soll, nicht ungeschützt ausgesetzt werden können, da sonst beispielsweise eine Korrosionsgefahr besteht. Durch die Integration eines solchen Membrankerns in das Innere der Membran kann durch ein entsprechendes Design des Membrankerns besonders einfach die Federungscharakteristik der Membran gezielt beeinflusst bzw. modelliert werden.
Bei einer anderen vorteilhaften Weiterbildung kann das Einsatz- oder Einlegeelement durch eine Vakuumdose gebildet sein, die in der Membran angeordnet und vom Kunststoff des Monolithkörpers vollständig umhüllt ist. Auch hier erfolgt der Einbau der Vakuumdose in die Membran zweckmäßig bereits während der Herstellung des Monolithkörpers. Die Kopplung der Membran mit einer Vakuumdose ermöglicht die Ausbildung des Drucksensors als Absolutdrucksensor. Von besonderem Vorteil ist dabei, dass derartige Vakuumdosen vergleichsweise preiswert herstellbar sind und das darin eingebrachte Vakuum hinreichend lange aufrechterhalten. Durch die dichte Umhüllung der Vakuumdose mit dem Kunststoff des Monolithkörpers ergibt sich eine zusätzliche Abdichtung der Vakuumdose. Gleichzeitig ermöglicht die Umhüllung der Vakuumdose mit dem Kunststoff auch hier eine freie Auswahl für den Werkstoff der Vakuumdose.
Weitere wichtige Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen, aus den Zeichnungen und aus der zugehörigen Figurenbeschreibung anhand der Zeichnungen.
Es versteht sich, dass die vorstehend genannten und die nachstehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.
Bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und werden in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert, wobei sich gleiche Bezugszeichen auf gleiche oder funktional gleiche oder ähnliche Bauteile beziehen.
Es zeigen, jeweils schematisch,
Fig. 1 einen Längsschnitt durch einen Drucksensor bei einer ersten Ausführungsform,
Fig. 2 eine Draufsicht auf den Drucksensor gemäß Fig. 1, Fig. 3 einen Längsschnitt wie in Fig. 1, jedoch bei einer zweiten Ausführungsform,
Fig. 4 eine Draufsicht wie in Fig. 2, jedoch bei der Ausführungsform gemäß Fig. 3,
Fig. 5 eine Draufsicht auf einen Membrankern,
Fig. 6 eine Draufsicht wie in Fig. 5, jedoch bei einer anderen Ausführungsform,
Fig. 7 einen Längsschnitt wie in Fig. 1, jedoch bei einer dritten Ausführungsform,
Fig. 8 eine Draufsicht wie in Fig. 2, jedoch bei der Ausführungsform gemäß Fig. 7.
Entsprechend den Fig. 1 bis 8 weist ein erfindungsgemäßer Drucksensor 1 einen Monolithkörper 2 auf, der erfindungsgemäß aus einem Kunststoff, insbesondere aus einem Thermoplast-Kunststoff, vorzugsweise aus einem Hochtemperaturkunststoff, hergestellt ist. Der Monolithkörper 2 u fasst einen Tragkörper 3 sowie eine einstückig daran ausgebildete Membran 4.
Der Tragkörper 3 ist hier als geschlossener Kreisring ausgebildet; ebenso sind andere, insbesondere eckige, Ringgeometrien möglich. An einem axialen Ende des Tragkörpers 3 ist die Membran 4. ausgebildet . Hierdurch ist eine von einem Inneren 5 des Tragkörpers 3 abgewandte Oberseite 6 der Membran 4 besonders gut zum Aufdrucken einer hier nicht dargestellten Brückenschaltung aus Dehnmeßstreifen geeignet. Erfin- dungsgemäß wird für die Herstellung der Dehnmeßstreifen eine aushärtbare und leitfähige Polymerpaste verwendet, die insbesondere ohne bzw. arm an Edelmetallen ist. Die Brückenschaltung wird zweckmäßig im Rahmen der sogenannten Dickschichttechnik im Siebdruckverfahren auf die Oberseite 6 der Membran 4 aufgedruckt. Gleichzeitig kann die aufgedruckte Schaltung ein Temperaturkompensationsnetzwerk umfassen. Üblicherweise umfasst eine solche Brückenschaltung vier Dehnmeßstreifen, von denen zwei in 'Zugzonen und zwei in Druckzonen der Membran 4 angeordnet sind. Die für die Ausbildung der Dehnmeßstreifen oder anderer Komponenten, z.B. Widerstände, der Schaltung verwendete Polymerpaste ist zweckmäßig eine Niedertemperaturpaste.
Der Monolithkörper 2 weist elektrische Anschlüsse 7 auf, an denen z.B. die von der aufgedruckten Schaltung erzeugten Signale abgreifbar sind. Des Weiteren können andere Anschlüsse beispielsweise dazu dienen, integrierte Schaltungen mit dem Drucksensor 1 zu verbinden. Die Anschlüsse bilden dann sogenannte „Lead-Frames" , die einen oder mehrere Steckplätze für integrierte Schaltkreise bereitstellen. Beispielsweise kann der Drucksensor 1 dadurch in besonders komfortabler Weise mit wenigstens einem sogenannten „ASIC" kombiniert werden, der im wesentlichen einen vom jeweiligen Anwender definierten integrierten Schaltkreis repräsentiert. Vorzugsweise ist der Monolithkörper 2 als Spritzgußbauteil ausgebildet, wodurch es besonders einfach möglich ist, die Anschlüsse 7 durch Umgießen bzw. Umspritzen mit dem Kunststoff in den Monolithkörper 2 einzubetten. Hierdurch werden die Anschlüsse 7 bereits bei der Herstellung des Monolithkörpers 2 in diesen integriert.
Der Tragkörper 3 ist bei der hier gezeigten Ausführungsform an seinem von der Membran 4 abgewandten anderen Ende mit einer ringförmigen Aufnahmenut 8 ausgestattet, in die eine Dichtung 9, hier ein O-Ring, einlegbar ist. Je nach Montagesituation kann die Dichtung 9 dabei radial und/oder axial dichten.
Darüber hinaus ist bei der hier gezeigten Ausführungsform an dem von der Membran 4 abgewandten anderen axialen Ende des Tragkörpers 3 ein axial abstehender, ringförmiger Schweißvorsprung 10 ausgebildet. Dieser Schweißvorsprung 10 kann bei bestimmten Anwendungsformen dazu verwendet werden, den Monolithkörper 2 an einem Bauteil, das mit dem Drucksensor 1 ausgestattet werden soll, zu verschweißen. Insbesondere eignet sich hierzu ein Ultraschallschweißvorgang.
Die Membran 4 kann hinsichtlich ihrer Dicke und/oder Form gezielt so gestaltet werden, dass sich eine erwünschte Federelastizität ergibt. Die Federelastizität der Membran 4 bestimmt die Empfindlichkeit des Drucksensors 1 sowie den Druckbereich, in dem der Drucksensor 1 verwendbar ist. Zweckmäßigerweise wird die Membran 4 an einer dem Inneren 5 zugewandten Unterseite 12 mit dem Medium beaufschlagt, dessen Druck mit Hilfe des Drucksensors 1 gemessen werden soll. D.h., die aufgedruckte Schaltung hat üblicherweise keinen Kontakt mit dem zu messenden Medium.
Entsprechend den Fig. 3 bis 8 kann die Membran 4 mit einem Einsatz- oder Einlegeelement 11 bewegungsgekoppelt sein, d.h. die Membran 4 folgt den Bewegungen des Einsatz- oder Einlegeelements 11. Dieses Einsatz- oder Einlegeelement 11 kann dabei einteilig öder mehrteilig ausgestaltet sein.
Mit Hilfe dieses Einsatz- oder Einlegeelements 11 kann somit die Federelastizität bzw. die Federungscharakteristik der Membran 4 beeinflusst werden. Beispielsweise ist es möglich, mit Hilfe des Einsatz- oder Einlegeelements 11 die Membran 4 mit einer zusätzlichen Masse zu belegen, was gleichzeitig als Aussteifung der Membran 4 dienen kann.
Bei den hier gezeigten Ausführungsformen ist das Einsatzoder Einlegeelement 11 jeweils im Tragkörper 3 fest verankert. Des Weiteren besitzt das Einsatz- oder Einlegeelement 11 jeweils im wesentlichen dieselbe Querschnittsfläche wie die Membran 4. Durch diese Bauweise wird erreicht, dass das jeweils verwendete Einsatz- oder Einlegelement 11 ebenfalls als Membran wirkt, wobei das Einsatz- oder Einlegeelement 11 und die Membran 4 über ihre Bewegungskopplung wie eine ein- zige Membran wirken, die eine resultierende Federungscharakteristik besitzt.
Bei der Ausführungsform gemäß den Fig. 3 bis 6 ist das Einsatz- oder Einlegeelement 11 durch einen Membrankern 13 gebildet. Der Membrankern 13 ist in der Membran 4 angeordnet, derart, dass der Kunststoff des Monolithkörpers 2 den Membrankern 13 vollständig umhüllt. Durch diese Bauweise ist der Membrankern 13 nicht dem zu messenden Medium ausgesetzt, sondern durch den Kunststoff des Monolithkörpers 2 geschützt. Darüber hinaus ist der Kunststoff des Monolithkörpers 2 so gewählt, dass er sich für eine Bedruckung mit der Polymerpaste besonders gut eignet. Dementsprechend kann für den Membrankern 13 auch ein Material verwendet werden, das für eine Bedruckung mit der Polymerpaste nicht geeignet ist. Vorzugsweise besteht der Membrankern 13 aus Metall. Grundsätzlich sind aber auch andere Materialien denkbar, die sich zur Beeinflussung der Elastizität der Membran 4 eignen. Da ein Membrankern 13 aus Metall erheblich steifer ist als die Kunststoff-Membran 4, dominiert die Elastizität des Membrankern 13 die Federungscharakteristik der (resultierenden) Membran 4 des Drucksensors 1.
Entsprechend Fig. 5 kann der Membrankern 13 durch eine volle Scheibe gebildet sein. Durch die Auswahl des Werkstoffs sowie der Wandstärke kann die Federungscharakteristik der Membran 4 bestimmt werden. Grundsätzlich kann für den Membrankern 13 jede beliebige, geeignete Form oder Gestalt verwendet werden, um die Federcharakteristik der Membran 4 gezielt zu modellieren. Beispielhaft ist in Fig. 6 eine besondere Ausführungsform für den Membrankern 13 wiedergegeben. Der Membrankern 13 zeigt hier einen Ring 14, von dem mehrere, hier vier, Zungen 15 radial nach innen vorstehen. Die Zungen 15 berühren sich dabei nicht, um eine höhere Beweglichkeit zu besitzen.
Durch die exemplarisch genannten Varianten der Fig. 5 und 6 wird augenfällig, dass die Federeigenschaft der Membran 4 und somit die Empfindlichkeit des Drucksensors 1 bzw. der Einsatz-Druckbereich des Drucksensors 1 nahezu beliebig modelliert werden können, indem der Membrankern 13 bzw. das Einsatz- oder Einlegeelement 11 hinsichtlich wenigstens eines der folgenden Kriterien speziell ausgelegt wird: Form, Material, Elastizität und Dimensionierung.
Der Monolithkörper 2 besitzt hier im Bereich seines Tragkörpers 3 eine Indexierung 16 in Form einer Aussparung. Eine solche Indexierung 16 vereinfacht die Serienfertigung des Drucksensors 1, da über die Indexierung 16 stets die jeweilige Relativlage des im Übrigen rotationssymmetrischen Monolithkörpers 2 maschinell erkennbar bzw. einstellbar ist.
Wie aus den Fig. 4 bis 6 hervorgeht, kann auch der Membrankern 13 zweckmäßig mit einer Indexierung 17 in Form einer Aussparung ausgestattet sein. Die Ausführungsformen der Fig. 1 bis 6 zeigen einen Drucksensor 1, der als Differenzdrucksensor verwendbar ist. Das bedeutet, dass der Drucksensor 1 immer nur eine Druckdifferenz zwischen der Oberseite 6 und der Unterseite 12 der Membran 4 feststellen kann. In entsprechender Weise muss dann auch der Einbau des Drucksensors 1 erfolgen.
Im Unterschied dazu zeigen die Fig. 7 und 8 eine Ausführungsform, bei welcher der Drucksensor 1 als Absolutdrucksensor ausgestaltet ist. Zu diesem Zweck ist das Einsatzoder Einlegeelement 11 durch eine Vakuumdose 18 gebildet. Diese Vakuumdose 18 wird auf herkömmliche Weise hergestellt und enthält in ihrem Inneren 19 ein Vakuum und kann dieses hinreichend lange halten. Beispielsweise kann eine solche Vakuumdose 18 durch ein dichtes Verbinden, insbesondere mittels Laserschweißen, von zwei Halbschalen unter Vakuum hergestellt werden.
Wenn nun der Drucksensor 1 gemäß Fig. 7 so montiert wird, dass das zu messende Medium sowohl die Oberseite 6 als auch die Unterseite 12 der Membran 4 beaufschlagt, verformt sich die Membran 4 stets in Abhängigkeit der Druckdifferenz zwischen dem an Oberseite 6 und Unterseite 12 anliegenden Druck und dem Vakuum der Vakuumdose 18, also in Abhängigkeit des Absolutdrucks .
Auch die Vakuumdose 18 ist zweckmäßig so in die Membran 4 integriert, dass sie vollständig vom Kunststoff des Monolithkörpers 2 umhüllt ist. Dementsprechend ist auch hier der Werkstoff der .Vakuumdose 18 vor einem- Angriff des jeweiligen Mediums, dessen Druck gemessen werden soll, geschützt. Des Weiteren vereinfacht sich das Aufdrucken der Schaltung auf die Membran 4.
Der Drucksensor 1 kann auch dadurch zum Absolutdrucksensor ausgebildet werden, dass das Innere 5 des Monolithkörpers 2 an dem von der Membran 4 abgewandten Ende des Tragkörpers 3 mit einem, z.B. über den Schweißvorsprung 10, angeschweißten Deckel unter Vakuum verschlossen wird.
Auf die Membran 4 ist eine hier nicht gezeigte Schaltung mittels Dickschichtte.chnik, z.B. im Siebdruckverfahren, aufgedruckt, die zur Ermittlung des an der Membran 4 angreifenden Drucks geeignet ist. Einzelne Komponenten der Schaltung werden dabei aus einer aushärtbaren Paste aufgetragen, die in einem nachfolgenden Arbeitsschritt ausgehärtet wird. Erfindungsgemäß handelt es sich hierbei um eine Polymerpaste. Zweckmäßig handelt es sich bei der Schaltung um eine Brük- kenschaltung aus Dehnmeßstreifen, die aus der genannten Polymerpaste hergestellt sind.
Insbesondere dann, wenn der Monolithkörper 2 als Spritzgußbauteil ausgebildet ist, kann die Integration des Membran- kerns 13 bzw. der Vakuumdose 18 besonders einfach realisiert werden, indem das jeweilige Einsatz- oder Einlegeelement 11 beim Spritzen oder Gießen des Monolithkörpers vom Kunststoff umgössen bzw. umspritzt wird.
•λ- -λ- -λ- -k -k

Claims

Ansprüche
1. Drucksensor mit einem Monolithkörper (2), der einen Tragkörper (3) und eine Membran (4) umfasst, auf die eine Schaltung zur Druckermittlung aufgedruckt ist,
- wobei Komponenten der Schaltung aus einer ausgehärteten Paste hergestellt sind, dadurch gekennzeichnet,
- dass der Monolithkörper (2) aus Kunststoff besteht und
- dass die Paste eine Polymerpaste ist.
2. Drucksensor nach Anspruch 1, dadurch gekennz ichn , dass der Monolithkörper (2) aus einem Thermoplast-Kunststoff besteht .
3. Drucksensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichne , dass der Monolithkörper (2) als Spritzgußbauteil ausgebildet ist.
4. Drucksensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch geken zeichne , dass der Monolithkörper (2) aus einem Hochtemperaturkunststoff besteht.
5. Drucksensor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch geken zeichne , dass die Polymerpaste eine Niedertemperaturpaste ist.
6. Drucksensor nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Drucksensor (1) elektrische Anschlüsse (7) aufweist, die als Einsatz- oder Einlegeteile ausgestaltet und in den Monolithkörper (2) eingebettet sind.
7. Drucksensor nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die elektrischen Anschlüsse (7) durch Umgießen oder U - spritzen mit Kunststoff in den Monolithkörper (2) eingebettet sind.
8. Drucksensor nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Membran (4) mit einem ein- oder mehrteiligen Einsatz- oder Einlegeelement (11) bewegungsgekoppelt ist, das fest mit dem Monolithkörper (2) verbunden ist.
9. Drucksensor nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Einsatz- oder Einlegeelement (11) hinsichtlich Form und/oder Material und/oder Elastizität und/oder Dimensionierung in Abhängigkeit der für den jeweiligen Anwendungsfall des Drucksensors (1) erforderlichen Federeigenschaft der Membran (4) ausgewählt ist.
10. Drucksensor nach Anspruch 8 oder 9, dadurch geken zeichnet, dass das Einsatz- oder Einlegeelement (11) durch einen ein- oder mehrteiligen Membrankern (13) gebildet ist, der in der Membran (4) angeordnet und vom Kunststoff des Monolithkörpers (2) vollständig umhüllt ist.
11. Drucksensor nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Membrankern (13) aus Metall ist.
12. Drucksensor nach Anspruch 10 oder 11, dadurch geken zeichne , dass der Membrankern (13) als volle Scheibe ausgebildet ist.
13. Drucksensor nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Membrankern (13) als Ring (14) ausgebildet ist, von dem sich wenigstens eine Zunge (15) radial nach innen erstreckt .
14. Drucksensor nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Einsatz- oder Einlegeelement (11) durch eine Vaku¬ umdose (18) gebildet ist.
15. Drucksensor nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Vakuumdose (18) in der Membran (4) angeordnet und vom Kunststoff des Monolithkörpers (2) vollständig umhüllt ist .
16. Drucksensor nach Anspruch 14 oder 15, dadurch geken zeichnet, dass der Drucksensor (1) als Absolutdrucksensor ausgebildet ist .
17. Drucksensor nach einem der Ansprüche 9 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass der Membrankern (13) oder die Vakuumdose (18) durch Umgießen oder Umspritzen mit dem Kunststoff in den Monolithkörper (2) eingebettet ist.
18. Drucksensor nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass der Tragkörper (3) einen geschlossenen Ring bildet, an den einenends die Membran (4) ausgebildet ist und an dem an- derenends eine ringförmige Aufnahmenut (8) für eine axial und/oder radial wirkende Dichtung (9) und/oder ein axial vorstehender, ringförmiger Schweißvorsprung (10) ausgebildet ist/sind.
19. Drucksensor nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Schaltung zur Druckermittlung eine Schaltung aus Dehnmeßstreifen ist, wobei die Dehnmeßstreifen aus der Polymerpaste hergestellt sind.
PCT/DE2003/003223 2002-11-06 2003-09-26 Drucksensor Ceased WO2004042337A1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10252023A DE10252023B3 (de) 2002-11-06 2002-11-06 Drucksensor
DE10252023.2 2002-11-06

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2004042337A1 true WO2004042337A1 (de) 2004-05-21

Family

ID=32308497

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/DE2003/003223 Ceased WO2004042337A1 (de) 2002-11-06 2003-09-26 Drucksensor

Country Status (3)

Country Link
US (1) US7162925B2 (de)
DE (1) DE10252023B3 (de)
WO (1) WO2004042337A1 (de)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007023169A1 (de) * 2005-08-23 2007-03-01 Continental Teves Ag & Co. Ohg Drucksensoreinheit
WO2007040962A1 (en) * 2005-10-03 2007-04-12 Honeywell International Inc. Wireless pressure sensor and method of forming same
WO2017148660A1 (de) 2016-03-02 2017-09-08 Metallux Ag Drucksensor
EP2747646B1 (de) * 2011-11-17 2020-06-24 Koninklijke Philips N.V. Vorrichtung und verfahren zur aufnahme der oberfläche eines objekts

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7455666B2 (en) 2001-07-13 2008-11-25 Board Of Regents, The University Of Texas System Methods and apparatuses for navigating the subarachnoid space
EP1707931B1 (de) * 2005-03-31 2013-03-27 STMicroelectronics Srl Analoge Dateneingabevorrichtung versehen mit einem mikroelektromechanischem Drucksensor
EP1762925B1 (de) * 2005-09-09 2016-12-21 STMicroelectronics Srl Analoge Eingabevorrichtung mit integriertem Druckaufnehmer und elektronisches Gerät ausgestattet mit einer solchen Eingabevorrichtung.
US8173918B2 (en) * 2007-05-29 2012-05-08 Norgren Gmbh Pressure switch with an integrated diaphragm and switch
DE102008049143B4 (de) 2008-09-26 2012-08-16 Intelligente Sensorsysteme Dresden Gmbh Drucksensor und Herstellungsverfahren
WO2010113293A1 (ja) * 2009-03-31 2010-10-07 イビデン株式会社 微粒子濃度測定装置
WO2011044387A2 (en) 2009-10-07 2011-04-14 The Board Of Regents Of The University Of Texas System Pressure-sensing medical devices, systems and methods, and methods of forming medical devices
US9048521B2 (en) 2011-03-24 2015-06-02 Etegent Technologies, Ltd. Broadband waveguide
US9182306B2 (en) 2011-06-22 2015-11-10 Etegent Technologies, Ltd. Environmental sensor with tensioned wire exhibiting varying transmission characteristics in response to environmental conditions
DE102011089608A1 (de) * 2011-12-22 2013-06-27 Horst Siedle Gmbh & Co. Kg Gehäuseteil für einen elektrischen Sensorsowie Verfahren zur Herstellung des Gehäuseteils
US20160294033A1 (en) 2013-11-01 2016-10-06 Etegent Technologies Ltd. Broadband Waveguide
US10352778B2 (en) 2013-11-01 2019-07-16 Etegent Technologies, Ltd. Composite active waveguide temperature sensor for harsh environments
US10151649B2 (en) * 2013-11-18 2018-12-11 President And Fellows Of Harvard College Printed stretchable strain sensor
WO2015157488A1 (en) 2014-04-09 2015-10-15 Etegent Technologies Ltd. Active waveguide excitation and compensation
US10549982B2 (en) 2016-02-15 2020-02-04 Stmicroelectronics S.R.L. Pressure sensor encapsulated in elastomeric material, and system including the pressure sensor
WO2018191290A1 (en) 2017-04-10 2018-10-18 Etegent Technologies Ltd. Distributed active mechanical waveguide sensor with damping
US11874185B2 (en) * 2017-11-16 2024-01-16 Nextinput, Inc. Force attenuator for force sensor
US10119869B1 (en) * 2017-12-21 2018-11-06 Tactotek Oy Method for manufacturing a strain gauge device, a strain gauge device, and the use of the device
CN209326840U (zh) 2018-12-27 2019-08-30 热敏碟公司 压力传感器及压力变送器

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0321225A2 (de) * 1987-12-14 1989-06-21 Medex, Inc. Drucksensor mit Messbrücke aus leitfähigem Polymer
US5391844A (en) * 1992-04-03 1995-02-21 Weigh-Tronix Inc Load cell
US5915281A (en) * 1997-10-03 1999-06-22 Delco Electronics Corporation Silicon force and displacement sensor
US20020121145A1 (en) * 2000-05-16 2002-09-05 Deconde Keith D. Fingerprint sensors using membrane switch arrays

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ES2057886T3 (es) * 1990-05-07 1994-10-16 Bosch Gmbh Robert Procedimiento para la fabricacion de un sensor para determinar fuerzas de presion.
CH683034A5 (de) * 1992-03-17 1993-12-31 Landis & Gyr Business Support Membraneinheit für einen Drucksensor.
DE19645613A1 (de) * 1996-03-14 1997-09-18 Herion Werke Kg Drucksensor und Verfahren zu seiner Herstellung
US5945605A (en) * 1997-11-19 1999-08-31 Sensym, Inc. Sensor assembly with sensor boss mounted on substrate
DE19859507C2 (de) * 1998-12-22 2003-04-24 Wika Alexander Wiegand Gmbh Kunststoffdruckmittler für Halbleiterindustrie
US6716036B2 (en) * 2002-05-15 2004-04-06 Ormet Circuits, Inc. Method of attaching circuitry to a modular jack connector using electrically conductive paste
US6845664B1 (en) * 2002-10-03 2005-01-25 The United States Of America As Represented By The Administrator Of National Aeronautics And Space Administration MEMS direct chip attach packaging methodologies and apparatuses for harsh environments

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0321225A2 (de) * 1987-12-14 1989-06-21 Medex, Inc. Drucksensor mit Messbrücke aus leitfähigem Polymer
US5391844A (en) * 1992-04-03 1995-02-21 Weigh-Tronix Inc Load cell
US5915281A (en) * 1997-10-03 1999-06-22 Delco Electronics Corporation Silicon force and displacement sensor
US20020121145A1 (en) * 2000-05-16 2002-09-05 Deconde Keith D. Fingerprint sensors using membrane switch arrays

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007023169A1 (de) * 2005-08-23 2007-03-01 Continental Teves Ag & Co. Ohg Drucksensoreinheit
WO2007040962A1 (en) * 2005-10-03 2007-04-12 Honeywell International Inc. Wireless pressure sensor and method of forming same
EP2747646B1 (de) * 2011-11-17 2020-06-24 Koninklijke Philips N.V. Vorrichtung und verfahren zur aufnahme der oberfläche eines objekts
WO2017148660A1 (de) 2016-03-02 2017-09-08 Metallux Ag Drucksensor

Also Published As

Publication number Publication date
US20050252301A1 (en) 2005-11-17
DE10252023B3 (de) 2004-07-15
US7162925B2 (en) 2007-01-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE10252023B3 (de) Drucksensor
DE69021325T2 (de) Halbleiter-Druck-Messfühler verbunden mit einem Trägerelement.
DE3887642T2 (de) Zylinderdruckwandler für einen Verbrennungsmotor.
DE102007042439A1 (de) Drucksensor mit druckempfindlicher Membran
DE102007031980A1 (de) Anschlusseinheit für eine Druckmesszelle
DE112010004761T5 (de) Antriebs- und Sensoranordnung
EP0995979B1 (de) Druckaufnehmer
DE102008054743A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
DE102014221365A1 (de) Vormontagebaugruppe für eine Sensoreinheit und korrespondierende Sensoreinheit
DE102015104365A1 (de) Drucksensor
EP3344967B1 (de) Drucksensoranordnung sowie messumformer zur prozessinstrumentierung mit einer derartigen drucksensoranordnung
DE4234289C1 (de) Drucksensor
EP3071942B1 (de) Drucksensoranordnung zur erfassung eines drucks eines fluiden mediums in einem messraum
DE10361769B4 (de) Druckaufnehmer mit einteiligem Gehäuse
DE102010061322A1 (de) Drucksensor mit Zwischenring
DE10014634A1 (de) Drucksensor mit Metallspindel, die mit einem Gehäuse verbunden ist, das direkt an einer Vorrichtung angebracht werden kann, und Verfahren zum Herstellen desselben
EP2076750B1 (de) Fluidsensor
WO2006063877A2 (de) Vorrichtung mit formgedächtniselement
DE102008043822A1 (de) Verbrennungsdrucksensor für eine Brennkraftmaschine
EP1491872B1 (de) Drucksensor
DE102018123041A1 (de) Druckmesseinrichtung
EP2724133B1 (de) Drucksensoranordnung zur erfassung eines drucks eines fluiden mediums in einem messraum
DE102008040729A1 (de) Drucksensoranordnung
WO2004086023A1 (de) Messfühler
EP4246113B1 (de) Modular aufgebauter differenzdrucksensor

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LU MC NL PT RO SE SI SK TR

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
122 Ep: pct application non-entry in european phase