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WO2003038922A1 - Verfahren zum grossflächigen aufbringen von mechanisch empfindlichen schichten auf ein substrat - Google Patents

Verfahren zum grossflächigen aufbringen von mechanisch empfindlichen schichten auf ein substrat Download PDF

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Publication number
WO2003038922A1
WO2003038922A1 PCT/DE2002/003842 DE0203842W WO03038922A1 WO 2003038922 A1 WO2003038922 A1 WO 2003038922A1 DE 0203842 W DE0203842 W DE 0203842W WO 03038922 A1 WO03038922 A1 WO 03038922A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
substrate
spacers
structured
functional
layers
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/DE2002/003842
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Jan Birnstock
Jörg BLÄSSING
Karsten Heuser
Matthias STÖSSEL
Georg Wittmann
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ams Osram International GmbH
Original Assignee
Osram Opto Semiconductors GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Osram Opto Semiconductors GmbH filed Critical Osram Opto Semiconductors GmbH
Priority to US10/493,641 priority Critical patent/US7544383B2/en
Priority to JP2003541076A priority patent/JP4286141B2/ja
Priority to EP02776806A priority patent/EP1438758A1/de
Publication of WO2003038922A1 publication Critical patent/WO2003038922A1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10—OLED displays
    • H10K59/221—Static displays, e.g. displaying permanent logos
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10—OLED displays
    • H10K59/17—Passive-matrix OLED displays
    • H10K59/173—Passive-matrix OLED displays comprising banks or shadow masks
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
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    • H—ELECTRICITY
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    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
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    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass

Definitions

  • LC displays liquid crystal displays
  • the technology of LCDs also has serious disadvantages.
  • LC displays are not self-emitting and can therefore only be read or recognized easily in particularly favorable ambient lighting conditions. In most cases, this requires backlighting, which in turn multiplies the thickness of the flat screen.
  • the majority of the electrical power consumption is then used for the lighting, and a higher voltage is required for the operation of the lamps or fluorescent tubes. This is usually generated with the help of "voltage up converters" from the batteries or accumulators.
  • Disadvantages are the greatly restricted viewing angle of simple LCDs and the long switching times of individual pixels, which are typically a few milliseconds and are strongly temperature-dependent.
  • the delayed image build-up is extremely disruptive when used in transport or video applications, for example.
  • OLEDs organic light-emitting diodes
  • OLEDs organic light-emitting diodes
  • the switching times are in the range of one microsecond and are only slightly temperature-dependent, which enables use for video applications.
  • the reading angle is almost 180 °.
  • Polarization foils as are required in LC displays, are usually not required, so that a greater brightness of the display elements can be achieved. Another advantage is the use of flexible and non-planar substrates.
  • low molecular weight organic materials such as, for example, hydroxyquinoline aluminum III salts, which are usually applied to the corresponding substrate by thermal evaporation, can be used in the production of the OLEDs.
  • Displays based on this technology are already commercially available and are currently mainly used in automotive electronics. Since the manufacture of these components involves numerous process steps
  • Multi-layer functional polymer layers which consist, for example, of hole transport polymers and of emitter polymers, are often used in the OLEDs.
  • a contactless ink jet printing process which layers define the image points.
  • This contactless printing process can also be used to realize multi-layer functional layers.
  • inkjet printing processes it is very difficult to coat smooth surfaces homogeneously.
  • inkjet printing processes are very time-consuming and therefore costly.
  • a number of standard printing processes for example web printing processes, offset printing processes, and screen printing processes for applying electroluminescent polymers are known from publication WO 99/07189. This
  • Standard printing processes have the great advantage that they can be used to apply functional layers very quickly and inexpensively.
  • problems arise with this standard printing process if two or more functional polymer layers are to be applied one above the other or next to one another.
  • the part of the printing device responsible for transferring the functional layers for example the screen, the stencil, the tampon or the roller, presses into the mechanically sensitive polymer layer which has already been applied and damages it. This also affects the performance of the OLED displays produced in this way, so that a shortening of the service life and inhomogeneous lighting of the display must be expected.
  • the object of the invention is to provide a production method for OLED displays by means of which large-area Standard printing processes mechanically sensitive polymers can be applied to a substrate, wherein the disadvantages mentioned above are avoided.
  • spacers are attached to a substrate in such a way that the part of the printing device responsible for transferring the functional layers to the substrate, for example the above-mentioned screens or printing rollers, can only contact the spacers, but cannot mechanically easily apply any other ones that have already been applied damaging layers.
  • the method according to the invention comprises the structuring of the spacers in a method step A), a first and a second functional layer being applied in at least two further method steps B) and C) without the first functional layer being damaged when the second functional layer is applied , It is important that the spacers are structured in process step A) before the second functional layer is applied (process step C).
  • the chronological sequence of steps A) and B) is interchangeable.
  • the spacers can be structured, for example, in the form of pegs or strip-shaped webs.
  • strip-shaped webs it is advantageous to structure them such that they have an approximate height of 0.1 to 100 ⁇ m, an approximate width of 0.3 to 300 ⁇ m and an approximate distance from one another of 2 ⁇ m to approximately 10 mm.
  • functional layers can be applied over a large area using a whole series of large-area standard printing processes, for example gravure and high-pressure processes such as flexographic printing, planographic printing processes such as offset printing and screen printing processes such as offset printing, without other functional layers already applied Layers are damaged.
  • the approximate width of 0.3 to 300 ⁇ m for the spacers ensures sufficient mechanical stability of the spacers so that they are not damaged by the part of the printing device responsible for the transfer of the functional layers.
  • the spacers can be structured, for example, in that a positive or negative photoresist is applied over a large area to the substrate to be printed, then exposed through a mask and then developed.
  • the structured photoresist layer then forms the spacers.
  • the spacers can also be printed on the substrate, for which a polymer solution can be used, for example.
  • the functional layers in the area of the spacers have no contact with the first electrode layer, these areas do not light up later. For this reason, it is advantageous in the case of light radiation through a transparent substrate and one arranged on the substrate transparent first electrode to matt the substrate on the side facing the viewer at least in partial areas.
  • the matting is created by microscopic depressions in the surface. Each such depression acts as a scattering center for the emitted light.
  • the thin spacers can be made "invisible" to the viewer of the finished display. If, for example, glass plates are used as the transparent substrate, they can be roughened by sandblasting and thus matted. The matting can take place at any time during the method according to the invention.
  • the cover which for example comprises glass or plastic, can advantageously be matted.
  • the material from which the spacers are made is preferably electrically non-conductive, since the spacers could otherwise cause short circuits between the electrode layers of the OLED display.
  • the spacers should be chemically inert to the functional polymers, so that the spacers do not enter into any chemical reactions with the polymers and could thereby change their function.
  • Figures 1A to 1F show a possible variant of a method according to the invention in supervision.
  • Figures 1H to 1P show a further possible variant of a method according to the invention in cross section.
  • Figures 2A to 2H show possible shapes of the spacers.
  • Figure 3 shows exemplary cross sections of the spacers.
  • Figure 4 shows a symbol to be printed.
  • FIGS. 1A to IF explain a top view of an exemplary method according to the invention for the large-area application of functional, electroluminescent layers, which, in addition to necessary method steps A), B) and C), comprises a number of optional, additional advantageous method steps.
  • the side of the substrate 1 facing the viewer can be matted at least in partial areas, so that the spacers to be applied later become virtually "invisible” due to the homogenized light radiation.
  • FIG. 1A shows a possible method step A3) in which a first electrode layer 15A with an electrically connected first electrode connection piece 15B and adjacent thereto a second electrode connection piece 2OB are applied to the transparent substrate 1 and then structured.
  • a first electrode layer 15A with an electrically connected first electrode connection piece 15B and adjacent thereto a second electrode connection piece 2OB are applied to the transparent substrate 1 and then structured.
  • ITO indium tin oxide
  • liquid HBr is used as the electrically conductive, transparent electrode material.
  • a first insulating layer can be applied and then structured into first strip-shaped webs 25.
  • These webs 25 delimit the first and second functional layers to be subsequently applied over a large area.
  • These first strip-shaped webs 25 have the advantage that it prevents the functional layers from running when applied. If the polymer solution ran during pressing, the thickness of the polymer layer would be reduced, especially at the outer pixels of the display, which would lead to inhomogeneous lighting and a reduced service life of the display.
  • the first strip-shaped webs 25 consist of four webs, of which two webs are perpendicular to the other two webs and which form a coherent web structure that defines and defines the area on which the functional layers are to be applied. Furthermore, it is possible to surround these four first strip-shaped webs by further strip-shaped webs 35. This makes it possible, for example, when applying a plurality of functional layers, to delimit the first functional layer from the first strip-shaped webs 25, the second functional layer to be applied then being delimited by the web structure 35.
  • spacers In contrast to the spacers can be formed also in the form • of strip-shaped webs which adjoin the first webs 25, the large-area printed surfaces of an OLED, so that also on a finished display the function of these webs can still be clearly seen.
  • the spacers on the other hand, are located on the surface of the display on which the functional layers are applied. In the case of a finished display, these spacers are then completely covered by the functional layers and then no longer perform an obvious function.
  • FIG. IC shows method step A) in which spacers 5 are produced in such a way that when a second functional layer is subsequently applied, a contact between a first functional layer already on the substrate and one for transferring the functional layers to the Part of a printing press responsible for the substrate is avoided.
  • the spacers 5 can be structured in that, for example, a photoresist is exposed and developed through a mask.
  • the spacers 5 are advantageously structured in method step A) in such a way that their regions which are further away from the substrate 1 have a smaller and smaller cross section, ie do not have an overhanging edge shape (see FIG. 3).
  • This has the advantage that the metal film cannot tear off on spacers structured in this way and therefore cannot be isolated from the rest of the second electrode material.
  • These web cross-sections are particularly advantageous for those spacers 5 that completely enclose part of the surface that will be illuminated later. With all other interrupted web structures, there is a complete one
  • FIG. 1D shows method steps B) and C) in which the first and second functional layers are applied over a large area.
  • these layers 10 and 11 are printed using large-area printing processes, for example planographic printing processes such as offset printing, pad printing, Printing processes such as screen printing or stencil printing or high and low pressure processes such as flexographic printing are applied.
  • FIG. 1E shows how, in a subsequent method step D), a second electrode layer 20A, which contacts the second electrode connection piece 2OB, is applied over a large area to the functional layers 10 and 11. It is possible, for example, large-area vapor-deposit the second electrode layer as a metal film such as aluminum or magnesium • sium through a shadow mask.
  • a cover 30 can then be applied to the area of the functional layers 10 and 11, the second electrode layer 20A and one end of each of the first and second electrode connecting pieces 15B and 2OB.
  • This cover 30 can comprise a plastic, for example.
  • FIGS. IH to 1P explain a further, exemplary, method according to the invention for applying the functional, electroluminescent layers over a large area using the example of a rotary printing process.
  • FIG. IH shows in cross section the schematic structure of a substrate 1 with a first electrode layer 15A and the spacers 5 before the start of the printing process (method steps B) and C).
  • the spacers 5 are after the application of the first electrode layer 15A in the first method step A) of the inventive method on the
  • Figure II shows the arrangement in cross section during the second process step B).
  • a rotating printing roller 7 transfers the first functional layer 10A to the substrate 1 in the printable, that is to say in the liquid state.
  • Figure 1J shows the applied first functional layer 10A before drying after method step B). Since the layer thickness of the functional layer, for example 5 ⁇ m, is generally greater than the maximum height of the spacers, which can be 2 ⁇ m, the elevations of the spacers are completely covered by the functional layer, so that a flat surface is formed the substrate arises.
  • FIG. 1K shows the first printed functional layer 10 after drying. Since the printable functional layers contain a very high proportion of solvents (up to 99%), these layers shrink considerably during the drying process due to the evaporation of the solvents. The layer thickness of an electroluminescent layer is reduced, for example, from 5 ⁇ m to about 75 nm during drying. This ensures that the spacers have a greater height than the functional layer already applied, and thus their function during the application of the second functional layer can exercise in process step C).
  • FIG. 1L shows the large-area printing of the second functional layer 11A in the liquid state during process step C).
  • the spacers prevent the pressure roller 7 from coming too close to the first functional layer and damaging it. Since, as already mentioned in FIG. 1J, the thickness of the second functional layer on the printing roller is greater than the maximum height of the spacers, it is nevertheless possible to transfer the functional layer from the printing roller to the substrate.
  • Figure IM shows the second functional layer 11A immediately after process step C) before drying. Analogously as shown in Fig. 1J, a flat surface is created which completely covers the spacers. After the second functional layer has dried, the elevations of the spacers emerge again, as shown in FIG. IN. This makes it possible to print more than two mechanically sensitive functional layers one above the other by means of the method according to the invention.
  • FIG. 10 shows how the second electrode layer 20A is applied over the entire area to the functional layers. This can be accomplished, for example, by evaporating a metal film over a large area through a shadow mask.
  • FIG. 1P shows how a cover 30, which covers the second electrode layer and the functional layers, is applied. It can be made of plastic or glass, for example.
  • the arrows schematically show the direction in which light can be emitted through the transparent substrate 1 and the transparent first electrode layer 15A in the case of electroluminescence. Only those areas of the two functional layers 10 and 10 are electroluminescent
  • FIGS. 2A to 2H show possible web structures of the spacers in a top view.
  • other shapes of the spacers for example pegs on the surface to be printed, are also conceivable in principle. Since the spacers can still be recognized on the finished display under certain circumstances, aesthetic considerations can also play a role in the shaping of the spacers.
  • FIG. 2A shows a checkerboard-like arrangement of strip-shaped ones Stegen.
  • FIG. 2C shows a honeycomb arrangement of strip-shaped webs as a spacer 5.
  • FIG. 2D shows interrupted, strip-shaped webs which are each offset from one another and are parallel to one another.
  • FIG. 2E shows strip-shaped webs which are arranged transversely on the substrate.
  • Figure 2F shows strip-shaped, curved webs. In FIG. 2G, circular strip-shaped webs are shown.
  • FIG. 2H shows strip-shaped, interrupted webs running parallel to one another.
  • FIG. 3 shows possible cross sections of the strip-shaped webs as spacers 5. They show a smaller and smaller cross-section in the areas further away from the substrate, so that a metal film to be applied later cannot tear off at these web shapes.
  • icon bars For a whole series of display applications, for example for cell phones or cockpits, so-called icon bars are required. These symbols are typically embedded in the web structures.
  • the luminous areas of the symbols take up a larger area, as is shown, for example, in the case of the symbol in the form of a house in FIG. 4, where the black areas marked with 40 light up and the areas marked with 45 should not light up, it is advisable to use the luminous areas Filling surfaces 40 with the spacers 5, so that a large area printing of these surfaces is possible.
  • the method according to the invention can also be used in passive matrix displays, in which case the first and second electrode layers are structured to form strip-shaped electrode strips which are perpendicular to one another and a matrix of individually controllable pixels is structured.
  • first and second electrode layers are structured to form strip-shaped electrode strips which are perpendicular to one another and a matrix of individually controllable pixels is structured.
  • strip-shaped webs which are perpendicular to the first electrode strips are often used structured, at which a second electrode layer later applied over a large area tears off, so that the second electrode strips are formed.
  • These webs can be modified, for example, with regard to their size and their spacing from one another, so that they can also function as spacers 5 at the same time.
  • the method according to the invention is not limited to the exemplary embodiments specifically described here.
  • the invention can also be used to produce other mechanically sensitive layers without damage to one another with a predetermined layer thickness and high layer thickness homogeneity.
  • there are also further variations within the scope of the method in particular with regard to the materials used for the spacers and their structure.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Abstract

Es wird ein Verfahren zum grossflächigen Aufbringen von zumindest zwei z.B. elektrolumineszierenden Schichten auf ein Substrat beschrieben. Dabei werden in einem Verfahrensschritt A) auf dem transparenten Substrat Abstandshalter (5) so strukturiert, dass sie beim Aufbringen einer zweiten funktionellen Schicht (11) einen Kontakt zwischen einer bereits auf dem Substrat befindlichen ersten funktionellen Schicht (10) und einem für den Übertrag der funktionellen Schichten auf das Substrat verantwortlichen Teil einer Druckmaschine vermeiden. In zwei weiteren Verfahrensschritten B) und C) werden dabei die erste funktionelle Schicht (10) und die zweite funktionelle Schicht (15) grossflächig, zum Beispiel durch grossflächige Standarddruckverfahren aufgebracht.

Description

Beschreibung
Verfahren zum großflächigen Aufbringen von mechanisch empfindlichen Schichten auf ein Substrat
Auf dem Markt der Flachbildschirme sind heute weitgehend sogenannte Flüssigkristallanzeigen (LC-Displays) dominant. Neben kostengünstiger Herstellbarkeit, geringer elektrischer Leistungsaufnahme, kleinem Gewicht und geringem Platzbedarf weist die Technik der LCDs jedoch auch gravierende Nachteile auf. LC-Anzeigen sind nicht selbst emittierend und daher nur bei besonders günstigen Umgebungslichtverhältnissen leicht abzulesen oder zu erkennen. Dies macht in den meisten Fällen eine Hinterleuchtung erforderlich, welche jedoch wiederum die Dicke des Flachbildschirms vervielfacht. Außerdem wird dann der überwiegende Anteil der elektrischen Leistungsaufnahme für die Beleuchtung verwendet, und es wird eine höhere Spannung für den Betrieb der Lampen oder Leuchtstoffröhren benötigt. Dieser wird meist mit Hilfe von "Voltage-Up-Convertern" aus den Batterien oder Akkumulatoren erzeugt. Ein weiterer
Nachteil ist der stark eingeschränkte Betrachtungswinkel einfacher LCDs und die langen Schaltzeiten einzelner Pixel, welche bei typischerweise einigen Millisekunden liegen und stark temperaturabhängig sind. Der verzögerte Bildaufbau macht sich beispielsweise beim Einsatz in Verkehrsmitteln oder bei Videoapplikationen äußerst störend bemerkbar.
Seit 1987 haben sich Anzeigen auf der Basis organischer Leuchtdioden (Organic Light Emitting Diodes, OLEDs) einen Na- men gemacht. Diese bestehen im Prinzip aus elektrolumineszie- renden organischen Schichten, die zwischen zwei Elektroden angeordnet sind. Wird ein elektrisches Potential an die Elektroden angelegt, so kommt es aufgrund von Rekombinationen zwischen Elektronen und „Löchern", die in die organischen Schichten injiziert werden, zur Emission von Licht. OLEDs weisen die oben genannten Nachteile nicht auf. Aufgrund der Selbstemissivität entfällt die Notwendigkeit einer Hin- terleuchtung, was den Platzbedarf und die elektrische Leistungsaufnahme erheblich reduziert. Die Schaltzeiten liegen im Bereich einer Mikrosekunde und sind nur gering temperaturabhängig, was den Einsatz für Videoapplikationen ermöglicht. Der Ablesewinkel beträgt nahezu 180°. Polarisationsfolien, wie sie bei LC-Displays erforderlich sind, entfallen zumeist, so daß eine größere Helligkeit der Anzeigeelemente erzielbar ist. Ein weiterer Vorteil ist die Verwendbarkeit flexibler und nicht planarer Substrate.
Zum einen lassen sich bei der Herstellung der OLEDs niedermolekulare organische Materialien, wie zum Beispiel Hydroxy- quinolin-Aluminium-III-salze verwenden, die zumeist durch thermisches Verdampfen auf das entsprechende Substrat aufgebracht werden. Displays auf der Basis dieser Technologie sind bereits kommerziell erhältlich und werden zur Zeit überwiegend in der Automobilelektronik eingesetzt. Da die Herstel- lung dieser Bauelemente mit zahlreichen Prozeßschritten unter
Hochvakuum verbunden ist, birgt diese Technologie jedoch Nachteile durch hohen Investitions- und Wartungsaufwand, sowie relativ geringen Durchsatz.
Es wurde daher eine OLED-Technologie entwickelt, die als organische Materialien Polymere verwendet, welche naßchemisch aus einer Lösung auf das Substrat aufgebracht werden können. Die zur Erzeugung der organischen Schichten erforderlichen Vakuumschritte entfallen bei dieser Technik. Im Moment werden die elektrolumineszierenden Polymere zumeist mit Hilfe eines
Drehschleuderverfahrens aufgebracht. Dieses Verfahren hat eine Reihe von Nachteilen:
Ein Großteil der Polymerlösung (zirka 99 %) geht unwieder- bringlich verloren, der Drehschleudervorgang dauert relativ lange (zirka 30 bis 60 Sekunden) und zudem ist es nahezu un- möglich bei größeren Substraten homogene Polymerschichten aufzubringen .
Bei den OLEDs werden häufig mehrschichtige funktionelle Poly- merschichten eingesetzt, die beispielsweise aus Lochtransportpolymeren und aus Emitterpolymeren bestehen. Aus der Druckschrift EP 0 892 028 A2 ist bekannt, mittels eines kontaktlosen Tintenstrahldruckverfahrens funktionelle Schichten in die Fenster einer Fensterschicht aufzubringen, die die Bildpunkte definieren. Mittels dieses kontaktlosen Druckverfahrens lassen sich auch mehrschichtige funktionelle Schichten realisieren. Mit Hilfe von Tintenstrahldruckverfahren lassen sich aber glatte Oberflächen nur sehr schwer homogen beschichten. Darüber hinaus sind Tintenstrahldruckverfahren sehr zeit- und damit auch kostenaufwendig.
Aus der Druckschrift WO 99/07189 sind eine Reihe von Standarddruckverfahren, beispielsweise Rollendruckverfahren, Offset-Druckverfahren, sowie Siebdruckverfahren zum Aufbrin- gen von elektrolumineszierenden Polymeren bekannt. Diese
Standarddruckverfahren haben den großen Vorteil, daß mit ihnen sehr schnell großflächig und kostengünstig funktionelle Schichten aufgetragen werden können. Allerdings ergeben sich mit diesem Standarddruckverfahren Probleme, wenn zwei oder mehr funktionelle Polymerschichten übereinander oder nebeneinander aufgebracht werden sollen. In diesem Fall drückt sich der für den Übertrag der funktionellen Schichten erantwortliche Teil der Druckvorrichtung, beispielsweise das Sieb, die Schablone, das Tampon oder die Walze in die bereits auf- gebrachte mechanisch empfindliche Polymerschicht ein und schädigt diese. Darunter leidet auch die Leistung der auf diese Weise hergestellten OLED-Displays, so daß mit einer Verkürzung der Lebensdauer und mit inhomogenem Leuchten des Displays gerechnet werden muß.
Die Aufgabe der Erfindung ist es, ein Herstellungsverfahren für OLED-Displays anzugeben, durch das mittels großflächiger Standarddruckverfahren mechanisch empfindliche Polymere auf ein Substrat aufgebracht werden können, wobei die oben erwähnten Nachteile vermieden werden.
Diese Aufgabe wird mit einem Herstellungsverfahren nach Anspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen des Herstellungsverfahrens sind Gegenstand von Unteransprüchen.
Bei dem erfindungsgemäßen Herstellungsverfahren werden auf einem Substrat Abstandshalter so angebracht, daß der für den Übertrag der funktionellen Schichten auf das Substrat verantwortliche Teil der Druckvorrichtung, beispielsweise die genannten Siebe oder Druckwalzen nur die Abstandshalter kontaktieren können aber nicht eventuell bereits aufgebrachte wei- tere mechanisch leicht zu beschädigende Schichten. Es ist dabei möglich, daß die Abstandshalter vor dem Aufbringen von zumindest zwei funktionellen, mechanisch empfindlichen Schichten auf dem Substrat angebracht werden, oder zuerst die erste funktionelle Schicht aufgebracht wird, dann die Ab- standhalter angebracht werden und danach erst die zweite funktionelle Schicht erzeugt wird. Das erfindungsgemäße Verfahren umfaßt die Strukturierung der Abstandshalter in einem Verfahrensschritt A) wobei in wenigstens zwei weiteren Verfahrensschritten B) und C) eine erste und eine zweite funk- tionelle Schicht aufgebracht werden, ohne daß die erste funktionelle Schicht beim Auftragen der zweiten funktionellen Schicht beschädigt wird. Wichtig ist dabei, daß die Strukturierung der Abstandshalter im Verfahrensschritt A) vor dem Aufbringen der zweiten funktionellen Schicht (Verfahrens- schritt C) erfolgt. Die zeitliche Abfolge der Schritte A) und B) ist vertauschbar.
Die Abstandshalter werden vorteilhafterweise so strukturiert, daß ihr maximaler Abstand kleiner ist als die kleinste hori- zontale Abmessung des für den Übertrag der funktionellen
Schichten auf das Substrat verantwortlichen Teil der Druckmaschine. Auf diese Wiese kann verhindert werden, daß bei- spielsweise eine Druckwalze zwischen die eventuell zapfenför- mig ausgebildeten Abstandshalter fällt und sich dadurch in bereits aufgebrachte funktionelle Schichten eindrückt.
Die Abstandshalter lassen sich beispielweise in Form von Zapfen oder streifenförmigen Stegen strukturieren. Im Falle von streifenförmigen Stegen ist es vorteilhaft, diese so zu strukturieren, daß sie eine ungefähre Höhe von 0,1 bis 100 μm, eine ungefähre Breite von 0,3 bis 300 μm und einem unge- fähren Abstand zueinander von 2 μm bis etwa 10 mm aufweisen. Bei diesen Höhen und Abständen der Abstandshalter zueinander lassen sich mit einer ganzen Reihe von großflächigen Standarddruckverfahren, beispielsweise Tief- und Hochdruckverfahren wie dem Flexodruck, Flachdruckverfahren wie dem Offset- Druck und Durchdruckverfahren wie dem Siebdruck großflächig funktionelle Schichten aufbringen,- ohne daß bereits aufgebrachte andere funktionelle Schichten geschädigt werden. Die ungefähre Breite von 0,3 bis 300 μm bei den Abstandshaltern gewährleistet eine ausreichende mechanische Stabilität der Abstandshalter, so daß diese nicht von den für den Übertrag der funktionellen Schichten verantwortlichen Teil der Druckvorrichtung beschädigt werden.
Die Abstandshalter können beispielsweise dadurch strukturiert werden, daß ein positiver oder negativer Fotolack großflächig auf das zu bedruckende Substrat aufgebracht wird, anschließend durch eine Maske hindurch belichtet und dann entwickelt wird. Die strukturierte Fotolackschicht bildet dann die Abstandshalter. Die Abstandshalter lassen sich aber auch auf das Substrat drucken, wozu beispielsweise eine Polymerlösung eingesetzt werden kann.
Da im Bereich der Abstandshalter die funktionellen Schichten keinen Kontakt zur ersten Elektrodenschicht haben, leuchten diese Bereiche später nicht. Aus diesem Grunde ist es vorteilhaft, im Falle einer Lichtabstrahlung durch ein transparentes Substrat und einer auf dem Substrat angeordneten transparenten ersten Elektrode, das Substrat auf der dem Betrachter zugewandten Seite zumindest in Teilbereichen zu mattieren. Die Mattierung wird durch mikroskopisch kleine Vertiefungen in der Oberfläche erzeugt. Jede solche Vertiefung wirkt für sich als Streuzentrum für das emittierte Licht.
Durch die diffuse Verteilung des Lichts und die damit verbundene Homogenisierung der Lichtabstrahlung können die dünnen Abstandshalter für den Betrachter des fertigen Displays quasi "unsichtbar" gemacht werden. Verwendet man als transparentes Substrat beispielsweise Glasplatten, so können diese durch Sandbestrahlung aufgerauht und damit mattiert werden. Die Mattierung kann dabei zu jedem Zeitpunkt während des erfindungsgemäßen Verfahrens erfolgen.
Erfolgt die Lichtabstrahlung über eine transparente, auf den funktionellen Schichten aufgebrachte zweite Elektrode durch eine transparente Abdeckung, so kann vorteilhafterweise die Abdeckung, die beispielsweise Glas oder Kunststoff umfaßt, mattiert werden.
Das Material, aus dem die Abstandshalter bestehen, ist vorzugsweise elektrisch nichtleitend, da die Abstandshalter ansonsten Kurzschlüsse zwischen den Elektrodenschichten des OLED-Displays auslösen könnten. Darüber hinaus sollten die Abstandshalter chemisch inert gegenüber den funktionellen Polymeren sein, so daß die Abstandshalter keine chemischen Reaktionen mit den Polymeren eingehen und sie dadurch in ihrer Funktion verändern könnten.
Im folgenden soll das erfindungsgemäße Verfahren anhand eines Ausführungsbeispiels sowie mehrerer Figuren erläutert werden.
Die Figuren 1A bis 1F zeigen eine mögliche Variante eines erfindungsgemäßen Verfahrens in der Aufsicht.
Die Figuren 1H bis 1P zeigen eine weitere mögliche Variante eines erfindungsgemäßen Verfahrens im Querschnitt. Die Figuren 2A bis 2H zeigen mögliche Formen der Abstandshalter.
Figur 3 zeigt beispielhafte Querschnitte der Abstandshalter.
Die Figur 4 zeigt ein zu druckendes Symbol .
Die Figuren 1A bis IF erläutern in der Aufsicht ein beispielhaftes, erfindungsgemäßes Verfahren zum großflächigen Aufbringen von funktionellen, elektrolumineszierenden Schichten, das neben notwendigen Verfahrensschritten A) , B) und C) eine Reihe von optionalen, zusätzlichen vorteilhaften Verfahrens- schritten umfaßt.
Wie bereits erwähnt, kann in einem Verfahrensschritt AI) die dem Betrachter zugewandte Seite des Substrat 1 zumindest in Teilbereichen mattiert werden, so daß aufgrund der homogeni- sierten Lichtabstrahlung die später aufzubringenden Abstandshalter quasi "unsichtbar" werden.
In Figur 1A ist ein möglicher Verfahrensschritt A3) gezeigt, bei dem eine erste Elektrodenschicht 15A mit einem elektrisch verbundenen ersten Elektrodenanschlußstück 15B und benachbart dazu ein zweites Elektrodenanschlußstück 2OB auf dem transparentem Substrat 1 aufgebracht und anschließend strukturiert werden. Als elektrisch leitfähiges, transparentes Elektrodenmaterial wird beispielsweise Indium-Zinn-Oxid (ITO) verwen- det, das mit flüssigem HBr strukturiert werden kann.
In einem anschließenden Verfahrensschritt A2) , wie in Figur 1B gezeigt, kann eine erste isolierende Schicht aufgebracht und anschließend zu ersten streifenförmigen Stegen 25 struk- turiert werden. Diese Stege 25 grenzen die die später großflächig aufzubringenden ersten und zweiten funktionellen Schichten ein. Diese ersten streifenförmigen Stege 25 haben den Vorteil, daß durch sie ein Verlaufen der funktionellen Schichten beim Aufbringen verhindert wird. Durch ein Verlaufen der Polymerlösung während des Drückens würde die Dicke der Polymerschicht vor allem an den äußeren Bildpunkten des Displays reduziert werden, was zu inhomogenem Leuchten und einer verminderten Lebensdauer des Displays führen würde.
Darüberhinaus ist es später möglich, die empfindlichen funktionellen Schichten sowie das darauf befindliche oxidati- onsempfindliche zweite Elektrodenmaterial mit einer Abdek- kung, beispielsweise einer Kunststoffkappe zu versehen, die diese Teile des Displays dicht abschließt. Insbesondere sollten sich vorteilhafterweise keine verlaufenden funktionellen Schichten auf den Bereichen des transparenten Substrats 1 be- finden, auf denen die spätere Abdeckung angebracht wird. Ebenso sollten diejenigen Bereiche der ersten und zweiten Elektrodenanschlußstücke 15B und 2OB, die unter der Verkapse- lung hindurchgeführt werden, ebenfalls nicht von verlaufenden funktionellen Polymeren bedeckt sein.
In der Regel bestehen die ersten streifenförmigen Stege 25 aus vier Stegen, von denen jeweils zwei Stege quer zu den anderen zwei Stegen stehen und die eine zusammenhängende Stegstruktur bilden, die den Bereich eingrenzt und definie- ren, auf dem die funktionellen Schichten aufgebracht werden sollen. Weiterhin ist es möglich, diese vier ersten streifen- förmigen Stege von weiteren streifenförmigen Stegen 35 zu umgeben. Dadurch wird es möglich, daß beim Aufbringen mehrerer funktioneller Schichten beispielsweise die erste funktionelle Schicht von den ersten streifenförmigen Stegen 25 eingegrenzt wird, wobei die zweite aufzubringende funktionelle Schicht dann von der Stegstruktur 35 eingegrenzt wird.
Im Unterschied zu den Abstandshaltern, die ebenfalls in der • Form von streifenförmigen Stegen ausgebildet werden können, grenzen die ersten Stege 25 die großflächig bedruckten Flächen eines OLED ein, so daß auch an einem fertigen Display die Funktion dieser Stege noch deutlich zu erkennen ist. Die Abstandshalter hingegen befinden sich auf der Fläche des Displays, auf der die funktionellen Schichten aufgebracht werden. Bei einem fertigen Display sind diese Abstandshalter dann vollständig von den funktionellen Schichten bedeckt und üben dann keine offenkundige Funktion mehr aus.
In Figur IC ist der Verfahrensschritt A) gezeigt, in die Abstandshalter 5 so erzeugt werden, daß beim späteren Aufbrin- gen einer zweiten funktionellen Schicht ein Kontakt zwischen einer bereits auf dem Substrat befindlichen ersten funktionellen Schicht und einem für den Übertrag der funktionellen Schichten auf das Substrat verantwortlichen Teils einer Druckmaschine vermieden wird. Wie bereist erwähnt, lassen sich die Abstandshalter 5 dadurch strukturieren, daß beispielsweise ein Fotolack durch eine Maske hindurch belichtet und entwickelt wird.
Da später großflächig ein zweites Elektrodenmaterial aufge- bracht wird, werden in dem Verfahrensschritt A) die Abstandshalter 5 vorteilhafterweise so strukturiert, daß deren vom Substrat 1 weiter entfernte Bereiche einen kleiner werdenden Querschnitt aufweisen, also keine überhängende Kantenform zeigen (siehe Figur 3) . Dies hat den Vorteil, daß der Metall- film an derart strukturierten Abstandshaltern nicht abreißen kann und daher nicht vom Rest des zweiten Elektrodenmaterials isoliert werden kann. Diese Stegquerschnitte sind vor allem für diejenigen Abstandshalter 5 vorteilhaft, die einen Teil der später leuchtenden Fläche komplett einschließen. Bei al- len anderen, unterbrochenen Stegstrukturen ist ein komplettes
Abreißen des Metallfilms nicht zu befürchten.
In Figur 1D sind die Verfahrensschritte B) und C) gezeigt, in denen die erste und zweite funktionelle Schicht großflächig aufgebracht werden. Vorteilhafterweise werden diese Schichten 10 und 11 mittels großflächiger Druckverfahren, beispielsweise Flachdruckverfahren wie dem Offset-Druck, Tampondruck, Durchdruckverfahren wie dem Siebdruck oder den Schablonendruck oder auch Hoch- und Tiefdruckverfahren wie dem Flexo- druck aufgebracht .
In Figur 1E wird gezeigt, wie in einem anschließenden Verfahrensschritt D) großflächig eine zweite Elektrodenschicht 20A, die das zweite Elektrodenanschlußstück 2OB kontaktiert, großflächig auf die funktionellen Schichten 10 und 11 aufgebracht wird. Es ist beispielsweise möglich, die zweite Elektroden- Schicht als Metallfilm, beispielsweise Aluminium oder Magne- • sium durch eine Schattenmaske großflächig aufzudampfen.
In einem anschließenden Verfahrensschritt E, wie in Figur IF gezeigt, kann dann eine Abdeckung 30 auf den Bereich der funktionellen Schichten 10 und 11, der zweiten Elektrodenschicht 20A und je einem Ende des ersten und zweiten Elektro- denanschlußstückes 15B und 2OB aufgebracht werden. Diese Abdeckung 30 kann beispielsweise einen Kunststoff umfassen.
Die Figuren IH bis 1P erläutern ein weiteres, beispielhaftes, erfindungsgemäßes Verfahren zum großflächigen Aufbringen der funktionellen, elektrolumineszierenden Schichten am Beispiel eines Rollenrotations-Druckverfahrens .
In Figur IH ist im Querschnitt der schematische Aufbau eines Substrats 1 mit einer ersten Elektrodenschicht 15A und den Abstandshaltern 5 vor Beginn des Druckprozesses (Verfahrens- schritte B) und C) zu sehen. Die Abstandshalter 5 werden nach dem Aufbringen der ersten Elektrodenschicht 15A im ersten Verfahrensschritt A) des erfindungsgemäßen Verfahrens auf dem
Substrat 1 erzeugt .
Figur II zeigt die Anordnung im Querschnitt während des zweiten Verfahrenschritts B) . Eine rotierende Druckwalze 7, über- trägt die erste funktionelle Schicht 10A im druckfähigen, das heißt im flüssigen Zustand, auf das Substrat 1. Figur 1J zeigt nach dem Verfahrensschritt B) die aufgebrachte ersten funktionelle Schicht 10A vor dem Trocknen. Da die Schichtdicke der funktionellen Schicht, beispielsweise 5 μm, in der Regel größer ist, als die maximale Höhe der Abstands- halter, die 2 μm betragen kann, sind die Erhebungen der Abstandshalter vollständig von der funktionellen Schicht bedeckt, so daß eine ebene Fläche auf dem Substrat entsteht.
Figur 1K zeigt die erste aufgedruckte funktionelle Schicht 10 nach dem Trocken. Da die druckfähigen funktionellen Schichten einen sehr hohen Anteil an Lösungsmitteln enthalten (bis zu 99%) , schrumpfen diese Schichten während des Trocknungsprozesses aufgrund der Verdunstung der Lösungsmittel erheblich. So reduziert sich die Schichtdicke einer elektrolumineszie- renden Schicht während des Trocknens beispielsweise von 5 μm auf etwa 75 nm. Dadurch wird gewährleistet, daß die Abstandshalter eine größere Höhe als die bereits aufgebrachten funktionellen Schicht aufweisen und so ihre Funktion während des Aufbringens der zweiten funktionellen Schicht im Verfahrens- schritt C) ausüben können.
In Figur 1L ist das größflächige Aufdrucken der zweiten funktionellen Schicht 11A im flüssigen Zustand während des Verfahrensschritts C) gezeigt. Die Abstandshalter verhindern da- bei, daß die Druckwalze 7 der ersten funktionellen Schicht zu nahe kommt und diese beschädigt. Da, wie bereits in Fig. 1J erwähnt, die Dicke der zweiten funktionellen Schicht auf der Druckwalze größer ist, als die maximale Höhe der Abstandshalter ist dennoch ein Übertrag der funktionellen Schicht von der Druckwalze auf das Substrat möglich.
Figur IM zeigt die zweite funtionelle Schicht 11A unmittelbar nach dem Verfahrensschritt C) vor dem Trocknen. Analog wie in Fig. 1J gezeigt, entsteht eine ebene Fläche, die die Ab- Standshalter komplett bedeckt. Nach dem Trocknen der zweiten funktionellen Schicht, treten wie in Fig. IN gezeigt die Erhebungen der Abstandshalter wieder hervor. Dadurch wird es möglich, mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens auch mehr als zwei mechanisch empfindliche funktionelle Schichten übereinander zu drucken.
Figur 10 zeigt, wie die zweite Elektrodenschicht 20A größflächig auf die funtionellen Schichten aufgebracht wird. Dies läßt sich beispielsweise dadurch bewerkstelligen, daß ein Me- tallfilm größflächig durch eine Schattenmaske aufgedampft wird.
Figur 1P zeigt, wie eine Abdeckung 30, die die zweite Elektrodenschicht und die funktionellen Schichten bedeckt aufge- bracht wird. Sie kann beispielsweise aus Kunststoff oder Glas bestehen. Die Pfeile zeigen schematisch die Richtung, in die bei Elektrolumineszenz Licht durch das transparente Substrat 1 und die transparente erste Elektrodenschicht 15A hindurch abgestrahlt werden kann. Dabei elektrolumineszieren nur die- jenigen Bereiche der beiden funktionellen Schichten 10 und
11, die in Kontakt mit beiden Elektrodenschichten stehen. Im Bereich der Abstandshalter 5 besteht kein Kontakt der elek- trolumineszierenden Schichten zur ersten Elektrodenschicht 15A, so daß diese Bereiche kein Licht abstrahlen.
Die folgenden Figuren 2A bis 2H zeigen mögliche Stegstrukturen der Abstandshalter in der Aufsicht. Abgesehen von Stegstrukturen sind prinzipiell aber auch andere Ausformungen der Abstandshalter, beispielsweise Zapfen auf der zu bedruk- kenden Oberfläche denkbar. Da die Abstandshalter unter Umständen an dem fertigen Display noch zu erkennen sind, können auch ästhetische Gesichtspunkte bei der Ausformung der Abstandshalter eine Rolle spielen.
In Figur 2A sind Abstandshalter in Form von parallel zueinander angeordneten streifenförmigen Stegen zu sehen. Figur 2B zeigt eine schachbrettartige Anordnung von streifenförmigen Stegen. In Figur 2C ist eine wabenförmige Anordnung von streifenförmigen Stegen als Abstandshalter 5 gezeigt. In Figur 2D sind unterbrochene, streifenförmige Stege gezeigt, die jeweils versetzt gegeneinander angeordnet sind und parallel zueinander stehen. In Figur 2E sind streifenförmige Stege dargestellt, die quer auf dem Substrat angeordnet sind. Figur 2F zeigt streifenförmige, geschwungene Stege. In Figur 2G sind kreisförmige streifenförmige Stege dargestellt. Figur 2H zeigt parallel zueinander verlaufende streifenförmige, unter- brochene Stege.
In Figur 3 sind mögliche Querschnitte der streifenförmigen Stege als Abstandshalter 5 gezeigt. Sie zeigen in den vom Substrat weiter entfernten Bereichen ein kleiner werdenden Querschnitt, so daß an diesen Stegformen ein später aufzubringender Metallfilm nicht abreißen kann.
Für eine ganze Reihe von Displayanwendungen zum Beispiel für Handys oder Cockpits werden sogenannte Icon-Leisten, Symbol- leisten benötigt. Diese Symbole sind typischerweise in die Stegstrukturen eingebettet .
Nehmen die leuchtenden Flächen der Symbole einen größeren Bereich ein, wie beispielsweise bei dem Symbol in Form eines Hauses in Figur 4 gezeigt, wobei die mit 40 gekennzeichneten schwarzen Flächen leuchten und die mit 45 gekennzeichneten Flächen nicht leuchten sollen, bietet es sich an, die leuchtenden Flächen 40 mit den Abstandshaltern 5 auszufüllen, so daß ein großflächiges Bedrucken dieser Flächen möglich wird.
Das erfindungsgemäße Verfahren läßt sich auch bei Passiv- Matrix-Displays einsetzen, wobei in diesem Fall die erste und zweite Elektrodenschicht zu zueinander senkrecht stehenden streifenförmigen Elektrodenstreifen strukturiert werden und eine Matrix einzeln ansteuerbarer Bildpunkte strukturiert wird. Bei Passiv-Matrix-Displays werden häufig zu den ersten Elektrodenstreifen senkrecht stehende streifenförmige Stege strukturiert, an denen eine später großflächig aufgebrachte zweite Elektrodenschicht abreißt, so daß die zweiten Elektrodenstreifen gebildet werden. Diese Stege können beispielsweise hinsichtlich ihrer Größe und ihres Abstandes zueinander so modifiziert werden, daß sie gleichzeitig auch als Abstandshalter 5 fungieren können.
Das erfindungsgemäße Verfahren ist nicht auf die hier konkret beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt. Insbesondere lassen sich mit der Erfindung auch andere mechanisch empfindliche Schichten ohne Beschädigung übereinander mit vorgegebener Schichtdicke bei hoher Schichtdickenhomogenität erzeugen. Im Rahmen des Verfahrens liegen selbstverständlich auch weitere Variationen insbesondere bezüglich der verwendeten Mate- rialien für die Abstandshalter sowie deren Struktur.

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zum großfächigen Aufbringen von zumindest zwei mechanisch empfindlichen Schichten übereinander auf ein Substrat mit den Verfahrensschritten:
A) auf einem Substrat (1) werden Abstandshalter (5) erzeugt
B) eine erste funktionelle Schicht (10) wird auf dem Substrat großflächig aufgedruckt,
C) danach wird zumindest eine zweite funktionelle Schicht (15) großflächig aufgebracht, wobei die Abstandshalter beim Aufbringen der zweiten funktionellen Schicht (15) einen Kontakt zwischen der ersten funktionellen Schicht (10) und einem für den Übertrag der funktionellen Schichten auf das Substrat verantwortlichen Teils einer Druck- Vorrichtung verhindern.
2. Verfahren nach dem vorherigen Anspruch, bei dem im Verfahrensschritt A) die Abstandshalter (5) so strukturiert werden, daß sie einen maximalen Abstand von- einander haben, der kleiner ist, als die kleinste Abmessung des für den Übertrag der funktionellen Schichten auf das Substrat erantwortlichen Teils der Druckvorrichtung.
3. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, - bei dem die Abstandshalter (5) zu streifenförmigen Stegen strukturiert werden.
4. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch,
- bei dem die Stege der Abstandshalter (5) so strukturiert werden, daß sie eine ungefähre Höhe von 0,1 bis 100 μm, eine ungefähre Breite von 0,3 bis 300 μm und einen ungefähren Abstand zueinander von 2μm bis 10 mm aufweisen.
5. Verfahren zum großflächigen Aufbringen von zumindest zwei elektrolumineszierenden Schichten auf ein transparentes
Substrat nach einem der vorherigen Ansprüche, bei dem in einem separaten Verfahrensschritt AI) die dem Betrachter zugewandte Seite des Substrats (1) zumindest in Teilbereichen mattiert wird.
6. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, bei dem das Substrat, beispielsweise durch Bestrahlen mit Sand, aufgerauht wird.
7. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, - bei dem im Verfahrensschritt A) die Abstandshalter (5) dadurch strukturiert werden, daß ein Photolack durch eine Maske hindurch belichtet und anschließend entwickelt wird.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, - bei dem im Verfahrensschritt A) die Abstandshalter (5) auf das Substrat gedruckt werden.
9. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, bei dem im Verfahrenschritt A) die Abstandshalter (5) auf dem Substrat (1) so strukturiert werden, daß sich deren Querschnitt vom Substrat (1) weg verjüngt.
10.Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, - bei dem gleichzeitig mit den Abstandshaltern (5) oder in einem separaten vor dem Verfahrensschritt B) stattfindenden Verfahrensschritt A2) eine erste isolierende Schicht zu ersten streifenförmigen Stegen (25) strukturiert wird, die die großflächig aufzubringenden ersten und zweiten funktionellen Schichten (10 und 15) eingrenzen.
11. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, bei dem im Verfahrensschritt B) und oder C) die erste und/oder zweite funktionelle Schicht mittels großflächiger Druckverfahren aufgebracht werden.
12. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, - bei dem die erste und/oder zweite funktionelle Schicht mittels Flachdruck, Tief- und Hochdruckverfahren und/oder Sieb- oder Schablonendruckverfahren aufgebracht werden.
13. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, bei dem in einem vor dem Verfahrensschritt B) stattfindenden Verfahrensschritt A3) eine erste Elektrodenschicht (15A) auf dem Substrat (1) strukturiert wird, bei dem in einem nach dem Verfahrensschritt C) stattfin- denden Verfahrensschritt D) eine zweite Elektrodenschicht (20A) großflächig auf die funktionellen Schichten aufgebracht wird.
14. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, - bei dem im Verfahrensschritt A3) zusammen mit der ersten
Elektrodenschicht (15A) ein erstes Elektrodenanschlußstück (15B) und benachbart dazu zumindest ein zweites Elektrodenanschlußstück (20B)auf dem Substrat strukturiert werden, - bei dem im Verfahrensschritt D) die zweite Elektrodenschicht (20A) so aufgebracht wird, so daß sie das zweite Elektrodenanschlußstück (2 OB) kontaktiert,
- bei dem in einem nach dem Verfahrensschritt D) stattfindenden Verfahrensschritt E) eine Abdeckung (30) auf den Bereich der funktionellen Schichten (10 und 15) , der zweiten Elektrodenschicht (20A) und je einem Ende des ersten und zweiten Elektrodenanschlußstückes (15B und 20B) aufgebracht wird.
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