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WO2003021237A3 - Procede et dispositif de mesure de mouvements de translation entre une surface et un dispositif de mesure - Google Patents

Procede et dispositif de mesure de mouvements de translation entre une surface et un dispositif de mesure Download PDF

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Publication number
WO2003021237A3
WO2003021237A3 PCT/DE2002/002982 DE0202982W WO03021237A3 WO 2003021237 A3 WO2003021237 A3 WO 2003021237A3 DE 0202982 W DE0202982 W DE 0202982W WO 03021237 A3 WO03021237 A3 WO 03021237A3
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WO
WIPO (PCT)
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measuring
translational movements
diffraction grid
measuring system
propagation
Prior art date
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Ceased
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PCT/DE2002/002982
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WO2003021237A2 (fr
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Andreas Braeuer
Herbert Brunner
Peter Dannberg
Peter Schreiber
Ulrich Steegmueller
Uwe Zeitner
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Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV
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Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV
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    • G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
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Abstract

On mesure des mouvements de translation entre un dispositif de mesure (1) et une surface (7) en dirigeant le faisceau lumineux cohérent (c), ayant une composante de propagation principale, d'une source lumineuse (2) dans la direction z sur la surface (7) qui se déplace par rapport au dispositif de mesure dans le plan x-y et en plaçant en face de la surface un réseau de diffraction (4) partiellement réfléchissant. Ce réseau de diffraction est conçu de telle manière que la lumière réfléchie par lui a plusieurs ordres de diffraction (r-y, r+y, r-x), des composantes de propagation dans la direction y, la direction +y, la direction -x et la direction +x de même intensité et qu'il laisse passer une autre partie du faisceau lumineux cohérent (t) qui est dispersée sur la surface (7) et se superpose à la lumière réfléchie sur le réseau de diffraction. La lumière dispersée sur la surface étant également à polarisation circulaire. Plusieurs dispositifs détecteurs (9-y, 9+y, 9-x) reçoivent la lumière qui est réfléchie par le réseau de diffraction et qui se superpose à la lumière (s) dispersée sur la surface. Les dispositifs détecteurs ont respectivement un séparateur de faisceaux (11) et deux détecteurs (12, 13) pour détecter un premier ou un deuxième signal de mesure. Un dispositif (14, 15) de production d'une différence de phase entre le premier et le deuxième signal de mesure est placé entre les séparateurs de faisceaux (11) et les détecteurs (12, 13). Finalement, le premier et le deuxième signal de mesure sont cédés à un circuit d'évaluation pour déterminer le sens de déplacement dans la direction y et la direction x à partir du signe de la différence de phase entre le premier et le deuxième signal de mesure et l'importance de déplacement dans la direction y et la direction x à partir de la fréquence de l'amplitude de variation du premier et du deuxième signal de mesure.
PCT/DE2002/002982 2001-08-14 2002-08-14 Procede et dispositif de mesure de mouvements de translation entre une surface et un dispositif de mesure Ceased WO2003021237A2 (fr)

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