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WO2002046819A2 - Kippspiegeleinrichtung - Google Patents

Kippspiegeleinrichtung Download PDF

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WO2002046819A2
WO2002046819A2 PCT/DE2001/004546 DE0104546W WO0246819A2 WO 2002046819 A2 WO2002046819 A2 WO 2002046819A2 DE 0104546 W DE0104546 W DE 0104546W WO 0246819 A2 WO0246819 A2 WO 0246819A2
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WO
WIPO (PCT)
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mirror device
tilting mirror
material part
tilting
light beam
Prior art date
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Ceased
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PCT/DE2001/004546
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French (fr)
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Christof Abel-Keilhack
Manfred Burkhard Helm
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Siemens AG
Siemens Corp
Original Assignee
Siemens AG
Siemens Corp
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Publication date
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Ceased legal-status Critical Current

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    • G06K7/10653—Activating means using flexible or piezoelectric means

Definitions

  • the present invention relates to a tilting mirror device according to the preamble of patent claim 1.
  • Tilting mirror devices are known in which, according to FIG. 1, a first mirror 13 can be deflected in a first direction by a first galvanometer 14 and a second one
  • Mirror 15 can be deflected in a second direction by a second galvanometer 16.
  • the first direction is perpendicular to the second direction.
  • the incident light beam 17 strikes the first mirror 13 and is deflected to the second mirror 15.
  • the light beam is then focused by a lens 18 onto a work surface 19.
  • the light beam 20 striking the work surface 19 can track any continuous path when the first mirror 13 and the second mirror 15 move accordingly.
  • Such an arrangement is referred to as a scanner.
  • Laser beams are usually used as light beams if the tilting mirror device described is e.g. is used for laser marking.
  • the object of the present invention is to provide a tilting mirror device which is of comparatively simple construction and is therefore inexpensive to manufacture.
  • the main advantage is that the tilting mirror device according to the invention is comparatively simple and therefore inexpensive to manufacture. This is due in particular to the fact that the required drive devices only have a travel range of a few millimeters with tiv small forces (approx. 1 N).
  • the tilting mirror devices according to the invention are particularly suitable for applications in which only relatively small deflection angles are required.
  • the tilting mirror device according to the invention can also be used very well in resonance scanners.
  • Figure 1 is a schematic representation of a known tilting mirror device with two mirrors and two galvanometers
  • FIG. 2 shows a schematic side view of the tilting mirror device according to the invention in a moving state
  • Figure 3 shows the tilting mirror device of Figure 2 in a different state of motion
  • Figure 4 is a schematic representation of a preferred embodiment of the tilting mirror device according to the invention.
  • the tilting mirror device according to the invention which is preferably a four-bar structure, consists of a material part, which is preferably of a strip-like structure and comprises five elements which are connected to one another by four joints.
  • the entire device is designed as a solid structure. More precisely, a first outer element, which is designated by 1, is fixedly arranged in a housing of the tilting mirror device. This also applies to a second outer element 5, which is also fixedly arranged in the housing at a distance from the first element 1, wherein it is preferably located in the plane of the first element 1. Starting from the first outer element 1, a first intermediate element 2, a middle element 3 and a second intermediate element 4 are located between the outer elements 1 and 5.
  • the elements mentioned are each connected on the sides facing one another by joints. connected to each other.
  • the outer element 1 is connected via the joint 6 to the intermediate element 2, the intermediate element 2 via the joint 7 to the middle element 3, the middle element 3 via the joint 8 to the intermediate element 4 and the intermediate element 4 via the joint 9 connected to the outer element 5.
  • the joints are preferably 6, 7, 8 and 9 each notch joints, which are formed in the material part in the transverse direction and the outer element 1, the intermediate element 2, the middle element 3, the intermediate element 4 and the outer Define element 5.
  • the material part mentioned preferably consists of a superelastic material, which is, for example, nickel titanium (NiTi).
  • NiTi nickel titanium
  • the material part has a dimension of 57 x 8 mm.
  • a first mirror 10 is arranged on one side of the intermediate element 2. Accordingly, a second mirror 11 is arranged on the same side of the intermediate element 4.
  • the middle element 3 is moved linearly perpendicular to the extension of the material part by a drive device, not shown, in the direction of the arrow P1. This movement is made possible by the elasticity of the joints 6, 7, 8 and 9 designed as notch joints in the material part.
  • the intermediate elements 2, 4 arranged to the right and left of it execute a tilting movement with the angle ⁇ .
  • the mirrors 10 and 11 are preferably each slightly inclined mirrors, the inclination of the mirrors running at an acute angle to the plane of the intermediate part 2 or 4 in the direction of the central element 3.
  • An incident light beam 12 is reflected on the first mirror 10 in the direction of the second mirror 11 (reference symbol 12 ⁇ ) in order to also be reflected there and to leave the tilting mirror device as a falling light beam 12 ".
  • FIGS. 2 and 3 show approximately the different maximum deflections of the middle element 3 in the opposite directions, as well as the deflections of the light beam 12 ′′ in the direction of the arrow P2 that can be achieved.
  • FIG. 4 shows in detail a strip-shaped material part which consists of a superelastic NiTi material in which the joints 6, 7, 8 and 9 are designed as notch joints.
  • a deflection of the middle element 3 by one millimeter leads to a tilting movement of approximately 4.5 ° of the intermediate elements 2 and 4, whereby a deflection of a total of ⁇ 18 ° can be achieved.
  • the maximum elongation occurring in the joints 7 and 8 is approximately 1.3% and the stresses occurring in these joints are a maximum of 330 N / mm 2 .
  • the material part and the notch joints are preferably produced by erosion, since nickel-titanium cannot be machined.
  • the minimum material thickness of the notch joints should not be less than about 0.3 mm, since the material mentioned becomes brittle at the edge areas due to the eroding.
  • the transmission ratio between the actuating path and the rotary movement can be varied within wide limits by the spacing relationships between the joints 6, 7, 8 and 9.
  • a highly precise and therefore expensive linear guidance of the drive is not necessary.
  • a force application that is not exactly perpendicular to the plane of the central element 3 does lead to a slightly asymmetrical deflection of the structure; however, this asymmetry is fully compensated for by the parallel approach.
  • Suitable as drives are, for example, plunger coils or, in the case of relatively small angular movements, also piezo stacks. The advantage of such piezo stacks is that very fast movements in the kHz range are possible.
  • the tilting mirror device described is suitable for converting a linear movement into a rotary movement.
  • two of the tilting mirror arrangements described are therefore required, which are connected in series, the light beam then being guided over a total of 4 mirrors.
  • the present tilting mirror device is particularly suitable, for example, as a guide gear in a light or laser deflection arrangement, in particular in a laser marking arrangement.
  • a guide gear in a light or laser deflection arrangement
  • it can also be used in a multi-axis drive, a robot wrist or in an inclinometer.
  • the material part can also be clamped differently than in the embodiment described above.

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine optische Ablenkvorrichtung zur Ablenkung eines einfallenden Lichtstrahles (12) in eine Richtung (P2). Ein Materialteil (1, 2, 3, 4, 5) ist an wenigstens einem Ende fest eingespannt und durch eine Antriebseinrichtung zu linearen Bewegungen senkrecht zur Ebene des Materialteils angeregbar, wobei in der Längserstreckung des Materialteils gesehen zwei Spiegel (10, 11) voneinander beabstandet angeordnet sind und wobei die Spiegel (10, 11) bei der linearen Bewegung des Materialteils senkrecht zur Ebene desselben bewegt werden, so dass der auf einen Spiegel (10) einfallende Lichtstrahl (12) zum anderen Spiegel (11) reflektiert und nach der Reflexion am anderen Spiegel (11) in der Richtung (P2) senkrecht zur Ebene des Materialstreifens abgelenkt wird. Vorzugsweise sind in der Längsrichtung des Materialteils mehrere Drehgelenke (6, 7, 8, 9) angeordnet, die das Materialteil in mehrere Elemente untergliedern.

Description

Beschreibung
Kippspiegeleinrichtung
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Kippspiegeleinrichtung nach dem Oberbegriff des Patentanspruches 1.
Es sind Kippspiegeleinrichtungen bekannt, bei denen gemäß der Figur 1 ein erster Spiegel 13 durch ein erstes Galvanometer 14 in einer ersten Richtung ablenkbar ist und ein zweiter
Spiegel 15 durch ein zweites Galvanometer 16 in einer zweiten Richtung ablenkbar ist. Dabei verläuft die erste Richtung senkrecht zur zweiten Richtung. Der einfallende Lichtstrahl 17 trifft auf den ersten Spiegel 13 und wird zum zweiten Spiegel 15 abgelenkt. Anschließend wird der Lichtstrahl durch ein Objektiv 18 auf eine Arbeitsfläche 19 fokussiert. Der auf die Arbeitsfläche 19 auffallende Lichtstrahl 20 kann bei der entsprechenden Bewegung des ersten Spiegels 13 und des zweiten Spiegels 15 eine beliebige kontinuierliche Bahn verfol- gen. Eine solche Anordnung wird als Scanner bezeichnet.
Üblicherweise werden als Lichtstrahlen Laserstrahlen eingesetzt, wenn die beschriebene Kippspiegeleinrichtung z.B. zur Laserbeschriftung verwendet wird.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Kippspiegeleinrichtung zu schaffen, die vergleichsweise einfach aufgebaut und daher kostengünstig herstellbar ist.
Diese Aufgabe wird durch eine Kippspiegeleinrichtung mit den Merkmalen des Patentanspruches 1 gelöst .
Der wesentliche Vorteil besteht darin, dass die erfindungsgemäße Kippspiegeleinrichtung vergleichsweise einfach aufgebaut und daher kostengünstig herstellbar ist. Dies ist insbesondere auch darauf zurückzuführen, dass die erforderlichen Antriebseinrichtungen nur einige Millimeter Stellweg bei rela- tiv kleinen Kräften (ca. 1 N) benötigen. Insbesondere eignen sich die erfindungsgemäßen Kippspiegeleinrichtungen für Anwendungen, bei denen nur relativ kleine Ablenkwinkel erforderlich sind. Auch kann die erfindungsgemäße KippSpiegelein- richtung sehr gut in ResonanzScannern eingesetzt werden.
Im folgenden werden die Erfindungen deren Ausgestaltungen in Zusammenhang mit den Figuren näher erläutert. Es zeigen:
Figur 1 in schematischer Darstellung eine bekannte Kippspiegeleinrichtung mit zwei Spiegeln und zwei Galvanometern;
Figur 2 in schematischer Darstellung eine Seitenansicht der erfindungsgemäßen Kippspiegeleinrichtung in einem Be- wegungszustand;
Figur 3 die Kippspiegeleinrichtung der Figur 2 in einem anderen Bewegungszustand und
Figur 4 in schematischer Darstellung eine bevorzugte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Kippspiegeleinrich- tung .
Gemäß Figur 2 besteht die erfindungsgemäße Kippspiegeleinrichtung, bei der es sich vorzugsweise um eine Viergelenkstruktur handelt, aus einem Materialteil, das vorzugsweise streifenförmig beschaffen ist und fünf Elemente, die durch vier Gelenke miteinander verbunden sind, umfasst. Die ganze Einrichtung ist als Festkörperstruktur ausgebildet. Genauer gesagt ist ein erstes äußeres Element, das mit 1 bezeichnet ist, in einem Gehäuse der Kippspiegeleinrichtung fest ange- ordnet. Dies gilt auch für ein zweites äußeres Element 5, das vom ersten Element 1 beabstandet ebenfalls im Gehäuse fest angeordnet ist, wobei es sich vorzugsweise in der Ebene des ersten Elementes 1 befindet. Zwischen den äußeren Elementen 1 und 5 befinden sich vom ersten äußeren Element 1 ausgehend ein erstes Zwischenelement 2, ein mittleres Element 3 und ein zweites Zwischenelement 4. Die genannten Elemente sind jeweils an den einander zugewandten Seiten durch Gelenke mit- einander verbunden. Das äußere Element 1 ist über das Gelenk 6 mit dem Zwischenelement 2, das Zwischenelement 2 über das Gelenk 7 mit dem mittleren Element 3, das mittlere Element 3 über das Gelenk 8 mit dem Zwischenelement 4 und das Zwi- schenelement 4 über das Gelenk 9 mit dem äußeren Element 5 verbunden.
Vorzugsweise handelt es sich bei den Gelenken um 6, 7, 8 und 9 jeweils um Kerbgelenke, die in dem Materialteil in Quer- richtung ausgebildet sind und das äußere Element 1, das Zwischenelement 2, das mittlere Element 3, das Zwischenelement 4 und das äußere Element 5 definieren. Das genannte Materialteil besteht vorzugsweise aus einem supereleastischen Material, bei dem es sich beispielsweise um Nickel-Titan (NiTi) handelt. Beispielsweise besitzt das Materialteil eine Abmessung von 57 x 8 mm.
Auf der einen Seite des Zwischenelementes 2 ist ein erster Spiegel 10 angeordnet. Entsprechend ist auf der selben Seite des Zwischenelementes 4 ein zweiter Spiegel 11 angeordnet.
Das mittlere Element 3 wird senkrecht zur Erstreckung des Materialteiles durch eine nicht dargestellte Antriebseinrichtung in der Richtung des Pfeiles Pl linear bewegt. Diese Bewegung wird durch die Elastizität der als Kerbgelenke in dem Materialteil ausgebildeten Gelenke 6, 7, 8 und 9 ermöglicht. Bei der genannten Bewegung des mittleren Elementes 3 führen die rechts und links davon angeordneten Zwischenelemente 2, 4 eine Kippbewegung mit dem Winkel α aus .
Bei den Spiegeln 10 und 11 handelt es sich vorzugsweise jeweils um leicht schräg gestellte Spiegel, wobei die Neigung der Spiegel unter einem spitzen Winkel zur Ebene des Zwischenteiles 2 bzw. 4 in Richtung auf das mittlere Element 3 verläuft. Ein einfallender Lichtstrahl 12 wird am ersten Spiegel 10 in Richtung auf den zweiten Spiegel 11 reflektiert (Bezugszeichen 12 λ ) , um dort ebenfalls reflektiert zu werden und als ausfallender Lichtstrahl 12" die Kippspiegeleinrichtung zu verlassen.
Die Figuren 2 und 3 zeigen etwa die unterschiedlichen maxima- len Auslenkungen des mittleren Elementes 3 in die entgegengesetzten Richtungen, sowie die dabei erzielbaren Ablenkungen des Lichtstrahles 12" in der Richtung des Pfeiles P2.
Die Figur 4 zeigt im Detail ein streifenförmiges Mate- rialteil, das aus einem superelastischen NiTi-Material besteht, in dem die Gelenke 6, 7, 8 und 9 als Kerbgelenke ausgebildet sind. Für die genannte Bemessung führt eine Auslenkung des mittleren Elementes 3 um einen Millimeter zu einer Kippbewegung von etwa 4,5° der Zwischenelemente 2 und 4, wo- bei eine Ablenkung von insgesamt ± 18° erreicht werden kann. Die in den Gelenken 7 und 8 auftretende maximale Dehnung beträgt etwa 1,3 % und die in diesen Gelenken auftretenden Spannungen betragen maximal 330 N/mm2.
Die Herstellung des Materialteiles und der Kerbgelenke erfolgt bei einem Nickel-Titan-Material vorzugsweise durch Erodieren, da Nickel-Titan nicht spanend bearbeitet werden kann. Die minimale Materialstärke der Kerbgelenke sollte etwa 0,3 mm nicht unterschreiten, da das genannte Material an den Randbereichen durch das Erodieren spröde wird.
Es wird daraufhin gewiesen das bei der beschriebenen Anordnung das Übersetzungsverhältnis zwischen Stellweg und Drehbewegung in weiten Grenzen durch die Abstandsverhältnisse zwi- sehen den Gelenken 6, 7, 8 und 9 variierbar ist. Vorteilhafter Weise ist eine hoch präzise und damit kostspielige Linearführung des Antriebes nicht erforderlich. Ein nicht genau senkrecht zur Ebene des mittleren Elementes 3 liegender Kraftangriff führt zwar zu einer leicht unsymmetrischen Aus- lenkung der Struktur; diese Unsymmetrie wird jedoch durch den parallelen Ansatz voll kompensiert. Als Antriebe eigenen sich beispielsweise Tauchspulen oder bei relativ kleinen Winkelbewegungen auch Piezostapel . Der Vorteil solcher Piezostapel liegt darin, das sehr schnelle Bewegungen in kHz-Bereich möglich sind.
Die beschriebene Kippspiegeleinrichtung eignet sich zur Umsetzung einer linearen Bewegung in eine Drehbewegung. Für eine Ablenkung eines Lichtstrahles in zwei Richtungen, beispielsweise für einen X-Y-Scanner, benötigt man daher zwei der beschriebenen Kippspiegelanordnungen, die in Reihe geschaltet sind, wobei der Lichtstrahl also dann über insgesamt 4 Spiegel geführt wird.
Besonders geeignet ist die vorliegende Kippspiegeleinrichtung beispielsweise als Führungsgetriebe in einer Licht- bzw. Laserablenkanordnung, insbesondere in einer Laser- Beschriftungsanordnung. Beispielsweise kann sie auch in einem Mehrachsantrieb, einem Roboterhandgelenk oder in einem Inkli- nometer verwendet werden.
Es wird darauf hingewiesen, dass das Materialteil auch anders als bei der voranstehend beschriebenen Ausführungsform eingespannt sein kann. Beispielsweise ist es denkbar, das Materialteil nur einseitig gemäß Figur 2 an dem einen Ende des äußeren Elementes 1 fest einzuspannen, wobei das entgegengesetzte Ende des anderen äußeren Elementes 5 nicht eingespannt ist und die Antriebseinrichtung am mittleren Element 3 oder am äußeren Element 5 angreift. Zudem ist es denkbar, in diesem Fall das mittlere Element 3 ganz wegzulassen, sodass es sich bei der vorliegenden Kippspiegeleinrichtung dann um eine Dreigelenkanordnung handelt. Bezugszeichenliste
1 äußeres Element
2 Zwischenelement
3 mittleres Element
4 Zwischenelement
5 äußeres Element
6 Gelenk
7 Gelenk
8 Gelenk
9 Gelenk
10 Spiegel
11 Spiegel
12 einfallender Lichtstrahl 12 ' reflektierter Lichtstrahl
12 ' ■ ausfallender Lichtstrahl
13 Spiegel
14 Galvanometer
15 Spiegel
16 Galvanometer
17 Lichtstrahl
18 Objektiv
19 Arbeitsfläche 20 Lichtstrahl Pl Pfeil
P2 Pfeil

Claims

Patentansprüche
1. Kippspiegeleinrichtung zur Ablenkung eines einfallenden Lichtstrahles (12) in eine Richtung (P2) , gekennzeichnet durch ein Materialteil (1, 2, 3, 4, 5), das an wenigstens einem Ende fest eingespannt ist und durch eine Antriebseinrichtung zu linearen Bewegungen senkrecht zur Ebene des Materialteils angeregbar ist, wobei in der Längserstreckung des Materialteils gesehen zwei Spiegel (10, 11) voneinander beabstandet angeordnet sind und wobei die Spiegel (10, 11) bei der linearen Bewegung des Materialteils senkrecht zur Ebene desselben bewegt werden, so dass der auf einen Spiegel (10) einfallende Lichtstrahl (12) zum anderen Spiegel (11) reflektiert und nach der Reflexion am anderen Spiegel (11) in der Richtung (P2) senkrecht zur Ebene des Materialstreifens abgelenkt wird.
2. Kippspiegeleinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass in der Längsrichtung des Materialteils mehrere Drehgelenke (6, 7, 8, 9) angeordnet sind, die das Materialteil in mehrere Elemente untergliedern.
3. Kippspiegeleinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Materialteil in seiner Längserstrek- kung gesehen ein erstes äußeres Element (1) , das mit seinem einen Ende fest eingespannt ist, ein erstes Zwischenelement (2) , das mit seinem einen Ende mit dem anderen Ende des ersten äußeren Elementes (1) in einem ersten Drehgelenk (6) verbunden ist, ein mittleres Element (3) , das mit seinem einen Ende in einem zweiten Drehgelenk (7) mit dem anderen Ende des ersten Zwischenelementes (2) verbunden ist, ein zweites Zwischenelement (4) , das mit seinem einen Ende in einem dritten Drehgelenk (8) mit dem anderen Ende des mittleren Elementes (3) verbunden ist, und ein zweites äußeres Element (5) , das mit seinem einen Ende in einem vierten Drehgelenk (9) mit dem anderen Ende des zweiten Zwischenelementes (4) verbunden ist und dass an dem ersten Zwischenelement (2) der eine Spiegel (10) und an dem zweiten Zwischenelement (4) der andere Spiegel (11) angeordnet sind.
Kippspiegeleinrichtung nach Anspruch 3 , dadurch gekennzeichnet, dass das mittlere Element (3) durch die Antriebseinrichtung senkrecht zur Ebene des Materialteils linear bewegt wird und dass das andere Ende des zweiten äußeren Elementes (5) fest eingespannt ist.
5. Kippspiegeleinrichtung nach Anspruch 3 , dadurch gekennzeichnet, dass das andere Ende des zweiten äußeren Elementes (5) frei bewegbar ist und dass die Antriebseinrichtung am mittleren Element (3) oder am zweiten äußeren Element (5) angreift.
6. Kippspiegeleinrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das andere Ende des zweiten äußeren Elementes frei bewegbar ist, dass das mittlere Element ent- fällt und dass die Antriebseinrichtung am zweiten äußeren Element (5) angreift.
7. Kippspiegeleinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Materialteil (1, 2, 3, 4, 5) streifenförmig ausgebildet ist.
8. Kippspiegeleinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Spiegel (10, 11) an der der Ebene des Materialteiles abgewandten Seite jeweils unter einem Winkel in Richtung auf den jeweils anderen Spiegel geneigt sind.
9. Kippspiegeleinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Materialstreifen aus ei- nem superelastischen Material besteht.
10. Kippspiegeleinrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Material ein Nickel-Titan-Material ist.
11. Kippspiegeleinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Materialstreifen eine Abmessung von etwa 57 x 8 mm aufweist.
12. Kippspiegeleinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass das erste (6) , das zweite (7) , das dritte (8) und gegebenenfalls das vierte (9) Drehgelenk die Form von quer zur Längserstreckung des Materialteils verlaufenden Kerbgelenken aufweist .
13. Kippspiegeleinrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Materialstreifen im Bereich der Kerbgelenke eine Dicke von minimal etwa 0,3 mm aufweist.
14. Kippspiegeleinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Materialstreifen und die
Kerbgelenke durch Erodieren eines Ausgangsmaterialteils hergestellt sind.
15. Kippspiegeleinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebseinrichtung in der Längserstreckung des Materialteiles gesehen in der Mitte des mittleren Elementes (3) angreift.
16. Kippspiegeleinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebseinrichtung ein
Tauchspulen-Antrieb ist.
17. Kippspiegeleinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebseinrichtung ei- nen Piezzostapel umfaßt.
18. Kippspiegeleinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass der einfallende Lichtstrahl (12) ein Laserstrahl ist.
19. Kippspiegeleinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass zur Ablenkung des einfallenden Lichtstrahles (12) in zwei Richtungen der Kippspiegeleinrichtung eine weitere Kippspiegelemrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 13 nachgeschaltet ist, derart, dass der aus der Kippspiegeleinrichtung vom anderen Spiegel (11) ausfallende Lichtstrahl (12'') auf einen Spiegel der weiteren Kippspiegeleinrichtung gelenkt wird, derart, dass der aus der weiteren Kippspiegeleinrichtung ausfallende Lichtstrahl bei der Betätigung der Antriebseinrich- tungen der Kippspiegeleinrichtung und der weiteren Kippspiegeleinrichtung in zwei unterschiedliche, vorzugsweise senkrecht zueinander verlaufende Richtungen ablenkbar ist.
20. Anwendung einer Kippspiegeleinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 19 zum Scannen eines Laserstrahls in einer Laserablenkeinrichtung, insbesondere zur Laserbeschriftung.
PCT/DE2001/004546 2000-12-04 2001-12-04 Kippspiegeleinrichtung Ceased WO2002046819A2 (de)

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DE10060111A DE10060111C1 (de) 2000-12-04 2000-12-04 Optische Ablenkvorrichtung
DE10060111.1 2000-12-04

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