WO2001078159A1 - Piezoelectric multilayer actuator and method for producing the same - Google Patents
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Abstract
Description
PIEZOELEKTRISCHER VIELSCHICHTAKTUATOR UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNGPIEZOELECTRIC MULTILAYER ACTUATOR AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
Die Erfindung betrifft einen piezoelektrischen Vielschichtaktuator mit einer Anzahl von in Form eines Piezoelementstapels übereinandergeschichteten piezoelektrischen Keramikschichten und zwischen den Keramikschichten angeordneten und jeweils wechselseitig an Oberflachenkontaktbereichen aus dem Stapel herausge- führten und mittels einer seitlich am Stapel vorgesehenen Außenelektrode elektrisch parallel geschalteten Innenelektroden.The invention relates to a piezoelectric multilayer actuator with a number of piezoelectric ceramic layers stacked one on top of the other in the form of a piezo element stack and arranged between the ceramic layers and led alternately out of the stack at surface contact areas and connected in parallel by means of an outer electrode provided on the side of the stack.
Piezoelektrische Vielschichtaktuatoren finden in piezoelektrischen Betätigungseinrichtungen zunehmend Verwendung in einer Vielzahl von Anwendungsgebieten, insbesondere in der Luft- und Raumfahrt, aber auch im Automobilbau sind sie aufgrund ihrer geringen Abmessungen und ihrer hohen Leistungsdichte vorteilhaft.Piezoelectric multi-layer actuators are increasingly used in piezoelectric actuators in a large number of fields of application, in particular in the aerospace industry, but they are also advantageous in automobile construction because of their small dimensions and high power density.
Piezoelektrische Vielschichtaktuatoren bestehen aus einer Anzahl von in Form eines Piezoelementstapels übereinandergeschichteten piezoelektrischen Kera- mikschichten, zwischen denen jeweils wechselseitig an Oberflachenkontaktbereichen aus dem Stapel herausgeführte und mittels einer seitlich am Stapel vorgesehenen Außenelektrode elektrisch parallel geschaltete Innenelektroden vorgesehen sind. Beim Anlegen einer Spannung an die Elektroden erfahren die piezoelektri- sehen Keramikschichten aufgrund einer durch das elektrische Feld in ihrem Inneren hervorgerufenen Gitterverzerrung eine Längenausdehnung in Richtung des elektrischen Feldes, welche in einer Betätigungseinrichtung nutzbar gemacht werden kann. Die elektrische Parallelschaltung der einzelnen Piezoelemente dient dazu, die von außen anzulegende Spannung möglichst gering zu halten, die zum Hervorrufen der die gewünschte Gitterverzerrung bewirkenden elektrischen Feldstärke erforderlich ist.Piezoelectric multilayer actuators consist of a number of piezoelectric ceramic layers stacked one on top of the other in the form of a piezo element stack, between which internal electrodes are alternately guided out of the stack at surface contact areas and connected in parallel by means of an outer electrode provided on the side of the stack. When a voltage is applied to the electrodes, the piezoelectric see ceramic layers due to a lattice distortion caused by the electrical field in their interior, a length extension in the direction of the electrical field, which can be used in an actuator. The electrical parallel connection of the individual piezo elements serves to keep the voltage to be applied from the outside as low as possible, which is necessary to produce the electrical field strength causing the desired lattice distortion.
Ein Problem bei piezoelektrischen Vielschichtaktuatoren der beschriebenen Art liegt darin, daß die seitlich am Piezoelementstapel vorgesehene Außenelektrode der bei elektrischer Erregung des piezoelektrischen Vielschichtaktuators vom Piezoelementstapel vollzogenen Längenausdehnung unterliegt und dadurch oder durch im Randbereich der Keramikschichten auftretende Risse beschädigt oder unterbrochen werden kann. Zur Überwindung dieses Problems wird in der DE 196 46 676 C1 bei einen piezoelektrischen Vielschichtaktuator eine Kontaktierung der einzelnen piezoelektrischen Keramikschichten vorgeschlagen, bei der seitlich an dem Piezoelementstapel ein die Oberflächenkontaktbereiche der aus dem Stapel herausgeführten Innenelektroden kontaktierender Metallisierungsstreifen vorgesehen ist, auf welchen elektrisch leitfähige Kontaktfahnen aufgebracht sind, die sich soweit vom Piezoelementstapel weg erstrecken, daß ein überstehender Bereich selbst beim Auftreten von Rissen unversehrt bleibt und die Risse elektrisch überbrückt. Weiterhin ist aus der DE 196 48 545 A1 ein piezoelektrischer Vielschichtaktuator bekannt, bei dem ebenfalls seitlich am Piezoelementstapel eine die Oberflächenkontaktbereiche der aus dem Stapel herausgeführten Innenelek- troden kontaktierende Metallisierungsschicht vorgesehen ist, welche zur Überbrückung von auftretenden Rissen durch eine dreidimensional strukturierte, elektrisch leitende Elektrode überbrückt wird, die über partielle Kontaktstellen mit der Metallisierungsschicht verbunden und zwischen den Kontaktstellen dehnbar ausgebildet ist. Die dreidimensional ausgebildete Elektrode ist durch eine strukturierte Metallfolie, ein Drahtgewirk oder einen offenporigen Metallschaum gebildet.A problem with piezoelectric multilayer actuators of the type described lies in the fact that the outer electrode provided on the side of the piezo element stack is subject to the linear expansion of the piezo element stack when the piezoelectric multilayer actuator is electrically excited and can be damaged or interrupted thereby or by cracks occurring in the edge region of the ceramic layers. To overcome this problem, contacting the individual piezoelectric ceramic layers is proposed in DE 196 46 676 C1 in the case of a piezoelectric multilayer actuator, in which a metallization strip contacting the surface contact areas of the internal electrodes led out of the stack is provided on the side of the piezoelectric element stack, onto which electrically conductive contact tabs are applied are, which extend so far from the piezo element stack that a protruding area remains intact even when cracks occur and bridges the cracks electrically. Furthermore, from DE 196 48 545 A1 a piezoelectric multi-layer actuator is known, in which a metallization layer which contacts the surface contact areas of the inner electrodes led out of the stack is also provided on the side of the piezo element stack and which is used to bridge cracks that occur by means of a three-dimensionally structured, electrically conductive electrode is bridged, which is connected to the metallization layer via partial contact points and is designed to be stretchable between the contact points. The three-dimensional electrode is formed by a structured metal foil, a wire mesh or an open-pore metal foam.
Die Aufgabe der Erfindung ist es einen piezoelektrischen Vielschichtaktuator der eingangs geschilderten Art so auszubilden, daß mit geringem Aufwand eine zu- verlässige Kontaktierung der Innenelektroden auch im Falle eines Auftretens vonThe object of the invention is to design a piezoelectric multilayer actuator of the type described at the outset in such a way that an additional reliable contacting of the internal electrodes even in the event of
Rissen gewährleistet ist.Cracking is guaranteed.
Diese Aufgabe wird durch den im Anspruch 1 angegebenen piezoelektrischen Vielschichtaktuator gelöst.This object is achieved by the piezoelectric multilayer actuator specified in claim 1.
Vorteilhafte Weiterbildungen des erfindungsgemäßen piezoelektrischen Viel- schichtaktuators sind in den Unteransprüchen angegeben.Advantageous developments of the piezoelectric multilayer actuator according to the invention are specified in the subclaims.
Schließlich wird ein vorteilhaftes Verfahren zur Herstellung des erfindungsgemäßen piezoelektrischen Vielschichtaktuators angegeben.Finally, an advantageous method for producing the piezoelectric multilayer actuator according to the invention is specified.
Durch die Erfindung wird ein piezoelektrischer Vielschichtaktuator mit einer Anzahl von in Form eines Piezoelementstapels übereinandergeschichteten piezoelektri- sehen Keramikschichten und zwischen den Keramikschichten angeordneten und jeweils wechselseitig an Oberflachenkontaktbereichen aus dem Stapel herausgeführten und mittels einer seitlich am Stapel vorgesehenen Außenelektrode elektrisch parallel geschalteten Innenelektroden geschaffen. Erfindungsgemäß ist zwischen den Oberflachenkontaktbereichen der Innenelektroden und der Außenelek- trode eine elektrisch leitende Pulverschicht angeordnet.The invention creates a piezoelectric multi-layer actuator with a number of piezoelectric ceramic layers stacked one above the other in the form of a piezo element stack and arranged between the ceramic layers and in each case guided out of the stack alternately at surface contact areas and connected in parallel by means of an outer electrode provided on the side of the stack. According to the invention, an electrically conductive powder layer is arranged between the surface contact areas of the inner electrodes and the outer electrode.
Durch die Pulverschicht werden mögliche Risse an der Oberfläche des Piezoelementstapels überbrückt, welche den Stromfluß zwischen den Oberflachenkontaktbereichen der Innenelektroden und der Außenelektrode unterbrechen könnten. Ein wesentlicher Vorteil ist eine Erhöhung von Zuverlässigkeit und Lebensdauer des piezoelektrischen Vielschichtaktuators und eine Einsparung von Herstellungsschritten und Kosten.The powder layer bridges possible cracks on the surface of the piezo element stack, which could interrupt the current flow between the surface contact areas of the inner electrodes and the outer electrode. A significant advantage is an increase in the reliability and service life of the piezoelectric multilayer actuator and a saving in manufacturing steps and costs.
Gemäß einer ersten bevorzugten Ausführungsform des piezoelektrischen Viel- schichtaktuators der Erfindung ist es vorgesehen, daß die Oberflächenkontaktbereiche durch die Randbereiche der aus dem Stapel herausgeführten Innenelektroden gebildet sind, und daß die elektrisch leitende Pulverschicht direkt auf der Oberfläche des Piezoelementstapels in Kontakt mit den Randbereichen der Innenelektroden vorgesehen ist. Somit werden die als Oberflächenkontaktbereiche fungierenden Randbereiche der Innenelektroden an der Stapeloberfläche direkt von der Pulverschicht kontaktiert. Dies hat vorteilhafterweise einen geringen Herstellungsaufwand und eine hohe Unempfindlichkeit gegenüber Rißbildung zur Folge.According to a first preferred embodiment of the piezoelectric multilayer actuator of the invention, it is provided that the surface contact areas are formed by the edge areas of the inner electrodes led out of the stack, and that the electrically conductive powder layer is directly on the surface of the piezo element stack in contact with the edge areas of the inner electrodes is provided. Thus, they are called surface contact areas Functional edge areas of the internal electrodes on the stack surface contacted directly by the powder layer. This advantageously has low manufacturing costs and is highly insensitive to cracking.
Gemäß einer alternativen Ausführungsform des erfindungsgemäßen Vielschichtaktuators ist es vorgesehen, daß die Oberflächenkontaktbereiche durch eine auf der Außenseite des Piezoelementstapels in Kontakt mit den Randbereichen der Innenelektroden befindliche Zwischenelektrode gebildet sind, und daß die elektrisch leitende Pulverschicht auf der Oberfläche der Zwischenelektrode vorgesehen ist. Der Vorteil hiervon ist es, daß durch die Zwischenelektrode eine Vergrößerung der von der elektrisch leitenden Pulverschicht kontaktierten Oberflächenkontaktbereiche stattfindet, was eine höhere Strombelastbarkeit zur Folge hat.According to an alternative embodiment of the multilayer actuator according to the invention, it is provided that the surface contact areas are formed by an intermediate electrode located on the outside of the piezo element stack in contact with the edge areas of the inner electrodes, and that the electrically conductive powder layer is provided on the surface of the intermediate electrode. The advantage of this is that the intermediate electrode increases the surface contact areas contacted by the electrically conductive powder layer, which results in a higher current carrying capacity.
Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung des erfindungsgemäßen Vielschichtaktuators ist es vorgesehen, daß die Außenelektrode an der dem Piezoelementstapel zugewandten Seite eines an dessen Außenseite vorgesehenen Formteils angeordnet ist, wobei die Außenelektrode die elektrisch leitende Pulverschicht unter einem vorgegebenen Anpreßdruck kontaktiert. Somit ist die elektrisch leitende Pulverschicht unter gleichzeitiger Kontaktierung der Oberflächenkontaktbereiche einerseits und der Außenelektrode andererseits zwischen der Oberfläche des Piezoelementstapels und dem Formteil dauerhaft und zuverlässig eingeschlossen.According to an advantageous further development of the multi-layer actuator according to the invention, it is provided that the outer electrode is arranged on the side of the molded element facing the piezo element stack, the outer electrode making contact with the electrically conductive powder layer under a predetermined contact pressure. The electrically conductive powder layer is thus permanently and reliably enclosed between the surface of the piezo element stack and the molded part while simultaneously contacting the surface contact areas on the one hand and the outer electrode.
Vorzugsweise ist das Formteil aus einem elektrisch isolierenden Material hergestellt, und mit der Außenelektrode ist ein an dem Formteil vorgesehener elektrisch leitender Außenkontakt für den elektrischen Anschluß des piezoelektrischen Vielschichtaktuators verbunden. Das Formteil dient somit gleichzeitig als Träger für die Außenelektrode, als äußere Begrenzung für die elektrisch leitende Pulver- Schicht und als Träger für den elektrisch leitenden Außenkontakt zum Anschluß des Vielschichtaktuators.The molded part is preferably made of an electrically insulating material, and an electrically conductive external contact provided on the molded part for the electrical connection of the piezoelectric multilayer actuator is connected to the external electrode. The molded part thus serves simultaneously as a carrier for the outer electrode, as an outer boundary for the electrically conductive powder layer and as a carrier for the electrically conductive outer contact for connecting the multi-layer actuator.
Vorzugsweise ist die elektrisch leitende Pulverschicht aus einem Pulver mit einer Korngröße im μm-Bereich hergestellt. Gemäß einem besonders vorteilhaften Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Vielschichtaktuators gemäß der vorliegenden Erfindung ist es vorgesehen, daß die elektrisch leitende Pulverschicht in Form eines Schlickers mittels Siebdruck auf die zu kontaktierende Seite des Piezoelementstapels aufgebracht wird.The electrically conductive powder layer is preferably produced from a powder with a grain size in the μm range. According to a particularly advantageous method for producing a piezoelectric multilayer actuator according to the present invention, it is provided that the electrically conductive powder layer in the form of a slip is applied to the side of the piezo element stack to be contacted by means of screen printing.
Im folgenden werden Ausführungsbeispiele des erfindungsgemäßen piezoelektrischen Vielschichtaktuators anhand der Zeichnung erläutert.Exemplary embodiments of the piezoelectric multilayer actuator according to the invention are explained below with reference to the drawing.
Es zeigen:Show it:
Figur 1 eine perspektivische Darstellung eines piezoelektrischen Vielschichtaktuators nach einem ersten Ausführungsbeispiel der Erfin- düng, wobei aus Gründen der Veranschaulichung der Piezoelementstapel des Vielschichtaktuators und ein die Außenelektrode tragendes Formteil voneinander getrennt dargestellt sind; und1 shows a perspective illustration of a piezoelectric multilayer actuator according to a first exemplary embodiment of the invention, the piezoelectric element stack of the multilayer actuator and a molded part carrying the outer electrode being shown separately from one another for reasons of illustration; and
Figur 2 eine perspektivische Darstellung eines piezoelektrischen Viel- schichtaktuators nach einem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung, wobei wiederum der Piezoelementstapel des Vielschichtaktuators, eine Zwischenelektrode zur Kontaktierung der Oberflächenbereiche der Innenelektroden und ein Formteil, welches die Außenelektrode trägt, voneinander getrennt dargestellt sind.FIG. 2 shows a perspective illustration of a piezoelectric multilayer actuator according to a second exemplary embodiment of the invention, the piezo element stack of the multilayer actuator, an intermediate electrode for contacting the surface areas of the inner electrodes and a molded part which carries the outer electrode being shown separately from one another.
Bei den beiden in den Figuren 1 und 2 perspektivisch dargestellten Ausführungsbeispielen des erfindungsgemäßen piezoelektrischen Vielschichtaktuators bedeutet Bezugszeichen 10 einen Piezoelementstapel, der durch eine Vielzahl von übereinandergeschichteten piezoelektrischen Keramikschichten 8 gebildet ist. Zwischen den Keramikschichten 8 sind Innenelektroden 3 angeordnet, die jeweils wechselseitig an Oberflachenkontaktbereichen 9 aus dem Stapel herausgeführt und mittels einer seitlich an dem Piezoelementstapel 10 vorgesehenen Außenelektrode 4 elektrisch parallel geschaltet sind. Wie aus Figur 1 ersichtlich ist, ist jeweils jede zweite Innenelektrode 3 nach der rechten, in der Figur sichtbaren Seite des Piezoelementstapels 8 herausgeführt, während die jeweils dazwischenliegenden Innenelektroden 3 nach der anderen, in der Figur nicht sichtbaren linken Seite des Piezoelementstapels herausgeführt sind. An der Oberseite und der Unterseite des Piezoelementstapels 10 befindet sich jeweils eine Endschutzkappe 1 , die zur mechanischen Stabilisierung des Piezoelementstapels 10 und zur Verteilung der bei der Erregung desselben erzeugten Kraft dient.In the two exemplary embodiments of the piezoelectric multi-layer actuator according to the invention shown in perspective in FIGS. Arranged between the ceramic layers 8 are internal electrodes 3, each of which leads alternately out of the stack at surface contact regions 9 and are electrically connected in parallel by means of an external electrode 4 provided on the side of the piezo element stack 10. As can be seen from FIG. 1, every second inner electrode 3 is to the right, visible in the figure of the piezo element stack 8, while the respective inner electrodes 3, which are located between them, are led out after the other left side of the piezo element stack, which is not visible in the figure. On the top and the bottom of the piezo element stack 10 there is an end protective cap 1, which serves to mechanically stabilize the piezo element stack 10 and to distribute the force generated when the latter is excited.
Im betriebsbereiten Zustand des Piezoelementstapels 10 ist an dessen Außenseite ein Formteil 5 angeordnet, welches in Figur 1 zum Zwecke der besseren Übersichtlichkeit jedoch getrennt dargestellt ist. Das Formteil 5 ist vorzugsweise an den Endschutzkappen 1 des Piezoelementstapels 10 befestigt. An der dem Piezoelementstapel 10 zugewandten Seite des Formteils 5 ist eine Außenelektrode 4 angeordnet, welche mit einem elektrisch leitenden Außenkontakt 6 verbunden ist, der dem elektrischen Anschluß des Vielschichtaktuators 10 dient. Das Formteil 5 selbst ist aus einem elektrisch isolierenden Material, beispielsweise Kunststoff oder Keramik hergestellt.When the piezo element stack 10 is ready for operation, a molded part 5 is arranged on its outside, which is shown separately in FIG. 1 for the sake of clarity. The molded part 5 is preferably attached to the end caps 1 of the piezo element stack 10. On the side of the molded part 5 facing the piezo element stack 10, an outer electrode 4 is arranged, which is connected to an electrically conductive outer contact 6, which serves for the electrical connection of the multi-layer actuator 10. The molded part 5 itself is made of an electrically insulating material, for example plastic or ceramic.
Bei dem in Figur 1 dargestellten ersten Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen piezoelektrischen Vielschichtaktuators sind die Oberflächenbereiche der In- nenelektroden 3 durch die Randbereiche 9 derselben gebildet, wie sie aus dem Stapel herausgeführt sind. Zwischen den Oberflachenkontaktbereichen in Form der Randbereiche 9 der Innenelektroden 3 und der Außenelektrode 4 ist eine elektrisch leitende Pulverschicht 2 vorgesehen, welche direkt auf der Oberfläche des Piezoelementstapels 10 in Kontakt mit den Randbereichen 9 der in den Elek- troden 3 steht. Diese elektrisch leitende Pulverschicht 2 wird von der an dem Formteil 5 angebrachten Außenelektrode 4 unter einem vorgegebenen Anpreßdruck kontaktiert, so daß die elektrisch leitende Pulverschicht 2 eine elektrische Verbindung zwischen den Oberflachenkontaktbereichen 9 der Innenelektroden 3 und der Außenelektrode 4 herstellt.In the first exemplary embodiment of the piezoelectric multilayer actuator according to the invention shown in FIG. 1, the surface areas of the inner electrodes 3 are formed by the edge areas 9 of the same as they are led out of the stack. Between the surface contact areas in the form of the edge areas 9 of the inner electrodes 3 and the outer electrode 4, an electrically conductive powder layer 2 is provided, which is in direct contact with the edge areas 9 of the electrodes 3 on the surface of the piezo element stack 10. This electrically conductive powder layer 2 is contacted by the outer electrode 4 attached to the molded part 5 under a predetermined contact pressure, so that the electrically conductive powder layer 2 establishes an electrical connection between the surface contact regions 9 of the inner electrodes 3 and the outer electrode 4.
Bei dem in Figur 2 dargestellten zweiten Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen piezoelektrischen Vielschichtaktuators sind die Oberflächenkontaktbereiche der Innenelektroden 3 durch eine Zwischenelektrode 7 gebildet, die sich auf der Außenseite des Piezoelementstapels 10 befindet und mit den Randbereichen 9 der Innenelektroden 3 in Verbindung steht. Die elektrisch leitende Pulverschicht 2 ist auf dieser Zwischenelektrode 7 vorgesehen und befindet sich damit zwischen der an dem Formteil 5 befindlichen Außenelektrode 4 und der Zwischenelektrode 7, wobei sie wiederum durch die Außenelektrode 4 unter einem vorgegebenen Anpreßdruck kontaktiert wird und damit eine elektrische Verbindung zwischen der Außenelektrode 4 einerseits und der Zwischenelektrode 7 und den Innenelektroden 3 andererseits herstellt.In the second exemplary embodiment of the piezoelectric multilayer actuator according to the invention shown in FIG. 2, the surface contact areas of the inner electrodes 3 are formed by an intermediate electrode 7, which is located on the outside of the piezo element stack 10 and with the edge areas 9 of the internal electrodes 3 is connected. The electrically conductive powder layer 2 is provided on this intermediate electrode 7 and is thus located between the outer electrode 4 located on the molded part 5 and the intermediate electrode 7, again being contacted by the outer electrode 4 under a predetermined contact pressure and thus an electrical connection between the outer electrode 4 on the one hand and the intermediate electrode 7 and the inner electrodes 3 on the other.
Die elektrisch leitende Pulverschicht 2 ist aus einem Pulver mit einer Korngröße im mm-Bereich hergestellt und besteht aus einem geeigneten elektrisch leitenden Material.The electrically conductive powder layer 2 is made of a powder with a grain size in the mm range and consists of a suitable electrically conductive material.
Gemäß einem bevorzugten Herstellungsverfahren wird die elektrisch leitende Pulverschicht 2 in Form eines Schlickers mittels Siebdruck auf die zu kontaktierende Seite des Piezoelementstapels 10, also bei dem in Figur 1 dargestellten Ausführungsbeispiel direkt auf die Außenseite des Piezoelementstapels 10 in Kontakt mit den Randbereichen 9 der Innenelektroden 3 bzw. bei dem in Figur 2 gezeigten Ausführungsbeispiel auf die Zwischenelektrode 7 aufgebracht. Es können jedoch auch andere geeignete Verfahren verwendet werden, um die elektrisch leitende Pulverschicht 2 aufzubringen.According to a preferred production method, the electrically conductive powder layer 2 is in the form of a slip by means of screen printing on the side of the piezo element stack 10 to be contacted, i.e. in the exemplary embodiment shown in FIG. 1 directly on the outside of the piezo element stack 10 in contact with the edge regions 9 of the internal electrodes 3 or applied to the intermediate electrode 7 in the exemplary embodiment shown in FIG. However, other suitable methods can also be used to apply the electrically conductive powder layer 2.
Die Befestigung des die Außenelektrode 4 tragenden Formteils 5 an dem Piezoelementstapel 10 bzw. an dessen Endschutzkappen 1 erfolgt in einer Weise, daß ein Ausgleich der Längenänderung des Piezoelementstapels 10 bei dessen Erre- gung gegenüber dem Formteil 5 gewährleistet ist. The molded part 5 carrying the outer electrode 4 is fastened to the piezo element stack 10 or to its end protective caps 1 in such a way that a compensation of the change in length of the piezo element stack 10 when the latter is excited with respect to the molded part 5 is ensured.
8270 Ja8270 Yes
BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS
1 Endschutzkappe1 end cap
2 elektrisch leitende Pulverschicht2 electrically conductive powder layer
3 Innenelektroden Außenelektrode3 inner electrodes outer electrode
5 Formteil5 molded part
6 Außenkontakt6 external contact
7 Zwischenelektrode piezoelektrische Keramikschicht Randbereiche7 intermediate electrode piezoelectric ceramic layer edge areas
10 Piezoelementstapel 10 piezo element stacks
Claims
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| AK | Designated states |
Kind code of ref document: A1 Designated state(s): AU BR BY CA CZ HR HU ID IL JP KR LT MX NO NZ PL RO SG SI SK UA US VN YU ZA |
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| AL | Designated countries for regional patents |
Kind code of ref document: A1 Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE TR |
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| 121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application | ||
| DFPE | Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101) | ||
| 122 | Ep: pct application non-entry in european phase | ||
| NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: JP |