WO2000054265A1

WO2000054265A1 - Procede et appareil d'assemblage de disques optiques

Info

Publication number: WO2000054265A1
Application number: PCT/JP1999/001147
Authority: WO
Inventors: Ken Miyano; Noboru Murakami; Yuichi Fujita; Masaaki Sano
Original assignee: Global Machinery Co Ltd
Current assignee: Global Machinery Co Ltd
Priority date: 1999-03-10
Filing date: 1999-03-10
Publication date: 2000-09-14
Anticipated expiration: 2001-09-10
Also published as: JP3281390B2; EP1182655A1; KR20010005797A; US6312549B1; KR100327834B1; EP1182655A4

Description

明細書光ディスク貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法技術分野

この発明は、二枚の光ディスクの貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法に関し、更に詳細には、ディスクテーブルに載置された接着剤塗布済みのディスクに対して、アームに吸着保持されたもう一枚のディスクを重ね合わせたときに、二枚のディスク間に閉塞空間が形成されるように構成し、この閉塞空間を真空吸引することによって、前記接着剤に気泡を混入させることなく、かつ平坦に、ディスクを貼り合わせるができる、光ディスク貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法に関する。背景技術

従来から、二枚の光ディスクを貼り合わせるための装置又は貼り合わせる方法に関しては、貼り合わせ装置自体を囲むように設けられたチヤンバ一内の空気を真空吸引することによって行なう種々の技術が、提案されている。

例えば、特開平 8— 2 7 3 2 1 3号報に開示された第 1の従来技術、特開平 9 - 1 9 8 7 2 0号報に開示された第 2の従来技術が挙げられる。以下、これらの従来技術について、具体的に説明する。

図 7に示す第 1の従来技術（特開平 8 _ 2 7 3 2 1 3号報）は、保護膜によつて、ディスク外周部が厚くなることのないようにするために開発された技術である。

即ち、貼り合せるべき一対の片面ディスク 2 1、 2 2それぞれのピット面の反射膜上に保護膜を形成し、少なくともいずれか一方の片面ディスクの貼り合わせ面に接着剤を塗布した後、この一対の片面ディスク 2 1， 2 2の接着面同士を突き合わせて圧着プレスするようにした貼り合わせディスクの製造方法と装置 2 0 において、圧着テーブル 2 5， 2 6をお覆うような大きさの真空槽 2 6を用いて、図示しない真空ポンプで真空チャンバ一 2 6内の空間 2 8を真空吸引して真空状態とする。その後、ロッド 2 9に固着された圧着テーブル 2 4を下降させることにより、上下の圧着テーブル 2 3、 2 4のプレス面に形成されたリング状突起 2 5、 2 6でディスク 2 1， 2 2の外周部 2 7をまず圧着プレスし、次いでディスク 2 1， 2 2の全面を貼り合わせていく、という技術である。

図 8に示す第 2の従来技術（特開平 8— 2 1 7 0 6号報）は、重ね合せたディスク 3 1の接着剤中或いはディスク 3 1間中に混入する気泡をより良好に除去する等を目的として開発された技術である。

即ち、重ね合わせディスク 3 1の貼り合わせ方法において、加圧装置 3 0に、チャンバ一 3 2により覆われて形成された密閉空間 3 3内に、軸部 3 9に固着された上部プレス板 3 7と下部プレス板 3 8の間に挟まれて重ね合わされたデイスク 3 1を位置させ、この密閉空間 3 3を真空引管 3 4で真空引きした際、この密閉空間 3 3を形成する剛体のチャンバ一 3 3に対して加わる外部からの圧力によつて、チャンバ一 3 2をシールしている Oリング 3 5を変形させ、この Oリング 3 5の変形に伴うシール間隔 3 6の小さくなる分だけ重ね合わせディスク 3 1を加圧する。それによつて、上記真空引きによる空気吸引が上記重ね合わせデイスク 3 1の接着剤内の気泡を外部へ吸引せしめるという技術である。

また、図 9に示す特開平 3— 2 4 5 3 3 1号報に開示された、第 3の従来技術は、接着剤層中の気泡を排除するとともに、接着剤層の厚みが均一になるように工夫して、ディスク 4 3、 4 4の平面性を良好に維持するために開発された技術である。

即ち、一対のディスク 4 3、 4 4の少なくとも一枚に接着剤を塗布し、上記一対のディスク 4 3、 4 4を上記接着剤が塗布された面が内側となるように相対向させ、少なくとも一方のディスク 4 4を中心部が他方のディスク 4 3側に膨出するように反らせて変形させ、上記一対のディスク 4 3， 4 4を中心部より外周部側に向かって順次接合させる。そして、全面にわたって接合された上記一対のデイスク 4 3， 4 4に対して加圧して貼り合せるという技術である。

しかしながら、前記した従来技術にあっては、以下のような課題があった。即ち、第 1、第 2の従来技術では、いずれもディスクプレートを覆うような大きな容積の真空チャンバ一 2 6， 3 2を採用しているため、装置自体が大掛かりとなって、装置のコストが高くなる。また、この種の真空チャンバ一 2 6、 3 2 では、内部体積が大きいことから、真空吸引する吸引力を大きくする必要があるとともに、所定の圧力条件にするための吸引時間も長く、作業効率も悪かった。また、第 3の技術では、一方のディスク 4 4を反らせてディスク 4 3， 4 4を貼り合わせる手段を採用することにより、ディスク 4 3、 4 4間の空気を外側に追い出すことに関しては一定の効果を得たが、接着剤上に混入する気泡を有効に除去するという点においては、ディスク 4 4がディスク 4 3に重なる時間が遅いこと、ディスク 4 3、 4 4の周辺に空気が十分に存在すること等に起因して、充分とは言えなかった。

そこで、本発明の目的は、ディスク貼り合わせ技術における真空吸引技術の有効性に鑑み、この真空吸引を簡易な構成で実現するとともに、接着剤への気泡の混入を確実に防止できる光ディスク貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法を提供することにある。発明の開示

以上の目的を達成するため、以下の発明を採用する。

請求の範囲第 1項に係る光ディスク貼り合わせ装置では、接着剤が塗布された第 1ディスクに対して第 2ディスクを重ね合わせて、二枚の光ディスクを貼り合わせる装置において、前記第 2ディスクを、該第 2ディスクに対向する前記第 1 ディスク側方向と反対方向へ膨出するように湾曲させて吸着保持しつつ、前記第 1ディスクに重ね合わせる構成とする。そして、前記第 1ディスクと前記第 2デイスクの外側領域同士を当接することによって両ディスク間に形成される閉塞空間を、真空吸引する。

この発明では、第 2ディスクの第 1ディスクに対向する面を、この第 1デイスクと反対側へ膨出するように湾曲させて吸着保持しながら、第 2ディスクをディスクテーブルに配置されて待機している第 1ディスクに重ね合わせることによつて、第 1ディスクと第 2ディスクの間に、皿を伏せたような形状の空間を形成できる。

この空間を周囲から閉塞して、該空間の空気を真空吸引すれば、この閉塞空間は、真空チャンパ一同様の作用を発揮するため、第 2ディスクは、第 1ディスク側に吸引されて、第 1ディスク上に塗布された接着剤上に着接させることができる。しかも、この閉塞空間は、従来の真空チャンバ一内の容積と比較して、極めて少容積であるので、真空吸引を短時間で行なうことができる。

また、この第 1ディスクと第 2ディスクの間に形成された閉塞空間の真空吸引によれば、第 2ディスク力第 1ディスク上の接着剤に極めて速やかに着接するので、接着剤に気泡を混入することがなくなる。

更に、ディスクを載置するテーブルや保持するアーム等のなどのディスク周辺部材全体を囲んで形成する、大掛かりな真空チャンバ一を形成する必要が全くなくなる。

請求の範囲第 2項に係る光ディスク貼り合わせ装置では、請求の範囲第 1項に記載された第 2ディスクを、該第 2ディスクの外側領域に当接するリング状の凸部と、前記第 2ディスクの中央孔近傍領域を吸引するリング状の第 2ディスク吸着部と、が形成されたディスク保持部を備えたアームによって吸着保持して、前記第 1ディスクに重ね合わせる構成とする。そして、前記第 2ディスク吸着部の端面を、前記凸部端面よりも引き込んだ位置で前記第 2ディスクを吸着することで、該第 2ディスクに対向する第 1ディスク側方向と反対方向へ膨出させる。この発明では、第 2ディスクを吸着保持して第 1ディスクに重ね合わせる役割を果たすアームのディスク保持部が、前記第 2ディスクを、該第 2ディスクに対向する第 1ディスクと反対側へ膨出するように湾曲させる作用を有効に果たしている。

即ち、このディスク保持部に設けられたリング状の凸部が、第 2ディスクの外側領域に当接して、第 2ディスクの外周部位置を維持するように作用するとともに、同ディスク保持部に設けられたリング状の第 2ディスク吸着部が、第 2ディスクの内側領域をアーム側に引き込んで吸着する作用を果たすことによって、第 2ディスクを、皿を伏せたような形状に湾曲させる。

請求の範囲第 3項に係る発明では、湾曲された請求の範囲第 1項又は第 2項に記載された、前記ディスク保持部に吸着保持された前記第 2ディスクの中央孔の內周壁面を、前記第 1ディスクを載置するディスクテーブルの中央に形成され、該第 1ディスクの中央孔に嵌入されるセンターピンの外周部に当接させて、前記閉塞空間を形成する。

この発明では、第 2ディスクの中央孔の内周壁面をセンタ一ピンの外周部に隙間なく当接させることで、第 1ディスクと第 2ディスクの間に形成される閉塞空間を確実に密閉する。これにより、閉塞空間の少容積化と密閉性を確保することができるので、真空吸引を速やかに行なうことができる。

請求の範囲第 4項に係る発明では、請求の範囲第 3項に記載された第 2ディスク吸着部で取り囲まれた内側空間が、前記第 2ディスクの中央孔の内周壁面が前記センターピンの外周に当接したときに、密閉されるように形成する。

この発明では、アームで保持された第 2ディスクの中央孔の内周壁面が、センターピンの外周部に当接された際に、該当接部分に万が一隙間が形成された場合であっても、該隙間に連通する、第 2ディスク吸着部で取り囲まれた内側空間を閉塞させておくことによって、第 1ディスクと第 2ディスクの間に形成される閉塞空間の密閉性を担保して、真空吸引を確実に行なうことができるようにする。請求の範囲第 5項に係る発明では、請求の範囲第 1項から第 4項のいずれかに記載された閉塞空間を、前記センターピンに形成された真空吸引孔から真空吸引する。

この発明では、第 1ディスクと第 2ディスクの間に形成される閉塞空間内部にその外周面が臨んでいるセンターピンに、該閉塞空間に連通する真空吸引孔を設けることで、ディスクテーブルの従来形状をそのまま利用した簡易な手段で、真空吸引することが可能となる。

請求の範囲第 6項に係る発明では、請求の範囲第 5項に記載された第 2ディスクを吸着する、アームの第 2ディスク吸着部のディスク吸引力に対する、センタ一ピンの負圧吸引孔からの真空吸引力の大きさを調整するための制御手段を設ける。

この発明では、閉塞空間を介して第 1ディスクに対向する第 2ディスクが、閉塞空間の真空吸引によって第 2ディスク吸着部を離れ、第 1ディスク側に移動する際の速度、時間、第 1ディスク上の接着剤に対する加圧力を、簡易な手段で調整することが可能になる。即ち、第 2ディスク吸着部によるディスク吸引力を一定に維持しながら、真空吸引力のみを変化させるという簡易な手段により、ディスク吸引力に対する真空吸引力の大きさを自在に変化させることができる。

請求の範囲第 7項に係る発明では、接着剤が塗布された第 1ディスクに対して第 2ディスクを重ねて二枚の光ディスクを貼り合わせる方法において、

第 2ディスクを対向する前記第 1ディスク側と反対方向へ膨出させるように湾曲させて、前記第 2ディスクをアームで吸着保持する第 2ディスク保持工程と、吸着保持された第 2ディスクの外側領域を、前記第 1ディスクの外側領域に当接させるディスク重ね合わせ工程と、前記第 1ディスクと第 2ディスクの間に形成された閉塞空間の空気を吸引する真空吸引工程と、前記真空吸引工程によって前記第 2ディスクが、前記第 1ディスク上に塗布され接着剤に着接するディスク接着工程と、から構成する。

この発明では、第 1ディスクと第 2ディスクの間に閉塞空間を形成する工程に続き、この少容積の閉塞空間を真空吸引する工程を採用しているため、第 2ディスクを第 1ディスク上に塗布された接着剤上に速やかに着接させることが可能となる。

請求の範囲第 8項に係る発明では、請求の範囲第 7項に記載の真空吸引工程を、前記第 1ディスクに嵌入して前記閉塞空間内に臨んでいる、前記ディスクテーブルの前記センターピンの外周部に開口形成された負圧吸引孔を介して、真空吸引する。

この発明では、閉塞空間内に臨むディスクテーブルのセンターピンの外周部を有効に活用し、該外周部に負圧吸引孔を設けて、閉塞空間の真空吸引を行なう構成としたため、より簡易な構成の光ディスク貼り合わせ方法を提供できる。請求の範囲第 9項に係る発明では、請求の範囲第 8項に記載の真空吸引工程において、前記第 2ディスクのディスク吸引力に対する、前記負圧吸引孔からの真空吸引力を調整するための制御工程を設ける。

この発明では、真空吸引工程において、真空吸引力の強さを調整することにより、第 1ディスクに対向する第 2ディスクが、閉塞空間の真空吸引によって第 2 ディスク吸着部を離れて第 1ディスク側に移動する際の速度、時間、第 1デイスク上の接着剤に対する加圧力等を、簡易な手段で調整することが可能になる。請求の範囲第 1 0項に係る発明では、請求の範囲第 7項から第 8項のいずれかに記載の光ディスク貼り合わせ方法のディスク接着工程においては、前記第 2デイスクが前記接着剤に着接するときに、前記アームを、前記ディスクテーブルから離れるように移動させる。

この発明により、第 2ディスク力第 1ディスク上の接着剤上に着接したときに、アーム部材の干渉を回避して、第 2ディスクの平面性を確保する。

請求の範囲第 1 1項に係る発明では、請求の範囲第 1 0項に記載のディスク接着工程で、前記第 2ディスクが前記接着剤に着接するときに、前記ディスクテーブルを回転させる。

この発明により、ディスクテーブルを回転により生ずる遠心力が、接着剤を広げるように作用するため、接着剤の厚みが一定化されて、ディスクの平面性が確保できるようになる。図面の簡単な説明

図 1は、光ディスクの貼り合わせ及び接着工程の流れを、簡潔に示す図、図 2 は、本発明に係る光ディスク貼り合わせ装置 1の略全体を示す縦断面図、図 3は、同装置の第 2ディスクを保持するアーム 3と第 1ディスクを固定するディスクプレート 2の周辺を示す図で、アーム 3が第 2ディスクを保持してディスクプレート 2の上方に位置している様子を示す図、図 4は、アーム 3の部分断面図、図 5は、アーム 3が第 2ディスクを保持してディスクプレート 2の上方に近接し、第 1ディスク D 1と第 2ディスク D 2の外側領域が当接し、両ディスク D l， D 2間に閉塞空間 5を形成している様子を示す図、図 6は、ディスクプレート 2 に固定された第 1ディスク D 1上に接着剤を介して第 2ディスク D 2が重ね合わされるとともに、第 2ディスク D 2を離したアーム 3が上昇している様子を示す図、である。発明を実施するための最良の形態

以下、本発明の好ましい実施の形態につき、添付図面を参照して詳細に説明する。

D V D (デジタルビデオディスク）等の光ディスク製造工程は、ディスク成型、冷却工程、スパッタ一リング工程（記録膜及び反射膜形成工程）に続く、光デイスク貼り合わせ工程、ディスク接着工程（接着剤硬化工程）、検査工程を経て行われる。本発明は、上記光ディスク製造工程の中の、光ディスク貼り合わせェ程に関するものである。

まず、光ディスク貼り合わせ工程周辺の光ディスク製造工程の流れを、図 1に基づいて、簡略に説明する。

図示しないスパッターリング工程を終えた光ディスク（以下「ディスク」という。）は、並設されたディスクスタックポール 1 4 a、 1 4 bに対して、それぞれニ枚一組単位のディスク D Oとされて、積層されている。

このディスク D Oは、ディスクの読み取り面側がともに上方に向くように重ね合わされた上下二枚一組のデイスクであって、ディスク間には小円板のスぺーサ Sが介装されたものである。尚、スぺーサ Sは、該スぺーサ Sの厚みで、重ね合わされた上下のディスクを離間させる役割を果たす。これにより、上下のデイスクが接触等で傷つかないようにするとともに、ディスクを一枚ずつ吸着して、後続の搬送工程（U 2， T 2 ) へ移載し易くする。

スタックポール 1 4 a、 1 4 bに積層された各ディスク D Oのディスクは、読み取り面を上側にしたままの状態で、各スタックポール 1 4 a、 1 4 bに隣設されたディスク搬送テーブル（図示せず）に移載される。そして、図示しない搬送レール上を、後続のディスク貼り合わせ装置 1に向けて搬送されていくことになる（搬送工程 U 2， T 2 ) 。

ここで、搬送工程 T 2では、接着剤 4が塗布される第 2ディスクをディスク貼り合わせ装置 1に供給する工程であることから、該工程 T 2の途中において、デイスクの読み取り面が下側（記録面が上側）になるように反転させられ（符号 T 3に示すディスク反転工程）、接着剤塗布工程 T 4に至るようにされている。即ち、読み取り面側に接着剤 4が塗布されないようにされている。

このように、搬送工程 T 2によって搬送供給されるディスクは、後続のデイスク貼り合わせ装置 1において、接着剤 4がディスク上面に塗布されて下側に待機する第 1ディスク D 1とされ、搬送工程 U 2によって搬送供給されるディスクは、同貼り合わせ装置 1において、前記第 1ディスクの上方から所定方法（後述）で重ね合わされることになる第 2ディスク D 2とされる。

尚、各ディスク D Oのスぺーサ Sは、スタックポール 1 4 a、 1 4 bから等距離位置に配設された専用のスぺーサスタックポール 1 3に対して、図示しない所定のアームで吸着移載されて、順次積層されていくようにされている（符号 U 1 、 T 1で示す工程）。

次に、接着剤塗布工程 T 4では、所定のノズル 1 5によって、第 1ディスク D 1をゆっくり回転させながら、第 1ディスク D 1の上面（記録面）に周状に接着剤 4が塗布される。尚、接着剤 4は、適宜選択できるが、本実施例では、紫外線硬化性樹脂製の接着剤を採用している。

接着剤 4が塗布された第 1ディスク D 1は、図示しない移載アームによって、ディスク貼り合わせ装置 1を構成するディスクテ一ブル 2に載置されて（符号 T 5で示すディスク移載工程）、第 2ディスク D 2が来るのを待機する。

一方、第 2ディスク D 2は、図示しない搬送レールによって行われるディスク搬送工程 U 2を経て、ディスク貼り合わせ装置 1を構成するアーム 3によって、所定形状（後述）に吸着保持され、第 1ディスク D 1が載置されたディスクテーブル 2上に移動してくる。

そして、後に詳述するディスク貼り合わせ工程 P 1を経て形成され、第 1ディスク D 1と第 2ディスクが接着剤 4を介装して貼り合わされた状態のディスク D 3は、接着剤硬化用テーブル 1 6に移載（符号 P 2で示す移載工程）されて、紫外線照射ランプ 1 7の下方に至る。

ディスク D 3は、ディスクの平面性を確保しながら、互いに圧着等されることにより、ディスク D l， D 2間に介装された接着剤 4が広がるとともに、ランプ 1 7で紫外線照射されて、接着剤 4を硬化され、接着固定される（符号 P 3で示す紫外線照射工程）。

二枚のディスクが接着固定されているディスク D 4は、読み取り面が上になるように反転されて（符号 P 4で示す反転工程）、検査工程 P 5に入る。検査工程 P 5では、二枚のディスク D l， D 2の接着度合いや平面性を判断して、良否を見極め、良品ディスク D 6と不良品ディスク D 7を、それぞれ載置テーブル 1 8 a、 1 8 bに振り分ける。

以下、ディスク貼り合わせ工程 P 1における、本発明に係るディスク貼り合わせ装置および貼り合わせ方法の好適な実施形態について詳述する。

まず、図 2は、ディスク貼り合わせ装置 1の全体構成を、縦断面図で示しており、本装置 1は、下側に配置される断面略 T字状のディスクテーブル 2と、該デイスクテーブル 2の上方に配置されたアーム 3と、から構成されている。

前記ディスクテーブル 2の平坦なテ一ブル上面 2 0 2の中央には、偏平な略円柱状のセンタ一ピン 2 0 1が突設されている。このセンターピン 2 0 1力接着剤 4が塗布されて移載されてくる第 1ディスク D 1の中央孔 3 0 5に嵌入することによって位置決めされて、テーブル上面 2 0 2に第 1ディスク D 1が載置される。

センターピン 2 0 1の外周部 2 0 1 1下部に、具体的には、外周部 2 0 1 1下部の少なくとも第 1ディスク D 1の厚み分より上方側に臨む部分に開口するように、真空吸引孔 2 3が周方向等間隔に複数（図 2， 3， 5では、 4個所）設けられている。この各真空吸引孔 2 3は、ディスクテーブル 2を支持するシャフト 1 0内部に、上下方向に円筒状に形成された吸引路 7に連通されている。

ここで、符号 8は、吸引路 7に連設する吸引部材、符号 9は、テーブル上面 2 0 2に開口するディスク固定用吸引孔 2 0 4から空気を吸引するための吸引部材を示しいる。真空吸引孔 2 3を介して閉塞空間 5の真空吸引と、ディスク固定用吸引孔 2 0 4からの吸引は、図示しない別個の真空センサによって真空度を計測する構成とされ、真空吸引孔 2 3の真空吸引力を単独で調整し易いように工夫されている。

尚、符号 1 2は、シャフト 1 0を保持するハウジングを、符号 1 1は、シャフト 1 0を回転可能に支持するベアリングを、符号 2 0 5は、テーブル取り付け用ビスを示している。

続いて、図 3は、アーム 3が第 2ディスク D 2を吸着保持して、第 1ディスク D 1が載置されたディスクプレート 2の上方に対向している様子を拡大して示している。アーム 3は、略逆 T字状の形状を備え、該アーム 3の略円盤状に広がる下端部 3 0 4の下面側には、第 2ディスク D 2を吸着保持する役割を果たすディスク保持部 3 0 6が、ディスクプレート 2のディスク載置面 2 0 2に対向するように形成されている。

ディスク保持部 3 0 6の最外周部には、リング状に形成された凸部 3 0 1が、下方側に向けて突設されている。また、ディスク保持部 3 0 6の中心方向内側には、リング状に突起する第 2ディスク吸着部 3 0 2が形成されている。

この第 2ディスク吸着部 3 0 2には、第 2ディスク D 2の中央孔 3 0 5やや外側領域の上面 D 2 bを負圧吸引するリング状の吸引孔 3 0 3が、上下方向に貫通して形成されている。

ここで、第 2ディスク吸着部 3 0 2の端面 3 0 2 1は、前記凸部 3 0 1の端面 3 0 1 1と同じ高さ位置 H 0から、更に上方側に引き込んだ位置 H 1へ移動できるようにアーム 3に支持されて配設されている。上方側に引き込んだ位置 H 1では、図 4に示すように、各端面 3 0 1 1 、 3 0 2 1の高さは、符号 Lで示す長さ分だけの段差が形成されることになる。

符号 Lの長さの設定は、適宜選択できるものであるが、本実施形態では、 L 二 1 . 5 mmになるように設定している。これは、第 2ディスク D 2に余分な負荷をかけすぎないようにして、ディスク D 2の変形を極力防止するとともに、かつ適度な容積の閉塞空間 5 (後述）を形成するために、好適な長さだからである。尚、第 2ディスク吸着部 3 0 2の上下移動（図 4、符号 Yで示す矢印参照）は、符号 Lの長さを最大 3 mmまで確保できるように構成され、閉塞空間 5の容積を調整できるように工夫されている。

上記したディスク保持部 3 0 6の構成により、第 2ディスク D 2は、該第 2デイスク D 2に対向する第 1ディスク D 1側と反対方向（図 3に示す矢印 X方向）へ膨出するように湾曲された形態で、ディスク保持部 3 0 6に吸着保持されている。

更に詳細には、第 2ディスク D 2の最外側の上面 D 2 a力凸部 3 0 1に当接されるとともに、第 2ディスク D 2の中央孔 3 0 5やや外側領域の上面 D 2 bが、第 2ディスク吸着部 3 0 2で吸引されることによって、第 2ディスク D 2の内側領域部分が上方に吸い上げられて、皿を伏せたような形態に一次変形されている。尚、本発明で使用する第 2ディスク D 2は、記録膜が形成されたものと記録膜が形成されていないものの、いずれにも適用できる。

次に、ディスクテープル 2に載置されて、待機している第 1ディスク D 1の上面には、紫外線硬化性樹脂性の接着剤 4が、周状に塗布されている。この接着剤 4上に第 2ディスク D 2が着接するときに、周囲の空気を抱き込んで気泡が混入してしまうと、レ一ザ一光による記録面の読み取りの障害になることから、本発明では、以下に説明するディスク貼り合わせ方法を採用する。

即ち、図 5に示すように、アーム 3で上方に膨出されて保持された第 2デイスク D 2を、第 1ディスク D 1の中心位置に合わせて重ね合わせ、両ディスク D 1 、 D 2の外側部分 D 1 a、 D 2 aのみを当接させ、ディスク内側領域には、符号 5で示す皿を伏せたような形状の閉塞空間を形成する。

このとき、第 2ディスクの中央孔 3 0 5の内周壁面 3 0 5 1は、センタ一ピン 2 0 1の外周部 2 0 1 1に密接し、隙間を形成しないようにされている。

具体的には、第 2ディスク吸着部 3 0 2に取り囲まれた内側領域においては、第 2ディスク D 2は平面性を維持しているため、センターピン 2 0 1に第 2ディスク D 2の中央孔 3 0 5が正円形状を保ったまま装着されることになる、これにより、内周壁面 3 0 5 1とセンターピン 2 0 1の外周部 2 0 1 1の間には、隙間が形成されない。

尚、閉塞空間 5が形成されたときには、センターピン 2 0 1上方領域に、第 2 ディスク吸着部 3 0 2に取り囲まれようにして形成される空間 6は、密閉されているため、万が一、中央孔 3 0 5内周壁面 3 0 5 1とセンタ一ピン 2 0 1の外周部 2 0 1 1の間に隙間が形成するようなことがあっても、最終的には、閉塞空間 5の密閉性を維持できるように担保されている。

閉塞空間 5内部に臨んでいるセンターピン 2 0 1の外周部 2 0 1 1下部に形成された真空吸引孔 2 0 3から真空吸引を行なうため、閉塞空間 5内部は即座に負圧状態となって真空状態を形成する。そして、真空吸引孔 2 0 3による真空吸引力が、第 2ディスク吸着部 3 0 2の吸引力に打ち勝つようになると、第 2デイスクは、第 1ディスク D 1側に引き付けられ、接着剤 4の上面に着接する。ここで、貼り合わせ装置 1には、アーム 3の第 2ディスク吸着部 3 0 2のディスク吸引力に対する、負圧吸引孔 2 3の真空吸引力の大きさを調整するための、図示しないレギュレ一タを設ける。

このレギュレータを設け、真空吸引力の大きさを調整するという簡易な手段を採用することによって、閉塞空間 5を介して第 1ディスク D 1に対向する第 2デイスク D 2力閉塞空間 5の真空吸引によって第 2ディスク吸着部 3 0 2を離れて第 1ディスク D 1側に移動する際の、速度、時間、接着剤 4に対する加圧力を容易に調整することが可能になる。

尚、第 2ディスク D 2が、第 1ディスク D 1側に引き付けられ、接着剤 4の上面に着接する時、第 2ディスク吸着部 3 0 2の吸引力の変化を所定の信号検出手段で読み取って、アーム 3を上方に速やかに移動させる。

これにより、アーム 3の外側の凸部 3 0 1による第 2ディスク D 2への千渉を回避して、第 1ディスク D 1上の接着剤 4上に、第 2ディスク D 2が平面性を確保しながら着接することができるようにし、二枚のディスク D l， D 2が平行に対向する貼り合わせディスク D 3を得易くする。

ここで、第 2ディスク D 2が接着剤 4に着接した瞬間は、接着剤 4は、自らの表面張力によって、接着剤 4中心方向に集まろうとする性質があるため、これに何ら手段を講じないと、ディスクの平面性確保の障害になるおそれがある。そこで、第 2ディスク吸着部 3 0 2から第 2ディスク D 2が離れて接着剤 4に着接する瞬間から、ディスクテーブル 2を高速回転させ、その遠心力により、接着剤 4を、図 6に示す程度の一定巾の領域にまで広げて、接着剤 4の厚みを一定にする。

上記した光ディスク貼り合わせ方法では、真空吸引すべき閉塞空間 5の容積が極めて少ないため、真空吸引効果が速やかに発揮されるとともに、接着剤 4に予め近接された位置から第 2ディスク D 2を引き込んで接着剤 4上に着接させることができるため、接着剤 4上に気泡が混入することがなくなるとともに、デイスクの平面性を確保できる。産業上の利用可能性以上の説明から明らかなように、本発明に係る光ディスク貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法は、接着剤上に気泡を混入させることがない上に、ディスクの平面性を確実に確保できるので、レーザー光による読み取り精度の高い、高品質の光ディスクを提供することができる。

また、二枚のディスク間に形成された閉塞空間を利用して、真空吸引を行なう極めて簡易な装置および方法を採用しているので、大掛かりな真空チャンバ一を使用する必要が全くないため、低コストでメンテナンスが容易な光ディスク貼り合わせ装置を提供できる。

そして、真空吸引すべき閉塞空間が極めて少容積であることから、該閉塞空間に真空吸引効果を速やかに生ぜしめることができるため、光ディスク貼り合わせ工程全体の工程時間を大幅に短縮することができるので、光ディスク製造効率の向上にも寄与する。

更に、第 1ディスクに塗布される接着剤には、気泡が混入せず、一定の厚みで広げられて、二枚のディスク間に介装されることから、接着剤の塗布量を必要最低限に抑えることができるので、製造コストの低下にも貢献する。

従って、本発明に係る光ディスク貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法は、光デイスク製造産業の発達に寄与するとともに、高品質な光ディスクの提供に貢献するものである。

Claims

請求の範囲

1 . 接着剤が塗布された第 1ディスクに対して第 2ディスクを重ね合わせて、二枚の光ディスクを貼り合わせる装置において、

前記第 2ディスクを、該第 2ディスクに対向する前記第 1ディスク側方向と反対方向へ膨出するように湾曲させつつ、前記第 2ディスクを前記第 1ディスクに重ね合わせる構成であって、

前記第 1ディスクと前記第 2ディスクの互いの外側領域が当接されることによつて両ディスク間に形成される閉塞空間を、真空吸引することを特徴とする光デイスク貼り合わせ装置。

2 . 前記第 2ディスクは、該第 2ディスクの外側領域に当接するリング状の凸部と、前記第 2ディスクの中央孔近傍領域を吸引するリング状の第 2ディスク吸着部と、が形成されたディスク保持部を備えたアームによって吸着保持されて、前記第 1ディスクに重ね合わされる構成であって、

前記第 2ディスク吸着部の端面が、前記凸部端面よりも引き込んだ位置で吸着された前記第 2ディスクは、前記第 1ディスク側方向と反対方向へ膨出するように湾曲されることを特徴とする請求の範囲第 1項記載の光ディスク貼り合わせ装

3 . 前記ディスク保持部に吸着保持された前記第 2ディスクの中央孔の内周壁面が、前記第 1ディスクを載置するディスクテーブルの中央に形成され、該第 1デイスクの中央孔に嵌入されるセンターピンの外周部に当接することによって、前記閉塞空間を形成することを特徴とする請求の範囲第 1項又は第 2項に記載の光ディスク貼り合わせ装置。

4 . 前記第 2ディスク吸着部で取り囲まれた内側空間が、前記第 2ディスクの中央孔の内周壁面が前記センターピンの外周部に当接したときに、密閉されるように形成されたことを特徴とする請求の範囲第 3項に記載の光ディスク貼り合わせ

5 . 前記閉塞空間は、前記センターピンに形成された真空吸引孔から真空吸引されることを特徴とする請求の範囲第 1項から第 4項のいずれかに記載の光ディスク貼り合わせ装置。

6 . 前記第 2ディスク吸着部のディスク吸引力に対する前記負圧吸引孔の真空吸引力の大きさを調整するための制御手段が設けられたことを特徴とする請求の範囲第 5項に記載の光ディスク貼り合わせ装置。

7 . 接着剤が塗布された第 1ディスクに対して、第 2ディスクを重ねて二枚の光ディスクを貼り合わせる方法において、

第 2ディスクを対向する前記第 1ディスク側と反対方向へ膨出させるように湾曲させて、前記第 2ディスクをアームで吸着保持する第 2ディスク保持工程と、吸着保持された第 2ディスクの外側領域を、前記第 1ディスクの外側領域に当接させるディスク重ね合わせ工程と、

前記第 1ディスクと第 2ディスクの間に形成された閉塞空間の空気を吸引する真空吸引工程と、

前記真空吸引工程によつて前記第 2ディスクが、前記第 1ディスク上に塗布され接着剤に着接するディスク接着工程と、

力ら構成されたことを特徴とする光ディスク貼り合わせ方法。

8 . 前記真空吸引工程は、前記第 1ディスクに嵌入して前記閉塞空間内に臨んでいる、前記センターピンの外周部に開口形成された負圧吸引孔を介して、真空吸引することを特徴とする請求の範囲第 6項記載の光ディスク貼り合わせ方法。

9 . 前記真空吸引工程には、前記第 2ディスクのディスク吸引力に対する、前記負圧吸引孔からの真空吸引力を調整する制御工程が設けられたことを特徴とする請求の範囲第 8項に記載の光ディスク貼り合わせ方法。

1 0 . 前記ディスク接着工程では、前記第 2ディスクが前記接着剤に着接するときに、前記アームが前記ディスクテーブルから離れるように移動することを特徴とする請求の範囲第 7項から第 9項のいずれかに記載の光ディスク貼り合わせ方法。

1 1，前記ディスク接着工程では、前記第 2ディスクが前記接着剤に着接するときに、前記ディスクテーブルを回転させることを特徴とする請求の範囲第 1 0項に記載の光ディスク貼り合わせ方法。