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WO2000042830A1 - Method and device for producing copper foil which is coated with polymers on both sides and which is laminated onto printed circuit boards - Google Patents

Method and device for producing copper foil which is coated with polymers on both sides and which is laminated onto printed circuit boards Download PDF

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Publication number
WO2000042830A1
WO2000042830A1 PCT/EP2000/000022 EP0000022W WO0042830A1 WO 2000042830 A1 WO2000042830 A1 WO 2000042830A1 EP 0000022 W EP0000022 W EP 0000022W WO 0042830 A1 WO0042830 A1 WO 0042830A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
coated
dielectric
copper foil
foil
polymers
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/EP2000/000022
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Hans-Jürgen Schäfer
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Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE19931692A external-priority patent/DE19931692A1/en
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to AU21053/00A priority Critical patent/AU2105300A/en
Publication of WO2000042830A1 publication Critical patent/WO2000042830A1/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

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    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B15/00Layered products comprising a layer of metal
    • B32B15/04Layered products comprising a layer of metal comprising metal as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
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    • H05K3/4644Manufacturing multilayer circuits by building the multilayer layer by layer, i.e. build-up multilayer circuits
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    • H05K2203/15Position of the PCB during processing
    • H05K2203/1572Processing both sides of a PCB by the same process; Providing a similar arrangement of components on both sides; Making interlayer connections from two sides

Definitions

  • the invention relates to a method for producing copper foil, which is coated on both sides with polymers, according to the preamble of patent claim 1, devices according to the preambles of patent claims 12 and 17 and a copper foil coated on both sides with polymers, according to the preamble of patent claim 9.
  • Electrolytically deposited copper foil is preferred because of its high degree of purity in electronics, especially for the production of electrical conductors.
  • this copper foil has been described for more than thirty years by electrodeposition on a metal roller that is immersed in a copper electrolyte. Films are usually produced in thicknesses of 18 and 36 ⁇ m. It is also possible to produce thicknesses from 9 to 12 ⁇ m. Carrier foils must be used below 9 ⁇ m. Aluminum foil with a thickness of 50 ⁇ m is usually used for this. The copper foil thickness limits the progressive miniaturization because the undercutting of the conductors corresponds to the foil thickness or the conductor height. The aim of future development is therefore to produce a conductive copper layer that is as thick as 1 to 5 ⁇ m.
  • the published patent application P 22 42 132 describes a process for producing 5 ⁇ m copper foil.
  • one side of the carrier foil is galvanized with 5 ⁇ m copper.
  • a polymer is then applied to this film, which is preferably cured and serves as an insulating plate.
  • a high electroplating speed is not to be expected, since only half the The circumference of the deflection rollers is used as a galvanizing or immersion section.
  • the copper surface is not protected against particle damage after the carrier foil has been removed.
  • PCT / SE93 / 00786 / WO94 / 12008 describes a process for the production of printed circuit boards in which rolled copper foil or aluminum foil with a chrome layer is galvanized with copper before the galvanizing. The mechanical separation of the carrier foil and the electrolytic copper foil was thus realized.
  • the carrier film with a thickness of 100 to 400 ⁇ m was galvanized on both sides with 1 to 36 ⁇ m copper and pressed on both sides with epoxy resin prepreg reinforced with glass fiber.
  • the carrier foil serves as a substitute for pressed sheets. After pressing, two laminates can be detached from the carrier film.
  • thermosetting polymers The coating of copper foil with thermosetting polymers is described in US Pat. No. 5,362,534. First a first layer of a thermosetting polymer is applied and cured, then a second polymer layer is applied over this first layer, which has only been cured half. Two foils coated in this way are then pressed to form a flexible printed circuit board. A copper foil coated in this way can also be pressed onto printed circuit boards.
  • the first hardened thermosetting polymer layer ensures a flat surface
  • the second semi-hardened thermosetting polymer layer ensures the filling of the conductor interstices and the contact holes with resin.
  • the production of a double-coated copper foil is very complex. The risk of damage to the copper surface is very high. The pressing in multi-daylight presses leads to considerable dimensional instabilities.
  • US Pat. No. 5,837,155 describes a method and a resin formulation for coating copper foils and lamination on printed circuit boards.
  • a resin combination which consists of a thermally curable epoxy resin with a melting point below 110 ° C and a resin that has double bonds.
  • This resin combination enables the radiation-curable double bond-containing component to be crosslinked with UV rays after coating and drying.
  • the then uncrosslinked, thermally curable epoxy resin component leads to quick bonding to the circuit board surface during hot lamination. This is pre-coated with the same resin and also partially cross-linked with UV rays after drying.
  • the thermally curable components melt and bind together.
  • the coating of the printed circuit board is particularly necessary because it is not possible to apply the insulation layer of 60 to 100 ⁇ m required for the adequate covering of the conductor and to partially crosslink it evenly with UV rays. Because the radiation intensity is greatest on the surface of the dielectric and then in the lacquer layer decreases significantly, the adhesiveness of the surface is greatly reduced and the radiation curing is further promoted here than in the interior of the dielectric.
  • the layer thickness is also limited to 30 to 60 ⁇ m by the rollers, screen or curtain coating. This makes it necessary to coat the circuit board and the copper.
  • EP 0 698 232 B1 describes a two-layer coating process in which the first layer consists of largely solvent-free lacquer which is highly viscous to solid at room temperature.
  • This varnish is applied to the circuit board surface by means of heated rollers. All components of this varnish have a softening point in the range of 20 to 25 ° C.
  • the layer thickness of the process is up to 200 ⁇ m.
  • the low-solvent to free lacquer is pre-crosslinked thermally or by UV rays. The melting point can thus be set to a suitable laminating temperature. All components then melt at the desired lamination temperature.
  • the second layer consists of a high molecular weight polymer. This is applied either from solution or as a dry film resist in a small thickness of up to 20 ⁇ m.
  • This high molecular weight polymer with a molecular weight of 2000 to 10000 can also be applied over a copper foil as a carrier foil.
  • This copper foil is then removed by etching and the copper plating can be carried out chemically down to 5 ⁇ m using the copper treatment structure in the dielectric surface.
  • the object of the present invention to make available a method and a device with which it is possible, in particular for the production of sequential multilayers, to coat one with a dielectric.
  • 5 ⁇ m copper foil which can be laminated onto the circuit board with the shortest possible contact time, does not require any pre-coated circuit boards and, with a layer thickness of up to 100 ⁇ m, ensures a safe filling of the conductor interstices, filling of the blind holes and contact holes and in an economical manner Production process is producible.
  • the required etching resist should already be present on the copper foil, since this not only saves a coating process, but also achieves the maximum degree of particle freedom required for the ultra-fine conductor technology.
  • the sensitive copper surface should also be protected against the ingress of oxygen.
  • the copper layer should be drilled with CO2 lasers at the same time as the dielectric.
  • the aluminum foil should be mechanically removable.
  • the carrier films 2 are optionally precoated on the coating side with an external mold release agent. Two of these carrier foils 2 unwound from the rolls are coated in the edge region by means of a heated nozzle 3 with a thermosetting melt in a width of 5 to 10 mm and connected to a foil composite 5 by means of two laminating rollers 4.
  • This film composite 5 is then coated by means of two roller coating units 6 with low-solvent to solvent-free lacquers 7 with a temperature of 20 to 55 ° C. in thicknesses of 5 to 20 ⁇ m.
  • the paint 7 contains a graphite and carbon black content of 30 to 70% by weight.
  • the lacquer 7 is soluble in solvent and in alkalis after partial curing.
  • the paint 7 is partially pre-cured in a downstream dryer 8.
  • the film composite 5 is switched as a cathode with 4 A / dm-2.
  • This film composite 5 is now guided into a galvano bath 9 with a bath liquid 10, as shown in FIG. 2, which has metallic deflection rollers 11 outside the bath liquid 10 and plastic rolls 12 inside the bath liquid 10.
  • the length of the electroplating bath 9 and the number of deflection rollers 11 depend on the layer thickness of the copper foil 1 to be achieved and the coating speed.
  • a bath 13 for the oxidative roughening of the deposited copper foil 1 is arranged after the electroplating bath 9.
  • the film composite 5 then passes through a rinsing station 14. Before coating with a dielectric 15, the film composite 5 is applied on both sides Lacquer 7 and the copper foil 1 dried by means of air nozzles 16.
  • the dried film composite 5 with the lacquer 7 applied on both sides and the copper foil 1 is now, as shown in FIG. 3, fed to a double-sided roll coating system which consists of two roll coating units 17. With these roller coating units 17, the low-solvent to solvent-free dielectric 15 is applied in a preferred thickness of 60 to 80 ⁇ m.
  • Each roller coating unit 17 has a metering roller 18 and an application roller 19.
  • the dielectric 15 consisting of epoxy resins is heated in a tank to 20 to 55 ° C. and fed to the two roller coating units 17.
  • the application rollers 19 are rubberized and the metering rollers 18 are surrounded with a Teflon layer, so that the warm dielectric 15 does not cool down until it is coated. The rollers are not heated.
  • the application of the dielectric 15 is carried out with a coating viscosity of 5 to 20 Pas.
  • a viscosity of 200 mPas is achieved in a downstream IR circulating air dryer 20 and the coating is optimally flat.
  • the film-dielectric composite 21 is cooled to room temperature in an air cooler 22, the edge is cut off with a knife 23 and wound up separately on a roll 24.
  • the film-dielectric composite 21 is divided on cooled rolls 25, and each composite made of Al-carrier film 2 / lacquer 7 / copper foil 1 / dielectric 15 (three-layer Foil composite 26 with carrier foil 2) is wound onto one winding station 27 each.
  • the printed circuit board 28 Before the lamination, the printed circuit board 28 is preheated by means of heated rollers 29.
  • the Al carrier foil 2 / lacquer 7 / copper foil l / dielectric 15 composite (three-layer foil composite 26 with carrier foils 2) to be laminated are unwound from the two winding stations 27 and laminated onto the printed circuit board 28 with heated laminator rollers 30.
  • the laminated circuit board 28 is then fed to a short-cycle hot press 31 which is equipped with a pressure of 2 to 20 bar. After pressing for 10 to 60 seconds at 130 to 220 ° C., the printed circuit board 28 is removed from the mold, freed of the carrier foil 2 consisting of aluminum via two transport rollers 32 and cooled in an air cooler 33.
  • the carrier foil 2 made of aluminum is wound up separately on rollers 34.
  • the process steps of gluing and duplicating the carrier foil 2 consisting of aluminum and the coating with conductive lacquer 7, the galvanic production of the copper foil 1 and the coating with dielectric 15 can be operated continuously in succession. They can also be carried out batchwise in separate production units.
  • the invention is illustrated by the following example: 1.Glue and duplicate the carrier foil (metal foil) 2
  • Aluminum rolled foil thickness 50 ⁇ m, width 500 mm Manufacturer VAW vernier Aluminumwerke
  • release agent application 1-2 ⁇ m release agent: 1% solution PAT 607 from Würtz
  • a galvanic bath 9 is used to galvanize the film composite 5 made of aluminum carrier film 2 / lacquer 7 with a 4 ⁇ m copper layer (copper film 1).
  • Uniplate CU from Atotech Germany is used as the bath electrolyte 10 as the copper electrolyte.
  • the bath liquid 10 is heated to 40 ° C.
  • the current density is 4 A / dm-2.
  • a deposition speed of 1 ⁇ m / min and a coating speed of 2 m / min a copper layer thickness of 3 to 4 ⁇ m is deposited on both sides on an immersion path of 8 m.
  • a surface of the deposited copper foil 1 that improves the adhesive strength to a dielectric 15 is achieved in the bath 13.
  • 50% from Cookson Electronics is used as treatment bath Alpha Prep PC 7023 C in bath 13.
  • the dwell time in the bath is 60 seconds. at 40 ° C.
  • the rinsing station 14 is then rinsed with deionized water and dried by means of air nozzles 16. 4. Coating the film composite 5 made of aluminum carrier film 2 / lacquer 7 / copper film 1
  • the surface of the copper foil 1 is coated with the solvent-free thermal and radiation-curable dielectric 15 by means of the roller coating units 17.
  • Application roller jacket rubber coating 15 mm metering roller jacket: Teflon 5 mm dryer temperature: 150 ° C dryer length: 4 m
  • the properties of the coated dielectric 15 are as follows:
  • Recipe D 70.00 parts by weight of resin VE 3746 80% by weight from Bakelite
  • Applicator roller sheathing rubber coating 15 mm
  • Metering roller sheathing Teflon 100 ⁇ m dryer temperature: 180 ° C dryer length: 4 m
  • the properties of the coated dielectric 15 are as follows:
  • Circuit board temperature 28 60 ° C.
  • Rollers temperature 29 60 ° C
  • Adhesive strength of the copper foil 1 galvanically reinforced to 35 ⁇ m on the dielectric 15 1.4 N / mm.

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Abstract

The invention relates to a method and device for producing copper foil (1) which is coated on both sides with polymers (7, 15) that can be hardened by thermal energy or radiation, and which is laminated onto printed circuit boards (28). The inventive method is characterized by the following method steps. Two, preferably 50 mu m thick metal foils (2) are bonded in the edge area using a hot-melt-type adhesive. The foil assembly (5) is coated with a conductive lacquer (7) with a thickness ranging from 5 to 20 mu m and, after having been prehardened, is dipped as a cathode into an electroplating bath (9). Said foil assembly is electroplated on both sides with copper (1) having a thickness ranging from 1 to 10 mu m. In a roller coating method, a dielectric (15) is applied with a thickness ranging from 5 to 100 mu m to both sides of the copper foil (1). After the dielectric (15) has been partially prehardened, the edges of the metal foil (2) including the areas of the coatings (lacquer/copper foil/dielectric (21)) located thereon are cut away, and two three-layered foil assemblies (26) are obtained which are comprised of copper foil (1) coated with polymers (7, 15) on both sides and which are laminated onto printed circuit boards (28) using laminator rollers (30) and a short-duration hot press (31).

Description

Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Kupferfolie, die beidseitig mit Polymeren beschichtet ist und die auf Leiterplatten laminiert wirdProcess and device for producing copper foil, which is coated on both sides with polymers and which is laminated on printed circuit boards

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Kupferfolie, die beidseitig mit Polymeren beschichtet ist, gemäß Oberbegriff des Patentanspruchs 1, Vorrichtungen gemäß den Oberbegriffen der Patentansprüche 12 und 17 sowie eine beidseitig mit Polymeren beschichtete Kupferfolie gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 9.The invention relates to a method for producing copper foil, which is coated on both sides with polymers, according to the preamble of patent claim 1, devices according to the preambles of patent claims 12 and 17 and a copper foil coated on both sides with polymers, according to the preamble of patent claim 9.

Elektrolytisch abgeschiedene Kupferfolie wird wegen ihres hohen Reinheitsgrades bevorzugt in der Elektronik, insbesondere zur Herstellung von elektrischen Leitern verwendet.Electrolytically deposited copper foil is preferred because of its high degree of purity in electronics, especially for the production of electrical conductors.

Die Herstellung dieser Kupferfolie wird seit mehr als dreißig Jahren durch galvanische Abscheidung auf einer Metallwalze beschrieben, die in einen Kupferelektrolyten eintaucht. Üblicherweise werden Folien in den Dicken von 18 und 36 μm hergestellt. Es gelingt auch noch, Dicken von 9 bis 12 μm zu erzeugen. Unterhalb von 9 μm muss mit Trägerfolien gearbeitet werden. Hierzu wird üblicherweise Aluminiumfolie mit einer Dicke von 50 μm eingesetzt. Die Kupferfoliendicke begrenzt die weiter fortschreitende Miniaturisierung, da die Unterätzung der Leiter der Foliendicke bzw. der Leiterhöhe entspricht. Ziel der künftigen Entwicklung ist es daher, eine möglichst 1 bis 5 μm dicke Leitkupferschicht zu erzeugen.The production of this copper foil has been described for more than thirty years by electrodeposition on a metal roller that is immersed in a copper electrolyte. Films are usually produced in thicknesses of 18 and 36 μm. It is also possible to produce thicknesses from 9 to 12 μm. Carrier foils must be used below 9 μm. Aluminum foil with a thickness of 50 μm is usually used for this. The copper foil thickness limits the progressive miniaturization because the undercutting of the conductors corresponds to the foil thickness or the conductor height. The aim of future development is therefore to produce a conductive copper layer that is as thick as 1 to 5 μm.

Dies wird derzeit durch chemische Kupferabscheidung auf oxidativ aufgerauhten und mit Palladiumkeimen versehenen Leiterplattenoberflächen erzielt. Nachteil dieses sogenannten Additiv oder Semiadditivverfahrens ist es, dass chemische oder physikalische Aufrauhung der zu verkupfernden Kunststoffoberfläche eine hohe Prozesssicherheit voraussetzt, die nicht immer gewährleistet werden kann.This is currently achieved by chemical copper deposition on oxidatively roughened circuit board surfaces provided with palladium seeds. The disadvantage of this so-called additive or semi-additive process is that chemical or physical roughening of the plastic surface to be copper-plated requires a high level of process reliability, which cannot always be guaranteed.

Auch das Herauslösen von in der Harzmatrix eingelagerten Füllstoffen mittels Säuren setzt einen Füllstoffanteil von größer 30 Gew.% in der Außenschicht des Dielektrikums voraus. Dies ist aufgrund der Sedimentation nicht immer mit ausreichender Sicherheit gewährleistet .The removal of fillers stored in the resin matrix by means of acids also requires a filler content of more than 30% by weight in the outer layer of the dielectric. Due to sedimentation, this is not always guaranteed with sufficient certainty.

Die Verwendung von Palladiumkatalysatoren sowie von Kupferkomplexbildnern ist darüber hinaus sehr kostenaufwendig und für die Abwasserreinigung problematisch.The use of palladium catalysts and copper complexing agents is also very expensive and problematic for wastewater treatment.

Es besteht daher bei den Leiterplattenherstellern der Wunsch, eine 5 μm dicke Kupferfolie einzusetzen.There is therefore a desire among printed circuit board manufacturers to use a 5 μm thick copper foil.

In der Offenlegungsschrift P 22 42 132 wird ein Verfahren zur Herstellung von 5 μm Kupferfolie beschrieben. Hier wird eine Seite der Trägerfolie mit 5 μm Kupfer galvanisiert. Auf diese Folie wird dann ein Polymer aufgetragen, welches bevorzugt ausgehärtet wird und als Isolierplatte dient. Bei diesem Verfahren ist nicht mit einer hohen Galvanisiergeschwindigkeit zu rechnen, da nur der halbe Wal- zenumfang der Umlenkwalzen als Galvanisierungs- bzw. Tauchstrecke Anwendung findet . Die Kupferoberfläche ist nach dem Entfernen der Trägerfolie nicht vor der Beschädigung durch Partikel geschützt.The published patent application P 22 42 132 describes a process for producing 5 μm copper foil. Here one side of the carrier foil is galvanized with 5 μm copper. A polymer is then applied to this film, which is preferably cured and serves as an insulating plate. With this method, a high electroplating speed is not to be expected, since only half the The circumference of the deflection rollers is used as a galvanizing or immersion section. The copper surface is not protected against particle damage after the carrier foil has been removed.

In der PCT/SE93/00786/WO94/12008 wird ein Verfahren zur Herstellung von Leiterplatten beschrieben, bei dem Walz- kupferfolie bzw. Aluminiumfolie mit einer Chromschicht vor dem Galvanisieren mit Kupfer galvanisiert werden. Somit wurde die mechanische Trennung von Trägerfolie und elektrolytischer Kupferfolie realisiert.PCT / SE93 / 00786 / WO94 / 12008 describes a process for the production of printed circuit boards in which rolled copper foil or aluminum foil with a chrome layer is galvanized with copper before the galvanizing. The mechanical separation of the carrier foil and the electrolytic copper foil was thus realized.

Die Trägerfolie mit einer Dicke von 100 bis 400 μm wurde beidseitig mit 1 bis 36 μm Kupfer galvanisiert und mit Glasfaser verstärktem Epoxidharzprepreg beidseitig ver- presst . Die Trägerfolie dient hierbei als Pressblechersatz. Nach dem Verpressen lassen sich zwei Laminate von der Trägerfolie lösen.The carrier film with a thickness of 100 to 400 μm was galvanized on both sides with 1 to 36 μm copper and pressed on both sides with epoxy resin prepreg reinforced with glass fiber. The carrier foil serves as a substitute for pressed sheets. After pressing, two laminates can be detached from the carrier film.

In der US Patentschrift 4,234,395 wird beschrieben, dass die Trennung des Kupfers vom Aluminiumträger durch eine Galvanisierung der AL-Oberflache mit Zink oder Indium erzielt wird.US Pat. No. 4,234,395 describes that the separation of the copper from the aluminum carrier is achieved by galvanizing the AL surface with zinc or indium.

In der US Patentschrift 5,362,534 wird die Beschichtung von Kupferfolie mit duroplastischen Polymeren beschrieben. Es wird zunächst eine erste Schicht eines duroplastischen Polymers aufgetragen und ausgehärtet, anschließend wird über diese erste Schicht eine zweite Polymerschicht aufgetragen, die nur noch zur Hälfte gehärtet wurde. Zwei derart beschichtete Folien werden dann zu einer flexiblen Leiterplatte verpresst . Eine derart beschichtete Kupferfolie lässt sich auch auf Leiterplatten aufpressen. Die erste ausgehärtete duroplastische Polymerschicht sorgt für eine ebene Oberfläche, die zweite halb ausgehärtete duroplastische Polymerschicht sorgt für die Füllung der Leiterzwischenräume und der Kon- taktierungslöcher mit Harz. Die Herstellung einer zweifach beschichteten Kupferfolie ist sehr aufwendig. Die Gefahr von Beschädigungen der Kupferoberfläche ist sehr groß. Das Verpressen in Mehretagenpressen führt zu erheblichen Dimensionsinstabilitäten .The coating of copper foil with thermosetting polymers is described in US Pat. No. 5,362,534. First a first layer of a thermosetting polymer is applied and cured, then a second polymer layer is applied over this first layer, which has only been cured half. Two foils coated in this way are then pressed to form a flexible printed circuit board. A copper foil coated in this way can also be pressed onto printed circuit boards. The first hardened thermosetting polymer layer ensures a flat surface, the second semi-hardened thermosetting polymer layer ensures the filling of the conductor interstices and the contact holes with resin. The production of a double-coated copper foil is very complex. The risk of damage to the copper surface is very high. The pressing in multi-daylight presses leads to considerable dimensional instabilities.

In der US Patentschrift 5,837,155 wird ein Verfahren und eine Harzformulierung zur Beschichtung von Kupferfolien und der Lamination auf Leiterplatten beschrieben. Hierbei wird eine Harzkombination benutzt, die aus einem thermisch härtbaren Epoxidharz mit einem Schmelzpunkt kleiner 110 °C und aus einem Harz, welches Doppelbindungen besitzt, besteht. Diese Harzkombination ermöglicht es, dass zunächst die strahlenhärtbare Doppelbindungen enthaltende Komponente nach der Beschichtung und Trocknung mit UV Strahlen vernetzt wird. Die dann noch unvernetzte thermisch härtbare Epoxidharzkomponente führt bei der Heisslamination zu einer schnellen Verklebung mit der Leiterplattenoberfläche . Diese wird mit dem gleichen Harz vorbeschichtet und ebenfalls nach der Trocknung mit UV Strahlen teilvernetzt. Beim Laminieren mit einem Hot Roll Laminator schmelzen die thermisch härtbaren Bestandteile auf und verbinden sich miteinander. Die Beschichtung der Leiterplatte ist insbesondere daher erforderlich, da es nicht gelingt, die für die ausreichende Abdeckung der Leiter erforderliche Isolationsschicht von 60 bis 100 μm auf die Kupferfolie aufzutragen und diese gleichmäßig mit UV Strahlen teilzuvernet- zen. Da die Strahlungsintensität an der Oberfläche des Dielektrikums am größten ist und dann in der Lackschicht erheblich abnimmt, wird die Klebfähigkeit der Oberfläche stark herabgesetzt und die Strahlenhärtung hier weiter vorangetrieben als im Inneren des Dielektrikums. Die Schichtdicke ist außerdem durch die Walzen, Sieb oder Vor- hangbeschichtung auf 30 bis 60 μm Dicke begrenzt. Dies macht eine Beschichtung der Leiterplatte und des Kupfers erforderlic .US Pat. No. 5,837,155 describes a method and a resin formulation for coating copper foils and lamination on printed circuit boards. Here, a resin combination is used, which consists of a thermally curable epoxy resin with a melting point below 110 ° C and a resin that has double bonds. This resin combination enables the radiation-curable double bond-containing component to be crosslinked with UV rays after coating and drying. The then uncrosslinked, thermally curable epoxy resin component leads to quick bonding to the circuit board surface during hot lamination. This is pre-coated with the same resin and also partially cross-linked with UV rays after drying. When laminating with a hot roll laminator, the thermally curable components melt and bind together. The coating of the printed circuit board is particularly necessary because it is not possible to apply the insulation layer of 60 to 100 μm required for the adequate covering of the conductor and to partially crosslink it evenly with UV rays. Because the radiation intensity is greatest on the surface of the dielectric and then in the lacquer layer decreases significantly, the adhesiveness of the surface is greatly reduced and the radiation curing is further promoted here than in the interior of the dielectric. The layer thickness is also limited to 30 to 60 μm by the rollers, screen or curtain coating. This makes it necessary to coat the circuit board and the copper.

In der EP 0 698 232 Bl wird ein zweischichtiges Beschich- tungsverfahren beschrieben, wo die erste Schicht aus weitgehend lösungsmittelfreiem Lack besteht, der bei Raumtemperatur hochviskos bis fest ist . Dieser Lack wird auf die Leiterplattenoberfläche mittels beheizter Walzen aufgetragen. Alle Komponenten dieses Lackes haben einen Erweichungspunkt im Bereich von 20 bis 25°C. Die Schichtdicke des Verfahrens beträgt bis zu 200 μm. Der lösungsmittelarme bis freie Lack wird thermisch oder durch UV Strahlen vorvernetzt. Somit kann der Schmelzpunkt auf eine geeignete La iniertemperatur eingestellt werden. Alle Komponenten schmelzen dann bei der gewünschten Laminiertemperatur. Die zweite Schicht besteht aus einem hochmolekularen Polymer. Dieses wird entweder aus Lösung oder als Trockenfilm- resist in geringer Dicke bis zu 20 μm aufgetragen. Dieses hochmolekulare Polymer mit einem Molekulargewicht von 2000 bis 10000 kann auch über eine Kupferfolie als Trägerfolie aufgebracht werden. Diese Kupferfolie wird dann durch Ätzen entfernt und die Verkupferung kann unter Ausnützung der Kupfertreatmentstruktur in der Dielektrikumoberfläche chemisch bis auf 5 μm durchgeführt werden.EP 0 698 232 B1 describes a two-layer coating process in which the first layer consists of largely solvent-free lacquer which is highly viscous to solid at room temperature. This varnish is applied to the circuit board surface by means of heated rollers. All components of this varnish have a softening point in the range of 20 to 25 ° C. The layer thickness of the process is up to 200 μm. The low-solvent to free lacquer is pre-crosslinked thermally or by UV rays. The melting point can thus be set to a suitable laminating temperature. All components then melt at the desired lamination temperature. The second layer consists of a high molecular weight polymer. This is applied either from solution or as a dry film resist in a small thickness of up to 20 μm. This high molecular weight polymer with a molecular weight of 2000 to 10000 can also be applied over a copper foil as a carrier foil. This copper foil is then removed by etching and the copper plating can be carried out chemically down to 5 μm using the copper treatment structure in the dielectric surface.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein Verfahren und eine Vorrichtung verfügbar zu machen, mit dem es insbesondere zur Herstellung von sequentiellen Multi- layern möglich ist, eine mit einem Dielektrikum beschich- tete 5 μm Kupferfolie herzustellen, die mit möglichst kurzer Kontaktzeit auf die Leiterplatte auflaminiert werden kann, keine vorbeschichteten Leiterplatten benötigt und mit einer Schichtdicke von bis zu 100 μm eine sichere Ver- füllung der Leiterzwischenräume, eine Füllung der Sacklöcher und Kontaktierungsbohrungen gewährleistet und in einem wirtschaftlichen Produktionsprozess herstellbar ist. Darüber hinaus soll der erforderliche Ätzresist bereits auf der Kupferfolie vorhanden sein, da hierdurch nicht nur ein Beschichtungsprozess eingespart wird, sondern ein für die Feinstleitertechnologie erforderliches Höchstmaß an Partikelfreiheit erreicht wird. Die empfindliche Kupferoberfläche soll außerdem vor Sauerstoffzutritt geschützt werden. Die Kupferschicht soll mit CO2 Lasern gleichzeitig mit dem Dielektrikum bohrbar sein. Die Aluminiumfolie soll mechanisch abziehbar sein.It is therefore the object of the present invention to make available a method and a device with which it is possible, in particular for the production of sequential multilayers, to coat one with a dielectric. 5 μm copper foil, which can be laminated onto the circuit board with the shortest possible contact time, does not require any pre-coated circuit boards and, with a layer thickness of up to 100 μm, ensures a safe filling of the conductor interstices, filling of the blind holes and contact holes and in an economical manner Production process is producible. In addition, the required etching resist should already be present on the copper foil, since this not only saves a coating process, but also achieves the maximum degree of particle freedom required for the ultra-fine conductor technology. The sensitive copper surface should also be protected against the ingress of oxygen. The copper layer should be drilled with CO2 lasers at the same time as the dielectric. The aluminum foil should be mechanically removable.

Die Lösung all dieser und noch weiterer damit in Verbindung stehender Aufgaben erfolgt durch ein Verfahren, einem Folienverbund und Vorrichtungen gemäß den unabhängigen Patentansprüchen 1, 9, 12 und 17. Besonders bevorzugte Varianten des erfindungsgemäßen Verfahrens bzw. zugehörigen erfindungsgemäßen Vorrichtungen sind jeweils Gegenstand der entsprechenden abhängigen Verfahrens- bzw. Vorrichtungsansprüche. Insbesondere wird durch die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung von Kupferfolie die beidseitig mit Polymeren beschichtet ist und auf Leiterplatten auflaminiert wird, verfügbar gemacht, welches sich durch folgende Verfahrensschritte auszeichnet :All of these and other related tasks are solved by means of a method, a film composite and devices according to independent patent claims 1, 9, 12 and 17. Particularly preferred variants of the method according to the invention and associated devices according to the invention are the subject of the corresponding dependent Process or device claims. In particular, the invention makes available a process for producing copper foil which is coated on both sides with polymers and is laminated onto printed circuit boards, which is characterized by the following process steps:

Als Trägerfolien zur elektrolytischen Abscheidung von vorzugsweise Kupferfolien 1 in den Dicken von 1 bis 10 μm werden ca. 50 μm dicke Trägerfolien 2 aus Aluminium verwendet, die von Rollen, wie aus Fig. 1 ersichtlich, abge- wickelt werden. Die Trägerfolien 2 werden gegebenenfalls auf der Beschichtungsseite mit einem externen Formentrennmittel vorbeschichtet. Zwei dieser von den Rollen abgewickelten Trägerfolien 2 werden im Randbereich mittels einer beheizten Düse 3 mit einer duroplastischen Schmelze in einer Breite von 5 bis 10 mm beschichtet und mittels zweier Laminierwalzen 4 zu einem Folienverbund 5 verbunden.Carrier foils 2 made of aluminum, which are approximately 50 μm thick, are used as carrier foils for the electrolytic deposition of preferably copper foils 1 in the thicknesses from 1 to 10 μm. be wrapped. The carrier films 2 are optionally precoated on the coating side with an external mold release agent. Two of these carrier foils 2 unwound from the rolls are coated in the edge region by means of a heated nozzle 3 with a thermosetting melt in a width of 5 to 10 mm and connected to a foil composite 5 by means of two laminating rollers 4.

Dieser Folienverbund 5 wird nun mittels zweier Walzenbe- schichtungseinheiten 6 mit lösungsmittelarmen bis lösungsmittelfreien Lacken 7 mit einer Temperatur von 20 bis 55 ° C in Dicken von 5 bis 20 μm beschichtet. Der Lack 7 enthält einen Graphit- und Rußanteil von 30 bis 70 Gew.%. In einer besonderen Ausführung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist der Lack 7 nach der partiellen Härtung in Lösungsmittel und in Laugen löslich.This film composite 5 is then coated by means of two roller coating units 6 with low-solvent to solvent-free lacquers 7 with a temperature of 20 to 55 ° C. in thicknesses of 5 to 20 μm. The paint 7 contains a graphite and carbon black content of 30 to 70% by weight. In a special embodiment of the method according to the invention, the lacquer 7 is soluble in solvent and in alkalis after partial curing.

In einem nachgeordneten Trockner 8 wird der Lack 7 partiell vorgehärtet. Der Folienverbund 5 wird als Kathode geschaltet mit 4 A / dm-2. Dieser Folienverbund 5 wird nun in ein Galvanobad 9 mit einer Badflüssigkeit 10, wie in Fig. 2 dargestellt, geführt, welches außerhalb der Badflüssigkeit 10 metallische Umlenkrollen 11 und innerhalb der Badflüssigkeit 10 Kunststoffrollen 12 besitzt. Die Länge des Galvanobades 9 und die Anzahl der Umlenkrollen 11 richtet sich nach der zu erzielenden Schichtdicke der Kupferfolie 1 und der Beschichtungsgeschwindigkeit .The paint 7 is partially pre-cured in a downstream dryer 8. The film composite 5 is switched as a cathode with 4 A / dm-2. This film composite 5 is now guided into a galvano bath 9 with a bath liquid 10, as shown in FIG. 2, which has metallic deflection rollers 11 outside the bath liquid 10 and plastic rolls 12 inside the bath liquid 10. The length of the electroplating bath 9 and the number of deflection rollers 11 depend on the layer thickness of the copper foil 1 to be achieved and the coating speed.

Nach dem Galvanobad 9 ist ein Bad 13 zur oxidativen Aufrauhung der abgeschiedenen Kupferfolie 1 angeordnet. Der Folienverbund 5 durchläuft anschließend eine Spülstation 14. Vor dem Beschichten mit einem Dielektrikum 15 wird der Folienverbund 5 mit einem beidseits aufgebrachten Lack 7 und der Kupferfolie 1 mittels Luftdüsen 16 getrocknet .A bath 13 for the oxidative roughening of the deposited copper foil 1 is arranged after the electroplating bath 9. The film composite 5 then passes through a rinsing station 14. Before coating with a dielectric 15, the film composite 5 is applied on both sides Lacquer 7 and the copper foil 1 dried by means of air nozzles 16.

Der getrocknete Folienverbund 5 mit dem beidseits aufgebrachten Lack 7 und der Kupferfolie 1 wird nun, wie in Fig. 3 dargestellt, einer doppelseitigen Walzenbeschich- tungsanlage zugeführt, die aus zwei Walzenbeschichtungs- einheiten 17 besteht. Mit diesen Walzenbeschichtungsein- heiten 17 wird das lösungsmittelarme bis lösungsmittel- freie Dielektrikum 15 in einer bevorzugten Dicke von 60 bis 80 μm aufgetragen. Jede Walzenbeschichtungseinheit 17 weist eine Dosierwalze 18 und eine Auftragswalze 19 auf.The dried film composite 5 with the lacquer 7 applied on both sides and the copper foil 1 is now, as shown in FIG. 3, fed to a double-sided roll coating system which consists of two roll coating units 17. With these roller coating units 17, the low-solvent to solvent-free dielectric 15 is applied in a preferred thickness of 60 to 80 μm. Each roller coating unit 17 has a metering roller 18 and an application roller 19.

Das aus Epoxidharzen bestehende Dielektrikum 15 wird in einem Tank auf 20 bis 55 ° C temperiert und den beiden Walzenbeschichtungseinheiten 17 zugeführt. Die Auftragswalzen 19 sind gummiert und die Dosierwalzen 18 mit einer Teflonschicht umgeben, so dass das warme Dielektrikum 15 bis zur Beschichtung nicht abkühlt. Die Walzen sind nicht beheizt .The dielectric 15 consisting of epoxy resins is heated in a tank to 20 to 55 ° C. and fed to the two roller coating units 17. The application rollers 19 are rubberized and the metering rollers 18 are surrounded with a Teflon layer, so that the warm dielectric 15 does not cool down until it is coated. The rollers are not heated.

Der Auftrag des Dielektrikums 15 wird bei einer Beschich- tungsviskosität von 5 bis 20 Pas durchgeführt. In einem nachgeordneten IR-Umlufttrockner 20 wird eine Viskosität von 200 mPas erreicht und eine optimale Ebenheit der Beschichtung erzielt. Nach dem "Leveln" und Trocknen wird der Folien-Dielektrikumverbund 21 in einem Luftkühler 22 auf Raumtemperatur abgekühlt, der Rand mit einem Messer 23 abgeschnitten und separat auf einer Rolle 24 aufgewickelt .The application of the dielectric 15 is carried out with a coating viscosity of 5 to 20 Pas. A viscosity of 200 mPas is achieved in a downstream IR circulating air dryer 20 and the coating is optimally flat. After "leveling" and drying, the film-dielectric composite 21 is cooled to room temperature in an air cooler 22, the edge is cut off with a knife 23 and wound up separately on a roll 24.

An gekühlten Rollen 25 wird der Folien-Dielektrikumverbund 21 geteilt und jeder Verbund aus Al-Träger-Fo- lie 2/Lack 7/Kupferfolie l/Dielektrikum 15 (dreilagiger Folienverbund 26 mit Trägerfolie 2) auf je eine Aufwickelstationen 27 aufgewickelt.The film-dielectric composite 21 is divided on cooled rolls 25, and each composite made of Al-carrier film 2 / lacquer 7 / copper foil 1 / dielectric 15 (three-layer Foil composite 26 with carrier foil 2) is wound onto one winding station 27 each.

In Fig. 4 ist das Laminieren von Leiterplatten 28 dargestellt. Vor dem Laminieren wird die Leiterplatte 28 mittels beheizter Walzen 29 vorgewärmt. Die zu laminierenden Al-Träger-Folie 2/Lack 7/Kupferfolie l/Dielektrikum 15- Verbunde (dreilagige Folienverbunde 26 mit Trägerfolien 2) werden von den zwei Auf ickelstationen 27 abgewickelt und mit beheizten Lamlnatorwalzen 30 auf die Leiterplatte 28 auflaminiert . Anschließend wird die laminierte Leiterplatte 28 einer Kurztakt Heißpresse 31 zugeführt, die mit einem Druck von 2 bis 20 bar ausgestattet ist. Nach der Pressung von 10 bis 60 sek bei 130 bis 220 ° C wird die Leiterplatte 28 entformt, über zwei Transportwalzen 32 von der aus Aluminium bestehenden Trägerfolie 2 befreit und in einem Luftkühler 33 gekühlt. Die aus Aluminium bestehende Trägerfolie 2 wird separat auf Rollen 34 aufgewickelt.4 shows the lamination of printed circuit boards 28. Before the lamination, the printed circuit board 28 is preheated by means of heated rollers 29. The Al carrier foil 2 / lacquer 7 / copper foil l / dielectric 15 composite (three-layer foil composite 26 with carrier foils 2) to be laminated are unwound from the two winding stations 27 and laminated onto the printed circuit board 28 with heated laminator rollers 30. The laminated circuit board 28 is then fed to a short-cycle hot press 31 which is equipped with a pressure of 2 to 20 bar. After pressing for 10 to 60 seconds at 130 to 220 ° C., the printed circuit board 28 is removed from the mold, freed of the carrier foil 2 consisting of aluminum via two transport rollers 32 and cooled in an air cooler 33. The carrier foil 2 made of aluminum is wound up separately on rollers 34.

Die Verfahrensschritte Verkleben und Duplizieren der aus Aluminium bestehenden Trägerfolie 2 sowie die Beschichtung mit leitfähigem Lack 7, die galvanische Herstellung der Kupferfolie 1 und die Beschichtung mit Dielektrikum 15 können kontinuierlich hintereinander betrieben werden. Sie können auch in separaten Produktionseinheiten diskontinuierlich durchgeführt werden.The process steps of gluing and duplicating the carrier foil 2 consisting of aluminum and the coating with conductive lacquer 7, the galvanic production of the copper foil 1 and the coating with dielectric 15 can be operated continuously in succession. They can also be carried out batchwise in separate production units.

Die Erfindung wird an nachstehendem Beispiel erläutert : 1. Verkleben und Duplizieren der Tragerfolie (Metallfolie) 2The invention is illustrated by the following example: 1.Glue and duplicate the carrier foil (metal foil) 2

Aluminium Walzfolie: Dicke 50 μm, Breite 500 mm Hersteller VAW Vereinigte AluminiumwerkeAluminum rolled foil: thickness 50 μm, width 500 mm Manufacturer VAW Vereinigte Aluminumwerke

Trennmittelauftrag : 1-2 μm Trennmittel : l%ige Lösung PAT 607 Fa. WürtzRelease agent application: 1-2 μm release agent: 1% solution PAT 607 from Würtz

Randverklebung : Epoxidpolymer Rezeptur CEdge bonding: epoxy polymer formulation C

Schmelzdüsentemperatur: 50°CMelt nozzle temperature: 50 ° C

2. Beschichten des Folienverbundes 5 mit dem leitfähigen Lack 72. Coating the film composite 5 with the conductive lacquer 7

Rezeptur A: 30,00 Gew. Tl. Epikote 828 EL Fa. Shell 20,00 Gew. Tl. HT 9490 Fa. Ciba 24,00 Gew. Tl. Graphit Fa. Sigri Hoechst 25,80 Gew. Tl. Ruß 0,20 Gew. Tl. 2 Ethyl- 4 - Methylimidazol Fa. BASFRecipe A: 30.00 parts by weight of Epikote 828 EL from Shell 20.00 parts by weight HT 9490 from Ciba 24.00 parts by weight graphite from Sigri Hoechst 25.80 parts by weight of carbon black 0, 20 parts by weight of 2 ethyl- 4-methylimidazole from BASF

100,00 Gew. Tl. 100 Gew. %100.00 parts by weight 100% by weight

Beschichtungsgeschwindigkeit : 2 m/minCoating speed: 2 m / min

Trocknerlänge : 2 mDryer length: 2 m

Trocknertemperatur: 180 °CDryer temperature: 180 ° C

Lacktemperatur: 50 °CPaint temperature: 50 ° C

Auftragsviskosität: 20 PasOrder viscosity: 20 Pas

Walzenoberfläche: Rz 10 μmRoll surface: R z 10 μm

Schichtdicke des Lackes 7: 5 μmLayer thickness of the lacquer 7: 5 μm

Walzenspalt: 0 mm 3. Verkupfern des Folienverbundes 5 aus Aluminium-Trägerfolie 2 /leitfähigem Lack 7Roll gap: 0 mm 3. Coppering the film composite 5 from aluminum carrier film 2 / conductive lacquer 7

Zur Galvanisierung des Folienverbundes 5 aus Aluminium- Trägerfolie 2/Lack 7 mit 4 μm Kupferschicht (Kupferfolie 1) wird ein Galvanobad 9 verwendet. Als Badflüssigkeit 10 wird Uniplate CU der Fa. Atotech Deutschland als Kupferelektrolyt verwendet .A galvanic bath 9 is used to galvanize the film composite 5 made of aluminum carrier film 2 / lacquer 7 with a 4 μm copper layer (copper film 1). Uniplate CU from Atotech Germany is used as the bath electrolyte 10 as the copper electrolyte.

Die Badflüssigkeit 10 wird auf 40°C erwärmt. Die Stromdichte beträgt 4 A/dm-2. Bei einer Abscheidungsgeschwin- digkeit von 1 μm/min und einer Beschichtungsgeschwindig- keit von 2 m/min wird auf einer Tauchstrecke von 8 m eine Kupferschichtdicke von 3 bis 4 μm beidseitig abgeschieden.The bath liquid 10 is heated to 40 ° C. The current density is 4 A / dm-2. With a deposition speed of 1 μm / min and a coating speed of 2 m / min, a copper layer thickness of 3 to 4 μm is deposited on both sides on an immersion path of 8 m.

In einem als Oxidation bezeichneten Prozess der Mikro- aufrauhung wird in dem Bad 13 eine die Haftfestigkeit zu einen Dielektrikum 15 verbessernde Oberfläche der abgeschiedenen Kupferfolie 1 erzielt. Zur Mikroaufrauhung wird in dem Bad 13 als Behandlungsbad Alpha Prep PC 7023 C 50% der Fa. Cookson Electronics eingesetzt. Die Verweilzeit im Bad beträgt 60 sek. bei 40°C.In a process of micro-roughening called oxidation, a surface of the deposited copper foil 1 that improves the adhesive strength to a dielectric 15 is achieved in the bath 13. For micro-roughening, 50% from Cookson Electronics is used as treatment bath Alpha Prep PC 7023 C in bath 13. The dwell time in the bath is 60 seconds. at 40 ° C.

Anschließend wird in der Spülstation 14 mit deionisiertem Wasser gespült und mittels Luftdüsen 16 getrocknet. 4. Beschichten des Folienverbundes 5 aus Aluminiumträgerfolie 2/Lack 7/Kupferfolie 1The rinsing station 14 is then rinsed with deionized water and dried by means of air nozzles 16. 4. Coating the film composite 5 made of aluminum carrier film 2 / lacquer 7 / copper film 1

Die Oberfläche der Kupferfolie 1 wird mittels den Walzen- beschichtungseinheiten 17 mit dem lösungsmittelfreien thermisch und Strahlen härtbaren Dielektrikum 15 beschichtet.The surface of the copper foil 1 is coated with the solvent-free thermal and radiation-curable dielectric 15 by means of the roller coating units 17.

Rezeptur C: 16,00 Gew.Tl Rütapox VE 4704 Fa. BakeliteRecipe C: 16.00 parts by weight Rütapox VE 4704 Bakelite

16,00 Gew.Tl. DEN 438 Fa. Dow Chemical16.00 parts by weight DEN 438 from Dow Chemical

16,00 Gew.Tl HT 9490 Fa. Ciba16.00 parts by weight of HT 9490 from Ciba

48,40 Gew.Tl Magnesiumhydroxid48.40 parts by weight of magnesium hydroxide

2,20 Gew.Tl 2-Ethylantrachinon Fa. BASF2.20 parts by weight of 2-ethyl antrachinone from BASF

0,50 Gew.Tl 2 -Ethyl-4 -Methylimidazol , Fa. BASF0.50 part by weight of 2-ethyl-4-methylimidazole, from BASF

0,90 Gew.Tl A 1100 Union Cabide0.90 parts by weight A 1100 Union Cabide

100,00 Gew.Tl. 100 Gew.100.00 parts by weight 100 wt.

Beschichtungsgeschwindigkeit 2 m/min Walzentemperatur : 25°C Temperatur Dielektrikum 15 : 50°C Auftragsviskosität : 10 Pas Walzenspalt : 180 μmCoating speed 2 m / min roller temperature: 25 ° C temperature dielectric 15: 50 ° C application viscosity: 10 Pas roller gap: 180 μm

Auftragswalzenummantelung : Gummierung 15 mm Dosierwalzenummantelung : Teflon 5 mm Trocknertemperatur : 150°C Trocknerlänge : 4 mApplication roller jacket: rubber coating 15 mm metering roller jacket: Teflon 5 mm dryer temperature: 150 ° C dryer length: 4 m

Die Eigenschaften des beschichteten Dielektrikums 15 sind wie folgt :The properties of the coated dielectric 15 are as follows:

Schichtdicke : 90 μm Erweichungsbereich : 80 bis 90°C 5. Beschichten des Folienverbundes 5 aus Aluminiumträgerfolie 2/Lack 7/Kupferfolie 1 mit dem lösungsmittelarmen thermisch härtbaren Dielektrikum 15Layer thickness: 90 μm Softening range: 80 to 90 ° C 5. Coating the film composite 5 made of aluminum carrier film 2 / lacquer 7 / copper film 1 with the low-solvent, thermally curable dielectric 15

Rezeptur D: 70,00 Gew.Tl Harz VE 3746 80 Gew.% Fa. BakeliteRecipe D: 70.00 parts by weight of resin VE 3746 80% by weight from Bakelite

28,00 Gew.Tl Magnesiumhydroxid 1,00 Gew.Tl 2-Methylimidazol Fa. BASF 1,00 Gew.Tl Z 6040 Fa. Dow Corning28.00 parts by weight of magnesium hydroxide 1.00 parts by weight of 2-methylimidazole from BASF 1.00 parts by weight of Z 6040 from Dow Corning

100,00 Gew.Tl. 86 Gew.100.00 parts by weight 86 wt.

Beschichtungsgeschwindigkeit 2 m/min Walzentemperatur : 25°C Temperatur Dielektrikum 15 : 25°C Auftragsviskosität : 5 Pas Walzenspalt : 180 μmCoating speed 2 m / min Roll temperature: 25 ° C Temperature dielectric 15: 25 ° C Application viscosity: 5 Pas roll gap: 180 μm

Auftragswalzenummantelung: Gummierung 15 mm Dosierwalzenummantelung : Teflon 100 μm Trocknertemperatur : 180°C Trocknerlänge : 4 mApplicator roller sheathing: rubber coating 15 mm Metering roller sheathing: Teflon 100 μm dryer temperature: 180 ° C dryer length: 4 m

Die Eigenschaften des beschichteten Dielektrikums 15 sind wie folgt :The properties of the coated dielectric 15 are as follows:

Schichtdicke : 60 μm Erweichungsbereich: 60 bis 80°C Gelierzeit bei 170°C: 10 sek 6. Laminieren des dreilagigen Folienverbundes 26 aus Alu- miniumträgerfolie 2/Lack 7 /Kupferfolie 1 /Dielektrikum 15 auf Leiterplatten 28Layer thickness: 60 μm Softening range: 60 to 80 ° C gel time at 170 ° C: 10 sec 6. Laminating the three-layer film composite 26 from aluminum carrier film 2 / lacquer 7 / copper film 1 / dielectric 15 on printed circuit boards 28

Temperatur der Leiterplatten 28: 60°C Temperatur der Walzen 29: 60°CCircuit board temperature 28: 60 ° C. Rollers temperature 29: 60 ° C

Temperatur der Lamlnatorwalzen 30: 120°CTemperature of the laminator rollers 30: 120 ° C

Kurztakt Heißpresse 31:Short cycle hot press 31:

Temperatur: 170 °CTemperature: 170 ° C

Druck: 10 barPressure: 10 bar

Presszeit: 20 sek.Pressing time: 20 sec.

Aushärtung im Umluftofen: 30 min bei 150 °CCuring in a forced air oven: 30 min at 150 ° C

Haftfestigkeit der auf 35 μm galvanisch verstärkten Kupferfolie 1 auf dem Dielektrikum 15: 1,4 N/mm. Adhesive strength of the copper foil 1 galvanically reinforced to 35 μm on the dielectric 15: 1.4 N / mm.

Claims

Ansprüche Expectations 1. Verfahren zur Herstellung von Kupferfolie (1) , die beidseitig mit Polymeren, insbesondere Lacken (7, 15) beschichtet ist und die auf Leiterplatten (28) laminiert wird, dadurch gekennzeichnet, dass zwei vorzugsweise 50 μm dicke beschichtungseitig mit Trennmittel beschichtete Metallfolien (2) im Randbereich mit einem Schmelzkleber zu einem Folienverbund (5) verbunden werden und dass dieser Folienverbund (5) mit einem leitfähigen Lack (7) in einer Dicke von 5 bis 20 μm beschichtet und nach der Vorhärtung als Kathode in ein Galvanobad (9) getaucht und beidseitig mit einer Kupferschicht (1) von 1 bis 10 μm, bevorzugt von 3 bis 5 μm galvanisiert und auf die Kupferschichten (Kupferfolie (1) ) nach der oxidativen Mikroaufrauhung jeweils ein Dielektrikum (15) in den Dicken von 5 bis 100 μm im Walzenbeschichtungsverfahren aufgetragen wird, und dass nach der Trocknung und der partiellen Vorhärtung des Dielektrikums (15) die Ränder der Metallfolien (2) einschließlich der darauf befindlichen Bereiche der Beschichtungen (Folien-Dielektrikumverbund (21) ) abgeschnitten und zwei dreilagige Folienverbunde (26) auf Trägerfolie (2) erhalten werden, die aus mit leitfähigem Lack (7) und mit Dielektrikum (15) beschichteter Kupferfolien (1) bestehen, die zur Herstellung von sequentiellen Multilayern auf Leiterplatten (28) laminiert werden. 1. A process for the production of copper foil (1) which is coated on both sides with polymers, in particular lacquers (7, 15) and which is laminated on printed circuit boards (28), characterized in that two metal foils (preferably 50 μm thick) coated on the coating side with release agent ( 2) are connected in the edge area with a hot-melt adhesive to form a film composite (5) and that this film composite (5) is coated with a conductive lacquer (7) in a thickness of 5 to 20 μm and, after precuring, as a cathode in a galvano bath (9) dipped and galvanized on both sides with a copper layer (1) of 1 to 10 μm, preferably from 3 to 5 μm, and a dielectric (15) in the thicknesses of 5 to 100 μm in each case after the oxidative micro-roughening on the copper layers (copper foil (1)) is applied in the roller coating process, and that after the drying and the partial pre-curing of the dielectric (15), the edges of the metal foils (2), including those thereon The areas of the coatings (foil-dielectric composite (21)) are cut off and two three-layer foil composites (26) are obtained on carrier foil (2), which consist of copper foils (1) coated with conductive lacquer (7) and dielectric (15) are laminated on printed circuit boards (28) for the production of sequential multilayers. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass lösungsmittelarme bis -freie hochviskose Lacke (7, 15) auf 20 bis 50 ° C vorgewärmt und dann einer Walzenbe- schichtungsanlage mit unbeheizten Walzen (18, 19) zugeführt werden, deren Auftragswalzen (19) gummiert und deren Dosierwalzen (18) mit Kunststoff ummantelt sind.2. The method according to claim 1, characterized in that low-solvent to -free high-viscosity lacquers (7, 15) are preheated to 20 to 50 ° C and then fed to a roll coating system with unheated rolls (18, 19), the application rolls (19th ) rubberized and the metering rollers (18) are coated with plastic. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2 , dadurch gekennzeichnet, dass lösungsmittelarme bis lösungsmittelfreie Lacke (7, 15) mit einer Viskosität von 5 bis 20 Pas mit gummierten Walzen (19) in Dicken von 5 bis 100 μm bei einer Temperatur von 25 bis 55 ° C auf die Metallfolien3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that low-solvent to solvent-free paints (7, 15) with a viscosity of 5 to 20 Pas with rubberized rollers (19) in thicknesses of 5 to 100 microns at a temperature of 25 to 55 ° C on the metal foils (2) und/oder die Kupferfolie (1) mit einer Temperatur von 20 bis 25 ° C aufgetragen werden.(2) and / or the copper foil (1) are applied at a temperature of 20 to 25 ° C. 4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3 , dadurch gekennzeichnet, dass lösungsmittelfreie Lacke (7, 15) verwendet werden, die einen Erweichungspunkt von kleiner 20 ° C besitzen und thermisch sowie durch Strahlen härtbar sind.4. The method according to any one of claims 1 to 3, characterized in that solvent-free paints (7, 15) are used which have a softening point of less than 20 ° C and are thermally and by radiation curable. 5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das aufgebrachte Dielektrikum (15) durch Trocknung oder durch partielle Vorhärtung auf einen Erweichungsbereich von 60 bis 130 ° C gebracht wird.5. The method according to any one of claims 1 to 4, characterized in that the applied dielectric (15) is brought to a softening range of 60 to 130 ° C by drying or by partial pre-curing. 6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Dielektrikum (15) zur Verbesserung der Haftung zur Kupferfolie (1) einen Haftvermittler enthält, der bevorzugt aus y-Amino-propyl-trioxi-silan oder aus N-ß-Amino-äthyl-y-amino-propyl-trimethoxi-silan besteht . 6. The method according to any one of claims 1 to 5, characterized in that the dielectric (15) to improve the adhesion to the copper foil (1) contains an adhesion promoter, which is preferably made of y-amino-propyl-trioxisilane or from N-ß -Amino-ethyl-y-amino-propyl-trimethoxi-silane. 7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die mit einem partiell vorgehärteten Dielektrikum (15) beschichtete Kupferfolie (1) in Form eines dreilagigen Folienverbundes (26) auf Leiterplatten7. The method according to any one of claims 1 to 6, characterized in that the copper foil (1) coated with a partially pre-hardened dielectric (15) in the form of a three-layer film composite (26) on printed circuit boards (28) auflaminiert wird, die mit einem partiell vorgehärteten Dielektrikum vorbeschichtet sind.(28) is laminated on, which are precoated with a partially precured dielectric. 8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass der mit vorzugsweise auf 60 bis 130 °C beheizten Lamlnatorwalzen (30) auf die Oberfläche der Leiterplatte (28) laminierte Folienverbund (26) in einer Kurztakt-Heißpresse (31) bei 130 bis 220 ° C in 10 bis 120 sek gehärtet wird.8. The method according to any one of claims 1 to 7, characterized in that the laminate laminate (26) laminated to the surface of the printed circuit board (28) with preferably heated to 60 to 130 ° C in a short-cycle hot press (31) is cured at 130 to 220 ° C in 10 to 120 seconds. 9. Beidseitig mit Polymeren (7, 15) beschichtete Kupferfolie (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei den Schichten aus Polymeren9. Copper foil (1) coated on both sides with polymers (7, 15) according to one of claims 1 to 8, characterized in that it is in the layers of polymers (7, 15) bevorzugt um thermisch und Strahlen härtbare Epoxidpolymere handelt .(7, 15) are preferably thermally and radiation-curable epoxy polymers. 10. Beidseitig mit Polymeren (7, 15) beschichtete Kupferfolie (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass als partiell vorgehärtete Lackschicht10. Both sides with polymers (7, 15) coated copper foil (1) according to one of claims 1 to 9, characterized in that as a partially pre-hardened lacquer layer (7) eine dunkle leitfähige, Laserstrahlung leicht absorbierende und in organischem Lösungsmittel oder in alkalischen Medien lösliche Schicht mit einer Dicke von 5 bis 20 μm vorgesehen ist.(7) a dark conductive layer which is easily absorbing laser radiation and soluble in organic solvent or in alkaline media is provided with a thickness of 5 to 20 μm. 11. Beidseitig mit Polymeren (7, 15) beschichtete Kupferfolie (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass ein Dielektrikum (15) mit einem Schmelzbereich von 60 bis 130 ° C vorgesehen ist. 11. Copper foil (1) coated on both sides with polymers (7, 15) according to one of Claims 1 to 10, characterized in that a dielectric (15) with a melting range of 60 to 130 ° C is provided. 12. Vorrichtung, insbesondere zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass vor und hinter einer Galvanobad (9) je eine Walzenbeschichtungseinheit (17) zum Auftragen von Polymeren (7, 15) angeordnet ist.12. The device, in particular for carrying out the method according to one of claims 1 to 8, characterized in that in front of and behind a galvano bath (9) a roller coating unit (17) for applying polymers (7, 15) is arranged. 13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass eine Walzenbeschichtungseinheit (17) verwendet wird, die über gummierte, nicht beheizte Auftragswalzen (19) und über mit Kunststoff ummantelte unbeheizte Dosierwalzen13. The apparatus according to claim 12, characterized in that a roll coating unit (17) is used, the rubberized, unheated application rollers (19) and plastic-coated unheated metering rollers (18) verfügt.(18). 14. Vorrichtung nach Anspruch 12 oder 13 , dadurch gekennzeichnet, dass zur Trocknung und partiellen Vorhärtung des Dielektrikums (15) ein Infrarotstrahlungstrockner (20) mit im Gegenstrom geführter Luftströmung verwendet wird, dem ein Luftkühler (22) und bei Bedarf ein UN-Strahlungsofen nachgeordnet ist.14. The apparatus of claim 12 or 13, characterized in that for drying and partial pre-curing of the dielectric (15) an infrared radiation dryer (20) is used with countercurrent air flow, followed by an air cooler (22) and, if necessary, a UN radiation oven is. 15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass beheizte Düsen (3) zum Aufbringen einer vorzugsweise duroplastischen Schmelze an den Randbereichen der Metallfolien (2) zur Verbindung der Metallfolien (2) zu einem Folienverbund (5) vorgesehen sind.15. Device according to one of claims 12 to 14, characterized in that heated nozzles (3) are provided for applying a preferably thermosetting melt to the edge regions of the metal foils (2) for connecting the metal foils (2) to form a film composite (5). 16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass zum Trennen des Folienverbundes (5) in zwei dreila- gige Folienverbunde (26) mit Trägerfolie (2) Messer (23) zum Abschneiden des verklebten Randes des Folienverbundes (21) vorgesehen sind.16. The apparatus according to claim 15, characterized in that for separating the film composite (5) into two three-layer film composites (26) with carrier film (2) knives (23) are provided for cutting off the glued edge of the film composite (21). 17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass eine Kurztakt-Heißpresse (31) mit einer Preßetage verwendet wird, vor der ein mit be- heizten Walzen (29) ausgestatteter Folienrolllaminator angeordnet ist. 17. The device according to one of claims 12 to 16, characterized in that a short-cycle hot press (31) is used with a press stage, before which a with heated rollers (29) equipped film roll laminator is arranged.
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