WO1999030877A1

WO1999030877A1 - Microactionneur

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Publication number: WO1999030877A1
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Inventors: Naoki Muramatsu
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Description

明細書マイクロアクチユエ一夕技術分野

この発明は、マイクロアクチユエ一夕に関し、詳しくは並進変位量を容易に拡大できるマイクロアクチユエ一夕の改良に関するものである。背景技術

研究開発段階にあるマイクロアクチユエ一夕（以下、ァクチユエ一夕という。）は多いが、製品化に至っているのは非常に少ない。これにはァクチユエ一夕自体のマイク口化の困難さが影響していると考えられる。かかる状況下、製品の基本的構成を示しているァクチユエ一夕の従来技術として日本国特開平 8 _ 9 0 4 7 7号公報がある。

かかるァクチユエ一夕は、圧電素子による可動枠の伸縮変位がヒンジとレバーから成る揺動機構を介し U字形把握指の開閉変位に変換される駆動機構を特徴としており、被把持物に対する両把握指の均等開閉挙動を奏するという効果がある。

しかしながら、上記従来のァクチユエ一夕では、圧電素子の伸縮変位をグリッパーの作動変位として利用するには、変位の拡大機構がなければならず、構造が複雑に成っていた。例えば、圧電素子の伸縮変位が n mオーダであるために、把握指に数 1 0 0 m程度の開閉変位を得るにも、数 1 0 0倍の拡大機構を要するという問題点があった。発明の開示

この発明は、上記課題を解決するためになされたもので、拡大機構を用いることなく、駆動部のわずかな変位量に基づき先端部の変位量が大きいァクチユエ一夕を提供することを目的とするものである。

この目的を達成するために第 1の局面のァクチユエ一タは、ケースに内蔵された並進移動する移動部を有する並進駆動部と、他端部がケースに連結され、並進駆動部の移動部に一端部が連結されると共に、並進移動に基づいて一端部が引っ張られることにより、並進移動の量よりも上記端部及び一端部から延設されると共に、共有された先端の変位量が拡大される変位拡大部材とを備えたことを特徴とするものである。

第 2の局面のァクチユエ一夕は、ケースに内蔵された並進移動する移動部を有する並進駆動部と、先端を共有する共有部と、この共有部から延長されると共に、対峙する少なくとも二つの辺部と、上記共有部と反対側が開放されている開放部とを有しており、この開放部の一端が並進駆動部に連結され、開放部の他端が上記ケースに連結され、並進駆動部の並進変位に基づいて先端が拡大変位される変位拡大部材とを備えたことを特徴とするものである。

第 3の局面のァクチユエ一夕は、変位拡大部材が開放部の一端を並進変位させることにより座屈現象を呈することを特徴とするものである。第 4の局面のァクチユエ一夕は、変位拡大部材の共有部には、変位拡大部材の先端部同士が重なり合って固着された固着部を有することを特徴とするものである。

第 5の局面のァクチユエ一夕は、第 1及び第 2の変位拡大部材を有し、第 1及び第 2の変位拡大部材の開放部の一端を共有して並進駆動部に連結されたこと特徴とするものである。

第 6の局面のァクチユエ一夕は、変位拡大部材の形状が略 V字形状であることを特徴とするものである。

第 7の局面のァクチユエ一夕は、変位拡大部材の辺部の少なくとも一つには、外側に突出されている突出部を有することを特徴とするものである。

第 8の局面のァクチユエ一夕は、変位拡大部材の先端を共有する共有部の代わりに、変位拡大部材の先端の近傍及び中央部を共有する共有部であることを特徴とするものである。

第 9の局面のァクチユエ一夕は、並進駆動部は、軸を有するモー夕と、軸の回転を並進変位量に変換させる変換部とから成り、この変換部と変位拡大部材の一端を結合する結合部と、ケースには、結合部も収納すると共に、変位拡大部材の他端を固定する固定部とを備えたことを特徴とするものである。

第 1 0の局面のァクチユエ一夕は、変換部は雌ねじが形成されたナツトと、このナットに螺合されると共に、伝達部材を介して連結又は直結された軸とから成り、ナット、軸またはナット、伝達部材のネジ部の長さは、並進変位量の最大値以下であることを特徴とするものである。第 1 1の局面のァクチユエ一夕は、変位拡大部材の開放部の一端部には、略円状に形成された円状部を有し、結合部には、この円状部が係合される溝を設けたことを特徴とするものである。

第 1 2の局面のァクチユエ一夕は、ナツトは略四角柱状をしており、ナツトの外面を摺動係合して案内するガイド部は、両端が略半円状であることを特徴とするものである。図面の簡単な説明

第 1図は、この発明の実施例によるァクチユエ一夕を全体を示す断面図及び側面図で、 —（a ) が側面図、（b ) が断面図、（c ) が断面図（b ) の矢視 C _ C断面図である。

第 2図は第 1図の操作フィンガーを示す斜視図である。第 3図は、第 1図の操作フィンガ一の先端部変位量を説明するモデル図である。

第 4図は第 3図の操作フィンガーの先端部を拡大したモデル図である。第 5図は、第 1図の操作フィンガーの荷重と先端部変位量を示す曲線である。

第 6図は、この発明の他の実施の形態によるァクチユエ一夕の把持フィンガ一を示す斜視図である。

第 7図は、第 6図の把持フィンガーの全体を示す断面図である。

第 8図は、この発明の他の実施例による操作フィンガー及び把持フィンガ一を示す斜視図である。

第 9図は、この発明の他の実施例による操作フィンガ一及び把持フィンガ一を示す斜視図である。

第 1 0図は、第 9図の把持フィンガーを結合部に係合させた断面図である。

第 1 1図は、この発明の他の実施例による変換部のナットの断面図である。

第 1 2図は、この発明の他の実施例による変換部のねじ軸を示す断面図である。発明を実施するための最良の形態

次に、この発明について、以下の通り、実施例を説明する。

実施例 1 .

この発明の実施例を第 1図及び第 2図によって説明する。第 1図はァクチユエ一夕の断面図及び側面図、第 2図は板状の変位拡大部材の斜視図である。

第 1図及び第 2図において、ァクチユエ一夕は、微少な対象物に動作をさせるために、並進変位に基づいて先端部が拡大変位する略 V字形状の変位拡大部材としての操作フィンガ一 1と、回転することにより操作フィンガー 1に駆動力を付与する駆動部と、この駆動部の回転を並進移動に変換させる変換部と、この変換部と操作フィンガー 1を結合する結合部と、この変換部及び駆動部、結合部を収納させるケース部と、操作フィンガー 1の一部をケース部を利用して固定する固定部とから成っている。

操作フィンガー 1は第 2図に示すように、はり状で、且つ板状で、先端を共有して重複する共有部 1 aと、この共有部 1 aから延長されると共に、対峙する二つの辺部 1 d， 1 eと、共有部 1 aと反対側が開放されている開放部 l pと、開放部の一端 l gと、フック状の足 l hとを有している。なお、操作フィンガ一 1の共有部（先端部） l aが、対象物に作用する。

ここで、操作フィンガ一 1はばね特性を有する金属材料が用いられており、共有部 l aには、辺部 l d，辺部 l eとをハンダ、溶接、接着剤などにより固着された固着部 1 cが形成されている。なお、金属材料でなくとも、対象物によっては樹脂などの非金属材料でも良い。

駆動部は、変換部を介し操作フィンガー 1の一端 1 gに連結されてこの一端 1 gを並進変位させるためのロータ軸 1 2 aを有する例えば、減速機付きコアレス D Cモ一夕（以下、モータという。） 1 2である。変換部は、外周にはネジ 1 1 aを有し、モー夕 1 2の口一夕軸 1 2 a を嵌合固定させた中空部 1 1 bを有するねじ軸 1 1と、後端を切削されて形成された中空部の円周面にネジ 1 0 aとねじ軸 1 1のネジ 1 1 aとを螺合させたナツト 1 0とから成っており、モータ 1 2のロー夕軸 1 2 aの回転をナット 1 0の並進変位に変換するように構成されている。結合部は、ナット 1 0の先端突起外周部にテ一パねじ 1 0 tが形成されている、略円錐形状の円錐部と、このテ一パねじ 1 0 tに螺合させるテ一パナット 1 3とから成り、ナット 1 0の円錐部の中央には、スリツト 1 0 sが設けられており、このスリット 1 0 sに操作フィンガ一 1の一端 1 gを挿入して、テーパナツト 1 3をテーパねじ 1 0 tに螺合して操作フィンガー 1の一端 1 gが結合固定されている。

ケース部は、ケース 1 4と、ケース 1 4の右端面を閉じた蓋 1 5と、ケース 1 4の左端面に係合固定されたキャップ 3とから形成さている。ケース 1 4は、円筒状に形成されており、円柱状の空間部にモー夕 1 2を収めるモ一夕収納部 1 4 aと、モータ 1 2のロータ軸 1 2 aと、ねじ軸 1 1の一部を収納するねじ軸収納部 1 4 bと、第 1図の C— C断面図に示すように、ナット 1 0を収納する全体が小判形で、端部が略半円状に形成されたガイド部としてのナツト収納部 1 4 cと、を有している。キャップ 3は、結合部が内包され、且つ、断面が略台形状に形成された筒状で、中央に二段階の貫通孔を有する中空円筒を有し、この中空円筒の端面が凹状に形成されたフランジ 3 aが設けられ、凹部の円周面にはねじ 3 bが施されている。

固定部は、操作フィンガ一 1の足 1 hがワッシャー 4を介してキヤップ 3のフランジ 3 a上に当接して押え 2の外周面に形成されたネジがキャップ 3の凹部のネジ 3 bと螺合して操作フィンガー 1の足 1 hをキヤップ 3に固定する。

かかる上記ァクチユエ一夕の構成で、モー夕 1 2のロー夕軸 1 2 aの並進変位に基づいて操作フィンガー 1の先端が拡大変位されることを以下に説明する。第 3図に示すように X， Y軸上で、操作フィンガー 1のフック足 l hを固定（第 3図の 0点）して、操作フィンガー 1の一端を荷重 Pで引っ張るモデルにて考察する。

第 3図おいて、操作フィンガー 1の一端の Y軸方向の僅かな並進変位量 hに対する操作フィンガー 1の X軸方向の変位 X (以下、先端部変位量という。）の割合を、拡大率 G = XZhとすれば、先端部変位量 X、並進変位量 h及び拡大率 Gは下式となる。なお、この算出には、はりは曲がらず、 Θは微小と仮定した。

X = L s i n@ = L0

h = L ( 1 - c o s Θ) =L (Θ²/ 2 )

G = X/h = 2 /Θとなる。

具体的には、操作フィンガー 1の並進変位量 hを角度 Θで 0〜 1 0 ° とすると、拡大率 Gは∞〜 1 1. 5なる。すなわち、僅かな並進変位量 hに対して先端部変位量 Xが拡大される。

たとえば、操作フィンガー 1に厚さ 0. lmm、幅 2mm、長さ 30 mmのばね用りん青銅板を用いて実験した結果、並進変位量 h= 1 mm に対して先端部変位量 X= 8. 5mmとなり、強制変位のための引張り力 Pも 60 g程度である。

また、よりコンパクトにするために、例えば座屈現象を利用しても良レここに、座屈現象とは、加えた荷重がある値に達すると、急速に横方向に変形を起こす現象をいう。即ち、操作フィンガー 1の一端を並進変位させることにより、操作フィンガー 1の先端が急速に変位する。かかる座屈現象を得るためには、操作フィンガー 1のフック状の足 1 hと他の足 1 gとが極めて接近した構成となっている。つまり、上記で説明したように操作フィンガ一 1の足 1 hは、ワッシャー 4を介しフランジ 3 a上に押さえ 2で挟持されるので、該足 1 hの締め付け代の量を調節することにより座屈現象を得るようにすれば良い。

かかる構成において、第 3図のモデルの先端部をより明確にした第 4 図から、荷重 Pと先端部変位量 Xとの関係式は下記となる。但し、 X。は荷重の Pの偏心変位量である。 P= (E I /L²) { c o s— ¹ (X。Z (X + X₀) ) } ² · · · ( 1) ここに Eは縦弾性率（k g/mm²) 、 Iは断面二次モーメント（mm²) である。

ここで、 X 0 = 0とすると、

c o s— iX。Z (Χ + Χ₀) ^πΖ2となる。

これにより、荷重 Ρは変位量 X。にかかわらず第 5図の Β曲線で示すように（E I TC ²) / (4 L ²) と一定になる。

つぎに上記のように構成されたァクチユエ一夕の作用を第 1図を主に参照して説明する。まず、モ一夕 1 2に電源が投入され、モ一夕 1 2のロータ軸 1 2 aは回転する。この回転はねじ軸 1 1を介して、ナット 1 0を第 1図の右方向に並進変位させ、この並進変位量はねじ軸 1 1を介してナツト 1 0に伝動し、ナット 1 0はナツト収納部内 14 cを摺動し、ねじ軸 1 1軸の第 1図の右方向に変位する。

これに伴い、操作フィンガ一 1の一端 1 gは同一変位量で、同方向（モ一夕 1 2のロータ軸 1 2 aに引っ張られる方向）に強制変位され、操作フィンガー 1には、曲げモーメントが作用し、第 1図に示すように先端部は略円弧状の軌跡で、実線から破線方向に曲げられる。ここで、操作フィンガ一 1が通常の曲げ特性であれば、第 5図の曲線 Aのような変位特性になるが、座屈現象を呈するように構成されておれば、第 5図の曲線 Bのようになる。この拡大曲げ変位を対象物に作用させる。

一方、モー夕 1 2のロータ軸 1 2 aの回転を逆転すれば、この回転はねじ軸 1 1を介して、ナット 1 0を第 1図の左方向に並進変位させ、この並進変位量はねじ軸 1 1を介してナツト 1 0に伝動し、ナット 1 0はナツ卜収納部内 14 cを軸方向に変位する。この並進変位量が上記と同様の伝達により操作フィンガー 1の曲げ変位は解放されて、第 1図の実線で示すように操作フィンガー 1の先端部が復帰する。また、図示はしていないが、第 2図の操作フィンガ一 1の共有部 1 a を先端から離しても良い。かかる構成によれば、操作フィンガー 1の先端には、共有部 1 aが存在しなくなるので、操作フィンガー 1は先端の厚さを薄くでき、しかも、共有部 1 aを形成する位置によって拡大変位量を容易に調節できる。

なお、変換部は、モータ 1 2のねじが形成された口一夕軸 1 2 aをナット 1 0と直接螺合させても良い。また、操作フィンガ一 1の足 1 hは、キャップ 3に固定されているが、なにもキャップ 3に固定されている必要はなく、操作フィンガー 1の一端 1 gの近傍に固定されておれば良い。また、操作フィンガー 1の固着部 1 cは、繰り返し強度の点などから必ずしも必要ない。

実施例 2 .

この発明の他の実施例を第 6図及び第 7図によって説明する。第 6図は挟持部を有する変位拡大部材の斜視図、第 7図は挟持部を有するァクチユエ一夕の断面図である。図中、第 1図と同一符号は同一又は相当部分を示して説明を省略する。

第 6図及び第 7図において、このァクチユエ一夕は第 1図と、変位拡大部材、結合部、固定部のみが異なるので、かかる構成を説明する。まず、変位拡大部材としての把持フィンガー 2 1は、全体が略 M字形状に形成されたばね特性を有するはり状部材から成っており、丁度、第 2図の二つの操作フィンガ一 1の端部 1 gを共有一体にして形成され、この共有した頂点部 2 1 cを有し、開放部の一端には、それぞれフック状の足 2 1 a、 2 l bが設けられている。

結合部は、ナット 1 0のスリット 1 0 sに把持フィンガー 2 1の頂点部 2 1 cを挿入して、テ一パナツト 1 3をテ一パねじ 1 0 tに螺合して把持フィンガー 2 1の頂点部 2 1 cが結合固定されている。固定部は、把持フィンガー 2 1の足 2 1 a、 2 1 bがワッシャー 4を介してキャップ 3のフランジ 3 a上に当接して押え 2の外周面に形成されたネジがキャップ 3の凹部のネジ 3 bと螺合して把持フィンガー 2 1 の足 2 1 a、 2 1 bをキャップ 3に固定する。

つぎに上記のように構成されたァクチユエ一夕の作用について第 7図を参照して説明する。まず、モ一夕 1 2に電源を投入すると、モー夕 1 2のロー夕軸 1 2 aは回転し、この回転は、ねじ軸 1 1を介してナツト 1 0に伝動し、ナット 1 0はナツト収納部内 1 4 cをねじ軸 1 1の第 1 図に示す右方向に変位する。

これに伴い、把持フィンガー 2 1の頂点部 2 1 cは同一変位量で、同方向に強制変位され、把持フィンガー 2 1には、曲げモーメントが作用し、先端部は互いに近接する向きに曲げられ、先端部が閉じて対象物を把持する。

一方、モー夕 1 2の回転を逆転すれば、この回転は、ねじ軸 1 1を介してナット 1 0を逆方向に並進変位して、この並進変位量が上記と同様の伝達により把持フィンガ一 2 1の頂点部 2 1 cを並進変位し、操作フインガ一 2 1の先端部が対象物の把持を開放する。

また、第 8図に示すように操作フィンガー 1 0 1、把持フィンガー 1 2 1の辺部には、外側に突出されている略半円状の突出部 1 0 1 y、 1 0 1 z、 1 2 1 y、 1 2 1 zを有するようにしても良い。かかる構成によれば、この突出部 1 0 1 yなどにより上記拡大率 Gを変化させることができるので、所望の先端部変位量を実現し易い。なお、この突出部は略三角の形状、半楕円の形状、半卵型の形状など、形状の種類は問わないし、突出部 1 0 1 y、突出部 1 0 1 zのいずれか一つでも良い。また、第 9図及び第 1 0図に示すように操作フィンガー 2 0 1、把持フィンガー 2 2 1の端部には、略円状に形成され円状部 2 0 1 w、 2 2 l wとを有し、ナット 2 1 0には、この円状部が係合される溝 2 1 0 e が設けてある。かかる構成によれば、操作フィンガー 2 0 1、把持フィンガ一 2 2 1の円状部 2 0 1 w、 2 2 1 wをナツト 2 1 0の溝 2 1 0 e に容易に係合固定したり、取り外したりできる。

実施例 3 .

この発明の他の実施例を第 1 1図及び第 1 2図によって説明する。第 1 1図はナツトの断面図、第 1 2図は第 1 1図のナツトと螺合させるねじ軸の斜視図である。このァクチユエ一夕は、第 1図のナット 1 0及びねじ軸 1 1のみが異なり、並進変位量制限部を設けて操作（把持）フィンガ一の並進変位量を制限するものである。

第 1 1図及び第 1 2図において、並進変位量制限部は、ナット 1 1 0 と、このナツト 1 1 0と螺合させる伝達部材としてのねじ軸 1 1 1とから成っており、ナット 1 1 0には、切削された略円柱状の中空部 1 1 0 aに係合固定された並進移動を制限する制限ナツト 1 5 1を有している。雌ネジが形成された制限ナット 1 5 1、及びねじ軸 1 1 1は有効ねじ長さ Lに形成されており、この有効ねじ長さ Lが操作（把持）フィンガーの並進変位量の最大値とほぼ一致する。

つぎに上記のように構成されたァクチユエ一夕の作用について第 1図、第 1 1図及び第 1 2図を参照して説明する。上記実施例 1と同様にモー夕 1 2を駆動し、ねじ軸 1 1 1が所定の回転数以上駆動されると、制限ナット 1 5 1はねじ軸 1 1 1との螺合が外れ、制限ナツ卜 1 5 1は空転し、これ以上ねじ軸 1 1 1は並進変位されない。つまり、ねじ軸 1 1 1 の正逆転のいずれでも操作フィンガ一 1は、上記有効ねじ長さ Lの並進変位量以内でのみ駆動される。

なお、上記実施例では、制限ナツト 1 5 1とねじ軸 1 1 1とを螺合させたが、モー夕 1 2の口一夕軸 1 2 aを長くして外周にネジを設け、制限ナツト 1 5 1と口一夕軸 1 2 aとを螺合させても良い。

以上のように第 1の発明によれば、わずかな並進変位量に基づいて変位拡大部材の先端部の変位量が大きくなるから、拡大機構を必要とせずに簡単な機構で良いという効果がある。

第 2の発明によれば、わずかな並進変位量に基づいて変位拡大部材の先端部の変位量が大きくなるから、拡大機構を必要とせずに簡単な機構で良いという効果がある。

第 3の発明によれば、第 2の発明の効果に加え、変位拡大部材は開放部の一端を並進変位させることにより座屈現象を呈するようにしたので、特に、ァクチユエ一夕の先端部の径を小さくできるという効果がある。第 4の発明によれば、第 2の発明の効果に加え、変位拡大部材の共有部の剛性が増大するため、変位拡大部材の先端曲げの繰り返し動作に強いという効果がある。

第 5の発明によれば、第 2の発明の効果に加え、わずかな並進変位量に基づいて第 1及び第 2の変位拡大部材の先端部が共に内側に曲がり、この変位量が大きいから、拡大機構を必要とせずに簡単な機構で対象物を把持したり開放したりできるという効果がある。

第 6の発明によれば、第 2の発明の効果に加え、変位拡大部材の加工が容易であるという効果がある。

第 7の発明によれば、第 2の発明の効果に加え、拡大変位量を変位拡大部材の突出部の大きさ、形状などによって、簡易に調節できるという効果がある。

第 8の発明によれば、第 2の発明の効果に加え、変位拡大部材の先端には、共有部が存在しなくなるので、変位拡大部材先端の厚さを薄くでき、しかも、共有部を形成する位置によって変位拡大部材の先端部における拡大変位量を容易に調節できるという効果がある。 1

1 3 第 9の発明によれば、第 2の発明の効果に加え、並進駆動部を簡易に構成でき、しかも、この並進駆動部の並進変位量を結合部により変位拡大部材に伝達できるという効果がある。

第 1 0の発明によれば、第 9の発明の効果に加え、ナット、軸またはナツト、伝達部材のネジ部の長さによって並進変位量を制限できるという効果がある。

第 1 1の発明によれば、第 9の発明の効果に加え、変位拡大部材を結合部への取付け及び取り外しが容易であるという効果がある。

第 1 2の発明によれば、第 1 0の発明の効果に加え、ナットを摺動係合させるためのガイド部の加工が容易であるという効果がある。産業上の利用可能性

以上のように、本発明にかかるマイクロアクチユエ一夕の並進変位量の拡大などに用いられるのに適している。

Claims

請求の範囲

1 . ケースに内蔵された並進移動する移動部を有する並進駆動部と、他端部が上記ケースに連結され、上記並進駆動部の移動部に一端部が連結されると共に、並進移動に基づいて上記一端部が引っ張られることにより、上記並進移動の量よりも上記端部及び一端部から延設されると共に、共有された先端の変位量が拡大される変位拡大部材と、

を備えたことを特徴とするマイクロアクチユエ一夕。

2 . ケースに内蔵された並進移動する移動部を有する並進駆動部と、先端を共有する共有部と、この共有部から延長されると共に、対峙する少なくとも二つの辺部と、上記共有部と反対側が開放されている開放部とを有しており、

この開放部の一端が上記並進駆動部に連結され、上記開放部の他端が上記ケースに連結され、上記並進駆動部の並進変位に基づいて上記先端が拡大変位される変位拡大部材と、

を備えたことを特徴とするマイクロアクチユエ一夕。

3 . 上記変位拡大部材は、開放部の一端を並進変位させることにより座屈現象を呈することを特徴とする請求の範囲第 2項に記載のマイクロァクチユエ一夕。

4 . 上記変位拡大部材の共有部には、上記変位拡大部材の先端部同士が重なり合って固着された固着部を有することを特徴とする請求の範囲第 2項に記載のマイクロアクチユエ一夕。

5 . 第 1及び第 2の上記変位拡大部材を有し、上記第 1及び上記第 2 の変位拡大部材の開放部の一端を共有して上記並進駆動部に連結されることを特徴とする請求の範囲第 2項に記載のマイクロアクチユエ一夕。

6 . 上記変位拡大部材の形状は、略 V字形状であることを特徴とする請求の範囲第 2項に記載のマイクロアクチユエ一夕。

7 . 上記変位拡大部材の辺部の少なくとも一つには、外側に突出されている突出部を有することを特徴とする請求の範囲第 2項に記載のマイクロアクチユエ一夕。

8 . 上記変位拡大部材の先端を共有する共有部の代わりに、

上記変位拡大部材の先端の近傍及び中央部を共有する共有部であることを特徴とする請求の範囲第 2項に記載のマイクロアクチユエ一夕。

9 . 上記並進駆動部は、軸を有するモータと、上記軸の回転を並進変位量に変換させる変換部とから成り、

この変換部と上記変位拡大部材の一端を結合する結合部と、

上記ケースには、上記結合部も収納すると共に、上記変位拡大部材の他端を固定する固定部と、

を備えたことを特徴とする請求の範囲第 2項に記載のマイクロアクチユエ一タ。

1 0 . 上記変換部は雌ねじが形成されたナットと、このナットに螺合されると共に、上記軸又は上記軸に連結された伝達部材とから成り、上記ナット、上記軸または上記ナット、上記伝達部材のネジ部の長さは、上記並進変位量の最大値以下であることを特徴とする請求の範囲第 9項に記載のマイクロアクチユエ一夕。

1 1 . 上記変位拡大部材の開放部の一端部には、略円状に形成された円状部を有し、上記結合部には、この円状部が係合される溝を設けてあることを特徴とする請求の範囲第 9項に記載のマイクロアクチユエ一夕 _c 1 2 . 上記ナットは略四角柱状をしており、上記ナットの外面を摺動係合して案内するガイド部は、両端が略半円状であることを特徴とする請求の範囲第 1 0項に記載のマイクロアクチユエ一夕。