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WO1998023989A1 - Verfahren zur entfernungsmessung und entfernungsmesser - Google Patents

Verfahren zur entfernungsmessung und entfernungsmesser Download PDF

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WO1998023989A1
WO1998023989A1 PCT/EP1997/006460 EP9706460W WO9823989A1 WO 1998023989 A1 WO1998023989 A1 WO 1998023989A1 EP 9706460 W EP9706460 W EP 9706460W WO 9823989 A1 WO9823989 A1 WO 9823989A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
partial beams
distance
lens
main objective
laser
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/EP1997/006460
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Roger Spink
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leica Microsystems Schweiz AG
Original Assignee
Leica Mikroskopie Systeme AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leica Mikroskopie Systeme AG filed Critical Leica Mikroskopie Systeme AG
Priority to JP52424198A priority Critical patent/JP2001504592A/ja
Priority to US09/308,593 priority patent/US6307636B1/en
Priority to EP97951918A priority patent/EP0939916A1/de
Publication of WO1998023989A1 publication Critical patent/WO1998023989A1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
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    • G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
    • G01S17/06—Systems determining position data of a target
    • G01S17/46—Indirect determination of position data
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
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    • G01S17/87—Combinations of systems using electromagnetic waves other than radio waves
    • G—PHYSICS
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    • G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
    • G01S7/4811—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements common to transmitter and receiver

Definitions

  • the invention relates to a method for measuring the distance between a lens and an object, and to a range finder that works according to this method.
  • the invention is therefore based on the object of finding a new method for distance measurement which is easy to evaluate optically and permits reliable distance measurement.
  • a temporal coding can be provided, in which, for example, one of the laser beams and then the other illuminates with a time delay.
  • the two laser beams are actually in parallel in front of the parallel beam path of the objective. Any angular deviations from the parallelism are conceivable, provided the lens or microscope is calibrated after the laser light-generating elements have been installed and the calibration is taken into account in the calculation.
  • a specific, defined luminous dot distance in the object plane shows the focused state of the objective in relation to the object plane.
  • the accuracy of the distance measurement according to the invention is influenced by the angle ⁇ that the two beams have in relation to one another.
  • the position of the object plane in relation to the optical axis is also important. If these are perpendicular to each other, the measurement is carried out without any problems. A correction is not necessary.
  • the measuring points are then symmetrical to the optical axis. at An asymmetry can be compensated for by calculation by measuring the respective distance of the respective measuring points from the optical axis and then calculating them back to the inclined position of the object plane.
  • the position of the optical axis can be detected optically insofar as it is indicated by the intersection of the laser beams as soon as it becomes visible.
  • the measuring system can be calibrated in this way.
  • the light frequency of the laser beams can be in the visible as well as in the invisible range, provided appropriate detection means are provided.
  • CCDs can be used as detection means in the infrared range.
  • FIG. 1 shows a main objective in a symbolically represented microscope with a stylized laser beam arrangement according to the invention
  • a transparent support plate 10 which carries two deflection mirrors 12a and 12b. 12a and 12b are aligned in the illustrated Embodiment that is not restrictive.
  • the deflection mirror 12a is a semitransparent splitter mirror, so that a laser beam 2, which is emitted by a laser radiation source 3 which may be arranged outside the microscope, is split into two partial beams 2a, 2b.
  • the deflecting mirrors 12a, 12b are followed by diaphragms 9a and 9b, which optically code the partial laser beams 2a and 2b.
  • the parallel partial laser beams 2a and 2b are angled in the direction of the focal point 5 of the main objective 18 located in the focal plane A. If an object 6 is now outside the focal plane A, the laser partial beams 2a and 2b generate two luminous markings 20a and 20b on the object 6.
  • the distance 13 between the two luminous markings 20a and 20b is a measure of the distance Z between the main plane 7 of the main objective 18 and object 6 or the difference f (focal length) minus Z.
  • FIG. 2 shows a variant for time-coded partial beam paths 2a and 2b, which are generated in that the laser beam is directed through two deflection mirrors 17a and 17b, which are aligned with one another, in the direction of further deflection mirrors 12c, which are not aligned with one another, but are arranged in front of the main objective 18, is redirected.
  • the deflecting mirror 17a is partially transparent. Between the deflecting mirrors 17 and 12 there is a rotating pinhole 14 with a hole 16 which is set in rotation by a drive 15. Only when the hole coincides with a partial beam path 2a or 2b can this be focused by the main objective 18.
  • a planar, transparent optics carrier 24 carries a deflection mirror 25 approximately centrally, which images part of the radiation coming from the object 6 via an imaging system 26 onto a location-sensitive optoelectronic detector 27, for example a CCD.
  • the optics carrier 24 is mounted directly behind the main objective 18 in the parallel beam path.
  • the light images 20b and 20a appearing on the object 6 can be imaged on the detector 27 in this way.
  • the following is connected to an evaluation unit 19 with evaluation software and a corresponding computer: a display 21 for indicating the Z distance.
  • microscope-controlling components can also be connected to the evaluation unit 19, such as an autofocus 22 or an output 23 for stereotactic applications, in particular for determining the relative position of the microscope 1 or the object 6.
  • the optics carrier 10 or 24 or the small deflection elements 12a, b, c, 17a, b can be found in the teaching of patent applications PCT / EP 95/01311 and PCT / EP 95/01301.
  • all other conventional methods for mirroring or extracting information from a beam path are also within the scope of the invention.
  • the method with the transparent optics carriers is preferred.
  • the laser beams can also pass through the main objective 18 at any angle, provided that it is subsequently calibrated and it is established that a certain illuminated dot distance 13 in the object plane is in a focused state of the main objective 18 in relation to the object plane.
  • FIG. 4 The symbolic representation of FIG. 4 shows the following: A point T to be considered is in front of the focal point F.
  • the laser beam S1 generates a point P (S1) in the plane B.
  • the laser beam S2 creates a point P (S2).
  • P (S1) is not equal to P (S2).
  • the distance 13 of the two points gives the distance of the point T under consideration to the focal plane A. If we now consider the position of the two points to each other, a statement can be made as to whether the distance between T and A is given a positive or negative sign. If the observed point T lies in front of the focal point F, P (S1) to the right of P (S2) is seen through the microscope 1, if vice versa, then the observed point T 'is behind the focal point F.
  • FIG. 5 shows a variant which not only allows the measurement of the Z distance but also allows a magnification measurement (T measurement) via beam splitter 12c, d.
  • the laser beam 2 is additionally split into the partial beams S2 'and S2 ", which together form a defined angle ⁇ .
  • the partial beams S2' and S2" are guided through the further optics of the microscope 1, not shown in FIG. 5, and for determination the magnification of the microscope 1 evaluated.
  • the evaluation is described in more detail in PCT / EP 95/01311. In particular, reference is made there to FIGS. 1-7 and the description on pages 8-15. All of the variants specified there can be used sensibly, as far as measuring beam recording and evaluation are concerned.

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine verbesserte Entfernungsmessung unter Anwendung von Laserstrahlen, die zunächst im parallelen Strahlengang auf ein Objektiv (18) gerichtet und durch das Objectiv (18) in den Fokus gebündelt werden. Befindet sich die Objektebene nicht im Brennpunkt (A), sieht man zwei Laserleuchtpunkte (P) auf der Objektebene. Werden diese Laserleuchtpunkte noch codiert, z.B. in Form eines waagerechten oder senkrechten Striches durch entsprechende Vorschaltlinsen oder Schablonen vor dem Objektiv (18), so erhält man Abbildungen von Markierungen. Es könnte auch eine zeitliche Codierung vorgesehen sein, so dass beispielsweise einmal der eine Laser und dann der andere zeitversetzt aufblinkt. Der Abstand zwischen den beiden Laserleuchtpunkten ist ein Mass für die Entfernung des Hauptobjektivs (18) von der Objektebene, wobei dieses Mass rechnerisch abhängig ist von der Brennweite des Objektives (18) und der Stereobasis der beiden Leuchtlichtquellen vor dem Objektiv (18).

Description

Verfahren zur Entfernungsmessung und Entfernungsmesser
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Entfernungsmessung zwischen einem Objektiv und einem Objekt sowie einen Entfernungsmesser, der nach diesem Verfahren arbeitet.
Insbesondere im Zusammenhang mit Mikroskopen ist es für Anwender erforderlich, die Entfernung von ihrem Objekt zum Objektiv des Mikroskops zu kennen.
Verschiedenste Verfahren sind dazu vorgeschlagen worden. Beispielsweise gibt es Laufzeitmessungen mit pulscodierten Laserstrahlen. Verschiedene optische Verfahren wie Schnittbildverfahren oder Triangulationsverfahren sind ebenso bekannt. So wendet beispielsweise der sogenannte MKM-Mikroskop-Aufbau der Firma Zeiss einen pulsierenden Laserstrahl an, der auf den Fokus gerichtet ist. Befindet sich die Objektebene in Z-Richtung vor oder hinter der Fokalebene, so blinkt der Laserleuchtpunkt links oder rechts von der optischen Achse des Mikroskops. Während das erste Verfahren elektronisch aufwendig und in der Funktion fehlerbehaftet ist, erfordert das zweite Verfahren erheblichen optischen Aufwand.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zu Grunde, ein neues Verfahren zur Entfernungsmessung zu finden, das optisch leicht auszuwerten ist und eine sichere Entfernungsmessung zulässt.
Das Verfahren wird durch die Merkmale des Anspruches 1 erfindungsgemäss realisiert während die Vorrichtung entsprechend den Merkmalen des Patentanspruches 5 aufgebaut ist.
Ein wichtiger Gedanke besteht darin, zwei im wesentlichen parallele Strahlen (in der Regel, aber nicht ausschliesslich, sind es Laserstrahlen) im parallelen Strahlengang des Mikroskops auf das Objektiv bzw. durch das Objektiv zu richten. Auch wenn die Brennweite des Objektives nicht bekannt ist, kann diese exakt dadurch gemessen werden, dass die beiden Strahlen - im Fokus gebündelt - als ein einziger Leuchtpunkt erscheinen. Der Abstand zur Hauptebene des Objektives entspricht dann der Brennweite. Befindet sich die Objektebene jedoch nicht im Brennpunkt, d.h. in einem dazu unterschiedlichen Abstand, sieht man zwei Laserleuchtpunkte auf der Objektebene. Der Abstand der beiden Laser- leuchtpunkte zueinander ist ein Mass für den Unterschied zwischen der Fokalebene und der Objektebene. Die Entfernung kann rechnerisch in Abhängigkeit von der Brennweite des Objektivs und der Stereobasis der beiden Leuchtlichtquellen vom Objektiv ermittelt werden. Durch eine geometrische Codierung der Laserleuchtpunkte z.B. in einen waagrechten oder senkrechten Strich durch entsprechende Vorschaltlinsen oder Schablonen im Laserstrahlengang erhält man Abbildungen von solchen Markierungen, so dass auch ein negativer oder positiver Abstand zur Fokalebene detektiert werden kann.
Varianten dazu und weitere spezielle Ausbildungen sind in den abhängigen Ansprüchen beschrieben. So kann beispielsweise an Stelle der geometrischen Codierung eine zeitliche Codierung vorgesehen sein, bei der beispielsweise einmal der eine Laserstrahl und dann der andere zeitversetzt aufleuchtet. Erfindungsgemäss ist es nicht zwingend, dass die beiden Laserstrahlen tatsächlich in Parallelität vor dem parallelen Strahlengang des Objektivs vorliegen. Es sind beliebige Winkelabweichungen aus der Parallelität denkbar, sofern das Objektiv bzw. das Mikroskop nach Einbau der laserlichterzeugenden Elemente kalibriert wird und die Kalibration in der Rechnung berücksichtigt wird. Bei einer solchen Ausbildungsvariante zeigt ein bestimmter, definierter Leuchtpunkt- abstand in der Objektebene den fokussierten Zustand des Objektivs in Bezug auf die Objektebene an.
Die Genauigkeit der erfindungsgemässen Entfernungsmessung wird beeinflusst durch den Winkel χ, den die beiden Strahlen zueinander besitzen.
Ein gutes Messergebnis ergibt sich bei χ = 90°.
Von Bedeutung ist auch die Lage der Objektebene zur optischen Achse. Stehen diese senkrecht aufeinander, erfolgt die Messung problemlos. Eine Korrektur ist nicht nötig. Die Messpunkte liegen dann symmetrisch zur optischen Achse. Bei einer Unsymmetrie kann rechnerisch ausgeglichen werden, indem der jeweilige Abstand der jeweiligen Messpunkte von der optischen Achse gemessen und daraus auf die Schräglage der Objektebene rückgerechnet wird. Die Lage der optischen Achse kann dabei optisch insofern einfach erfasst werden, als sie durch den Schnittpunkt der Laserstrahlen angezeigt wird, sobald dieser sichtbar wird. Das Messsystem kann so kalibriert werden.
Selbstverständlich kann die Lichtfrequenz der Laserstrahlen im sichtbaren wie auch im unsichtbaren Bereich sein, sofern entsprechende Detektionsmittel vorgesehen sind. So können als Detektionsmittel beispielsweise im infraroten Bereich CCD's verwendet werden.
Anhand der Zeichnung ist die Erfindung beispielhaft näher dargestellt.
Es zeigen dabei:
Fig.1 ein Hauptobjektiv in einem symbolisch dargestellten Mikroskop mit erfindungsgemässer, stilisiert dargestellter Laserstrahlenanordnung;
Fig.2 eine Variante dazu;
Fig.3 eine symbolische Auswerteschaltung;
Fig.4 den Laserstrahlengang nach dem Hauptobjektiv;
Fig.5 eine Variante mit integrierter Entfemungs- und Vergrösserungsmessung und
Fig.6 eine Darstellung mit nicht senkrechter Bild-Objektebene
Trotz Darstellung der Erfindung anhand eines Mikroskops ist sie nicht auf die Mikroskopie eingeschränkt. Sie kann bei jeglichen Strahlengängen mit wenigstens einem Hauptobjektiv eingesetzt werden.
In einem Mikroskop 1 mit einem Hauptobjektiv 18, einem Okular 8 und einer optischen Achse 11 ist eine durchsichtige Trägerplatte 10 angeordnet, die zwei Umlenkspiegel 12a und 12b trägt. 12a und 12b fluchten im dargestellten Ausführungsbeispiel, das nicht einschränkend ist. Der Umlenkspiegel 12a ist ein halbdurchlässiger Teilerspiegel, so dass ein Laserstrahl 2, der von einer gegebenenfalls ausserhalb des Mikroskops angeordneten Laser-Strahlungsquelle 3 emittiert wird, in zwei Teilstrahlen 2a, 2b aufgespalten wird.
Den Umlenkspiegeln 12a, 12b nachgeschaltet sind Blenden 9a und 9b, die die Laserteilstrahlen 2a und 2b optisch codieren. Beim Durchtritt durch das Hauptobjektiv 18 werden die parallelen Laserteilstrahlen 2a und 2b in Richtung des in der Fokalebene A befindlichen Fokuspunktes 5 des Hauptobjektivs 18 abgewinkelt. Befindet sich nun ein Objekt 6 ausserhalb der Fokalebene A, so erzeugen die Laserteilstrahlen 2a und 2b zwei Leuchtmarkierungen 20a und 20b am Objekt 6. Die Entfernung 13 zwischen den beiden Leuchtmarkierungen 20a und 20b ist ein Mass für den Abstand Z zwischen der Hauptebene 7 des Hauptobjektivs 18 und dem Objekt 6 bzw. zur Differenz f (Brennweite) minus Z.
Figur 2 zeigt eine Variante für zeitcodierte Teilstrahlengänge 2a und 2b, die dadurch erzeugt werden, dass der Laserstrahl durch zwei Umlenkspiegel 17a und 17b, die miteinander fluchten, in Richtung weiterer Umlenkspiegel 12c, die miteinander nicht fluchten, jedoch vor dem Hauptobjektiv 18 angeordnet sind, umgelenkt wird. Der Umlenkspiegel 17a ist dabei teildurchlässig. Zwischen den Umlenkspiegeln 17 und 12 befindet sich eine rotierende Lochblende 14 mit einem Loch 16, die von einem Antrieb 15 in Rotation gesetzt wird. Nur wenn das Loch sich mit einem Teilstrahlengang 2a oder 2b deckt, kann dieser durch das Hauptobjektiv 18 fokussiert werden.
An Stelle der dargestellten Lochblende 14 sind selbstverständlich alle im Stand der Technik bekannten Shutter einsetzbar. Alternativ können auch zwei gepulste Laser zum Einsatz kommen. An Stelle einer geometrischen oder einer Pulscodierung kann selbstverständlich auch eine Farbcodierung vorgesehen sein. Die in Figur 1 und 2 dargestellten Varianten eignen sich theoretisch auch für die Entfernungsauslesung mit dem freien Auge. So kann beispielsweise im Betrachtungsstrahlengang eine Skalierung vorgesehen sein, die dem Anwender, der durch das Okular 8 blickt, eine Abstandsmessung zwischen den beiden Leuchtpunkten 20a und 20b ermöglicht. Die in Figur 3 dargestellte Auslese-Elektronik ist jedoch bevorzugt. Figur 3 ist als ein Detail des Aufbaus nach Figur 1 dargestellt. Ein planer durchsichtiger Optikträger 24 trägt etwa zentrisch einen Umlenkspiegel 25, der einen Teil der vom Objekt 6 kommenden Strahlung über ein Abbildungssystem 26 auf einen ortsempfindlichen optoelektronischen Detektor 27, z.B. ein CCD abbildet. Der Optikträger 24 ist unmittelbar hinter dem Hauptobjektiv 18 im Parallelstrahlen- gang angebracht. Die am Objekt 6 aufscheinenden Lichtbilder 20b und 20a können derart auf dem Detektor 27 abgebildet werden. An eine Auswerteeinheit 19 mit Auswertungssoftware und einem entsprechenden Rechner ist beispiels- weise angeschlossen: ein Anzeigedisplay 21 zum Angeben des Z-Abstandes. Ausgangsseitig können an die Auswerteeinheit 19 jedoch auch mikroskopsteuernde Bauteile angeschlossen werden, wie beispielsweise ein Autofokus 22 oder ein Ausgang 23 für stereotaktische Anwendungen, insbesondere zur relativen Positionsermittlung des Mikroskops 1 bzw. des Objektes 6.
Die Optikträger 10 bzw. 24 bzw. die kleinen Umlenkelemente 12a,b,c,17a,b können der Lehre der Patentanmeldungen PCT/EP 95/01311 bzw. PCT/EP 95/01301 entnommen werden. Selbstverständlich liegen im Rahmen der Erfindung auch alle anderen herkömmlichen Methoden für das Einspiegeln bzw. Entnehmen von Informationen aus einem Strahlengang. Die Methode mit den durchsichtigen Optikträgern ist jedoch bevorzugt.
Es ist nicht zwingend, dass vor dem Hauptobjektiv 18 ein paralleler Strahlengang herrscht, es können die Laserstrahlen auch in beliebigem Winkel durch das Hauptobjektiv 18 gehen, sofern es im Anschluss kalibriert ist und festgestellt wird, dass ein bestimmter Leuchtpunktabstand 13 in der Objektebene einem fokussierten Zustand des Hauptobjektives 18 in Bezug auf die Objektebene entspricht.
Die symbolische Darstellung von Figur 4 zeigt folgendes: Man sieht einen zu betrachtenden Punkt T vor dem Brennpunkt F. Der Laserstrahl S1 erzeugt in der Ebene B einen Punkt P(S1). Der Laserstrahl S2 erzeugt einen Punkt P(S2). P(S1) ist ungleich P(S2). Aus dem Abstand 13 der beiden Punkte ergibt sich der Abstand des betrachteten Punktes T zur Fokalebene A. Wenn man jetzt die Lage der beiden Punkte zueinander berücksichtigt, kann man eine Aussage treffen, ob der Abstand zwischen T und A ein positives oder negatives Vorzeichen erhält. Liegt der betrachtete Punkt T vor dem Brennpunkt F, ist P(S1) rechts von P(S2) durch das Mikroskop 1 gesehen, wenn umgekehrt, dann befindet sich der betrachtete Punkt T' hinter dem Brennpunkt F. Entscheidend bei dieser Betrachtung ist, dass diese beiden Punkte P(S1) und P(S2) getrennt aufgenommen werden können, d.h. sie müssen codiert sein. Es besteht, wie erwähnt, die Möglichkeit sie geometrisch zu codieren, so dass man also P (S1) und P(S2) voneinander unterscheiden kann oder sie entsprechend zeitlich zu codieren, indem man genau weiss wann P(S1) aufleuchtet und wann P(S2) aufleuchtet. Diese Informationen werden einem Rechner oder in ein Verfahren eingegeben, um daraus die Lage vor oder hinter dem Brennpunkt zu berechnen.
Figur 5 zeigt eine Variante, die nicht nur die Messung des Z-Abstandes erlaubt sondern darüber hinaus über Strahlenteiler 12c,d eine Vergrösserungsmessung (T-Messung) erlaubt. Hierzu wird der Laserstrahl 2 zusätzlich in die Teilstrahlen S2' und S2" aufgespalten, die miteinander einen definierten Winkel α bilden. Die Teilstrahlen S2' und S2" werden durch die weitere, in Fig. 5 nicht dargestellte Optik des Mikroskops 1 geführt und zur Bestimmung der Vergrößerung des Mikroskops 1 ausgewertet. Die Auswertung ist in der PCT/EP 95/01311 genauer beschrieben. Insbesondere ist dort auf die Fig. 1 - 7 und die Beschreibung Seiten 8 - 15 verwiesen. Alle dort angegebenen Varianten sind hier sinnvoll einsetzbar, was die Messstrahlaufnahme und Auswertung betrifft.
Fig. 6 zeigt die Problematik mit schräger Objektebene mit unsymmetrischen Abständen a1 und a2 zur optischen Achse 11.
Eine Kombination der Erfindung mit einer Vergrösserungsmessung, wie sie beispielsweise in der erwähnten PCT/EP 95/01311 beschrieben ist, ist vorteilhaft. Die dafür nötigen Angaben sind dem Fachmann aus dieser PCT Anmeldung ersichtlich; sie gelten daher als hierin geoffenbart. Bezugszeichenliste
A Fokalebene
B,C Ebenen von Objektoberflächen, die dem Hauptobjektiv 18 gegenüberliegen
1 Mikroskop
2 Laserstrahl
2a Laserteilstrahlen
2b Laserteilstrahlen
3 Laser
5 Fokuspunkt
6 Objekt
7 Hauptebene des Objektives 18
8 Okular
9a Blende
9b Blende
10 Durchsichtige Trägerplatte
11 Hauptachse des Strahlenganges
12a Umlenkspiegel, teildurchlässig
12b Umlenkspiegel
12c Nicht fluchtende Umlenkspiegel
13 Entfernung zwischen den Leuchtmarkierungen 20a und 20b, die auf der Objektoberfläche erzeugt werden 14 Rotierende Lochblende / Shutterrad
15 Antrieb für Lochblende
16 Loch
17 Umlenkspiegel für Zeitcodierung / Strahlaufteilvorrichtung
17a fluchtender Umlenkspiegel, teildurchlässig
17b fluchtender Umlenkspiegel
18 Hauptobjektiv
19 Auswerteeinheit mit Auswertungssoftware
20a Leuchtmarkierung / Lichtbild
20b Leuchtmarkierung / Lichtbild
21 Abstandsanzeige
22 Autofokus
23 Ausgang für stereotaktische Anwendungen
24 Optikträger
25 Umlenkspiegel
26 Abbildungssystem
27 Detektor (z.B. CCD)
Z Abstand zwischen Objektoberfläche und Hauptobjektiv 18
χ Winkel zwischen den Laserteilstrahlen S1 ,S2
S1.S2 Laserteilstrahlen 2a,2b nach ihrem Durchgang durch das Hauptobjektiv 18

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zur Messung eines Abstandes (Z) zwischen der Objektoberfläche eines Objekts (6) und einem Hauptobjektiv (18) mit Hilfe einer optischen Strahlung, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens zwei Teilstrahlen (2a, b) der Strahlung im parallelen Strahlengang vor dem Hauptobjektiv (18) durch dieses auf das Objekt (6) gerichtet werden, wobei das Schnittbild der Teilstrahlen (2a, b) mit der Oberfläche des Objektes (6) als Mass für die rechnerische Ermittlung des Abstandes (Z) in einer Auswerteeinheit (19) ausgewertet wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die zwei Teilstrahlen (2a, b) durch das Aufsplitten eines einzigen Strahls (2) mittels wenigstens eines teildurchlässigen Spiegels (12a; 17a) erzeugt werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass jeder Teilstrahl (2a,b) gegebenenfalls über Blenden (9a, 9b) unterscheidbar geometrisch codiert wird, wobei bei der Auswertung ein Rechts-links-
Wechsel der abgebildeten Teilstrahlenbilder um die optische Achse (11) eine plus-minus Z-Verschiebung des Objektes (6) um die Fokalebene (A) darstellt.
4. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Teilstrahlen (2a,b) färb- bzw. frequenzcodiert oder impulsmoduliert werden, wobei bei der Auswertung dementsprechend Farbfilter oder Bildpunktintegratoren angewendet werden.
5. Vorrichtung zur Durchführung eines Verfahrens nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass hinter dem Hauptobjektiv (18) wenigstens eine optische Strahlungsquelle (3) angeordnet ist, die wenigstens zwei Teilstrahlen (2a, b) durch das Hauptobjektiv (18) in
Richtung Objekt (6) sendet.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass für das
Einblenden der Teilstrahlen (2a, b) und/oder das Ausblenden eines Teils der vom Objekt (6) kommenden Strahlung durchsichtige flache Optikträger (10,24) mit darauf angeordneten kleinen teildurchlässigen und/oder ausschliesslich reflektierenden Umlenkspiegeln (12,25) vorgesehen sind.
7. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass unmittelbar hinter dem Hauptobjektiv (18) die Bildinformation der beiden Teilstrahlen (2a, b) am Objekt (6) auf einem ortsauflösenden optoelektronischen Detektor (27) abgebildet werden, wobei der Detektor (27) mit der Auswerteeinheit (19) und die Auswerteeinheit (19) gegebenenfalls mit einer Abstandsanzeige (21) und/oder mit einer Einrichtung für einen Autofokus (22) und/oder mit einem Ausgang (23) für stereotaktische Messzwecke verbunden ist.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5-7 zur Durchführung eines Verfahrens mit pulsmodulierten Teilstrahlen (2a, b), dadurch gekennzeichnet, dass der Strahlungsquelle (3) eine Strahlaufteilvorrichtung (17) zugeordnet ist, der ein Shutterrad (14) oder eine drehbare Lochblende (14) oder LCD-Shutterelemente vorgeschaltet sind.
9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche 5 - 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Licht der Teilstrahlen (2a, b) im infraroten Bereich gewählt ist.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass zusätzliche Teilerspiegel (12c,d) im Strahlengang angeordnet sind zur Erzeugung zweier Teilstrahlen S2' und S2", die hinsichtlich der Bestimmung der Vergrösserung des optischen Systems auswertbar sind (vergleiche
PCT/EP/01311).
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