[go: up one dir, main page]

WO1998052279A1 - Dispositif a onde elastique - Google Patents

Dispositif a onde elastique Download PDF

Info

Publication number
WO1998052279A1
WO1998052279A1 PCT/JP1997/001584 JP9701584W WO9852279A1 WO 1998052279 A1 WO1998052279 A1 WO 1998052279A1 JP 9701584 W JP9701584 W JP 9701584W WO 9852279 A1 WO9852279 A1 WO 9852279A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
polycrystal silicon
wave device
film
elastic
silicon dioxide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP1997/001584
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Inventor
Atsushi Isobe
Mitsutaka Hikita
Nobuhiko Shibagaki
Kengo Asai
Chisaki Takubo
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to PCT/JP1997/001584 priority Critical patent/WO1998052279A1/fr
Publication of WO1998052279A1 publication Critical patent/WO1998052279A1/fr
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/05—Holders or supports
    • H03H9/10—Mounting in enclosures
    • H03H9/1064—Mounting in enclosures for surface acoustic wave [SAW] devices
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
    • H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
    • H03H3/08—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of resonators or networks using surface acoustic waves
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/0222—Details of interface-acoustic, boundary, pseudo-acoustic or Stonely wave devices
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/05—Holders or supports
    • H03H9/0538—Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements
    • H03H9/0542—Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements consisting of a lateral arrangement
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/05—Holders or supports
    • H03H9/058—Holders or supports for surface acoustic wave devices
    • H03H9/0585—Holders or supports for surface acoustic wave devices consisting of an adhesive layer
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/05—Holders or supports
    • H03H9/058—Holders or supports for surface acoustic wave devices
    • H03H9/059—Holders or supports for surface acoustic wave devices consisting of mounting pads or bumps

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

Dans le but de réaliser un dispositif à onde élastique subminiature, qui présente des caractéristiques électriques comparables à au moins celles d'un dispositif à onde de surface élastique classique et dont la fiabilité n'est pas diminuée même en cas d'obturation par résine ou d'encapsulation des puces nues, un dispositif à onde superficielle élastique à trois constituants, dans lequel des films (29, 30) d'au moins deux types sont formés sur un substrat piézo-électrique (28), est excité. Un film de dioxyde de silicium polycristallin (29) et un film de silicium polycristallin (30) sont formés sur le substrat piézo-électrique pourvu d'une électrode interdigitée (14). Ce substrat piézo-électrique est formé d'une substance monocristalline. Le film de dioxyde de silicium polycristallin et le film de silicium polycristallin sont formés par pulvérisation cathodique, dépôt chimique en phase vapeur et enrobage. La formation du film de silicium polycristallin permet de confiner au film de dioxyde de silicium polycristallin l'onde élastique excitée par l'électrode interdigitée, et même lorsque la qualité du film de silicium polycristallin est détériorée, le dispositif à onde superficielle élastique présente des caractéristiques électriques supérieures à celles d'un dispositif à onde de surface élastique classique. De même, puisque le film de dioxyde de silicium polycristallin et le film de silicium polycristallin protègent l'électrode interdigitée, le dispositif à onde superficielle élastique présente une fiabilité élevée.
PCT/JP1997/001584 1997-05-12 1997-05-12 Dispositif a onde elastique Ceased WO1998052279A1 (fr)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP1997/001584 WO1998052279A1 (fr) 1997-05-12 1997-05-12 Dispositif a onde elastique

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP1997/001584 WO1998052279A1 (fr) 1997-05-12 1997-05-12 Dispositif a onde elastique

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO1998052279A1 true WO1998052279A1 (fr) 1998-11-19

Family

ID=14180518

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP1997/001584 Ceased WO1998052279A1 (fr) 1997-05-12 1997-05-12 Dispositif a onde elastique

Country Status (1)

Country Link
WO (1) WO1998052279A1 (fr)

Cited By (58)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6046656A (en) * 1997-05-08 2000-04-04 Kabushiki Kaisha Toshiba Elastic boundary wave device and method of its manufacture
JP2003512637A (ja) * 1999-10-15 2003-04-02 トルノワ，ピエ−ル インターフェース音波フィルタ、特に無線接続用
WO2004070946A1 (fr) * 2003-02-10 2004-08-19 Murata Manufacturing Co., Ltd. Dispositif à onde limite élastique
WO2004095699A1 (fr) * 2003-04-18 2004-11-04 Murata Manufacturing Co., Ltd. Dispositif a onde limite elastique
WO2005060094A1 (fr) 2003-12-16 2005-06-30 Murata Manufacturing Co., Ltd. Dispositif a onde limite acoustique
WO2005069486A1 (fr) 2004-01-19 2005-07-28 Murata Manufacturing Co., Ltd. Dispositif a onde limite acoustique
WO2005086345A1 (fr) * 2004-03-05 2005-09-15 Murata Manufacturing Co., Ltd. Dispositif d’onde acoustique limite
WO2005093949A1 (fr) * 2004-03-29 2005-10-06 Murata Manufacturing Co., Ltd. Procédé de fabrication de dispositif à onde acoustique limite et dispositif à onde acoustique limite
WO2005099091A1 (fr) * 2004-04-08 2005-10-20 Murata Manufacturing Co., Ltd. Filtre d’onde interne élastique
WO2006109591A1 (fr) * 2005-04-08 2006-10-19 Murata Manufacturing Co., Ltd. Element a onde elastique
WO2006114930A1 (fr) * 2005-04-25 2006-11-02 Murata Manufacturing Co., Ltd. Dispositif a ondes acoustiques de bord
WO2006126327A1 (fr) * 2005-05-26 2006-11-30 Murata Manufacturing Co., Ltd. Dispositif a onde acoustique limite
JP2007028195A (ja) * 2005-07-15 2007-02-01 Murata Mfg Co Ltd 弾性境界波装置及びその製造方法
WO2007085237A1 (fr) * 2006-01-26 2007-08-02 Epcos Ag Composant électroacoustique
JP2007267366A (ja) * 2006-02-28 2007-10-11 Fujitsu Media Device Kk 弾性境界波素子、共振器およびフィルタ
WO2007124732A1 (fr) * 2006-04-28 2007-11-08 Epcos Ag Composant électroacoustique
WO2007138840A1 (fr) * 2006-05-30 2007-12-06 Murata Manufacturing Co., Ltd. Dispositif à onde acoustique limite
JP2008067289A (ja) * 2006-09-11 2008-03-21 Fujitsu Media Device Kk 弾性波デバイスおよびフィルタ
JP2008072316A (ja) * 2006-09-13 2008-03-27 Fujitsu Media Device Kk 弾性波デバイス、共振器およびフィルタ
WO2008035546A1 (fr) * 2006-09-21 2008-03-27 Murata Manufacturing Co., Ltd. dispositif À onde SUPERFICIELLE Élastique
WO2008038459A1 (fr) 2006-09-25 2008-04-03 Murata Manufacturing Co., Ltd. Filtre d'onde acoustique limite
JP2008078739A (ja) * 2006-09-19 2008-04-03 Fujitsu Media Device Kk 弾性波デバイスおよびフィルタ
WO2008044411A1 (fr) * 2006-10-12 2008-04-17 Murata Manufacturing Co., Ltd. Dispositif à ondes limites élastiques
JP2008118576A (ja) * 2006-11-07 2008-05-22 Fujitsu Media Device Kk 弾性波デバイス
WO2008078481A1 (fr) 2006-12-25 2008-07-03 Murata Manufacturing Co., Ltd. Dispositif à onde limite élastique
WO2008146489A1 (fr) * 2007-05-28 2008-12-04 Panasonic Corporation Substrat d'onde élastique aux limites et élément fonctionnel d'ondes élastiques aux limites utilisant le substrat
US7466061B2 (en) 2006-06-06 2008-12-16 Fujitsu Limited Acoustic boundary wave device, resonator and filter
JP2009010927A (ja) * 2007-05-28 2009-01-15 Kazuhiko Yamanouchi 弾性境界波基板とその基板を用いた弾性境界波機能素子。
US7489064B2 (en) 2005-07-22 2009-02-10 Murata Manufacturing Co., Ltd Boundary acoustic wave device
WO2009054121A1 (fr) * 2007-10-23 2009-04-30 Panasonic Corporation Dispositif à ondes acoustiques d'interface
WO2009066367A1 (fr) * 2007-11-19 2009-05-28 Fujitsu Limited Dispositif à onde d'interface élastique et équipement de communication utilisant celui-ci
JP2009159039A (ja) * 2007-12-25 2009-07-16 Panasonic Corp 弾性境界波デバイス、及びそれを用いたフィルタ、アンテナ共用器
JP2009267905A (ja) * 2008-04-28 2009-11-12 Panasonic Corp 弾性波素子と、これを用いたフィルタ及び電子機器
EP2128980A2 (fr) 2008-05-30 2009-12-02 Hitachi Ltd. Dispositif d'onde acoustique et filtre haute fréquence l'utilisant
CN100586011C (zh) * 2003-02-10 2010-01-27 株式会社村田制作所 边界声波器件
WO2010016192A1 (fr) * 2008-08-08 2010-02-11 株式会社村田製作所 Dispositif à ondes acoustiques
WO2010016246A1 (fr) * 2008-08-07 2010-02-11 パナソニック株式会社 Élément à ondes élastiques et dispositif électronique l'utilisant
WO2010052914A1 (fr) * 2008-11-10 2010-05-14 パナソニック株式会社 Élément à ondes élastiques et dispositif électronique l'utilisant
WO2010079575A1 (fr) * 2009-01-07 2010-07-15 株式会社村田製作所 Dispositif à ondes limites élastiques
EP2211462A2 (fr) 2009-01-26 2010-07-28 Murata Manufacturing Co., Ltd. Dispositif d'ondes acoustiques
WO2010119796A1 (fr) * 2009-04-14 2010-10-21 株式会社村田製作所 Dispositif à onde acoustique limite
WO2010131607A1 (fr) * 2009-05-12 2010-11-18 株式会社村田製作所 Dispositif à ondes limites élastiques
CN1902817B (zh) * 2004-01-13 2010-12-15 株式会社村田制作所 边界声波装置
DE112009000963T5 (de) 2008-04-30 2011-02-17 Murata Manufacturing Co. Ltd. Grenzschallwellenvorrichtung
EP2288027A2 (fr) 2009-08-17 2011-02-23 Hitachi Media Electronics Co., Ltd. Dispositif d'onde élastique
US7898145B2 (en) 2006-09-25 2011-03-01 Murata Manufacturing Co., Ltd. Boundary acoustic wave device
US7915786B2 (en) 2007-08-14 2011-03-29 Taiyo Yuden Co., Ltd. Elastic boundary wave device
US8049577B2 (en) 2007-11-15 2011-11-01 Taiyo Yuden Co., Ltd. Elastic wave device, duplexer using the same, and communication apparatus using the duplexer
JP2012503394A (ja) * 2008-09-18 2012-02-02 フランス国 界面音響波デバイス
DE102011113479A1 (de) 2010-09-08 2012-03-08 Hitachi Media Electronics Co., Ltd. Akustisches Oberflächenwellen-Bauteil (SAW-Bauteil)
US8198781B2 (en) 2006-09-27 2012-06-12 Murata Manufacturing Co., Ltd. Boundary acoustic wave device
US8222972B2 (en) 2007-10-30 2012-07-17 Taiyo Yuden Co., Ltd. Acoustic wave element, duplexer, communication module, and communication apparatus
US8258891B2 (en) 2009-02-27 2012-09-04 Taiyo Yuden Co., Ltd. Acoustic wave device, duplexer, communication module, communication apparatus, and manufacturing method for acoustic wave device
US8269577B2 (en) 2008-10-31 2012-09-18 Taiyo Yuden Co., Ltd. Acoustic wave filter, duplexer, communication module, and communication apparatus
US8553391B2 (en) 2010-09-16 2013-10-08 Murata Manufacturing Co., Ltd. Electronic component
US8629598B2 (en) 2008-05-12 2014-01-14 Murata Manufactruing Co., Ltd. Boundary acoustic wave device
US11616487B2 (en) 2018-04-18 2023-03-28 Skyworks Solutions, Inc. Acoustic wave devices on stacked die
US12470198B2 (en) 2019-12-03 2025-11-11 Skyworks Solutions, Inc. Laterally excited bulk wave device with acoustic mirrors

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54158895A (en) * 1978-06-06 1979-12-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd Elastic surface wave device
JPS5631213A (en) * 1979-08-24 1981-03-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd Surface elastic wave element
JPH04258008A (ja) * 1991-02-12 1992-09-14 Murata Mfg Co Ltd 弾性表面波装置の製造方法
JPH0567941A (ja) * 1991-09-09 1993-03-19 Sumitomo Electric Ind Ltd 弾性表面波素子

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54158895A (en) * 1978-06-06 1979-12-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd Elastic surface wave device
JPS5631213A (en) * 1979-08-24 1981-03-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd Surface elastic wave element
JPH04258008A (ja) * 1991-02-12 1992-09-14 Murata Mfg Co Ltd 弾性表面波装置の製造方法
JPH0567941A (ja) * 1991-09-09 1993-03-19 Sumitomo Electric Ind Ltd 弾性表面波素子

Cited By (131)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6046656A (en) * 1997-05-08 2000-04-04 Kabushiki Kaisha Toshiba Elastic boundary wave device and method of its manufacture
JP2003512637A (ja) * 1999-10-15 2003-04-02 トルノワ，ピエ−ル インターフェース音波フィルタ、特に無線接続用
JP4820037B2 (ja) * 1999-10-15 2011-11-24 トルノワ，ピエ−ル インターフェース音波フィルタ、特に無線接続用
CN100586011C (zh) * 2003-02-10 2010-01-27 株式会社村田制作所 边界声波器件
WO2004070946A1 (fr) * 2003-02-10 2004-08-19 Murata Manufacturing Co., Ltd. Dispositif à onde limite élastique
KR100766263B1 (ko) * 2003-02-10 2007-10-15 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 탄성 경계파 장치
US7471027B2 (en) 2003-02-10 2008-12-30 Murata Manufacturing Co., Ltd. Elastic boundary wave device
KR100851219B1 (ko) * 2003-02-10 2008-08-07 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 탄성 경계파 장치
US7453184B2 (en) 2003-04-18 2008-11-18 Murata Manufacturing Co., Ltd. Boundary acoustic wave device
DE112004000499B4 (de) * 2003-04-18 2011-05-05 Murata Mfg. Co., Ltd., Nagaokakyo-shi Grenzakustikwellenbauelement
WO2004095699A1 (fr) * 2003-04-18 2004-11-04 Murata Manufacturing Co., Ltd. Dispositif a onde limite elastique
JP2009177829A (ja) * 2003-04-18 2009-08-06 Murata Mfg Co Ltd 弾性境界波装置
US7737603B2 (en) 2003-12-16 2010-06-15 Murata Manufacturiing Co., Ltd. Boundary acoustic wave device
KR100785242B1 (ko) * 2003-12-16 2007-12-12 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 탄성 경계파 장치
CN1894850B (zh) * 2003-12-16 2010-08-25 株式会社村田制作所 声界面波装置
JP2009290914A (ja) * 2003-12-16 2009-12-10 Murata Mfg Co Ltd 弾性境界波装置
WO2005060094A1 (fr) 2003-12-16 2005-06-30 Murata Manufacturing Co., Ltd. Dispositif a onde limite acoustique
CN1902817B (zh) * 2004-01-13 2010-12-15 株式会社村田制作所 边界声波装置
JP2009225476A (ja) * 2004-01-19 2009-10-01 Murata Mfg Co Ltd 弾性境界波装置
US7486001B2 (en) 2004-01-19 2009-02-03 Murata Manufacturing Co., Ltd. Boundary acoustic wave device
US8381386B2 (en) 2004-01-19 2013-02-26 Murata Manufacturing Co., Ltd. Method of manufacturing a boundary acoustic wave device
US8677604B2 (en) * 2004-01-19 2014-03-25 Murata Manufacturing Co., Ltd. Method of manufacturing boundary acoustic wave device
KR100821483B1 (ko) * 2004-01-19 2008-04-10 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 탄성 경계파 장치
EP1635459A4 (fr) * 2004-01-19 2011-03-30 Murata Manufacturing Co Dispositif a onde limite acoustique
KR100850861B1 (ko) * 2004-01-19 2008-08-06 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 탄성 경계파 장치
WO2005069486A1 (fr) 2004-01-19 2005-07-28 Murata Manufacturing Co., Ltd. Dispositif a onde limite acoustique
US7323803B2 (en) 2004-03-05 2008-01-29 Murata Manufacturing Co., Ltd. Boundary acoustic wave device
WO2005086345A1 (fr) * 2004-03-05 2005-09-15 Murata Manufacturing Co., Ltd. Dispositif d’onde acoustique limite
US7322093B2 (en) 2004-03-29 2008-01-29 Murata Manufacturing Co., Ltd. Method for producing a boundary acoustic wave device
JPWO2005093949A1 (ja) * 2004-03-29 2008-02-14 株式会社村田製作所 弾性境界波装置の製造方法及び弾性境界波装置
JP4535067B2 (ja) * 2004-03-29 2010-09-01 株式会社村田製作所 弾性境界波装置の製造方法及び弾性境界波装置
WO2005093949A1 (fr) * 2004-03-29 2005-10-06 Murata Manufacturing Co., Ltd. Procédé de fabrication de dispositif à onde acoustique limite et dispositif à onde acoustique limite
EP2383888A3 (fr) * 2004-03-29 2012-08-01 Murata Manufacturing Co., Ltd. Procédé de fabrication d'un dispositif à ondes acoustiques d'interface et dispositif à ondes acoustiques d'interface
JP2010166592A (ja) * 2004-03-29 2010-07-29 Murata Mfg Co Ltd 弾性境界波装置の製造方法及び弾性境界波装置
CN103187944A (zh) * 2004-03-29 2013-07-03 株式会社村田制作所 声界面波装置的制造方法
KR100804407B1 (ko) 2004-03-29 2008-02-15 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 탄성 경계파 장치의 제조방법
CN101741342A (zh) * 2004-03-29 2010-06-16 株式会社村田制作所 声界面波装置
JP4497159B2 (ja) * 2004-04-08 2010-07-07 株式会社村田製作所 弾性境界波フィルタ
JPWO2005099091A1 (ja) * 2004-04-08 2008-03-06 株式会社村田製作所 弾性境界波フィルタ
JP2010068546A (ja) * 2004-04-08 2010-03-25 Murata Mfg Co Ltd 弾性境界波フィルタ
WO2005099091A1 (fr) * 2004-04-08 2005-10-20 Murata Manufacturing Co., Ltd. Filtre d’onde interne élastique
US7310027B2 (en) 2004-04-08 2007-12-18 Murata Manufacturing Co., Ltd. Boundary acoustic wave filter
WO2006109591A1 (fr) * 2005-04-08 2006-10-19 Murata Manufacturing Co., Ltd. Element a onde elastique
CN101116244B (zh) * 2005-04-08 2010-08-25 株式会社村田制作所 弹性波元件
US7501916B2 (en) 2005-04-08 2009-03-10 Murata Manufacturing Co., Ltd. Elastic wave device having an electrode finger with a side edge projection
WO2006114930A1 (fr) * 2005-04-25 2006-11-02 Murata Manufacturing Co., Ltd. Dispositif a ondes acoustiques de bord
EP1879291A4 (fr) * 2005-04-25 2012-02-22 Murata Manufacturing Co Dispositif a ondes acoustiques de bord
US8710713B2 (en) 2005-04-25 2014-04-29 Murata Manufacturing Co., Ltd. Boundary acoustic wave device
WO2006126327A1 (fr) * 2005-05-26 2006-11-30 Murata Manufacturing Co., Ltd. Dispositif a onde acoustique limite
US7456544B2 (en) 2005-05-26 2008-11-25 Murata Manufacturing Co., Ltd. Boundary acoustic wave device
JP2007028195A (ja) * 2005-07-15 2007-02-01 Murata Mfg Co Ltd 弾性境界波装置及びその製造方法
US7489064B2 (en) 2005-07-22 2009-02-10 Murata Manufacturing Co., Ltd Boundary acoustic wave device
US7999436B2 (en) 2006-01-26 2011-08-16 Epcos Ag Electroacoustic component
WO2007085237A1 (fr) * 2006-01-26 2007-08-02 Epcos Ag Composant électroacoustique
JP2007267366A (ja) * 2006-02-28 2007-10-11 Fujitsu Media Device Kk 弾性境界波素子、共振器およびフィルタ
US7696674B2 (en) 2006-04-28 2010-04-13 Epcos Ag Electroacoustic component operating with guided bulk acoustic waves
JP2009535869A (ja) * 2006-04-28 2009-10-01 エプコス アクチエンゲゼルシャフト 電気音響部品
WO2007124732A1 (fr) * 2006-04-28 2007-11-08 Epcos Ag Composant électroacoustique
JPWO2007138840A1 (ja) * 2006-05-30 2009-10-01 株式会社村田製作所 弾性境界波装置
JP4715922B2 (ja) * 2006-05-30 2011-07-06 株式会社村田製作所 弾性境界波装置
WO2007138840A1 (fr) * 2006-05-30 2007-12-06 Murata Manufacturing Co., Ltd. Dispositif à onde acoustique limite
US7772742B2 (en) 2006-05-30 2010-08-10 Murata Manufacturing Co., Ltd. Boundary acoustic wave device
US7466061B2 (en) 2006-06-06 2008-12-16 Fujitsu Limited Acoustic boundary wave device, resonator and filter
JP2008067289A (ja) * 2006-09-11 2008-03-21 Fujitsu Media Device Kk 弾性波デバイスおよびフィルタ
US7573178B2 (en) 2006-09-13 2009-08-11 Fujitsu Media Devices Limited Acoustic wave device, resonator and filter
JP2008072316A (ja) * 2006-09-13 2008-03-27 Fujitsu Media Device Kk 弾性波デバイス、共振器およびフィルタ
JP2008078739A (ja) * 2006-09-19 2008-04-03 Fujitsu Media Device Kk 弾性波デバイスおよびフィルタ
US7642694B2 (en) 2006-09-21 2010-01-05 Murata Manufacturing Co., Ltd. Boundary acoustic wave device
JP4760911B2 (ja) * 2006-09-21 2011-08-31 株式会社村田製作所 弾性境界波装置
DE112007002083B4 (de) 2006-09-21 2018-05-30 Murata Manufacturing Co., Ltd. Grenzflächenschallwellenvorrichtung
JPWO2008035546A1 (ja) * 2006-09-21 2010-01-28 株式会社村田製作所 弾性境界波装置
WO2008035546A1 (fr) * 2006-09-21 2008-03-27 Murata Manufacturing Co., Ltd. dispositif À onde SUPERFICIELLE Élastique
WO2008038459A1 (fr) 2006-09-25 2008-04-03 Murata Manufacturing Co., Ltd. Filtre d'onde acoustique limite
US7808344B2 (en) 2006-09-25 2010-10-05 Murata Manufacturing Co., Ltd. Boundary acoustic wave filter
US7898145B2 (en) 2006-09-25 2011-03-01 Murata Manufacturing Co., Ltd. Boundary acoustic wave device
US8198781B2 (en) 2006-09-27 2012-06-12 Murata Manufacturing Co., Ltd. Boundary acoustic wave device
WO2008044411A1 (fr) * 2006-10-12 2008-04-17 Murata Manufacturing Co., Ltd. Dispositif à ondes limites élastiques
US7888841B2 (en) 2006-10-12 2011-02-15 Murata Manufacturing Co., Ltd. Boundary acoustic wave device
JP2008118576A (ja) * 2006-11-07 2008-05-22 Fujitsu Media Device Kk 弾性波デバイス
US8049395B2 (en) 2006-12-25 2011-11-01 Murata Manufacturing Co., Ltd. Boundary acoustic wave device
WO2008078481A1 (fr) 2006-12-25 2008-07-03 Murata Manufacturing Co., Ltd. Dispositif à onde limite élastique
US8508101B2 (en) 2007-05-28 2013-08-13 Panasonic Corporation Elastic boundary wave substrate and elastic boundary wave functional element using the substrate
WO2008146489A1 (fr) * 2007-05-28 2008-12-04 Panasonic Corporation Substrat d'onde élastique aux limites et élément fonctionnel d'ondes élastiques aux limites utilisant le substrat
JP2009010927A (ja) * 2007-05-28 2009-01-15 Kazuhiko Yamanouchi 弾性境界波基板とその基板を用いた弾性境界波機能素子。
US7915786B2 (en) 2007-08-14 2011-03-29 Taiyo Yuden Co., Ltd. Elastic boundary wave device
WO2009054121A1 (fr) * 2007-10-23 2009-04-30 Panasonic Corporation Dispositif à ondes acoustiques d'interface
US8154171B2 (en) 2007-10-23 2012-04-10 Panasonic Corporation Boundary acoustic wave device
JP5041004B2 (ja) * 2007-10-23 2012-10-03 パナソニック株式会社 弾性境界波装置
US8222972B2 (en) 2007-10-30 2012-07-17 Taiyo Yuden Co., Ltd. Acoustic wave element, duplexer, communication module, and communication apparatus
USRE48129E1 (en) 2007-11-15 2020-07-28 Taiyo Yuden Co., Ltd. Elastic wave device, duplexer using the same, and communication apparatus using the duplexer
US8049577B2 (en) 2007-11-15 2011-11-01 Taiyo Yuden Co., Ltd. Elastic wave device, duplexer using the same, and communication apparatus using the duplexer
KR101035173B1 (ko) 2007-11-19 2011-05-17 다이요 유덴 가부시키가이샤 탄성 경계파 디바이스, 및 그것을 이용한 통신기
WO2009066367A1 (fr) * 2007-11-19 2009-05-28 Fujitsu Limited Dispositif à onde d'interface élastique et équipement de communication utilisant celui-ci
US8264299B2 (en) 2007-11-19 2012-09-11 Taiyo Yuden Co., Ltd. Boundary acoustic wave device and communication equipment
JP4995923B2 (ja) * 2007-11-19 2012-08-08 太陽誘電株式会社 弾性境界波デバイス、およびそれを用いた通信機
JP2009159039A (ja) * 2007-12-25 2009-07-16 Panasonic Corp 弾性境界波デバイス、及びそれを用いたフィルタ、アンテナ共用器
JP2009267905A (ja) * 2008-04-28 2009-11-12 Panasonic Corp 弾性波素子と、これを用いたフィルタ及び電子機器
DE112009000963T5 (de) 2008-04-30 2011-02-17 Murata Manufacturing Co. Ltd. Grenzschallwellenvorrichtung
US8436510B2 (en) 2008-04-30 2013-05-07 Murata Manufacturing Co., Ltd. Boundary acoustic wave device
DE112009000963B4 (de) * 2008-04-30 2015-11-12 Murata Manufacturing Co., Ltd. Grenzschallwellenvorrichtung
US8629598B2 (en) 2008-05-12 2014-01-14 Murata Manufactruing Co., Ltd. Boundary acoustic wave device
US7994878B2 (en) 2008-05-30 2011-08-09 Hitachi, Ltd. Acoustic wave device and high-frequency filter using the same
EP2128980A2 (fr) 2008-05-30 2009-12-02 Hitachi Ltd. Dispositif d'onde acoustique et filtre haute fréquence l'utilisant
JP2010011440A (ja) * 2008-05-30 2010-01-14 Hitachi Ltd 弾性波装置及びそれを用いた高周波フィルタ
WO2010016246A1 (fr) * 2008-08-07 2010-02-11 パナソニック株式会社 Élément à ondes élastiques et dispositif électronique l'utilisant
US8183737B2 (en) 2008-08-08 2012-05-22 Murata Manufacturing Co., Ltd. Surface acoustic wave device including electrode fingers partially disposed in grooves in a piezoelectric substrate
JP5035421B2 (ja) * 2008-08-08 2012-09-26 株式会社村田製作所 弾性波装置
WO2010016192A1 (fr) * 2008-08-08 2010-02-11 株式会社村田製作所 Dispositif à ondes acoustiques
JP2012503394A (ja) * 2008-09-18 2012-02-02 フランス国 界面音響波デバイス
US8269577B2 (en) 2008-10-31 2012-09-18 Taiyo Yuden Co., Ltd. Acoustic wave filter, duplexer, communication module, and communication apparatus
US8598968B2 (en) 2008-11-10 2013-12-03 Panasonic Corporation Elastic wave element and electronic device using the same
CN102204094A (zh) * 2008-11-10 2011-09-28 松下电器产业株式会社 弹性波元件及使用了该弹性波元件的电子设备
WO2010052914A1 (fr) * 2008-11-10 2010-05-14 パナソニック株式会社 Élément à ondes élastiques et dispositif électronique l'utilisant
JPWO2010052914A1 (ja) * 2008-11-10 2012-04-05 パナソニック株式会社 弾性波素子と、これを用いた電子機器
US8179017B2 (en) 2009-01-07 2012-05-15 Murata Manufacturing Co., Ltd. Boundary acoustic wave device having three-medium structure
WO2010079575A1 (fr) * 2009-01-07 2010-07-15 株式会社村田製作所 Dispositif à ondes limites élastiques
US8264122B2 (en) 2009-01-26 2012-09-11 Murata Manufacturing Co., Ltd. Acoustic wave device
EP2211462A2 (fr) 2009-01-26 2010-07-28 Murata Manufacturing Co., Ltd. Dispositif d'ondes acoustiques
US8258891B2 (en) 2009-02-27 2012-09-04 Taiyo Yuden Co., Ltd. Acoustic wave device, duplexer, communication module, communication apparatus, and manufacturing method for acoustic wave device
JP5120497B2 (ja) * 2009-04-14 2013-01-16 株式会社村田製作所 弾性境界波装置
US8525385B2 (en) 2009-04-14 2013-09-03 Murata Manufacturing Co., Ltd. Boundary acoustic wave device
WO2010119796A1 (fr) * 2009-04-14 2010-10-21 株式会社村田製作所 Dispositif à onde acoustique limite
WO2010131607A1 (fr) * 2009-05-12 2010-11-18 株式会社村田製作所 Dispositif à ondes limites élastiques
EP2288027A2 (fr) 2009-08-17 2011-02-23 Hitachi Media Electronics Co., Ltd. Dispositif d'onde élastique
DE102011113479A1 (de) 2010-09-08 2012-03-08 Hitachi Media Electronics Co., Ltd. Akustisches Oberflächenwellen-Bauteil (SAW-Bauteil)
US8553391B2 (en) 2010-09-16 2013-10-08 Murata Manufacturing Co., Ltd. Electronic component
US11616487B2 (en) 2018-04-18 2023-03-28 Skyworks Solutions, Inc. Acoustic wave devices on stacked die
US11689178B2 (en) 2018-04-18 2023-06-27 Skyworks Solutions, Inc. Acoustic wave device with multi-layer piezoelectric substrate
US11894828B2 (en) 2018-04-18 2024-02-06 Skyworks Solutions, Inc. Boundary acoustic wave device
US12334899B2 (en) 2018-04-18 2025-06-17 Skyworks Solutions, Inc. Acoustic wave devices on stacked die
US12470198B2 (en) 2019-12-03 2025-11-11 Skyworks Solutions, Inc. Laterally excited bulk wave device with acoustic mirrors

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO1998052279A1 (fr) Dispositif a onde elastique
TW352365B (en) Liquid crystal display element with a transparent electrode substrate and the transparent substrate
EP0622897B1 (fr) Dispositif à ondes acoustiques de surface et procédé pour sa fabrication
US6396201B1 (en) Piezoelectric vibrator
EP0269567A3 (fr) Composition potentiellement adhésive électriquement conductrice
AU1040895A (en) Method of mounting a piezoelectric element to a substrate
KR970009480A (ko) 기판 제조방법
JPS56150830A (en) Semiconductor device
EP1296451A3 (fr) Dispositif à ondes acoustiques de surface et procédé de fabrication
MY117399A (en) Electronic component having structure for preventing separation at adhered portions
EP0182371A2 (fr) Couche de protection pour dispositifs fonctionnels
EP0841699A3 (fr) Condensateur à film et empaquetage ou dispositif semi-conducteur avec celui-ci
EP1947685A3 (fr) Dispositif à semi-conducteur ayant un film diélectrique en carbone ajouté à la fluorine et son procédé de fabrication
KR960042183A (ko) 강유전상 및/또는 반강유전상을 가진 액정을 이용한 액정표시소자
EP0353760A3 (fr) Eléments à cristaux liquides et mélanges conducteurs de composés organiques filmogènes
JPS57105722A (en) Liquid crystal display element
JPH04355720A (ja) 液晶表示装置
WO2002080359A3 (fr) Composant a ondes acoustiques de surface
AU2003205998A1 (en) Liquid crystal display device
JPS58146119A (ja) 圧電材料応用素子
JPS5656025A (en) Elastic surface wave resonator
JPS5980011A (ja) 弾性表面波装置
JPH03250810A (ja) 弾性表面波装置
KR930002919B1 (ko) 액정 표시소자의 제조방법
JPS62117312A (ja) Δ形コンデンサ

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): CN JP KR US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE

DFPE Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101)
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
122 Ep: pct application non-entry in european phase