WO1997035723A1 - Printer - Google Patents

Description

明 細 書 プリ ンタ装置 技 術 分 野 本発明はプリン夕装置に関し、 例えばオンデマン ド型ィンクジェ ッ トプリ ン夕装置 （以下、 これを単にインクジェッ トプリン夕装置 という。 ） に適用して好適なプリンタ装 に関する。 背 景 技 術 従来、 この種のインクジヱ ヅ 卜プリン夕装置は、 記録信号に応じ てィンク液滴を吐出ノズルから吐出して、 紙ゃフィルムなどの記録 媒体に画像を印画するプリンタ装置であり、 小型化及び低コス 卜化 を^現することができるため、 近年急速に普及しつつある。

このインクジエツ トプリン夕装置においては、 インク液滴を吐出 する方法として、 例えば究熱素子を用いる方法及びピエゾ素子等の 圧電素子を用いる方法がある。

発熱素子を用いる方法は、 発熱^子がィンクを加熱沸騰させるこ とにより発生する泡の圧力によって、 吐出ノズルよりインク液滴を 吐出させるものである。 また、 圧電素子を用いる方法は、 圧 ¾素子 を変形させ、 ィンクが充填されている圧力室に圧力を与えることに より、 この圧力室に連通されるノズル導入孔を通して、 吐出ノズル からイ ンク液滴を叶出させるものである。 この圧竜素子を用いる方法には、 動板に貼り合わされた 3っ以 上の圧電素子が積層されてなる積層型圧電素子を直線的に変位させ ることにより、 振動板を介して圧力室を押圧する方法と、 振動板に 貼り合わされた単板型の圧電素子乂は 2層に積層された圧 素子に 電圧を与えることにより、 振動板を湾曲させて圧力室を押压する方 法とがある。

ここで、 この種のィンクジエツ 卜プリン夕装置におけるプリン ト へッ ドの -構成例を I 1 1 9に示す。 このプリン 卜ヘッ ド 1 0 2 0 0は、 基台 1 0 2 0 1の一方の而 1 0 2 0 1 a側に開口するように 形成され、 図示しないインク夕ンクから供給されるィンクが流れる 第 1の溶液供給路 1 0 2 0 2 と、 この第 1の溶液供給路 1 0 2 0 2 に連通し、 基台 1 0 2 0 1の- づ Jの面 1 0 2 0 1 a側に開「Iするよ うに形成された圧力室 1 0 2 0 3と、 基台 1 0 2 0 1の一方の面 1 0 2 0 1 a側の圧力室 1 0 2 0 3を挟んで第 1の溶液供給路 1 0 2 0 2と逆側に形成された第 2の溶液供給路 1 0 2 0 4とを有してい る。

そして、 ^台 1 0 2 0 1には、 第 2の溶液供給路 1 0 2 0 4に連 通し、 基台 1 0 2 0 1の他方の面 1 0 2 0 1 b側に開口するように、 ノズル導入孔 1 0 2 0 5が形成されている。 さらに、 基台 1 0 2 0 1の一方の面 1 0 2 0 1 aには、 第 1及び第 2の溶液供給路 1 0 2 0 2 , 1 0 2 0 4と圧力 1 0 2 0 3のそれぞれの開口部を覆うよ うに、 振動板 1 0 2 0 6が、 図示しない接着剤を介して接^されて いる。 この振動板 1 0 2 0 6には、 インク夕ンクに接続する [¾1示し ないィ ンク供給^が取り付けられる。 このため、 振動板 1 0 2 0 6 には、 ィンク供給管に応じた図示しない貫通孔が穿設されている。 また、 振動板 1 0 2 0 6の一方の面 1 0 2 0 6 aにおける圧力室 1 02 03に対応する位置には、 举.板型の圧電尜子 1 0 2 0 7が、 図 示しない接着剤を介して接着されている。

また、 基台 1 0 20 1の他方の面 1 0 2 0 1 bには、 ノズル導入 孔 1 0 20 5の開口部周辺を覆うように、 オリフィスプレート 1 0 20 8が熱圧若によって接着されている。 そして、 このオリフィス プレート 1 0 2 0 8には、 ノズル導入孔 1 0 205と連通するよう に吐出ノズル 1 0 208 aが穿設されている。

このプリン トヘッ ド 1 0 2 0 0は、 ）: 子 1 0 2 0 7に所定の 圧力が印加されると、 バイモルフ効果によってこの圧 '素子 1 0 2 0 7が面内方向に縮んで、 図 1 1 9中矢印 Aで す方向に湾曲する。 そして、 この圧電素子 1 0 20 7の湾曲にともない、 振動板 1 0 2 07が図中矢印 Aで示す方向に湾曲する。 その結果、 圧力室 1 0 2

03の体積が減少し、 圧力室 1 02 03内の圧力がヒ昇することに よって、 圧力室 1 02 03内に充填されているィンクがノズル導入 孔 1 0 20 5を通って吐出ノズル 1 0 2 0 8 aから叶出される。

さらに、 上記のようなプリ ン トヘッ ドにおいては、 複数の圧力室

1 0 2 03が並列して配されており、 これらの第 1の溶液供給路 1 0 2 0 2はインクバッファタンク 1 02 0 9と称される図示しない インクタンクとの接続!？の 方向に平行に配列されるように連通 している。 ここで第 1の溶液供給路 1 0 2 0 2は圧力室 1 0 2 0 3 の配列方向に直角な方向、 すなわちィンクバッファタンク 1 0 2 0 9の配給面 1 0 2 09 a (インクバッファタンク 1 0 2 0 9におけ る第 1の溶液供給路 1 02 0 2の接続面） に対して直角に形成され ている。 またインクバッファタンク 1 0 209の貫通孔 1 0 2 0 9 bにはインク供給管 （図示せず） が取り付けられ、 これを介してィ ンクタンクからインクが供給されることとなる。 従って、 インク夕 ンクからインクバッファタンク 1 0 2 0 9を介して供給されるィン クは第 2の溶液供給路 1 0 2 0 4に供給される。

ところで近年、 デスク トツプパブリ ツシングと呼ばれるコンビュ 一夕を川いた文書作成が盛んに行われるようになり、 文 ゃ図形だ けではなく写真等のカラーの自然兩像を文字や図形と共に出力する という要求が^加してきている。 このように高品位な自然画像をプ リ ン 卜するためには中問¾の 现が重要である。

ここで中間調を再現するためには、 子又は発熱素子に与え る電圧やパルス幅を変化させ、 吐出する液滴サイズを制御すること によって印字ドッ 卜の径を" J変として表現するものや、 ドッ ト径は 変化させずに 1画素を例えば 4 X 4 ドッ トよりなるマ ト リクスで構 成し、 このマト リクス単位でいわゆるディザ法を用いて階調表現を 行うものがある。

ところが、 インクジェッ トプリン夕装 ^のプリン トへッ ドにおい て、 圧 素子又は発熱素子に える電圧やパルス幅を変化させるこ とによって、 吐出する液滴サイズを制御する方法では、 / !;電素子又 は発熱桌子に与える電圧やパルス幅を下げ過ぎるとインクを吐出す ることができなくなるため最小液滴 ί に限界がある。 この結果、 特 に低濃度の表現ができず、 表現可能な階調段数が少なくなる。

またディザ法を川いて階調表現を行う方法によって、 例えば 1画 素を 4 X 4のマ ト リクスで構成した場合には 1 7階調の濃度を表現 できるが、 例えば上述の方法と同じ ドッ ト密度で印字した場合、 解 像度が 1 / 4に劣化してしまうため粗さが目立ってしまう。 このよ うにいずれの方法においても自然画像をプリン 卜アウ トするために は実用上未だ不十分であった。

そこで最近、 このようなインクジェッ トプリン夕装置の欠点を改 善したものとして 「キャリアジエツ 卜」 プリン夕装置が提案されて いる。 「キャリアジエツ ト」 プリン夕装置のプリン トへッ ドでは、 インクを定量化して吐出する定量ノズルと、 希釈液を吐出する吐出 ノズルとが設けられ、 定¾ノズルから吐出されるインクと吐出ノズ ルから吐出される希釈液とを一体にしてインク濃度を変化させるこ とにより ドッ 卜內に階調をもたせるようにしたものである。

この 「キャリアジェッ ト」 プリン夕装置においても、 インクジェ ッ 卜プリン夕装置と同様のインク液滴の吐出機能を必要とし、 液滴 を吐出する方法としてはィンクジエツ トプリン夕装 Eと同様に圧電 素子を用いる方法又は ¾熱素子を用いる方法が一般的に用いられて いる。

上記 「キャリアジェッ ト」 プリン夕装置のプリン トヘッ ドは例え ば以ドに示すような構成を有する。 すなわち、 基台の一而に所定の 問隔を置いて希釈液が充填される第 1の圧力室及びィンクが充填さ れる第 2の圧力室が形成されていると共に、 当該第 1の圧力室及び 第 2の 力 ¾にそれぞれ連通し、 これらに希釈液及びィンクを供給 する第 1の液体供給路及び第 2の液体供給路が形成されている。 そ して、 この基台の -【ήίには&勅板が接; 剤によって接着されている。 また、 第 1の圧力室に圧力を印加するための圧電素子が ¾動板の第 1の圧力室に対応する部分に設けられていると共に、 第 2の圧力室 に圧力を印加するための圧電素子が振動板の第 2の ΓΙ -：力 ' :に対応す る位 に設けられている。 さらに、 基台の他面には第 1の if力室及び第 2の圧力室にそれぞ れ連通する第 1のノズル導入孔及び第 2のノズル導入孔が形成され ていると共に、 当該第 1のノズル導入孔及び第 2のノズル導入孔に それそれ連通する吐出ノズル及び定 fiノズルが形成されたォリフィ スプレートが¾けられている。

さらに、 第 1の液体供給路及び第 2の液体供給路はそれぞれ希釈 液バッファタンク及びィンクノ ッファタンクに連通している。 ここ で第 1の液体供給路及び第 2の液体供給路は上述のプリン トヘッ ド 1 と同様に、 それぞれ？ B 1の/ H力 ¾及び第' 2の 力幸:の配列方向に 直角な方向、 すなわち希釈液バッファタンクの配給面及び希釈液バ ヅファタンクの配給面に対してそれぞれ直角に形成されている。 さらにまた、 インクバッファタンク及び希釈液バッファタンクの 貫通孔には、 それぞれィンク夕ンクに接続されたィ ンク供給管及び 希釈液タンクに接続された希釈液供給管が取り付けられている。 従 つて、 インクタンクからインクバッファ夕ンクを介して供給される インクは第 2の液体供給路に供給され、 希釈液タンクから希釈液バ ッファタンクを介して供給される希釈液は^ 1の液体供給路に供給 される。

なお、 上述の例においては、 吐出媒体として希釈液を使用し、 定 量媒体としてィ ンクを使用するようにしているが、 吐出媒体として ィ ンクを使用し、 定 S媒体として希釈液を使用することも可能であ る。

ところで、 これらイ ン クジェッ トプリ ン夕装 及び 「キャ リアジ エツ ト」 プリン夕装 i !のプリン トヘッ ドにおいては、 吐出する液体 を紙などの記録媒体上に精度^く着弾させる必要がある。 特に記録 媒体上に文字等のキャラクタ及び自然画などを高精細に再現する場 合には、 記録媒体上において少なく とも 2 0 0 〔〃m〕 以下の小さ い ドッ ト ¾が要求される。 このため少なく とも 1 0 0 〔 m〕 以下、 望ましくは 3 0 ~ 5 0 〔 z m〕 程度の でかつァスぺク 卜比が 1以 上になるような吐出ノズルをォリフィスプレー卜に形成する必要が あり、 高い加工精度が要求される。

この吐出ノズルを加丁-する手段として ドリルを用いると、 加工径 に限界があり、 上述のような条件を満たすことは困難である。 そこ で、 上述のような条件を満たす吐出ノズルの加工を可能とするベく、 近年では、 エキシマレーザ等のレ一ザを用いてォリフィスプレート に吐出ノズル用の貫通孔を穿設する方法が多く用いられるようにな つてきている。

ここで、 例えばエキシマレ一ザを用いてノズル川の II通孔を穿設 する場合、 エキシマレーザの加工特性はォリフィスプレー卜の材質 に人きく影響を受ける。 すなわち、 例えばポリイ ミ ドゃポリサルフ オンのような ^機材料でなるオリフィスプレートに吐出ノズル用の ^通孔を形成する場合には、 1 パルス .、¹' Iたりに加」.し得る孔の深さ が大きいために効率良く貫通孔を形成することができるが、 ステン レス等の金 材料でなるォリフィスプレー卜に吐出ノズル用の貫通 孔を形成する場合には、 1パルス当たりに加丁.し得る孔の深さが有 機材料の場合に比して浅いため、 ィ/機材料でなるオリフィスプレー トにノズル用の貫通孔を形成する場合に比して効率が低いだけでな く、 得られる孔形状も吐出ノズルには適さず、 結果的に、 プリン夕 装置の生産性及びプリン夕装置の性能が低 卜してしまう。

また、 インクジェッ トプリンタ装置及び 「キャリアジェッ ト」 プ リ ン夕装置において、 液滴を効率良く叶出させる、 言い換えれば、 プリン夕装置の信頼性を確保するためには、 圧電素子より発生され た圧力を有効に希釈液或いはィンクがそれぞれ充填される第 1の圧 力室或いは第 2の圧力室に印加する必要があり、 ^機材料よりも強 度が高く、 例えば 9 0 〔〃m〕 程度のある程度の厚みを有するステ ンレス等の金属によりオリフ ィ スプレートを形成する必要がある。 特に、 第 1及び第 2の圧力室に ) 1-：力を印加する加 Ft手段として ) 電 桌子を用いている場合には、 発熱素子を用いた ¾ ^に比して圧力室 を大きくする必要があるため、 圧力室の を形成する材質について はより高い強度が要求される。

従って、 第 1及び第 2の圧力室に圧力を印加する加圧手段として 圧電素子を用いた場合には、 第 1及び^ 2の圧力室に有効に圧力を 印加し得る ¾度の強度と みをもった、 例えばステンレスのような 材料によりオリフィスプレートを形成する必要がある。 しかしなが ら、 オリフィスプレー卜を例えばステンレスにより形成した ¾合に は、 上述のようにレーザの特性を十分に允^させることができない。 すなわち、 このように ¾ 1及び第 2の )_1：力室内の圧力を有効かつ 安定して上昇させるために要求される強度と、 レーザに対する加工 特性の双方を十分に満足するォリ フ ィスプレートは実現困難である。 そこで、 このようなプリン夕装置においては、 力室内の圧力を 有効かつ安定して上 させることを可能とし、 レーザに対する加工 特性を十分満足して精度良好に吐出ノズルを形成し、 生産忤及び信 頼性を向上することが課题となっている。

ところで、 上述のインクジエツ 卜プリン夕装 S及び 「キャリアジ エツ ト I プリンタ装置においては、 力室 （インクジェッ トプリン 夕装置では圧力室、 「キャリアジェッ ト」 プリン夕装置では第 1及 び第 2の圧力室） 内にィンク又は希釈液が気泡を形成することなく 充填されている必要がある。 このため、 これら圧力室を覆うように 配置される振動板を基台に接若させるためには高精度の接着技術が 要求される。

某台に振動板を接着するための接着方法としては、 ¾動板の接； Τί· ifiiに接着剤を塗布した後、 基台に振動板を接着する方法がある。 と ころがこの場合、 振動板に塗布する接着剤の厚さを 2 〔〃m〕 以下 とすることが技術的に困難であり、 丛台に形成される液体供給路 (インクジエツ 卜プリ ン夕装置では液体供給路、 「キャリアジエツ ト」 プリ ン夕装匿では第 1及び第 2の液体供給路） の深さが浅い場 合には、 接着剤によってこれら液体供給路が塞がれるおそれがある。 このように液体供給路が塞がれてしまつた場合、 液体供給路の抵抗 値が大きくなるためィ ンクゃ希釈液を駆動電圧に応じて安定して吐 出させることができなくなり、 プリン夕装置の信頼性が低下するお それがある。

このような問題を解泱するための方法として、 これら液体供給路 のアスペク ト比を高めることにより液体供給路が接着剤によって塞 がれることを防止する方法がある。 このようにァスぺク ト比の高い 液体供給路は、 例えば基台をシ リコン基板とし、 異方性エッチング により形成することができる。

ところがこの場合、 振動板を形成する材質選定の許容度がかなり 制約されてしまういう不都合が生じる。 これは、 某台に振動板を接 する際には振動板を加熱及び加圧するため、 振動板の熱膨張率と シリコン； ¾板の熱膨張率を近づける必要があるためである。 また、 熱可塑性の接着シ一トを用いて基台に振動板を接着するこ とにより、 液体供給路が接着剤によって塞がれることを防止する方 法も提案されている （特願平 5 - 1 8 3 6 2 5号公報） 。 ところが この場合、 接着シートを熱圧着によって接着するため、 振動板にィ ンク供給管を取り付けるために当該振動板に予め設けられた貫通孔 に応じた孔を接着シ一卜に形成する必要があり、 その分接着工程が 増える問題が考えられる。

さらに、 接着シー卜の縮み率を予め考慮して接着シートに孔を形 成しなければならないため、 接着シートの孔と振動板の貫通孔との 位置合わせに非常に高い精度が要求されると共に、 熱圧着の際の温 度管理にも高い精度が要求され、 振動板の接着工程が複雑化する問 題が考えられる。

そこで、 接着剤を用いず基台に振動板を接着する方法、 例えば感 光性及び接着性を有する ドライフィルムレジス トを用いて基台に振 動板を接着する方法も考えられている。

ところが、 ドライフィルムレジス 卜を用いる方法では、 使用する ドライフィルムレジス トに耐イ ンク性及び耐希釈液性をもたせるた めに熱硬化処理が必要となり、 その分工程が増えて接着工程が複雑 化及び煩雑化する問題が生じる。 また、 露光装置を必要とするため、 その分プリ ン トへッ ドの製造コス 卜が上昇したり、 製造工程が複雑 化してしまう。

また、 接着剤を用いずに基台に振動板を接着するための接着方法 として、 基台及び振動板の材料としてガラス材料を用いて振動板を 基台に陽極接合する方法がある。 この場合、 ガラス材料は衝撃や傷 に弱い材料であるため、 一定の強度を保っためには、 振動板の厚さ を 1 0 〔〃m〕 以下に選定することが困難である。 このため圧鼋素 子に与える駆動電圧を小さくすることが困難となり、 圧電素子に過 大な負荷が生ずると共にプリン夕装置の消費電力が大きくなる問題 が生じる。 また圧力室の微細化、 すなわち吐出ノズル及び/又は定 itノズルの狭ピツチ化を実現することも困難となってしまう。

このように従来においては、 振動板を接 する際に接着剤を用い た場合には接 剤によって液体供給路が塞がれ、 プリン夕装置の信 頼性が低下するおそれがあり、 接着剤による液体供給路の目詰まり を回避するために接着剤を用いない場合には接 工程が複雑化及び 煩雑化してしまい、 未だ不十分であった。

そこで、 このようなプリン夕装置においては、 振動板の接着工程 を複雑化及び煩雑化することなく、 振動板を基台に高精度に接着し、 信頼性を向上することが課題となっている。

ところで、 前述のように、 上述したインクジェッ トプリン夕装置 のプリン 卜へッ ドあるいは、 「キャ リアジエツ ト」 プリン夕装置の プリン トへッ ドのいずれにおいても、 j i:力室の中に気泡が存在して いる場合においては、 いく ら圧力室内の汗_力を圧電素子等の圧力上 昇手段により上昇させたとしても、 圧力室内に存在する気泡が、 そ の圧力を受けてその体積を小さくするだけで、 圧力室内に充填され ている液体の圧力は上昇しないこととなる。 すなわち、 圧縮忤流体 である気泡が、 その圧縮性により、 圧力上昇手段により与えられる 圧力を吸収してしまい、 吐出ノズルよりインクを吐出させる、 ；!量 ノズルょりインクを押し出して定量し、 吐出ノズルよりインクと混 合された希釈液 （混合液滴） を吐出させることが困難となる。 ある いは、 nt出ノズルょり吐出されるィンク或いは混合液滴の体積ある いは、 速度が十分でなくなり、 画質の劣化につながることとなる。 従って、 インクジエツ トプリン夕装置のプリン トへッ ドあるいは、 「キャリアジェッ ト」 プリン夕装置のプリン 卜へッ ドのいずれにお いても、 圧力室の中に気泡が残らないようにすることが重要な課題 となっている。

圧力室内に気泡が定在しないようにするためには、 プリン夕装置 の使用開始時及びィンクタンク或いは希釈液タンク交換時といった、 これらタンクの取り付け B、'fに、 泡が圧力室内部に入らないように する気泡対策と、 印字途中において気泡が ί力室内部に入らないよ うにする気泡対策の 2点が重要となる。

そして、 印字途中に圧力 ¾内に入る気泡は、 比較的体積が小さい 上に、 圧力室の壁面には溶液がそもそも存在しているので、 圧力室 の壁面には付 Τίしにくい、 という特性を有しており、 振動板のダミ —振動を行うこと、 及び吐出孔の開口部より ϊ¾·空吸' JIすることなど のメンテナンスにより、 気泡を圧力室の外部に放出することが容易 である。

しかしながら、 溶液タンクの取り付け時に混入する気泡は、 圧力 室の壁面に液体が存在していない場 vもあり、 図 1 2 1及び図 1 2

2に示すごとく、 圧力室 1 0 2 1 0の壁面又はノズル導入孔 1 0 2 1 1の ¾面に付 する可能性が 在し、 ひとたび、 圧力室 1 0 2 1 0の壁面又はノズル導入孔 1 0 2 1 1の壁面に付着した気泡は、 通 常のメンテナンスにより 力 ¾ 1 0 2 1 0又はノズル導入孔 1 0 2 1 1の外部に放出することが容易でない。 とりわけ、 図 1 2 1及び 1 2 2に^した気泡 1 0 2 1 3のように、 圧力室 1 0 2 1 0内ま たはノズル導人孔 1 0 2 1 1内に ¾泡 1 0 2 1 3が定在したまま吐 出ノズル 1 0 2 1 2内に液体が充填され、 液体のメニスカスが吐出 ノズル 1 0 2 1 2の先端の近傍に形成されてしまつた後の状況にお いては、 圧力室 1 0 2 1 0内またはノズル導入孔 1 0 2 1 1内に定 在する気泡の除去は容易でない。

そこで、 このようなプリン夕装置においては、 従来に比して圧力 宰の壁 ffiiに付着する気泡を低減する、 とりわけ、 イ ンクタンク及び /又は希釈液夕ンクの取り付け時に カ室の壁面に付着する気泡を 低减し、 記録画像の画質を向ヒし、 信頼忤を向 ί:することが課題と なっている。

ところで、 これまで述べたィンクジエツ 卜プリン夕装置或いは 「キャ リアジェッ ト」 プリン夕装置においては、 小型化が要求され ている。 ところが、 これらプリ ン夕装置において、 前述のように、 液体供給路が接着剤により塞がれてしまうのを防止するべく、 基台 をシリコン基板とし、 ¾方忤ェツチングによりァスぺク ト比の高い 液体供給路を形成しょうとすると、 異方性エツチングは結品面を自 由に選択することができないため、 液体供給路の形成方向を Π由に 選択することができない。 このため、 液体供給路は前述したように 压カ室の配列方向に直角な方向にしか形成できず、 プリン トへッ ド 全体に占める液体供給路の面積が大きくなり、 プリン夕装置の小型 化に対応することが難しい。

そこで、 このようなプリン夕装置においては、 液体供給路が占め る面積を縮小して、 従来に比して小型化に対応可能とすることが課 题となっている。

% fiJJ の 開 示 上述の課題を解決するために本発明者等が鋭意検討した結果、 吐 出ノズルや定量ノズルとこれらに対応する圧力室間にこれら両者を 連通するノズル導入孔を有する硬質部材を配置するようにすれば、 圧力室内の圧力を有効かつ安定して上昇させることが可能であり、 レーザに対する加工特性を十分満足して精度良好に吐出ノズルや ¾

S:ノズルが形成され、 プリン夕装置の生産性及び倌顿性が向上され ることを兌い出した。

すなわち、 本発明の第 1の発明のプリン夕装置は、 圧力室と、 上 記圧カ宰に液体を供給する液体供給路とをィ ίする圧力室形成部と、 上記圧力室を覆うように配^される振動板と、 振動板を介して 上記圧力室に対応して配置される圧電素子と、 上記圧力室に連通す るノズル導入孔が形成される硬 i部材と、 上記ノズル導入孔に連通 する吐出ノズルが形成される樹脂部材とを有することを特徴とする ものである。

また、 本発明の第 2の発明のプリ ン夕装 は、 吐出媒体が導入さ れる第 1の /±:力室と上記第 1の圧力 :に II上出媒体を供給する第 1の 液体供給路及び定量媒体が導入される第 2の圧力室と上記第 2の圧 力室に定量媒体を供給する第 2の液体供給路を有する圧力室形成部 と、 上記第 1の 力室及び第 2の圧力室を覆うように配置される振 動板と、 L記振動板を介して上 各圧力室に対応して配置される圧 電素子と、 上 ¾第 1の圧力室に迚通する第 1のノズル導入孔及び上 記第 2の/上力室に迚通する第 2のノズル導人孔が形成される硬質部 材と、 上記第 1 のノズル導入孔に連通する吐出ノズル及び 卜-記第 2 のノズル導人孔に連通する定 Mノズルが形成される樹脂部材とを有 し、 上 ¾定¾ノズルから しd吐出ノズルに向けて定 Λ媒体を滲み出 させた後、 上記吐出ノズルから吐出媒体を吐出させて定量媒体と吐 出媒体を混合吐出させることを特徴とするものである。

なお、 これら第 1及び第 2の発明のプリン夕装置においては、 硬 質部材が金属よりなることが好ましく、 上記金属としては、 ニッケ ル或いはステンレススチールが好ましい。 上記金属としては、 3 0 3ステンレススチールや 3 0 4ステンレススチール、 4 2ニッケル 等が例示される。 なお、 上記のような金属として、 アルミニウムや 銅を用いることはあまり好ましくない。 これは、 アルミニウムは染 料により腐^する があるためであり、 銅は銅イオンが染料に対し て影響を及ぼす虞があるためである。

また、 上記第 1及び第 2の発明のプリン夕装 iSにおいては、 硬質 部材と樹脂部材が 屑されていることが好ましい。

さらに、 h記第 1の発明のプリン夕装置において、 硬質部材のノ ズル導入孔が、 樹脂部材の吐出ノズルよりも大きな径を有している、 上記第 2の発明のプリン夕装置において、 硬 T部材の第 1のノズル 導人孔が、 樹脂部材の叶出ノズルよりも大きな径を有し、 硬質部材 の第 2のノズル導人孔が、 樹脂部材の定量ノズルよりも大きな径を 有していることが好ましい。

さらにまた、 上記第 1の発明のプリン夕装^において、 ノズル導 人孔の樹脂部材側の開口部の周囲に突起部が形成されている、 上記 第 2の発明のプリン夕装置において、 第 1のノズル導人孔及び第 2 のノズル導入孔の樹脂部材側の開口部の周囲に突起部が形成されて いることが好ましい。

なお、 ヒ記第 1及び第 2の発明のプリン夕装置において、 硬質部 材の^さが 5 0 〔〃m〕 以 ヒとなされていることが好ましい。 また、 上記第 1及び第 2の発明のブリン夕装置において、 樹脂部 材が、 ガラス 移点が 2 5 0 〔°C〕 以下の樹脂よりなる、 或いはガ ラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以下の第 1の樹脂とガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以上の第 2の樹脂とが積屑されたものとなされていること が好ましい。

さらに、 ヒ述の課題を解決するために本発明者等が鋭意検討した 結 ¾、 各圧力室に液体を供給する液体供給路を /王カ¾形成部の振動 板が配されない吐出ノズルや^量ノズル側に形成するようにすれば、 振動板の接着工程を ¾雑化及び煩雑化することなく、 振動板を基台 に高精度に接着することが可能であり、 プリン夕装置の信頼性が向 上されることを見い出した。

すなわち、 本発明の第 3の発明のプリン夕装置は、 第 1の発明の プリン夕装置と同様の構成を有し、 かつ圧力室形成部の一方の而側 に圧力室が形成され、 この面側に振動板及び圧 rt素子が配置されて なり、 圧力室形成部の他方の而側に液体供給路が形成され、 この面 側に硬質部材及び樹脂部材が配置されてなることを特徴とするもの である。

また、 本発明の第 4の発明のプリ ン夕装置は、 第 2の発明のプリ ン夕装 :と同様の構成を有し、 圧力室形成部の一方の面側に第 1の 圧力室及び第 2の圧力室が形成され、 この面側に振動板及び圧電素 子が配置されてなり、 圧力室形成部の他方の面側に第 1の液体供給 路及び第 2の液体供給路が形成され、 この面側に硬質部材及び樹脂 部材が配置されてなることを特徴とするものである。

なお、 上,¾第 3及び第 4の発明のプリンタ装置においては、 圧力 室形成部が金属よりなることが好ましい。 さらに、 上記第 3及び第 4の発明のプリ ン夕装置においては、 圧 力室形成部の厚さが、 0 . 1 〔m m〕 以上であることが好ましい。 また、 上述の課題を解決するために本発明者等が鋭意検討した結 果、 各圧力室に液体を供給する液体供給路を圧力室配列方向や液体 供給源から液体供給路に液体を供給する供給面に対して斜め方向に 形成するようにすれば、 圧力室配列方向や供給面に対して直角な方 向における液体供給路の畏さが短くなり、 小型化が可能となること を見い出した。 なお、 特に吐出を行う吐出ノズルに圧力室を介して 連通する液体供給路においては、 叶出の勢いを確保するためにある 程-度の長さを確保する必要があり、 この液体供給路が小型化を妨げ ていることも兒ぃ出した。

すなわち、 本発明の第 5の発明のプリ ン夕装置は、 上記第 1の発 明のプリン夕装置と同様の構成を有し、 複数の圧力室を所定方向に 配列して有し、 各圧力室に応じて液体供給路を冇し、 これら液体供 給路に液体を供給する液体供給源とを有し、 上記液体供給路が圧力 室の配列方向に対して斜め方 |ή」に形成されていることを特徴とする ものである。

また、 本発明の第 6の発明のブリン夕装置は、 上記第 2の発明の プリン夕装置と同様の構成を有し、 複数の第 1の圧力室を所定方向 に配列してィ ίし、 各第 1の圧力室に応じて第 1の液体供給路を有し、 複数の第 2の圧力室を/ fr定方向に配列して有し、 各第 2の圧力室に 応じて第 2の液体供給路を有し、 これら第 1の液体供給路及び第 2 の液体供給路に液体を供給する液体供給源とを有し、 上記第 1の液 休供給路が第 1の圧力室の配列方向に対して斜め方向に形成されて いることを特徴とするものである。 なお、 上記第 5の発明のプリ ン夕装置においては、 各液体供給路 が、 圧力室の配列方向に対して 4 5 ° 以上， 8 0 ° 未満の角度で形 成されていることが好ましく、 上記第 6の発明のプリン夕装置にお いては、 各第 1の液体供給路が、 第 1の圧力室の配列方向に対して 4 5 ° 以上， 8 0 ° 未満の角度で形成されていることが好ましい。 さらに、 上記第 5の発明のプリ ン夕装置においては、 各液体供給 路が、 それぞれ同じ形状及び同じ 1άさをィ /することが好ましく、 ヒ 記第 6の発明のプリン夕装^においては、 各第 1の液体供給路が、 それぞれ同じ形状及び同じ さを有することが好ましい。

さらにまた、 上記第 5及び第 6の発明のプリン夕装 Κにおいては、 【 力形成部が金屈よりなり、 これを孔加工して各圧力室及び各液体 供給路、 各第 1の圧力室及び各第 1の液体供給路が形成されている ことが好ましい。

また、 本発明の第 7の発明のプリ ン夕装置は、 第 1の発明のプリ ン夕装置と同様の構成を し、 複数の圧力室を所定方向に配列して 有し、 圧力室に応じて液体供給路を有し、 これら液休供給路に液 体を供給する液体供給源とを有し、 上記液体供給路が上 液体供給 源から各液体供給路に液体を供給する供給面に対して斜め方向に形 成されていることを特徴とするものである。

さらに、 本発明の第 8の発明のプリン夕装置は、 第 2の発明のプ リン夕装置と同様の構成を有し、 複数の第 1の压カ室を所定方向に 配列しておし、 各第 1の [ 力 'Φ:に応じて第 1の液体供給路を冇し、 複数の第 2の圧力室を所定方向に配列して ¾し、 各第 2の圧力室に 応じて第 2の液体供給路を有し、 これら第 1の液体供給路及び第 2 の液体供給路に液体を供給する液体供給源とを有し、 上^第 1の液 体供給路が上記液体供給源から各第 1の液体供給路に液体を供給す る供給面に対して斜め方向に形成されていることを特徴とするもの である。

ところで、 上 S第 3及び第 4の発明のように、 圧力室形成部の一 方の面側に圧力室、 第 1及び第 2の圧力 ¾を形成し、 圧力室形成部 の他方の面側に液体供給路、 第 1及び^ 2の液体供給路を形成する 場合、 圧力室形成部の両面からエッチングを行って、 各圧力室とこ れに対応する液体供給路を形成し、 これらを連通させるようにして いる。 しかしながら、 エッチングにより圧力 ¾と液体供給路を形成 してこれらを迚通させると、 以 ドのような不都合が発生する。

エツチングによつて基台に圧力室及び液体供給路となる溝部を形 成すると、 図 1 2 3に示すように、 エッチングによって形成された 溝部 1 0 2 1 4の底部には、 図中 hで示す基台 1 0 2 1 5の厚さの 約 1 / 4の曲率 ^径の丸み rが形成される。

すなわち、 圧力室及び液体供給路となる溝部 1 0 2 1 4の底部に 形成される丸み rは、 結果として)十:力' 及び液体供給路の深さを浅 く形成することになり、 図 1 2 4に すように、 エッチングによつ て形成された圧力室 1 0 2 1 6の底部と液体供給路 1 0 2 1 7の底 部との接続部分 （液体供給路 1 0 2 1 7の接続孔 1 0 2 1 8 ) の幅 が液体供給路 1 0 2 1 7の接統孔 1 0 2 1 8以外の領域の幅より小 さくなり、 かつその大きさが不均一になるおそれがある。 従って、 各液体供給路における流路抵抗にばらつきが生ずると共に本来必要 な流路抵抗より流路抵抗が上昇するため、 安定してインク又はイン クと希釈液との混合溶液を吐出することができなくなる虞がある。 特に、 ブリン トへッ ドに占める液体供給路の面積を小さく してプ リン トへッ ドを小型化するために、 液体供給路の長さを規定するこ とによって所望の流路抵抗を得る場合には、 液体供給路の幅を狭く 形成する必要があるため、 上述のような問題がさらに一段と顕著に なることが考えられる。

また圧力室及び液体供給路のうち幅が狭い方の幅の寸法が基台の 厚さ以下の場合においては、 本来必要な流路抵抗を確保した状態で 圧力室及び液体供給路を連通させることが極めて困難になることが 考えられる。

ここでこのような問題を解決するための 1つの方法として、 圧力 室及び液体供給路の幅を大きく形成することにより、 圧力室と液体 供給路との接続不]¾の発生を低減させることが考えられる。

ところが液体供給路の幅を大きくすることは、 液休供給路の流路 抵抗を低下させることになるため、 ノズルより安定してインク又は 混合溶液を吐出させるためには液体供給路の長さを長く形成しなけ ればならず、 その分プリン トへッ ドに占める液体供給路の面敏が増 大してプリン 卜ヘッ ドが大 ¾化する ¾がある。

そこで、 上記第 3及び第 4の発明のようなプリン夕装置において は、 プリン トへッ ドを人型化させることなく圧力室と液体供給路を 確実に接続して、 安定してィンク又は混 溶液を吐出することが要 求されている。

すなわち、 本発明の第 9の ¾明のプリン夕装置は、 第 3のプリン 夕装置と同様の構成を有するものであり、 圧力室形成部の圧力室と 液体供給路が連通しており、 これらの接続孔の溶液通過方向に直交 する方向の断面積が、 液体供給路の他の部分の溶液通過方向に :交 する方向の断面積よりも大きいことを特徴とするものである。 /357

21 さらに、 本発明の第 1 0の発明のプリン夕装置は、 第 4のプリン 夕装置と同様の構成を するものであり、 圧力室形成部の第 1の圧 力室と第 1の液体供給路、 第 2の圧力室と第 2の液体供給路がそれ それ連通しており、 これらの接続孔の溶液通過方向に直交する方向 の断面積が、 第 1の液体供給路及び第 2の液体供給路の他の部分の ^液通過方向に直交する方向の断面積よりもそれぞれ大きいことを 特徴とするものである。

なお、 上 笫 9及び第 1 0の発明のプリン夕装置においては、 接 続孔の幅が圧力 ¾形成部の さよりも人きいことが好ましい。

さらに、 上記第 9の発明のプリンタ装置においては、 液体供給路 の接続孔における幅と、 液体供給路の上 ffi接続孔以外の部分の幅の うち、 狭い方の幅が、 上 ild圧力室形成部の厚さ以下の大きさとされ ていることが好ましく、 上記第 1 0の発明のプリン夕装置において は、 第 1の液体供給路の接続孔における幅と、 第 1の液体供給路の 上記接続孔以外の部分の幅のうち、 狭い方の幅が、 上記 ff:力室形成 部の厚さ以下の人きさとされるとともに、 第 2の液体供給路の接続 孔における幅と、 第 2の液体供給路の上記接続孔以外の部分の幅の うち、 狭い方の幅が、 li記圧力室形成部の厚さ以下の大きさとされ ていることが好ましい。

さらにまた、 上述の目的を達成するために本発明者等が鋭意検討 した結果、 各圧力室の各ノズル導入孔との連通位置における幅を他 の部分の幅よりも小さくすれば、 圧力室の壁面への気泡の付着を抑 え、 記録画像の闹質を向上し、 プリ ン夕装置の信頼性が向上される ことを見い出した。

すなわち、 本発明の第 1 1の発明のプリン夕装置は、 1:記第 1の 発明のプリン夕装置と同様の構成を有するものであり、 圧力室のノ ズル導入孔と連通する位置における幅が、 圧力室の他の部分におけ る幅よりも小さいことを特徴とするものである。

また、 本発明の第 1 2の発明のプリン夕装置は、 上記第 2の発明 のプリン夕装置と同様の構成を有するものであり、 第 1の圧力室の

1のノズル導入孔と連通する位^における幅が、 第 1の/土力室の 他の部分における幅よりも小さく、 第 2の il:力室の第 2のノズル導 人孔と連通する位置における幅が、 第 2の圧力室の他の部分におけ る幅よりも小さいことを特徴とするものである。

なお、 上記第 1 1の発明のプリン夕装 においては、 ノズル導入 孔連通位 近傍において圧力室の幅が、 上記ノズル導入孔連通位置 に向かうに従って次第に減少するようになされていることが好まし く、 上記第 1 2の発明のプリン夕装 iSにおいては、 第 1のノズル導 入孔連通位置近傍において^ 1の圧力室の幅が、 上記第 1のノズル 導入孔連通位置に向かうに従って次第に減少するようになされてお り、 第 2のノズル導入孔連通位置近傍において第 2の圧力^の幅が、 上記第 2のノズル導入孔連通位置に向かうに従って次第に減少する ようになされていることが好ましい。

また、 ヒ記第 1 1の発明のプリン夕装置においては、 力室のノ ズル導入孔連通位 ISでの幅が、 ノズル導入孔の幅と略同等であるこ とが好ましく、 上記第 1 2の発明のプリ ン夕装 ftにおいては、 第 1 の圧力幸の第 1のノズル導入孔連通位置での幅が、 第 1のノズル導 人孔の幅と略同等であり、 第 2の圧力室の第 2のノズル導人孔連通 位雷:での幅が、 第 2のノズル導人孔の幅と略 lul等であることが好ま しい。 さらに、 ί:記第 1 1の発明のプリン夕装置においては、 ノズル導 入孔側の一端における吐出ノズルの内周壁と、 吐出ノズル側の一端 におけるノズル導入孔の内周壁との幅方向の最大離間距離が 0 . 1 〔m m〕 以下であることが好ましく、 上記第 1 2の発明のプリン夕 装置においては、 第 1のノズル導人孔側の -端における吐出ノズル の内周壁と、 吐出ノズル側の一端における第 1のノズル導入孔の内 周壁との幅方向の ϋ大離間距離が 0 . 1 〔m m〕 以下であり、 第 2 のノズル導入孔側の一端における定景ノズルの内周壁と、 定最ノズ ル側の -端における第 2のノズル導人孔の内周 ¾との幅方向の最大 離間距離が 0 . 1 〔mm〕 以下であることが好ましい。

さらにまた、 上—記第 1 1の発明のプリン夕装置においては、 ノズ ル 入孔の幅が、 圧力室形成部の厚さの 2 . 5 ί 以下とされている ことが好ましく、 上記第 1 2の発明のプリン夕装置においては、 第 1のノズル^人孔及び第 2のノズル導入孔の幅が、 圧力室形成部の 厚さの 2 . 5倍以 卜とされていることが好ましい。

また、 ヒ記第 1 1及び第 1 2の発叨のプリンタ装 ί においては、 圧力室形成部が金属よりなり、 これをエッチングして 圧力室、 各 溶液供給路が形成されていることが好ましい。

前述の第 1の発明のプリン夕装 においては、 吐出ノズルとこれ に対応する圧力室間にこれら両者を連通するノズル導入孔を有する 硬質'部材が配置され、 第 2の 明のプリンタ装置においては、 吐出 ノズルとこれに対応する第 1の圧力室間、 定 ;:ノズルとこれに対応 する第 2の圧力室間にこれら両者を連通する第 1のノズル導入孔ゃ 第 2のノズル導入孔を有する硬質部材が配置されているため、 加圧 手段によって！£力室、 第 1の圧力室や第 2の圧力室に圧力が印加さ れた場合に、 これら圧力室内の圧力が有効かつ安定して上昇し、 吐 出ノズルや定量ノズルを樹脂部材に形成するようにしていることか ら、 レーザに対する加 に特性を十分満足して精度良好に吐出ノズル や定 Mノズルが形成される。

また、 前述の第 3の発明のプリン夕装置においては、 圧力室を圧 力室形成部の 方の 'ΐίΐί側に形成し、 この面側に振動板を配し、 この 圧力室に液体を供給する液体供給路を圧力室形成部の他方の面、 す なわち振動板が配されない吐出ノズル側に形成するようにしており、 第 4の発明のプリン夕装^においては、 第 1及び第 2の II；力室を Li 力室形成部の一方の面側に形成し、 この面側に 動板を配し、 第 1 及び第 2の圧力室に液体を供給する第 1及び第 2の液体供給路を圧 力室形成部の他方の面、 すなわち振動板が配されない吐出ノズルや 定量ノズル側に形成するようにしているため、 振動板を接^する際 に各液体供給路を接着剤によって埋めてしまうことがなく、 振動板 の接着工程を複雑化及び烦雑化することなく、 振動板が^台に高精 度に接着される。

さらに、 前述の第 5の発明のプリン夕装置及び第 7の発明のプリ ン夕装置においては、 吐出ノズルに連通される圧力室に液体を供給 する液体供給路を圧力室配列方向や液体供給源から液体供給路に液 休を供給する供給面に対して斜め方向に形成するようにしており、 第 6の発叨のプリン夕装置及び第 8の発明のプリン夕装置において は、 吐出ノズルに連通される第 1の圧力室に液体を供給する第 1の 液体供給路を第 1の圧力室配列方向や液体供給源から第 1の液体供 給路に液体を供給する供給面に対して斜め方向に形成するようにし ているため、 if.力 ¾配列方向や供給而に対して ilU角な方 Γπΐにおける 液体供給路の長さが短くなり、 小型化される。 また、 吐出を行う吐 出ノズルに圧力室及び第 1の圧力室を介して連通する液体供給路及 び第 1の液体供給路を各圧力室配列方向や液体供給源から各液体供 給路に液体を供給する供給面に対して斜め方向に形成するようにし ているため、 小型化されても、 これらの液体供給路の長さはある程 度贿保され、 吐出の勢いが確保される。

さらにまた、 前述の第 9の発明のプリンタ装置においては、 圧力 室形成部の圧力室と液体供給路が連通しており、 これらの接続孔の 溶液通過方 に直交する方向の断 ifii積が、 液体供給路の他の部分の 溶液通過方向に II* (交する方^の断面積よりも大きくなされており、 第 1 0の発明のプリン夕装置においては、 圧力室形成部の第 1及び 第 2の圧力室と第 1及び第 2の液体供給路が連通しており、 これら の接続孔の溶液通過方向に 交する方向の断面積が、 対応する第 1 及び第 2の液体供給路の他の部分の溶液通過方向に直交する方向の 断面積よりも大きくなされているため、 圧力室と液体供給路、 第 1 及び第 2の圧力室と第 1及び ; 2の液体供給路が確実に接続され、 各液体供給路中における流路抵抗が略々 - 'となり、 安^してィ ン ク或いは混合溶液が吐出される。 また、 このようにすれば、 これら 液体供給路の幅及び長さを大きくする必要がなく、 プリン トヘッ ド が大型化することもない。

また、 前述の第 1 1の発明のプリン夕装; Sにおいては、 圧力室の ノズル導入孔との連通位置における幅を他の部分の幅よりも小さく しており、 第 1 2の発明のブリン夕装 においては、 笫 1の圧力室 の第 1のノズル導入孔との連通位置における幅を他の部分の幅より も小さく しているため、 これら圧力室の壁面への 泡の付着が抑え られ、 記録画像の画質が向上する。

すなわち、 これら圧力室内に充填されるィンク或いは希釈液は、 毛細管現象により、 圧力室の壁面近傍を優先して進行しながら充填 される。 そして、 上^]のプリン夕装置においては、 各圧力室の各ノ ズル導入孔形成位置での幅が、 各圧力室の他の部分の幅よりも小と されているので、 各圧力 ¾の¾面近傍を優先して進行するィンク或 いは希釈液の先端部が、 各圧力室の各ノズル導人孔形成位置におい て近接し接触する。 従って、 気泡は、 イ ンク或いは希釈液に包み込 まれて各圧力室のノズル導人孔形成位— のほぼ中心部分に残るよう になる。 図 面 の ilU 単 な 説 明 図 1は本発明が適用されるシリアル型プリン夕装^の構成の一例 を示す要部概略斜視図である。

図 2はプリ ン夕装置の制御部の構成の ·例を示すブロック図であ る。

図 3はインクジエツ 卜プリン トへッ ドの一例の構成を示す要部拡 大断面図である。

図 4はオリフ ィ スプレー卜の作製方法の一例を/丁;す断面図である。 図 5はインクジエツ トプリ ン 卜へッ ドの一例の動作を示す要部拡 大断^図である。

図 6は本発明が適用されるシリアル .プリン夕装 ^の構成の他の 例を示す要部概略斜視図である。

図 7はキヤリアジエツ 卜プリン夕装置の制御部の構成を示すプロ ック図である。

図 8はドライバの動作を示すプロック図である。

図 9は駆動電圧の印加タイ ミ ングを す図である。

図 1 0は 「キャ リアジエツ ト」 プリン トへヅ ドの一例の構成を示 す要部拡大断面図である。

図 1 1は 「キャリアジエツ 卜」 プリン トへッ ドの - -例の構成を示 す要部拡大断面図である。

1 2はオリフィスプレートの作製方法の他の例を^す断面図で ある。

図 1 3はインクジ ッ トプリントへッ ドの他の例の構成を^す要 部拡大断面図である。

図 1 4はインクジエツ トプリン 卜へッ ドの他の例の動作を示す要 部拡大断面図である。

図 1 5はオリフィ スプレー卜の一例の構成を示す断面図である。 m 1 6はオリフィスプレートの作製方法のさらに他の例を示す断 面図である。

図 1 7はオリフィ スプレートの作製方法のさらに他の例を示す断 面図である。

I 1 8はオリフィスプレートの作製方法のさらに他の例を ^す断 面図である。

図 1 9はオリフィスプレー卜の他の例の構成を示す断面図である。 図 2 0は 「キャリアジヱヅ ト」 プリン トへッ ドの他の例の構成を 示す要部拡大断面図である。

図 2 1はオリフィスプレー卜のさらに他の例の構成を示す断面図 である。 図 2 2はオリフィスプレー卜の作製方法のさらに他の例を示す断 面図である。

図 2 3はオリフィスプレートの作製方法のさらに他の例を示す断 面図である。

図 2 4はオリ フィスプレートの作製方法のさらに他の例を示す断 面図である。

m 2 5はォリ フィスプレー卜の他の例の構成を示す断面図である。 図 2 6はライ ン型プリン夕装置を示す要部概略斜視図である。 1¾1 2 7はドラム回 プリン夕装置を示す要部概略斜視図である。 図 2 8はインクジエツ トプリ ン トへッ ドのさらに他の例の構成を 示す要部拡大断面図である。

図 2 9はインクジヱッ トプリ ン トへッ ドのさらに他の例の構成を 模式的に示す平面図である。

図 3 0はインクジヱッ トプリン 卜へッ ドの製造方法の一例を示す 断面図である。

W\ 3 1はイ ンクジエツ 卜プリ ン 卜へッ ドのさらに他の例の動作を 示す要部拡大断面図である。

図 3 2は 「キャリアジェッ ト」 プリン トヘッ ドのさらに他の例の 構成を示す要部拡大断面図である。

図 3 3は 「キャ リアジェッ ト j プリン トヘッ ドのさらに他の例の 構成を模式的に示す平面 Iである。

図 3 4は 「キャリアジエツ 卜」 プリン トへッ ドの製造方法の一例 を示す断面 である。

図 3 5は 「キャリアジエツ ト」 プリン 卜へッ ドのさらに他の例の 動作を示す要部拡大断面図である。 図 3 6はインクジエツ トプリン 卜へッ ドのさらに他の例の構成を 示す要部拡大断面図である。

図 3 7はオリフィスプレートのさらに他の例の構成を示す断面図 である。

図 3 8はインクジエツ トプリントへッ ドのさらに他の例の構成を 示す耍部拡大断面図である。

m 3 9はインクジヱッ 卜プリン トへッ ドのさらに他の例の構成を 校式的に す平面図である。

冈 4 0はインクジ： ッ トプリン トへッ ドのさらに他の例の動作を / す要部拡大断面図である。

図 4 1はインクジエツ 卜プリ ントへッ ドのさらに他の例の構成を 示す要部拡大断而図である。

図 4 2はインクジヱッ トプリン トへッ ドの製造方法の他の例を示 す断面図である。

図 4 3はインクジエツ トプリン トへッ ドの製造方法のさらに他の 例を示す断而図である。

図 4 4はインクジエツ 卜プリントへッ ドの製造方法のさらに他の 例を示す断面図である。

図 4 5は圧力室形成部を拡火して^す断面図である。

図 4 6は圧力 ¾形成部の一例を示す断面図である。

M 4 7は 「キャ リアジエツ 卜」 プリン トへッ ドのさらに他の例の 構成を示す要部拡大断面図である。

図 4 8はォリフィスプレートのさらに他の例の構成を示す断面図 である。

図 4 9は 「キャリアジエツ 卜 I プリン 卜へッ ドのさらに他の例の 構成を示す要部拡大断面図である。

図 5 0は 「キャ リアジェッ ト」 プリン トヘッ ドのさらに他の例の 構成を模式的に示す平面図である。

図 5 1は 「キャリアジエツ 卜」 ブリ ン トへッ ドのさらに他の例の 動作を示す要部拡大断面図である。

図 5 2は 「キャリアジェヅ ト」 プリン トへッ ドのさらに他の例の 構成を示す要部拡大断面図である。

図 5 3は 「キャ リアジェッ ト」 プリン トへヅ ドの製造方法の他の 例を示す断面図である。

図 5 4は 「キャリアジエツ ト」 プリン 卜へッ ドの製造方法のさら に他の例を示す断面図である。

図 5 5は 「キャ リアジヱッ 卜」 プリン トへッ ドの製造方法のさら に他の例を示す断面図である。

図 5 6は圧力 形成部を拡大して^す断面図である。

5 7は圧力室形成部の他の例を示す断面図である。

図 5 8はインクジエツ 卜プリ ン 卜へッ ドのさらに他の例の構成を 示す要部拡大断面図である。

図 5 9はインクジエツ 卜プリントへッ ドのさらに他の例の構成を 模式的に示す平面図である。

図 6 0は液体供給路近傍を拡大して す断面図である。

図 6 1はインクジエツ 卜プリントへッ ドの製造方法のさらに他の 例を示す断 ίίιί Κである。

図 6 2はインクジエツ トプリン トへッ ドのさらに他の例の動作を 示す要部拡大断面図である。

図 6 3は 「キャリアジエツ 卜 I プリン トへッ ドのさらに他の例の 構成を示す要部拡大断而図である。

図 6 4は 「キャリアジェッ ト」 プリン トヘッ ドのさらに他の例の 構成を模式的に示す平面図である。

図 6 5は第 1及び第 2の液体供給路近傍を拡大して す断面図で ある。

図 6 6は 「キャリアジェッ ト」 プリン トへッ ドの製造方法のさら に他の例を， す断而図である。

図 6 7は 「キャリアジェッ ト」 プリン トヘッ ドのさらに他の例の 動作を^す要部拡大断面図である。

m e 8はォリ フィ スプレートのさらに他の例を す断面図である。 図 6 9はインクジエツ 卜プリ ン トへヅ ドのさらに他の例の構成を 示す要部拡大断面図である。

図 7 0はイ ンクジエツ トプリントへッ ドのさらに他の例の構成を 模式的に示す平面 [¾|である。

図 7 1はインクジエツ 卜プリ ン 卜ヘッ ドのさらに他の例の動作を 示す要部拡大断面図である。

図 7 2は 「キャリアジヱッ ト」 プリン トへッ ドのさらに他の例の 構成を示す要部拡大断面図である。

図 7 3は 「キャリアジヱッ 卜 j プリン トへヅ ドのさらに他の例の 構成を模式的に示す Ψ·面図である。

図 7 4は 「キャリアジェッ ト」 プリン トヘッ ドのさらに他の例の 動作を示す要部拡大断面図である。

図 7 5はインクジエツ 卜プリン 卜へッ ドのさらに他の例の構成を 示す要部拡大断面図である。

図 7 6はインクジエツ トプリ ン トへッ ドのさらに他の例の構成を 模式的に示す平面図である。

図 7 7はインクジエツ トプリントへッ ドの製造方法のさらに他の 例を示す断面図である。

図 7 8は圧力室近傍を模式的に示す平面図である。

図 7 9はインクジエツ トプリ ン 卜へッ ドのさらに他の例の動作を す要部拡大断面図である。

図 8 0は 「キヤ リアジェッ 卜」 プリン 卜へッ ドのさらに他の例の 構成を示す要部拡大断而図である。

図 8 1は 「キャリアジエツ ト」 プリン トへッ ドのさらに他の例の 構成を模式的に す甲-面図である。

図 8 2は 「キャ リアジェッ ト」 プリン トへッ ドの製造方法のさら に他の例を Γくす断面図である。

図 8 3は 「キャリアジェッ ト」 プリン トヘッ ドのさらに他の例の 動作を す要部拡大断面図である。

図 8 4はインクジエツ 卜プリ ン 卜へッ ドのさらに他の例の構成を 小す要部拡大断面図である。

図 8 5はオリフィスプレートのさらに他の例を示す断面図である。 図 8 6はインクジエツ トプリントへッ ドのさらに他の例の構成を 示す要部拡大断面図である。

図 8 7はインクジエツ 卜プリ ン 卜へヅ ドのさらに他の例の構成を 模式的に示す平面図である。

「义 I 8 8はインクジエツ トプリ ン トへッ ドのさらに他の例の動作を 示す ¾部拡大断面図である。

図 8 9は ΓΠ力室形成部のさらに他の例を示す断面 ¾である。

図 9 0はインクジエツ トプリ ン トへッ ドのさらに他の例の構成を 模式的に示す平面図である。

図 9 1は液体供給路を模式的に示す平面図である。

図 9 2は液体供給路近傍を拡大して示す断面図である。

図 9 3は 「キャ リアジエツ 卜」 プリン トへヅ ドのさらに他の例の 構成を示す要部拡大断面図である。

m 9 4はオリフ ィ スプレートのさらに他の例の構成を示す断面図 である。

9 5は 「キャリアジヱッ ト」 プリン トへヅ ドのさらに他の例の 構成を示す要部拡大断面図である。

図 9 6は 「キャ リアジヱッ 卜」 プリン トへヅ ドのさらに他の例の 構成を校式的に示す平面図である。

図 9 7は 「キャ リアジエツ 卜」 プリン トへッ ドのさらに他の例の 動作を示す要部拡大断面図である。

図 9 8は压カ室形成部の他の例を示す断面図である。

図 9 9は 「キャ リアジェッ ト」 プリン トヘッ ドのさらに他の例の 構成を模式的に示す、 ·面 である。

図 1 0 0は第 1及び第 2の液体供給路近傍を拡大して示す断面図 である。

図 1 0 1はイ ンクジエツ トプリン トへッ ドのさらに他の例の構成 を示す要部拡大断面図である。

図 1 0 2はィ ンクジエツ トプリン トへッ ドのさらに他の例の構成 を模式的に示す平面図である。

図 1 0 3はイ ンクジヱ ヅ 卜プリン 卜へッ ドのさらに他の例の動作 を示す要部拡大断面図である。

図 1 0 4はイ ンクジヱッ トプリン トへッ ドのさらに他の例の圧力 室を模式的に示す平面図である。

m 1 0 5はインクジェッ トプリン トへッ ドの製造方法のさらに他 の例を示す断面図である。

図 1 0 6はインクジェッ トプリン トへッ ドの製造方法のさらに他 の例を示す断面図である。

図 1 0 7は振動板の ·例を示す断而 |¾]である。

1 0 8は 「キャ リアジエツ 卜」 プリン トへッ ドのさらに他の例 の構成を示す要部拡大断面図である。

図 1 0 9は 「キャリアジェッ ト」 プリン 卜ヘッ ドのさらに他の例 の構成を模式的に示す、}': [Τιί mである。

図 1 1 0は 「キャ リアジエツ 卜」 プリン トへッ ドのさらに他の例 の動作を示す要部拡大断面図である。

図 1 1 1は 「キャリアジエツ ト」 プリン トへッ ドの製造方法のさ らに他の例を示す断【& i図である。

図 1 1 2は 「キャリアジエツ 卜」 プリン トへッ ドの製造方法のさ らに他の例を示す断面図である。

1 1 3は振動板の他の例を す断 ifij 1である。

1 1 4はオリフィスプレー トのさらに他の例の構成を示す断面 図である。

図 1 1 5はインクジエツ 卜プリン トへッ ドのさらに他の例の構成 を示す要部拡大断面図である。

図 1 1 6はイ ンクジエツ トプリン トへッ ドのさらに他の例の動作 を^す要部拡大断 ifii図である。

図 1 1 7は 「キャリアジエツ ト」 フ。リン トへッ ドのさらに他の例 の構成を示す要部拡人断 ffti ¾である。 図 1 1 8は 「キャリアジェッ ト」 ブリン トヘッ ドのさらに他の例 の動作を示す要部拡大断面 iである。

図 1 1 9は従来のプリン夕装置のプリン トへッ ドを示す断面図で ある。

図 1 2 0は従来のプリン夕装置のプリン 卜へッ ドを校式的に示す 平而図である。

図 1 2 1は従来のプリン夕装 のプリン 卜へッ ドの圧力室の壁而 に気泡が存在する状態を模式的に示す平面図である。

闵 1 2 2は従来のプリン夕装置のプリン トヘッ ドのノズル導入孔 の壁而に気泡が存在する状態を模式的に， す平面図である。

図 1 2 3はェツチングにより形成される底部の丸みを模式的に示 す断面図である。

図 1 2 4は Π:力室と液体供給路の接続部分を模式的に示す平面図 である。 発明を実施するための の形態 以下、 図面を参照して本発明の実施の形態について詳細に説明す る。

1 . 第 1及び第 2の発明に対応する実施の形態

( 1 ) 第 1実施例

本実施例においては、 本発明をィンクのみを吐出するィンクジェ ッ 卜プリン夕装置に適用した例、 すなわち第 1の発明に対応する例 について述べる。

( 1 - 1 ) インクジェッ トプリ ン夕装 の構成 W 97/35723 JP9 /01 6

36 先ず、 インクジェッ トプリン夕装置の全体の構成について述べる。 図 1に すように、 本発明を適用したシリアル型ィ ンクジエツ トプ リ ン夕装置 1 0は構成される。 すなわち、 ドラム 1 1の軸方向には 当該ドラム 1 1に平行に紙圧; コン 卜ローラ 1 2が設けられており、 この紙圧着コン 卜ローラ 1 2によって被印刷物としてのプリン ト紙 1 3がドラム 1 1に圧^固定されている。

また ドラム 1 1の外周には送りねじ 1 4がドラム 1 1の軸方向に 平行に設けられており、 送りねじ 1 4にはプリン 卜ヘッ ド 1 5 (ィ ンクジェッ トプリン トヘッ ド） が螺合している。 このプリン トへヅ ド 1 5は送りねじ 1 4の [n]feによって ドラム 1 1の軸方向に移動す るようになされている。

また ドラム 1 1はプーリ 1 6、 ベルト 1 7及びブーリ 1 8を介し てモー夕 1 9によって回転駆動される。

ここでプリン夕装置 1 0は図 2に ^す制御部 2◦によつて制御さ れる。

制御部 2 0は信号処理制御问路 2 1、 ドライバ 2 2、 メモリ 2 3、 駆動制御部 24及び補止冋路 2 5によって構成されている。 信号処 理-制御回路 2 1は C P U又は D S P (D i g i t a l S i gn a 1 P r o c e s s o r ) 構成でなり、 外部から入力信号 S 1とし て印字データ、 操作部信号及び外部制御^号を受けると、 印字デー 夕を印字順番に揃えて ドライノ 2 2を介して吐出信り-と共にプリン 卜へッ ド 1 5に送り出しプリン トへッ ド 1 5を駆動制御する。

この場合、 印字順赉はプリン トヘッ ド 1 5や印字部の構成によつ て異なり、 また印字データの人力順番との関係もあり、 必要に応じ てライ ンバッファメモリ又は 1両面メモリ構成でなるメモリ 23に 一旦記録してから適時メモリ 23から読み出すようになされている。 また信号処理制御冋路 2 1は入力信号 S 1をソフ トウエアで処理 するようになされており、 処理した信号を制御信号として駆動制御 部 24に送出する。

駆動制御部 24は信号処理制御回路 2 1から送出される制御信号 を受けると、 モー夕 1 9及び送りねじ 14を回転駆動するモ一夕の 駆動や同期を制御すると共に、 プリ ン トへッ ド 1 5のク リーニング、 プリン ト紙 13の供給及び排出などを制御するようになされている。 また ί -処理制御回路 2 1はプリン夕装置 1 0がマルチへッ ド構 成の場合、 補正回路 25によってァ補正、 カラーの場合の色補正及 び各プリントヘッ ド 1 5のばらつき補正などを行う。 この補正回路 25にはデ'め決められた補正データが R 0Μ (R e ad On l y

Memo r y) マップ型式で格納されており、 β号処理制御回路 2 1は外部条件、 例えばノズル番号、 温度及び人力信号などに応じ て読み出すようになされている。

なおプリン夕装置 1 0がマルチへッ ド構成でノズル数が非常に多 い ¾合には、 プリン トヘッ ド 1 5に I C ( I n t e g r a t e d C i r c u i t ) を搭載してプリン トヘッ ド 1 5に接続する配線数 を減らす。

このような構成において、 このプリン夕装^ 1 0では、 プリント ヘッ ド 1 5がドラム 1 1の軸方向に移動してプリン ト紙 1 3に対し て 1行分の印字を行うと、 駆動制御部 24の制御に基づいてモー夕 1 9が回転することにより ドラム 1 1が 1行分だけ所定方向に回転 し、 次の印字を行うようになされている。 ここでイ ンクジェッ トプ リン トヘッ ド 1 5がドラム 1 1の軸方向に移動してプリン ト紙 1 3 O 97 5723 /JP97/01096

38 に対して印画する印画方向には、 同一方^の場合と往復方向の場合 とがある。

( 1— 2 ) インクジェッ トプリントへッ ドの構成

プリン トヘッ ド 1 5 (インクジェッ トプリン トヘッ ド） の構成を 図 3に示す。

図 3に示すように、 プリン 卜へヅ ド 1 5は、 板状でなるオリフィ スブレート 3 1に所定の厚みを有する板状でなる圧力室形成部 3 2 が設けられると共に、 当該圧力室形成部 3 2に接着剤 3 3によって ¾動板 3 4が接着され、 この振動板 3 4に突起部 3 4 Aを介して積 層ピエゾ 3 5が接合されて構成されている。

オリフィスプレート 3 1は、 耐熱性及び耐薬品性に優れた 井東 圧化学工業株式会社製のネオフレックス （商品名） でなる厚さがほ ぼ 5 0 〔〃m〕 の 機材料フイルム 3 1 Aの一面に、 厚さがほぽ 5 0 〔 m〕 のステンレスでなる金属板 3 1 Bが熱圧着によって接着 されて構成されている。 このィ /機材料フイルム 3 1 Aはガラス転移 点が 2 5 0 〔 〕 以下の ヒ述のネオフレックスでなる。

有機材料フィルム 3 1 Aの所定位閬にはィ ンクを吐出するための 断面形状が例えば円形でなる所定径を有する吐出ノズル 3 1 Cが形 成されている。 この場合、 機材料フィルム 3 1 Aに吐出ノズル 3 1 Cが形成されているのでィンクに対する化学的な安定性を確保す ることができる。

ここで実際上、 プリン トヘッ ド 1 5 (インクジェッ トプリン トへ ッ ド） には複数の吐出ノズル 3 1 Cが形成されている力 ここでは 便 ヒ 1つの吐出ノズル 3 1 Cについて説明する。

金属板 3 1 Bには、 叶出ノズル 3 1 Cに対応した位置に吐出ノズ ル 3 1 Cと連通するようにィンク導入孔 3 1 Dが形成されている。 このノズル導入孔 3 1 Dの径は吐出ノズル 3 1 Cの径ょりも 3 0〜 1 5 0 〔〃m〕 程度大きくなるように形成されいる。

ここで有機材料フイルム 3 1 Aの厚さはほぼ 5 0 〔〃m〕 に選定 されているので、 吐出ノズル 3 1 Cから吐出されるィンク液滴の方 向性を安定させることができる。 また金属板 3 1 Bの強度、 すなわ ち縦弾性係数は有機材料フイルム 3 1 Aと比較して 1桁以 ヒ高いの で、 有機材料フイルム 3 1 Aのみでォリフィスプレートを構成した 場合と比較して、 オリフィスプレー卜の厚さが同程度の厚さの場合、 強度を 1桁以上高くすることができる。

すなわち金屈板 3 1 Bとして厚さがほぼ 5 0 〔〃m〕 のステンレ ススチールを用いた場合には、 金属板 3 1 Bの縦弾性係数は同じ厚 さの 機材料フイルム 3 1 Aの約 5 0倍となるので、 約 2 . 5 C m m〕 の厚さでなる有機材料フイルムを用いたオリフィスプレートの 強度に匹敵させることができる。

従って、 オリフィスプレート 3 1 と同じ強度をィ /するように 機 材料フィルムのみでォリフィスプレート 3 1 を構成したプリン 卜へ ッ ドょり厚みを薄くできる分、 ブリントヘッ ド 1 5を小型化するこ とができる。

またオリフィスプレート 3 1は有機材料フイルム 3 1 A及び金属 板 3 1 Bが積層されて構成されているので、 圧力室形成部 3 2に金 属板 3 1 Bを取り付けた後、 金属板 3 1 Bに有機材料フィルム 3 1 Aを接着する場合に比して、 プリン トヘッ ド 1 5 (インクジェッ ト プリン トへッ ド） の製造工程を簡易化することができる。

圧力室形成部 3 2には、 /1;力室 3 2 A、 液体供給路 3 2 B及びィ 7/01096

40 ンクバッファタンク 3 2 Cが形成されている。 これら圧力室 3 2 A 及び液体供給路 3 2 Bはそれぞれ金属板 3 1 Bの一面 3 1 B 1 側に 露出するように圧力室形成部 3 2に形成され、 金属板 3 1 Bの一面 3 1 B 1 によって覆われている。 また圧力室 3 2 Aは振動板 3 4側 に露出するように圧力室形成部 3 2に形成され、 振動板 3 4によつ て覆われている。

すなわち、 本例のプリン トヘッ ド 1 5 (インクジェッ トプリン ト へッ ド） は、 圧力 ¾ 3 2 Aと、 上記圧力室 3 2 Aに液体を供給する 液休供給路 3 2 Bとを有する圧力室形成部 3 2 と、 上 d圧力室 3 2 八を¾うように配^される振動板 3 4と、 上記 &動板 3 4を介して 上記圧力室 3 2 Aに対応して配置される圧電素子である積層ピエゾ 3 5と、 上記圧力室 3 2 Aに連通するノズル導入孔 3 1 Dが形成さ れる硬質部材である金属板 3 1 Bと、 上記ノズル導入孔 3 1 Dに連 通する吐出ノズル 3 1 Cが形成される樹脂部材である 4/機材料フィ ルム 3 1 Aとにより構成されることとなる。

また、 本例のプリン トヘッ ド 1 5 (インクジエ ツ トプリン トへッ ド） においては、 硬質部材が金屈により形成され、 ステンレススチ —ルょりなることとなる。

さらに、 本例のプリン トヘッ ド 1 5 (インクジェッ トプリン 卜へ ッ ド） においては、 硬質部材である金厲板 3 1 Bと樹脂部材である 有機材料フ ィルム 3 1 Aが積^されていることとなる。

さらにまた、 本例のプリン トヘッ ド 1 5 (インクジェッ トプリン トへッ ド） においては、 硬質部材である金属板 3 1 Bのノズル導入 孔 3 1 Dが、 樹脂部材であるお機材料フィルム 3 1 Aの吐出ノズル 3 1 Cよりも大きな径をおしていることとなる。 また、 本例のプリン トへッ ド 1 5 (インクジェヅ トプリン トへッ ド） においては、 硬質部材の厚さが 5 0 〔 / m〕 以上となされてお り、 樹脂部材が、 ガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以下の樹脂により形 成されていることとなる。

液体供給路 3 2 Bは圧力室 3 2 A及びィンクバッファタンク 3 2 Cと連通し、 かつ压力室形成部 3 2の金属板 3 1 B側に圧力室 3 2 A及びィンクバッファタンク 3 2 Cよりも深さが浅く、 或いは幅が 狭く形成されている。 これにより、 J:力室 3 2 Aに/王力が与えられ た場合、 圧力 3 2 A側に ί: 力を集中させることができるので、 圧 力室 3 2 Αに与える圧力を小さくすることができる。

また圧力室 3 2 Aは金属板 3 1 Bに形成されたノズル導入孔 3 1 Dに連通するように形成されており、 これにより圧力室 3 2 Aに充 填されているィ ンクをノズル導入孔 3 1 Dを介して吐出ノズル 3 1 Cに供給することができる。

従って、 本例のプリ ン 卜へヅ ド 1 5 (イ ンクジェヅ トプリ ン トへ ヅ ド） においては、 i l:力 3 2 Αが硬 ί部材である金屈板 3 1 Bに 接しているので、 圧力 ¾ 3 2 Αに厂!：力が印加された際に圧力室 3 2 A内の圧力を有効かつ安定して上昇させることができ、 吐出ノズル 3 1 Cを樹脂部材である有機材料フ イルム 3 1 Aに形成するように していることから、 レーザに対する加工特性を十分満足して精度良 好に吐出ノズル 3 1 Cが形成されており、 生産性及び信頼性が向上 する。

動板 3 4は、 圧力室形成部 3 2に形成された圧力室 3 2 A及び インクバッファタンク 3 2 Cを覆うように接着剤 3 3によって圧力 室形成部 3 2の -面に接着されている。 この振動板 3 4には、 イン クタンク （図示せず） から供給されるインクをイ ンクバッファ夕ン ク 3 2 Cに供給するィンク供給管 3 6が設けられている。 これによ りィンクタンクに貯蔵されているィ ンクをインク供給管 3 6を介し てインクバッファタンク 3 2 Cに供給することができる。 また振動 板 3 4の 力室 3 2 Αに対応する位^には突起部 3 4 Aが形成され ている。 この突起部 3 4 Aの大きさは、 積層ビエゾ 3 5における突 起部 3 4 Aが接着される一面 3 5 Aより小さくなるように選定され ている。

積層ビエゾ 3 5は圧電部材 3 5 Bと導電部材 3 5 Cとが扳動板 3 4の 面 3 4 Bに平行な方向に交互に榴層されて構成されており、 接着剤 （図示せず） によって突起部 3 4 Aの接着面に接合されてい る。 ここで圧電部材 3 5 Bと導電部材 3 5 Cとの積層数は幾つであ つてもよい。

また積屑ビエゾ 3 5はその一端が固定ベース 3 7に固定されてい る。 この固定ベース 3 7はオリフィスプレー卜 3 1の金属板 3 1 B に接続されている。

この積層ビエゾ 3 5は駆動^圧が印加されると、 図中矢印 aで示 す方向とは逆ノ J向に直線的に変位して ¾動板 3 4の突起部 3 4 Aが 接着されている部分を中心に持ち上げることにより圧力室 3 2 Aの 体積を増大させるようになされている。

また積層ピェ V 3 5は駆動^圧が解放されると、 図中矢印 aで示 す方向に直線的に変位して突起部 3 4 Aを押圧することにより振動 板 3 4を湾曲させて圧力' 2 Aの体祯を減少させ、 これによつて 圧力室 3 2 A内の圧力を上昇させるようになされている。 この場合、 突起部 3 4 Aの大きさは積層ピエゾ 3 5の一 Ιΰΐ 3 5 Aよりも小さく 形成されているので、 積層ピエゾ 3 5の変位を振動板 3 4の圧力室 3 2 Aに対応する位置に集中的に伝達することができる。

( 1— 3 ) オリフィスプレー トの作製方法

次にォリフィスプレート 3 1の作製方法について図 4を用いて説 明する。

まず図 4 ( A ) に示すように、 金厲板 3 1 Bの他面 3 1 B 2 に有 機材料フィルム 3 1 Aを熱圧着によって貼り合わせる。 この場^、 コ一夕を用いて金属板 3 1 Bの他面 3 1 B 2 にィ j機材料フイルム 3 1 Aを直接塗布するようにしてもよい。 ここで、 本例においては、 有機材料フイルム 3 1 Aとしてガラス転移点が 2 5 0 〔 〕 以下の 有機材料フィルム 3 1 Aを用いており、 熱圧着工程におけるプレス 温度と圧力を低くすることができるので、 オリフィスプレート 3 1 の反りを未然に防止することができる。

続いて、 図 4 ( B ) に示すように、 金厲板 3 1 Bの一面 3 1 B 1 にレジス トを塗布した後、 ノズル導入孔 3 1 Dに応じたパ夕一ンを 有するマスクを用いてパターン露光を行い、 レジス 卜 3 8を形成す る。 次に、 図 4 ( C ) に示すように、 ノズル導入孔 3 1 Dに応じた パ夕一ンを有するレジス ト 3 8をマスクとして金厲板 3 1 Bをエツ チングすることにより、 ノズル導入孔 3 1 Dに応じた貫通穴 3 1 D 1 を吐出ノズル 3 1 Cの ¾より 3 0〜 ： I 5 0 〔〃 m〕 度大きくな るように形成する。 ここで有機材料フイルム 3 1 Aは化学的に安定 性があるので金属板 3 1 Bを容易にエッチングすることができる。 続いて、 図 4 ( D ) に示すように、 レジス 卜 3 8を除去した後、 有機材料フイルム 3 1 Aにオリ フィ スプレー ト 3 1 の一面 3 1 B 1 側からエキシマレ一ザを --面 3 1 Eに対して垂直に照射して 機材 料フィルム 3 1 Aに ¾出ノズル 3 1 Cに応じた貫通穴 3 1 C 1 を形 成する。 この場合、 貫通穴 3 1 D 1 に連通するように吐出ノズル 3 1 Cに応じた貫通穴 3 1 C 1 を形成する。

ここで Π通孔 3 1 D 1 の径は貫通孔 3 1 C 1 より大きいので、 レ 一ザ加 に時の有機材料フイルム 3 1 Aと金屈板 3 1 Bとの位^合わ せ精度及び貫通穴 3 1 D 1 形成時のエッチング精度を緩和すること ができる。 またノズル導入孔 3 1 Dの人きさは圧力室 3 2 Aに圧力 が印加された際の圧力 'Φ: 3 2 Α内の圧力上昇にほとんど影響を与え ることのない大きさなので、 オリフィスプレー卜 3 1 を安定して作 製することができる。

また有機材料フイルム 3 1 Aに吐出ノズル 3 1 C用の貫通穴 3 1 C 1 を形成するので、 レーザに対する加工特性を十分満足して精度 良好に叶出ノズル 3 1 Cが形成されており、 金属材料でなるオリフ イスプレートに吐出ノズル 3 1 C用の貫通穴 3 1 C 1 を形成する場 合に比して、 1パルス " iたりに加工し得る: ή:の深さを深くすること ができ、 かつ液滴吐出に適したノズル形状が ί られる。 この結果、 叶出ノズル 3 1 C用の貫通穴 3 1 C 1 を低コス 卜かつ効率良く形成 することができ、 生産性の向上につながる。

かく して吐出ノズル 3 1 C及びこれに連通したノズル導人孔 3 1 Dを有するオリフィスプレート 3 1 を得ることができる。

( 1一 4 ) 第 1実施例の動作及び効果

以上の構成において、 このプリン トヘッ ド 1 5 (インクジェッ ト プリン トヘッ ド） では、 積層ピエゾ 3 5に所; !の駆動 i l圧が印加さ れると、 図 5 ( A ) に示す初期状態から積層ビエゾ 3 5が図 3及び 図 5中矢印 aで示す方 ίή】とは逆の方向に変位する。 これによつて振 動板 3 4における圧力室 3 2 Aに対応する部分が図中矢印 aで示す 方向に持ち上げられるので、 圧力室 3 2 Aの体積が増大する。 この とき吐出ノズル 3 1 C先端のメニスカスは、 一旦圧力室 3 2 A側に 後退するが、 積層ピエゾ 3 5の変位が治まると表面張力との釣り合 いによって吐出ノズル 3 1 Cの先端で安定し、 ィンク吐出の待機状 態となる。

ィンク吐出時においては、 積屑ピエゾ 3 5に印加されている駆動 電圧が解放され、 この結果積屑ビエゾ 3 5が図 5 ( B ) に示すよう に、 図中矢印 aで示す方向に変位することにより振動板 3 4が図中 欠印 aで示す方^に変位する。 これにより圧力室 3 2 Aの体積が減 少して 力室 3 2 A内の圧力が上昇し、 この結果吐出ノズル 3 1 C からインクが吐出される。 ここで積層ピエゾ 3 5に えられている 駆動電圧の時問変化は、 吐出ノズル 3 1 Cからィンクを吐出し得る ように設定されている。

本例のプリン夕装置のプリン トへッ ドにおいては、 オリフィスプ レート 3 1を有機材料フィルム 3 1 Aと金属板 3 1 Bで形成してお り、 圧力室形成部 3 2 と樹脂部材である —機材料フイルム 3 1 Aの 間に硬質部材である金属板 3 1 Bが介在することとなり、 圧力室 3 2 Aには金属板 3 1 Bが接しているので、 圧力室 3 1 Aに圧力が印 加された場合、 オリフィ スプレート 3 1 を有機材料フィルムだけで 構成した場合に比して、 オリフィスプレート 3 1の変形量を小さく することができる。 従って、 圧力室 3 2 A內の/ Έ力を有効かつ安定 して上昇させることができ、 これによりインクを吐出ノズル 3 1 C から効率良くかつ安定して吐出させることができ、 プリン夕装置の d'頼忤を向上することが可能である。 また有機材料フィルムだけでオリフィスプレート 3 1を構成した 場台に比して、 オリフィスプレート 3 1の変形量を小さくすること ができるので、 積層ピエゾ 3 5に印加する駆動電圧値を小さく して も、 圧力室 3 2 A内の圧力を有効かつ安定して上昇させることかで き、 この結果消費 ¾力を低減することができる。

以 ヒの構成を有する本例のプリン夕装置のプリン トへッ ドにおい ては、 圧力室 3 2 Aに連通するィンク 入孔 3 2 Dが形成された硬 質部材である^さほぼ 5 0 〔 m〕 のステンレスでなる金属板 3 1 Bと、 ィンク導入孔 3 2 Dに連通する lit出ノズル 3 1 Cが形成され た樹脂部材である厚さほぼ 5 0 〔〃 m〕 でガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以下の有機材料フイルム 3 1 Aとでオリ フィ スプレー ト 3 1 を構成し、 金属板 3 1 Bの一面 3 1 B 1 が圧力室 3 2 Aを覆うよう にオリフィ スプレート 3 1を圧力室形成部 3 2に設けたことにより、 圧力室 3 2 A内の圧力を冇効かつ安定して上昇させることができる ので、 吐出ノズル 3 1 Cから効率 i¾くかつ安定してィンクを吐出さ せることができる。 かく して信顿性を Γή】 I：し得るインクジエツ トプ リ ン夕装置 1 0を実現することができる。

また上述の構成によれば、 吐出ノズル 3 1 Cを形成する部材とし て有機材料フイルム 3 1 Αを用いたことにより、 金属材料でなるォ リフィスプレートにノズル 3 1 を形成する場合に比して、 1パルス 当たりに加工し得る孔の深さを深く形成することができ、 かつ液滴 吐出に適したノズル形状を得ることができるので、 吐出ノズル 3 1 Cを低コス 卜かつ効率良く形成することができる。 かく して生産性 を向上し得るイ ンクジエツ トプリンタ装 ί¾ 1 0を¾現することがで きる。 ( 2 ) 第 2実施例

本実施例においては、 本発明をィンクを希釈液に対して定量混合 し、 これらを混合吐出する 「キャリアジェッ ト」 ブリ ン夕装置に適 用した例、 すなわち第 2の発明に対応する例について述べる。

( 2— 1 ) 「キャリアジ： ッ ト」 プリン夕装置の構成

先ず、 「キャリアジエツ ト」 プリン夕装置全体の構成について述 ベる。 図 6に示すように、 本発明を適用したシリアル型の 「キヤ リ アジヱッ 卜」 プリ ン夕装 K 4 0は構成される。 すなわち、 ドラム 4 1の軸方向には当該ドラム 4 1 に平行に紙圧着コン 卜ローラ 4 2が 設けられており、 この紙圧着コン トロ一ラ 4 2によって被印刷物と してのプリ ン ト紙 4 3がドラム 4 1に圧着固定されている。

また ドラム 4 1の外周には送りねじ 4 4がドラム 4 1の軸方向に 平行に設けられており、 送りねじ 4 4にはプリン 卜ヘッ ド 4 5 ( 「キャリアジェッ ト」 プリン トヘッ ド） が螺合している。 このプリ ン 卜ヘッ ド 4 5は送りねじ 4 4の回転によって ドラム 4 1の軸方向 に移動するようになされている。

また ドラム 4 1はプーリ 4 6、 ベルト 4 7及びプーリ 4 8を介し てモー夕 4 9によって回転駆動される。

この 「キャ リアジェッ ト」 プリン夕装置 4 0は図 2との対応部分 に同一符号を付して示す図 7に示す制御部 5 0によって制御される。 ここで 「キャ リアジェッ ト」 プリ ンタ装 4 0の場合、 制御部 5 0は希釈液吐出用の第 1のドライバ 5 1及びィンク吐出用の第 2の ドライバ 5 2を する。 実際卜.、 これら第 1の ドライバ 5 1及び第 2のドライバ 5 2はそれぞれ吐出ノズル及び定^ノズルの数に応じ て設けられている。 第 1のドライバ 5 1は、 後述するように、 吐出 ノズルから希釈液を吐出させるために設けられた第 1のピエゾ素子

(吐出側） を駆動制御するものであり、 第 2のドライバ 5 2は定量 ノズルからィンクを吐出させるために設けられた第 2のビエゾ素子 (吐出側） を駆動制御するものである。

これら第 1の ドライバ 5 1及び第 2の ドライバ 5 2は、 信号処理 制御回路 2 1内に設けられた冈 8に示すようなシリアルパラレル変 換回路 5 3及びタイ ミング制御回路 5 4の制御に^づいてそれぞれ 対応する第 1のピエゾ素子及び第 2のピエゾ素子を駆動制御する。 すなわち、 図 8に示すように、 シリアルパラレル変換问路 5 3は ディ ジ夕ル中間調データ D 1 を各第 1のドライバ 5 1及び各第 2の ドライノ 5 2に送出する。

夕ィ ミング制御回路 5 4は 処理制御回路 2 1から印字ト リガ 信号 T 1を受けると、 所定のタイ ミ ングで各第 1の ドライバ 5 1及 び各第 2のドライバ 5 2にそれぞれタイ ミ ング信号を送出する。 こ の印字ト リガ信号 T 1は印字タイ ミングになったときタイ ミング制 御回路 5 4に送出される。

第 1及び第 2のドライバ 5 1及び 5 2はそれぞれタイ ミング制 御回路 5 4からのタイ ミング信 に応じたタイ ミングで、 シリアル パラレル変換回路 5 3からのデータに応じた駆動信号 （駆動電圧） をそれぞれ対応する第 1のピエゾ素子及び第 2のピエゾ素子に送出 する。 ここでタイ ミング制御 [0]路 5 4は、 第 1のピエゾ素子及び第 2のピエゾ素子 （この場合、 第 1のピエゾ素子及び第 2のピエゾ素 子は一対となっている吐出ノズル及び定 mノズルにそれそれ対応す るものである） に印加される駆動電圧の夕ィ ミングが例えば図 9に 示すようなタイ ミングになるように、 それぞれ第 1及び第 2の ドラ ィバ 5 1及び 5 2に夕イ ミング信号を送出する。

この実施例の場合、 吐出周期は 1 〔m s e c〕 （周波数 1 〔k H z〕 ) であり、 この間にインクの定量混合と液滴の吐出が行われる。 またシリアルパラレル変換回路 5 3から与えられたディジ夕ル中間 調デ一夕 D 1が所定のしきい値以下の場合にはィンク定量及び吐出 は行わない。

( 2— 2 ) 「キャ リアジェッ ト」 プリン トヘッ ドの構成

プリン トヘッ ド 4 5 ( 「キャ リアジェッ ト」 プリン トヘッ ド） の 構成を図 1 0及び図 1 1に示す。

M 1 0及び図 1 1に示すように、 プリン トヘッ ド 4 5 ( 「キヤリ ァジェッ ト」 プリン トヘッ ド） は、 板状でなるオリフィスプレート 6 1に所定の厚みを有する板状でなる圧力室形成部 6 2が設けられ ると共に、 当該圧力室形成部 6 2に接着剤 6 3によって振動板 6 4 が接着され、 この振動板 6 4にそれぞれ突起部 6 4 A及び 6 4 Bを 介して積層ピエゾ 6 5 (上述の第 2のピエゾ素子に相、 ¾ ) 及び 6 6

(上述の第 1のピエゾ素子に相当） が接合されて構成されている。 オリフィスプレート 6 1は、 耐熱性及び耐薬品性に優れた二井東 圧化学工業株式会社製のネオフレックス （商品名） でなる厚さがほ ぼ 7 0 〔 / m〕 の有機材料フィルム 6 1 Aの一面に、 厚さがほぽ 5 0 〔〃ΙΏ〕 のステンレスでなる金属板 6 1 Βが熱圧着によって接^ されて構成されている。 この有機材料フイルム 6 1 Αはガラス転移 点が 2 5 0 °C ) 以下の上述のネオフレックスでなる。

有機材フィルム 6 1 Aの所定位置にはインクを吐出するための所 定径を有する定 iftノズル 6 1 Cが形成されている。 この定量ノズル 6 1 Cの断面形状は例えば円形に形成されている。 この場合、 冇機 材料フィルム 6 1 Aに定量ノズル 6 1 Cが形成されているのでィン クに対する化学的な安定性を確保することができる。

また有機材フイルム 6 1 Aには定量ノズル 6 1 Cと所定の間隔を おいて所定径を有する nt出ノズル 6 1 Dが形成されている。 ここで 定量ノズル 6 1 Cは、 当該定量ノズル 6 1 Cから定量されるィンク が吐出ノズル 6 1 D側に吐出されるようにお機材料フィルム 6 1 A の厚さ方向に対して斜め方向に形成されている。

ここで実際上プリ ン トへヅ ド 4 5 ( 「キャ リアジェッ ト」 プリ ン トヘッ ド） には複数の定 ノズル 6 1 C及び吐出ノズル 6 1 Dが形 成されているが、 以下では便宜上一対の定 mノズル 6 1 C及び吐出 ノズル 6 1 Dについて説明する。

金属板 6 1 Bには、 〖 出ノズル 6 1 Dに対応した位匿に当該吐出 ノズル 6 1 Dと連通するように第 1のノズル導入孔 6 1 Fが形成さ れている。 この第 1のノズル導入孔 6 1 Fの径は吐出ノズル 6 1 D の径ょりも 3 0〜 1 5 0 〔〃m〕 程度大きくなるように形成されて いる。 また、 金属板 6 1 Bには、 定量ノズル 6 1 Cに対応した位置 に当該定量ノズル 6 1 Cと連通するように第 2のノズル導入孔 6 1 Eが形成されている。 この第 2のノズル導入孔 6 1 Eの径は定量ノ ズル 6 1 Cの ¾よりも 3 0〜 1 5 0 〔 m〕 程度大きくなるように 形成されている。 なお、 第 1のノズル導入孔 6 1 Fと第 2のノズル 導入孔 6 1 Eは側 6 1 Gを介して隣り合うようにして形成されて いる。

ここで有機材料フ ィルム 6 1 Aの ' さはほぼ 7 0 〔〃m〕 に選定 されているので、 定 ノズル 6 1 C及び吐出ノズル 6 1 Dから吐出 される液滴の方向性を安定させることができる。 この場 、 有機材 料フィルム 6 1 Aの厚さをほぼ 5 0 〔 m〕 以上に選定すれば、 定 量ノズル 6 1 C及び吐出ノズル 6 1 Dから吐出される液滴の方向性 を安定させることができる。

また金属板 6 1 Bの強度、 すなわち縦弾性係数は有機材料フィル ム 6 1 Aと比較して 1桁以上高いので、 機材料フイルム 6 1 Aの みでオリフィスプレートを構成した場合と比較して、 オリフィスプ レー卜の さが同程度の厚さの場合、 強度を 1桁以上高くすること ができる。

すなわち金属板 6 1 Bとして^さがほぼ 5 0 〔〃m〕 のステンレ スを用いた場合には、 金属板 6 1 Bの縦弾性係数はィ Ϊ機材料フィル ム 6 1 Aの約 5 0倍となるので、 約 2 . 5 〔m m〕 の厚さでなるネ ί 機材料フイルム 6 1 Αを用いたオリフィスプレートの強度に匹敵さ せることができる。

従ってオリフィスプレー卜 6 1 と同じ強度を有するように有機材 料フィルムのみでォ リ フィスプレー卜 6 1 を構成したプリ ン トへッ ドょり^みを薄くできる分プリン 卜へッ ド 4 5を小型化することが できる。

またオリフィスプレート 6 1は右機材料フイルム 6 1 A及び金厲 板 6 1 Bが積層されて構成されているので、 金属板 6 1 Bを圧力室 形成部 6 2に取り付けた後、 、^ιί該金属板 6 1 Bに有機材料フ ィルム 6 1 Αを接着する場合に比して、 プリン トヘッ ド 4 5 ( 「キヤ リァ ジェッ ト」 プリン トヘッ ド） の製造工程を簡易化することができる。 圧力室形成部 6 2には、 第 1の圧力室 6 2 D、 第 1の液体供給路 6 2 E及び希釈液バッファタンク 6 2 Fが形成されていると共に、 第 2の圧力' 6 2 A、 第 2の液体供給路 6 2 B及びインクバッファ 9 57 3 096

52 タンク 6 2 Cが形成されている。 これら第 1の圧力室 6 2 D及び第 1の液体供給路 6 2 Eと、 第 2の圧力室 6 2 A及び第 2の液体供給 路 6 2 Bとは、 それぞれ金属板 6 1 Bの一面 6 1 B 1 側に露出する ように圧力室形成部 6 2に形成され、 金属板 6 1 Bの一面 6 1 B 1 によって覆われている。 また第 2の圧力室 6 2 Aと第 1の圧力室 6 2 Dとは側壁 6 2 Gを介して隣り合うように ίΐ;力室形成部 6 2に形 成されている。 さらに第 2の圧力室 6 2 Α及び第 1の圧力室 6 2 D は 動板 6 4側に露出するように/ 力室形成部 6 2に形成され、 ^ 動板 6 4によって覆われている。

すなわち、 本冽のプリン 卜ヘッ ド 4 5 ( 「キャ リアジェヅ 卜」 プ リン トヘッ ド） は、 吐出媒体が導入される第 1の圧力室 6 2 Dと上 記第 1の圧力宰 6 2 Dに吐出媒体を供給する第 1の液体供給路 6 2 E及び定量媒体が導入される第 2の圧力室 6 2 Aと上記第 2の圧力 室 6 2 Aに定量媒体を供給する第 2の液体供給路 6 2 Bを有する圧 力室形成部 6 2と、 上記第 1の圧力室 6 2 D及び第 2の圧力室 6 2 Aを覆うように配置される振動板 6 3と、 上記振動板 6 3を介して 上記第 1及び第 2の圧力室 6 2 D， 6 2 Aに対応して配置される圧 電素子である積層ビエゾ 6 6， 6 5と、 上記第 1の if力室 6 2 Dに 連通する第 1のノズル導入孔 6 1 F及び上記第 2の^力室 6 2 Aに 連通する第 2のノズル導入孔 6 1 Eが形成される硬質部材である金 属板 6 1 Bと、 上 _t d第 1のノズル導入孔 6 1 Fに連通する吐出ノズ ル 6 1 D及び上記第 2のノズル導入孔 6 1 Eに連通する定量ノズル 6 1 Cが形成される樹脂部材である有機材料フイルム 6 1 Aとによ り構成されることとなる。

また、 本例のプリン トヘッ ド 4 5 ( 「キャ リアジェッ ト」 プリン トヘッ ド） においては、 硬質部材が金属により構成され、 ステンレ ススチールよりなることとなる。

さらに、 本例のプリン トヘッ ド 4 5 ( 「キャ リアジェッ ト」 プリ ン トヘッ ド） においては、 硬質部材である金属板 6 1 Bと樹脂部材 である有機材料フイルム 6 1 Aが積層されていることとなる。

さらにまた、 本例のプリン トヘッ ド 4 5 ( 「キャ リアジェッ ト」 プリントへヅ ド） においては、 硬質部材である金属板 6 1 Bの第 1 のノズル導入孔 6 1 Fが、 樹脂部材である 機材料フイルム 6 1 A の吐出ノズル 6 1 Dよりも大きな径を有し、 硬質部材である金属板 6 1 Bの第 2のノズル導入孔 6 1 Eが、 樹脂部材である有機材料フ イルム 6 1 Aの定量ノズル 6 1 Cよりも大きな径を有していること となる。

また、 本例のプリン トヘッ ド 4 5 ( 「キャリアジェヅ 卜」 プリン トへヅ ド） においては、 硬質部材の厚さが 5 0 〔〃m〕 以上となさ れており、 樹脂部材が、 ガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以下の樹脂に より形成されていることとなる。

第 1の液体供給路 6 2 Eは第 1の圧力室 6 2 D及び希釈液バッフ ァタンク 6 2 Fと連通し、 かつ圧力室形成部 6 2の金属板 6 1 B側 に第 1の圧力室 6 2 D及び希釈液バッファタンク 6 2 Fよりも深さ が浅く、 或いは幅が狭く形成されている。 これにより、 第 1の圧力 室 6 2 Dに圧力が えられた場合、 第 1の圧力室 6 2 Dに圧力を集 中させることができるので、 第 1の圧力室 6 2 Dに与える圧力を小 さくすることができる。

また第 1の圧力室 6 2 Dは金属板 6 1 Bに形成された第 1のノズ ル導入孔 6 1 Fに連通するように形成されており、 これにより第 1 の圧力室 6 2 Dに充填されている希釈液を第 1のノズル導入孔 6 1 Fを介して吐出ノズル 6 1 Dに供給し得る。

従って、 本例のブリン トヘッ ド 4 5 ( 「キャ リアジェッ ト」 プリ ントへッ ド） においては、 第 1の圧力室 6 2 Dが硬質部材である金 厲板 6 1 Bに接しているので、 第 1の Jf力室 6 2 Dに圧力が印加さ れた際に第 1の圧力室 6 2 D内の圧力を有効かつ安定して上昇させ ることができ、 》t出ノズル 6 1 Dを樹脂部材であるィ J機材料フィル ム 6 1 Aに形成するようにしていることから、 レーザに対する加工 特性を十分満足して精度 好に吐出ノズル 6 1 Dが形成されており、 生産性及び信頼性が向上する。

第 2の液体供給路 6 2 Bは^ 2の) Π力室 6 2 A及びィンクバッフ ァタンク 6 2 Cと連通し、 かつ圧力室形成部 6 2の金^板 6 1 B側 に第 2の圧力室 6 2 A及びィンクバッファタンク 6 2 Cよりも深さ が浅く、 或いは幅が狭く形成されている。 これにより、 第 2の圧力 室 6 2 Aに圧力が与えられた場合、 第 2の ΓΕ力室 6 2 Aに压カを集 屮させることができるので、 第 2の圧力室 6 2 Aに与える/ J;力を小 さくすることができる。

また第 2の圧力室 6 2 Aは金属板 6 1 Bに形成された第 2のノズ ル導入孔 6 1 Eに連通するように形成されており、 これにより第 2 の圧力室 6 2 Aに充填されているィ ンクを第 2のノズル導入孔 6 1 Eを介して定 ノズル 6 1 Cに供給し得る。

従って、 本例のプリン トヘッ ド 4 5 ( 「キャ リアジェッ ト」 プリ ン トヘッ ド） においては、 第 2の LH力室 6 2 Aは金属板 6 1 Bに接 しているので、 第 2の/ :力室 6 2 Aに圧力が印加された際に第 2の 圧力室 6 2 A内の圧力を有効かつ安定して 卜-昇させることができ、 吐出ノズル 6 1 Cを樹脂部材である有機材料フィルム 6 1 Aに形成 するようにしていることから、 レーザに対する加工特性を十分満足 して精度良好に定量ノズル 6 1 Cが形成されており、 生産性及び信 頼性が向上する。

振動板 6 4は、 圧力室形成部 6 2に形成された第 2の圧力室 6 2 A及びィンクバッファタンク 6 2 Cと、 第 1の圧力室 6 2 D及び希 釈液バッファタンク 6 2 Fとを覆うように接着剤 6 3によって压カ 室形成部 6 2の一面に接着されている。 この振動板 6 4には、 イン クタンク （図示せず） から供給されるインクをインクバッファタン ク 6 2 Cに供給するィンク供給管 6 7が設けられている。 これによ りインクタンクに貯蔵されているインクをィンク供給管 6 7を介し てインクバッファタンク 6 2 Cに供給することができる。

また振動板 6 4には、 希釈液タンク （図示せず） から供給される 希釈液を希釈液バッファタンク 6 2 Fに供給する希釈液供給管 6 8 が設けられている。 これにより希釈液夕ンクに貯蔵されている希釈 液を希釈液供給管 6 8を介して希釈液バッファタンク 6 2 Fに供給 することができる。

また振動板 6 4の第 1の 力室 6 2 D及び第 2の圧力室 6 2 Aに それぞれ対応する位置には、 突起部 6 4 B及び突起部 6 4 Aが形成 されている。 この突起部 6 4 B及び突起部 6 4 Aの大きさは、 それ それ積層ピエゾ 6 6及び積層ピエゾ 6 5における突起部 6 4 B及び 突起部 6 4 Aが接着される一面 6 6 A及び 6 5 Aより小さくなるよ うに選定されている。

積層ピエゾ 6 5は圧電部材 6 5 Bと導電部材 6 5 Cとが振動板 6 4の一面 6 4 Cに平行な方向に交互に積層されて構成されており、 接着剤 （図示せず） によって突起部 6 4 Aの接着面に接合されてい る。 ここで圧電部材 6 5 Bと導^部材 6 5 Cとの積層数は幾つであ つてもよい。

また積層ビエゾ 6 5は固定べ一ス 6 9に固定されている。 この固 定ベース 6 9はォリフィスプレート 6 1の金厲板 6 1 Bに接続され ている。

この積屑ピェゾ 6 5は駆動電]！が印加されると、 図中矢印 aで示 す方向とは逆の方向に直線的に変位して振動板 6 4の突起部 6 4 A が接着されている部分を中心に持ち 卜-げることにより第 2の L 力室 6 2 Aの体積を増大させるようになされている。

また積層ビエゾ 6 5は駆動電圧が解放されると、 図屮矢印 aで示 す方向に直線的に変位して突起部 6 4 Aを押圧することにより振動 板 6 4を湾曲させて第 2の圧力室 6 2 Aの体稍を減少させ、 これに よって第 2の ί十:力室 6 2 Α内の圧力を上昇させて定量ノズル 6 1 C からインクを吐出ノズル 6 1 Dに ίΰ ナて滲み出させる。 この場合、 突起部 6 4 Αの大きさは嵇屑ビエゾ 6 5の一面 6 5 Aよりも小さく 形成されているので、 桢^ビエゾ 6 5の変位を振動板 6 4の第 2の カ室 6 2 Aに対応する位置に柒中的に伝達することができる。 積層ピエゾ 6 6は压電部材 6 6 Bと導電部材 6 6 Cとが振動板 6 4の一而 6 4 Cに平行な方向に交互に被^されて構成されており、 接着剤 （図示せず） によって突起部 6 4 Bの接着而に接合されて構 成されている。 ここで圧電部材 6 6 Bと導電部材 6 6 Cとの積層数 は幾つであってもよい。

また積層ピエゾ 6 6は S iiベース 7 0に固定されている。 この固 定ベース 7 0はオリフィスプレー卜 6 1の金属板 6 1 Bに接続され ている。

積層ピエゾ 6 6は駆動電圧が印加されると、 図中矢印 aで示す方 向とは逆の方向に変位して振動板 6 4の突起部 6 4 Bが接着されて いる部分を中心に持ち上げることにより第 1の圧力室 6 2 Dの体積 を増大させるようになされている。

また積層ビエゾ 6 6は駆動電^が解放されると、 図中矢印 aで示 す方向に変位して突起部 6 4 Bを押圧することにより振動板 6 4を 湾曲させて第 1の ίΐ·:力室 6 2 Dの体稻を減少させ、 これによつて第 1の圧力室 6 2 D内の圧力を上昇させて希釈液とィンクとの混合溶 液を吐出ノズル 6 1 Dから吐出する。 この場合、 突起部 6 4 Βの接 着面は積層ピエゾ 6 6の [0i 6 6 Aよりも小さく形成されているの で、 積層ピエゾ 6 6の変位を振動板 6 4の第 1の圧力 ¾ 6 2 Dに対 応する位 ϊ¾に集中的に伝達することができる。

( 2 - 3 ) オリフィスプレートの作製方法

次にオリフィスプレート 6 1の作製方法について図 1 2を用いて 説明する。

まず、 図 1 2 ( A ) に示すように、 金属板 6 1 Bの他而 6 1 B 2 に有機材料フィルム 6 1 Aを熱圧着によって貼り合わせる。 この場 合、 コ一夕を用いて金属板 6 1 Bの他面 6 1 B 2 に有機材料フィル ム 6 1 Aを直接塗布するようにしてもよい。

ここで本例においては、 有機材料フィルム 6 1 Aとしてガラス転 移点が 2 5 0 〔°C〕 以下の有機材料フィルム 6 1 Aを用いており、 熱圧着工程におけるプレス温度と/王力を低くすることができるので、 オリフィスプレート 6 1の反りを未然に防止することができる。 ま た有機材料フイルム 6 1 Aの厚さをほぼ 7 0 〔〃m〕 に選定したこ とにより、 第 1の圧力室 6 2 Dと第 2の圧力室 6 2 Aとの間隔を十 分に確保することができるので、 第 1の圧力室 6 2 Dと第 2の圧力 室 6 2 Aとの干渉を容易に防止することができる。

続いて、 図 1 2 (B) に示すように、 金属板 6 1 Bの一面 6 1 B 1 にレジス トを塗布した後、 第 1のノズル導入孔 6 1 F及び第 2の ノズル導入孔 6 1 Eに応じたパターンを有するマスクを用いてパ夕 ーン露光を行い、 レジス 卜 7 1を形成する。 次に、 図 1 2 ( C) に 示すように、 この第 1のノズル導入孔 6 6 F及び第 2のノズル導入 孔 6 1 Eに応じたパターンを有するレジス ト 7 1をマスクとして金 屈板 6 1 Bをエッチングすることにより、 それぞれ第 1のノズル導 入孔 6 1 F及び第 2のノズル導入孔 6 1 Eに応じた貫通穴 6 1 F1 ， 6 1 E 1 をそれぞれ吐出ノズル 6 1 D及び定量ノズル 6 1 Dの ί よ り 30〜 1 5 0 〔 /m〕 程度大きくなるように形成する。 ここで有 機材料フィルム 6 1 Aは化学的に安定性があるので金属板 6 1 Bを 容易にエッチングすることができる。

^いて、 図 1 2 (D) に小すように、 レジス ト 7 1を除去した後、 有機材料フ ィルム 6 1 Aにオリ フィ スプレー ト 6 1の一面 6 1 B 1 側からエキシマレ一ザを -而 6 1 A1 に対して垂直に照射して有機 材料フィルム 6 1 Aに吐出ノズル 6 1 Dに応じた貫通穴 6 1 D 1 を 形成すると共に、 有機材料フイルム 6 1 Aに、 オリフィ スプレ一卜 6 1の -面 6 1 B 1 側からエキシマレ一ザを一而 6 1 A1 に対して 斜めに照射する、 すなわち有機材料フィルム 6 1の厚さ方向に対し て斜め方向に照射して有機材料フィルム 6 1 Aに定 ノズル 6 1 C に応じた貫通穴 6 1 C1 を形成する。 この場合、 インクの吐出方向 が貫通孔 6 1 D 1 側に向く ように貫通穴 6 1 C 1 を形成する。 5

59 ここで貫通孔 6 1 E 1 ， 6 1 F 1 の径はそれぞれ貫通孔 6 1 C 1 及び 6 1 D 1 より大きいので、 レーザ加工時のお機材料フイルム 6 1 Aと金属板 6 1 Bとの位置合わせ精度と、 貫通穴 6 1 E 1 , 6 1 F 1 形成時のエッチング精度とを緩和することができる。 また第 1 のノズル導入孔 6 1 F及び第 2のノズル導入孔 6 1 Eの大きさは、 第 1の圧力室 6 2 D及び第 2の圧力室 6 2 Aに圧力が印加された際 の第 1の ^力 ¾ 6 2 D及び第 2の圧力室 6 2 A内の圧力上昇にほと んど影響を与えることのない大きさなのでオリフィスプレー卜 6 1 を安定して作製することができる。

また有機材料フイルム 6 1 Aに定量ノズル 6 1 Cの貫通穴 6 1 C 1 及び吐出ノズル 6 1 Dの貫通穴 6 1 D 1 を形成するので、 レーザ に対する加工特性を十分満足して精度良好に定量ノズル 6 1 C及び 吐出ノズル 6 1 Dが形成されており、 金属材料でなるオリフィスプ レートに定 ノズル 6 1 C用の貫通孔 6 1 C 1 及び吐出ノズル 6 1 D用の貫通穴 6 1 D 1 を形成する場合に比して、 1パルス当たりに 加二し ί る孔の深さを深くすることができ、 かつ液滴吐出に適した ノズル形状が得られる。 この結果、 定量ノズル 6 1 Cの貫通穴 6 1 C 1 及び吐出ノズル 6 1 Dの貫通穴 6 1 D 1 を低コス トかつ効率良 く形成することができ、 産^の向上につながる。

かく して定量ノズル 6 1 C及びこれに迚通した第 2のノズル導入 孔 6 1 Eを有すると共に、 吐出ノズル 6 1 D及びこれに連通した第 1のノズル導入孔 6 1 Fを有するオリフィスプレート 6 1を得るこ とができる。

( 2 - 4 ) 第 2実施例の動作及び効果

以上の構成において、 このプリン トヘッ ド 4 5 ( 「キャリアジェ ッ ト」 プリン トヘッ ド） では、 積層ビエゾ 6 5 , 6 6に所定の駆動 電圧が -えられ と、 積層ピエゾ 6 5， 6 6はそれぞれ図 1 0中矢 印 aで示す方向とは逆の方向に変位する。 これによつて振動板 6 4 における第 2の圧力室 6 2 A及び第 1の圧力室 6 2 Dに対応する部 分が図屮矢印 aで示す方向に持ち上げられるので、 第 2の圧力室 6 2 A及び第 1の圧力室 6 2 Dの体積が^加する。

第 2の圧力室 6 2 A及び第 1の圧力室 6 2 Dの体積が増加すると、 定量ノズル 6 1 C及び吐出ノズル 6 1 Dのメニスカスは、 それぞれ 一 第 2の圧力室 6 2 A及び第 1の圧力 ¾ 6 2 D側に後退するが、 積層ピエゾ 6 5， 6 6の変位が治まると表面張力との釣り合いによ つて定量ノズル 6 1 C及び吐出ノズル 6 1 Dの先端近傍で安定する。 ィンク定量時においては、 積層ビエゾ 6 5に印加されている駆動 電圧が解放され、 この結果積層ピェゾ 6 5が図中矢印 aで示す方向 に変位することにより &動板 6 4が図中矢印 aで示す方向に変位す る。 これにより第 2の圧力室 6 2 Aの体祯が減少して第 2の圧力室 6 2 A内の圧力が上昇する。 この場^、 積層ピエゾ 6 5に与えられ ている駆動電圧の時間変化は、 定量ノズル 6 1 Cからインクが吐出 しないように緩やかに設定されているので、 インクは定量ノズル 6 1 Cから押し出された状態になる。

ここで積層ピエゾ 6 5に印加されていた駆動電圧を解放するとき の ¾圧値を画像データの階調に応じた値に設^しているので、 定最 ノズル 6 1 Cの先端から押し出されるィンク Sは幽像デ一夕に応じ た量となる。

この定最ノズル 6 1 Cから押し出された状態にあるインクは、 吐 出ノズル 6 1 Dの先端部近傍においてメニスカスを形成している希 7 3572

61 釈液と接触して混合される。

インク ' 希釈液混合溶液吐出時においては、 積層ビエゾ 6 6に印 加されている駆動電圧が解放され、 この結果積層ピエゾ 6 6が図中 矢印 aで示す方向に変位する。 これにより第 1の圧力室 6 2 Dの体 積が減少して第 1の圧力室 6 2 D内の圧力が上昇し、 この結粜吐出 ノズル 6 1 Dから画像デ一夕に応じたィンク濃度を する混合溶液 が nt出される。 ここで積層ピエゾ 6 6に与えられている駆動電圧の 時間変化は、 吐出ノズル 6 1 Dから混合溶液が吐出し得るように設 おされている。

本例のプリン夕装置のプリン 卜へッ ドにおいては、 オリフィスプ レー卜 6 1 を有機材料フィルム 6 1 Aと金屈板 6 1 Bで形成してお り、 圧力室形成部 6 2と樹脂部材である有機材料フイルム 6 1 Aの 間に硬質部材である金属板 6 1 Bが介在することとなり、 第 1の圧 力室 6 2 D及び第 2の圧力室 6 2 Aには余屈板 6 1 Bが接している ので、 第 1の圧力室 6 2 D及び第 2の圧力室 6 2 Aに圧力が印加さ れた場 、 オリフィスプレート 6 1 を有機材料フィルムだけで構成 した場合に比して、 オリフィスプレート 6 1の変形量を小さくする ことができる。 従って、 第 1の圧力室 6 2 D及び第 2の圧力室 6 2 A内の圧力を有効かつ安定して上昇させることができ、 これにより ィンクを有効かつ安定して定量ノズル 6 1 Cから押し出された状態 にすることができるので、 当該ィンクと吐出ノズル 6 1 Dの先端部 近傍においてメニスカスを形成している希釈液とを安定かつ確実に 混合し得、 また第 1の圧力室 6 2 D内の圧力を冇効かつ確实に上昇 させることができるので、 吐出ノズル 6 1 Dから幽像デ一夕に応じ たィンク濃度を^する混合溶液を効率土 くかつ安定して吐出させる ことができ、 プリン夕装置の^頼性を向上することが可能である。 また有機材料フィルムだけでオリフィ スプレート 6 1 を構成した 場合に比して、 オリフィスプレート 6 1の変形量を小さくすること ができるので、 積層ピエゾ 6 5 , 6 6に印加する駆動電圧値を小さ く しても、 第 1の圧力室 6 2 D及び第 2の圧力室 6 2 A内の圧力を ¾効かつ安定して上昇させることができ、 この結果消費電力を低減 することができる。

以上の構成を有する本例のプリン夕装置のプリン トへッ ドにおい ては、 第 1の圧力室 6 2 D及び第 2の圧力 ¾ 6 2 Aにそれぞれ連通 する第 1のノズル導入孔 6 1 F及び第 2のノズル導入孔 6 1 Eが形 成された硬質部材である厚さほぼ 5 0 〔〃m〕 のステンレスでなる 金属板 6 1 Bと、 第 1のノズル導入孔 6 1 F及び第 2のノズル導入 孔 6 1 Eにそれぞれ連通する吐出ノズル 6 1 D及び定量ノズル 6 1 Cが形成された厚さほぼ 7 0 〔 z m〕 でなるガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以 ドのィ /機材料フィルム 6 1 Aとでオ リ フィ スプレー ト 6 1 を構成し、 金属板 6 1 Bの一面 6 1 B 1 が第 1 の圧力 ' : 6 2 D及び 第 2の圧力室 6 2 Aを覆うようにオリフィスプレー卜 6 1を圧力室 形成部 6 2に設けたことにより、 第 1の圧力室 6 2 D及び第 2の圧 力室 6 2 A內の圧力を有効かつ安定して上昇させることができるの で、 吐出ノズル 6 1 Dから両像データに応じたインク濃度を /する 混合溶液を効率应くかつ'女; して吐出させることができる。 かく し て 頼性を向上し得る 「キャ リアジェッ ト」 プリ ン夕装置 4 0を実 現し得る。

また上述の構成によれば、 定最ノズル 6 1 C及び吐出ノズル 6 1 Dを形成する部材として 機材料フイルム 6 1 Aを用いたことによ り、 金属材料でなるォリフィスプレー卜に定量ノズル 6 1 C及び吐 出ノズル 6 1 Dを形成する場合に比して、 1パルス当たりに加工し 得る孔の深さを深く形成することができ、 かつ液滴吐出に適したノ ズル形状を得ることができるので、 定量ノズル 6 1 C及び吐出ノズ ル 6 1 Dを低コス トかつ効率良く形成することができる。 かく して 生産性を向上し得る 「キャリアジヱッ 卜」 プリンタ装^ 4 0を実現 することができる。

( 3 ) 他の '施例

なお上述の第 1実施例においては、 積層ビエゾ 3 5を用いて ii:力 室形成部 3 2の /T:力室 3 2 Aに圧力を印加するようになされたプリ ン トヘッ ド 1 5 (インクジェッ トプリン トヘッ ド） をインクジエツ 卜プリン夕装置 1 0に適用した場合について述べたが、 本発明はこ れに限らず、 図 3との対応部分に同 -符号を付して示す (¾1 1 3に示 すようなインクジエツ 卜プリン 卜へッ ド 8 0をインクジエツ 卜プリ ンタ装置 1 0に適用しても上述の第 1実施例と ^様の効果を得るこ とができる。

このインクジエツ トプリン 卜へッ ド 8 0は、 振動板 3 4の一面 3 4 Bに圧力 3 2 Aを覆うように、 電極 8 1 Aを有する板状でなる 圧 ¾素子 8 1が設けられている。

この Π:電素子 8 1の分極及び電圧の方向は、 圧電素子 8 1 に電圧 を印加した際に、 圧 ¾素子 8 1が振動板 3 4の面内方向に縮んで [¾1 中矢印 aで示す方向に撓むようになされている。

従ってこのインクジエツ 卜プリン トへッ ド 8 0では、 鼋素子 8 1 に駆動電圧が印加されると、 圧電素子 8 1は ！ 1 4 ( A ) に示す 初期状態か図 1 4 ( B ) に示すように、 図中矢印 aで示す方向に撓 んで振動板 3 4を湾曲させる。 これによって圧力室 3 2 A内の圧力 がヒ昇して吐出ノズル 3 1 Cからイ ンクが吐出する。

この場合、 圧電素子 8 1に印加する駆動電圧の時間変化は、 吐出 ノズル 3 1 Cからィンクを吐出し得るような電圧波形に選定されて いる。

また上述の第 1実施例においては、 オリフィスプレー 卜 3 1を冇 機材料フイルム 3 1 A及び金属板 3 1 Bで構成した場合について述 ベたが、 本発明はこれに限らず、 図 1 5に示すように、 厚さがほぼ 7 〔〃m〕 でありガラス 移点が 2 5 0 〔 〕 以 ドの第 1の樹脂よ りなる有機材料フィルム 8 2 A (前述のネオフレ ックス） 及び厚さ がほぼ 1 2 5 〔〃m〕 でありガラス fe移点が 2 5 0 〔°C〕 以上のデ ュポン社製のカプトン （商品名） である第 2の樹脂よりなる有機材 料フィルム 8 2 Bよりなる有機材料フイルム 8 2と、 金属板 3 1 B とでオリフィ スプレート 8 3を構成してもよい。 図 1 5中、 第 1実 施例と同様の構成を有する部分においては、 I ' ー符り-を付し、 説明 を省略するものとする。 この /Y、 上述のオリフィスプレート 3 1 と同様の効果を得ることができ、 特に金属板 3 1 Bとの接着性を一 段と向上させることができる。 このオリフィスプレ一卜 8 3では、 有機材料フイルム 8 2全体に吐出ノズル 8 2 Cを形成することとな o

またこのような構成のォリフィスプレ一卜 8 3の場 、 ガラス転 移点が 2 5 0 C〕 以上-の有機材料フィルム 8 2 Bに吐出ノズル 8 2 Cを形成しているので、 吐出ノズル 8 2 Cの、 法精度、 すなわち 吐出される液滴の方向を安定させることができる。

ここでオリフィスプレ一 卜 8 3の作製方法について [ 1 6を用い て説明する。 この図 1 6においても第 1実施例と同様の構成を有す る部分については同一符号を付し、 説明を省略するものとする。 ま ず、 図 1 6 ( A) に示すように、 お機材料フィルム 8 2 Bの一面に 有機材料フィルム 8 2 Aを例えばコ一夕を用いて厚さがほぼ 7 i m〕 となるように塗布する。 この場合、 金属板 3 1 Bの表面粗さを 補える程度の厚さになるように有機材料フィルム 8 2 Aを塗布する。 例えば金属板 3 1 Bの表面粗さが最大で 6 〔〃m〕 程度であった場 合には、 有機材料フイルム 8 2 Aの厚さを約 1 0 〔〃m〕 に選定す る。

続いて、 図 1 6 ( B ) に示すように、 有機材料フイルム 8 2 Aの 一面 8 2 A1 に金厲板 3 1 Bの他面 3 1 B2 を熱圧着によって貼り 合わせる。

ここで有機材料フイルムとしてガラス転移点が 2 50 〔°C〕 以下 の有機材料フィルム 82 Aを用いたことにより、 熱圧着工程におけ るプレス温度と圧力を低くすることができるので、 オリフィスプレ ート 8 3の反りを未然に防止し得る。

次に、 図 1 6 (C) に示すように、 金屈板 3 1 Bの一面 3 1 B 1 にレジス トを塗布した後、 ノズル導人孔 3 1 Dに応じたパターンを 有するマスクを用いてパターン露光を行い、 レジス ト 84を形成す る。 続いて、 図 1 6 (D) に示すように、 ノズル導入孔 3 1 Dに応 じたパ夕一ンを有するレジス ト 84をマスクとして金属板 3 1 Bを エッチングすることによりノズル導人孔 3 1 D用の貫通孔 3 1 D 1 をノズル 3 1 Dの径より 30〜 ； 1 5 0 〔〃m〕 程度大きくなるよう に形成する。 ここで有機材料フイルム 8 2 Aは化 的に安定してい るので金属板 3 1 Bを容易にエッチングすることができる。 続いて、 図 1 6 ( E ) に示すように、 レジス 卜 8 4を除去した後、 ネ /機材料フィルム 8 2 Bにオリ フィ スプレー ト 8 3の一面 8 2 B 1 と対向する而側よりエキシマレ一ザを一面 8 2 B 1 に対して垂直に 照射して貫通孔 3 1 D 1 に連通するように 出ノズル 8 2 C用の貫 通孔 8 2 C 1 を形成する。

ここで ί'ί通孔 3 1 D 1 の径は貫通孔 8 2 C 1 より大きいので、 レ —ザ加工時の有機材料フ イルム 8 2 と金厲板 8 1 Bとの位 S合わせ 精度及びノズル導入孔 3 1 D川の貫通孔 3 1 D 1 形成時のエツチン グ精度を緩和することができる。 またノズル導人孔 3 1 Dの大きさ は、 /土力室 3 2 Aに rt力が印加された際の圧力室 3 2 A内の圧力上 昇にほとんど影響を与えることのない大きさなのでオリフィスプレ ―卜 8 3を安定して作製することができる。

また有機材料フイルム 8 2に吐出ノズル 8 2 C用の貫通孔 8 2 C 1 を形成するので、 金属材料でなるオリフィスプレートに吐出ノズ ル 8 2 C川の貫通孔 8 2 C 1 を形成する場合に比して、 1パルス当 たり加工し る孔の深さを深くすることができ、 かつ液滴吐出に適 したノズル形状を得ることができるので、 この結果吐出ノズル 8 2 C用の貫通孔 8 2 C 1 を低コス トかつ効率良く形成することができ る。

かく して吐出ノズル 8 2 C及びこれに連通したノズル導入孔 3 1 Dを するオリフィ スプレート 8 3を得ることができる。

さらに上述の第 1実施例においては、 図 4に示す手順でォリフィ スプレート 3 1 を作製した場合について述べたが、 本発明はこれに 限らず、 図 1 7に す手順でォリフ ィ スプレート 3 1を作製するよ うにしても上述の第 1実施例と irij様の効果を得ることができる。 こ の図 1 7においても図 4と同一の構成を^する部分については同一 符号を付し、 説明を省略するものとする。

すなわち、 まず図 1 7 ( A) に示すように、 金属板 3 1 Bの両面 にそれぞれレジス トを塗布した後、 ノズル導入孔 3 1 Dに応じたパ ターンを有するマスクを用いてパターン露光を行い、 レジス ト 84， 8 5を形成する。

続いて、 図 1 7 (B) に示すように、 ノズル導入孔 3 1 Dに応じ たパターンを有するレジス ト 84 , 8 5をマスクとして金厲板 3 1 Bの両 [iiiから金属板 3 1 Bをエッチングすることによりノズル導入 孔 3 1 D用の 孔 3 1 D 1 を吐出ノズル 3 1 Cの径より 3 0〜 1 50 〔〃m〕 程度大きくなるように形成する。 次に、 H 1 7 ( C) に示すように、 レジス ト 84 , 85を除去した後、 金属板 3 1 Bの 方の面にィ/機材料フイルム 3 1 Aを熱圧着によって貼り合わせる。 この場合、 金属板 3 1 Bの両面からエッチングするので、 金属板 3 1 Bの一方の面からエッチングする場合に比較して、 S通孔 3 1 D1 の径を小さくすることができると共に、 貫通孔 3 1 D 1 のコー ナ部の丸みを小さくすることができる。

続いて、 図 1 Ί (D) に示すように、 機材料フイルム 3 1 Aに、 オリフィ スプレート 3 1の一面 3 1 Eと対向する面側からエキシマ レーザを一面 3 1 Eに対して 直に照射して冇機材料フィルム 3 1 Aに吐出ノズル 3 1 C用の貫通孔 3 1 C1 を形成する。 この場合、 ノズル導入孔 3 1 D用の貫通孔 3 1 D1 に連通するように貫通孔 3 1 C1 を形成する。 ここで貫通孔 3 1 D1 のコーナ部の丸みは小さ いので、 通孔 3 1 C1 の形成時、 レーザがコーナ部で遮られるこ とを防止することができる。 かく して吐出ノズル 3 1 C及びこれに連通したノズル導入孔 3 1 Dを有するオリフィスプレート 3 1を得ることができる。

ここで有機材料フィルム 3 1 Aに代えて上述した有機材料フィル ム 8 2を用いるようにしてもよく、 上述の場合と同様の効果を得る ことができる。

さらに上述の第 1実施例においては、 図 4に示す T-順でォリフィ スプレー卜 3 1 を作製した場合について述べたが、 本発明はこれに 限らず、 図 1 8に示す手順でォリフィスプレートを作製するように しても上述の第 1実施例と同様の効果を得ることができる。 なお、 図 1 8においても、 図 4 と^一の構成を する部分については同一 符号を付し、 説明を省略するものとする。

すなわち、 図 1 8 ( A ) に示すように、 まず金属板 3 1 Bのノズ ル導入孔 3 1 Dに対応する位置を所定の金 5*i (図示せず） を用いて 図中矢印 P 1 で^す方向に打ち抜くことにより、 ノズル導入孔 3 1 D用の貫通孔 3 1 D 1 を穿設する。 この場合、 吐出ノズル 3 1 Cの ¾より 3 0〜 1 5 0 〔〃m〕 程度大きくなるように形成すると共に、 金属板 3 1 Bの他而 3 1 B 2 側にバリ （【 1示せず） が形成されるよ うに打ち抜く。

この場合、 金型を用いたことにより、 短時問で貫通孔 3 1 D 1 を 穿設し得ると共に貫通孔 3 1 D 1 のコーナ部の丸みを極力小さくで きる。

続いて、 図 1 8 ( B ) に示すように、 金属板 3 1 Bの他面 3 1 B 2 にも'機材料フ ィルム 3 1 Aを熱圧着によって貼り合わせた後、 図 1 8 ( C ) に小すように、 有機材料フィルム 3 1に、 オリフィスプ レート 8 6の一而 3 1 Eと対向する ifll側からエキシマレーザを一面 3 1 Eに対して垂直に照射して有機材料フイルム 3 1 Aに吐出ノズ ル 3 1 C用の貫通孔 3 1 C 1 を形成してォリフィスプレート 8 6を 完成する。 この場合、 ノズル導入孔 3 1 D用の貫通孔 3 1 D 1 に連 通するように貫通孔 3 1 C 1 を形成する。

ここで 通孔 3 1 D 1 のコーナ部の丸みは小さいので、 貫通孔 3 1 C 1 形成時、 レーザがコーナ部によって遮られることを防止する ことができる。

そして、 上述の図 1 8に示す手順によって作製される図 1 9に示 すようなオリフィスプレート 8 6においては、 上述のォリフィスプ レート 3 1 と同様の効 Wを得ることができると共に、 金属板 3 1 B と有機材料フィルム 3 1 Aとの熱 11;着時に金属板 3 1 Bに打ち抜き 時に形成されたバリ 3 1 B 3 がお機材料フイルム 3 1 Aに食い込む ので、 インク漏れ及び 力漏れを防止することができる。 従って、 近接する圧力室 3 2 A同士の間隔を狭めることができるので、 吐出 ノズル 3 1 Cのピッチを高密度化することができる。

また有機材料フイルム 3 1 Aに代えて上述した有機材料フイルム 8 2を用いるようにしてもよく、 上述の場^と同様の効 ¾を得るこ とができる。

さらに上述の第 2実施例においては、 積層ビエゾ 6 5 , 6 6を用 いてそれぞれ圧力室形成部 6 2の第 2の圧力室 6 2 A及び第 1の圧 力室 6 2 Dに圧力を与えるようになされたプリン トヘッ ド 4 5 ( 「キャリアジェッ ト」 プリン トヘッ ド） を 「キャリアジェッ ト」 プ リン夕装置 4 0に適用した場合について述べたが、 本 明はこれに 限らず、 図 6との対応部分に同一符号を付して示す図 2 0に示すよ うな 「キャ リアジエツ ト I プリ ントへッ ド 9 0を 「キャ リアジエツ ト」 プリン夕装置 4 0に適用しても ヒ述の第 2実施例と同様の効果 を得ることができる。

この 「キャ リアジエツ 卜」 プリン トへヅ ド 9 0は、 振動板 6 4の 一面 6 4 Cにそれぞれ第 2の圧力室 6 2 A及び第 1の圧力室 6 2 D を覆うように、 電極端子 9 1 Aを有する板状でなる） 電素子 9 1及 び電極端子 9 2 Aを冇する圧電素子 9 2が設けられている。

/王電尜子 9 1及び 9 2の分極及び電圧の印加方向は、 それぞれ圧 i 素 f 9 1及び 9 2に電圧を印加した際に、 圧電素子 9 1及び 9 2 が振動板 6 4の ifij内方向に縮にで 屮欠印 aで す方向に撓むよう に設定されている。

実際上、 この 「キャ リアジェヅ ト」 プリン 卜ヘッ ド 9 0では、 吐 出待機状態においては、 ） 1 素子 9 1， 9 2には駆動電圧が印加さ れず、 インク及び希釈液は表面張力と釣り合う位置、 すなわち定量 ノズル 6 1 C及び吐出ノズル 6 1 Dの先端近傍にそれぞれメニスカ スが形成される。

インク定量時においては、 素子 9 1に駆動電圧が印加される。 これにより圧 i 素 r- 9 1が f 中矢印 aで示す方向に橈んで振動板 6 4の第 2の圧力室 6 2 Aに対応する部分が図中矢印 aで す方向に 湾曲し、 この結果第 2の圧力室 6 2 Aの体積が減少して第 2の圧力 '¾ 6 2 A内の圧力が上昇して定量ノズル 6 1 Cの先端からィ ンクが 押し出された状態になる。

ィ ンク nt出時においては、 圧電素子 9 2に駆動電 £が印加される。 これにより、 圧電素子 9 2が図屮矢印 aで す方向に橈んで振動板 6 4の第 1の圧力室 6 2 Dに対応する部分が 屮矢印 aで示す方向 に湾曲する。 この結果、 第 1の圧力室 6 2 Dの体積が減少して第 1 の圧力室 6 2 D内の圧力が上昇し、 吐出ノズル 6 I Dから画像デー 夕に応じたィンク濃度を有する混合溶液が吐出される。

さらに上述の第 2実施例においては、 オリフィスプレート 6 1を お機材料フィルム 6 1 A及び金属板 6 1 Bで構成した場合について 述べたが、 本発明はこれに限らず、 図 2 1に示すように、 厚さほぼ 7 〔〃m〕 でなるガラス転移点が 2 5 0 C〕 以下の第 1の樹脂よ りなる有機材料フィルム 9 3 A (前述のネオフレックス） 及び厚さ 1 2 5 〔〃m〕 でありガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以 ヒのデュポン 社製のカブトン （商品名） である第 2の樹脂よりなる有機材料フ ィ ルム 9 3 Bとでなる有機材料フイルム 9 3 と、 金属板 6 1 Bとでォ リフィ スプレー 卜 9 4を構成してもよい。 図 2 1 中、 第 2実施例と 同様の構成を有する部分においては、 M -符号を付し、 説明を省略 するものとする。 この場合、 上述のオリフィスプレート 6 1 と同様 の効果を得ることができ、 特に金属板 6 1 Bとの接^性を一段と向 上させることができる。 このオリフィスプレート 9 4では、 有機材 料フ ィルム 9 3全体に定量ノズル 9 3 C及び吐出ノズル 9 3 Dを形 成する。

またこのような構成のォリフィスプレート 9 4の場合、 ガラス転 移点が 2 5 0 〔°C〕 以上の ヒ述のカブ卜ンでなる有機材料フィルム 9 3 Bに定 ノズル 9 3 C及び吐出ノズル 9 3 Dを形成しているの で、 定量ノズル 9 3 C及び吐出ノズル 9 3 Dの寸法精度、 すなわち 吐出される液滴の方向を安定させることができる。

このオリフィスプレート 9 4の作製手順について図 2 2を用いて 説明する。 図 2 2屮、 第 2実施例と同様の構成を有する部分におい ては、 —符 を付し、 説明を省略するものとする。 まず、 図 2 2 (A) に示すように、 有機材料フィルム 9 3 Bの一面 9 3 B1 に有 機材料フィルム 9 3 Aを例えばコ一夕を用いて厚さが 7 〔〃m〕 と なるように塗布する。 この場合、 金属板 6 1 Bの表面粗さを補える 程度の厚さになるように有機材料フイルム 9 3 Aを塗布する。 例え ば金属板 6 1 Bの表面粗さが最大で 6 〔〃m〕 程度であった場合に は、 有機材料フィルム 9 3 Aの さを 1 0 〔〃m〕 に透定する。 続いて、 図 2 2 (B) に示すように、 有機材料フイルム 9 3 Aの -而 9 3 A1 に金属板 6 1 Bの他面 6 1 B2 を熱 ΙΊ:着によって貼り ^わせる。

ここで有機材料フィルムとしてガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以下 の有機材料フィルム 9 3 Aを用いたことにより、 熱圧着工程におけ るプレス温度と圧力を低くすることができるので、 オリフィスプレ ー ト 94の反りを未然に防止し得る。

次に、 図 2 2 ( C) に示すように、 金屈板 6 1 Bの -面 6 1 B 1 にレジス トを塗布した後、 1のノズル導入孔 6 1 F及び第 2のノ ズル導入孔 6 1 Εに応じたパターンを有するマスクを用いてパ夕一 ン露光を行い、 レジス ト 9 5を形成する。 ^いて、 1ズ12 2 (D) に 示すように第 1のノズル導入孔 6 1 F及び第 2のノズル導入孔 6 1 Εに応じたパターンを有するレジス 卜 9 5をマスクとして金属板 6 1 Βをエッチングすることにより、 第 1のノズル導入孔 6 1 F用の 貫通孔 6 1 F1 及び第 2のノズル導入孔 6 1 Ε用の 通孔 6 1 Ε 1 をそれぞれ吐出景ノズル 9 3 D及び定量ノズル 9 3 Cの径ょり 3 0 〜 1 5 0 〔 111〕 程度大きくなるように形成する。 ここで有機材料 フィルム 9 3 Αは化学的に安定しているので金属板 6 1 Bを容易に エッチングすることができる。 続いて、 図 2 2 ( E ) に示すように、 レジス 卜 9 5を除去した後、 有機材料フイルム 9 3に、 オリフィスプレート 9 4の一面 9 3 B 2 に対向する面側からエキシマレ一ザを -面 9 3 B 2 に対して垂直に 照射して吐出ノズル 9 3 Dのための貫通孔 9 3 D 1 を形成すると共 に、 エキシマレ一ザを他面 9 3 B 2 に対して斜めに照射して定量ノ ズル 9 3 Cのための貫通孔 9 3 C 1 を形成する。 この場合、 吐出ノ ズル 9 3 D側にインクが押し出されるように貫通孔 9 3 C 1 を形成 する。 また貫通孔 6 1 E 1 及び貫通孔 6 1 F 1 にそれぞれ連通する ように貫通孔 9 3 C 1 及び貫通孔 9 3 D 1 を形成する。

ここで貫通孔 6 1 E 1 及び貫通孔 6 1 F 1 の径はそれぞれ貫通孔 9 3 C 1 及び貫通孔 9 3 D 1 より大きいので、 レーザ加工時の有機 材料フイルム 9 3と金属板 6 1 Bとの位置合わせ精度及び第 1のノ ズル導入孔 6 1 F用の貫通孔 6 1 F 1 及び第 2のノズル導入孔 6 1 E用の貫通孔 6 1 E 1 形成時のエッチング精度を緩和することがで きる。 また第 1のノズル導入孔 6 1 F及び第 2のノズル導入孔 6 1 Eの大きさは、 第 1の圧力室 6 2 D及び第 2の圧力室 6 2 Aに圧力 が印加された際の第 1の圧力室 6 2 D及び第 2の圧力室 6 2 A内の 圧力上 に影響を与えることのない大きさなのでォリフィスプレー 卜 9 4を安定して作製することができる。

また、 有機材料フイルム 9 3に定量ノズル 9 3 Cの貫通孔 9 3 C 1 及び吐出ノズル 9 3 Dの貫通孔 9 3 D 1 を形成するので、 金属材 料でなるオリフィスプレ一卜に貫通孔 9 3 C 1 , 9 3 D 1 を形成す る ¾合に比して、 1パルス当たり加 「-し得る孔の深さを深くするこ とができ、 かつ液滴吐出に適したノズル形状を得ることができ、 こ の結果定量ノズル 9 3 Cの^通孔 9 3 C 1 及び吐出ノズル 9 3 Dの 貫通孔 9 3 D 1 を低コス トかつ効率良く形成することができる。 かく して吐出ノズル 9 3 D及びこれに連通した第 1のノズル導入 孔 6 1 Fと定 fiノズル 9 3 C及びこれに連通した第 2のノズル導入 孔 6 1 Eとを有するオリフィスプレート 9 4を得ることができる。 さらに上述の第 2実施例においては、 図 1 2に示す手順でオリフ イスプレー ト 6 1を作製した場合について述べたが、 本発明はこれ に限らず、 図 2 3に す 頼でオリフィ スプレート 6 1を作製する ようにしても上述の第 2実施例と l様の効果を得ることができる。 この図 2 3においても図 1 2 と同一の構成をィ /する部分については 同一符号を付し、 説明を省略するものとする。

すなわち、 まず図 2 3 ( A ) に示すように、 金属板 6 1 Bの両面 にそれぞれレジス 卜を'塗布した後、 第 2のノズル導入孔 6 1 E及び 第 1のノズル導入孔 6 1 Fに応じたパターンを有するマスクを用い てパターン露光を行い、 レジス ト 9 6 , 9 7を形成する。

続いて、 図 2 3 ( B ) に^すように、 第 2のノズル導人孔 6 1 E 及び第 1のノズル^人孔 6 1 Fに応じたパターンを有するレジス 卜 9 6 , 9 7をマスクとして金属板 6 1 Bの両面から金属板 6 1 Bを エッチングすることにより、 第 2のノズル導入孔 6 1 E用の貫通孔 6 1 E〗 及び笫 1のノズル導入孔 6 1 F川の貫通孔 6 1 F 1 をそれ それ定量ノズル 6 1 C及び吐出ノズル 6 1 Dの径ょり 3 0〜 1 5 0 〔〃m〕 程度大きくなるように形成する。 次に、 1 2 3 ( C ) に示 すように、 レジス ト 9 6 , 9 7を除去した後、 金属板 6 1 Bの一方 の面に 機材料フイルム 6 1 Aを熱圧着によって貼り合わせる。 この場合、 金属板 6 1 Bの [ΐ¾ ώϊからエッチングするので、 金属板 6 1 Βの一方の面からエッチングする場合に比較して、 貫通孔 6 1 El 及び 6 1 Fl の径を小さくすることができると共に、 貫通孔 6 1 E 1 及び 6 1 F 1 の丸みを小さくすることができる。

続いて、 図 23 (D) に示すように、 有機材料フィルム 6 1 Aに、 オリフィスプレート 6 1の一面 61 A1 に対向する面側からエキシ マレーザを一面 6 1 A1 に対して垂直に照射して有機材料フィルム 6 1 Aに吐出ノズル 6 1 Dのための貫通孔 6 1 D 1 を形成すると共 に、 エキシマレ一ザを一面 6 1 A1 に対して斜めに照射して、 吐出 ノズル 6 1 D側にインクが押し出されるように ¾ ノズル 6 1 C用 の貫通孔 6 1 C1 を形成してォリフィスブレー卜 6 1とする。

この場合、 第 2のノズル導入孔 6 1 E用の貫通孔 6 1 E 1 及び第 1のノズル導入孔 6 1 F用の貫通孔 6 1 F1 にそれぞれ連通するよ うに定量ノズル 6 1 C川の貫通孔 6 1 C1 及び希釈液ノズル 6 1 D 川の貫通孔 6 1 D1 を形成する。 ここで貫通孔 6 1 E1 ， 6 1 F1 のコーナ部の丸みは小さいので、 貫通孔 6 1 C1 ， 61 D1 形成時、 レーザがコーナ部で遮られることを防止することができる。

かく して吐出ノズル 6 1 D及びこれに連通した第 1のノズル導入 孔 6 1 Fと、 定量ノズル 6 1 C及びこれに連通した第 2のノズル導 人孔 6 1 Eとを有するオリフィ スプレート 6 1を得ることができる。 ここで有機材料フィルム 6 1 Aに代えて上述した有機材料フィル ム 93を用いるようにしてもよく、 上述の場合と同様の効果を得る ことができる。

さらに上述の実施例においては、 [¾ 1 2に示す手 11でォリフィス プレート 6 1を作製した場合について述べたが、 本発明はこれに限 らず、 図 24に示す手順でオリフィスプレート 6 1を作製するよう にしても上述の第 2 'Λ:施例と 様の効果を得ることができる。 なお、 図 24においても、 図 1 2と同一の構成を有する部分については同 - 符号を付し、 説明を省略するものとする。

すなわち、 まず図 24 ( A) に示す金属板 6 1 Bの第 1のノズル 導入孔 6 1 F及び第 2のノズル導入孔 6 1 Eに対応する位置を所定 の金型 （図示せず） を用いて図中矢印 P 2 で示す方向に打ち抜く こ とにより、 第 1のノズル導入孔 6 1 F用の貫通孔 6 1 F1 及び第 2 のノズル導人孔 6 1 E用の貫通孔 6 1 E 1 をそれぞれ吐出ノズル 6 1 D及び定量ノズル 6 1 Cの径より 30〜 ： L 50 〔〃m〕 程度大き くなるように穿設する。 この ¾合、 金属板 6 1 Bの他 6 1 B2 側 にバリ （図 せず） が形成されるように打ち抜く。

ここで、 金型を用いたことにより、 短時問で貫通孔 6 1 E1 , 6 1 F1 を穿設し得ると共に 通孔 6 1 E 1 , 6 1 F1 のコーナ部を 極力小さくできる。

続いて、 図 24 (B) に示すように、 金属板 6 1 Bの他面 6 1 B 2 に苻機材料フ ィルム 6 1 Aを熱圧着によって貼り合わせる。 その 後、 124 ( C ) に示すように、 有機材料フィルム 6 1にオリフィ スプレート 98の 面 6 1 A 1 と対向する面側からエキシマレ一ザ を一面 6 1 A1 に対して垂 li'に照射して 機材料フ ィルム 6 1 Aに 吐出ノズル 6 1 Dのための貫通孔 6 1 D1 を形成すると共に、 ェキ シマレ一ザを一而 6 1 A1 に対して斜めに照射して、 吐出ノズル 6 1 D側にインクが押し出されるように定量ノズル 6 1 C用の貫通孔 6 1 C1 を形成し、 オリフィスプレート 98とする。

この場合、 貫通孔 6 1 E 1 ， 6 1 F1 にそれぞれ連通するように Π通孔 6 1 C1 ， 6 1 D1 を形成する。

そして、 上述の図 24に示す手順によって作製される図 2 5に示 973572

77 すようなオリフィスプレート 9 8の場合、 上述のオリフィスプレー ト 6 1 と同様の効果を得ることができると共に、 金属板 6 1 Bと有 機材料フィルム 6 1 Aとの熱圧着時に金属板 6 1 Bに打ち抜き時に 形成されたバリ 6 1 B 3 が有機材料フィルム 6 1 Aに食い込むので、 インク漏れ、 希釈液漏れ及び圧力漏れを防止することができる。 従 つて近接する第 1の圧力室 6 2 D同士及び第 2の圧力室 6 2 A同士 の間隔を狭めることができるので、 それぞれ吐出ノズル 6 1 D及び 定量ノズル 6 1 Cのピッチを高密度化することができる。 また有機 材料フイルム 6 1 Aに代えて 述した有機材料フイルム 9 3を/ い るようにしてもよく、 上述の場 と同様の効果を得ることができる。 さらに上述の実施例においては、 シリアル型プリン夕装置に本発 明を適用した場合について述べたが、 本発明はこれに限らず、 図 1 との対応部分に同一符号を付して示す図 2 6及び図 2 7に示すよう に、 ライン型プリン夕装置及びドラム问転型プリン夕装置に本発明 を適用し得る。

図 2 6に示すように、 ライン型プリン夕装置 1 0 0は、 多数のプ リン 卜へッ ド 1 5 (インクジェヅ 卜プリン トへヅ ド） がライン状に 配置されてなるラインヘッ ド 1 0 1が軸方^に固定して設けられて いる。 このライン型プリン夕装置 1 0 0は、 ラインヘッ ド 1 0 1で 1行分の印字が同時に行われ、 印字が完了すると ドラムを 1行分だ け回転させて次の行の印字を行うようになされている。 この場合、 全ライ ンを一括して印字したり、 複数プロックに分割したり、 1行 おきに交互に印字する方法が考えられる。

図 2 7に示すように、 ドラム回転型プリ ン夕装置 1 1 0は、 ドラ ム 1 1が回転するとその回転に ^期してプリン トヘッ ド 1 5 (イン クジェッ トプリン 卜へヅ ド） からインクが吐出され、 プリン ト紙 1

3上に画像が形成される。 ドラム 1 1が 1问転してプリ ン ト紙 1 3 上に円周方向に 1列の印刷が完了すると、 送りねじ 1 4が回転して プリ ン トヘッ ド 1 5を 1 ピッチ移動させ、 次の列の印刷を行う。 こ の場合、 ドラム 1 1 と送りねじ 1 4を同時に问転させ、 印刷しなが らプリン トヘッ ド 1 5を徐々に移動させる方法もある。 マルチノズ ルへッ ドの場合や同じ場所を何度か印字するような構成の場合は、 ドラム 1 1 と送りねじ 1 4とを連動して ifij時に 転させながらスパ ィラル状の印字を行う。

ここでこれらライン型プリンタ装置 1 0 0及びドラム回転型プリ ン夕装置 1 1 0に、 上述のプリン トヘッ ド 8 0 (イ ンクジェッ トプ リ ン トヘッ ド） やプリ ン トヘッ ド 4 5 , 9 0 ( 「キャ リアジェッ ト」 プリン 卜ヘッ ド） も適用し得ることは言うまでもない。

さらに ヒ述の実施例においては、 機材料フィルム 3 1 Aの厚さ をほぼ 5 0 〔 / m〕 に選定した場合について述べたが、 本発明はこ れに限らず、 冇機材料フィルム 3 1 Aの厚さとしてこの他種々の数 値を適 fflし得、 特にほぽ 5 0 〔〃m〕 以上の さに選定すれば上述 の実施例と同様の効果を得ることができる。

さらに上述の実施例においては、 有機材料フイルム 6 1 Aの厚さ をほぼ 7 0 〔〃m〕 に選定した場 Aについて述べた力 本発明はこ れに限らず、 冇機材料フイルム 6 1 Aの さとしてこの他種々の数 値を適用し得、 特にほぼ 7 0 〔 / m〕 以上の厚さに選定すれば上述 の実施例と冋様の効果を得ることができる。

さらに上述の実施例においては、 金属板 3 1 B , 6 1 Bの厚さを ほぽ 5 0 〔〃m〕 に選定した場合について述べたが、 本 明はこれ に限らず、 金属板 3 1 B， 6 1 Bの厚さとしてこの他種々の数値を 適用し得、 特にほぼ 5 0 〔〃m〕 以上の厚さに選定すれば上述の実 施例と同様の効果を得ることができる。

さらに上述の実施例においては、 ガラス転移点がほぽ 2 5 0 〔°C〕 以下のネオフレックスよりなる有機材料フィルム 3 1 A , 8 2 A , 6 1 A , 9 3 Aを いた場合について述べたが、 本発明はこれに限 らず、 この他種々の数値のものを適用し得る。

さらに上述の実施例においては、 有機材料フィルム 8 2 , 9 3の 厚さをほぼ〗 3 2 〔〃m〕 に選定した場合について述べたが、 本発 明はこれに限らず、 有機材料フイルム 8 2及び 9 3の厚さとしてこ の他種々の数値を適用し得る。

さらに上述の ¾施例においては、 エキシマレーザを用いた場合に ついて述べたが、 本発明はこれに限らず、 炭酸ガスレーザ等この他 種々のレーザを適用し得る。

さらに、 上述の実施例においては、 エキシマレ一ザ光を金属板 3 1 B , 6 1 B側より照射してノズルを形成した場合について述べた が、 本発明はこれに限らず、 有機材料フィルム側より照射しても良 レ、。

さらに上述の実施例においては、 インクを定量側に設定し、 希釈 液を吐出側に設定した ¾合について述べたが、 本発明はこれに限ら ず、 インクを吐出側に設定し、 希釈液を定量側に設定してもよい。 さらに上述の実施例においては、 オリフィ スプレート 3 1を有機 材料フイルム 3 1 A及び金属板 3 1 Bの積層構造とし、 オリフィス プレー ト 8 3を有機材料フィルム 8 2及び金属板 3 1 Bの積層構造 とした場合について述べたが、 本発明はこれに限らず、 金属板 3 1 Bを圧力室形成部 3 2に取り付けた後、 それぞれ有機材料フィルム 3 1 A及び 8 2 を金属板 3 1 Bに接着するようにしてもよい。 すな わち、 圧力室形成部と硬質部材、 樹脂部材を備えていれば、 本発明 の主旨を逸脱しない範囲での構成の変更が可能である。

さらに上述の ¾施例においては、 オリフィ スプレート 6 1 を有機 材料フイルム 6 1 A及び金属板 6 1 Bの積層構造とし、 オリフ ィ ス プレー卜 9 4を有機材料フィルム 9 3及び金属板 6 1 Bの積層構造 とした場 について述べたが、 本発明はこれに限らず、 金厲板 6 1 Bを圧力室形成部 6 2に取り付けた後、 それぞれ 機フ イルム 6 1 A及び 9 3を金属板 3 1 Bに接若するようにしてもよい。 すなわち、 圧力室形成部と硬 K部材、 樹脂部材を備えていれば、 本発明の主旨 を逸脱しない範囲での構成の変更が可能である。

さらに上述の実施例においては、 溶液が充填される溶液室が形成 された カ室形成部として、 圧力室形成部 3 2を fflいた場合につい て述べたが、 本発明はこれに限らず、 圧力室部としてこの他種々の 圧力室形成部を適用し得る。

さらに上述の実施例においては、 圧力室形成部の一方の面に設け られ、 圧力室に接する部分を押圧することにより圧力室内に所定の 圧力を発生させる加 JL 手段として、 接着剤 3 3、 振動板 3 4、 突起 部 3 4 A、 積層ピエゾ 3 5及びベース 3 7で構成される加圧手段と、 接 剤 3 3、 扳動板 3 4及び圧電素子 8 1で構成される加圧手段と を用いた場合について述べたが、 本発明はこれに限らず、 加圧手段 としてこの他種々の加圧手段を適川し得る。

さらに上述の^施例においては、 圧力室形成部の他方の面に設け られた硬質部材として、 金属板 3 1 B , 6 1 Bを用いた場合につい て述べたが、 本発明はこれに限らず、 硬質部材としてこの他種々の 硬質部材を適用し得る。

さらに上述の実施例においては、 圧力室形成部及び外部を連通し、 溶液を圧力室から外部に吐出する吐出ノズルが形成される樹脂部材 として、 有機材料フイルム 3 1 Aを用いた場合について述べたが、 本究明はこれに限らず、 樹脂部材として、 ポリイ ミ ド材料等この他 種々の樹脂よりなるものを適用し得、 特にガラス転移点が 2 5 0 C〕 以 ドの樹脂よりなるものを用いれば上述の実施例とほぼ同様 の効果を得ることができる。

さらに 1:述の実施例においては、 圧力室形成部及び外部を連通し、 溶液を圧力室から外部に吐出する吐出ノズルが形成される樹脂部材 として、 冇機材料フイルム 8 2 Aと有機材料フイルム 8 2 Bとでな る有機材料フイ ルム 8 2を用いた場合について述べたが、 本発明は これに限らず、 樹脂部材として、 この他稗々のガラス転移点及び樹 脂材の組み合わせでなる樹脂部材を適用し得、 特にガラス転移点が ほぼ 2 5 0 〔 〕 以下の第 1の樹脂とガラス転移点がほぼ 2 5 0

C〕 以 I：の第 2の樹脂よりなる樹脂部材を用いれば上述の実施例 とほぽ同様の効果を得ることができる。

さらに上述の実施例においては、 ガラス転移点が 2 5 0 (；。 C〕 以 下の第 1の樹脂として、 -機材料フイルム 8 2 A , 9 3 Aを用いた 場合について述べたが、 本発明はこれに限らず、 ガラス転移点が 2 5 0 〔 〕 以下の第 1の樹脂として、 この他種々の樹脂を適用し得 る。

さらに 述の実施例においては、 ガラス転移点が 2 5 0 C〕 以 上の第 2の樹脂として、 有機材料フィルム 8 2 B , 9 3 Bを川いた 場合について述べたが、 本発明はこれに限らず、 ガラス転移点が 2

5 0 〔°C〕 以上の第 2の樹脂材として、 この他種々の樹脂材を適用 し得る。

さらに上述の実施例においては、 吐出媒体が充填される第 1の圧 力室及び定量媒体が充填される第 2の圧力室が形成された圧力室形 成部として、 圧力室形成部 6 2を fflいた場合について述べたが、 本 発明はこれに限らず、 圧力幸:形成部としてこの他稗々の圧力室形成 部を適用し得る。

さらに に述の実施例においては、 /1:力室形成部の -方の ώίに設け られ、 第 1の圧力室に接する部分を押圧することにより第 1の圧力 室内に所定の圧力を発生させる第 1の加圧手段として、 接着剤 6 3、 ¾動板 6 4、 突起部 6 4 Β、 積層ピエゾ 6 6及びベース 7 0でなる 第 1の加圧手段と、 接着剤 6 3、 振動板 6 4及び圧電素子 9 2でな る第 1の加圧手段とを用いた場合について述べたが、 本発明は第 1 の加圧手段としてこの他種々の第 1の加圧手段を適用し得る。

さらに上述の実施例においては、 圧力室形成部の一方の ΐ ίに設け られ、 第 2の圧力室に接する部分を押圧することにより第 2の圧力 室内に所^の圧力を発生させる第 2の加圧手段として、 接着剤 6 3、 ¾動板6 4、 突起部 6 4 Α、 稂^ピエゾ 6 5及びべ一ス 6 9でなる 第 2の加圧手段と、 接 剤 6 3、 振動板 6 4及び圧電 子 9 1でな る第 2の加圧手段とを用いた場合について述べたが、 本発明はこれ に限らず、 第 2の加圧 f-段としてこの他種々の第 2の加圧手段を適 用し得る。

さらに上述の実施例においては、 第 1の/王力室及び外部を連通す る吐出ノズル及び第 2の圧力室及び外部を連通する定量ノズルが形 成され、 吐出ノズルから混合溶液を吐出する樹脂部材として、 有機 材料フィルム 6 1 Aを用いた場合について述べたが、 本発明はこれ に限らず、 樹脂部材として、 ポリイ ミ ド材料等この他種々の樹脂よ りなる樹脂部材を適用し得、 特にガラス転移点が 2 5 0 (：。 C〕 以下 の樹脂を用いれば上述の実施例と (HJ様の効果を得ることができる。 さらに上述の実施例においては、 第 1の圧力室及び外部を連通す る吐出ノズル及び第 2の圧力室及び外部を連通する定量ノズルが形 成され、 吐出ノズルから混合溶液を吐出する樹脂部材として、 有機 材料フイルム 9 3 Aと ¾機材料フィルム 9 3 Bとでなる 機材料フ イルム 9 3を用いた場合について述べたが、 本発明はこれに限らず、 樹脂部材として、 この他種々のガラス転移点及び樹脂の組み合わせ でなる樹脂部材を適用し^、 特にガラス転移点が 2 5 0 〔 〕 以下 の第 1の樹脂及びガラス転移点が 2 5 0 〔 〕 以上の第 2の樹脂よ りなる樹脂部材を用いれば上述の実施例とほぼ同様の効果を得るこ とができる。

2 · 第 3及び第 4の 叫に対応する実施の形態

( 1 ) 第 1実施例

本実施例においては、 本発明をインクのみを吐出するインクジェ ッ トプリン夕装置に適用した例、 すなわち第 3の発明に対応する実 施例について述べる。

( 1 - 1 ) インクジェッ トプリン夕装置の構成

本例のィンクジエツ 卜プリン夕装置の全体の構成であるが、 上述 の第 1及び第 2の発明に対応する実施の形態中の第 1灾施例と同様 とされているので、 ここでは説明を省略することとする。 すなわち、 本例のィンクジエツ トプリン夕装^においては、 先に示したプリン 7 01096

84 卜へヅ ド 1 5の代わりに後述のインクジエツ 卜プリン トへヅ ドが使 用されることとなる。 なお、 本例のィンクジエツ トプリン夕装置に おいても前述した制御部と同様の制御部が使用されることとなるの で、 この説明も省略することとする。

( 1 一 2 ) イ ンクジェッ トプリ ン 卜ヘッ ドの構成

次に、 本例のィンクジエツ 卜プリン夕装置のィ ンクジエツ 卜プリ ン 卜ヘッ ドの構成について説明する。 すなわち、 本例においては、 図 2 8及び図 2 9に示すように、 インクジエツ トプリ ン 卜へッ ド 1 1 5は、 板状でなる 力 ' 形成部 1 3 1 の - liij 1 3 1 Aに接着剤

(図示せず） によって振動板 1 3 2が接着されていると共に、 圧力 室形成部 1 3 1の他面 1 3 1 Bに板状でなるオリフ ィスプレー卜 1 3 3が接着され、 振動板 1 3 2の一面 1 3 2 Aに突起部 1 3 4を介 して積層ビエゾ 1 3 5が接合されて構成されている。 なお、 図 2 8 は図 2 9を図中 A— A '線にて切断した断面図を示す。

圧力室形成部 1 3 1は :さがほぼ 0 . 1 〔m m〕 のステンレスス チールよりなる。 この! £力室形成部 1 3 1には圧力室 1 3 1 C、 ノ ズル導人孔 1 3 1 D、 液体供給路 1 3 1 E、 イ ンクバッファタンク 1 3 1 F及び接続孔 1 3 1 Gが形成されている。 圧力室 1 3 1 Cは 圧力室形成部 1 3 1の厚み方向におけるほぼ中心位置から圧力室形 成部 1 3 1の一 ώί 1 3 1 A側に露出するように形成されている。 ノ ズル導入孔 1 3 1 Dは、 圧力室 1 3 1 Cの下側に ί 力室 1 3 1 。に 連通し、 かつ圧力室形成部 1 3 1の他面 1 3 1 B側に露出するよう に形成されている。

さらに、 液体供給路 1 3 1 Εは、 力室形成部 1 3 1の厚み方向 におけるほぼ中心位^から圧力室形成部 1 3 1の他面 1 3 1 Β側に 露出するように形成されている。 また液体供給路 1 3 1 Eは接続孔 1 3 1 E 1 を介して圧力室 1 3 1 Cに連通し、 かつノズル導入孔 1 3 1 Dとの間に硬質部材 1 3 1 Hを介して形成されている。

インクバッファタンク 1 3 1 Fは液体供給路 1 3 1 Eに連通し、 かつ圧力室形成部 1 3 1の他面 1 3 1 B側に露出するように形成さ れている。 ここで図 2 9に示すように、 本例のプリン 卜ヘッ ド 1 1 5においては、 複数の圧力室 1 3 1 Cが所定方 (ή!に配列形成されて おり、 イ ンクバッファタンク 1 3 1 Fは複数の液体供給路 1 3 1 Ε が取り付けられた 1本の配管、 すなわち各圧力室 1 3 1 Cに共通の ィンク液室であるインクバッファタンク 1 3 6を構成することとな る。

接続孔 1 3 1 Gはインクバッファタンク 1 3 1 Fに連通し、 かつ 圧力室形成部 1 3 1の一面 1 3 1 Α側に露出するように形成されて いる。

ここで Π^:.力室形成部 1 3 1には、 圧力室 1 3 1 Cの下面、 ノズル 導入孔 1 3 1 Dの一方の側面及び液体供給路 1 3 1 Εの ·方の側面 にそれぞれ接すると共に圧力室形成部 1 3 1の他面 1 3 1 Βの一部 を形成する硬質部材 1 3 1 Ηと、 圧力室 1 3 1 Cの一方の側面、 液 体供給路 1 3 1 Εの上面及び接続孔 1 3 1 Gの 方の側面に接する と共に圧力室形成部 1 3 1の -面 1 3 1 Αの一部を形成する部材 1 3 1 I と、 圧力室 1 3 1 Cの他方の側面及びノズル導入孔 1 3 1 D の他方の側面にそれぞれ接すると共に圧力室形成部 1 3 1の一面 1 3 1 A及び他面 1 3 1 Bの一部を形成する部材 1 3 1 Jと、 インク バヅファタンク 1 3 1 Fの一方の側面及び接続孔 1 3 1 Gの他方の 側面にそれぞれ接すると共に十:力室形成部 1 3 1の一面 1 3 1 A及 び他面 1 3 1 Bの一部を形成する部材 1 3 1 Kが形成されるように、 圧力室 1 3 1 C、 ノズル導入孔 1 3 1 D、 液体供給路 1 3 1 E、 ィ ンクバッファタンク 1 3 1 F及び接続孔 1 3 1 Gが形成されている。 圧力室形成部 1 3 1の他面 1 3 1 Bには、 ノズル導入孔 1 3 1 D、 液体供給路 1 3 1 E及びィンクバッファタンク 1 3 1 Fを覆うよう にオリフィスプレート 1 3 3が熱圧着によって接着されている。 こ のオリフィスプレート 1 3 3は、 耐熱性及び耐薬品性に優れた例え ば三井東圧化学工業株式会社製のネオフレックス （商品名） よりな り、 厚さがほぼ 5 0 〔〃m〕 でガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以下の 上述のネオフレックスよりなる。

このオリフィスプレ一卜 1 3 3には、 ノズル導入孔 1 3 1 Dに連 通し、 圧力室 1 3 1 Cからノズル導入孔 1 3 1 Dを介して供給され るインクを吐出するための断面形状が例えば円形でなる所定径を有 する吐出ノズル 1 3 3 Aが形成されている。 この場合、 ネオフレツ クスでなるオリフィスプレート 1 3 3に吐出ノズル 1 3 3 Aが形成 されているのでィンクに対する化学的な安定性を確保することがで きる。

ここでノズル導入孔 1 3 1 Dは吐出ノズル 1 3 3 Aの径ょり大き くなるように形成されている。

他方、 圧力室形成部 1 3 1の一面 1 3 1 A側には、 圧力室 1 3 1 Cを覆うように例えばニッケルよりなる振動板 1 3 2が例えばェポ キシ系の接着剤 （図示せず） によって接着されている。

本例のインクジエツ トプリン夕装置のプリン 卜へッ ド 1 1 5にお いては、 圧力 ¾形成部 1 3 1の一方の面である一 Ifij 1 3 1 A側に圧 力室 1 3 1 Cが形成され、 この一面 1 3 1 A側に、 圧力室 1 3 1 C を覆うように振動板 1 3 2が配置され、 上記振動板 1 3 2を介して 上記圧力室 1 3 1 Cに対応して圧電素子である積層ビエゾ 1 3 5が 配置されてなり、 圧力室形成部 1 3 1の他方の面である他面 1 3 1 B側に圧力室 1 3 1 Cに液体を供給する液体供給路 1 3 1 Eが形成 され、 この他面 1 3 1 B側に、 圧力室 1 3 1 Cに連通するノズル導 入孔 1 3 1 Dが形成される硬質部材 1 3 1 H及び Π1;出ノズル 1 3 3 Aが形成される樹脂部材であるオリフィスプレー卜 1 3 3が配置さ れている。

すなわち、 このインクジエツ 卜プリン 卜へッ ド 1 1 5においては、 液体供給路 1 3 1 Eが圧力室形成部 1 3 1の振動板 1 3 2 とは反対 側となる他面 1 3 1 B側に形成されることから、 従来のように振動 板を接若する際に用いる接着剤によって液体供給路 1 3 1 Eが塞が れることを未然に防止され、 かつ圧力室形成部 1 3 1の他面 1 3 1 Bに対してオリフィスプレート 1 3 3を熱压着によって接着するた め、 このオリフィスプレート 1 3 3の接着によって液体供給路 1 3 1 Eが塞がれてしまうこともない。

従って、 本例のプリン夕装置においては、 振動板 1 3 2の接着工 程を複雑化及び煩雑化することなく、 振動板 1 3 2が基台となる圧 力室形成部 1 3 1に高精度に接着され、 プリン夕装置の信頼忤が高 まる。

なお、 この振動板 1 3 2には圧力室形成部 1 3 1の接続孔 1 3 1 Gに対応した位置に貫通孔 1 3 2 Bが穿設されている。 この^通孔 1 3 2 Bにはイ ンクタンク （図示せず） に接続されたイ ンク供給管 1 3 7が取り付けられている。 従ってインクタンクからインク供給 ^ 1 3 7及びインクタンクバッファタンク 1 3 6を介して液体供給 路 1 3 1 Eに供給されるインクは/王力室 1 3 1 Cに充填されるよう になされている。

また振動板 1 3 2の一面 1 3 2 Aにおける圧力室 1 3 1 Cに対応 する位置には、 板状でなる突起部 1 3 4が形成されていると共に、 当該突起部 1 3 4には接着剤 （図示せず） によって積層ピエゾ 1 3 5が接 されている。 この突起部 1 3 4の大きさは、 積層ピエゾ 1 3 5の突起部 1 3 4が接着される一面 1 3 5 A及び圧力宰 1 3 1 C の問ロ而積より小さくなるように選^されている。

積層ピエゾ 1 3 5は Γ [： ¾部材と導電部材とが振動板 1 3 2のー^ 1 3 2 Aに平行な方向に交互に積層されて構成されている。 ここで 圧電部材と導電部材との積屑数は幾つであってもよい。

この積/ ピエゾ 1 3 5は駆動電圧が印加されると、 図 2 8中矢印 M l で示す方向とは逆の方向に直線的に変位して振動板 1 3 2の突 起部 1 3 4が形成されている部分を中心に持ち上げることにより圧 力室 1 3 1 Cの体積を增大させるようになされている。

また積^ビエゾ 1 3 5は駆動電圧が解放されると、 図中矢印 M l で示す方^に直線的に変位して突起部 1 3 4を押圧することにより 振動板 1 3 2を湾曲させて圧力室 1 3 1 Cの体積を減少させ、 これ によって圧力室 1 3 1 C内の圧力を上界させるようになされている。 この場合、 突起部 1 3 4の火きさは積層ピエゾ 1 3 5の一面 1 3 5 A及び圧力室 1 3 1 Cの開口面積よりも小さく形成されているので、 積屑ピエゾ 1 3 5の変位を 動板 1 3 2の压カ ¾ 1 3 1 Cに対応す る位匿に集中的に伝達することができる。

ここで実際上、 図 2 9に示すように、 インクジェッ トプリン トへ ッ ド 1 1 5においては、 圧力幸： 1 3 1 C、 ノズル導入孔 1 3 1 D、 液体供給路 1 3 1 E及び吐出ノズル 1 3 3 Aは複数形成されており、 各圧力室 1 3 1 Cに対応して突起部 1 3 4及び積層ビエゾ 1 3 5が 設けられている。

( 1一 3 ) インクジェッ トプリ ントへッ ドの製造方法

イ ンクジェッ トプリン トへヅ ド 1 1 5の製造方法について図 3 0 を用いて説明する。

まず図 3 0 ( A ) に示すように、 厚さがほぼ◦ . 1 〔m m〕 のス テンレススチールよりなる板材 1 3 8の -而 1 3 8 Aに例えば感光 性 ドライフィルムゃ液体レジス ト材料などのレジス トを塗 した後、 圧力室 1 3 1 C及び接続孔 1 3 1 Gに応じたパターンを有するマス クを用いてパターン露光を行うと共に、 板材 1 3 8の他面 1 3 8 B に例えば感光性 ドライフィルムや液体レジス 卜材料などのレジス ト を塗布した後、 ノズル導人孔 1 3 1 D、 液体供給路 1 3 1 E及びィ ンクバッファタンク 1 3 1 Fに応じたパ夕一ンを有するマスクを用 いてパターン露光を行い、 レジス ト 1 3 9及びレジス 卜 1 4 0を形 成する。

続いて図 3 0 ( B ) に示すように、 圧力室 1 3 1 C及び接続孔 1 3 1 Gに応じたパターンを するレジス 卜 1 3 9と、 ノズル導入孔 1 3 1 D、 液体供給路 1 3 1 E及びィンクバッファタンク 1 3 1 F に応じたパターンを有するレジス 卜 1 4 0とをマスクとして、 板材 1 3 8を例えば塩化第 2鉄水溶液でなるエッチング溶液に所定時間 浸してエッチングを行うことにより、 板材 1 3 8の一面 1 3 8 Aに 圧力室 1 3 1 C及び接続孔 1 3 1 Gを形成すると共に、 板材 1 3 8 の他面 1 3 8 Bにノズル導入孔 1 3 1 D、 液体供給路 1 3 1 E及び インクバッファタンク 1 3 1 Fを形成することにより、 圧力室形成 部 1 3 1を得る。 このとき、 ノズル導入孔 1 3 1 Dとインクバッフ ァタンク 1 3 1 Eの間には硬質部材 1 3 1 Hが形成されることとな る。

この場合、 板材 1 3 8の片面からのエッチング量が板材 1 3 8の さの約 1 / 2強となるようにエッチング Mを選定する。 例えば板 材 1 3 8の厚さが 0 . 1 〔m m〕 に選定されている場合には、 板材 1 3 8の片面からのエッチング量が約 0 . 0 5 5 〔m m〕 程度とな るように選定する。 これにより/ 1;カ 1 3 1 C、 接続孔 1 3 1 G、 ノズル導入孔 1 3 1 D、 液休供給路 1 3 1 E及びイ ンクバッファ夕 ンク 1 3 1 Fの寸法精度を向上し得ると共に安定して形成すること ができる。

また板材 1 3 8の片面からのエツチング量が同じなので、 板材 1 3 8の一面 1 3 8 Aに圧力室 1 3 1 C及び接続孔 1 3 1 Gを形成す る際のェヅチングの条件と、 板材 1 3 8の他面 1 3 8 Bにノズル導 人孔 1 3 1 D、 液体供給路 1 3 1 E及びィ ンクバッファタンク 1 3 1 Fを形成する際のエッチングの条件を Mじ条件に ¾ ^し得るので、 図 3 0 ( B ) に示した を簡易かっ^時間に行うことかできる。 ここでノズル導入孔 1 3 1 Dは、 圧力 1 3 1 Cに 1:力が印加さ れた際に圧力室 1 3 1 C内の压カ上昇に影響がない ί 度に吐出ノズ ル 1 3 3 Αの径ょり大きくなるように形成される。

続いて図 3 0 ( C ) に示すように、 レジス 卜 1 3 9 , 1 4 0を除 去した後、 厚さがほぼ 5 0 〔〃m〕 でガラス転移点が 2 5 0 C〕 以トーの前述のネオフレックスよりなる樹脂部材 1 4 1 を圧力室形成 部 1 3 1の他面 1 3 1 Bに熱圧着によって接着する。 この場合、 2 3 0 (：。 C〕 程度のプレス温度において 2 0 ~ 3 0 C k g f / c m 2 〕 程度の圧力を与えることにより接着する。 これにより圧力室形成 部 1 3 1 と樹脂部材 1 4 1 との接着強度を高めることができると共 に効率良く接着することができる。

またこの場合、 樹脂部材 1 4 1には吐出ノズル 1 3 3 Aが形成さ れていないので、 図 3 0 ( C ) に示す圧力室形成部 1 3 1に樹脂部 材 1 4 1を接着する工程においては高精度な位置合わせ精度を必要 としない分接着工程を簡易に行うことができる。 さらに接着剤を用 いずに図 3 0 ( C ) の状態の圧力 '· 形成部 1 3 1に樹脂部材 1 4 1 を接着しているので、 従来のように接着剤が液体供給路 1 3 1 Eを 塞ぐことを 然に防止することができる。

次に冈 3 0 ( D ) に示すように、 圧力室形成部 1 3 1の一面 1 3 1 A側から圧力室 1 3 1 C及びノズル導人孔 1 3 1 Dを介して樹脂 部材 1 4 1に対してエキシマレ一ザを ffi直に照射して樹脂部材 1 4 1に吐出ノズル 1 3 3 Aを形成することにより、 オリフィスプレー 卜 1 3 3を得る。 ここで樹脂部材 1 4 1 を川いているので吐出ノズ ル 1 3 3 Aを容易に形成することができる。 またノズル導入孔 1 3 1 Dは吐 iliノズル 1 3 3 Aの径ょり大きいので、 レーザ加工時の樹 脂部材 1 4 1 と圧力室形成部 1 3 1 との位^合わせ精度を緩和する ことができると共に、 レーザ加工時に圧力室形成部 1 3 1によって レーザが遮蔽される危険性を回避することができる。

^いて図 3 0 ( E ) に示すように、 例えばェポキシ系の接着剤を 用いて、 圧力室形成部 1 3 1の一面 1 3 1 Aに、 了，め突起部 1 3 4 が形成された振動板 1 3 2を接着する。 この場合、 液体供給路 1 3 1 Εは圧力室形成部 1 3 1の他面 1 3 1 Β側に形成されているので、 振動板 1 3 2の接 Τ-程において、 液体供給路 1 3 1 Εが接着剤に よって塞がれることを未然に防止することができる。 従って接着剤 による目詰まりに起因する液体供給路 1 3 1 Eの流路抵抗の上昇を 回避することができ、 本例のプリン夕装置においては信頼性が向上 する。

また液体供給路 1 3 1 Eは圧力室形成部 1 3 1の他面 1 3 1 Bに 形成されているので、 圧力室形成部 1 3 1に振動板 1 3 2を接着す る際に用いる接;?!剤の選択範囲を従来に比して大幅に広げることが できる。

また振動板 1 3 2を圧力室形成部 1 3 1の一而 1 3 1 Aに接着す る際には、 振動板 1 3 2の貫通孔 1 3 2 Bと接続孔 1 3 1 Gとの位 置合わせと、 突起部 1 3 4及び積層ピエゾ 1 3 5と圧力室 1 3 1 C との位置合わせだけを考慮すればよいので、 従来に比して ¾動板 1 3 2の接着工程を簡易に行うことができる。

続いて図 3 0 ( F ) に示すように、 例えばエポキシ系の接着剤を 用いて突起部 1 3 4に積層ピエゾ 1 3 5を接着した後、 ィンク供給 管 1 3 7を ¾通孔 1 3 2 Bに合わせて &動板 1 3 2に接着する。 か く してインクジエツ 卜プリン トへッ ド 1 1 5を得ることができる。

( 1 - 4 ) 第 1実施例の動作及び効果

以上の構成において、 このィンクジェッ トプリン トヘッ ド 1 1 5 では、 積屑ビエゾ 1 3 5に所定の駆動電圧が印加されると、 積層ビ ェゾ 1 3 5が図 3 1に矢印 M l で示す方向とは逆の方向に変位する。 これによつて振動板 1 3 2における カ 1 3 1 Cに対応する部分 が矢印 M l で示す方向とは逆の方向に持ち上げられるので、 力室 1 3 1 Cの体積が増加する。 このとき吐出ノズル 1 3 3 Α先端のメ ニスカスは、 一旦 / ^:.カ¾ 1 3 1 C側に後退する力 積層ピエゾ 1 3 5の変位が治まると表面張力との釣り合いによって吐出ノズル 1 3 3 Aの先端近傍で安定し、 インク吐出の待機状態となる。

ィンク吐出時においては、 積層ピエゾ 1 3 5に印加されている駆 動電圧が解放され、 この結果積屑ビエゾ 1 3 5が図 3 1 ( B ) に示 すように、 図中矢印 M l で示す方向に変位することにより振動板 1 3 2が矢印 M l で示す に変位する。 これにより圧力室 1 3 1 C の体積が減少して圧力室 1 3 1 C内の圧力が上昇し、 この結果吐出 ノズル 1 3 3 Aからインクが吐出される。 ここで積層ピエゾ 1 3 5 に与えられている駆動 '圧の時問変化は、 Π|:出ノズル 1 3 3 Aから インクを吐出し得るように設定されている。

ここで液体供給路 1 3 1 Eは圧力室形成部 1 3 1 の他面 1 3 1 B に形成され、 しかも接着剤を用いずに熱圧着によってオリフィスプ レート 1 3 3が圧力室形成部 1 3 1の他面 1 3 1 Bに接着されてい るので、 液体供給路 1 3 1 Eは接着剤によって がれることはない。 従って液体供給路 1 3 1 Eの流路抵抗が I: Wすることを ["1避し得る ので、 インクを安定して吐出することができ、 本例のプリン夕装置 は高い信頗性を得る。

またこのイ ンクジェッ トプリ ン トヘッ ド 1 1 5では、 ステンレス スチールよりなる圧力室形成部 1 3 1 と樹脂よりなるオリフィ スプ レート 1 3 3との積層構造で構成されているので、 圧力室形成部 1 3 1 とオリフィ スプレート 1 3 3とを樹脂材料で構成した ¾合に比 して、 圧力室 1 3 1 Cに圧力が印加された際におけるォリフィスプ レ一卜 1 3 3の変形量を小さくすることができ、 U1:出ノズル 1 3 3 Aから有効かつ安定してィンクを吐出することができる。 この場合、 特に圧力室 1 3 1 Cの下面に硬^部材 1 3 1 Hが形成されているの で、 吐出ノズル 1 3 3 Aから一段と有効かつ安定してィンクを吐出 することができる。

またオリフィスプレート 1 3 3の変形量を小さくすることができ るので、 積層ビエゾ 1 3 5に印加する電圧値を小さく しても圧力室 1 3 1 C内の圧力を有効かつ安定して上昇させることかでき、 この 結¾消費電力を低減することができる。

以上の構成を有する本例のプリン夕装置のプリン 卜へッ ドにおい ては、 圧力室形成部 1 3 1の他面 1 3 1 Bに液体供給路 1 3 1 Eを 形成し、 圧力室形成部 1 3 1の他 iffl l 3 I Bにオリ フィ スプレート 1 3 3を熱-£ によつて接着したことにより、 振動板 1 3 2を圧力 室形成部 1 3 1に接着する際に、 液体供給路 1 3 1 Eが接着剤によ つて塞がれることを防止し得るので接着剤の H詰まりに起 Hする液 体供給路 1 3 1 Eの流路抵抗の上昇を '1避し得る。 また振動板 1 3 2の接着工程を簡易に行うことができる。 かく して振動板の接转ェ 程を複雑化及び煩雑化することなく信頼性を向 I：し得るインクジェ ッ トプリン夕装置を実現することができる。

( 2 ) 第 2突施例

本実施例においては、 本発明をィンクを希釈液に対して定燈混ム

11 し、 これらを混合吐出する 「キャリアジェッ ト」 プリン夕装置に適 用した例、 すなわち^ 4の発明に対応する例について述べる。

( 2— 1 ) 「キャリアジェッ ト」 プリン夕装置の構成

本例の 「キャリアジェッ 卜」 プリン夕装 の^体の構成であるが、 上述の第 1及び第 2の発明に対応する実施の形態中の第 2実施例と 同様とされているので、 ここでは説明を 、略することとする。 すな わち、 本例の 「キャ リアジェッ ト」 プリンタ装置においては、 先に 示したプリン トヘッ ド 4 5の代わりに後述の 「キヤ リアジェヅ ト」 プリン 卜へッ ドが使用されることとなる。 なお、 本例の 「キャリア ジエツ ト」 プリン夕装置においても前述した制御部と同様の制御部 が使用されることとなるので、 この説明も省略することとする。 ま た、 本例の 「キャリアジェッ ト」 プリン夕装置においても前述した ようなドライバの動作が行われ、 前述したような駆動電圧の印加夕 ィ ミングが実施されることとなるため、 この説明も省略する。

( 2 - 2 ) 「キャ リアジエツ 卜」 プリン トへヅ ドの構成

「キャリアジェッ ト」 プリン トヘッ ド 1 5 5の構成を^ 3 2及び 3 3に示す。

図 3 2に示すように、 「キャリアジエツ ト」 プリ ン トへッ ド 1 5 5は、 板状でなる圧力室形成部 1 7 1の -面 1 7 1 Aに接若剂 （図 示せず） によって振動板 1 7 2が接着されていると共に、 圧力室形 成部 1 7 1の他面 1 7 1 Bに板状でなるオリフィスプレート 1 7 3 が接若され、 振動板 1 7 2の 面 1 7 2 Aに突起部 1 Ί 4及び突起 部 1 7 6を介してそれぞれ積層ピエゾ 1 7 6 (上述の第 2のビエゾ ^子に相当） 及びあ屑ビエゾ 1 7 7 (上述の第 1のピエゾ素子に相 当） が接合されて構成されている。

圧力 ¾形成部 1 7 1は厚さがほぼ 0 . 1 〔m m〕 のステンレスで なる。 この圧力室形成部 1 7 1には第 1の圧力室 1 7 1 H、 第 1の ノズル導入孔 1 7 1 1、 第 1の液体供給路 1 7 1 J、 希釈液バッフ ァタンク 1 7 1 K及び接続孔 1 7 1 Lが形成されていると共に、 第 2の圧力室 1 7 1 C、 第 2のノズル導入孔 1 7 1 D、 第 2の液体供 給路 1 7 1 E、 インクバッファタンク 1 7 1 F及び接続孔 1 7 1 G が形成されている。 96 第 1の圧力室 1 Ί 1 Hは圧力室形成部 1 7 1の厚み方向における ほぼ中心位置から圧力室形成部 1 7 1の一面 1 7 1 A側に露出する ように形成されている。 第 1のノズル導入孔 1 7 1 Iは、 第 1の圧 力室 1 7 1 Hの下側に第 1の圧力室 1 7 1 Hに連通し、 かつ圧力室 形成部 1 7 1の他面 1 7 1 B側に露出するように形成されている。 第 1の液体供給路 1 7 1 Jは、 圧力室形成部 1 7 1の厚み方向に おけるほぼ中心位置から圧力室形成部 1 7 1の他面 1 7 1 B側に露 出するように形成されている。 また^ 1の液体供給路 1 7 1 Jは孔 1 7 1 J 1 を介して第 1の Π:力室 1 7 1 Hに連通し、 かつ第 1のノ ズル導入孔 1 7 1 I と所定の間隔を^いて形成されている。

希釈液バッファタンク 1 Ί 1 Kは第 1の液体供給路 1 7 1 Jに連 通し、 かつ圧力 ¾形成部 1 7 1の他面 1 7 1 B側に露出するように 形成されている。 ここで図 3 3に示すように、 希釈液バッファタン ク 1 7 1 Kは複数の第 1の液体供給路 1 7 1 Jが取り付けられた 1 本の配管、 すなわち各第 1の圧力室 1 7 1 Hに共通の希釈液宰であ る希釈液バッファタンク 1 8 0を構成する。

接続孔 1 Ί 1 Lは希釈液バッファタンク 1 7 1 Kに連通し、 かつ 圧力室形成部 1 7 1の一面 1 7 1 A側に露出するように形成されて いる。

ここで圧力室形成部 1 7 1には、 第 1の圧力室 1 7 1 Hの下面、 第 1のノズル導入孔 1 7 1 1の- -方の側面及び第 1の液体供給路 1 7 1 Jの一 の側面にそれぞれ接すると共に Γ 力室形成部 1 7 1の 他面 1 7 1 Bの -部を形成する硬質部材 1 7 1 Pと、 第 1の圧力室 1 7 1 Hの一方の側面、 第 1の液休供給路 1 7 1 Jの 面及び接続 孔 1 7 1 Lの一方の側面に接すると共に圧力室形成部 1 7 1の一凼 1 7 1 Aの一部を形成する部材 1 7 1 Qと、 希釈液バッファタンク 1 7 1 Kの一方の側面及び接続孔 1 7 1 Lの他方の側面にそれぞれ 接すると共に圧力室形成部 1 7 1の一面 1 7 1 A及び他面 1 7 1 B の一部を形成する部材 1 7 1 Rが形成されるように、 第 1の圧力室 1 7 1 H、 第 1のノズル導入孔 1 7 1 1、 第 1の液体供給路 1 7 1

J、 希釈液バッファタンク 1 7 1 K及び接続孔 1 7 1 Lが形成され ている。

笫 2の圧力室 1 7 1 Cは圧力室形成部 1 Ί 1の厚み方向における ほぼ中心位 から圧力' · ί形成部 1 7 1の一面 1 7 1 Α側に露出する ように形成されている。 第 2のノズル導人孔 1 7 1 Dは、 第 2の圧 力室 1 7 1 Cの下側に^ 2の圧力室 1 7 1 Cに連通し、 かつ圧力室 形成部 1 Ί 1の他面 1 7 1 B側に露出するように形成されている。 第 2の液体供給路 1 7 1 Eは、 圧力室形成部 1 7 1の厚み方向に おけるほぼ中心位 {Γ〔から圧力室形成部 1 7 1の他而 1 7 1 B側に露 出するように形成されている。 また第 2の液体供給路 1 7 1 Eは孔 1 7 1 E 1 を介して第 2の圧力室 1 Ί 1 Cに連通し、 かつ第 2のノ ズル導入孔 1 7 1 Dと所定の間隔を置いて形成されている。

インクバッファタンク 1 7 1 Fは第 2の液体供給路 1 7 1 Eに連 通し、 かつ圧力室形成部 1 7 1の他面 1 7 1 B側に露出するように 形成されている。 ここで図 3 3に示すように、 インクバッファタン ク 1 7 1 Fは複数の第 2の液体供給路 1 7 1 Eが取り付けられた 1 本の配管、 すなわち各第 2の圧力室 1 7 1 Cに共通のインク液室で あるインクバッファタンク 1 7 8を構成することとなる。

接続孔 1 7 1 Gはインクバッファタンク 1 7 1 Fに連通し、 かつ 力室形成部 1 7 1の一面 1 7 1 A側に ϋ出するように形成されて いる。

ここで圧力室形成部 1 7 1には、 第 2の圧力室 1 7 1 Cの下面、 第 2のノズル導入孔 1 7 1 Dの一方の側面及び第 2の液体供給路 1 7 1 Eの一方の側面にそれぞれ接すると共に圧力室形成部 1 7 1の 他面 1 7 1 Bの一部を形成する硬質部材 7 1 Mと、 第 2の圧力室 1 7 1 Cの一方の側面、 第 2の液体供給路 1 7 1 Eの上 ifii及び接続孔 1 7 1 Gの- 方の側面に接すると共に）1^:.カ¾形成部 1 Ί 1の一面 1 7 1 Aの一部を形成する部材 1 Ί 1 Nと、 インクバヅ フ ァタンク 1 7 1 Fの一方の側面及び接続孔 1 7 1 Gの他方の側 にそれぞれ接 すると共に/ 1:力室形成部 1 7 1の一面 1 7 1 A及び他面 1 7 1 Bの 一部を形成する部材 1 7 1 0が形成されるように、 第 2の圧力室 1 7 1 C、 第 2のノズル導入孔 1 7 1 D、 第 2の液体供給路 1 7 1 E、 インクバッファタンク 1 7 1 F及び接続孔 1 7 1 Gが形成されてい る。

また第 2の圧力室 1 7 1 Cの他方の側而、 第 2のノズル導入孔 1 7 1 Dの他方の側面、 第 1の圧力室 1 7 1 Hの他方の側面及び第 1 のノズル導入孔 1 7 1 Iの他方の側 Ifiiに囲まれ、 / 1:力室形成部 1 7 1の一面 1 7 1 A及び他面 1 7 1 Bの一部を形成する部材 1 7 1 S が形成されている。

圧力室形成部 1 7 1 の他面 1 7 1 Bには、 第 1 のノズル導入孔 1 7 i i、 1の液体供給路 1 7 1 J及び希釈液バ ヅ フ ァタンク 1 7 I K、 第 2のノ ズル導入孔 1 7 1 D、 第 2の液体供給路 1 7 1 Ε、 イ ンクバッファタンク 1 7 1 Fを覆うように、 オリ フィスプレー ト 1 7 3が熱圧着によって接着されている。 このオリ フ ィ スプレー卜 1 7 3は例えば厚さがほぼ 5 0 〔〃m〕 でガラス転移点が 2 5 0 C °C ) 以下の前述のネオフレックスでなる。

このオリフィスプレート 1 7 3には、 第 2のノズル導入孔 1 7 1 Dに連通し、 第 2の圧力室 1 7 1 Cから第 2のノズル導入孔 1 7 1 Dを介して供給されるィンクを定量吐出するための所定径を有する 定量ノズル 1 7 3 Aが後述する吐出ノズル 1 7 3 B側に向くように 斜めに形成されている。 またオリフィスプレ一卜 1 7 3には、 第 1 のノズル導入孔 1 7 1 1に連通し、 第 1の :力室 1 7 1 Hから第 1 のノズル導入孔 1 7 1 I を介して供給される希釈液を吐出するため の所^径を 'し断面形状が円形でなる吐出ノズル 1 7 3 Bが形成さ れている。 この場合、 ネオフレックスでなるオリフィスプレート 1 7 3に定 ¾ノズル 1 7 3 A及び吐出ノズル 1 7 3 Bが形成されてい るのでィンク及び希釈液に対する化学的な安定性を確保することが できる。

ここで第 2のノズル導入孔 1 7 1 D及び第 1のノズル導人孔 1 7 1 Iは定量ノズル 1 7 3 A及び吐出ノズル 1 Ί 3 Bの伃ょり大きく なるように形成されている。

他方、 圧力室形成部 1 Ί 1の一面 1 7 1 A側には、 第 1の圧力室 1 7 1 H及び第 2の圧力室 1 7 1 〇を¾うように、 例えばニッケル よりなる振動板 1 7 2が例えばエポキシ系の接着剤 （図示せず） に よって接着されている。

本例の 「キャ リアジヱッ 卜」 プリン夕装置の 「キャ リアジヱッ 卜」 プリン 卜ヘッ ドにおいては、 圧力室形成部 1 7 1の 方の面である - -面 1 7 1 A側に第 1及び第 2の圧力室 1 7 1 H , 1 7 1 Cが形成 され、 この一面 1 7 1 A側に、 第 1及び第 2の圧力室 1 7 1 H， 1 7 1 Cを覆うように振動板 1 Ί 2が配置され、 上記振動板 1 7 2を 介して上記第 1及び第 2の圧力室 1 7 1 H, 1 7 1 Cに対応して圧 電素子である積層ピエゾ 1 7 7， 1 7 6が配置されてなり、 圧力室 形成部 1 7 1の他方の面である他面 1 Ί 1 B側に第 1及び第 2の圧 力室 1 7 1 H， 1 7 1 Cに液体を供給する第 1及び第 2の液体供給 路 1 7 1 J， 1 7 1 Eが形成され、 この他面 1 7 1 B側に、 第 1及 び第 2の圧力 1 7 1 H, 1 7 1 Cに連通する第 1及び第 2のノズ ル^入孔 1 7 I I , 1 7 1 Dが形成される硬質部材 1 7 1 P， 1 7 1 M、 叶出ノズル 1 73 B及び定量ノズル 1 Ί 3 Aが形成される樹 脂部材であるォリフィスプレート 1 7 3が配^されている。

すなわち、 この 「キャ リアジェッ ト」 プリ ン トヘッ ド 1 5 5にお いては、 第 1及び第 2の液体供給路 1 7 1 J , 1 7 1 Eが圧力室形 成部 1 7 1の振動板 1 7 2とは反対側となる他^ 1 7 1 B側に形成 されることから、 従来のように振動板を接着する際に用いる接着剤 によって第 1及び第 2の液体供給路 1 7 1 J , 1 7 1 Eが塞がれる ことを朱然に防 Ιί:されかつ圧力室形成部 1 Ί 1の他面 1 7 1 Bに対 してオリフィスプレート 1 7 3を熱 ί ί によって接着するため、 こ のオリフィスプレー卜 1 73の接着によって第 1及び第 2の液体供 給路 1 7 1 J , 1 7 1 Εが塞がれてしまうこともない。

従って、 本例のプリン夕装置においては、 ¾動板 1 72の接着工 程を複雑化及び煩雑化することなく、 振動板 1 7 2が基台となる圧 力室形成部 1 7 1に^精度に接着され、 プリン夕装置の信頼性が高 まる。

なお、 この振動板 1 7 2には圧力室形成部 1 7 1の接続孔 1 7 1 G , 1 7 1 Lに対応した位置にそれぞれ貫通孔 1 7 2 Β , 1 7 2 C が穿設されている。 これら貫通孔 1 7 2 Β , 1 7 2 Cにはそれぞれ インクタンク及び希釈液タンク （図示せず） に接続されたインク供 給管 1 Ί 9及び希釈液供給管 1 8 1が取り付けられている。 従って インクタンクからィンク供給管 1 Ί 9及びィンクバッファタンク 1 7 8を介して第 2の液体供給路 1 7 1 Eに供給されるインクは第 2 の圧力室 1 7 1 Cに充填され、 希釈液タンクから希釈液供給管 1 8 1及び希釈液バッファタンク 1 8 0を介して第 1の液体供給路 1 Ί 1 Jに供給される希釈液は第 1の圧力幸: 1 7 1 Hに充填される。 また振動板 1 7 2の -面 1 7 2 Aにおける第 1の圧力室 1 Ί 1 H 及び第 2の圧力室 1 7 1 Cにそれぞれ対応する位^には、 板状でな る突起部 1 7 5及び突起部 1 7 4が形成されていると共に、 ¾該突 起部 1 7 5， 1 7 4には接着剤 （図示せず） によってそれぞれ積層 ピエゾ 1 7 7， 1 7 6が接着されている。 この突起部 1 7 5 , 1 7 4の大きさは、 それぞれ積層ピエゾ 1 7 7 , 1 7 6の突起部 1 7 5 , 1 7 4が接着される - j 1 7 7 A, 1 7 6 A、 さらには第 1の圧力 室 1 7 1 H、 第 2の圧力室 1 7 1 Cの開口面積より小さくなるよう に選定されている。

積^ピエゾ 1 7 7は圧電部材と導電部材とが 動板 1 Ί 2の一面 1 7 2 Aに平行な方向に交互に積層され、 接着剤 （図示せず） によ つて突起部 1 Ί 5の接着面に接合されて構成されている。 ここで £H 電部材と導電部材との積屑数は幾つであってもよい。

この積 ピエゾ 1 7 7は駆動電 ΓΠが印加されると、 ίに矢印 M2 で示す方向とは逆の方向に直線的に変位して &動板 1 7 2の突起部 1 7 5が接着されている部分を中心に持ち上げることにより第 1の 圧力室 1 7 1 Ηの体嵇を増大させるようになされている。

また積層ビエゾ 1 7 7は駆動電圧が解放されると、 図に矢印 Μ2 で示す方向に直線的に変位して突起部 1 7 5を押圧することにより 振動板 1 7 2を湾曲させて第 1の圧力室 1 7 1 Hの体積を減少させ、 これによつて第 1の圧力室 1 7 1 H内の圧力を上昇させる。 この場 合、 突起部 1 7 5の大きさは積層ピエゾ 1 7 7の一面 1 7 7 A及び 第 1の/十:力室 1 7 1 Hの開口面積よりも小さく形成されているので、 積層ビエゾ 1 7 7の変位を振動板 1 7 2の第 1の圧力室 1 7 1 Hに 対応する位置に集中的に伝達することができる。

積層ピエゾ 1 7 6は圧電部材と導電部材とが振動板 1 7 2の一 ιύί 1 7 2 Αに平行な方向に交互に積^され、 接着剤 （図示せず） によ つて突起部 1 7 4の接着而に接^されて構成されている。 ここで 電部材と導¾部材との積層数は幾つであつてもよい。

この積層ピエゾ 1 7 6は駆動電圧が印加されると、 図 3 2中矢印 M 2 で^す方向とは逆の方向に直線的に変位して振動板 1 7 2の突 起部 1 7 4が接着されている部分を中心に持ち上げることにより第 2の圧力室 1 7 1 Cの体積を増大させるようになされている。

また積層ピエゾ 1 7 6は駆動 ' 圧が解放されると、 図中矢印 M 2 で示す方向に直線的に変位して突起部 1 7 4を押圧することにより 振動板 1 Ί 2を湾曲させて第 2の圧力室 1 7 1 Cの体積を減少させ、 これによつて笫 2の 力室 1 7 1 C内の圧力を上异させる。 この場 合、 突起部 1 7 4の大きさは積層ピエゾ 1 7 6の一面 1 7 6 A及び 第 2の 力室 1 7 1 Cの f) U面積よりも小さく形成されているので、 積屑ピエゾ 1 7 6の変位を振動板 1 7 2の第 2の^力室 1 7 1 Cに 対応する位^に柒中的に伝達することができる。

ここで図 3 3に示すように、 「キャ リアジェッ ト」 プリン トへッ ド 1 5 5においては、 図 3 3に示すように、 笫 1の/ 力室 1 7 1 H、 第 1のノズル導入孔 1 7 1 1、 第 1の液体供給路 1 7 1 J、 吐出ノ ズル 1 73 B、 第 2の圧力室 1 7 1 C、 第 2のノズル導入孔 1 7 1 D、 第 2の液体供給路 1 7 1 E、 定量ノズル 1 73 Aはそれぞれ複 数形成されている。 また各第 1の圧力室 1 7 1 H及び各第 2の圧力 室 1 7 1 Cに対応したそれぞれ突起部 1 7 5及び積層ピエゾ 1 7 7、 突起部 1 Ί 4及び積層ビエゾ 1 76が設けられている。

( 2 - 3 ) 「キャ リアジェッ ト」 プリ ン トへヅ ドの製造方法

「キャリアジエツ ト」 プリン トへヅ ド 1 5 5の製造方法について 図 34を川いて説明する。

まず図 34 (A) に示すように、 さがほぼ 0. 1 〔mm〕 のス テンレススチールよりなる板材 1 8 2の一而 1 8 2 Aに例えば感光 性ドライフィルムゃ液体レジス 卜材料などのレジス 卜を塗布した後、 第 2の圧力室 1 7 1 C；、 接続孔 1 7 1 G、 第 1の圧力室 1 7 1 H及 び接続孔 1 7 1 Lに応じたパターンを有するマスクを用いてパ夕一 ン露光を行うと共に、 板材 1 8 2の他 ϊίιί 1 8 2 Βに例えば感光性ド ライ フィルムゃ液体レジス ト材料などのレジス 卜を塗布した後、 第 2のノズル導入孔 1 7 1 D、 第 2の液体供給路 1 7 1 E、 イ ンクバ ッファタンク 1 7 1 F、 第 1のノズル導入孔 1 7 1 1、 第 1の液体 供給路 1 7 1 J及び希釈液バッファタンク 1 7 1 Kに応じたパター ンを有するマスクを用いてパターン露光を行い、 レジス ト 1 83 , 1 84を形成する。

続いて [¾134 (B ) に示すようにこれらパターンをそれぞれ有す るレジス ト 1 8 3 , 1 8 4をマスクとして、 板材 1 8 2を例えば塩 化第 2鉄水溶液でなるエツチング溶液に浸してエッチングを行うこ とにより、 板材 1 8 2の一面 1 82 Aに第 2の圧力室 1 7 1 C、 接 続孔 1 7 1 G、 第 1の圧力室 1 7 1 H及び接続孔 1 7 1 Lを形成す る。 また板材 1 8 2の他面 1 8 2 Bには、 第 2のノズル導入孔 1 7 1 D、 第 2の液体供給路 1 7 1 E、 インクバッファタンク 1 7 1 F、 第 1のノズル導入孔 1 7 1 1、 第 1の液体供給路 1 7 1 J、 希釈液 バッファタンク 1 7 1 Kを形成することにより、 圧力室形成部 1 7 1 を得る。 このとき、 1のノズル導入孔 1 7 1 1 と希釈液バッフ ァタンク 1 7 1 Jの間には硬質部材 1 7 1 Pが形成されることとな り、 第 2のノズル導入孔 1 Ί 1 Dとインクバッファタンク 1 7 1 E の間には硬 部材 1 7 1 Mが形成されることとなる。

この場合、 板材 1 8 2の片面からのエッチング量が板材 1 8 2の 厚さの約 1 /2強となるようにエッチング量を選定する。 例えば板 材 1 8 2の厚さが 0. 1 〔mm〕 に選定されている場合には、 板材 1 8 2の片面からのエッチング量が約 0. 0 5 5 〔mm〕 程度とな るように選定する。 これにより第 1の圧力室 1 7 1 H、 接続孔 1 7 1 L、 第 1のノズル導人孔 1 7 1 1、 第 1の液体供給路 1 7 1 J及 び希釈液バッファタンク 1 7 1 K、 第 2の） i:力室 1 7 1 C、 接続孔 1 7 1 G、 第 2のノズル導入孔 1 7 1 D、 第 2の液体供給路 1 Ί 1 E、 インクバッファタンク 1 7 I Fの寸法精度を向上し得ると共に 安定して形成することができる。

また板材 1 8 2の片面からのエッチング量が同じなので、 板材 1 8 2の一面 1 8 2 Aに、 第 1の圧力室 1 7 1 H、 接続孔 1 7 1 L、 第 2の圧力室 1 7 1 C及び接続孔 1 7 1 Gを形成する際のェッチン グの条件と、 板材 1 8 2の他面 1 8 2 Bに第 1のノズル導入孔 1 7 I I、 第 1の液体供給路 1 7 1 J、 希釈液バッファタンク 1 7 1 K、 第 2のノズル導入孔 1 7 1 D、 第 2の液体供給路 1 7 1 E及びィン 】05 クバヅファタンク 1 7 1 Fを形成する際のエッチングの条件を同じ 条件に設定し得るので、 図 3 4 (B ) の T.程を簡易かつ短時間に行 うことができる。

ここで第 1のノズル導入孔 1 7 1 1及び第 2のノズル導入孔 1 7 1 Dは、 それぞれ第 1の圧力室 1 Ί 1 H及び第 2の圧力室 1 7 1 C に圧力が印加された際に第 1の圧力室 1 7 1 H及び第 2の圧力室 1 7 1 C内の圧力上昇に影響がない程度に、 吐出ノズル 1 7 3 B及び 定贳ノズル 1 7 3 Aの怪ょりそれぞれ人きくなるように形成される。 絞いて図 3 4 ( C ) に示すように、 レジス 卜 1 8 3 , 1 8 4を除 去した後、 厚さがほぼ 5 0 〔〃m〕 でガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以下のネオフレックスよりなる樹脂部材 1 8 5を圧力室形成部 1 7 1の他面 1 7 1 Bに熱 若によって接着する。 この場合、 2 3 0 〔°C〕 程度のプレス温度において 2 0〜 3 0 Ck g f / c m 2 〕 程 度の圧力を与えることにより接着する。 これにより圧力室形成部 1 7 1 と樹脂部材 1 8 5との接着強度を高めることができると共に効 率良く接着することができる。

またこの場合、 樹脂部材 1 8 5には定量ノズル 1 7 3 A及び吐出 ノズル 1 7 3 Bが形成されていないので、 図 3 4 ( C) に示す圧力 室形成部 1 7 1に樹脂部材 1 8 5を接着する工程においては高精度 な 置合わせ精度を必要としない分接 工程を簡易に行うことがで きる。 さらに接着剤を用いずに図 3 4 ( C) の状態の圧力^形成部 1 7 1に樹脂部材 1 8 5を接着しているので、 従来のように接着剤 が第 1の液体供給路 1 7 1 J及び第 2の液体供給路 1 7 1 Eを塞ぐ ことを未然に防 lhすることができる。

次に図 3 0 (D ) に示すように、 圧力室形成部 1 Ί 1の -而 1 Ί 1 A側から第 1の圧力室 1 7 1 H及び第 1のノズル導入孔 1 7 1 1 を介して樹脂部材 1 8 5に対してエキシマレーザを垂直に照射する ことにより樹脂部材 1 8 5に吐出ノズル 1 7 3 Bを形成する。 また 圧力室形成部 1 7 1の ·面 1 7 1 A側から第 2の圧力室 1 7 1 C及 び第 2のノズル導入孔 1 7 1 Dを介して樹脂部材 1 8 5に対してェ キシマレ一ザを定量ノズル 1 7 3 A側に向けて斜めに照射すること により樹脂部材 1 8 5に定量ノズル 1 7 3 Aを形成することにより、 オリフィスプレート 1 7 3を得る。

ここで樹脂部材 1 8 5を用いているので定量ノズル 1 7 3 A及び 吐出ノズル 1 7 3 Bを容易に形成することができる。 また第 1のノ ズル導人孔 1 7 1 1及び第 2のノズル導人孔 1 7 1 Dはそれぞれ吐 出ノズル 1 7 3 B及び^ id:ノズル 1 7 3 Aの ί より人きいので、 レ 一ザ加工時の樹脂部材 1 8 5と圧力室形成部 1 7 1 との位置合わせ 精度を緩和することができると共に、 レーザ加工時に圧力室形成部 1 7 1によってレーザが遮蔽される危険性を冋避することができる。 続いて図 3 4 ( Ε ) に^すように、 例えばエポキシ系の接 剤を 用いて、 圧力室形成部 1 7 1の 面 1 7 1 Αに、 予め ¾起部 1 7 4， 1 7 5が形成された振動板 1 7 2を接着する。 この場合、 第 1の液 体供給路 1 7 1 J及び第 2の液体供給路 1 7 1 Eはそれぞれ圧力室 形成部 1 Ί 1の他面 1 7 1 Bに形成されているので、 振動板 1 7 2 の接着工程において、 第 1の液体供給路 1 7 1 J及び第 2の液体供 給路 1 7 1 Eが接若剂によって塞がれることを未然に防止すること ができる。 従って接着剤の Π まりに起因する第 1の液体供給路 1 7 1 J及び第 2の液体供給路 1 Ί 1 Eの流路抵抗の上昇を回避する ことができ、 本例のプリン夕装 Kにおいては信頼† :が向！:する。 また第 1の液体供給路 1 7 1 J及び第 2の液体供給路 1 7 1 Eは 圧力室形成部 1 Ί 1の他面 1 7 1 Bに形成されているので、 圧力室 形成部 1 Ί 1に振動板 1 7 2を接着する際に用いる接着剤の選択範 囲を従来に比して大幅に広げることができる。

また振動板 1 7 2を圧力室形成部 1 7 1の一面 1 7 1 Aに接着す る際には、 振動板 1 7 2の S通孔 1 7 2 Bと接続孔 1 7 1 Gの位置 合わせと、 通孔 1 7 2 Cと接続孔 1 7 1 Lの位^合わせと、 突起 部 1 7 4及び稷層ピエゾ 1 7 6 と第 2の/王力室 1 7 1 Cとの位置合 わせと、 交起部 1 7 5及び積層ピエゾ 1 7 7 と第 1の圧力室 1 Ί 1 Hとの位置 rわせだけを考慮すればよいので、 従来に比して振動板 1 7 2の接着工程を簡易に行うことができる。

続いて図 3 4 ( F ) に示すように、 例えばエポキシ系の接着剤を 用いて突起部 1 7 4， 1 7 5にそれぞれ積層ビエゾ 1 7 6， 1 7 7 を接着した後、 ィンク供給管 1 7 9及び希釈液供給管 1 8 1をそれ ぞれ振動板 1 7 2の 通孔 1 7 2 B， 1 7 2 Cに合わせて振動板 1 7 2に接 する。 かく して 「キャリアジェッ ト」 プリン トヘッ ド 1 5 5を得ることができる

( 2 - 4 ) 第 2実施例の動作及び効果

以上の構成において、 この 「キャリアジェッ ト」 プリン トヘッ ド 1 5 5では、 積屑ピエゾ 1 7 6， 1 7 7に所定の駆動電 が与えら れると、 図 3 5 ( A ) に示すように、 積層ピエゾ 1 7 6 , 1 7 7は それぞれ図中矢印 M 2 で/下す方向とは逆の方向に変位する。 これに よって振動板 1 7 2における第 2の圧力室 1 7 1 C及び第 1の圧力 室 1 7 1 Hに対応する部分が矢印 M 2 で示す方向とは逆の方向に持 ち上げられるので、 第 2の圧力室 1 7 1 C及び第 1の圧力室 1 7 1 Hの体積が増加する。

2の ί£力室 1 7 1 C及び第 1の圧力室 1 7 1 Ηの体積が増加す ると、 定量ノズル 1 7 3 Α及び吐出ノズル 1 7 3 Bのメニスカスは、 それぞれ一旦第 2の压カ室 1 7 1 C及び第 1の圧力室 1 7 1 H側に 後退するが、 積層ピエゾ 1 7 6 , 1 7 7の変位が治まると表面張力 との釣り合いによって定量ノズル 1 7 3 A及び吐出ノズル 1 7 3 B の先端近傍で安定する。

インク定量時においては、 積層ピエゾ 1 7 6に印加されている駆 動電圧が解放され、 この結果図 3 5 ( B ) に示すように、 嵇層ピエ V 1 7 6が矢印 M 2 で示す方向に変位することにより振動板 1 7 2 が矢印 M 2 で示す方 ί こ変位する。 これにより第 2の圧力室 1 7 1 C内の体積が減少して第 2の ^力室 1 7 1 C内の圧力が上 する。 この場合、 積層ピエゾ 1 Ί 6に与えられている駆動電圧の時間変 化は、 ^量ノズル 1 7 3 Αからインクが飛翔しないように緩やかに 設定されているので、 ィンクは定量ノズル 1 7 3 Αから飛翔せずに 押し出された状態になる。

ここで積^ピエゾ 1 7 6に印加されていた駆動電圧を解放すると きの^圧値を画像データの階調に応じた値に設定しているので、 定 ノズル 1 7 3 Aの先端から押し出されるインク量は画像デ一夕に 応じた ]:となる。

この定量ノズル 1 7 3 Aから押し出された状態にあるィンクは、 吐出ノズル 1 7 3 Bの先端部近傍においてメニスカスを形成してい る希釈液と接触して混合される。

インク吐出時においては、 積層ピエゾ 1 7 7に印加されている駆 動電圧が解放され、 この結果図 3 5 ( C ) に示すように、 積層ピエ ゾ 1 7 7が矢印 M2 で示す方向に変位することにより振動板 1 7 2 が矢印 M 2 で示す方向に変位する。 これにより第 1の圧力室 1 7 1 Hの体積が減少して第 1の圧力室 1 Ί 1 H内の圧力が上昇し、 この 結果吐出ノズル 1 7 3 Bから画像デ一夕に応じたィ ンク濃度を有す る混合溶液が吐出される。 ここで積層ビエゾ 1 7 7に - -えられてい る駆動電 l:の時間変化は、 吐出ノズル 1 7 3 Bから混合溶液が吐出 し得るように設定されている。

ここで ¾ 2の液体供給路 1 Ί 1 E及び第 1の液体供給路 1 7 1 J は圧力室形成部 1 7 1の他而 1 7 1 Bに形成され、 しかも接着剤を 用いずに熱圧着によってオリフィスプレート 1 7 3が溶液室形成部 材 7 3の他 !iij 1 7 1 B側に接着されているので、 第 2の液体供給路 1 7 1 E及び第 1の液体供給路 1 7 1 Jが接着剤によって塞がれる ことはない。

従って第 2の液体供給路 1 7 1 E及び^ 1の液体供給路 1 7 1 J の流路抵抗が上昇することを回避し得るので、 闹像データに応じた インク濃度を する混 溶液を安定して吐出することができ、 本例 のプリン夕装置は高い信頼性を得る。

またこの 「キャリアジェッ ト」 プリン 卜へッ ド 1 5 5は、 ステン レススチールよりなる カ室形成部 1 7 1 と樹脂よりなるオリフィ スプレー卜 1 7 3との積層構造で構成されているので、 圧力室形成 部 1 7 1 とオリフィスプレート 1 7 3とを樹脂材料で構成した場 に比して、 第 1の圧力室 1 7 1 H及び第 2の圧力室 1 7 1 Cに圧力 が印加された際におけるオリフィスプレート 1 7 3の変形 ϋを小さ くすることができる。 従って画像デ一夕に応じたィンク量を ^量ノ ズル 1 7 3 Αから 効かつ安定して押し出すことができると共に、 吐出ノズル 1 Ί 3 Βから画像データに応じたィンク濃度でなる混 Π 溶液を有効かつ安定して吐出させることができる。

この場合、 第 1の圧力室 1 7 1 H及び第 2の圧力室 1 7 1 Cの下 面にそれぞれ硬質部材 1 7 1 Ρ , 1 7 1 Μが形成されているので、 画像データに応じたィンク量を定量ノズル 1 7 3 Αから一段と有効 かつ安定して押し出すことができると共に、 吐出ノズル 1 7 3 Bか ら岡像データに応じたインク濃度でなる混合溶液を ·段とィ ί効かつ 安定して吐出させることができる。

またオリフィスプレ一卜 1 Ί 3の変形量を小さくすることができ るので、 積層ビエゾ 1 7 6 , 1 7 7に印加する電圧値を小さく して も第 2の圧力室 1 7 1 C及び第 1の^力室 1 7 1 Η内の圧力を有効 かつ安定して上昇させることかでき、 消費 ¾力を低減することがで きる。

以上の構成を有する本例のプリン夕装置のプリン 卜へッ ドにおい ては、 圧力室形成部 1 7 1の他面 1 7 1 Βに第 1の液体供給路 1 Ί 1 J及び第 2の液体供給路 1 7 1 Eを形成し、 圧力宰形成部 1 7 1 の他面 1 Ί 1 Bにオリフ ィ スプレート 1 7 3を熱 着によって接着 したことにより、 振動板 1 7 2を圧力室形成部 1 7 1に接着する際 に、 第 1の液体供給路 1 7 1 J及び第 2の液体供給路 1 7 1 Eが振 動板 1 Ί 2を接着する際に用いる接着剤によって塞がれることを防 止し得るので接着剤の l 詰ま りに起 Wする第 1の液体供給路 1 7 1 J及び第 2の液体供給路 1 7 1 Eにおける流路抵抗の上昇を回避し 得る。 また振動板 1 7 2の接着工程を簡易に行うことができる。 か く して振動板の接若ェ程を複雑化及び i雑化することなく信頼性を 向上し得る 「キャ リアジェッ ト」 プリン夕装置を実現することがで i n さる。

( 3 ) 他の実施例

なお上述の第 1実施例においては、 ガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以下のネオフレックスでなるオリフィスプレート 1 3 3を用いたィ ンクジェヅ トプリ ン トへヅ ド 1 1 5を使用した例について述べたが、 本発明はこれに限らず、 インクジエツ トプリントへッ ドとして図 2 8との対応部分に M -符 を付して す図 3 6に示すようなィ ンク ジェ ッ トプリ ン トヘッ ド 1 9 0を使用しても良く、 上述の第 1実施 例と同様の効果を得ることができる。

このインクジヱッ 卜プリン トへッ ド 1 9 0においては、 オリフィ スプレー卜 1 3 3に代えて図 3 7に示すようなオリフィスプレート 1 9 1を川いている。

オリフィ スプレー卜 1 9 1は例えば厚さがほぼ 1 2 5 〔 πι〕 で ありガラス転移点が 2 5 0 °C 以上のデュポン社製のカブトン

(商品名） よりなる第 2の樹脂 1 9 2の一面に、 例えば^さがほぼ 7 〔〃m〕 でありガラス転移点が 2 5 0 〔。C〕 以下の上述のネオフ レックスよりなる第 1の樹脂 1 9 3が塗布されて構成されている。 このイ ンクジエ ツ トプリ ン 卜へヅ ド 1 9 0の場合、 オリ フ ィ スプレ ート 1 9 1にノズル導入孔 1 3 1 Dに連通した吐出ノズル 1 9 1 A が形成されている。

従ってこのインクジエツ トプリン 卜へッ ド 1 9 0では、 上述の第 1実施例の効果に加えて、 オリフィスプレート 1 9 1の厚さがォリ フィ スプレー ト 1 3 3の厚さより厚いので、 イ ンクジエツ 卜プリ ン トへヅ ド 1 1 5に比して才リフィスプレート 1 9 1の強度を 段と 確保することができる。 このインクジエツ トプリン トへッ ド 1 9 0は図 3 0に示した製造 方法に準じた方法によって製造することができる。

また上述の第 1実施例においては、 積層ピエゾ 1 3 5を用いて圧 力室 1 3 1 Cに圧力を印加するようになされたインクジェッ トプリ ン トヘッ ド 1 1 5を使用した例について述べたが、 本発明はこれに 限らず、 図 2 8 との対応部分に同一符号を付して示す図 3 8及び図 3 9に示すようなインクジエツ 卜プリン トへヅ ド 2 0 0を使用して も上述の第 1実施例と^様の効果を得ることができる。 なお、 図 3 8は図 3 9を A— A ' で示す切断線により切断した断面を示す。 このインクジエツ トプリン トへッ ド 2 0 0は、 振動板 1 3 2の · 面 1 3 1 Aにおける £ΐ力室 1 3 1 Cに対応した位置に振動板 2 0 1 が形成されていると共に、 当該扳動板 2 0 1 I·.に板状でなる圧亀素 子 2 0 2が積屑されている。

この圧電素子 2 0 2の分極及び電圧の印加方向は、 圧電素子 2 0 2に電圧を印加した際に、 圧電素 Τ- 2 0 2が振動板 2 0 1の面内方 向に縮んで図中矢印 M2 に示す方向に撓むように設定されている。 従ってこのイ ンクジェッ トプリン 卜へヅ ド 2 0 0では、 ί上電素子 2 0 2に駆動電圧が印加されると、 圧電素子 2 0 2は、 図 4 0 ( Α ) に示す初期状態から図 4 0 ( Β ) に示すように図中矢印 M l で示す 方向に橈んで振動板 2 0 1 を押圧することにより振動板 1 3 2を湾 曲させる。 これによつて 力 ¾ 1 3 1 Cの体積が減少し、 圧力室 1 3 1 C内の圧力が h昇して吐出ノズル 1 3 3 Aからインクが吐出す る。

この場合、 圧電 r- 2 0 2に印加する駆動電圧の時間変化は、 叶 出ノズル 1 3 3 Aからインクを nl:出し ίΓίるような電 ί 波形に選択さ れている。

このインクジエツ トプリン トへッ ド 2 0 0の場合、 振動板 2 0 1 の大きさが圧力室 1 3 1 Cを Sう程度の大きさなので、 第 1実施例 に比して振動板 2 0 1が接着された圧電素子 2 0 2を振動板 1 3 2 に接着する際の接着工程を一段と容易に行うことができる。 また第 1 施例において振動板 1 3 2の大きさが圧力室 1 3 1 Cを覆うよ うな大きさである場合には、 この振動板 2 0 1が接着された圧電素 7- 2 0 2を振動板 1 3 2に接着する際の接着工程をさらに一段と容 易にすることができる。

さらにインクジエツ 卜プリン トへッ ド 2 0 0の場合、 L:述したよ うに液体供給路 1 3 1 Eが圧力室形成部 1 3 1の他而 1 3 1 Bに形 成されているので、 振動板 2 0 1が接着された圧電素 f 2 0 2を振 動板 1 3 2に接; Kする際の接着剤の選定範關を従来に比して大幅に 広げることができ、 これにより圧電素了 - 2 0 2の熱による劣化の発 生、 熱膨¾率の不一致による反り及び破損を防止し得る。

このインクジヱッ 卜プリン トへッ ド 2 0 0において、 オリフィス プレート 1 3 3に代えて ί:述のオリフィスプレート 1 9 1 を用いて もよく、 上述の場合と同様の効果を得ることができる。

さらに上述の第 1実施例においては、 インクジェッ トプリン トへ ッ ド 1 1 5を使用した例について述べたが、 本発明はこれに限らず、 図 2 8との対応部分に同一符号を付した図 4 1に示すィンクジエツ トプリン トヘッ ド 2 1 0を使用しても t述の第 1 ^施例と同様の効 果を得ることができる。

このインクジェッ トプリン 卜ヘッ ド 2 1 0は、 :さがほぼ 0 . 4 〔m m〕 のポリエーテルィ ミ ドでなる圧力室形成部 2 1 1 に圧力室 2 1 1 A、 ノズル導入孔 2 1 1 B、 液体供給路 2 1 1 C、 ィンクバ ッファタンク 2 1 1 D、 接続孔 2 1 1 E及び圧力室 2 1 1 Aと液体 供給路 2 1 1 Cとを連通させるための連通孔 2 1 1 Fが射出成形に よって形成されてなるものである。

圧力室 2 1 1 Aは圧力室形成部 2 1 1の一面 2 1 1 G側に露出す るように圧力宰形成部 2 1 1の一面 2 1 1 G側から所定の深さで形 成され、 ノズル導入孔 2 1 1 Bは圧力室 2 1 1 Aの下側に当該圧力 室 2 1 1 Aに連通し、 かつ 力室形成部 2 1 1の他 fii 2 1 1 H側に 露出するように形成されている。

液体供給路 2 1 1 Cは圧力室形成部 2 1 1の他面 2 1 1 H側に露 出するように Πΐ力室形成部 2 1 1の他面 2 1 1 Η側から所定の深さ で形成されている。

インクバッファタンク 2 1 1 Dは液体供給路 2 1 1 Cに連通し、 かつ圧力室形成部 2 1 1の他面 2 1 1 Η側に露出するように圧力室 形成部 2 1 1の他面 2 1 1 Η側から所定の深さで形成される。 また 接続孔 2 1 1 Εはインクバッファタンク 2 1 1 Dに迚通しかつ圧力 室形成部 2 1 1の -面 2 1 1 G側に露出するように形成されている。 また連通孔 2 1 1 Fは圧力室 2 1 1 Α及び液体供給路 2 1 1 Cを連 通させるように形成されている。

このインクジヱッ トプリン 卜へヅ ド 2 1 0の場合、 厚さがほぽ 0 . 4 〔m m〕 のポリェ一テルイ ミ ドでなる圧力室形成部 2 1 1 とオリ フィスプレ一卜 1 3 3の積 ^構造となっているので、 圧力 ¾形成部 として第 1 施例と同じ厚さ （ 0 . 1 〔m m〕 ) で部材としてポリ エーテルィ ミ ドを用いた場合に比して、 ff.力室形成部 2 1 1のノズ ル導入孔 2 1 1 Bと液体供給路 2 1 1 C間が硬質部材のように機能 し、 圧力室 2 1 1 Aに圧力が印加された際におけるオリフィスプレ ート 1 3 3の変形量を小さくすることができるので、 吐出ノズル 1 3 3 Aから有効かつ安定してインクを吐出することができる。

また圧力室形成部として第 1実施例と同じ厚さ （ 0 . 1 〔m m〕 ) で部材としてポリエ一テルイ ミ ドを用いた場合に比して、 オリフィ スプレー卜 1 3 3の変形量を小さくすることができるので、 積層ピ ェゾ 1 3 5に印加する電圧値を小さく しても 力室 2 1 1 A内の圧 力を有効かつ安定して上 Wさせるとこができ、 これにより消费電力 を低減することができる。

またこのインクジエツ 卜プリン トへッ ド 2 1 0において、 積層ピ ェゾ 1 3 5に代えて上述の振動板 2 0 1に積^された 電素子 2 0 2を適用し^る。

さらにこのインクジエツ 卜プリン トへッ ド 2 1 0において、 オリ フィスプレート 1 3 3に代えて上述のオリフィスプレー卜 1 9 1を 用いてもよく、 上述の場合と同様の効果を得ることができる。

ここでイ ンクジエツ 卜 プリ ン 卜へッ ド 2 1 0の製造方法を図 3 0 との対応部分に同一符号を付して示す図 4 2を用いて説明する。

まず図 4 2 ( A ) に示すように、 ポリエーテルイ ミ ドでなる樹脂 材料を用いて圧力室 2 1 1 A、 ノズル導人孔 2 1 1 B、 液体供給路 2 1 1 C、 インクバッファタンク 2 1 1 D、 接続孔 2 1 1 E及び連 通孔 2 1 1 Fを有する^さがほぼ 0 . 4 〔m m〕 の圧力室形成部 2 1 1 を射出成形によって形成する。

この場合、 樹脂材料としてポリエーテルイ ミ ドを用いているので、 卜:力 ¾ 2 1 1 A、 ノズル導人孔 2 1 1 B、 液体供給路 2 1 1 C、 ィ ンクバッファタンク 2 1 1 D、 接続孔 2 1 1 E及び迚通孔 2 1 1 F に応じた形状を樹脂材料に高精度に転写することができるので、 各 室及び孔の寸法精度を高精度に形成し得る。

この後の図 42 (B) に示す樹脂部材 14 1を/ Έ力室形成部 2 1 1の他面 2 1 1 Hに接着する工程、 図 42 (C) に示す樹脂部材 1 4 1に吐出ノズル 1 33 Aを形成してオリフィスプレート 133を 得るェ 図 42 (D) に示す振動板 1 32の接着ェ稃、 図 42

(E) に示す積層ビエゾ 1 35及びィンク供給管 1 37の接； EfT-程 は、 図 30に^す対応する各エネ と同様にして行えば良い。

かく してインクジエツ 卜プリ ン 卜へッ ド 2 1 0を ί!ίることができ る。

なお、 上 ¾ィンクジヱッ 卜プリン トヘッ ド 2 1 0の製造方法とし ては、 以下に示すような方法も挙げられる。 すなわち、 （¾142との 対応部分に同一符号を付して示す図 43を用いて説明する。

まず図 43 ( A) に示すように、 厚さがほぼ 0. 4 〔mm〕 のポ リエ一テルイ ミ ドでなる樹脂材料 2 1 2に圧力室 2 1 1 A、 液体供 給路 21 1 C、 インクバッファタンク 2 1 I D、 イ ンクバッファ夕 ンク 2 1 1 Dに貫通しない深さをおする接続孔 2 1 1 E〗 及び液体 供給路 2 1 1 Cに貫通しない深さを ¾する連通孔 2 1 1 F1 を射出 成形によって形成する。

続いて 143 (B) に示すように、 所^の打抜き T-段を用いて樹 脂材料 2 12の一面 2 12 A側から圧力室 2 1 1 Aを介してノズル 導入孔 2 1 1 Bを形成すると jtに、 所定の打抜き手段を fflいて樹脂 材料 2 1 2の - Iffi2 1 2 A側から接続孔 2 1 1 E 1 を介して 該接 続孔 2 1 1 E1 とインクバッファタンク 2 1 1 Dとを貫通させて接 綜孔 2 1 1 Eを形成する。 さらに所定の打抜き手段を用いて樹脂材 7/ 723

】】7 料 2 1 2の一面 2 1 2 A側から連通孔 2 1 1 F1 を介して圧力室 2 1 1 Aとインク流路 1 1 1 Dとを貫通させて連通孔 2 1 1 Fを形成 することにより、 圧力室形成部 2 1 1を得る。

この後の 143 ( C) に示すェ fiである樹脂部材 14 1を圧力室 形成部 2 1 1の他面 2 1 1 Hに接着する工程、 図 43 (D) に示す 樹脂部材 14 1に吐出ノズル 1 33 Aを形成してォリフィスプレ一 ト 1 33を得る工程は、 それぞれ図 30 (C) 及び図 30 (D) と 同様である。 また ¾έ動板 1 32の接着丁. 、 積層ピエゾ 1 35及び イ ンク供給管 1 37の接着工程は、 それぞれ図 30 ( Ε ) 及び閒 3 0 ( F) で示したように行えば J¾く、 ここでは図示を省略する。 かく してインクジエツ トプリン 卜へッ ド 2 1 0を得ることができ る。

ここで図 43 (B) に示すように、 ノズル導入孔 2 1 1 Bを形成 した際、 ノズル導入孔 2 1 1 Bの樹脂部材 14 1が接着される側に はバリ 2 1 1 B 1 が形成される。

従って図 43 ( C) に示す工程で圧力室形成部 2 1 1の他而 2 1 1 Hに樹脂部材 14 1を接着した際、 バリ 2 1 1 B1 が樹脂部材 1 4 1に食い込むので、 インク漏れ及び圧力漏れを防止することがで き、 インクジヱッ 卜プリン 卜ヘッ ド 2 10の信頼性を一段と向上さ せることができる。

また圧力室 2 1 1 A同士の問隔を狭めることができるので吐出ノ ズル 1 33 Aのピツチを高密度化することができる。

さらに ヒ述の第 1実施例においては、 図 30に^す製造 Τ·.順を川 いて、 インクジェッ トプリン トヘッ ド 1 1 5を製造した場合につい て述べたが、 本発明はこれに限らず、 f j 30との対応部分に问ー符 号を付して示す図 4 4に示す製造手順を用いてイ ンクジエツ トプリ ン トヘッ ド 1 1 5を製造してもよい。

すなわちまず図 4 4 ( A ) に示すように、 ステンレススチールよ りなる板材 1 3 8の一面 1 3 8 Aに例えば感光性 ドライフィルムや 液体レジス ト材料などのレジス トを塗布した後、 圧力室及び接続孔 に応じたパターンをィ/するマスクを用いてパターン露光を行うと共 に、 板材 1 3 8の他面 1 3 8 Bに例えば感光性ドライフィルムや液 体レジス 卜材料などのレジス トを^布した後、 液体供給路及びイン クバッファタンクに応じたパ夕一ンを有するマスクを川いてパター ン露光を行い、 レジス ト 1 3 9 , 2 1 3を形成する。

続いて図 4 4 ( B ) に示すように、 圧力室及び接続孔に応じたパ 夕一ンを有するレジス ト 1 3 9 と、 液体供給路及びインクバッファ タンクに応じたパターンを有するレジス ト 2 1 3 とをマスクとして 板材 1 3 8を例えば塩化第 2鉄水溶液でなるエッチング溶液に浸し てエツチングを行うことにより、 板材 1 3 8の - [id 1 3 8 Aに圧力 室 2 1 4 A及び接続孔 2 1 4 Bを形成すると共に、 他面 1 3 8 Bに 液休供給路 2 1 4 C及びィンクバッ ファタンク 2 1 4 Dを形成する。

この場合、 板材 1 3 8の片面からのエッチング量が板材 1 3 8の 厚さの 1 / 3程度となるようにエッチング を選定する。 従って圧 力室 2 1 4 A及び液体供給路 2 1 4 Cは連通せず、 またィンクバッ ファタンク 2 1 4 D及び接続孔 2 1 4 Bは連通しない。

続いてレジス 卜 1 3 9及び 2 1 3を除去した後、 図 4 4 ( C ) に 示すように、 所定の打抜き了-段を用いて板材 1 3 8の一面 1 3 8 A 側から/王力室 2 1 4 Aを介してノズル導入孔 2 1 4 Eを形成すると 共に、 所定の打抜き手段を用いて板材 1 3 8の一面 1 3 8 A側から 接続孔 2 1 4 Bを介して当該接続孔 2 1 4 Bとインクバッファタン ク 2 14 Dとを貫通させる。 さらに所定の打抜き手段を用いて板材

1 38の一面 1 3 8 A側から圧力室 2 1 4 Aを介して圧力室 2 1 4 Aと液体供給路 2 1 4 Cとを連通させる貫通孔 1 1 4 C1 を穿設す ることにより、 圧力室形成部 2 1 4を得る。

ここで図 4 5に示すように、 ノズル導入孔 2 1 4 Eを形成した際、 ノズル導入孔 2 1 4 Eの樹脂部材 1 4 1が接着される側にはバリ 2

1 4 E1 が形成されるので、 上述と同様の効果を得ることができる。 この後の である図 44 (D) に示す樹脂部材 1 4 1を圧力 ¾ 形成部 2 1 4に接着する 程、 図 4 4 (E) に示す樹脂部材 1 4 1 に吐出ノズル 1 3 3 Aを形成してオリフィスプレー卜 1 33を得る 工程は、 それぞれ図 3 0 ( C) 及び図 3 0 (D) と同様にして行え ば良い。 また振動板 1 3 2の接着工程と、 積層ピエゾ 1 3 5及びィ ンク供給管 1 3 7の接着工程は、 図 3 0 (E) 及び図 3 0 ( F) で 説明した場合と同様であり、 これらに対応する図は省略する。

従ってこの製造方法によれば、 ェツチング工程と打抜き工程の両 方を用いて圧力室形成部 2 1 4を作製したので、 図 3 0に示す製造 方法の ¾合に比して、 圧力室 2 1 4 Aの深さと液体供給路 2 1 4 C の深さを自由に選定し得、 この結果設計上のに II度を格段的に向上 させることができる。

また図 44に示す製造方法は上述したィンクジェッ トプリ ン トへ ッ ド 1 9 0 , 2 00にも適用可能である。

さらに上述の第 1実施例においては、 図 3 0 (B) のエッチング 工程においてエッチング環:を板材 1 3 8の さの 1 / 2強に選定し た場合について述べたが、 本発明はこれに限らず、 図 30 (B) の ェツチングエ^において、 板材 1 3 8の一面 1 3 8 A及び他面 1 3 8 Bに浸すエッチング ¾を変えることにより、 図 3 0との対応部分 に同一符号を付して示す図 4 6に示すように、 圧力室 2 2 1 A、 接 続孔 1 2 1 B、 液体供給路 2 2 1 C、 インクバッファタンク 2 2 1 D及びノズル導入孔 2 2 1 Eが形成された圧力宰形成部 2 2 1 を得 るようにしてもよい。 この場合、 圧力室 2 2 1 A及び液体供給路 2 2 1 Cは孔 2 2 1 C 1 を介して連通している。

このようにエッチングの最を変えて液体供給路 2 2 1 Cの深さを 浅くすることにより、 液休供給路 2 2 1 Cの流路抵抗を高くするこ とができるので、 積層ピエゾ 1 3 5に印加する駆動電圧値を小さく し得る。

さらに上述の第 2実施例においては、 ガラス転移点が 2 5 0 〔 〕 以下のネオフレックスでなるオリフィスプレート 1 7 3を用いた 「キヤリアジェッ ト」 プリン トヘッ ド 1 5 5を使用した例について 述べたが、 本発明はこれに限らず、 図 3 2との対応部分に同一符号 を付して示す図 4 7に^すような 「キャ リアジェッ ト」 プリン 卜へ ッ ド 2 3 0を使用するようにしても良く、 上述の第 2の実施例と同 様の効果が得られる。

この 「キャ リアジェヅ ト j プリン 卜へヅ ド 2 3 0は、 オリ フィ ス プレート 1 7 3に代えて図 4 8に/ すようなォリフィスプレート 2 3 1 を用いている。

オリフィスプレート 2 3 1は厚さがほぽ 1 2 5 〔〃 m〕 でなるガ ラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以 hのデュポン社製のカプトン （商 名） でなる第 2の樹胎 2 3 2の一面に、 厚さがほぼ 7 〔〃m〕 でなるガ ラス fe移点が 2 5 0 〔。C〕 以下の上 ネオフレックスでなる第 1の 樹脂 2 3 3が塗布されて構成されている。 この 「キャリアジエツ 卜」 プリン トへヅ ド 2 3 0の場合、 オリ フィ スプレー ト 2 3 1 に定量ノ ズル 2 3 1 A及び吐出ノズル 2 3 1 Bが形成されている。

従ってこの 「キャリアジェッ ト」 プリン 卜ヘッ ド 2 3 0では、 上 述の第 2実施例の効果に加えて、 オリフィスプレート 2 3 1の厚さ がオリ フィ スプレー ト 1 7 3の^さよ り厚いので、 「キャ リアジェ ッ 卜」 プリン 卜へッ ド 1 5 5に比してオリフィスプレ一卜 2 3 1の 強度を一段と確保することができる。

また 「キャ リアジェッ ト」 プリン トヘッ ド 2 3 0においてオリフ イスプレート 2 3 1を用いた場合には、 定量ノズル 2 3 1 Aの傾斜 角度に余裕をもたせることができると ftに、 第 2の if力室 1 7 1 C と第 1の圧力室 1 Ί 1 Hとの間隔を容易に拡げることができるので、 ィンク漏れ及び希釈液漏れを確' ¾に防止し得る。

また上述の第 2実施例においては、 積 ピエゾ 1 7 7， 1 7 6 7 を用いてそれぞれ第 1の 力室 1 Ί 1 H及び第 2の 力室 1 7 1 C に圧力を印加するようになされた 「キャリアジェッ ト」 プリン トへ ッ ド 1 5 5を使用した例について述べたが、 木発明はこれに限らず、 図 3 2との対応部分に同一符号を付して示す図 4 9及び図 5 0に示 すような 「キャリアジェッ ト」 プリン 卜ヘッ ド 2 4 0を使用するよ うにしても、 上述の第 2実施例と同様の効果を得ることができる。 この 「キャ リアジェッ ト」 プリ ン トヘッ ド 2 4 0は、 振動板 1 7 2の一面 1 7 2 Aにおける第 2の圧力室 1 Ί 1 C及び第 1の圧力室 1 7 1 Hにそれぞれ対応した位置に振動板 2 4 1及び振動板 2 4 2 が接着されていると共に、 当該振動板 2 4 1 , 2 4 2上にそれぞれ 板状でなる圧電素子 2 4 3， 2 4 4が積層されている。 】22 この圧電素子 2 4 3， 2 4 4の分極及び電圧の印加方向は、 圧電 素子 2 4 3， 2 4 4に電圧を印加した際に、 圧電素子 2 4 3， 2 4 4がそれぞれ振動板 2 4 1 , 2 4 2の面内方向に縮んで矢印 M 2 で 示す方向に撓むように設定されている。

実際上この 「キャリアジェッ ト」 プリン 卜ヘッ ド 2 4 0では、 図 5 1 ( A ) に^す吐出待機状態においては、 / Ι^:- ΐ1ί^了- 2 4 3 , 2 4 4には駆動電圧が印加されず、 ィンク及び希釈液は表而張力と釣り 合う位置、 すなわち定 ノズル 1 7 3 Α及び ΠΙ:出ノズル 1 7 3 Bの 先端近傍にそれぞれメニスカスが形成される。

ィンク定量時においては、 圧電素子 2 4 3に駆動電压が印加され る。 これにより、 図 5 1 ( B ) に示すように、 電素子 2 4 3が矢 印 M 2 で示す方向に撓んで振動板 1 7 2の第 2の圧力室 1 7 1 Cに 対応する部分が矢印 M 2 で示す方向に湾曲し、 この結果第 2の圧力 室 1 7 1 Cの体積が減少して第 2の/ £力室 1 7 1 C内の圧力が上昇 する。

ここで圧電^子 2 4 3に印加する電圧の ¾'圧値は画像データの階 調に応じた値に,投定されているので、 定愈 tノズル 1 7 3 Aの先端か ら押し出されるインク量は画像データに応じた量となる。

この定量ノズル 1 7 3 Aから押し出された状態にあるィンクは、 吐出ノズル 1 7 3 Bの先端部近傍においてメニスカスを形成してい る希釈液と接触して混合される。

ィ ンク叶出時においては、 ）」:電尜子 2 4 4に駆動電圧が印加され る。 これにより、 図 5 1 ( C ) に示すように、 圧' 素子 2 4 4が矢 印 M 2 で示す方向に橈んで I 動板 1 7 2の第 1の圧力 ¾ 1 7 1 Hに 対応する部分が矢印 M 2 で示す方向に湾曲する。 この結果、 第 1の 圧力室 1 7 1 Hの体積が減少して第 1の圧力室 1 7 1 H内の圧力が 上昇し、 吐出ノズル 1 7 3 Bから画像データに応じたィンク濃度を 有する混合溶液が吐出される。

ここで 電素子 2 4 4に印加する駆動電圧の時問変化は、 吐出ノ ズル 1 7 3 Bから混合溶液が吐出し得るように設定されている。 この 「キャ リアジェッ ト」 プリン トへヅ ド 2 4 0の場合、 振動板 2 4 1 , 2 4 2の大きさがそれぞれ第 2の圧力室 1 7 1 C及び第 1 の圧力室 1 7 1 Hを覆う程度の大きさなので、 h述の第 2実施例に 比して、 それそれ振動板 2 4 1 , 2 4 2が接着された j |:電素子 2 4 3 , 2 4 4を振動板 1 7 2に接着する際の接着 T.程を一段と容易に 行うことができる。 また第 2実施例において振動板 1 Ί 2の大きさ が第 2の圧力室 1 7 1 C及び第 1の圧力室 1 7 1 Hを覆うような大 きさでなる場合には、 この振動板 2 4 1， 2 4 2がそれぞれ接着さ れた圧電素子 2 4 3 , 2 4 4を振動板 1 7 2に接; Τίする際の接着工 程をさらに一段と容易にすることができる。

さらに 「キャ リアジェヅ 卜」 プリン トヘッ ド 2 4 0の場合、 上述 したように第 2の液体供給路 1 7 1 Ε及び第 1の液体供給路 1 7 1 Jが圧力室形成部 1 7 1の他面 1 7 1 Bに形成されているので、 振 動板 2 4 1 , 2 4 2がそれぞれ接着された圧電素子 2 4 3， 2 4 4 を振動板 1 7 2に接着する際の接着剤の選定範囲を従来に比して大 幅に広げることができ、 これにより圧電桌了- 2 4 3 , 2 4 4の熱に よる劣化の発生、 熱膨張率の不一致による反り及び破損を防止し得 る。

この 「キャリアジェッ ト」 プリン トヘッ ド 2 4 0において、 オリ フィスプレー卜 1 7 3に代えてオリフィスプレート 2 3 1を用いて もよく、 上述の場^と同様の効果を得ることができる。

さらに上述の第 2実施例においては、 「キャリアジェッ ト」 プリ ン トヘッ ド 1 5 5を使用した例について述べたが、 本発明はこれに 限らず、 図 3 2 との対応部分に同一符号を付した図 5 2に示す 「キ ャリアジエツ 卜」 プリン トヘッ ド 2 5 0を使用しても、 上述の第 2 ^施例と同様の効果を得ることができる。

この 「キヤ リアジェッ ト」 プリン トヘッ ド 2 5 0は、 厚さがほぼ 0 . 4 〔m m〕 のポリエーテルイ ミ ドでなる圧力室形成部 1 5 1に 第 1の /上力室 2 5 1 G、 1のノズル導入孔 2 5 1 H、 m 1の液体 供給路 2 5 1 1、 希釈液バッファタンク 2 5 1 J、 接続孔 2 5 1 K 及び第 1の圧力室 2 5 1 Gと第 1の液体供給路 2 5 1 I とを連通さ せるための連通孔 2 5 1 L、 第 2の圧力室 2 5 1 A、 第 2のノズル 導入孔 2 5 1 B、 第 2の液体供給路 2 5 1 C、 インクバッファ夕ン ク 2 5 1 D、 接続孔 2 5 1 E、 第 2の/ 力 ¾ 2 5 1 Aと第 2の液体 供給路 2 5 1 Cとを迚通させるための連通孔 2 5 1 Fが射出成形に よって形成されている。

第 1の圧力 ¾ 2 5 1 Gは圧力室形成部 2 5 1の一面 2 5 1 M側に 露出するように圧力室形成部 2 5 1の一面 2 5 1 M側から所定の深 さで形成され、 第 1のノズル^入孔 2 5 1 Hは第 1の圧力^ 2 5 1 Gの下側に当該第 1の圧力室 2 5 1 Gに連通しかつ压カ室形成部 2 5 1の他面 2 5 1 N側に露出するように形成されている。

第 1の液体供給路 2 5 1 1は)」::力室形成部 2 5 1の他面 2 5 1 側に露出するように圧力室形成部 2 5 1の他面 2 5 1 N側から所^ の深さに形成されている。

希釈液バッファタンク 2 5 1 Jは第 1の液体供給路 2 5 1 1に連 通し、 かつ圧力室形成部 2 5 1の他面 2 5 1 N側に露出するように 圧力室形成部 2 5 1の他面 2 5 1 N側から所定の深さで形成される。 また接続孔 2 5 1 Kは希釈液バッファタンク 2 5 1 Jに連通し、 か つ圧力室形成部 2 5 1の一面 2 5 1 M側に露出するように形成され、 連通孔 2 5 1 Lは第 1の圧力室 2 5 1 G及び第 1の液体供給路 2 5 1 Iに連通させるように形成されている。

第 2の/王カ宰 2 5 1 Aは圧力室形成部 2 5 1の ·面 2 5 1 M側に 露出するように L1:力室形成部 2 5 1の一面 2 5 1 M側から所定の深 さで形成され、 第 2のノズル導人孔 2 5 1 Βは第 2の圧力室 2 5 1 Αの下側に当該第 2の圧力室 2 5 1 Aに連通しかつ圧力 ' 形成部 2 5 1の他面 2 5 1 N側に露出するように形成されている。

第 2の液体供給路 2 5 1 Cは カ室形成部 2 5 1の他面 2 5 1 N 側に露出するように圧力室形成部 2 5 1の他面 2 5 1 N側から所定 の深さに形成されている。

インクバッファタンク 2 5 1 Dは第 2の液休供給路 2 5 1 Cに連 通し、 かつ圧力室形成部 2 5 1の他【fii 2 5 1 N側に露出するように 圧力室形成部 2 5 1の他【 2 5 1 N側から所定の深さで形成される。 また接続孔 2 5 1 Eはインクバッファタンク 2 5 1 Dに連通し、 か つ圧力室形成部 2 5 1の -面 2 5 1 M側に露出するように形成され、 連通孔 2 5 1 Fは第 2の圧力室 2 5 1 A及び希釈液流路 1 5 1 Cを 連通させるように形成されている。

この 「キャ リアジェッ ト」 プリン トヘッ ド 2 5 0の場合、 厚さが ほぼ 0 . 4 〔m m〕 のポリエーテルイ ミ ドでなる圧力' 形成部 2 5 1 とオリフィスプレート 1 7 3の積屑構造となっているので、 圧力 室形成部として第 2実施例と じ厚さ （ 0 . 1 〔m m〕 ) で部材と してポリエーテルイ ミ ドを用いた場合に比して、 第 2のノズル導人 孔 2 5 1 Bと第 2の液体供給路 2 5 1 Cの間、 第 1のノズル導入孔 2 5 1 Hと第 1の液体供給路 2 5 1 Iの間が硬質部材のように機能 し、 第 2の圧力室 2 5 1 A及び第 1の圧力室 2 5 1 Gに圧力が印加 された際におけるオリフィスプレート 1 7 3の変形 Sを小さくする ことができるので、 定 ¾ノズル 1 7 3 Aから^効かつ安定してィン クを押し出した状態にすることができると共に、 吐出ノズル 1 7 3 Bから有効かつ安定して混合溶液を吐出することができる。

また圧力 ¾形成部として第 2実施例と同じ厚さ （ 0 . 1 〔m m〕 ） で部材としてポリェ一テルイ ミ ドを用いた場 に比して、 オリフィ スプレー 卜 1 7 3の変形量を小さくすることができるので、 積層ピ ェゾ 1 7 6 , 1 7 7に印加する電圧値を小さく しても第 2の £ί·:力室 2 5 1 Α及び第 1の圧力室 2 5 1 G内の圧力を冇効かつ安定して上 させることができ、 これにより消費電力を低减することができる。 またこの 「キャリアジエツ 卜」 プリン トへッ ド 2 5 0において、 積屑ピエゾ 1 7 6， 1 7 7に代えてそれぞれ に述の圧電^了- 2 4 3 , 2 4 4を適用し る。

さらにこの 「キャリアジェヅ ト」 プリン トへッ ド 2 5 0において、 オリフィスプレート 1 7 3に代えて ヒ述のォリフィスプレート 2 3 1 を用いてもよく、 上述の場合と同様の効果を得ることができる。 ここで 「キャ リアジェッ ト」 フ リン トヘッ ド 2 5 0の製造方法を 図 3 4との対応部分に同 -符し¹を付して示す図 5 3を川いて説明す る o

まず図 5 3 ( A ) に示すように、 厚さがほぼ 0 . 4 〔m m〕 のポ リェ一テルイ ミ ドでなる樹脂材料に第 1の圧力室 2 5 1 G、 第 1の ノズル導入孔 25 1 H、 第 1の液体供給路 25 1 1、 希釈液バッフ ァタンク 25 1 J、 接続孔 25 1 K及び連通孔 25 1 L、 第 2の圧 力室 25 1 A、 第 2のノズル導入孔 25 1 B、 第 2の液体供給路 2 5 1 C、 インクバッファタンク 25 I D、 接続孔 25 1 E、 連通孔 25 1 Fを射出成形によって形成することにより、 圧力室形成部 2 5 1を得る。

この場合、 樹脂材料としてポリエーテルイ ミ ドを用いているので、 第 1の圧力室 25 1 G、 1のノズル 人孔 25 1 H、 第 1の液体 供給路 25 1 1、 希釈液バッファタンク 25 1 J、 接続孔 25 1 K 及び迚通孔 25 1 L、 第 2の圧力室 25 1 A、 第 2のノズル導入孔 25 1 B、 第 2の液体供給路 25 1 C、 インクバッファタンク 25 1 D、 接続孔 2 5 1 E、 連通孔 25 1 Fに応じた形状を樹脂材料に 高精度に転写することができるので、 各室及び孔の寸法精度を高精 度に形成し得る。

この後のエ^である図 53 (B) に示す樹脂部材 1 85を圧力室 形成部 25 1の他 ιήί 25 1 Νに接 するェ ft 図 53 ( C ) に示す 樹脂部材 1 85に定量ノズル 1 Ί 3 A及び吐出ノズル 1 73 Bを形 成してオリフィスプレート 1 73を得る工程、 図 53 (D) に示す 振動板 1 72の接着工程、 図 53 ( E ) に示す積^ビエゾ 1 76， 1 77とィンク供給管 1 79及び希釈液供給管 1 8 1の接着工程は 図 34に示す対応する各工程と同じである。

かく して 「キャリアジェッ ト」 プリン トヘッ ド 2 50を得ること ができる。

ここで 「キャ リアジェッ ト」 プリン トヘッ ド 250の他の製造方 法を図 34との対応部分に M—符 を付して示す^ 54を用いて説 明する。

まず図 5 4 ( A) に示すように、 厚さがほぼ 0. 4 〔mm〕 のポ リエ一テルイ ミ ドでなる樹脂材料 2 5 2に第 1の圧力室 2 5 1 G、 第 1の液体供給路 25 1 1、 希釈液バッファタンク 2 5 1 J、 希釈 液バッファタンク 2 5 1 Jに 通しない深さを有する接続孔 25 1 K1 、 第 1の液体供給路 2 5 1 Iに w通しない深さを有する連通孔 2 5 1 L1 と、 第 2の圧力室 2 5 1 A、 第 2の液体供給路 2 5 1 C、 インクバッ フ ァタンク 2 5 1 D、 インクノ ソ フ ァタンク 2 5 1 Dに 通しない深さを有する接続孔 2 5 1 E 1 、 第 2の液体供給路 2 5 1 Cに貫通しない深さをおする連通孔 2 5 1 F1 とを射出成形によ つて形成する。

続いて図 54 ( B ) に示すように、 所定の打抜き手段を用いて樹 脂材料 2 5 2の一面 252 A側から第 2の圧力室 2 5 1 Aを介して 第 2のノズル導入孔 2 5 1 Bを形成すると共に、 所定の打抜き手段 を用いて樹脂材料 2 5 2の一而 25 2 A側から接続孔 2 5 1 E1 を 介して当該接続孔 2 5 1 E1 とインクバッファタンク 2 5 1 Dとを 貫通させて接続孔 2 5 1 Eを形成する。 さらに所定の打抜き手段を 用いて樹脂材料 2 52の ·面 2 5 2 A側から連通孔 2 5 1 F1 を介 して第 2の圧力室 2 5 1 Aと第 2の液体供給路 2 5 1 Cとを^通さ せて連通孔 2 5 1 Fを形成する。

同様に所定の打抜き Τ·段を用いて樹脂材料 2 5 2の一面 2 5 2 Α 側から第 1の^力室 2 5 1 Gを介して第 1のノズル導人孔 2 5 1 Η を形成すると itに、 所定の打抜き手段を用いて樹脂材料 2 5 2の一 面 2 5 2 A側から接続孔 2 5 1 K 1 を介して 該接続孔 2 5 1 K 1 と希釈液バッファタンク 2 5 1 Jとを 通させて接続孔 2 5 1 Kを 形成する。 さらに所 'の打抜き手段を用いて樹脂材料 252の一面 252 A側から連通孔 25 1 L1 を介して第 1の圧力室 25 1 Gと 第 1の液体供給路 251 Iとを貫通させて連通孔 25 1 Lを形成す る。 これによつて圧力室形成部 25 1を得ることができる。

この後の工程である図 54 ( C) に す樹脂部材 1 85を圧力室 形成部 25 1の他面 25 1 Nに接着する工程、 図 54 (D) に示す 樹脂部材 185に定量ノズル 1 73 A及び吐出ノズル 1 73 Bを形 成してオリフ ィ スプレ一卜 1 73を得る工程は、 それぞれ図 34 (C) 及び図 34 (D) と^様である。

また &動板 1 72の接着工程と、 嵇層ビエゾ 1 76， 1 77とィ ンク供給管 1 79及び希釈液供給路 18 1の接着工程は図 34 (E) 及び図 34 ( F ) と问様であり、 これらに対応する図は省略するこ ととする。

かく して 「キャ リアジェッ ト」 プリン 卜ヘッ ド 250を得ること ができる。

ここで図 54 (B ) に^すように、 ίβ 2のノズル 入孔 25 1 B 及び第 1のノズル導入孔 25 1 Ηを形成した際、 笫 2のノズル導入 孔 25 1 B及び第 1のノズル導入孔 25 1 Hの樹脂部材 185が接 着される側にはバリ 25 1 B1 ， 2 5 1 HI が形成される。

従って図 54 (C) に示すェ ft':で圧力室形成部 25 1に樹脂部材 1 85を接着した際、 ノ リ 25 1 B1 , 25 1 HI が樹脂部材 1 8 5に食い込むので、 イ ンク漏れ、 希釈液漏れ及び圧力漏れを防止す ることができ、 「キャ リアジェッ ト j プリン トヘッ ド 250の信頼 性を一段と向 ヒさせることができる。

また第 1の圧力室 25 1 G同七及び第 2の圧力室 25 1 A同十の 間隔を狭めることができるので吐出ノズル 1 73 B及び定量ノズル

1 73 Aのピッチを高密度化することができる。

さらに ヒ述の第 2実施例においては、 図 34に示す製造手順を用 いて、 「キャリアジェッ ト」 ブリン トヘッ ド 1 5 5を製造した場 t. について述べたが、 本発明はこれに限らず、 34との対応部分に 同一符号を付して示す図 5 5に す製造手 JI1を用いて 「キャ リアジ エツ ト」 プリン 卜へッ ド 1 5 5を製造してもよい。

すなわちまず図 5 5 ( A ) に示すように、 板材 1 8 2の -面 1 8

2 Aに例えば感光性ドライフィルムゃ液体レジス 卜材料などのレジ ス トを塗布した後、 インク液室、 接続孔、 希釈液室及び接続孔に応 じたパターンを有するマスクを用いてパターン露光を行うと共に、 板材 1 8 2の他面 1 8 2 Bに例えば感光性ドライフィルムゃ液体レ ジス ト材料などのレジス トを塗布した後、 第 1及び第 2の液体供給 路、 希釈液バッファタンク及びインクノ ッファタンクに応じたパ夕 ーンを有するマスクを用い、 レジス ト 2 5 3を形成する。

続いて図 5 5 ( A) 巾に示すように、 第 1及び第 2の圧力室、 接 続孔に応じたパターンを冇するレジス 卜 1 8 3も形成する。

次に、 図 5 5 (B) に すように、 ヒ記レジス ト 1 83， 2 5 3 をマスクとして、 板材 1 8 2を例えば塩化第 2鉄水溶液でなるエツ チング溶液に浸してエッチングを行うことにより、 板材 1 8 2の一- 面 1 8 2 Aに第 2の圧力 ¾2 54 A、 接続孔 2 54 B、 第 1の圧力 室 2 54 C及び接絞孔 2 54 Dを形成すると共に、 板材 1 8 2の他 面 1 8 2 Bに第 2の液体供給路 2 5 4 E、 インクバッファタンク 2 54 F、 第 1の液体供給路 2 5 4 G、 希釈液バッファタンク 2 54 Hを形成する。 この場合、 板材 1 8 2の片面からのエッチング量が板材 1 8 2の 厚さの 1 / 3程度となるようにエッチング量を選定する。 従って第 2の圧力室 2 5 4 A及び第 2の液体供給路 2 5 4 E、 インクバヅフ ァタンク 2 5 4 F及び接続孔 2 5 4 Bは連通せず、 また第 1の圧力 室 2 5 4 C及び第 1の液体供給路 2 5 4 G、 希釈液バッファタンク 2 5 4 H及び接続孔 2 5 4 Dは連通しない。

続いてレジス ト 1 8 3， 2 5 3を除去した後、 所定の打抜き T-段 を用いて樹脂材料 1 8 2の一而 1 8 2 A側から第 2の圧力室 2 5 4 Aを介して第 2の導入孔 2 5 4 Iを形成すると共に、 所定の打抜き 手段を用いて樹脂材料 1 8 2の-一而 1 8 2 A側から接続孔 2 5 4 B を介して当該接続孔 2 5 4 Bとインクバッファタンク 2 5 4 Fとを 貫通させる。 さらに所定の打抜き手段を用いて樹脂材料 1 8 2の一 面 1 8 2 A側から第 2の圧力室 2 5 4 Aを介して第 2の圧力室 2 5

4 Aと第 2の液体供給路 2 5 4 Eとを連通させる貫通孔 2 5 4 E 1 を穿設する。

同様に所定の打抜き手段を用いて樹脂材料 1 8 2の一面 1 8 2 A 側から第 1の圧力室 2 5 4 Cを介して第 1のノズル導入孔 2 5 4 J を形成すると共に、 所定の打抜き T-段を用いて樹脂材料 1 8 2の - - 面 1 8 2 A側から接続孔 2 5 4 Dを介して当該接続孔 2 5 4 Dと希 釈液バッファタンク 2 5 4 Hとを貫通させる。 さらに所定の打抜き 手段を用いて樹脂材料 1 8 2の · ιίιί 1 8 2 Α側から第 1の圧力室 2

5 4 Cを介して第 1の/土力室 2 5 4 Cと第 1の液体供給路 2 5 4 G とを貫通させて貫通孔 2 5 4 G 1 を穿設することにより、 溶液室形 成部材 2 5 4を得る。

ここで図 5 6に すように、 第 2のノズル導人孔 2 5 4 1及び第 1のノズル導入孔 2 54 Jを形成した際、 第 2のノズル導入孔 2 5 4 I及び第 1のノズル導入孔 2 54 Jの樹脂部材 1 8 5が接着され る側にバリ 2 54 11 ， 2 54 J1 が形成されるので、 上述と同様 の効果を得ることができる。 ここで 「キャリアジェッ ト」 プリン ト へヅ ドの場合、 インク用ノズルと希釈液用ノズルとは近接した位 IS に形成されるので特に有効である。

この後の工程である図 5 5 (D) に示す樹胞部材 1 8 5を溶液室 形成部材 2 54に接着する工程、 図 5 5 (E) に示す樹脂部材 1 8 5に定量ノズル 1 73 A及び吐出ノズル 1 7 3 Bを形成してオリフ イスプレート 1 7 3を得る工程は、 それぞれ図 34 ( C) 及び図 3

4 (D) と M様である。 また振動板 1 7 2の接着工 ¾と、 積層ビエ ゾ 1 7 6， 1 7 7とィンク供給管 1 7 9及び希釈液供給管 1 8 1の 接 工程は、 図 34 (E) 及び図 34 (F) で説明した場合と同様 であり、 これらに対応する図は省略する。

従ってこの製造方法によれば、 エッチング工程と打抜き丄程の両 方を用いて溶液室形成部材 2 54を作製したので、 図 34に す製 造方法の場合に比して、 第 2の圧力室 2 54 A及び第 1の圧力室 2 54 Cの深さと第 2の液体供給路 2 54 E及び第 1の液体供給路 2

54 Gの深さとを自由に選定し得、 この結果設計上の自由度を格段 的に (J上させることができる。

また図 5 5に す製造方法は上述した 「キヤ リアジエツ 卜」 プリ ン 卜へヅ ド 2 3 0， 240にも適用し得る。

さらに上述の第 2実施例においては、 I I34 (B) のエッチング 上程においてエッチング量を板材 1 8 2の厚さの 1 /2強に選定し た¾合について述べたが、 本 ¾明はこれに限らず、 図 34 (B) の ェツチング工程において、 板材 1 8 2の一面 1 8 2 A及び他面 1 8 2 Bに浸すエッチング量を変えることにより、 図 3 4との対応部分 に [HJ—符号を付して示す図 5 7に示すように、 第 2の圧力室 2 6 1 A、 接続孔 2 6 1 B、 第 2の液体供給路 2 6 1 C、 ィンクバッファ タンク 2 6 1 D、 第 2のノズル導入孔 2 6 1 E、 第 1の圧力室 2 6 1 F、 接続孔 2 6 1 G、 第 1の液体供給路 2 6 1 Η、 希釈液バッフ ァタンク 2 6 1 I及び第 1のノズル導人孔 2 6 1 Jが形成された圧 力室形成部 2 6 1 を得るようにしてもよい。

この場合、 第 2の圧力室 2 6 1 A及び ¾ 2の液体供給路 2 6 1 C は孔 2 6 1 C 1 を介して述通し、 第 1の圧力室 2 6 1 F及び第 1の 液体供給路 2 6 1 Hは孔 2 6 1 H I を介して連通している。

このようにエツチング を変えて第 2の液体供給路 2 6 1 C及び 第 1の液体供給路 2 6 1 Hの深さを浅くすることにより、 第 2の液 体供給路 2 6 1 C及び第 1の液体供給路 2 6 1 Hの流路抵抗を高く することができるので、 積層ビエゾ 1 7 6 , 1 7 7に印加する駆動 電圧値を小さくすることができる。

さらに上述の第 2実施例においては、 ィンクを定量側に設定し、 希釈液を吐出側に設定した場合について述べたが、 本発明はこれに 限らず、 インクを吐出側に設定し、 希釈液を定量側に設定するよう にしても上述の実施例と同様の効果を得ることができる。

さらに ヒ述の実施例においては、 シリアル型プリン夕装置に本 ¾ 明を適用した場合について述べたが、 本究明はこれに限らず、 ライ ン型プリン夕装置及びドラム回転型プリン夕装置に本発明を適用し 得る。 このライン型プリン夕装置には、 上述のイ ンクジェッ トプリ ン 卜ヘッ ド 1 9 0 , 2 0 0， 2 1 0を適用し得る。 また、 ライン型 プリン夕装^及びドラム回転型プリン夕装置には、 上述の 「キヤリ アジエツ 卜」 プリン トヘッ ド 1 5 5 , 2 3 0 , 2 4 0 , 2 5 0を適 用し得る。

さらに上述の実施例においては、 振動板 1 3 2及び振動板 1 7 2 の大きさをそれぞれ圧力室形成部 1 3 1の一面 1 3 1 A及び圧力室 形成部 1 Ί 1の一面 1 7 1 Aに接着するような大きさに選定した場 合について述べたが、 本究明はこれに限らず、 :力 3 1 Cに対 応する位 、 及び第 2の圧力室 1 7 1 C及び第 1の圧力室 1 7 1 Η に対応する位置に接着するような大きさに選定してもよい。 この場 合、 振動板 1 3 2， 1 7 2をそれぞれ小さくすることができるので、 &動板 1 3 2 , 1 7 2をそれぞれ/王力室形成部 1 3 1及び圧力 ¾形 成部 1 7 1に接着する際の接 工程を ·段と容 に行うことができ る。

さらに上述の突施例においては、 プレス温度が 2 3 0 〔°C〕 程度 において 2 0〜 3 0 C k g f / c m 2 〕 の圧力でオリフィスプレー ト 1 3 3及び 7 3をそれぞれ U:力室形成部 1 3 1及び圧力室形成部 1 7 1に熱圧着した場合について述べたが、 本発明はこれに限らず、 接 強度を得ることができればこの他種々の数値でオリフィスプレ ート 1 3 3 , 1 7 3をそれぞれ圧力宰形成部 1 3 1及び圧力室形成 部 1 7 1に熱 l:若するようにしてもよい。

さらに上述の実施例においては、 エキシマレ一ザを用いた場合に ついて述べたが、 本発明はこれに限らず、 ^酸ガスレーザ等この他 種々のレーザを適用し得る。

さらに上述の実施例においては、 溶液が充填される/ i:力室が一方 の而に形成されると共に、 ）上力室に所定の孔を介して連通する液体 供給路と、 圧力室に連通するノズル導入孔とが他方の面に形成され た圧力室形成部として、 / 力室形成部 1 3 1 , 2 1 1 , 2 1 4， 2 2 1を用いた場合について述べたが、 本発明はこれに限らず、 圧力 室形成部としてこの他種々の圧力室形成部を適用し得る。 さらに上 述の実施例においては、 ノズル導入孔に連通する吐出ノズルが形成 されて/王力室形成部の他方の面に被着され、 溶液を吐出ノズルから 外部に吐出する樹脂部材である液体吐出部材として、 オリフィスプ レート 1 3 3， 1 9 1を用いた場合について述べたが、 本発明はこ れに限らず、 液体吐出部材としてこの他嵇々の液休叶出部材を適用 し得る。

さらに上述の実施例においては、 圧力室形成部の一方の面に接 された第 1の圧力伝達部材として振動板 1 3 2及び突起部 1 3 4で なる第 1の圧力伝達部材と、 振動板 1 3 2及び振動板 2 0 1でなる 第 1の圧力伝達部材を用いた場合について述べたが、 本発明はこれ に限らず、 第 1の圧力伝達部材としてこの他種々の第 1の圧力伝達 部材を適用し得る。

さらに上述の実施例においては、 第 1の圧力伝违部材に設けられ、 当該第 1の圧力伝達部材の圧力室に接する部分を押圧することによ り圧力室内に所定の圧力を発生させる加圧手段として、 突起部 1 3 4及び積層ピエゾ 1 3 5でなる加圧手段と、 振動板 2 0 1及び圧電 素子 2 0 2でなる加 段とを用いた場合について述べたが、 本発 明はこれに限らず、 加圧手段としてこの他種々の加圧手段を適用し 得る。

さらに上述の ¾施例においては、 第 1の圧力伝達部材に設けられ、 圧力室を覆うような大きさでなる第 2の圧力伝述部材と、 該第 2 の圧力伝達部材に設けられ、 圧力を発生する圧力発生手段とが積層 されてなる加圧手段として、 振動板 2 0 1及び圧電素了- 2 0 2を用 いた場合について述べたが、 本発明はこれに限らず、 加圧手段とし てこの他稀々の/; Π圧手段を適用し得る。

さらに上述の ¾施例においては、 金属材でなる圧力室形成部とし てステンレスでなる カ室形成部 1 3 1、 2 1 4、 2 2 1及び圧力 室形成部 1 7 1、 2 5 4、 2 6 1を川いた ¾合について述べたが、 本発明はこれに限らず、 金 ^材料でなる圧力室形成部としてこの他 種々の金属材料を適用し得る。

さらに上述の実施例においては、 厚さが 0 . 1 〔m m〕 以上の金 属材でなる圧力室形成部として圧力室形成部 1 3 1及び圧力室形成 部 1 7 1を用いた場合について述べたが、 本発明はこれに限らず、 圧力室形成部 1 3 1及び圧力 ¾形成部 1 Ί 1の厚さとしてこの他種 々の数値を適用し得、 特に圧力室形成部の厚さを 0 . 1 〔m m〕 以 に選定すれば上述の'奥施例とほぼ ]様の効果を得ることかできる。 さらに上述の実施例においては、 樹脂材でなる溶液吐出部材とし てネオフレックスでなるオリフィスプレー卜 1 3 3， 1 7 3 , 1 9 1， 2 3 1を用いた場合について述べたが、 本発明はこれに限らず、 樹脂部材である溶液吐出部材としてこの他種々の樹脂材でなる溶液 上出部材を適川し得る。

さらに上述の実施例においては、 ガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以 下の樹脂材でなる溶液吐出部材としてネオフレックスでなるオリフ イ スプレート 1 3 3， 1 7 3を川いた ¾合について述べたが、 本発 明はこれに限らず、 ガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以下の樹脂材でな る溶液吐出部材としてこの他種々の樹脂材でなる溶液叶出部材を適 用し得る。

さらに上述の実施例においては、 ポリイ ミ ドよりなるガラス転移 点が 2 5 0 〔 〕 以下の第 1の樹脂材と、 ポリイ ミ ドよりなるガラ ス転移点が 2 5 0 〔 〕 以上の第 2の樹脂材とでなる溶液吐出部材 として、 オリフィスプレート 1 9 1 , 2 3 1を用いた場合について 述べたが、 本発明はこれに限らず、 ガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以 下の第 1の樹脂材と、 ガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以上の第 2の樹 脂材とでなる溶液吐出部材として、 この他稲々の溶液吐出部材を適 川し得る。

さらに上述の実施例においては、 ガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以 ドの第 1の樹脂としてネオフレヅクスでなる有機材料フィルム 1 9 3及び 2 3 3を用いた場合について述べたが、 本発明はこれに限ら ず、 ガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以下の第 1の樹脂として、 この他 種々の第 1の樹脂を適用し得る。

さらに上述の実施例においては、 ガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以 上の第 2の樹脂としてカブトンでなる有機材料フィルム 1 9 2及び 2 3 2を用いた場合について述べたが、 本究明はこれに限らず、 ガ ラス転移点が 2 5 0 〔 〕 以上の第 2の樹脂として、 この他種々の 第 2の樹脂を適月】し得る。

さらに上述の実施例においては、 第 1の溶液が充 ¾される第 1の 圧力室及び第 2の溶液が充填される第 2の压カ室が一方の面に形成 されると共に、 第 1の圧力室に所定の孔を介して連通する第 1の溶 液流路と第 1の圧力室に連通する第 1のノズル導入孔と、 第 2の圧 力室に所定の孔を介して連通する第 2の溶液流路と第 2の圧力室に 連通する第 2のノズル導入孔とが他方の面に形成された圧力室形成 部として、 圧力室形成部 1 7 1， 2 5 1 , 2 5 4 , 2 6 1 を用いた 場合について述べたが、 本発明はこれに限らず、 圧力室形成部とし てこの他種々の圧力室形成部を適用し得る。

さらに上述の実施例においては、 第 1のノズル導入孔に連通する 第 1の吐出ノズル及び第 2のノズル導入孔に連通する第 2の吐出ノ ズルが形成されて圧力室形成部の他方の面に被着され、 混合溶液を 吐出ノズルから外部に吐出する樹脂部材である溶液吐出部材として、 オリフィスプレート 1 7 3及び 2 3 1を川いた場合について述べた が、 本発明はこれに限らず、 溶液叶出部材としてこの他種々の溶液 出部材を適用し得る。

さらに上述の実施例においては、 /王力室形成部の一方の而に接着 された第 1の圧力伝達部材として振動板 1 7 2、 芡起部 1 7 4及び 交起部 1 7 5でなる第 1の！ 力伝達部材と、 ¾動板 1 7 2、 振動板 2 4 1及び振動板 2 4 2でなる第 1の圧力伝達部材を用いた場合に ついて述べたが、 本発明はこれに限らず、 第 1の/王力伝達部材とし てこの他嵇々の第 1の圧力伝违部材を適川し得る。

さらに上述の実施例においては、 第 1の/十:力伝達部材に設けられ、 当該第 1の圧力伝達部材の第 1の圧力室に接する部分を押圧するこ とにより第 1の圧力室内に所定の圧力を発牛.させる第 1の加圧手段 として、 突起部 1 7 4及び積層ピエゾ 1 7 6でなる第 1の加圧 T-段 と、 動板 2 4 1及び圧電素子 2 4 3でなる第 1の加圧手段とを用 いた場合について述べたが、 本発明はこれに限らず、 iの加圧 ΐ 段としてこの他種々の第 1の加圧手段を適用し得る。

さらに上述の実施例においては、 第 1の圧力伝達部材に設けられ、 ^ ,ί亥第 1の圧力伝達部材の第 2の圧力室に接する部分を押圧するこ とにより第 2の圧力室内に所定の圧力を発生させる第 2の加圧手段 として、 突起部 1 7 5及び積層ビエゾ 1 7 7でなる第 1の加圧手段 と、 振動板 2 4 2及び圧電素子 2 4 4でなる第 2の加圧手段とを用 いた場合について述べたが、 本発明はこれに限らず、 第 2の加圧手 段としてこの他種々の第 2の加圧手段を適用し得る。

さらに上述の突施例においては、 第 1の圧力伝達部材に設けられ、 第 1の圧力室を覆うような大きさでなる第 2の圧力伝達部材と、 当 該第 2の圧力伝達部材に設けられ、 圧力を発生する第 1の圧力発生 手段とが されてなる第 1の加圧手段として、 扳動板 2 1及び 压電素子 2 4 3を用いた場合について述べたが、 本発明はこれに限 らず、 第 1の加圧手段としてこの他種々の第 1の加圧手段を適用し 得る。

さらに上述の実施例においては、 第 1の圧力伝達部材に設けられ、 第 2の/王力室を覆うような大きさでなる第 3の圧力伝達部材と、 当 該第 3の ^力伝達部材に設けられ、 圧力を発生する第 2の JH力発生 手段とが積^されてなる第 2の加 if. Γ·段として、 振動板 2 4 2及び 圧電素子 2 4 4を用いた場合について述べたが、 本発明はこれに限 らず、 第 2の加圧手段としてこの他極々の第 2の加圧手段を適用し 得る。

3 . 第 5〜第 8の発明に対応する実施の形態

( 1 ) 第 1実施例

本実施例においては、 本発明をィ ンクのみを吐出するィンクジェ ッ トプリン夕装置に適用した例、 すなわち第 5及び第 7の発明に対 応する実施例について述べる。

( 1 - 1 ) インクジヱッ 卜プリ ン夕装匿の構成 本例のィンクジエツ トプリン夕装置の全体の構成であるが、 上述 の第 1及び第 2の発明に対応する実施の形態中の第 1実施例と同様 とされているので、 ここでは説明を省略することとする。 すなわち、 本例のィンクジヱッ 卜プリン夕装置においては、 先に示したプリン トヘッ ド 1 5の代わりに後述のインクジエツ トプリン トへッ ドが使 用されることとなる。 なお、 本例のインクジェッ トプリン夕装置に おいても前述した制御部と同様の制御部が使用されることとなるの で、 この説明も省略することとする。

( 1 - 2 ) イ ンクジェッ トプリ ン 卜ヘッ ドの構成

次に、 本例のィ ンクジエツ 卜プリ ン夕装置のインクジエツ トプリ ン トヘッ ドの構成について説明する。 すなわち、 本例においては、 図 5 8及び図 5 9に示すように、 インクジェッ トブリン 卜ヘッ ド 3 1 5は、 板状でなる圧力室形成部 3 3 1の一而 3 3 1 Aに接着剤

(図示せず） によって振動板 3 3 2が接着されていると共に、 圧力 室形成部 3 3 1の他面 3 3 1 Bに板状でなるオリフィスプレート 3 3 3が接着され、 振動板 3 3 2の- 面 3 3 2 Aに突起部 3 3 4を介 して積屑ピエゾ 3 3 5が接合されて構成されている。

圧力室形成部 3 3 1は厚さがほぼ 0 . 2 〔m m〕 のステンレスス チールよりなる。 この圧力室形成部 3 3 1には/王力室 3 3 1 C、 ノ ズル導入孔 3 3 1 D、 液体供給路 3 3 1 E、 インクバッファタンク 3 3 1 F及び接続孔 3 3 1 Gが形成されている。 圧力室 3 3 1 Cは 圧力室形成部 3 3 1の厚み方向におけるほぼ中心位置から圧力室形 成部 3 3 1の一面 3 3 1 A側に露出するように形成されている。 ノ ズル導入孔 3 3 1 Dは、 圧力室 3 3 1 Cの下側に カ室 3 3 1 Cに 連通し、 かつ圧力 ¾形成部 3 3 1の他面 3 3 1 B側に露出するよう に形成されている。

さらに、 液体供給路 33 1 Eは、 圧力室形成部 33 1の厚み方向 におけるほぼ中心位置から圧力室形成部 33 1の他面 33 1 B側に 露出するように形成されている。 また液体供給路 33 1 Eは接続孔 33 1 E1 を介して圧力室 33 1 Cに連通し、 かつノズル導入孔 3 3 1 Dとの問に硬質部材 33 1 Hを介して形成されている。

インクバッファタンク 33 1 Fは液体供給路 33 1 Eに連通し、 かつ圧力室形成部 33 1の他面 33 1 B側に讜出するように形成さ れている。 ここで図 59に示すように、 本例のプリン トヘッ ド 3 1 5においては、 複数の圧力室 33 1 Cが所定方向に配列形成されて おり、 インクバッファタンク 33 1 Fは複数の液体供給路 33 1 E が取り付けられた 1本の配 すなわち各圧力室 33 1 Cに共通の ィンク液室であるィンクバッファタンク 1 36を構成することとな る。

接続孔 33 1 Gはインクバッファタンク 33 1 Fに連通し、 かつ Β·:力室形成部 33 1の一面 33 1 A側に露出するように形成されて いる。

ここで図 59に示すように、 圧力室 33 1 Cはインクバッファ夕 ンク 336の .方向に平行に 0. 68 〔mm〕 の配列ピッチ P1 で形成されている。 液体供給路 33 1 Eは il:力室 33 1 Cの配列方 向に直角な方向に所定の; Μさ分だけ形成された第 1の流路部 33 1 Ε と、 当該第 1の流路部 33 1 Ε2 に接続し、 圧力室 33 1 Cの 配列方向に対して斜めに形成された第 2の流路部 33 1 Ε3 とによ つて構成されている。

この場合、 第 2の流路部 33 1 Ε3 は第 1の流路部 33 1 Ε2 の 中心線 CI (すなわち圧力幸 3 3 1 Cの配列方向に直角な線） と第 2の流路部 3 3 1 E3 の中心線 C 2 とのなす角度 0が 70° となるよ うに圧力室 3 3 1 Cの配列方向に対して斜めに形成されている。 従 つて液体供給路 3 3 1 Eの第 2の流路部 3 3 1 E3 はインクバッフ ァタンク 33 6の配給而 （インクバッファタンク 3 3 6における第 2の流路部 3 3 1 E3 との接続面） 3 3 6 Aに対しても斜めに形成 されている。

言い換えれば、 液体供給路 33 1 Eの一部が液体供給源であるイ ン クバッファタンク 3 3 6から液体供給路である第 2の流路部 3 3 1 E3 に液体を供給する供給面である配給面 3 3 6 Aに対して斜め方 向に形成されていることとなる。

かく してこのインクジエツ 卜プリン トへッ ド 3 1 5では、 液体供 給路 33 1 Eの第 2の流路部 3 3 1 E3 が圧力室 3 3 1 Cの配列方 向 （インクバッファタンク 33 6の配給面 3 3 6 A) に対して斜め に形成されているので、 力室 33 1 Cの配列方向に直角な方向に 占める圧力 ¾3 3 1 Cの J¾さが従来に比して格段的に短くなつてい また図 6 0 (図 5 9の B -B ' で破断した断面図） に示すように、 各液体供給路 3 3 1 Eの幅 W1 及び深さ dl はそれぞれ 0 · 1 〔m m〕 に選定されていると共に、 各液体供給路 3 3 1 Eの長さは約 2 〔mm〕 に選定されている。 従って各液体供給路 3 3 1 Eにおける 流路抵抗値はほぼ じ大きさに設定されている。 さらに液体供給路 3 3 1 Eは、 後述するようにエッチングによって形成されているた め、 液体供給路 3 3 1 Eの圧力室 3 3 1 C側における角部は 0. 0 1 〔mm〕 以上の曲率半径に形成されている。 ここで圧力室形成部 3 3 1には、 圧力室 3 3 1 Cの下面、 ノズル 導入孔 3 3 1 Dの一方の側面及び液体供給路 3 3 1 Eの一方の側面 にそれぞれ接すると共に圧力室形成部 3 3 1の他面 3 3 1 Bの一部 を形成する硬質部材 3 3 1 Hと、 圧力室 3 3 1 Cの一方の側面、 液 休供給路 3 3 1 Eの上面及び接続孔 3 3 1 Gの一方の側面に接する と共に圧力 形成部 3 3 1の一面 3 3 1 Aの -部を形成する部材 3 3 1 I と、 圧力室 3 3 1 Cの他方の側面及びノズル導入孔 3 3 1 D の他方の側而にそれぞれ接すると共に; j:力室形成部 3 3 1の -面 3 3 1 A及び他 ιίπ 3 3 1 Βの一部を形成する部材 3 3 1 Jと、 イ ンク ノ人' ッ フ ァタンク 3 3 1 Fの一方の側面及び接続孔 3 3 1 Gの他方の 側面にそれぞれ接すると共に圧力室形成部 3 3 1の一面 3 3 1 A及 び他面 3 3 1 Bの一部を形成する部材 3 3 1 Kが形成されるように、 圧力室 3 3 1 C、 ノズル導入孔 3 3 1 D、 液体供給路 3 3 1 E、 ィ ンクバッファタンク 3 3 1 F及び接続孔 3 3 1 Gが形成されている。 圧力室形成部 3 3 1の他面 3 3 1 Bには、 ノズル導入孔 3 3 1 D 、 液体供給路 3 3 1 E及びィ ンクバッファタンク 3 3 1 Fを覆うよう にオリフィスプレート 3 3 3が熱圧着によって接着されている。 こ のオリフィスプレート 3 3 3は、 耐熱性及び耐薬品性に優れた例え ば三丼東 化学工業株式会社製のネオフ レックス （^品名） よりな り、 厚さがほぼ 5 0 〔 m〕 でガラス転移点が 2 5 0 °C 以 Fの 上述のネオフレックスよりなる。

このォリフィスプレート 3 3 3には、 ノズル導人孔 3 3 1 Dに連 通し、 圧力室 3 3 1 Cからノズル導入孔 3 3 1 Dを介して供給され るインクを吐出するための断面形状が例えば円形でなる所定径を する吐出ノズル 3 3 3 Aが形成されている。 この場合、 ネオフレツ クスでなるオリフィスプレート 3 3 3に吐出ノズル 3 3 3 Aが形成 されているのでィンクに対する化学的な安定性を確保することがで きる。

ここでノズル導入孔 3 3 1 Dは吐出ノズル 3 3 3 Aの径ょり大き くなるように形成されている。

他方、 圧力室形成部 3 3 1の · · ιήί 3 3 1 Α側には、 圧力室 3 3 1 Cを覆うように例えばニッケルよりなる振動板 3 3 2が例えばェポ キシ系の接 剂 （図示せず） によって接着されている。

本例のィンクジヱッ 卜プリン夕装 のプリン トへッ ド 3 1 5は、 圧力室 3 3 1 C及び液体供給路 3 3 1 Eが形成される圧力室形成部 3 3 1 と圧力室 3 3 1 Cを覆うようにして配される振動板 3 3 2と、 上記振動板 3 3 2を介して上記圧力室 3 3 1 Cに対応して配される 圧電素子である積層ビエゾ 3 3 5と、 ノズル導入孔 3 3 1 Dが形成 される硬 K部材 3 3 1 Hと吐出ノズル 3 3 Aが形成されるオリフィ スプレー卜 3 3 3よりなり、 吐出ノズル 3 3 Aに連通される圧力室 3 3 1 Cに液体を供給する液体供給路 3 3 1 Eを圧力 ¾ 3 3 1 C配 列方向や液体供給源であるイ ンクバッファタンク 3 3 6から液体供 給路 3 3 1 Eに液体を供給する供給面である配給面 3 3 6 Aに対し て斜め方^に形成するようにしている。

従って、 圧力室 3 3 1 C配列方向や供給而に対して直角な方向に おける液体供給路 3 3 1 Eの さが短くなり、 小型化される。 また、 吐出を行う吐出ノズル 3 3 3 Aに IE力室 3 3 1 Cを介して連通する 液体供給路 3 3 1 Eを . 力室 3 3 1 C配列方向や液体供給源から ^液体供給路に液体を供給する供給 ϋίに対して斜めお向に形成する ようにしているため、 小 化されても、 液体供給路 3 3 1 Εの長さ はある程度確保され、 吐出の勢いが確保される。

なお、 この振動板 3 3 2には圧力室形成部 3 3 1の接続孔 3 3 1 Gに対応した位置に貫通孔 3 3 2 Bが穿設されている。 この貫通孔 3 3 2 Bにはインクタンク （図示せず） に接続されたインク供給管 3 3 7が取り付けられている。 従ってインクタンクからインク供給 3 3 7及びィンクタンクバッファタンク 1 3 6を介して液体供給 路 3 3 1 Eに供給されるィンクは 力室 3 3 1 Cに充填されるよう になされている。

また振動板 3 3 2の一面 3 3 2 Aにおける圧力室 3 3 1 Cに対応 する位 ¾には、 板状でなる突起部 3 3 4が形成されていると共に、 当該突起部 3 3 4には接着剤 （図示せず） によって桢層ピエゾ 3 3 5が接着されている。 この突起部 3 3 4の大きさは、 積層ピエゾ 3 3 5の突起部 3 3 4が接着される一面 3 3 5 Α及び圧力室 3 3 1 C の開口面 ょり小さくなるように選定されている。

積屑ビエゾ 3 3 5は圧電部材と導 1部材とが振動板 3 3 2の一面 3 3 2 Aに平行な に交 ίιに積 されて構成されている。 ここで ^電部材と導電部材との積 ^数は幾つであつてもよい。

この積層ピエゾ 3 3 5は駆動電圧が印加されると、 図 5 8中矢印 M l で示す方向とは逆の方向に直線的に変位して振動板 3 3 2の突 起部 3 3 4が形成されている部分を中心に持ち上げることにより Π·: 力室 3 3 1 Cの体積を増大させるようになされている。

また積層ビエゾ 3 3 5は駆動電圧が解放されると、 図中矢印 M l で示す方向に直線的に変位して突起部 3 3 4を押 £することにより 振動板 3 3 2を湾曲させて圧力室 3 3 1 Cの体積を減少させ、 これ によって圧力^ 3 3 1 C内の圧力を上界させるようになされている。 この場合、 突起部 3 3 4の大きさは積層ピエゾ 3 3 5の一面 3 3 5 A及び圧力室 3 3 1 Cの開口面積よ りも小さく形成されているので、 積層ピエゾ 3 3 5の変位を振動板 3 3 2の圧力室 3 3 1 Cに対応す る位置に集中的に伝達することができる。

ここで実際上、 図 5 9に示すように、 インクジェッ トブリン トへ ッ ド 3 1 5においては、 上力室 3 3 1 C、 ノズル導入孔 3 3 1 D、 液体供給路 3 3 1 E及び吐出ノズル 3 3 3 Aは複数形成されており、 ^圧力宰 3 3 1 Cに対応して突起部 3 3 4及び積^ピエゾ 3 3 5が 設けられている。

( 1 - 3 ) インクジェッ トプリントヘッ ドの製造方法

ィンクジェヅ トプリン トへッ ド 3 1 5の製造方法について図 6 1 を用いて説明する。

まず図 6 1 ( A ) に^すように、 :さがほぼ 0 . 2 〔m m〕 のス テンレススチールよりなる板材 3 3 8の一面 3 3 8 Aに例えば感光 性ドライフィルムゃ液体レジス 卜材料などのレジス トを塗布した後、 圧力室 3 3 1 C及び接絞孔 3 3 1 Gに応じたパターンを有するマス クを用いてパターン露光を行う と共に、 板材 3 3 8の他面 3 3 8 B に例えば感光性 ドライフィルムや液体レジス ト材料などのレジス ト を塗布した後、 ノズル導入孔 3 3 1 D、 液体供給路 3 3 1 E及びィ ンクバッファタンク 3 3 1 Fに応じたパターンを有するマスクを用 いてパターン露光を行い、 レジス ト 3 3 9及びレジス 卜 3 4 0を形 成する。

続いて図 6 1 ( B ) に すように、 圧力室 3 3 1 C及び接続孔 3 3 1 Gに応じたパターンを有するレジス ト 3 3 9 と、 ノズル導入孔 3 3 1 D、 液体供給路 3 3 1 E及びインクバッファタンク 3 3 1 F に応じたパターンを有するレジス ト 3 4 0とをマスクとして、 板材 3 3 8を例えば塩化第 2鉄水溶液でなるエツチング溶液に所定時間 浸してエッチングを行うことにより、 板材 3 3 8の一面 3 3 8 Aに 圧力室 3 3 1 C及び接続孔 3 3 1 Gを形成すると共に、 板材 3 3 8 の他面 3 3 8 Bにノズル導入孔 3 3 1 D、 液体供給路 3 3 1 E及び インクバッファタンク 3 3 1 Fを形成することにより、 圧力室形成 部 3 3 1を得る。 このとき、 ノズル導入孔 3 3 1 Dとインクバヅ フ ァタンク 3 3 1 Eの問には硬質部材 3 3 1 Hが形成されることとな る。

この場合、 板材 3 3 8の片面からのエッチング量が板材 3 3 8の 厚さの約 1 / 2強となるようにエツチング量を選定する。 例えば板 材 3 3 8の厚さが 0 . 2 〔m m〕 に選定されている場合には、 板材 3 3 8の片面からのエッチング量が約 0 . 1 1 〔m m〕 程度となる ように選定する。 これにより圧力室 3 3 1 C、 接綜孔 3 3 1 G、 ノ ズル導入孔 3 3 1 D、 液体供給路 3 3 1 E及びィンクバッファタン ク 3 3 1 Fの、 _(·法精度を向上し得ると共に安定して形成することが できる。

また板材 3 3 8の片面からのエッチング量が同じなので、 板材 3 3 8の一面 3 3 8 Aに圧力室 3 3 1 C及び接続孔 3 3 1 Gを形成す る際のエッチングの条件と、 板材 3 3 8の他面 3 3 8 Bにノズル 入孔 3 3 1 D、 液体供給路 3 3 1 E及びィンクバッファタンク 3 3 1 Fを形成する際のェツチングの条件を同じ条件に設定し得るので、 図 6 1 ( B ) に示した工程を簡易かつ短時間に行うことかできる。 ここでノズル導入孔 3 3 1 Dは、 圧力' : 3 3 1 Cに圧力が印加さ れた際に圧力室 3 3 1 C内の [十:力上昇に影響がない ¾度に叶出ノズ ル 3 33 Aの径より火きくなるように形成される。

続いて図 6 1 (C) に示すように、 レジス ト 3 3 9， 34 0を除 去する。 この場合、 レジス ト 3 39， 340として ドライフィルム レジス 卜を用いた場合には例えば 5 〔％〕 以下の水酸化ナ ト リゥム 水溶液を用い、 液状レジス ト材料を用いた場 には例えば^用アル 力リ溶液を用いる。

そして、 厚さがほぼ 5 0 〔 /m〕 でガラス転移点が 2 5 0 C〕 以下の前述のネオフレックスよ りなる樹脂部材 34 1を圧力室形成 部 3 3 1の他面 3 3 1 Bに熱圧 によつて接着する。 この場 、 2 3 0 〔°C〕 程度のプレス温度において 20〜 30 Ck g f /c m 2 〕 程度の圧力を^えることにより接着する。 これにより圧力室形成 部 3 3 1と樹脂部材 34 1との接着強度を高めることができると共 に効率良く接着することができる。

またこの場合、 樹脂部材 34 1には吐出ノズル 3 33 Aが形成さ れていないので、 6 1 ( C) に示す圧力室形成部 33 1に樹脂部 材 34 1を接着する工程においては高^度な位 i rわせ精度を必要 としない分接着工程を簡易に行うことができる。 さらに接^剤を用 いずに図 6 1 ( C) の状態の圧力室形成部 33 1に樹脂部材 34 1 を接着しているので、 従来のように接着剤が液体供給路 3 3 1 Eを 塞ぐことを未然に防止することができる。

次に図 6 1 (D) に示すように、 圧力室形成部 3 3 1の一面 3 3 1 A側から圧力室 33 1 C及びノズル 入孔 33 1 Dを介して樹脂 部材 34 1に対してエキシマレ一ザを垂 1¾:に照射して樹脂部材 34 1に吐出ノズル 3 33 Aを形成することにより、 オリフィスプレー ト 3 3 3を得る。 ここで樹脂部材 34 1を用いているので吐出ノズ ル 3 3 3 Aを容易に形成することができる。 またノズル導入孔 3 3 1 Dは吐出ノズル 3 3 3 Aの径ょり大きいので、 レーザ加工時の樹 脂部材 3 4 1 と圧力室形成部 3 3 1 との位置合わせ精度を緩和する ことができると共に、 レーザ加工時に圧力室形成部 3 3 1によって レーザが遮蔽される危険性を问避することができる。

続いて図 6 1 ( E ) に示すように、 例えばエポキシ系の接着剤を 用いて、 圧力室形成部 3 3 1の一而 3 3 1 Aに、 予め突起部 3 3 4 が形成された振動板 3 3 2を接莉する。 この場合、 液体供給路 3 3 1 Eは圧力 形成部 3 3 1の他而 3 3 1 B側に形成されているので、 振動板 3 3 2の接 工程において、 液体供給路 3 3 1 Eが接着剤に よって塞がれることを未然に防止することができる。 従って接着剤 による目詰まりに起因する液体供給路 3 3 1 Eの流路抵抗の上昇を 回避することができ、 本例のプリン夕装^においては信頼性が向上 する。

また液体供給路 3 3 1 Eは圧力室形成部 3 3 1の他面 3 3 1 Bに 形成されているので、 『十:カ¾形成部 3 3 1に ¾動板 3 3 2を接着す る際に用いる接 剤の選択範囲を従来に比して大幅に広げることが できる。

また振動板 3 3 2を圧力室形成部 3 3 1の一面 3 3 1 Aに接 す る際には、 振動板 3 3 2の貫通孔 3 3 2 Bと接続孔 3 3 1 Gとの位 置合わせと、 突起部 3 3 4及び積層ピエゾ 3 3 5 と圧力 ¾ 3 3 1 C との位置合わせだけを考慮すればよいので、 従来に比して振動板 3 3 2の接着工程を簡易に行うことができる。

続いて図 6 1 ( F ) に示すように、 例えばエポキシ系の接着剤を 用いて突起部 3 3 4に積 ピエゾ 3 3 5を接着した後、 ィンク供給 管 3 3 7を貫通孔 3 3 2 Bに合わせて振動板 3 3 2に接着する。 か く してインクジエツ トブリン 卜へヅ ド 3 1 5を得ることができる。 ( 1 - 4 ) 第 1実施例の動作及び効果

以上の構成において、 このインクジエツ トプリン 卜へヅ ド 3 1 5 では、 積層ピエゾ 3 3 5に所定の駆動電 I上が印加されると、 積層ピ ェゾ 3 3 5が図 6 2に矢印 M 3 で す方向とは逆の方向に変位する。 これによつて振動板 3 3 2における圧力室 3 3 1 Cに対応する部分 が矢印 M 3 で小す方向とは逆の方向に持ち上げられるので、 ；1;力室 3 3 1 Cの体積が増加する。 このとき叶；(!ノズル 3 3 3 A先端のメ ニスカスは、 一旦圧力' 3 3 1 C側に後退するが、 桢層ビエゾ 3 3 5の変位が治まると表面張力との釣り台いによって吐出ノズル 3 3 3 Aの先端近傍で安定し、 ィンク吐出の待機状態となる。

ィンク吐出時においては、 積層ピエゾ 3 3 5に印加されている駆 動電圧が解放され、 この結果積層ピエゾ 3 3 5が図 6 2 ( B ) に示 すように、 図屮矢印 M 3 で示す方 Mに変位することにより振動板 3 3 2が矢印 M 3 で す方向に変位する。 これにより圧力室 3 3 1 C の体積が減少して I I：力室 3 3 1 C内の圧力が上昇し、 この結果吐出 ノズル 3 3 3 Aからインクが吐出される。 ここで積 lピエゾ 3 3 5 に^えられている駆動電圧の時間変化は、 吐出ノズル 3 3 3 Aから インクを吐出し得るように設定されている。

このインクジエツ トプリン トへッ ド 3 1 5においては、 液体供給 路 3 3 1 Eが I王力室 3 3 1 Cの配列方向 （インクバ ッ フ ァタンク 3 3 6の配給面 3 3 6 A ) に対して斜めに形成されているので、 圧力 室 3 3 1 Cの配列方向に直角な方向に占める^力室 3 3 1 Cの長さ を従来に比して格段的に短くすることができる。 従っててインクジ エツ トプリントへッ ド 3 1 5において液体供給路 3 3 1 Eが圧力室 3 3 1 Cの配給方向に直角な方向に占める割合を従来に比して格段 的に削減することができる。

ここでィンクを吐出するために必要な流路抵抗を確保するために 液体供給路 3 3 1 Eの長さが約 2 〔m m〕 必要な場合、 液体供給路 3 3 1 Eの第 1の流路部 3 1 E 2 の中心線 C 1 と第 2の流路部 3 1 E 3 の中心線 C 2 とのなす角度 0を上述のように 7 0 ° に選定する と、 /王力室 3 3 1 Cの配列方向に直角な方向に占める液体供給路 3 3 1 Eの長さは 2 〔m m〕 X c o s 7 0 ° = 0 , 6 8 〔m m〕 とな るので、 U:力 ¾ 3 3 1 Cの配列力向に 角な方向に占める圧力室 3 3 1 Cの長さを、 液休供給路 3 3 1 Εを圧力室 3 3 1 Cの配列方向 に '角な方向に形成した場合 （インクバッファタンク 3 3 6の配給 面 3 3 6 Αに対して直角に形成した場合） に比して約 4 0 〔％〕 以 下の長さに削減することができる。

従って液体供給路 3 3 1 Eがインクジェッ トプリン トヘッ ド 3 1 5において圧力室 3 3 1 Cの配列方向に【1¾角な方向に Aめる割合を 従来の場合に比して約 6 0 〔％〕 以上削減することができる。

ここで液体供給路 3 3 1 Eは圧力室形成部 3 3 1の他面 3 3 1 B に形成され、 しかも接着剤を用いずに熱圧若によってオリフィスプ レート 3 3 3が 力室形成部 3 3 1の他面 3 3 1 Bに接着されてい るので、 液体供給路 3 3 1 Eは接着剤によって塞がれることはない。 従って液体供給路 3 3 1 Eの流路抵抗が上昇することを回避し得る ので、 インクを安定して吐出することができ、 本例のプリン夕装置 は高い信頼性を得る。

またこのインクジエツ 卜プリ ン 卜へッ ド 3 1 5では、 ステンレス スチールよりなる圧力室形成部 3 3 1 と樹脂よりなるオリフィスプ レート 3 3 3との積層構造で構成されているので、 圧力室形成部 3 3 1 とオリフィスプレート 3 3 3とを樹脂材料で構成した場合に比 して、 圧力室 3 3 1 Cに圧力が印加された際におけるォリフィスプ レート 3 3 3の変形量を小さくすることができ、 吐出ノズル 3 3 3 Aから有効かつ安定してィンクを吐出することができる。 この場合、 特に圧力室 3 3 1 Cの下而に硬質部材 3 3 1 Hが形成されているの で、 吐出ノズル 3 3 3 Aから一段とネ ϊ効かつ安^してィンクを吐出 することができる。

またオリフィスプレー卜 3 3 3の変形 Mを小さくすることができ るので、 積層ピエゾ 3 3 5に印加する電圧値を小さく しても)王力室 3 3 1 C内の圧力を有効かつ安定して上^させることかでき、 この 結果消費電力を低減することができる。

以上の構成を冇する本例のプリン夕装置のプリン トへッ ドにおい ては、 圧力室 3 3 1 Cに連通し、 圧力室 3 3 1 Cの配列方向に直角 な方向に所定の長さ分だけ形成された第 1の流路部 3 3 1 E 2 と、 圧力 ¾ 3 3 1 Cの配列方向に対して斜めに形成された第 2の流路部 3 3 1 E 3 とによって液体供給路 3 3 1 Eを構成し、 第 1の流路部 3 3 1 E 2 の中心線 C 1 と第 2の流路部 3 3 1 E 3 の中心線 C 2 と のなす角度 Sが 7 0 ° となるように第 2の流路部 3 3 1 E 3 を圧力 室 3 3 1 Cの配列方向に対して斜めに形成している。 これによりィ ンクジエツ 卜プリン トへヅ ド 3 1 5において液体供給路 3 3 1 Eが 圧力室 3 3 1 Cの配列方向に直角な方向に占める割合を従来に比し て約 6 0 〔％〕 以上削減することができるので、 インクジェッ トプ リン トへッ ド 3 1 5を小型化することができる。 かく して従来に比 して小型化し得るプリン夕装置を実現することができる。

( 2 ) 第 2実施例

本実施例においては、 本発明をィンクを希釈液に対して定量混合 し、 これらを混合吐出する 「キャリアジェヅ ト」 ブリン夕装置に適 用した例、 すなわち第 6及び第 8の発明に対応する例について述べ る。

( 2 - 1 ) 「キャリアジェッ ト」 プリン夕装置の構成

本例の 「キャリアジェッ ト」 プリン夕装置の全体の構成であるが、 上述の第 1及び第 2の発明に対応する実施の形態中の第 2実施例と 同様とされているので、 ここでは説明を省略することとする。 すな わち、 本例の 「キャリアジェッ ト」 プリン夕装置においては、 先に したプリン 卜へヅ ド 4 5の代わりに後述の 「キヤ リアジエツ ト」 プリン 卜へッ ドが使用されることとなる。 なお、 本例の 「キャ リア ジェッ ト」 プリン夕装 Eにおいても前述した制御部と同様の制御部 が使用されることとなるので、 この説明も省略することとする。 ま た、 本例の 「キャリアジェッ ト」 ブリ ン夕装 においても前述した ようなドライバの動作が行われ、 前述したような駆動電圧の印加夕 ィ ミングが実施されることとなるため、 この説明も省略する。

( 2— 2 ) 「キャ リアジェッ ト」 プリ ン トへヅ ドの構成

「キヤ リアジエツ 卜」 プリン トへヅ ド 3 5 5の構成を図 6 3及び 図 6 4に示す。

図 6 3に示すように、 「キャ リアジェッ ト」 プリ ン トヘッ ド 3 5 5は、 板状でなる圧力室形成部 3 7 1の 面 3 7 1 Aに接着剤 （図 示せず） によって振動板 3 7 2が接 されていると共に、 圧力室形 成部 3 7 1の他面 3 7 1 Bに板状でなるオリフィ スプレート 3 7 3 23 T/JP97/01096

1 54 が接着され、 振動板 3 7 2の一面 3 7 2 Aに突起部 3 7 4及び突起 部 3 7 6を介してそれぞれ稿層ビエゾ 3 7 6 (上述の第 2のビエゾ 素子に相当） 及び積層ピエゾ 3 7 7 (上述の第 1のビエゾ素子に相 当） が接合されて構成されている。

圧力室形成部 3 7 1は厚さがほぼ 0 . 2 〔m m〕 のステンレスで なる。 この;上力室形成部 3 7 1 には第 1の圧力室 3 7 1 H、 第 1の ノズル導入孔 3 7 1 1、 第 1の液体供給路 3 7 1 J、 希釈液バッフ ァタンク 3 7 1 K及び接続孔 3 7 1 Lが形成されていると共に、 第 2の 力室 3 7 1 C、 第 2のノズル導入孔 3 7 1 D、 第 2の液体供 給路 3 7 1 E、 イ ンクバッファタンク 3 7 1 F及び接続孔 3 7 1 G が形成されている。

第 1の圧力 3 7 1 Hは圧力室形成部 3 7 1の厚み方向における ほぼ中心位置から/十:力室形成部 3 7 1の一面 3 7 1 A側に露出する ように形成されている。 第 1のノズル導入孔 3 7 1 Iは、 節 1の圧 力室 3 7 1 Hの下側に第 1の圧力室 3 7 1 Hに連通し、 かつ/上力室 形成部 3 7 1の他面 3 7 1 B側に露出するように形成されている。

第 1の液体供給路 3 7 1 Jは、 圧力室形成部 3 7 1の厚み方向に おけるほぼ中心位置から圧力室形成部 3 7 1の他面 3 7 1 B側に露 出するように形成されている。 また第 1の液体供給路 3 7 1 Jは孔 3 7 1 J 1 を介して第 1の圧力室 3 7 1 Hに迚通し、 かつ第 1のノ ズル導入孔 3 7 1 I と所定の問隔を いて形成されている。

希釈液バッファタンク 3 7 1 Kは第 1の液体供給路 3 7 1 Jに連 通し、 かつ^力室形成部 3 7 1の他面 3 7 1 B侧に露出するように 形成されている。 ここで図 6 4に示すように、 希釈液バッファタン ク 3 7 1 Kは複数の第 1の液体供給路 3 7 1 Jが取り付けられた 1 本の配管、 すなわち各第 1の圧力室 3 7 1 Hに共通の希釈液室であ る希釈液バッファタンク 3 8 0を構成する。

接続孔 3 7 1 Lは希釈液バッファタンク 3 7 1 Kに連通し、 かつ 圧力室形成部 3 7 1の一面 3 7 1 A側に露出するように形成されて いる。

ここで図 6 4に^すように、 第 1の圧力室 3 7 1 Hは希釈液バッ ファタンク 3 8 0の長手方向に 行に 0 . 6 8 〔m m〕 の配列ビッ チ P 12で形成されている。 第 1の液体供給路 3 7 1 Jは第 1の圧力 室 3 7 1 Hの配列方向に 角な方向に所定の長さ分だけ形成された 第 1の希釈液流路部 3 7 1 J 2 と、 当該第 1の希釈液流路部 3 7 1 J 2 に接続し、 第 1の圧力 ¾ 3 7 1 Hの配列方向に対して斜めに形 成された第 2の希釈液流路部 3 7 1 J 3 とによって構成されている。 この場合、 第 2の希釈液流路部 3 7 1 J 3 は、 第 1の希釈液流路 部 3 7 1 J 2 の中心線 C 13と第 2の希釈液流路部 3 7 1 J 3 の中心 線 C とのなす角度 12が 7 0 ° となるように第 1の圧力室 3 7 1 Hの配列方向に対して斜めに形成されている。 従って第 1の液体供 給路 3 7 1 Jの第 2の希釈液流路部 3 7 1 J 3 は希釈液バッファタ ンク 3 8 0の配給面 （希釈液バッファタンク 3 8 0における第 2の 希釈液流路部 3 7 1 J 3 との接続面） 3 8 0 Aに対しても斜めに形 成されている。 言い換えれば、 第 1の液体供給路 3 7 1 Jの -部が 液体供給源である希釈液バッファタンク 3 8 0から液体供給路であ る第 2の希釈液流路部 3 7 1 J 3 に液体を供給する供給面である配 給面 3 8 O Aに対して斜め方向に形成されていることとなる。

かく してこの 「キャ リアジェッ ト」 プリン 卜ヘッ ド 3 5 5では、 第 1の液体供給路 3 7 1 Jの第 2の希釈液流路部 3 7 1 J 3 が第 1 の圧力室 3 7 1 Hの配列方向 （希釈液バッファタンク 3 8 0の配給 面 3 8 O A ) に対して斜めに形成されているので、 第 1の圧力室 3 7 1 Hの配列方向に直角な方向に占める第 1の液体供給路 3 7 1 J の長さが従来に比して格段的に短くなつている。

また各第 1の液体供給路 3 7 1 Jの幅及び深さは、 後述の第 2の 液体供給路 3 7 1 Eと同様に 0 . 1 〔m m〕 に選定されていると共 に、 各第 1の液体供給路 3 7 1 Jの長さは約 2 〔m m〕 に選定され ている。 従って各第 1の液体供給路 3 7 1 Jにおける流路抵抗はほ ぼ Iff!じ大きさに設定されている。 さらに第 1の液体供給路 3 7 1 J は、 後述するようにエッチングによって形成されているため、 第 1 の液体供給路 3 7 1 Jの第 1の圧力室 3 7 1 H側における角部は 0 . 0 1 〔m m〕 以 I：の曲率半径に形成されている。

ここで/上力室形成部 3 7 1には、 第 1の圧力室 3 7 1 Hの下面、 第 1のノズル導入孔 3 7 1 Iの一方の側面及び第 1の液体供給路 3 7 1 Jの一方の側面にそれぞれ接すると に圧力室形成部 3 7 1の 他 Ifij 3 7 1 Bの -部を形成する硬質部材 3 7 1 Pと、 第 1の .カ¾ 3 7 1 Hの一 の側^、 第 1の液体供給路 3 7 1 Jの上面及び接統 孔 3 7 1 Lの一方の側而に接すると共に圧力室形成部 3 7 1の 面 3 7 1 Aの一部を形成する部材 3 7 1 Qと、 希釈液バッファタンク 3 7 1 の .方の側面及び接続孔 3 7 1 Lの他方の側面にそれぞれ 接すると共に圧力 ¾形成部 3 7 1の一面 3 7 1 A及び他面 3 7 1 B の一部を形成する部材 3 7 1 Rが形成されるように、 第 1の圧力室 3 7 1 H、 第 1のノズル導入孔 3 7 1 1、 第 1の液体供給路 3 7 1 J、 希釈液バヅファタンク 3 7 1 K及び接続孔 3 7 1 Lが形成され ている。 第 2の圧力室 3 7 1 Cは圧力室形成部 3 7 1の厚み方向における ほぼ中心位置から圧力室形成部 3 7 1の一面 3 7 1 A側に露出する ように形成されている。 第 2のノズル導入孔 3 7 1 Dは、 第 2の圧 力室 3 7 1 Cの下側に第 2の圧力室 3 7 1 Cに連通し、 かつ圧力室 形成部 3 7 1の他面 3 7 1 B側に露出するように形成されている。 第 2の液体供給路 3 7 1 Eは、 圧力室形成部 3 7 1の厚み方向に おけるほぼ中心位置から圧力室形成部 3 7 1の他 [&i 3 7 I B側に露 出するように形成されている。 また第 2の液休供給路 3 7 1 Eは孔 3 7 1 E 1 を介して第 2の 力室 3 7 1 Cに連通し、 かつ第 2のノ ズル導入孔 3 7 1 Dと所定の間隔を置いて形成されている。

インクバッファタンク 3 7 1 Fは第 2の液体供給路 3 7 1 Eに連 通し、 かつ圧力室形成部 3 7 1の他面 3 7 1 B側に露出するように 形成されている。 ここで図 6 4に示すように、 インクノ ッファタン ク 3 7 1 Fは複数の第 2の液体供給路 3 7 1 Eが取り付けられた 1 本の配 ?、 すなわち各第 2の圧力室 3 7 1 Cに共通のィンク液室で あるインクバッファタンク 3 7 8を構成することとなる。

接続孔 3 7 1 Gはインクバッファタンク 3 7 1 Fに連通し、 かつ 圧力室形成部 3 7 1の一面 3 7 1 A側に露出するように形成されて いる。

ここで図 6 4に示すように、 第 2の圧力室 3 7 1 Cはイ ンクバッ ファタンク 3 7 8の長手方向に平行に 0 . 6 8 〔m m〕 の配列ピッ チ P 11で形成されている。 第 2の液体供給路 3 7 1 Eは第 2の ii:力 室 3 7 1 Cの配列方向に直角な方向に所定の長さ分だけ形成された 第 1のィンク流路部 3 7 1 E 2 と、 当該第 1のィンク流路部 3 7 1 E 2 に接続し、 第 2の圧力室 3 7 1 Cの配列方向に対して斜めに形 成された第 2のィンク流路部 3 7 1 E 3 とによって構成されている。 この場合、 第 2のィンク流路部 3 7 1 E 3 は、 第 1のィンク流路 部 3 7 1 E 2 の中心線 C Hと第 2のィンク流路部 3 7 1 E 3 の中心 線 C 12とのなす角度 0 11が 7 0 ° となるように第 2の圧力室 3 7 1 Cの配列方向に対して斜めに形成されている。 従って第 2の液体供 給路 3 7 1 Eの第 2のィンク流路部 3 7 1 E 3 はインクバッファ夕 ンク 3 7 8の配給面 （インクバッファタンク 3 7 8における第 2の インク流路部 3 7 1 E 3 との接続而） 7 8 Aに対しても斜めに形成 されている。 言い換えれば、 第 2の液体供給路 3 7 1 Eの一部が液 体供給源であるィンクバッファタンク 3 7 8から液体供給路である 第 2のィンク流路部 3 7 1 E 3 に液体を供給する供給面である配給 而 3 7 8 Aに対して斜め方向に形成されていることとなる。

かく してこの 「キャ リアジェッ ト」 プリン トヘッ ド 3 5 5では、 第 2の液体供給路 3 7 1 Eの第 2のィンク流路部 3 7 1 E 3 が第 2 の圧力室 3 7 1 Cの配列方向 （インクバッファタンク 3 7 8の配給 [ίΠ 3 7 8 A ) に対して斜めに形成されているので、 第 2の II·:力室 3 7 1 Cの配列方向に直角な方^に占める第 2の液体供給路 3 7 1 E の長さが従来に比して格段的に短くなっている。

また図 6 5 (図 6 4の C— C ' で破断した断面図） に示すように、 各第 2の液体供給路 3 7 1 Eの幅 W 11及び深さ d 11はそれぞれ 0 . 1 〔m m〕 に選定されていると共に、 各第 2の液体供給路 3 7 1 E の βさは約 2 〔m m〕 に選定されている。 従って各第 2の液体供給 路 3 7 1 Eにおける流路抵抗はほぼ同じ大きさに設定されている。 さらに第 2の液体供給路 3 7 1 Eは、 後述するようにエッチングに よって形成されているため、 第 2の液体供給路 3 7 1 Eの第 2の圧 力室 3 7 1 C側における角部は 0 . 0 1 〔m m〕 以上の曲率半径に形 成されている。

ここで圧力室形成部 3 7 1には、 第 2の圧力室 3 7 1 Cの下面、 第 2のノズル導入孔 3 7 1 Dの一方の側面及び第 2の液体供給路 3

7 1 Eの一方の側而にそれぞれ接すると共に圧力室形成部 3 7 1の 他面 3 7 1 Bの -部を形成する硬質部材 7 1 Mと、 第 2の圧力室 3

7 1 Cの一方の側面、 第 2の液体供給路 3 7 1 Eの上面及び接続孔 3 7 1 Gの一方の側面に接すると共に圧力室形成部 3 7 1の一面 3 7 1 Aの一部を形成する部材 3 7 1 Nと、 インクバ 'ソ フ ァタンク 3 7 1 Fの一方の側面及び接続孔 3 7 1 Gの他方の側面にそれぞれ接 すると共に圧力 ' 形成部 3 7 1の一面 3 7 1 A及び他面 3 7 1 Bの

-部を形成する部材 3 7 1 0が形成されるように、 第 2の圧力室 3 7 1 C、 第 2のノズル導入孔 3 7 1 D、 第 2の液体供給路 3 7 1 E、 インクバッファタンク 3 7 1 F及び接続孔 3 7 1 Gが形成されてい る。

また第 2の圧力室 3 7 1 Cの他 の側面、 第 2のノズル導入孔 3 7 1 Dの他方の側面、 第 1の圧力室 3 7 1 Hの他方の側面及び第 1 のノズル導入孔 3 7 1 Iの他方の側面に [用まれ、 圧力室形成部 3 7 1の一面 3 7 1 A及び他 ¾ 3 7 1 Bの一部を形成する部材 3 7 1 S が形成されている。

圧力室形成部 3 7 1の他面 3 7 1 Bには、 第 1のノズル導入孔 3 7 1 1、 第 1の液体供給路 3 7 1 J及び希釈液バッファタンク 1 7 I K、 第 2のノズル導入孔 3 7 1 D、 第 2の液体供給路 3 7 1 E、 インクバッファタンク 3 7 1 Fを覆うように、 オリ フィスプレート 3 7 3が熱圧若によって接¾されている。 このォリフィスプレ一 卜 3 7 3は例えば厚さがほぽ 5 0 〔〃m〕 でガラス転移点が 2 5 0

〔°C〕 以下の前述のネオフレックスでなる。

このオリフィスプレ一卜 3 7 3には、 ^ 2のノズル導入孔 3 7 1 Dに連通し、 第 2の圧力室 3 7 1 Cから第 2のノズル導入孔 3 7 1 Dを介して供給されるィンクを定 ¾吐出するための所^径を有する 定 ノズル 3 7 3 Aが後述する吐出ノズル 3 7 3 B側に向くように 斜めに形成されている。 またオリフィスプレ一卜 3 7 3には、 第 1 のノズル導入孔 3 7 1 Iに迚通し、 第 1の圧力宰 3 7 1 Hから第 1 のノズル導入孔 3 7 1 Iを介して供給される希釈液を吐出するため の所定径を し断面形状が円形でなる吐出ノズル 3 7 3 Bが形成さ れている。 この場合、 ネオフレックスでなるオリフィスプレート 3 7 3に定量ノズル 3 7 3 A及び吐出ノズル 3 7 3 Bが形成されてい るのでィンク及び希釈液に対する化学的な安定性を確保することが できる。

ここで第 2のノズル導人孔 3 7 1 D及び第 1のノズル導入孔 3 7 1 Iは定 ¾ノズル 3 7 3 A及び吐出ノズル 3 7 3 Bの径より大きく なるように形成されている。

他方、 圧力室形成部 3 7 1の一面 3 7 1 A側には、 第 1の圧力室 3 7 1 H及び第 2の圧力室 3 7 1 Cを覆うように、 例えばニッケル よりなる振動板 3 7 2が例えばエポキシ系の接着剤 （図示せず） に よって接 T?されている。

本例の 「キャ リアジェッ ト」 プリンタ装置のプリン トヘッ ド 3 5 5は、 第 1及び第 2の圧力室 3 7 1 H， 3 7 1 C及び第 1及び第 2 の液体供給路 3 7 1 J , 3 3 1 Eが形成される Π^:.力室形成部 3 7 1 と第 1及び第 2の 力室 3 7 1 Η， 3 7 1 Cを遨うようにして配さ れる振動板 3 7 2と、 上記振動板 3 7 2を介して上記第 1及び第 2 の压力室 3 7 1 H , 3 7 1 Cに対応して配される圧電素子である積 層ピエゾ 3 7 7， 3 7 6と、 第 1及び第 2のノズル導入孔 3 7 1 1 , 3 7 1 Dが形成される硬質部材 3 7 1 P， 3 7 1 Mと吐出ノズル 3 7 3 B及び定 ノズル 3 7 3 Aが形成されるオリフィスプレート 3 7 3よりなり、 定避ノズル 3 7 3 Bに連通される第 1の/王力室 3 7 1 Hに液体を供給する液体供給路 3 7 1 Jを第 1の圧力室 3 7 1 H 配列方向や液体供給源である希釈液バッファタンク 3 8 0 Kから第 1の液体供給路 3 7 1 Jに液体を供給する供給 ifiiである配給面 3 8 0 Aに対して斜め方向に形成するとともに、 吐出ノズル 3 7 3 Aに 連逝される第 2の圧力室 3 7 1 Cに液体を供給する第 2の液体供給 路 3 7 1 Eを第 2の圧力室 3 7 1 C配列方向や液体供給源であるィ ンクバッファタンク 3 7 8から第 2の液体供給路 3 7 1 Eに液体を 供給する供給而である配給面 3 7 8 Aに対して斜め方向に形成する ようにしている。

従って、 第 1及び第 2の圧力室 3 7 1 H , 3 7 1 C fiii列方向や供 給面に対して直角な方向における第 1及び第 2の液体供給路 3 7 1 J， 3 7 1 Eの長さが短くなり、 小型化される。 また、 吐出を行う 吐出ノズル 3 7 3 Bに第 1の圧力室 3 7 1 Hを介して連通する第 1 の液体供給路 3 7 1 Jを各第 1の圧力室 3 7 1 H配列方向や液体供 給源から各液体供給路に液体を供給する供給面に対して斜め方向に 形成するようにしているため、 小型化されても、 第 1の液体供給路 3 7 1 Jの長さはある程度確保され、 吐出の勢いが確保される。

なお、 この振動板 3 7 2には圧力室形成部 3 7 1の接続孔 3 7 1 G , 3 7 1 Lに対応した位置にそれぞれ貫通孔 3 7 2 B , 3 7 2 C が穿設されている。 これら貫通孔 3 7 2 B， 3 7 2 Cにはそれぞれ インクタンク及び希釈液タンク （図示せず） に接続されたインク供 給管 3 7 9及び希釈液供給管 3 8 1が取り付けられている。 従って インクタンクからィンク供給管 3 7 9及びィンクバッファタンク 3 7 8を介して第 2の液体供給路 3 7 1 Eに供給されるィンクは第 2 の圧力室 3 7 1 Cに充填され、 希釈液夕ンクから希釈液供給 3 8 1及び希釈液バッファタンク 3 8 0を介して第 1の液体供給路 3 7 1 Jに供給される希釈液は^ 1の圧力室 3 7 1 Hに充填される。 また 動板 3 7 2の一面 3 7 2 Aにおける第 1の ff.力室 3 7 1 H 及び第 2の Ll:力室 3 7 1 Cにそれぞれ対応する位 ίί¾には、 板状でな る突起部 3 7 5及び突起部 3 7 4が形成されていると共に、 該突 起部 3 7 5， 3 7 4には接着剤 （図示せず） によってそれぞれ積層 ビエゾ 3 7 7 , 3 7 6が接着されている。 この突起部 3 7 5 , 3 7 4の大きさは、 それぞれ積層ビエゾ 3 7 7 , 3 7 6の突起部 3 7 5 , 3 7 4が接着される - ώ 3 7 7 Α , 3 7 6 Α、 さらには第 1の圧力 室 3 7 1 Η、 第 2の圧力室 3 7 1 Cの ί¾ Ι Ι面楨ょり小さ くなるよう に選定されている。

積層ビエゾ 3 7 7は圧電部材と導 ¾部材とが振動板 3 7 2の一面 3 7 2 Aに平行な方向に交互に積層され、 接着剤 （図示せず） によ つて突起部 3 7 5の接； Τί ώϊに接合されて構成されている。 ここで圧 電部材と導電部材との櫝層数は幾つであってもよい。

この積層ピエゾ 3 7 7は駆動電圧が印加されると、 図に矢印 Μ 4 で示す方向とは逆の方向に直線的に変位して振動板 3 7 2の突起部 3 7 5が接着されている部分を中心に持ち上げることにより第 1の 圧力 3 7 1 Ηの体積を堦大させるようになされている。 また積層ビエゾ 3 7 7は駆動電圧が解放されると、 図に矢印 M 4 で示す方向に直線的に変位して突起部 3 7 5を押圧することにより 振動板 3 7 2を湾曲させて第 1の圧力室 3 7 1 Hの体積を減少させ、 これによつて第 1の圧力室 3 7 1 H内の圧力を 卜-昇させる。 この場 合、 突起部 3 7 5の大きさは積層ピエゾ 3 7 7の一面 3 7 7 A及び 第 1の; 力 ¾ 3 7 1 Hの開口面積よりも小さく形成されているので、 積屑ビエゾ 3 7 7の変位を振動板 3 7 2の第 1の圧力 3 7 1 Hに 対応する位置に集中的に伝達することができる。

積層ピエゾ 3 7 6は 電部材と導電部材とが振動板 3 7 2の - iffi 3 7 2 Aに平行な方向に交互に積層され、 接着剤 （図示せず） によ つて突起部 3 7 4の接着面に接合されて構成されている。 ここで圧 電部材と導電部材との積層数は幾つであってもよい。

この積層ピエ V 3 7 6は駆動電圧が印加されると、 図 6 3屮矢印 M 4 で示す方向とは逆の方 |ήμこ直線的に変位して振動板 3 7 2の突 起部 3 7 4が接着されている部分を中心に持ち上げることにより第 2の カ室 3 7 1 Cの体積を増人させるようになされている。

また積層ビエゾ 3 7 6は駆動 ' 圧が解放されると、 図中矢印 Μ 4 で示す方向に直線的に変位して突起部 3 7 4を押圧することにより 振動板 3 7 2を湾曲させて第 2の圧力室 3 7 1 Cの体積を減少させ、 これによつて第 2の圧力室 3 7 1 C内の圧力を上昇させる。 この場 合、 突起部 3 7 4の大きさは積層ピエゾ 3 7 6の - ^ 3 7 6 Α及び 第 2の圧力室 3 7 1 Cの開口面積よ りも小さく形成されているので、 積層ピエゾ 3 7 6の変位を振動板 3 7 2の笫 2の^力室 3 7 1 Cに 対応する位置に集中的に伝達することができる。

ここで図 6 4に すように、 「キャ リアジェッ ト」 ブリン トへッ ド 3 5 5においては、 図 64に示すように、 第 1の圧力室 3 7 1 H、 第 1のノズル導入孔 3 7 1 1、 m 1の液体供給路 3 7 1 J、 吐出ノ ズル 37 3 B、 第 2の圧力室 3 7 1 C、 第 2のノズル導入孔 3 7 1 D、 第 2の液体供給路 3 7 1 E、 定量ノズル 3 7 3 Aはそれぞれ複 数形成されている。 また各第 1の圧力 ¾3 7 1 H及び各第 2の圧力 室 3 7 1 Cに対応したそれぞれ突起部 3 7 5及び積屑ピエゾ 3 7 7、 突起部 3 74及び積層ビエゾ 3 76が設けられている。

( 2— 3 ) 「キャ リアジェッ ト j プリ ン トヘッ ドの製造方法

「キヤリアジェヅ ト」 プリン 卜ヘッ ド 3 5 5の製造方法について 図 6 6を fflいて説明する。

まず図 6 6 ( A) に すように、 厚さがほぼ 0. 2 〔mm〕 のス テンレススチールよりなる板材 38 2の一面 3 8 2 Aに例えば感光 性ドライフ ィルムゃ液体レジス ト材料などのレジス トを塗布した後、 第 2の/十:力室 3 7 1 C、 接続孔 37 1 G、 第 1の圧力室 3 7 1 H及 び接続孔 3 7 1 Lに応じたパターンを有するマスクを用いてパター ン^光を行うと共に、 板材 3 8 2の他面 3 8 2 Bに例えば感光性ド ライフィルムゃ液体レジス 卜材料などのレジス 卜を塗布した後、 第 2のノズル導入孔 3 7 1 D、 第 2の液体供給路 3 7 1 E、 イ ンクバ ッファタンク 3 7 1 F、 1のノズル導入孔 3 7 1 1、 第 1の液体 供給路 3 7 1 J及び希釈液バッファタンク 3 7 1 Kに応じたパ夕一 ンを有するマスクを用いてパターン露光を行い、 レジス ト 3 8 3 , 384を形成する。

続いて 1¾16 6 ( B ) に示すようにこれらパターンをそれぞれ有す るレジス 卜 3 8 3 , 3 84をマスクとして、 板材 3 8 2を例えば塩 化第 2鉄水溶液でなるエツチング溶液に してエツチングを行うこ とにより、 板材 382の一面 382 Aに第 2の圧力室 37 1 C、 接 続孔 371 G、 第 1の圧力室 371 H及び接続孔 37 1 Lを形成す る。 また板材 382の他面 382 Bには、 第 2のノズル導入孔 37 1 D、 第 2の液体供給路 37 1 E、 インクバッファタンク 37 I F、 第 1のノズル導入孔 37 1 1、 m 1の液体供給路 37 1 J、 希釈液 ノ ソ ファタンク 37 1 Kを形成することにより、 圧力室形成部 37 1を^る。 このとき、 第 1のノズル導入孔 37 1 1と希釈液バヅフ ァタンク 37 1 Jの間には硬質部材 37 1 Pが形成されることとな り、 第 2のノズル導入孔 37 1 Dとインクバッファタンク 37 1 E の問には硬質部材 37 1 Mが形成されることとなる。

この場合、 板材 382の片面からのェツチング量が板材 382の 厚さの約 1 / 2強となるようにエッチング量を選定する。 例えば板 材 382の厚さが 0. 2 〔mm〕 に選定されている場合には、 板材 382の片面からのエッチング _ が約 0. 1 1 〔mm〕 程度となる ように選定する。 これにより第 1の圧力室 37 1 H、 接続孔 37 1 L、 第 1のノズル導入孔 37 1 1、 m 1の液体供給路 37 1 J及び 希釈液バッファタンク 37 1 K、 第 2の圧力室 37 1 C、 接続孔 3 7 1 G、 第 2のノズル導入孔 37 1 D、 第 2の液休供給路 37 1 E、 インクバッファタンク 37 1 Fの寸法精度を向上し得ると共に安定 して形成することができる。

また板材 382の片面からのエッチング量が同じなので、 板材 3 82の一面 382Aに、 第 1のば:力室 37 1 H、 接続孔 37 1 L、 ¾ 2の圧力室 37 1 C及び接続孔 37 1 Gを形成する際のエツチン グの条件と、 板材 382の他面 382 Bに第 1のノズル導入孔 37 1 I、 第 1の液体供給路 37 1 J、 希釈液バヅファタンク 37 1 K、 第 2のノズル導入孔 3 7 1 D、 第 2の液体供給路 3 7 1 E及びィン クバッファタンク 3 7 1 Fを形成する際のェツチングの条件を同じ 条件に設定し得るので、 図 6 6 ( B ) の工程を簡易かつ短時間に行 うことができる。

ここで第 1のノズル導入孔 3 7 1 I及び第 2のノズル導入孔 3 7 1 Dは、 それぞれ第 1の圧力. 3 7 1 H及び第 2の圧力 S 3 7 1 C に/ 力が印加された際に第 1の圧力室 3 7 1 H及び第 2の圧力室 3 7 1 C内の圧力上昇に影^がない程度に、 吐出ノズル 3 7 3 B及び 定 ¾ノズル 3 7 3 Aの ¾よりそれぞれ大きくなるように形成される。 続いて図 6 6 ( C ) に示すように、 レジス ト 3 8 3 , 3 8 4を除 去する。 この場合、 レジス ト 3 8 3 , 3 8 4として ドライフィルム レジス 卜を用いた場合には例えば 5 〔％〕 以 ドの水酸化ナ ト リウム 水溶液を用い、 液状レジス ト材料を用いた場合には例えば専用アル 力リ溶液を用いる。

そして、 厚さがほぼ 5 0 〔// m〕 でガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以下のネオフレックスよりなる樹脂部材 3 8 5を圧力室形成部 3 7 1の他面 3 7 1 Bに熱圧着によって接 する。 この場合、 2 3 0 〔°C〕 程度のプレス温度において 2 0〜 3 0 C k g f / c m 2 〕 程 度の圧力を与えることにより接着する。 これにより圧力室形成部 3 7 1 と樹脂部材 3 8 5との接着強度を高めることができると共に効 率良く接着することができる。

またこの場合、 樹脂部材 3 8 5には定 ¾ノズル 3 7 3 A及び吐出 ノズル 3 7 3 Bが形成されていないので、 冈 6 6 ( C ) に示す圧力 室形成部 3 7 1 に樹脂部材 3 8 5を接着する Γ.程においては高精度 な位 S合わせ精度を必要としない分接着工程を簡易に行うことがで きる。 さらに接着剤を用いずに図 6 6 ( C ) の状態の圧力室形成部 3 7 1に樹脂部材 3 8 5を接着しているので、 従来のように接着剤 が第 1の液体供給路 3 7 1 J及び第 2の液体供給路 3 7 1 Eを塞ぐ ことを未然に防止することができる。

次に図 6 1 ( D ) に示すように、 圧力室形成部 3 7 1の一面 3 7 1 A側から第 1の圧力室 3 7 1 H及び第 1のノズル導入孔 3 7 1 1 を介して樹脂部材 3 8 5に対してエキシマレーザを垂 ¾ίに照射する ことにより樹脂部材 3 8 5に吐出ノズル 3 7 3 Βを形成する。 また (:カ¾形成部 3 7 1の -面 3 7 1 Α側から第 2の I 力室 3 7 1 C及 び ¾ 2のノズル導入孔 3 7 1 Dを介して樹脂部材 3 8 5に対してェ キシマレーザを定 aノズル 3 7 3 A側に向けて斜めに照射すること により樹脂部材 3 8 5に定量ノズル 3 7 3 Aを形成することにより、 オリフィ スプレート 3 7 3を得る。

ここで樹脂部材 3 8 5を用いているので定量ノズル 3 7 3 A及び 出ノズル 3 7 3 Bを容 に形成することができる。 また第 1のノ ズル 入孔 3 7 1 I及び第 2のノズル導入孔 3 7 1 Dはそれぞれ吐 出ノズル 3 7 3 B及び定量ノズル 3 7 3 Aの径ょり大きいので、 レ —ザ加工時の樹脂部材 3 8 5と圧力室形成部 3 7 1 との位置合わせ 粘度を緩和することができると共に、 レーザ加工時に圧力室形成部 3 7 1によってレーザが遮蔽される危険性を冋避することができる。 続いて図 6 6 ( E ) に示すように、 例えばエポキシ系の接;？?剤を 用いて、 圧力室形成部 3 7 1の一面 3 7 1 Aに、 子め突起部 3 7 4 , 3 7 5が形成された振動板 3 7 2を接着する。 この場合、 第 1の液 体供給路 3 7 1 J及び第 2の液体供給路 3 7 1 Eはそれぞれ圧力 ¾ 形成部 3 7 1の他 (Tfl 3 7 1 Bに形成されているので、 ¾動板 3 7 2 の接着工程において、 第 1の液体供給路 3 7 1 J及び第 2の液体供 給路 3 7 1 Eが接着剤によって塞がれることを未然に防止すること ができる。 従って接着剤の目詰まりに起因する第 1の液体供給路 3 7 1 J及び第 2の液体供給路 3 7 1 Eの流路抵抗の上昇を回避する ことができ、 本例のプリン夕装 においては信頼性が向上する。 また第 1の液体供給路 3 7 1 J及び第 2の液体供給路 3 7 1 Eは 圧力室形成部 3 7 1の他面 3 7 1 Bに形成されているので、 圧力室 形成部 3 7 1に振動板 3 7 2を接着する際に川いる接; ft剤の選択範 囲を従来に比して大幅に広げることができる。

また振動板 3 7 2を圧カ 形成部 3 7 1の一面 3 7 1 Aに接着す る際には、 振動板 3 7 2の貫通孔 3 7 2 Bと接続孔 3 7 1 Gの位置 合わせと、 通孔 3 7 2 Cと接 ^孔 3 7 1 Lの位置合わせと、 突起 部 3 7 4及び積層ビエゾ 3 7 6 と第 2の圧力室 3 7 1 Cとの位置合 わせと、 突起部 3 7 5及び積層ピエゾ 3 7 7と第 1の圧力室 3 7 1 Hとの位; 合わせだけを考慮すればよいので、 従来に比して振動板 3 7 2の接； Τί丁.程を簡易に行うことができる。

続いて図 6 6 ( F ) に示すように、 例えばエポキシ系の接着剤を 用いて突起部 3 7 4 , 3 7 5にそれぞれ積層ビエゾ 3 7 6， 3 7 7 を接着した後、 ィンク供給管 3 7 9及び希釈液供給管 3 8 1をそれ それ振動板 3 7 2の 通孔 3 7 2 Β， 3 7 2 Cに合わせて振動板 3 7 2に接着する。 かく して 「キャリアジェッ ト」 プリン 卜ヘッ ド 3 5 5を得ることができる

ここでこの 「キャ リアジエツ 卜」 プリン トへッ ド 3 5 5では、 「キャリアジエツ ト」 プリン トへヅ ド 3 5 5に占める第 2の液体供 給路 3 7 1 Ε及び第 1の液休供給路 3 7 1 Jの面積が従来に比して 小さいので、 図 6 6 ( A ) に示す工程おいて行われる露光 '現像工 程、 図 6 6 ( B ) に示す工程において行われるエッチング工程及び 図 6 6 ( C ) に示す工程において行われる樹脂部材 3 8 5の熱圧着 工程のように一度で処理できる面積が限定される工程においては、 一回で処理できる処理面積の人きさを変更しなくても、 従来に比し て多くのへッ ドを- 度に形成し得るので、 作製工程の効率を大幅に 向上させることができる。 従ってコス トを低減することができる。 ( 2 - 4 ) 第 2実施例の動作及び効 ¾

以 I：の構成において、 この 「キャリアジェッ ト」 プリ ン トヘッ ド 3 5 5では、 祯層ピエゾ 3 7 6 , 3 7 7に所定の駆動電圧が与えら れると、 図 6 7 ( A ) に示すように、 積層ピエゾ 3 7 6， 3 7 7は それぞれ図中矢印 M4 で示す方向とは逆の方向に変位する。 これに よって振動板 3 7 2における第 2の圧力室 3 7 1 C及び第 1の圧力 室 3 7 1 Hに対応する部分が矢印 M 4 で示す方向とは逆の方向に持 ち上げられるので、 第 2の圧力室 3 7 1 C及び第 1の! £力室 3 7 1 Hの体積が增加する。

第 2の圧力室 3 7 1 C及び第 1の圧力室 3 7 1 Hの休積が増加す ると、 定量ノズル 3 7 3 A及び吐出ノズル 3 7 3 Bのメニスカスは、 それぞれ一旦第 2の圧力室 3 7 1 C及び第 1の圧力室 3 7 1 H側に 後退するが、 積層ピエゾ 3 7 6， 3 7 7の変位が治まると表面張力 との釣り合いによって定量ノズル 3 7 3 A及び吐出ノズル 3 7 3 B の先端近傍で安定する。

ィンク定量時においては、 積層ピエゾ 3 7 6に印加されている駆 動電圧が解放され、 この結果図 6 7 ( B ) に示すように、 積^ビエ ゾ 3 7 6が矢印 M 4 で示す方向に変位することによ り振動板 3 7 2 】70 が矢印 M 4 で示す方向に変位する。 これにより第 2の圧力室 3 7 1 C内の体積が減少して第 2の圧力室 3 7 1 C内の圧力が上昇する。 この場合、 積層ピエゾ 3 7 6に与えられている駆動電圧の時間変 化は、 定量ノズル 3 7 3 Aからインクが飛翔しないように緩やかに 設定されているので、 ィンクは^量ノズル 3 7 3 Aから飛翔せずに 押し出された状態になる。

ここで祯 ^ピエゾ 3 7 6に印加されていた駆動電圧を解放すると きの ' '圧値を画像デ一夕の階調に応じた値に設定しているので、 定 量ノズル 3 7 3 Aの先端から押し出されるイ ンク量は画像データに I '、じた量となる。

この定量ノズル 3 7 3 Aから押し出された状態にあるインクは、 吐出ノズル 3 7 3 Bの先端部近傍においてメニスカスを形成してい る希釈液と接触して混合される。

インク吐出時においては、 積層ピエゾ 3 7 7に印加されている駆 動電圧が解放され、 この結果図 6 7 ( C ) に示すように、 積層ビエ ゾ 3 7 7が矢印 M 4 で示す方 I に変位することにより振動板 3 7 2 が矢印 M 4 で示す方向に変位する。 これにより第 1の圧力室 3 7 1 Hの体積が減少して第 1の圧力室 3 7 1 H内の 力が上昇し、 この 結果吐出ノズル 3 7 3 Bから画像データに応じたィンク濃度をおす る混合溶液が IU:出される。 ここで ^ピエゾ 3 7 7に ' えられてい る駆動電 J t:の時間変化は、 叶出ノズル 3 7 3 Bから混合溶液が吐出 し得るように設 されている。

以上の構成において、 この 「キヤ リアジェッ ト」 プリ ン トヘッ ド 3 5 5では、 第 2の液体供給路 3 7 1 E及び第 1の液体供給路 3 7 1 Jがそれぞれ第 2の 力室 3 7 1 C ¾び第 1の圧力室 3 7 1 Hの 】71 配列方向 （それそれィンクバッファタンク 3 7 8の配給面 3 7 8 A 及び希釈液バッファタンク 3 8 0の配給面 38 0 A) に対して斜め に形成されているので、 第 2の圧力室 3 7 1 C及び第 1の圧力室 3 7 1 Hの配列方向に直角な方向に占める第 2の液体供給路 3 7 1 E 及び第 1の液体供給路 3 7 1 Jの長さをそれそれ従来に比して短く することができる。 従って 「キャリアジェッ ト」 プリン トヘッ ド 3 5 5において^ 2の液体供給路 37 1 E及び第 1の液体供給路 3 7 1 Jがそれぞれ第 2の圧力室 3 7 1 C及び第 1の圧力室 3 7 1 Hの 配列方向に占める割合を従来に比して格段的に削減することができ る。

ここでィンクを吐出するために必要な流路抵抗を確保するために 第 2の液体供給路 37 1 Eの良さが約 2 〔mm〕 必要な場合、 第 2 の液体供給路 3 7 1 Eの第 1の第 2の液体供給路 3 7 1 E2 の中心 線 C11と^ 2の第 2の液体供給路 3 7 1 E3 の屮心線 C12とのなす 角度 6>11を 70 ° に選定すると、 第 2の圧力室 3 7 1 Cの配列方向 に直角な方向に占める第 2の液体供給路 3 7 1 Eの さは、 2 Cm m〕 x c o s 7 0° = 0. 68 〔mm〕 となるので、 第 2の压カ室 3 7 1 Cの配列方向に直角な方向に占める第 2の圧力室 3 7 1 Cの 長さを、 第 2の液体供給路 3 7 1 Eを第 2の圧力室 3 7 1 Cの配列 方向に :角に形成した場合 （インクバ 'ソファタンク 3 7 8の配給面 3 78 Aに対して直角に形成した場合） に比して約 40 〔％〕 以下 の土 さに削減することができる。

従って 「キャ リアジェヅ ト」 プリン 卜へッ ド 3 5 5において第.2 の液体供給路 3 7 1 Eが第 2の圧力室 3 7 1 Cの配列方向に^角な 方向に占める割合を従来の場合に比して約 6 0 〔％〕 以上削減する 】72 ことができる。

同様に希釈液を吐出するために必要な流路抵抗を確保するために 第 1の液体供給路 3 7 1 Jの長さが約 2 〔m m〕 必要な場合、 第 1 の液体供給路 3 7 1 Jの第 1の第 1の液体供給路 3 7 1 J 2 の中心 線 C 13と第 2の第 1の液体供給路 3 7 1 J 3 の中心線 C 14とのなす 角度 0 12を 7 0 ° に選定すると、 第 1の圧力 3 7 1 Hの配列方向 に直角な方向に占める第 1の液体供給路 3 7 1 Jの長さは、 2 C m m〕 x c o s 7 0 ° = 0 . 6 8 〔m m〕 となるので、 第 1の圧力室 3 7 1 Hの ffi列方向に :角な方^に占める 1の I I：力室 3 7 1 Hの 長さを、 第 1の液体供給路 3 7 1 Jを第 1の圧力室 3 7 1 Hの配列 方向に直^に形成した場合 （希釈液バッファタンク 3 8 0の配給面 3 8 0 Aに対して直角に形成した場合） に比して約 4 0 〔％〕 以下 の長さに削減することができる。

従って 「キャ リアジェッ ト」 プリン トヘッ ド 3 5 5において第 1 の液体供給路 3 7 1 Jが、 第 1の圧力室 3 7 1 Hの配列方向に直角 な方向に める割合を従来の ¾合に比して約 6 0 〔％〕 以上削減す ることができる。

ここで 「キャ リアジェッ ト」 プリン 卜ヘッ ド 3 5 5の場合には、 第 2の液体供給路 3 7 1 E及び第 1の液体供給路 3 7 1 Jがそれそ れ第 2の圧力 ¾ 3 7 1 C及び第 1の 力室 3 7 1 Hの配列方向に直 角な/ i向に占める割合を従来に比してそれぞれ約 6 0 〔％〕 以上削 減できるので、 インクジエツ 卜プリン トへヅ ド 3 1 5の場合に比し てへッ ドに占める割合の削減率が高くなる。 従って 「キャリアジェ ヅ ト」 型のプリ ン トへッ ドの場合には、 インクジ Iッ ト型のプリン トへッ ドに比して、 本発明を適用することによる効果を一段と^受 】73 することができる。

ここで第 2の液体供給路 3 7 1 E及び第 1の液体供給路 3 7 1 J は圧力室形成部 3 7 1の他面 3 7 1 Bに形成され、 しかも接着剤を 用いずに熱压着によってオリフィスプレート 3 7 3が溶液室形成部 材 7 3の他而3 7 1 B側に接着されているので、 第 2の液体供給路 3 7 1 E及び第 1の液体供給路 3 7 1 Jが接着剤によって塞がれる ことはない。

従って第 2の液体供給路 3 7 1 E及び第 1の液体供給路 3 7 1 J の流路抵抗が _ I：昇することを回避し得るので、 画像データに応じた インク濃度を有する混合溶液を安定して吐出することができ、 本例 のプリン夕装置は高い信頼性を得る。

またこの 「キャリアジェッ ト」 プリン トヘッ ド 3 5 5は、 ステン レススチールよりなる圧力室形成部 3 7 1 と樹脂よりなるオリフィ スプレー卜 3 7 3との積層構造で構成されているので、 圧力室形成 部 3 7 1 とオリフィスプレート 3 7 3とを樹脂材料で構成した場合 に比して、 第 1の圧力室 3 7 1 H及び第 2の圧力室 3 7 1 Cに圧力 が印加された際におけるオリフィスプレート 3 7 3の変形量を小さ くすることができる。 従って画像デ一夕に応じたィ ンク量を定量ノ ズル 3 7 3 Aから有効かつ安定して押し出すことができると共に、 吐出ノズル 3 7 3 Bから画像デ一夕に応じたィンク濃度でなる混合 溶液を有効かつ安定して吐出させることができる。

この場合、 第 1の圧力室 3 7 1 H及び第 2の圧力室 3 7 1 Cの下 面にそれぞれ硬質部材 3 7 1 P , 3 7 1 Mが形成されているので、 画像デ一夕に応じたィンク量を定量ノズル 3 7 3 Aから一段と冇効 かつ安定して押し出すことができると共に、 吐出ノズル 3 7 3 Bか ら画像デ一夕に応じたインク濃度でなる混合溶液を一段と有効かつ 安定して吐出させることができる。

またオリフ ィ スプレート 3 7 3の変形 Kを小さくすることができ るので、 積層ピエゾ 3 7 6 , 3 7 7に印加する電圧値を小さく して も第 2の圧力室 3 7 1 C及び第 1の圧力室 3 7 1 H内の圧力を有効 かつ安定して上昇させることかでき、 消費電力を低減することがで ぎる。

以 I .の構成を揺する本例のプリン夕装置のプリン トへッ ドにおい ては、 第 1の圧力宰 3 7 1 Hに連通し、 第 1の圧力 ¾ 3 7 1 Hの配 列方向に直角な方向に所定の畏さ分だけ形成された第 1の希釈液流 路部 3 7 1 J 2 と、 第 1の圧力室 3 7 1 Hの配列方向に対して斜め に形成された第 2の希釈液流路部 3 7 1 J 3 とによって第 1の液体 供給路 3 7 1 Jを構成し、 1の希釈液流路部 3 7 1 J 2 の中心線 C 13と第 2の希釈液流路部 3 7 1 J 3 の中心線 C 14とのなす角度 (9 12が 7 0 ° となるように第 2の希釈液流路部 3 7 1 J 3 を第 1の圧 力 ¾ 3 7 1 Hの配列方向に対して斜めに形成している。

また、 本例のプリン夕装^のプリン トへッ ドにおいては、 第 2の 圧力室 3 7 1 Cに迚通し、 第 2の圧力室 3 7 1 Cの配列方向に直角 な方向に所定の長さ分だけ形成された第 1のィ ンク流路部 3 7 1 E 2 と、 第 2の/ ΐ力室 3 7 1 Cの配列方向に対して斜めに形成された 第 2のィンク流路部 3 7 1 Ε 3 とによって第 2の液体供給路 3 7 1 Εを構成し、 第 1のィンク流路部 3 7 1 Ε の中心線 C 11と第 2の ィ ンク流路部 3 7 1 Ε 3 の中心線 C 12とのなす角度 0 11が 7 0 ° と なるように第 2のインク流路部 3 7 1 E 3 を第 2の圧力室 3 7 1 C の配列方向に対して斜めに形成している。 これにより 「キャリアジェッ ト」 プリン トヘッ ド 3 5 5において 第 1の液体供給路 3 7 1 J及び第 2の液体供給路 3 7 1 Eがそれぞ れ第 1の圧力室 3 7 1 H及び第 2の圧力室 3 7 1 Cの配列方向に直 角な方向に占める割合を従来に比してそれぞれ約 6 0 〔％〕 以上削 減することができるので、 「キャリアジェッ ト」 プリン トヘッ ド 3 5 5を小型化することができる。 かく して従来に比して小型化し得 るプリンタ装置を実現することができる。

( 3 ) 他の '施例

なお上述の第 1実施例においては、 ガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以下のネオフレックスでなるオリフィスプレート 3 3 3を用いた場 合について述べたが、 本発明はこれに限らず、 図 6 8に示すような オリフィスプレート 3 9 1を適用しても上述の第 1実施例と同様の 効果を得ることができる。

オリフィ スプレート 3 9 1は例えば厚さがほぼ 1 2 5 〔〃m〕 で ありガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以上のデュポン社製のカプトン

(商品名） よりなる ¾ 2の樹脂 3 9 2の一面に、 例えば厚さがほぼ 7 〔〃m〕 でありガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以下の上述のネオフ レックスよりなる第 1の樹脂 3 9 3が塗布されて構成されている。 この場合、 オリフィスプレート 3 9 1にノズル導人孔 3 3 1 Dに連 通した吐出ノズル 3 9 1 Aが形成されている。

従って、 オリフィスプレー卜 3 9 1の厚さがオリフィスプレート 3 3 3の厚さより厚いので、 オリフィスプレート 3 3 3に比してォ リフィスプレート 3 9 1の強度を -段と確保することができるとと もに、 吐出ノズル 3 3 3 Aの長さが長くなるので吐出されるインク 液滴の方向性を高めることができる。 JP97/01096

1 76 また上述の第 1実施例においては、 積層ビエゾ 3 3 5を用いて圧 力室 3 3 1 Cに圧力を印加するようになされたィンクジエツ トプリ ン トヘッ ド 3 1 5を使用した例について述べたが、 本発明はこれに 限らず、 図 5 8との対応部分に同 -符号を付して示す 6 9及び図 7 0に示すようなインクジエツ トプリン トへッ ド 4 0 0を使用して も上述の第 1実施例と同様の効果を得ることができる。 なお、 図 6 9は図 7 0を D— D ' で示す切断線により切断した断面を示す。

このインクジエツ トプリン トへヅ ド 4 0 0は、 振動板 3 3 2の一- 面 3 3 1 Aにおける圧力^ 3 3 1 Cに対応した位 f こ ¾動板 4 0 1 が形成されていると共に、 当,该& ϊ動板 4 0 1上に板状でなる J 電素 子 4 0 2が積肩されている。

この圧電素子 4 0 2の分極及び電圧の印加方向は、 圧電素子 4 0 2に電圧を印加した際に、 圧 11 '素子 4 0 2が振動板 4 0 1の面内方 向に縮んで図中矢印 M 3 に示す方向に撓むように設定されている。

従ってこのインクジヱッ トプリン 卜へッ ド 4 0 0では、 圧電素子 4 0 2に駆動 fix圧が印加されると、 /王電素子 4 0 2は、 図 4 0 ( A ) に示す初期状態から図 4 0 ( B ) に示すように図中矢印 M 3 で示す 方向に橈んで振動板 4 0 1 を押圧することにより振動板 3 3 2を湾 曲させる。 これによつて圧力室 3 3 1 Cの体積が減少し、 圧力室 3 3 1 C内の圧力が h昇して吐出ノズル 3 3 3 Aからインクが π上出す る。

この場合、 圧電素子 4 0 2に印加する駆動電圧の時問変化は、 吐 出ノズル 3 3 3 Αからインクを吐出し得るような電圧波形に選択さ れている。

ここでインクジエツ 卜プリン トへッ ド 4 0 0では、 積層ピエゾ 3 3 5に代えて単板型の圧電素子 40 2を用いているので、 インクジ エツ トプリン トヘッ ド 3 1 5の場合に比して圧力室 3 3 1 Cの大き さを大きく形成する必要がある。

しかしながら圧力室 33 1 Cのイ ンクジエツ トプリン 卜へッ ド 4 00に占める面積が大きくなつても、 液体供給路 3 3 1 Eのインク ジエツ トプリン 卜へッ ド 40 0において液体供給路 3 3 1 Eが圧力 室 33 1 Cの配列方向に慰角な方向に占める割合を削減することが できるので、 圧力室 33 1 Cに圧力を ' える手段として単板型の圧 電 7-4 0 2を用いた場合でもインクジエツ 卜プリン トへッ ド 4 0 0全体が大型化することを回避することができる。

さらに上述の第 1実施例においては、 第 1の流路部 3 3 1 E2 の 中心線 C1 と第 2の流路部 3 3 1 E3 の中心線 C2 とのなす角度 (9 が 70 ° となるように、 第 2の流路部 33 1 E3 を圧力室 3 3 1 C の配列方向に対して斜めに形成した場合について述べたが、 本発明 はこれに限らず、 第 1の流路部 33 1 E2 の屮心線 C1 と第 2の流 路部 33 1 E3 の中心線 C2 とのなす角度 0が 4 5 ° 以上 8 0 ° 未 満であれば他の角度になるように形成してもよい。

因みに上述の第 1実施例のように、 圧力室 3 3 1 Cの配列ピッチ P1 を 0. 6 8 〔mm〕 に選定し、 角度 を 7 0 ° に選定した場合、 60に示す各液体供給路 3 3 1 Eの第 2の流路部 3 3 1 E3 の屮 心線 C2 の間隔 d2 は 0. 6 8 〔mm〕 x c o s 7 0 ° = 0. 2 3 〔mm〕 程度になる。 従って液体供給路 3 3 1 Eの幅 W1 を 0. 1 〔mm〕 に選定しても、 図 60中に示す第 2の流路部 3 3 1 E3 の 間隔 d3 を約 0. 1 3 〔mm〕 の間隔にすることができるので、 圧 力室形成部 3 3 1に樹脂部材 3 4 1を接着する際に各液体供給路 3 3 1 E間におけるィンク^れをほとんど考慮する必要がないので、 樹脂部材 34 1の接着工程を容易に行うことができる。

これに対して t述の第 1実施例において、 角度 ( を 80 ° に選定 した場合には、 各液体供給路 3 3 1 Eの第 2の流路部 3 3 1 E3 の 中心線 C2 の問隔 d2 は 0. 6 8 〔mm〕 x c o s 80。 = 0. 1 2 〔mm〕 程度になる。 従って各液体供給路 3 3 1 Eの第 2の流路 部 33 1 E3 の間隔 d3 は約 0. 0 2 〔mm〕 の問隔となるので、 樹脂部材 34 1の接着: Π程において、 各液体供給路 33 1 E問にお けるインク漏れを考慮する必要が生ずる。 この結 ¾、 樹脂部材 34 1の接着丁-程が煩雑になると共に、 上述した図 6 1に示す製造工程 において高精度なエツチング工程が要求される。

また角度 6>を 4 5 ° に選定した場合には、 イ ンクジブリン トへッ ド 3 1 5において液体供給路 3 3 1 Eが圧力室 3 3 1 Cの配列方向 に直角な方向に占める割合を 3 0 〔％〕 程度削減することができる。 さらに上述の第 1 ^施例においては、 ノズル導入孔 3 3 1 Dの径 を吐出ノズル 3 3 Aの径ょり 3 0〜： I 5 0 〔〃m〕 程度大きくなる ように形成した場合について述べたが、 本究明はこれに限らず、 要 は圧力室 33 1 Cに圧力が印加された際に圧力室 3 3 1 C内の圧力 上昇に影響がない大きさであればノズル導入孔 3 3 1 Dの径を上述 の数値以外の大きさで nt出ノズル 3 3 Aより大きくなるように形成 してもよい。

さらに上述の第 1実施例においては、 液体供給路 33 1 Eを圧力 室形成部 33 1の他面 3 1 Bに形成した場合について述べたが、 本 允明はこれに限らず、 液体供給路 3 3 1 Eを圧力室形成部 33 1の 一面 3 1 Aに形成してもよい。 このインクジェッ トブリン トへッ ド 4 0 0において、 オリフィス プレート 3 3 3に代えて上述のォリフィスプレー卜 3 9 1を用いて もよく、 上述の場合と同様の効果を得ることができる。

さらに上述の第 2実施例においては、 積層ビエゾ 3 7 7， 3 7 6 を fflいてそれぞれ第 1の圧力室 3 7 1 H及び第 2の圧力室 3 7 1 C に圧力を印加するようになされた 「キヤリアジェッ ト」 ブリン トへ ッ ド 3 5 5を使用した例について述べたが、 本発明はこれに限らず、 (¾1 6 3との対応部分に M…符号を付して示す図 7 2及び図 7 3に示 すような 「キャ リアジェッ ト」 プリ ン トヘッ ド 4 4 0を使用するよ うにしても、 I：述の第 2実施例と同様の効果を得ることができる。 なお、 図 7 2は図 7 3を E— E 'で示す切断線により切断した断面 を^す。

この 「キャリアジェヅ 卜」 プリン トヘッ ド 4 4 0は、 振動板 3 7 2の一面 3 7 2 Aにおける第 2の圧力室 3 7 1 C及び第 1の圧力室 3 7 1 Hにそれぞれ対応した位置に振動板 4 4 1及び振動板 4 4 2 が接着されていると共に、 当該振動板 4 4 1 , 4 4 2上にそれぞれ 板状でなる圧電素子 4 4 3 , 4 4 4が積層されている。

この圧電素子 4 4 3 , 4 4 4の分極及び電圧の印加方向は、 圧 ¾ 素子 4 4 3， 4 4 4に電圧を印加した際に、 圧電 子 4 4 3， 4 4 4がそれぞれ 動板 4 4 1 , 4 4 2の面内方向に縮んで矢印 M 4 で す方 に撓むように設定されている。

実際上この 「キャリアジェッ ト」 プリン トヘッ ド 4 4 0では、 図 5 1 ( A ) に示す吐出待機状態においては、 圧電素 / - 4 4 3 , 4 4 4には駆動電圧が印加されず、 インク及び希釈液は表面張力と釣り 合う位置、 すなわち定量ノズル 3 7 3 A及び叶出ノズル 3 7 3 Bの 先端近傍にそれぞれメニスカスが形成される。

ィンク定量時においては、 圧電素子 4 4 3に駆動電圧が印加され る。 これにより、 図 5 1 ( B ) に示すように、 圧電素子 4 4 3が矢 印 M4 で示す方向に橈んで ί 動板 3 7 2の第 2の圧力室 3 7 1 Cに 対応する部分が矢印 Μ 4 で示す方向に湾曲し、 この結果第 2の圧力 室 3 7 1 Cの体積が減少して第 2の压力室 3 7 1 C内の圧力が上昇 する。

ここで圧電素 - 4 4 3に印加する電)上の ' 圧値は W像データの階 調に応じた ίιι'ίに設定されているので、 定 ¾ノズル 3 7 3 Αの先端か ら押し出されるイ ンク量は闹像デ一夕に応じた！:となる。

この定量ノズル 3 7 3 Aから押し出された状態にあるィンクは、 吐出ノズル 3 7 3 Bの先端部近傍においてメニスカスを形成してい る希釈液と接触して混合される。

ィンク吐出時においては、 圧電素子 4 4 4に駆動電圧が印加され る。 これにより、 図 5 1 ( C ) に示すように、 圧電素子 4 4 4が矢 印 M4 で^す方向に橈んで 動板 3 7 2の第 1の压力室 3 7 1 Hに 対応する部分が矢印 M 4 で す方向に湾曲する。 この結果、 第 1の 圧力室 3 7 1 Hの体祯が減少して第 1の圧力室 3 7 1 H内の圧力が I：昇し、 吐出ノズル 3 7 3 Bから画像データに応じたィ ンク濃度を 有する混合溶液が吐出される。

ここで /ΐ ίί素子 4 4 4に印加する駆動電^の時間変化は、 吐出ノ ズル 3 7 3 Βから混合溶液が吐出し得るように i没定されている。 ここで 「キャリアジェッ ト」 プリン トヘッ ド 4 4 0では、 積層ビ ェゾ 3 7 6 , 3 7 7に代えてそれぞれ卑板型の圧^素子 4 4 3 , 4 4 4を用いているので、 「キヤ リアジェ 'ソ 卜」 プリン 卜ヘッ ド 3 5 5の場合に比して第 2の圧力室 3 7 1 C及び第 1の圧力室 3 7 1 H の大きさを大きく形成する必要がある。

しかしながら第 2の圧力室 3 7 1 C及び第 1の圧力室 3 7 1 Hの

「キャリアジェッ ト」 プリン トへッ ド 440に占める面積が大きく なっても、 「キャリアジェッ ト」 プリン トへヅ ド 440において第 2の液体供給路 3 7 1 E及び第 1の液体供給路 3 7 1 Jがそれぞれ 第 2の圧力室 3 7 1 C及び第 1の圧力 ¾ 3 7 1 Hの配列方向に直角 な方向に占める割合を削減することができるので、 第 2の圧力室 3 7 1 C及び第 1の圧力室 3 7 1 Hに圧力を える手段としてそれぞ れ単板型の圧電素了- 44 3， 444を川いた場合でも 「キャ リアジ エツ ト」 プリン トヘッ ド 440全体が大型化することを回避するこ とができる。

さらに上述の第 2実施例においては、 第 1のィンク流路部 3 7 1 E2 の中心線 C 11と第 2のィンク流路部 3 7 1 E3 の中心線 C 12と のなす角度 11が 7 0 ° となるように、 第 2のィンク流路部 3 7 1 E3 を第 2の^力室 3 7 1 Cの配列方向に対して斜めに形成し、 第 1の希釈液流路部 3 7 1 J2 の中心線 C 13と第 2の希釈液流路部 3 7 1 J3 の中心線 C 14とのなす角度 12が 70 ° となるように、 第 2の希釈液流路部 3 7 1 J3 を第 1の圧力室 3 7 1 Ηの配列方向に 対して斜めに形成した場合について述べたが、 本発明はこれに限ら ず、 第 1のィンク流路部 3 7 1 Ε2 の中心線 C 11と第 2のィ ンク流 路部 3 7 1 Ε3 の中心線 C 12とのなす角度 011が 4 5 ° 以上 8 0 ° 未満になるように形成し、 第 1の希釈液流路部 3 7 1 J2 の中心線 C 13と第 2の希釈液流路部 37 1 J 3 の中心線 C 14とのなす角度 0 12が 4 5 ° 以上 80 ° 満であれば他の角度に形成してもよい。 因みに上述の笫 2実施例のように、 第 2の圧力室 3 7 1 Cの配列 ピッチ P11を 0. 68 〔mm〕 に選定し、 角度 011を 7 0 ° に選定 した場合、 図 6 5中に示すように 第 2の液体供給路 37 1 Eの第 2のィンク流路部 3 7 1 E3 の中心線 C11の間隔 d 12は 0. 6 8 〔mm〕 x c o s 70 ° = 0. 23 〔mm〕 程度になる。 従って第 2の液体供給路 3 7 1 Eの幅

W11を 0. 1 〔mm〕 に選定しても、 1¾16 5中に^す第 2のインク 流路部 3 7 1 E3 の間隔 dl3を約 0. 1 3 〔mm〕 の問隔にするこ とができるので、 圧力室形成部 3 7 1に樹脂部材 3 8 5を接着する 際に各第 2の液体供給路 3 7 1 E問におけるィンク漏れをほとんど 考慮する必要がないので、 樹脂部材 3 8 5の接¾ に程を容 に行う ことができる。

これに対して I：述の節 2実施例において、 角度 6>を 80 ° に選定 した場合には、 各第 2の液体供給路 3 7 1 Eの第 2のィンク流路部 3 7 1 E3 の中心線 C 12の問隔 d 12は 0. 68 〔mm〕 x c o s 8 0 ° = 0. 1 2 〔mm〕 程度になる。 従って各第 2の液休供給路 3 7 1 Eの第 2のインク流路部 3 7 1 E3 の間隔 d 13は約 0. 0 2 〔mm〕 の間隔となるので、 樹脂部材 3 8 5の接着工程において、 各第 2の液体供給路 3 7 1 E間におけるィンク漏れを考慮する必要 が生ずる。 この結果、 樹脂部材 38 5の接着工 が煩雑になると共 に、 上述した M 6 6に示す製造工程において高精度なエッチングェ 程が要求される。

また角度 011を 4 5 ° に選定した場合には、 第 2の液体供給路 3 7 1 Eの 「キャ リアジェッ ト」 プリン トヘッ ド 3 5 5において第 2 の液体供給路 3 7 1 Eが第 2の I王力室 3 7 1 Cの配列方向に ι¾角な 方向に占める割合を 3 0 〔％〕 程度削減することができる。 ここで 第 2の液体供給路 3 7 1 Eについて説明したが、 上述のことは第 1 の液体供給路 3 7 1 Jについても同様である。

さらに上述の第 2実施例においては、 インクを定量側に設定し、 希釈液を卟出側に設定した場合について述べたが、 本発明はこれに 限らず、 インクを吐出側に設定し、 希釈液を定 :側に設定するよう にしても上述の実施例と同様の効果を得ることができる。

さらに上述の第 2実施例においては、 第 2の液体供給路 3 7 1 E 及び第 1の液体供給路 3 7 1 Jを同じ方向に斜めに形成した場合に ついて述べたが、 本発明はこれに限らず、 いに反対の方向になる ように形成してもよい。

さらに上述の第 2の実施例においては、 第 2のノズル導入孔 3 7 1 D及び第 1のノズル導入孔 3 7 1 Iの径をそれぞれ定量ノズル 3 7 3 A及び叶出ノズル 3 7 3 Bの径より 3 0〜： I 5 0 〔〃m〕 程度 大きくなるように形成した場合について述べたが、 本発明はこれに 限らず、 要は第 2の圧力室 3 7 1 C及び ; 1の Γ 力室 3 7 1 Hに Π; 力が印加された際に第 2の圧力室 3 7 1 C及び第 1の圧力室 3 7 1 H内の圧力上昇に影響がない大きさであれば第 2のノズル導入孔 3 7 1 D及び第 1のノズル導入孔 3 7 1 1の径を上述の数倘以外の大 きさでそれぞれ定 ノズル 3 7 3 A及び吐出ノズル 3 7 3 Bより大 きくなるように形成してもよい。

さらに上述の第 2実施例においては、 第 2の液体供給路 3 7 1 E 及び第 1の液体供給路 3 7 1 Jを IE力室形成部 3 7 1の他面 3 7 1 Bに形成した場合について述べたが、 本発明はこれに限らず、 第 2 の液体供給路 3 7 1 E及び第 1の液体供給路 3 7 1 Jを圧力室形成 部 3 7 1の一面 3 7 1 Aに形成してもよい。

さらに h述の'実施例においては、 シリアル型プリン夕装置に本発 明を適用した 合について述べたが、 本発明はこれに限らず、 ライ ン型プリン夕装置及びドラム回転型プリン夕装置に本発明を適用し 得る。 このライ ン型プリン夕装置には、 上述のイ ンクジェッ トプリ ン トヘッ ド 4 0 0を適/ IJし^る。 また、 ライ ン型プリ ン夕装置及び ドラム回 $ 型ブリン夕装置には、 上述の 「キャリアジェッ ト」 プリ 卜ヘッ ド 3 5 5， 4 4 0を適用し得る。

さらに上述の実施例においては、 振動板 3 3 2及び振動板 3 7 2 の大きさをそれぞれ圧力室形成部 3 3 1の一面 3 3 1 A及び圧力室 形成部 3 7 1の一面 3 7 1 Aに接着するような人きさに選定した場 合について述べたが、 本発明はこれに限らず、 圧力室 3 3 1 Cに対 応する位置、 及び第 2の Hi力室 3 7 1 C及び第 1の圧力室 3 7 1 H に対応する位置に接着するような大きさに選定してもよい。 この場 合、 ¾動板3 3 2， 3 7 2をそれぞれ小さくすることができるので、 ¾動板 3 3 2 , 3 7 2をそれぞれ Π:力室形成部 3 3 1及び/ェカ室形 成部 3 7 1に接 する際の接着工^を一段と 易に行うことができ る。

さらに I：述の実施例においては、 厚さが 0 . 2 〔m m〕 以上の金 属材でなる圧力室形成部として圧力室形成部 3 3 1及び圧力室形成 部 3 7 1 を用いた場合について述べたが、 本究明はこれに限らず、 /土力 ¾形成部 3 3 1及び圧力室形成部 3 7 1の厚さとしてこの他種 々の数値を適用し得、 特に圧力室形成部の厚さを 0 . 1 〔m m〕 以 上に選定すれば七述の実施例とほぼ ^様の効果を得ることかできる。 さらに上述の実施例においては、 プレス温度が 2 3 0 〔 〕 程度 において 2 0〜 3 0 C k g f / c m 2 〕 の圧力でオリフィスプレー 卜 3 3 3及び 3 7 3をそれぞれ圧力室形成部 3 3 1及び圧力室形成 部 3 7 1に熱圧着した場合について述べたが、 本発明はこれに限ら ず、 接若強度を得ることができればこの他種々の数値でォリフィス プレート 3 3 3， 3 7 3をそれぞれ压力室形成部 3 3 1及び圧力室 形成部 3 7 1に熱圧若するようにしてもよい。

さらに上述の実施例においては、 エキシマレーザを用いた場合に ついて述べたが、 本発明はこれに限らず、 炭酸ガスレーザ等この他 種々のレーザを適用し得る。

さらに上述の実施例においては、 第 1の溶液 （ここではインクを 示す） が充填され、 所定の圧力が印加される複数の第 1の溶液室と して、 圧力室 3 3 1 C及び第 2の !-：力室 3 7 1 Cを用いた場合につ いて述べたが、 本発明はこれに限らず、 第 1の溶液が充填され、 所 定の圧力が印加される複数の第 1の溶液室としてこの他種々の第 1 の溶液室を適川し得る。

さらに 1:述の^施例においては、 第 1の溶液室の配列方向に対し て斜めに形成され、 第 1の溶液供給源から供給される第 1の溶液を それぞれ各第 1の溶液室に供給する第 1の溶液流路として、 液体供 給路 3 3 1 E及び第 2の液体供給路 3 7 1 Eを用いた場合について 述べたが、 本発明はこれに限らず、 第 1の溶液室の配列方向に対し て斜めに形成され、 第 1の溶液供給源から供給される第 1の溶液を それぞれ各第 1の溶液室に供給する第 1の溶液流路として、 この他 種々の第 1の溶液流路を適用し得る。

さらに上述の実施例においては、 各第 1の溶液流路にそれぞれ圧 力が印加された際、 各第 1の溶液室から供給される第 1の溶液をそ れぞれ吐出する第 1の溶液吐出穴として、 吐出ノズル 3 3 3 A及び 定量ノズル 3 7 3 Aを用いた場合について述べたが、 本発明はこれ に限らず、 各第 1の溶液流路にそれぞれ圧力が印加された際、 各第 1の溶液室から供給される第 1の溶液を S録媒体に対してそれぞれ 卟出する第 1の溶液吐出穴として、 この他種々の第 1の溶液吐出穴 を適用し得る。

さらに上述の^施例においては、 吐出時に第 1の溶液が混合され る第 2の溶液が充填され、 所 の圧力が印加される複数の第 2の溶 液室として、 第 1の圧力' 3 7 1 Hを用いた場合について述べたが、 本究明はこれに限らず、 吐出時に第 2の溶液が混合される^ 2の溶 液が充填され、 所定の圧力が印加される複数の第 2の溶液室として この他種々の第 2の溶液室を適用し得る。

さらに上述の実施例においては、 第 2の溶液室の配列方向に対し て斜めに形成され、 第 2の溶液供給源から供給される第 2の溶液を それぞれ各第 2の溶液室に供給する第 2の溶液流路として、 第 1の 液体供給路 3 7 1 Jを川いた場合について述べたが、 本発明はこれ に限らず、 第 2の溶液宰の配列方向に対して斜めに形成され、 第 2 の溶液供給源から供給される第 2の溶液をそれぞれ各第 2の溶液室 に供給する第 2の溶液流路として、 この他種々の第 2の溶液流路を 適用し得る。

さらに I .述の実施例においては、 各第 2の溶液流路にそれぞれ压 力が印加された際、 各第 2の溶液室から供給される第 2の溶液を記 録媒体に対してそれぞれ吐出する第 2の溶液叶出穴として、 吐出ノ ズル 3 7 3 Bを用いた ¾ について述べたが、 本発明はこれに限ら ず、 各第 2の溶液流路にそれぞれ圧力が印加された際、 各第 2の溶 液室から供給される第 2の溶液を記録媒体に対してそれぞれ吐出す る第 2の溶液吐出穴として、 この他種々の第 2の溶液吐出穴を適用 し得る。

さらに上述の実施例においては、 各第 1の溶液室及び各第 1の溶 液流路が孔加工されて形成された金属板として、 圧力室形成部 3 3

1及び圧力室形成部 3 7 1 を用いた場合について述べたが、 本発明 はこれに限らず、 各第 1の溶液室及び各第 1の溶液流路が孔加工さ れて形成された金 ½板として、 この他嵇々の金属板を適川し得る。 さらに上述の実施例においては、 第 1の溶液を吐出する^液吐出 孔が形成された板状でなる樹脂部材として、 オリフィ スプレート 3

3 3 , 3 7 3を用いた場合について述べたが、 本 ¾明はこれに限ら ず、 第 1の溶液を吐出する溶液吐出孔が形成された板状でなる樹脂 部材として、 この他種々の樹脂部材を適 fflし得る。

さらに上述の ' '施例においては、 ガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以 下の樹脂材として厚さが 5 0 u m ) でガラス転移点が 2 5 0 O 以下のネオフ レ ックスでなるオ リフ ィ スプレー ト 3 3 3及び 3 7 3 を用いた場合について述べたが、 本発明はこれに限らず、 ガラス転 移点が 2 5 0 〔°C〕 以下の樹脂材としてこの他種々の樹脂材を適用 し得る。

さらに上述の'; ii'施例においては、 ガラス 移点が 2 5 0 〔°C〕 以 下の第 1の樹脂と、 ガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以上の第 2の樹脂 とが積層されてなるォリフィ スプレー卜 3 9 1 を用いた場台につい て述べたが、 本発明はこれに限らず、 ガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以ト'の第 1の樹脂と、 ガラス転移点が 2 5 0 〔 〕 以上の第 2の樹 脂とが積層されてなるものをオリフ ィスプレートに適用し得る。 さらに上述の実施例においては、 第 1の溶液供給源から供給され る第 1の溶液を配給する第 1の溶液配給手段として、 インクバッフ ァタンク 3 3 6及びィンクバッファタンク 3 7 8を用いた場合につ いて述べたが、 本発明はこれに限らず、 第 1の溶液供給源から供給 される第 1の溶液を配給する第 1の溶液配給手段として、 この他種 々の第 1の溶液配給手段を適川し得る。

さらに上述の実施例においては、 第 1の溶液配給手段の配給面に 対して斜めに形成された第 1の溶液流路として、 液体供給路 3 3 1 E及び第 2の液体供給路 3 7 1 Eを用いた場合について述べたが、 本発明はこれに限らず、 第 1の溶液配給手段の配給面に対して斜め に形成された第 1の溶液流路としてこの他秫々の第 1の溶液流路を 適用し得る。

さらに上述の実施例においては、 第 1の溶液流路に連通し、 第 1 の溶液配給手段から第 1の溶液流路を介して供給される第 1の溶液 が充填され、 所定の圧力が印加される第 1の溶液 ¾として、 圧力室 3 3 1 C及び笫 2の圧力室 3 7 1 Cを用いた場合について述べたが、 本発明はこれに限らず、 第 1の溶液流路に連通し、 第 1の溶液配給 手段から第 1の溶液流路を介して供給される第 1の溶液が充填され、 所^の圧力が印加される第 1の溶液室としてこの他稀々の第 1の溶 液室を適用し得る。

さらに上述の 施例においては、 第 1の溶液室に圧力が印加され た際、 第 1の溶液室から供給される第 1の溶液を吐出する第 1の溶 液吐出穴として、 吐出ノズル 3 3 3 A及び定量ノズル 3 7 3 Bを用 いた場合について述べたが、 本発明はこれに限らず、 第 1の溶液室 に圧力が印加された際、 第 1の溶液室から供給される第 1の溶液を 吐出する第 1の溶液吐出穴としてこの他種々の第 1の溶液吐出穴を 適用し得る。

さらに上述の実施例においては、 第 2の溶液供給源から供給され、 吐出時に第 1の溶液と混合される第 2の溶液を配給する第 2の溶液 配給手段として希釈液バッファタンク 3 8 0を用いた場合について 述べたが、 本発明はこれに限らず、 第 2の溶液供給源から供給され る第 2の溶液を配給する^ 2の溶液配給手段として、 この他極々の 第 1の溶液配給手段を適用し得る。

さらに上述の実施例においては、 第 2の溶液配給手段の配給面に 対して斜めに形成された第 2の溶液流路として節 1の液体供給路 3 7 1 Jを用いた場合について述べたが、 本允明はこれに限らず、 第 2の溶液配給手段の配給面に対して斜めに形成された第 2の溶液流 路としてこの他種々の第 2の溶液流路を適用し得る。

さらに上述の実施例においては、 第 2の溶液流路に連通し、 第 2 の溶液配給手段から第 2の溶液流路を介して供給される第 2の溶液 が充填され、 所定の/」:力が印加される第 2の溶液¾として第 1の圧 力室 3 7 1 Jを用いた場合について述べたが、 本発明はこれに限ら ず、 第 2の溶液流路に連通し、 第 2の溶液配給手段から第 2の溶液 流路を介して供給される第 2の溶液が充填され、 所定の圧力が印加 される第 2の溶液室としてこの他種々の第 2の溶液室を適用し得る。 さらに上述の実施例においては、 第 2の溶液室に圧力が印加され た際、 第 2の溶液室から供給される第 2の;^液を gd録媒体に対して 吐出する第 2の溶液吐出穴として吐出ノズル 3 7 3 Bを用いた場合 について述べたが、 本発明はこれに限らず、 第 2の溶液室に/王力が 印加された際、 第 2の溶液室から供給される第 2の溶液を記録媒体 に対して吐出する第 2の溶液吐出穴としてこの他種々の第 2の溶液 吐出穴を適用し得る。

4 . 第 9及び第 1 0の発明に対応する実施の形態

( 1 ) 第 1実施例

本実施例においては、 本発明をインクのみを吐出するインクジェ ッ トプリン夕装置に適用した例、 すなわち第 9の発明に対応する実 施例について述べる。

( 1 - 1 ) インクジェッ トプリン夕装^の構成

本例のィンクジヱッ トプリンタ装 の全体の構成であるが、 上述 の第 1及び第 2の発明に対応する実施の形態中の第 1実施例と同様 とされているので、 ここでは説明を省略することとする。 すなわち、 本例のィンクジェッ トプリンタ装^においては、 先に したプリン トへッ ド 1 5の代わりに後述のインクジエツ トプリン トへヅ ドが使 用されることとなる。 なお、 本例のィンクジエツ 卜プリン夕装置に おいても前述した制御部と同様の制御部が使用されることとなるの で、 この説明も省略することとする。

( 1 - 2 ) インクジェッ トプリン トヘッ ドの構成

次に、 本例のィンクジェヅ トプリン夕装置のィンクジエツ トプリ ン トヘッ ドの構成について説明する。 すなわち、 本例においては、 図 7 5及び図 7 6に示すように、 インクジエツ トブリン トへッ ド 5 1 5は、 板状でなる圧力室形成部 5 3 1の 面 5 3 1 Aに接着剤

(図示せず） によって振動板 5 3 2が接; Τί·されていると共に、 圧力 ¾形成部 5 3 1の他面 5 3 1 Bに板状でなるオリフィスプレート 5 3 3が接着され、 振動板 5 3 2の一面 5 3 2 Αに突起部 5 3 4を介 して積層ピエゾ 5 3 5が接合されて構成されている。 なお、 図 7 5 は図 7 6を図中 F— F ' 線にて切断した断面図を示す。

圧力室形成部 5 3 1は厚さがほぽ 0 . 2 〔m m〕 のステンレスス チールよりなる。 この圧力室形成部 5 3 1には圧力室 5 3 1 C、 ノ ズル導入孔 5 3 1 D、 液体供給路 5 3 1 E、 インクバッファタンク 5 3 1 F及び接続孔 5 3 1 Gが形成されている。 カ室 5 3 1 Cは 圧力室形成部 5 3 1の厚み方向におけるほぽ中心位置から圧力室形 成部 5 3 1の一面 5 3 1 A側に露出するように形成されている。 ま た、 図 7 6中に示すように圧力室 3 1 Cの幅 W21が 0 . 4 〔m m〕 となされている。

ノズル導入孔 5 3 1 Dは、 圧力室 5 3 1 Cの ド側に圧力室 5 3 1 Cに連通し、 かつ圧力室形成部 5 3 1の他面 5 3 1 B側に露出する ように形成されている。

さらに、 液体供給路 5 3 1 Eは、 圧力室形成部 5 3 1の厚み方向 におけるほぼ巾心位匿から圧力室形成部 5 3 1の他面 5 3 1 B側に 露出するように形成されている。 また液体供給路 5 3 1 Eは主供給 流路部 5 3 1 E 1 及び接統孔 5 3 1 E 2 より形成されており、 接続 孔 5 3 1 E 2 を介して圧力 ¾ 5 3 1 Cに連通し、 かつノズル導人穴 5 3 1 Dとは硬質部材 5 3 1 Hを介して形成されている。

ここで図 7 6に示すように、 液体供給路 5 3 1 Eの主供給流路部 5 3 1 E 1 の断面における幅 W 22は圧力室形成部の厚み以下の 0 . 1 5 〔m m〕 に形成されている。 これに対して液体供給路 5 3 1 E の接続孔 5 3 1 E 2 は横断面形状が円形に形成されており、 その断 面における幅 （径） W23はお供給流路部 5 3 1 E 1 の幅 W22より大 きく、 かつ圧力室形成部 5 3 1の厚みと同等の 0 . 2 〔m m〕 に形 成されている。 すなわち、 接続孔 5 3 1 E 2 の液体通過方向の断面 積が液体供給路 5 3 1 Eの液体通過方向の断面積よりも大となされ ている。 これにより、 液体供給路 5 3 1 Eは主供給流路部 5 3 1 E 1 における流路抵抗を確保した状態で接続孔 5 3 1 E 2 を介して圧 力室 5 3 1 Cに接続され、 液体供給路 5 3 1 Eにおける流路抵抗で インクを圧力室 5 3 1 Cに供給し得るようになされている。

インクバッファタンク 5 3 1 Fは液体供給路 5 3 1 Eに連通し、 かつ圧力室形成部 5 3 1の他面 5 3 1 B側に露出するように形成さ れている。 ここで図 7 6に示すように、 本例のプリン トヘッ ド 5 1 5においては、 複数の圧力室 5 3 1 Cが所定方 に配列形成されて おり、 インクバッファタンク 5 3 1 Fは複数の液休供給路 5 3 1 E が取り付けられた 1本の配管、 すなわち各圧力室 5 3 1 Cに共通の インク液室であるインクバッファタンク 5 3 6を構成することとな る。

接続孔 5 3 1 Gはインクバッファタンク 5 3 1 Fに連通し、 かつ 圧力室形成部 5 3 1の一面 5 3 1 A側に露出するように形成されて いる。

ここで 力室形成部 5 3 1には、 圧力室 5 3 1 Cの下面、 ノズル 導入孔 5 3 1 Dの一方の側面及び液体供給路 5 3 1 Eの 方の側面 にそれぞれ接すると共に圧力室形成部 5 3 1の他面 5 3 1 Bの一部 を形成する硬質部材 5 3 1 Hと、 /十:力室 5 3 1 Cの一方の側面、 液 体供給路 5 3 1 Eの . I：面及び接続孔 5 3 1 Gの一方の側面に接する と共に圧力室形成部 5 3 1の一 iffi 5 3 1 Aの ·部を形成する部材 5 3 1 I と、 圧力室 5 3 1 Cの他方の側面及びノズル導入孔 5 3 1 D の他方の側面にそれそれ接すると共に圧力室形成部 5 3 1の一面 5 3 1 A及び他面 5 3 1 Bの一部を形成する部材 5 3 1 Jと、 インク バッファタンク 5 3 1 Fの一方の側面及び接続孔 5 3 1 Gの他方の 側面にそれぞれ接すると共に圧力室形成部 5 3 1の一面 5 3 1 A及 び他 Ιύί 5 3 1 Βの一部を形成する部材 5 3 1 Κが形成されるように、 圧力室 5 3 1 C、 ノズル導入孔 5 3 1 D、 液体供給路 5 3 1 E、 ィ ンクバッファタンク 5 3 1 F及び接続孔 5 3 1 Gが形成されている。 圧力室形成部 5 3 1の他面 5 3 1 Bには、 ノズル導入孔 5 3 1 D、 液体供給路 5 3 1 E及びィンクバッファタンク 5 3 1 Fを覆うよう にオリフィ スプレート 5 3 3が熱圧 ^によって接着されている。 こ のオリフィスプレート 5 3 3は、 耐熱性及び耐薬品性に優れた例え ば三片 '東圧化学 I業株式会社製のネオフレックス （商品名） よりな り、 厚さがほぼ 5 0 〔〃m〕 でガラス転移点が 2 0 0 〔 〕 の上述 のネオフレックスよりなる。 このオリフィスプレ一卜 5 3 3は 2 3 0 〔°C〕 のブレス温度、 2 0〜 3 0 C k g f / c m 2 〕 程度の圧力 で圧力室形成部 5 3 1に熱 着される。

このオリフィスプレート 5 3 3には、 ノズル導入孔 5 3 1 Dに連 通し、 圧力室 5 3 1 Cからノズル ¾入孔 5 3 1 Dを介して供給され るインクを吐出するための断面形状が例えば円形でなる所定 ¾を有 する吐出ノズル 5 3 3 Aが形成されている。 この場合、 ネオフレツ クスでなるオリフィスプレート 5 3 3に吐出ノズル 5 3 3 Aが形成 されているのでィンクに対する化学的な安定性を確保することがで きる。

ここでノズル導入孔 5 3 1 Dは吐出ノズル 5 3 3 Aの^より大き くなるように形成されている。

他方、 圧力室形成部 5 3 1の -面 5 3 1 A側には、 圧力室 5 3 1 Cを覆うように例えばニッケルよりなる振動板 5 3 2が例えばェポ キシ系の接着剤 （図示せず） によって接着されている。

本例のィンクジヱヅ トプリン夕装置のプリン 卜へッ ド 5 1 5にお いては、 圧力室形成部 5 3 1の -方の面である一面 5 3 1 A側に圧 力室 5 3 1 Cが形成され、 この一面 5 3 1 A側に、 圧力室 5 3 1 C を覆うように振動板 5 3 2が配置され、 上記振動板 5 3 2を介して 上 ¾圧力 ¾ 5 3 1 Cに対応して 素子である積屑ビエゾ 5 3 5が 配置されてなり、 圧力室形成部 5 3 1の他方の面である他面 5 3 1 B側に圧力室 5 3 1 Cに液体を供給する液体供給路 5 3 1 Eが形成 され、 この他面 5 3 1 B側に、 H:力室 5 3 1 Cに連通するノズル導 人孔 5 3 1 Dが形成される硬質部材 5 3 1 H及び吐出ノズル 5 3 3 Aが形成される樹脂部材であるオリフィ スプレート 5 3 3が配置さ れている。

すなわち、 このインクジエツ トプリン トへッ ド 5 1 5においては、 液体供給路 5 3 1 Eが圧力室形成部 5 3 1の振動板 5 3 2とは反対 側となる他面 5 3 1 B側に形成されることから、 従来のように振動 板を接 する際に用いる接着剤によって液体供給路 5 3 1 Eが塞が れることを未然に防止され、 かつ圧力室形成部 5 3 1の他而 5 3 1 Bに対してオリフィスプレート 5 3 3を熱圧着によって接着するた め、 このオリフ ィ スプレート 5 3 3の接着によって液体供給路 5 3 1 Eが塞がれてしまうこともない。

なお、 この振動板 5 3 2には圧力室形成部 5 3 1の接続孔 5 3 1 Gに対応した位 S¾に ^通孔 5 3 2 Bが穿設されている。 この貫通孔 5 3 2 Bにはインクタンク （ I示せず） に接続されたインク供給^ 5 3 7が取り付けられている。 従ってインクタンクからィンク供給 ^ 5 3 7及びイ ンクタンクバッファタンク 5 3 6を介して液体供給 路 5 3 1 Eに供給されるィンクは圧力室 5 3 1 Cに充填されるよう になされている。

また振動板 5 3 2の一面 5 3 2 Aにおける圧力室 5 3 1 Cに対応 する位置には、 板状でなる突起部 5 3 4が形成されていると共に、 当該突起部 5 3 4には接着剤 （図示せず） によって積層ビエゾ 5 3 5が接着されている。 この突起部 5 3 4の大きさは、 積層ビエゾ 5 3 5の突起部 5 3 4が接着される一面 5 3 5 A及び圧力室 5 3 1 C の開口面嵇より小さくなるように選定されている。

楨層ピエゾ 5 3 5は/:十:電部材と導電部材とが振動板 5 3 2の 面 5 3 2 Aに平行な方向に交互に積層されて構成されている。 ここで 圧電部材と導電部材との積層数は幾つであってもよい。

この積層ピエゾ 5 3 5は駆動電圧が印加されると、 図 7 5中矢印 M 5 で示す方向とは逆の方向に直線的に変位して振動板 5 3 2の突 起部 5 3 4が形成されている部分を中心に持ち上げることにより圧 力室 5 3 1 Cの体積を増大させるようになされている。

また祯層ピエゾ 5 3 5は駆動電圧が解放されると、 図中矢印 M 5 で示す方向に直線的に変位して突起部 5 3 4を押圧することにより 振動板 5 3 2を湾曲させて圧力室 5 3 1 Cの体積を減少させ、 これ によって圧力室 5 3 1 C内の圧力を上昇させるようになされている。 この¾合、 突起部 5 3 4の大きさは積屑ピエゾ 5 3 5の一面 5 3 5 A及び圧力室 5 3 1 Cの開口面積よ りも小さく形成されているので、 積層ビエゾ 5 3 5の変位を振動板 5 3 2の圧力室 5 3 1 Cに対応す る位置に集中的に伝達することができる。

ここで実際ト.、 図 7 6に示すように、 インクジェッ トブリン トへ ッ ド 5 1 5においては、 力' 5 3 1 C、 ノズル導入孔 5 3 1 D、 液体供給路 5 3 1 E及び吐出ノズル 5 3 3 Aは複数形成されており、 各圧力室 5 3 1 Cに対応して突起部 5 3 4及び！ ¾層ピエゾ 5 3 5が 設けられている。

( 1 - 3 ) インクジェッ トプリン卜へヅ ドの製造方法

インクジエツ トプリン トへッ ド 5 1 5の製造方法について図 7 7 を川いて説明する。

まず図 7 7 ( A ) に示すように、 厚さがほぼ 0 . 2 〔m m〕 のス テンレススチールよりなる板材 5 3 8の- 面 5 3 8 Aに例えば感光 性ドライフノ ルムゃ液体レジス 卜材料などのレジス 卜を ¾布した後、 圧力 ¾ 5 3 1 C及び接続孔 5 3 1 Gに応じたパ夕一ンを するマス クを用いてパターン露光を行うと共に、 板材 5 3 8の他面 5 3 8 B に例えば感光性ドライフィルムゃ液体レジス ト材料などのレジス ト を塗布した後、 ノズル導人孔 5 3 1 D、 液体供給路 5 3 1 E及びィ ンクバッファタンク 5 3 1 Fに応じたパターンを有するマスクを用 いてパターン^光を行い、 レジス ト 5 3 9及びレジス 卜 5 4 0を形 成する。

^いて図 7 7 ( B ) に^すように、 圧力室 5 3 1 C及び接続孔 5 3 1 Gに応じたパターンをおするレジス ト 5 3 9 と、 ノズル導入孔 5 3 1 D、 液体供給路 5 3 1 E及びインクバッファタンク 5 3 1 F に応じたパターンをィ jするレジス ト 5 4 0とをマスクとして、 板材 5 3 8を例えば塩化第 2鉄水溶液でなるエッチング溶液に所定時間 浸してエツチングを行うことにより、 板材 5 3 8の一而 5 3 8 Aに 力室 5 3 1 C及び接続孔 5 3 1 Gを形成すると共に、 板材 5 3 8 の他 ¾i 5 3 8 Bにノズル導入孔 5 3 1 D、 液体供給路 5 3 1 E及び インクバッファタンク 5 3 1 Fを形成することにより、 圧力室形成 部 5 3 1を得る。 このとき、 ノズル導入孔 5 3 1 Dとインクバッフ ァタンク 5 3 1 Eの間には硬質部材 5 3 1 Hが形成されることとな る。

この場合、 板材 5 3 8の片面からのエッチング量が板材 5 3 8の ^さの約 1 2強となるようにエッチング量を選定する。 例えば板 材 5 3 8の厚さが 0 . 2 〔m m〕 に選定されている場合には、 板材 5 3 8の片面からのエッチング量が約 0 . 1 1 〔m m〕 程度となる ように選定する。

これにより図 7 8に示すように、 圧力室 5 3 1 Cと液体供給路 5 3 1 Eとの接続部分である接続孔 5 3 1 E の幅 W23を液体供給路 5 3 1 Eの主供給流路部 5 3 1 E 1 の幅 W22より大きく形成するこ とができ、 接続孔 5 3 1 E 2 の幅 W 23が主供給流路部 5 3 1 E 1 の 幅 W22より小さくなることを未然に防 1ヒすることができる。

また板材 5 3 8の片面からのエッチング量が冋じなので、 板材 5 3 8の一面 5 3 8 Aに圧力室 5 3 1 C及び接続孔 5 3 1 Gを形成す る際のエッチングの条件と、 板材 5 3 8の他面 5 3 8 Bにノズル導 人孔 5 3 1 D、 液体供給路 5 3 1 E及びィンクバッファタンク 5 3 1 Fを形成する際のェツチングの条件を问じ条件に設定し得るので、 図 7 7 ( B ) に示した工程を簡易かつ短時問に行うことかできる。 ここでノズル導入孔 5 3 1 Dは、 圧力室 5 3 1 Cに圧力が印加さ れた際に圧力室 5 3 1 C内の圧力上昇に影響がない程度に吐出ノズ ル 5 3 3 Aの径より大きくなるように形成される。

続いて 7 7 ( C ) に， すように、 レジス 卜 5 3 9 , 5 4 0を除 去した後、 厚さがほぼ 5 0 〔〃m〕 でガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以下の前述のネオフレックスよりなる樹脂部材 5 4 1 を圧力室形成 部 5 3 1の他面 5 3 1 Bに熱圧若によって接着する。 この場合、 2

3 0 C〕 程度のブレス温度において 2 0〜 3 0 C k g f / c m 2 〕 程度の圧力を与えることにより接着する。 これにより圧力室形成 部 5 3 1 と樹脂部材 5 4 1 との接着強度を高めることができると共 に効率 i¾く接着することができる。

次に図 7 7 ( D ) に示すように、 圧力室形成部 5 3 1の一面 5 3

1 A側から圧力' 5 3 1 C及びノズル導入孔 5 3 1 Dを介して樹脂 部材 5 4 1に対してエキシマレ一ザを垂直に照射して樹脂部材 5 4

1に吐出ノズル 5 3 3 Aを形成することにより、 オリフィスプレ一 ト 5 3 3を得る。 ここで樹脂部材 5 4 1 を川いているので吐出ノズ ル 5 3 3 Aを容易に形成することができる。 またノズル導入孔 5 3

1 Dは吐出ノズル 5 3 3 Aの径ょり大きいので、 レーザ加 ！:時の樹 脂部材 5 4 1 と圧力室形成部 5 3 1 との位置合わせ精度を緩和する ことができると共に、 レーザ加上時に圧力室形成部 5 3 1によって レ一ザが遮蔽される危険性を (iij避することができる。

^いて図 7 7 ( E ) に^すように、 例えばエポキシ系の接 剤を 用いて、 圧力室形成部 5 3 1の一面 5 3 1 Aに、 子め突起部 5 3 4 が形成された ¾動板 5 3 2を接着する。

続いて図 7 7 ( F ) に示すように、 例えばエポキシ系の接 剤を 用いて突起部 5 3 4に積層ピエ V 5 3 5を接着した後、 インク供給 管 5 3 7を貫通孔 5 3 2 Bに合わせて振動板 5 3 2に接着する。 か く してインクジエツ トプリン 卜へッ ド 5 1 5を得ることができる。

( 1 一 4 ) 第 1実施例の動作及び効果

以上の構成において、 このィンクジェッ トプリン トヘッ ド 5 1 5 では、 積層ピエゾ 5 3 5に所定の駆動電圧が印加されると、 積層ビ 7/35723

199 ェゾ 5 3 5が図 7 9に矢印 M 5 で示す方向とは逆の方向に変位する。 これによつて振動板 5 3 2における圧力室 5 3 1 Cに対応する部分 が矢印 M 5 で示す方向とは逆の方向に持ち上げられるので、 圧力室 5 3 1 Cの体積が増加する。 このとき吐出ノズル 5 3 3 A先端のメ ニスカスは、 一旦圧力室 5 3 1 C側に後退するが、 積層ビエゾ 5 3 5の変位が治まると表面張力との釣り合いによって吐出ノズル 5 3 3 Aの先端近傍で安定し、 ィンク lit出の待機状態となる。

ィンク吐出時においては、 積 ピエゾ 5 3 5に印加されている駆 動電圧が解放され、 この結果積層ピエゾ 5 3 5が図 7 9 ( B ) に示 すように、 図中矢印 M 5 で示す方向に変位することにより振動板 5 3 2が矢印 M 5 で示す方向に変位する。 これにより圧力室 5 3 1 C の体積が減少して 力室 5 3 1 C内の!十:力が上 Wし、 この結果吐出 ノズル 5 3 3 Aからインクが吐出される。 ここで積層ピエゾ 5 3 5 に与えられている駆動電圧の時問変化は、 nf:出ノズル 5 3 3 Aから ィンクを吐出し得るように設定されている。

ここで液体供給路 5 3 1 Eと圧力 ¾ 5 3 1 Cとを接続する接続孔 5 3 1 E の幅 W23は主供給流路部 5 3 1 E 1 の幅 W22よりも大き い、 すなわち、 接続孔 5 3 1 E 2 の液体通過方 f の断面積が液体供 給路 5 3 1 Eの液休通過方向の断面積よりも大となされているので、 接続孔 5 3 1 E 2 によって液体供給路 5 3 1 Eの流路抵抗が影^を 受けることを防止することができる。

従ってこのインクジエツ 卜プリン トへッ ド 5 1 5では、 イ ンクバ ッファタンク 5 3 1 Fから液体供給路 5 3 1 Eを介して圧力室 5 3 1 Cに供給されるィンクは、 液体供給路 5 3 1 Eの主供給流路部 5 3 1 E 1 における流路抵抗で圧力室 5 3 1 Cに供給されることにな るので、 各液体供給路 5 3 1 Eの流路抵抗をほぼ一定に （すなわち 圧力室 5 3 1 Cと液体供給路 5 3 1 Eとの接続不良を大幅に低減） することができる。 また各液体供給路 5 3 1 Eにおける流路抵抗を 一定にするために液体供給路 5 3 1 Eの長さを長くすることを回避 することができるので、 インクジエツ 卜プリン 卜へッ ド 5 1 5に占 める液体供給路 5 3 1 Eの面積が増大することを未然に防止するこ とができる。

またこのインクジエツ 卜プリ ン 卜へッ ド 5 1 5では、 液体供給路 5 3 1 Eの接続孔 5 3 1 E 2 の幅が Π:力室形成部 5 3 1の厚み以上 であり、 さらに圧力室 5 3 1 Cより幅の狭い液体供給路 5 3 1 Eの 上供給流路部 5 3 1 E 1 の幅 W 22の寸法が fl:力室形成部 5 3 1の厚 さ以下であるので、 各液体供給路 5 3 1 Eの流路抵抗をさらに一段 と一定にすることができる。

以上の構成によれば、 圧力室 5 3 1 Cと液体供給路 5 3 1 Eとの 接続部となる液体供給路 5 3 1 Eの接続孔 5 3 1 E 2 の幅 W23を液 体供給路 5 3 1 Eの K供給流路部 5 3 1 E 1 より人きくなるように 形成したことにより、 液体供給路 5 3 1 Eの主供給流路部 5 3 1 E 1 における流路抵抗で】 力室 5 3 1 Cにィンクを供給することがで きるので、 各液体供給路 5 3 1 Eの流路抵抗をほぼ一定にすること ができると共に、 インクジエツ 卜プリン トへッ ド 5 1 5に占める液 体供給路 5 3 1 Eの面積が増大することを未然に防 1ヒすることがで きる。

かく してインクジエツ 卜プリン トへッ ド 5 1 5を大型化させるこ となく安定してィンクを吐出することのできるィンクジエツ 卜プリ ン 卜へ'ソ ド 5 1 5を実現することができる。 57

201

( 2 ) 第 2実施例

本突施例においては、 本発明をィンクを希釈液に対して定量混合 し、 これらを混合吐出する 「キャリアジェッ ト」 プリン夕装置に適 用した例、 すなわち第 1 0の発明に対応する例について述べる。 ( 2— 1 ) 「キャリアジェッ ト」 プリン夕装置の構成

本例の 「キャ リアジェヅ ト」 プリ ン夕装置の全体の構成であるが、 上述の第 1及び第 2の発明に対応する実施の形態屮の第 2実施例と 同様とされているので、 ここでは説明を省略することとする。 すな わち、 本例の 「キャリアジェッ ト」 プリン夕装^においては、 先に 示したプリン 卜へッ ド 4 5の代わりに後述の 「キヤ リアジエツ ト」 プリントへヅ ドが使用されることとなる。 なお、 本例の 「キャ リア ジエツ ト」 プリン夕装置においても前述した制御部と同様の制御部 が使用されることとなるので、 この説明も省略することとする。 ま た、 本例の 「キャリアジェッ ト j プリン夕装置においても前述した ようなドライバの動作が行われ、 前述したような駆動電圧の印加夕 ィ ミングが実施されることとなるため、 この説明も省略する。

( 2 - 2 ) 「キャリアジェッ ト」 プリン トへヅ ドの構成

「キャリアジエツ ト」 ブリン 卜へッ ド 5 5 5の構成を図 8 0及び 図 8 1に示す。

図 8 0に示すように、 「キャ リアジエツ 卜」 プリ ン トへッ ド 5 5 5は、 板状でなる圧力室形成部 5 7 1の一面 5 7 1 Aに接着剤 （図 示せず） によって振動板 5 7 2が接着されていると共に、 圧力室形 成部 5 7 1の他面 5 7 1 Bに板状でなるオリフィスプレート 5 7 3 が接着され、 振動板 5 7 2の- 面 5 7 2 Aに突起部 5 7 4及び突起 部 5 7 6を介してそれぞれ積層ピエゾ 5 7 6 (上述の第 2のピエゾ 素子に相当） 及び積層ピエゾ 5 7 7 しヒ述の第 1のビエゾ素子に相 当） が接合されて構成されている。

圧力室形成部 5 7 1は厚さがほぽ 0. 2 〔mm〕 のステンレスで なる。 この ί£力室形成部 5 7 1には第 1の圧力室 5 7 1 Η、 第 1の ノズル導入孔 5 7 1 1、 第 1の液体供給路 5 7 1 J、 希釈液バッフ ァタンク 5 7 1 K及び接続孔 5 7 1 Lが形成されていると共に、 第 2の圧力室 5 7 1 C、 第 2のノズル導入孔 5 7 1 D、 第 2の液体供 給路 5 7 1 E、 インクバッファタンク 5 7 1 F及び接続孔 5 7 1 G が形成されている。

第 1の第 1の H;力室 5 7 1 Hは圧力室形成部 5 7 1の厚み方向に おけるほぼ中心位置から圧力室形成部 5 7 1の一面 5 7 1 A側に露 出するように形成されている。 また、 図 8 0中に示すように第 1の 第 1の圧力室 5 7 1 Hの幅 W27が 0. 4 〔mm〕 となされている。 第 1のノズル導入孔 57 1 Iは、 第 1の第 1の圧力室 5 7 1 Hの下 側に第 1の第 1の圧力室 5 7 1 Hに連通し、 かつ圧力室形成部 5 7 1の他 ίίιί5 7 1 Β側に露出するように形成されている。

1の液体供給路 5 7 1 Jは、 圧力室形成部 5 7 1の厚み方向に おけるほぼ中心位置から圧力室形成部 5 7 1の他面 57 1 B側に露 出するように形成されている。 また第 1の液体供給路 5 7 1 Jは主 供給流路部 5 7 1 J 1 と孔 5 7 1 J2 よりなり、 孔 5 7 1 J2 を介 して第 1の第 1の圧力^ 57 1 Hに迚通し、 かつ第 1のノズル導入 孔 5 7 1 I と所定の間隔を置いて形成されている。

ここで図 8 1に示すように、 第 1の液体供給路 5 7 1 Jの主供給 流路部 57 1 J 1 の断面における幅 W28は圧力^形成部 5 7 1の厚 み以下の 0. 1 5 〔mm〕 に形成されている。 また第 1の液体供給 路 5 7 1 Jの接続孔 5 7 1 J 2 は横断面形状が円形に形成されてお り、 その断而における幅 （径） W29は主供給流路部 5 7 1 J 2 より 大きく、 かつ圧力室形成部 5 7 1の厚みと同等の 0 . 2 〔m m〕 に 形成されている。 すなわち、 接続孔 5 7 1 J 2 の液体通過方向の断 面積が第 1の液体供給路 5 7 1 Jの液体通過方向の断面積よりも大 となされている。 これにより、 第 1の液体供給路 5 7 1 Jは主供給 流路部 5 7 1 J 1 における流路抵抗を確保した状態で接続孔 5 7 1 J 2 を介して第 1の圧力室 5 7 1 Hに接続され、 第 1の液体供給路 5 7 1 Jにおける流路抵抗で希釈液を第 1の圧力室 5 7 1 Hに供給 し得るようになされている。

希釈液バッファタンク 5 7 1 Kは第 1の液体供給路 5 7 1 Jに連 通し、 かつ圧力室形成部 5 7 1の他面 5 7 1 B側に露出するように 形成されている。 ここで図 8 1 に示すように、 希釈液バッファタン ク 5 7 1 Kは複数の第 1の液体供給路 5 7 1 Jが取り付けられた 1 本の配管、 すなわち各第 1の第 1の圧力 : 5 7 1 Hに共通の希釈液 室である希釈液バッファタンク 5 8 0を構成する。

接続孔 5 7 1 Lは希釈液バッファタンク 5 7 1 Kに連通し、 かつ 圧力室形成部 5 7 1の 面 5 7 1 A側に露出するように形成されて いる。

ここで圧力室形成部 5 7 1には、 第 1の第 1の圧力室 5 7 1 Hの 下面、 第 1のノズル導入孔 5 7 1 Iの一方の側面及び第 1の液体供 給路 5 7 1 Jの一方の側面にそれぞれ接すると共に压カ室形成部 5 7 1の他面 5 7 1 Bの一部を形成する硬質部材 5 7 1 Pと、 第 1の 第 1の圧力室 5 7 1 Hの 方の側面、 第 1の液体供給路 5 7 1 Jの 上而及び接続孔 5 7 1 Lの -方の側面に接すると共に圧力室形成部 5 7 1の一面 5 7 1 Aの一部を形成する部材 5 7 1 Qと、 希釈液バ ヅファタンク 5 7 1 Kの 方の側面及び接続孔 5 7 1 Lの他方の側 面にそれぞれ接すると共に圧力室形成部 5 7 1の一面 5 7 1 A及び 他面 5 7 1 Bの一部を形成する部材 5 7 1 Rが形成されるように、 第 1の第 1の圧力室 5 7 1 H、 第 1のノズル導入孔 5 7 1 1、 第 1 の液体供給路 5 7 1 J、 希釈液バッファタンク 5 7 1 K及び接続孔 5 7 1 Lが形成されている。

第 2の圧力室 5 7 1 Cは圧力 ¾形成部 5 7 1の厚み方向における ほぼ中心位置から Li:力室形成部 5 7 1の一面 5 7 1 A側に露出する ように形成されている。 また、 図 8 0屮に示すように第 2の圧力室 5 7 1 Cの幅 W24が 0 . 4 〔m m〕 となされている。 第 2のノズル 導人孔 5 7 1 Dは、 第 2の土力室 5 7 1 Cの下側に第 2の圧力室 5 7 1 Cに連通し、 かつ圧力室形成部 5 7 1の他面 5 7 1 B側に露出 するように形成されている。

第 2の液体供給路 5 7 1 Eは、 圧力幸:形成部 5 7 1の厚み方向に おけるほぼ中心位置から / 1 力室形成部 5 7 1の他面 5 7 1 B側に露 出するように形成されている。 また 2の液体供給路 5 7 1 Eは主 供給流路部 5 7 1 E 1 と接続孔 5 7 1 E 2 よりなり、 接続孔 5 7 1 E 2 を介して第 2の i :力室 5 7 1 Cに連通し、 かつ第 2のノズル導 入孔 5 7 1 Dと所定の間隔を- :いて形成されている。

ここで図 8 1に示すように、 2の液体供給路 5 7 1 Eのお供給 流路部 5 7 1 E 1 の断 iSjにおける幅 W25は圧力室形成部 5 7 1の厚 み以下の 0 . 1 5 〔m m〕 に形成されている。 これに対して第 2の 液体供給路 5 7 1 Eの接続孔 5 7 1 E 2 は横断面形状が円形に形成 されており、 その断 ώίにおける幅 （径） W26は主供給流路部 5 7 1 E l より大きく、 かつ ]ΐ力室形成部 5 7 1の厚みと同等の 0 . 2 〔m m〕 に形成されている。 すなわち、 接続孔 5 7 1 E 2 の液体通 過方向の断面積が第 2の液体供給路 5 7 1 Eの液体通過方向の断面 積よりも大となされている。 これにより、 第 2の液体供給路 5 7 1 Eは主供給流路部 5 7 1 E 1 における流路抵抗を確保した状態で接 続孔 5 7 1 E を介して第 2の圧力室 5 7 1 Cに接続され、 第 2の 液体供給路 5 7 1 Eにおける流路抵抗でィンクを第 2の圧力室 5 7 1 Cに供給し得るようになされている。

インクバッファタンク 5 7 1 Fは第 2の液体供給路 5 7 1 Eに迚 通し、 かつ圧力室形成部 5 7 1の他面 5 7 1 B側に露出するように 形成されている。 ここで図 8 1 に示すように、 インクバッファタン ク 5 7 1 Fは複数の第 2の液体供給路 5 7 1 Eが取り付けられた 1 本の配管、 すなわち各第 2の圧力室 5 7 1 Cに共通のィンク液室で あるインクバッファタンク 5 7 8を構成することとなる。

接続孔 5 7 1 Gはインクバッファタンク 5 7 1 Fに連通し、 かつ 圧力室形成部 5 7 1の一面 5 7 1 A側に露出するように形成されて いる。

ここで圧力 ¾形成部 5 7 1には、 第 2の圧力室 5 7 1 Cの下而、 第 2のノズル導入孔 5 7 1 Dの一方の側面及び第 2の液体供給路 5 7 1 Eの -方の側面にそれぞれ接すると共に 1Έ力室形成部 5 7 1の 他面 5 7 1 Bの一部を形成する硬質部材 7 1 と、 第 2の/: 力室 5 7 1 Cの一方の側面、 第 2の液体供給路 5 7 1 Eの ヒ Ιΰί及び接続孔 5 7 1 Gの一方の側面に接すると共に カ¾形成部 5 7 1の一面 5 7 1 Αの一部を形成する部材 5 7 1 Νと、 インクバッファタンク 5 7 1 Fの一方の側面及び接続孔 5 7 1 Gの他方の側面にそれぞれ接 すると共に圧力室形成部 5 7 1の一面 5 7 1 A及び他面 5 7 1 Bの 一部を形成する部材 5 7 1 0が形成されるように、 第 2の圧力室 5 7 1 C、 第 2のノズル導入孔 5 7 1 D、 第 2の液体供給路 5 7 1 E、 インクバッファタンク 5 7 1 F及び接続孔 5 7 1 Gが形成されてい る。

また^ 2の圧力室 5 7 1 Cの他方の側面、 第 2のノズル導入孔 5 7 1 Dの他方の側面、 第 1の第 1の圧力室 5 7 1 Hの他方の側面及 び第 1のノズル導入孔 5 7 1 Iの他方の側面に囲まれ、 圧力室形成 部 5 7 1の -而 5 7 1 A及び他而 5 7 1 Bの一部を形成する部材 5 7 1 Sが形成されている。

圧力室形成部 5 7 1の他面 5 7 1 Bには、 第 1のノズル導入孔 5 7 1 1、 第 1の液体供給路 5 7 1 J及び希釈液バヅファタンク 1 7 I K、 第 2のノズル導入孔 5 7 1 D、 第 2の液体供給路 5 7 1 E、 インクバッファタンク 5 7 1 Fを覆うように、 オリフィスプレート 5 7 3が熱圧着によって接着されている。 このオリ フィスプレート 5 7 3は例えば さがほぼ 5 0 〔 m〕 でガラス転移点が 2 0 0 〔 C〕 の前述のネオフレックスでなる。 このオリフィスプレート 5 7 3は 2 3 0 (：。 C〕 のプレス温度、 2 0〜3 0 C k g f / c m 2 〕 ^度の圧力で圧力室形成部 5 7 1に熱圧着される。

このォリフィスプレート 5 7 3には、 第 2のノズル導入孔 5 7 1 Dに連通し、 第 2の圧力室 5 7 1 Cから第 2のノズル導入孔 5 7 1 Dを介して供給されるインクを定量吐出するための所定径を^する 定量ノズル 5 7 3 Aが後述する吐出ノズル 5 7 3 B側に向く ように 斜めに形成されている。 またオリフィスプレート 5 7 3には、 第 1 のノズル導入孔 5 7 1 1に連通し、 第 1の第 1の圧力室 5 7 1 Hか W 7/35723

207 ら第 1のノズル導入孔 5 7 1 Iを介して供給される希釈液を吐出す るための所定径を し断面形状が円形でなる吐出ノズル 5 7 3 Bが 形成されている。 この場合、 ネオフレックスでなるオリフィスプレ ート 5 7 3に定 :¾ノズル 5 7 3 A及び吐出ノズル 5 7 3 Bが形成さ れているのでイ ンク及び希釈液に対する化学的な安定性を確保する ことができる。

ここで第 2のノズル導入孔 5 7 1 D及び第 1のノズル導入孔 5 7 1 Iは定量ノズル 5 7 3 A及び吐出ノズル 5 7 3 Bの径より大きく なるように形成されている。

他方、 」·:力室形成部 5 7 1の -面 5 7 1 A側には、 第 1の第 1の 圧力室 5 7 1 H及び第 2の圧力室 5 7 1 Cを ぅように、 例えば二 ヅケルよりなる振動板 5 7 2が例えばエポキシ系の接着剤 （図示せ ず） によって接着されている。

この 「キャリアジェッ ト」 プリン トヘッ ド 5 5 5においては、 第 1及び第 2の液体供給路 5 7 1 J， 5 7 1 Eが圧力室形成部 5 7 1 の振動板 5 7 2 とは反対側となる他面 5 7 1 B側に形成されること から、 従来のように¾動板を接着する際に用いる接着剤によって第 1及び第 2の液体供給路 5 7 1 J , 5 7 1 Eが塞がれることを未然 に防止されかつ圧力室形成部 5 7 1の他面 5 7 1 Bに対してオリフ イスプレート 5 7 3を熱圧着によって接 するため、 このオリフィ スプレート 5 7 3の接¾によって第 1及び第 2の液体供給路 5 7 1 J , 5 7 1 Eが塞がれてしまうこともない。

なお、 この振動板 5 7 2には圧力室形成部 5 7 1の接続孔 5 7 1 G , 5 7 1 Lに対応した位置にそれぞれ貫通孔 5 7 2 B， 5 7 2 C が穿設されている。 これら貫通孔 5 7 2 B , 5 7 2 Cにはそれぞれ インクタンク及び希釈液タンク （図示せず） に接続されたインク供 給管 5 7 9及び希釈液供給管 5 8 1が取り付けられている。 従って インクタンクからィンク供給管 5 7 9及びィンクバッファタンク 5 7 8を介して第 2の液体供給路 5 7 1 Eに供給されるィンクは第 2 の圧力室 5 7 1 Cに充填され、 希釈液タンクから希釈液供給管 5 8 1及び希釈液バッファタンク 5 8 0を介して第 1の液体供給路 5 7 1 Jに供給される希釈液は第 1の第 1の圧力室 5 7 1 Hに充填され る。

また振動板 5 7 2の一— 5 7 2 Aにおける^ 1の第 1の圧力室 5 7 1 H及び第 2の /1：力室 5 7 1 Cにそれぞれ対応する位置には、 板 状でなる突起部 5 7 5及び突起部 5 7 4が形成されていると共に、 当該突起部 5 7 5 , 5 7 4には接着剤 （図示せず） によってそれぞ れ積層ピエゾ 5 7 7 , 5 7 6が接若されている。 この突起部 5 7 5 , 5 7 4の大きさは、 それぞれ嵇層ピエゾ 5 7 7， 5 7 6の突起部 5 7 5 , 5 7 4が接着される 面 5 7 7 A， 5 7 6 A、 さらには第 1 の第 1の圧力室 5 7 1 H、 第 2の圧力室 5 7 1 Cの開 U而積より小 さくなるように選定されている。

積屑ビエゾ 5 7 7は圧電部材と導電部材とが振動板 5 7 2の一面 5 7 2 Aに、 行な方向に交 に積層され、 接着剤 （図示せず） によ つて突起部 5 7 5の接 ^:面に接合されて構成されている。 ここで圧 ¾部材と導電部材との積層数は幾つであってもよい。

この積層ピエゾ 5 7 7は駆動電圧が印加されると、 図に矢印 Μ 6 で示す方向とは逆の方向に直線的に変位して振動板 5 7 2の突起部 5 7 5が接若されている部分を中心に持ち上げることにより第 1の 第 1の圧力室 5 7 1 Ηの体嵇を増大させるようになされている。 また積層ビエゾ 5 7 7は駆動電圧が解放されると、 図に矢印 M 6 で示す方向に直線的に変位して突起部 5 7 5を押圧することにより 振動板 5 7 2を湾曲させて第 1の第 1の圧力室 5 7 1 Hの体積を減 少させ、 これによつて第 1の第 1の圧力室 5 7 1 H内の圧力を上昇 させる。 この場合、 突起部 5 7 5の大きさは積層ピエゾ 5 7 7の一 面 5 7 7 A及び第 1の第 1の圧力室 5 7 1 Hの開口面積よりも小さ く形成されているので、 積層ビエゾ 5 7 7の変位を振動板 5 7 2の 第 1の第 1の圧力室 5 7 1 Hに対応する位 gに集中的に伝達するこ とができる。

被層ビエゾ 5 7 6は圧電部材と導電部材とが振動板 5 7 2の一面 5 7 2 Aに平行な方向に交. に積層され、 接着剤 （図示せず） によ つて突起部 5 7 4の接着面に接合されて構成されている。 ここで圧 電部材と導電部材との積層数は幾つであってもよい。

この積層ピエゾ 5 7 6は駆動電圧が印加されると、 閒 8 0中矢印 M6 で示す方^とは逆の方向に直線的に変位して振動板 5 7 2の突 起部 5 7 4が接着されている部分を中心に持ち上げることにより第 2の圧力 5 7 1 Cの体積を堦大させるようになされている。

また桢層ピエゾ 5 7 6は駆動? g圧が解放されると、 図中矢印 M 6 で示す方向に ifi線的に変位して突起部 5 7 4を押圧することにより 振動板 5 7 2を湾曲させて第 2の圧力室 5 7 1 Cの体嵇を減少させ、 これによつて第 2の圧力室 5 7 1 C内の圧力を上昇させる。 このお 合、 突起部 5 7 4の大きさは積層ビエゾ 5 7 6の -面 5 7 6 A及び 第 2の :力室 5 7 1 Cの開口面積よりも小さく形成されているので、 積^ピエゾ 5 7 6の変位を振動板 5 7 2の第 2の圧力室 5 7 1 Cに 対応する位^に集中的に伝達することができる。 ここで図 8 1に示すように、 「キャリアジエツ 卜」 プリン 卜へッ ド 5 5 5においては、 [ 1 8 1に示すように、 第 1の第 1の圧力室 5 7 1 H、 第 1のノズル導入孔 5 7 1 I、 第 1の液体供給路 5 7 1 J、 吐出ノズル 5 7 3 B、 第 2の圧力室 5 7 1 C、 第 2のノズル導入孔 5 7 1 D、 第 2の液体供給路 5 7 1 E、 定量ノズル 5 7 3 Aはそれ ぞれ梭数形成されている。 また各笫 1の第 1の圧力室 5 7 1 H及び 各第 2の fr:力室 5 7 1 Cに対応したそれぞれ突起部 5 7 5及び積屑 ピエゾ 5 7 7、 突起部 5 7 4及び積層ビエゾ 5 7 6が設けられてい る。

( 2 - 3 ) 「キャリアジエツ 卜」 プリン トへッ ドの製造方法

「キャ リアジェッ ト」 プリン トヘッ ド 5 5 5の製造方法について 図 8 2を用いて説明する。

まず図 8 2 ( A ) に示すように、 厚さがほぼ 0 . 2 〔m m〕 のス テンレススチールよりなる板材 5 8 2の -面 5 8 2 Aに例えば感光 性ドライフィルムゃ液体レジス ト材料などのレジス トを塗布した後、 第 2の圧力室 5 7 1 C、 接続孔 5 7 1 G、 第 1の 1の圧力室 5 7 1 Η及び接続孔 5 7 1 Lに応じたパターンをィ ίするマスクを用いて パターン露光を行うと共に、 板材 5 8 2の他面 5 8 2 Βに例えば感 光性ドライフィルムや液体レジス ト材料などのレジス トを塗布した 後、 第 2のノズル導入孔 5 7 1 D、 2の液体供給路 5 7 1 E、 ィ ンクバッファタンク 5 7 1 F、 第 1のノズル導入孔 5 7 1 1、 第 1 の液体供給路 5 7 1 J及び希釈液バッファタンク 5 7 1 Kに応じた パターンを有するマスクを用いてパターン露光を行い、 レジス ト 5 8 3， 5 8 4を形成する。

続いて冈 8 2 ( B ) に すようにこれらパターンをそれぞれ有す るレジス ト 58 3， 5 84をマスクとして、 板材 5 8 2を例えば塩 化第 2鉄水溶液でなるエッチング溶液に浸してエッチングを行うこ とにより、 板材 58 2の一面 5 82 Aに第 2の圧力室 5 7 1 C、 接 続孔 5 7 1 G、 第 1の第 1の圧力室 5 7 1 H及び接続孔 5 7 1 Lを 形成する。 また板材 5 82の他面 5 8 2 Bには、 第 2のノズル導入 孔 5 7 1 D、 W, 2の液体供給路 57 1 E、 インクバッファタンク 5 7 1 F、 , 1のノズル導入孔 5 7 1 1、 第 1の液体供給路 5 7 1 J、 希釈液バッファタンク 5 7 1 Kを形成することにより、 圧力室形成 部 5 7 1を得る。 このとき、 第 1のノズル 入孔 5 7 1 1 と希釈液 ノ ソ フ ァタンク 5 7 1 Jの間には硬質部材 5 7 1 Pが形成されるこ ととなり、 第 2のノズル導入孔 57 1 Dとインクバッファタンク 5 7 1 Eの問には硬質部材 5 7 1 Mが形成されることとなる。

この場合、 板材 58 2の片面からのエッチング量が板材 5 8 2の 厚さの約 1 / 2強となるようにエッチング量を選定する。 例えば板 材 5 8 2の厚さが 0. 2 〔mm〕 に選定されている場合には、 板材 5 8 2の片面からのエッチング量が約 0. 0 5 5 〔mm〕 程度とな るように選定する。

これにより、 第 2の圧力室 5 7 1 Cと第 2の液体供給路 5 7 1 E との接続部分である接続孔 5 7 1 E2 の幅 W26を第 2の液体供給路 5 7 1 Eの主供給流路部 5 7 1 E1 の幅 W25より大きく形成するこ とができ、 接続孔 5 7 1 E2 の幅 W26が主供給流路部 5 7 1 E1 の 幅 W25より小さくなることを未然に防止することができる。 同様に、 第 1の圧力室 5 7 1 Hと第 1の液体供給路 5 7 1 Jとの接続部分で ある接続孔 5 7 1 J2 の幅 W29を第 1の液体供給路 5 7 1 Jの主供 給流路部 5 7 1 J 1 の幅 W28よ り大きく形成することができ、 接続 孔 5 7 1 J2 の幅 W29が主供給流路部 5 7 1 J 1 の幅 W28より小さ くなることを未然に防止することができる。

また板材 5 8 2の片面からのエッチング ®が同じなので、 板材 5 8 2の一面 5 8 2 Aに、 第 1の第 1の圧力室 5 7 1 H、 接続孔 5 7 1 L、 第 2の Π;力 ¾5 7 1 C及び接続孔 5 7 1 Gを形成する際のェ ヅチングの条件と、 板材 5 8 2の他面 5 8 2 Bに第 1のノズル導入 孔 5 7 1 I、 第 1の液体供給路 5 7 1 J、 希釈液バヅ フ ァタンク 5 7 1 K、 2のノズル導入孔 5 7 1 D、 第 2の液体供給路 5 7 1 E 及びィンクバッファタンク 5 7 1 Fを形成する際のェッチングの条 件を问じ条件に設定し得るので、 図 8 2 (B) の工程を簡 かつ短 時問に行うことができる。

ここで第 1のノズル導入孔 5 7 1 1及び第 2のノズル導入孔 5 7 1 Dは、 それぞれ第 1の第 1の圧力室 5 7 1 H及び第 2の圧力室 5 7 1 Cに圧力が印加された際に第 1の第 1の圧力室 5 7 1 H及び第 2の圧力 ¾ 5 7 1 C内の圧力上昇に影響がない程度に、 吐出ノズル 5 7 3 B及び定 ノズル 5 7 3 Aの径ょりそれぞれ大きくなるよう に形成される。

続いて図 8 2 ( C) に すように、 レジス ト 5 8 3， 5 8 4を除 去した後、 さがほぼ 5 0 〔〃m〕 でガラス転移点が 2 0 0 〔°C〕 以下のネオフレックスよりなる樹脂部材 5 8 5を圧力室形成部 5 7 1の他面 5 7 1 Bに熱圧着によって接着する。 この場合、 2 3 0 〔°C〕 程度のプレス温度において 2 0 ~ 3 0 〔k g f /c m 2 〕 度の圧力を与えることにより接着する。 これにより Π^:.力室形成部 5 7 1 と樹脂部材 5 8 5との接着強度を高めることができると共に効 率良く接着することができる。 W 97/ 5723

213 次に図 7 7 ( D ) に示すように、 圧力室形成部 5 7 1の一面 5 7 1 A側から第 1の第 1の圧力室 5 7 1 H及び第 1のノズル導入孔 5 7 1 Iを介して樹脂部材 5 8 5に対してエキシマレ一ザを垂直に照 射することにより樹脂部材 5 8 5に吐出ノズル 5 7 3 Bを形成する。 また圧力室形成部 5 7 1の -面 5 7 1 A側から第 2の圧力室 5 7 1 C及び第 2のノズル導入孔 5 7 1 Dを介して樹脂部材 5 8 5に対し てエキシマレーザを定量ノズル 5 7 3 A側に向けて斜めに照射する ことにより樹脂部材 5 8 5に定量ノズル 5 7 3 Aを形成することに より、 オリフィスプレート 5 7 3を得る。

続いて図 8 2 ( E ) に示すように、 例えばエポキシ系の接着剤を 用いて、 圧力室形成部 5 7 1の一面 5 7 1 Aに、 予め突起部 5 7 4 , 5 7 5が形成された振動板 5 7 2を接着する。

続いて図 8 2 ( F ) に示すように、 例えばエポキシ系の接着剤を 用いて突起部 5 7 4 , 5 7 5にそれぞれ積層ピエゾ 5 7 6， 5 7 7 を接着した後、 ィンク供給管 5 7 9及び希釈液供給管 5 8 1をそれ それ振動板 5 7 2の貫通孔 5 7 2 B， 5 7 2 Cに合わせて振動板 5 7 2に接着する。 かく して 「キャリアジェッ ト」 プリン トヘッ ド 5 5 5を得ることができる

( 2 - 4 ) 第 2実施例の動作及び効

以上の構成において、 この 「キヤリアジェッ ト」 プリン トヘッ ド 5 5 5では、 積層ピエゾ 5 7 6 , 5 7 7に所定の駆動電圧が与えら れると、 図 8 3 ( A ) に示すように、 積層ビエソ' 5 7 6 , 5 7 7は それぞれ図中矢印 M6 で示す方向とは逆の方向に変位する。 これに よって &動板 5 7 2における第 2の圧力室 5 7 1 C及び^ 1の第 1 の圧力室 5 7 1 Hに対応する部分が矢印 M 6 で示す方向とは逆の方 向に持ち上げられるので、 第 2の圧力室 5 7 1 C及び第 1の第 1の 圧力室 5 7 1 Hの体積が増加する。

第 2の圧力室 5 7 1 C及び第 1の第 1の圧力室 5 7 1 Hの体積が 増加すると、 定量ノズル 5 7 3 A及び吐出ノズル 5 7 3 Bのメニス カスは、 それぞれ一 Π第 2の圧力室 5 7 1 C及び第 1の第 1の圧力 室 5 7 1 H側に後退するが、 積層ピエゾ 5 7 6 , 5 7 7の変位が治 まると表面張力との釣り合いによつて定量ノズル 5 7 3 A及び吐出 ノズル 5 7 3 Bの先端近傍で安^する。

インク定 ίή:時においては、 積層ピエゾ 5 7 6に印加されている駆 動電圧が解放され、 この結果図 8 3 ( Β ) に示すように、 積層ビエ ゾ 5 7 6が矢印 Μ 6 で^す方向に変位することにより振動板 5 7 2 が矢印 Μ 6 で示す方向に変位する。 これにより第 2の圧力室 5 7 1 C内の体積が減少して第 2の圧力室 5 7 1 C内の ΙΗ力が上 -する。 この場合、 積 ^ビエゾ 5 7 6に与えられている駆動電圧の時問変 化は、 定量ノズル 5 7 3 Αからインクが飛翔しないように緩やかに 設定されているので、 ィンクは定量ノズル 5 7 3 Αから飛翔せずに 押し出された状態になる。

ここで積層ビエゾ 5 7 6に印加されていた駆動電圧を解放すると きの電圧値を画像データの階調に応じた値に設定しているので、 定 ノズル 5 7 3 Aの先端から押し出されるィンク量は両像データに 応じた量となる。

この定量ノズル 5 7 3 Aから押し出された状態にあるィンクは、 吐出ノズル 5 7 3 Bの先端部近傍においてメニスカスを形成してい る希釈液と接触して混 される。

インク吐出時においては、 積屑ピエゾ 5 7 7に印加されている駆 7 35723

215 動電圧が解放され、 この結果図 8 3 ( C ) に示すように、 積層ビエ ゾ 5 7 7が矢印 M 6 で示す方向に変位することにより振動板 5 7 2 が矢印 M6 で示す方向に変位する。 これにより第 1の第 1の圧力室 5 7 1 Hの体積が減少して第 1の第 1の圧力室 5 7 1 H内の圧力が 上昇し、 この結果吐出ノズル 5 7 3 Bから画像データに応じたィン ク濃度を有する混合溶液が吐出される。 ここで積層ピエゾ 5 7 7に 与えられている駆動電圧の時問変化は、 吐出ノズル 5 7 3 Bから混 合溶液が叶出し得るように設定されている。

ここで第 2の液休供給路 5 7 1 Eと第 2の圧力^ 5 7 1 Cとを接 続する接続孔 5 7 1 E 2 の幅 W 26は主供給流路部 5 7 1 E 1 の幅 W 25よりも大きいので、 接絞孔 5 7 1 E 2 によって供給流路部 5 7 1 Eの流路抵抗が影響を受けることを防止することができると共に、 第 1の液体供給路 5 7 1 Jと第 1の圧力室 5 7 1 Hとを接続する接 続孔 5 7 1 J 2 の幅 W29は主供給流路部 5 7 1 J 1 の幅 W28よりも 大きいので、 接続孔 5 7 1 J 2 によって供給流路部 5 7 1 Jの流路 抵抗が影響を受けることを防止することができる。

従ってこの 「キャ リアジェッ ト」 プリン 卜ヘッ ド 5 5 5では、 ィ ンクバッファタンク 5 7 1 Fから第 2の液体供給路 5 7 1 Eを介し て第 2の圧力室 5 7 1 Cに供給されるインクは、 第 2の液体供給路 5 1 Eの主供給流路部 5 7 1 E 1 における流路抵抗で第 2の圧力 室 5 7 1 Cに供給され、 希釈液バッファタンク 5 7 1 Kから第 1の 液体供給路 5 7 1 Jを介して第 1の圧力室 5 7 1 Hに供給される希 釈液は、 第 1の液体供給路 5 7 1 Jの主供給流路部 5 7 1 J 1 にお ける流路抵抗で第 1の圧力室 5 7 1 Hに供給されるので、 各^ 2の 液休供給路 5 7 1 E及び各第 1の液体供給路 5 7 1 Jにおける流路 抵抗をほぼ-一定に （すなわち第 2の圧力室 5 7 1 Cと第 2の液体供 給路 5 7 1 Eとの接続不良及び第 1の圧力室 5 7 1 Hと第 1の液体 供給路 5 7 1 Jとの接続不良を大幅に低減） することができる。

またこの 「キャリアジェッ ト」 プリントヘッ ド 5 5 5では、 各第 2の液体供給路 5 7 1 E及び第 1の液体供給路 5 7 1 Jにおける流 路抵抗を 定にするために第 2の液体供給路 5 7 1 E及び第 1の液 体供給路 5 7 1 Jの さを長くすることを回避することができるの で、 「キャ リアジェッ ト」 プリン トヘッ ド 5 5 5に占める第 2の液 体供給路 5 7 1 Ε及び第 1の液体供給路 5 7 1 Jの面積が増大する ことを未然に防止することができる。

さらにこの 「キャ リアジェッ ト」 プリントヘッ ド 5 5 5では、 第 2の液体供給路 5 7 1 Eの接続孔 5 7 1 E 2 の幅 W26が圧力室形成 部 5 7 1の厚み以 にであり、 また第 2の圧力室 5 7 1 Cより幅の狭 い第 2の液体供給路 5 7 1 Eのお供給流路部 5 7 1 E 1 の幅 W25の 寸法が圧力室形成部 5 7 1の厚さ以下であるので、 各第 2の液体供 給路 5 7 1 Eの流路抵抗をさらに- 段と一定にすることができると 共に、 第 1の液体供給路 5 7 1 Jの接続孔 5 7 1 J 2 の幅 W29が圧 力室形成部 5 7 1の厚み以上であり、 また第 1の圧力 ¾ 5 7 1 Hよ り幅の狭い第 1の液体供給路 5 7 1 Jの主供給流路部 5 7 1 J 1 の 幅 W28の寸法が圧力室形成部 5 7 1の厚さ以下であるので、 各第 1 の液体供給路 5 7 1 Jの流路抵抗をさらに ·段と- 定にすることが できる。

以上の構成によれば、 第 2の圧力室 5 7 1 Cと第 2の液体供給路 5 7 1 Eとの接続部となる第 2の液体供給路 5 7 1 Eの接続孔 5 7 1 E 2 の幅 W26を第 2の液体供給路 5 7 1 Eの主供給流路部 5 7 1 / 57

217

E 1 の幅 W25よりも大きく形成すると共に、 第 1の圧力室 5 7 1 H と第 1の液体供給路 5 7 1 Jとの接続部となる第 1の液体供給路 5 7 1 Jの接続孔 5 7 1 J 2 の幅 W29を第 1の液体供給路 5 7 1 Jの 1供給流路部 5 7 1 J 1 の幅 W28よりも大きく形成したことにより、 第 2の液体供給路 5 7 1 Eの主供給流路部 5 7 1 E 1 における流路 抵抗で第 2の圧力室 5 7 1 Cにインクを供給し、 第 1の液体供給路 5 7 1 Jの主供給流路部 5 7 1 J 1 における流路抵抗で第 1の圧力 室 5 7 1 Hに希釈液を供給することができるので、 各第 2の液体供 給路 5 7 1 E及び各第 1の液体供給路 5 7 1 Jの流路抵抗をほぼ - 定にすることができると共に、 「キャリアジェッ ト」 プリン トへヅ ド 5 5 5に占める第 2の液体供給路 5 7 1 E及び第 1の液体供給路 5 7 1 Jの面積が増大することを未然に防止することができる。

かく して 「キャリアジェッ ト」 プリン 卜ヘッ ド 5 5 5を大型化す ることなく安定して混合溶液を吐出することのできる 「キヤリアジ エツ ト」 プリン 卜へッ ド 5 5 5を実現することができる。

( 3 ) 他の実施例

なお上述の第 1実施例においては、 オリフィスプレー ト 5 3 3を 用いたインクジエツ トプリン トへッ ド 5 1 5を使川した例について 述べたが、 本発明はこれに限らず、 インクジェッ トプリン トヘッ ド として図 7 5との対応部分に同一符号を付して示す図 8 4に示すよ うなインクジェッ トプリン トへッ ド 5 9 0を使用しても良く、 ヒ述 の第 1実施例と同様の効果を得ることができる。

このインクジエツ トプリン トへッ ド 5 9 0においては、 オリフィ スプレート 5 3 3に代えて図 8 5に示すようなオリフィスプレート 5 9 1 を用いている。 オリフィスプレー卜 5 9 1は例えば厚さがほぼ 1 2 5 〔〃m〕 で ありガラス転移点が 2 5 0 O 以上のデュポン社製のカブ卜ン (商品名） よりなる第 2の樹脂 5 9 2の一面に、 例えば厚さがほぽ

7 〔〃m〕 でありガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以下の上述のネオフ レックスよ りなる第 1の樹脂 5 9 3が塗布されて構成されている。 このインクジエツ 卜プリン 卜ヘッ ド 5 9 0の場合、 オリフィスプレ —ト 5 9 1にノズル導入孔 5 3 1 Dに連通した吐出ノズル 5 9 1 A が形成されている。

このインクジェッ トプリン トヘッ ド 5 9 0は図 7 7に示した製造 方法に準じた方法によって製造することができる。

また上述の第 1実施例においては、 稂屑ピエゾ 5 3 5を用いて圧 力室 5 3 1 Cに圧力を印加するようになされたィンクジエツ 卜プリ ン トヘッ ド 5 1 5を使用した例について述べたが、 本発明はこれに 限らず、 図 7 5との対応部分に同 -符号を付して示す図 8 6及び図

8 7に示すようなインクジエツ トプリン トへッ ド 6 0 0を使用して も上述の第 1 ^施例と同様の効果を得ることができる。 なお、 図 8 6は図 8 7を G— G ' で示す切断線により切断した断面を す。 このインクジェッ トプリン トへヅ ド 6 0 0は、 &動板 5 3 2の一 面 5 3 1 Aにおける圧力室 5 3 1 Cに対応した位^に振動板 6 0 1 が形成されていると共に、 当該振動板 6 0 1上に板状でなる圧電素 子 6 0 2が積層されている。

この圧電素子 6 0 2の分極及び電圧の印加方向は、 圧電素子 6 0 2に電圧を印加した際に、 圧電素子 6 0 2が振動板 6 0 1の面内方 ft'iJに縮んで図中矢印 M 6 に示す方向に撓むように設定されている。 従ってこのイ ンクジェッ トプリン トヘッ ド 6 0 0では、 圧電素子 6 02に駆動電圧が印加されると、 圧電素子 6 02は、 図 8 8 ( A) に示す初期状態から図 8 8 (B ) に示すように図中矢印 M5 で示す 方向に橈んで振動板 60 1を押圧することにより振動板 5 3 2を湾 曲させる。 これによつて圧力室 53 1 Cの体積が減少し、 圧力室 5 3 1 C内の圧力が 昇して吐出ノズル 53 3 Aからィンクが吐出す る。

この場合、 圧電素子 602に印加する駆動電圧の時間変化は、 吐 出ノズル 5 33 Aからインクを吐出し得るような電圧波形に選択さ れている。

このインクジェッ トプリン 卜ヘッ ド 6 00において、 オリフィス プレート 533に代えて上述のオリフィスプレート 59 1を用いて もよく、 上:述の場合と阆様の効果を得ることができる。

さらに ヒ述の第 1実施例においては、 図 7 7 (B) のエッチング 工程においてェヅチング量を板材 5 3 8の厚さの 1 Z 2強に選定し た場合について述べたが、 本発明はこれに限らず、 図 7 7 (B) の エッチング工程において、 板材 5 3 8の一而 5 3 8 A及び他面 5 3 8 Bに^すエッチング量を変えることにより、 図 7 7との対応部分 に同一符号を付して示す図 8 9に示すように、 圧力室 62 1 A、 接 続孔 62 1 B、 液体供給路 6 2 1 C、 インクバッファタンク 6 2 1 D及びノズル導人孔 62 1 Eが形成された圧力 形成部 6 2 1を得 るようにしてもよい。 この場合、 力 ¾ 6 2 1 A及び液体供給路 6 2 1 Cは孔 6 2 1 C2 を介して連通しており、 圧:力室 6 2 1 Aの深 さが液体供給路 6 2 1 Cよりも深くなされている。

この場合、 液体供給路 62 1の接続孔 62 1 C2 の幅に対して主 供給流路部 6 2 1 C 1 の幅が大きくなるように形成することにより、 上述の第 1実施例と同様の効果を得ることができる。

さらに上述の第 1実施例においては、 各液体供給路 53 1 Eを圧 力室 53 1 Cの配列方向に対して直交する方向 （インクバッファ夕 ンク 53 1 Fと液体供給路 53 1 Eとの接続面 5 3 1 F1 に対して 直角な方向） に形成した場合について述べたが、 本発明はこれに限 らす、 図 7 6との対応部分に同一符号を付して示す図 9 0に示すよ うに、 主供給流路部 53 1 E1 が圧力室 5 3 1 Cの配列方向に対し て斜め （インクバッファタンク 53 1 Fの接続面 5 3 1 F 1 に対し て斜め） に形成するようにしてもよい。 この¾^、 圧力' 5 3 1 〇 の配列方向に直角な方向に占める圧力室 5 3 1 Cの^さを格段的に 短くすることができるので、 インクジエツ トプリン トへッ ド 5 1 5 を小型化することができる。

また図 9 1に示すように、 主供給流路部 53 1 E1 を圧力室 5 3 1 Cの配列方向に対して斜めに形成した場合においても、 液体供給 路 5 3 1 Eの接続孔 5 3 1 E2 の幅を主供給流路部 53 1 E1 の幅 よりも大きく形成することにより、 上述の第 1実施例と冋様の効果 を得ることができる。

因みに図 9 0に示すように、 主供給流路部 53 1 E1 のうち第 1 の主液体供給路 5 3 1 E1Aを、 第 2の主液体供給路 5 3 1 E1Bの中 心線 C21 (すなわち圧力室 53 1 Cの配列方 Ιή!に 角な線） と第 1 の主液体供給路 5 3 1 E1Aの中心線 C22とのなす角度 S21が 70。 となるように、 /王力室 5 3 1 Cの配列方向に対して斜めに形成した 場合、 圧力室 5 3 1 Cの配列方向に :角な方向に める圧力室 5 3 1 Cの さを、 液体供給路 53 1 Εを圧力室 53 1 Cの配列方向に 直角な方向に形成した場 （液体供給路 5 3 1 Εをィンクバッファ タンク 5 3 1 Fの接続面 5 3 1 F1 に対して直角に形成した場合） に比して約 4 0 〔％〕 以下の長さに削減することができる。 従って 液体供給路 53 1 Eがインクジエツ トプリン トへヅ ド 5 1 5におい て圧力室 53 1 Cの配列方向に直角な方向に占める割合を約 6 0 〔％〕 以上削減することができる。

また図 90に示すように、 圧力室 53 1 Cの配列ピッチ P 21を 0. 6 8 〔mm〕 、 角度 021を 70 ° 、 図 9 2中に示す各液体供給路 5 3 1 Eの主供給流路部 53 1 E 1 の幅 W22及び深さ d21をそれぞれ 0. 1 〔mm〕 に選定した場 、 主液体供給路 5 3 1 E1Aの中心線 〇22の間隔(122は0. 6 8 〔mm〕 x c o s 7 0 ° = 0. 23 Cm m〕 程度になる。 従って液体供給路 5 3 1 Eの主液体供給路 5 3 1 E1Aの幅 W22を 0. 1 〔mm〕 に選定しても、 第 1の主液体供給路 5 3 1 E 1Aの間隔 d23を約 0. 1 3 〔 m m〕 の問隔にすることがで きるので、 圧力室形成部 5 3 1に樹脂部材 54 1を接若する際に各 液体供給路 5 3 1 E間におけるインク漏れをほとんど考慮する必要 がなく、 樹脂部材 54 1の接^工程を容易に行うことができる。

さらに上述の第 2実施例においては、 ガラス転移点が 2 00 °C) のネオフレックスでなるオリフィスプレート 5 7 3を用いた 「キヤ リアジエツ ト」 ブリン トへヅ ド 5 5 5を使用した例について述べた 力 本発明はこれに限らず、 図 80との対応部分に同 -符号を付し て示す図 9 3に示すような 「キヤリァジェッ ト」 プリン 卜へッ ド 6 3 0を使用するようにしても良く、 上述の第 2の実施例と同様の効 果が得られる。

この 「キャリアジェッ ト」 プリン トヘッ ド 6 3 0は、 オリフィス プレー卜 5 7 3に代えて図 94に示すようなオリフィスプレート 6 P97/01096

222

3 1を用いている。

オリフィスプレート 6 3 1は厚さがほぽ 1 2 5 〔 m〕 でなるガ ラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以上のデュポン社製のカプトン （商品名） でなる第 2の樹脂 2 3 2の一面に、 厚さがほぼ 7 〔〃m〕 でなるガ ラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以下の上記ネオフレックスでなる第 1の 樹脂 6 3 3が塗布されて構成されている。 この 「キヤリアジエツ ト」 プリン トヘッ ド 6 3 0の場合、 オリフィスプレー卜 6 3 1に定量ノ ズル 6 3 1 A及び吐出ノズル 6 3 1 Bが形成されている。

また上述の^ 2実施例においては、 積層ビエゾ 5 7 7 , 5 7 6 7 を用いてそれぞれ第 1の第 1の圧力室 5 7 1 H及び第 2の圧力室 5 7 1 Cに圧力を印加するようになされた 「キャリアジェッ ト」 プリ ン トヘッ ド 5 5 5を使用した例について述べたが、 本発明はこれに 限らず、 図 8 0との対応部分に iri]—符号を付して示す図 9 5及び図 9 6に示すような 「キャリアジェッ ト」 プリン トヘッ ド 6 4 0を使 用するようにしても、 上述の第 2実施例と R]様の効果を ることが できる。

この 「キャリアジヱッ 卜」 プリン トヘッ ド 6 4 0は、 振動板 5 7 2の一面 5 7 2 Aにおける第 2の圧力室 5 7 1 C及び第 1の第 1の 圧力室 5 7 1 Hにそれぞれ対応した位^に振動板 6 4 1及び振動板 6 4 2が接着されていると共に、 当該振動板 6 4 1 , 6 4 2上にそ れぞれ板状でなる^電素子 6 4 3 , 6 4 4が積層されている。

この圧電素子 6 4 3 , 6 4 4の分極及び^圧の印加方向は、 電 素子 6 4 3， 6 4 4に ^圧を印加した際に、 圧電^子 6 4 3 , 6 4 4がそれぞれ振動板 6 4 1 , 6 4 2の面内方向に縮んで矢印 M6 で 示す方向に撓むように設定されている。 実際上この 「キャリアジェッ ト」 プリン トヘッ ド 6 4 0では、 図 9 7 ( A ) に示す吐出待機状態においては、 圧電素子 6 4 3， 6 4 4には駆動電圧が印加されず、 ィンク及び希釈液は表面張力と釣り 合う位置、 すなわち定量ノズル 5 7 3 A及び吐出ノズル 5 7 3 Bの 先端近傍にそれぞれメニスカスが形成される。

ィンク定量時においては、 圧電素子 6 4 3に駆動電圧が印加され る。 これにより、 図 9 7 ( B ) に示すように、 圧電^子 6 4 3が矢 印 M 6 で示す方向に橈んで振動板 5 7 2の第 2の圧力室 5 7 1 Cに 対応する部分が矢印 M 6 で示す方向に湾曲し、 この結果第 2の圧力 室 5 7 1 Cの体積が減少して第 2の圧力室 5 7 1 C内の圧力が上 ,'- する。

ここで圧電素子 6 4 3に印加する電圧の電圧値は画像データの階 調に応じた値に設定されているので、 定量ノズル 5 7 3 Aの先端か ら押し出されるインク量は画像データに応じた量となる。

この定虽ノズル 5 7 3 Aから押し出された状態にあるィンクは、 吐出ノズル 5 7 3 Bの先端部近傍においてメニスカスを形成してい る希釈液と接触して混合される。

ィンク nh出時においては、 /:£電素子 6 4 4に駆動電圧が印加され る。 これにより、 図 9 7 ( C ) に示すように、 圧電素子 6 4 4が矢 印 M 6 で示す方向に撓んで振動板 5 7 2の第 1の第 1の圧力室 5 7 1 Hに対応する部分が矢印 M 6 で示す方向に湾曲する。 この結果、 第 1の第 1の圧力室 5 7 1 Hの体積が減少して第 1の第 1の圧力 ¾ 5 7 1 H内の圧力が上昇し、 吐出ノズル 5 7 3 Bから画像デ一夕に 応じたインク濃度を有する混合溶液が吐出される。

ここで圧電素子 6 4 4に印加する駆動電圧の時間変化は、 吐出ノ ズル 5 7 3 Bから混合溶液が吐出し得るように設定されている。 この 「キャリアジェッ ト」 プリン トヘッ ド 6 4 0において、 オリ フィスプレート 5 7 3に代えてオリフィスプレート 6 3 1を用いて もよく、 上述の場合と同様の効果を得ることができる。

さらに上述の第 2実施例においては、 図 8 2 ( B ) のエッチング 工程においてエッチング量を板材 5 8 2の厚さの 1 / 2強に選定し た場合について述べたが、 本究明はこれに限らず、 図 8 2 ( B ) の エツチング丁.程において、 板材 5 8 2の一面 5 8 2 A及び他面 5 8 2 Bに浸すエッチング量を変えて、 図 8 2との対応部分に同 ·符号 を付して示す図 9 8に小すように、 第 2の圧力室及び第 1の圧力室 の深さがそれぞれ第 2の液体供給路及び第 1の液体供給路より深く なるように、 第 2の圧力室 6 6 1 A、 接続孔 6 6 1 B、 第 2の液体 供給路 6 6 1 C、 インクバッファタンク 6 6 I D、 ノズル導入孔 6 6 1 E、 m 1の圧力室 6 6 1 F、 接続孔 6 6 1 G、 第 1の液体供給 路 6 6 1 H、 希釈液バッファタンク 6 6 1 I及び希釈液 入孔 6 6 1 Jが形成された圧力室形成部 6 6 1を得るようにしてもよい。 この場合、 第 2の液体供給路 6 6 1 Cの主供給流路部 6 6 1 C 1 の幅に対して接続孔 6 6 1 C 2 の幅が大きくなるように形成すると 共に、 第 1の液体供給路 6 6 1 Hの主供給流路部 6 6 1 H I の幅に 対して接続孔 6 6 1 H 2 の幅が大きくなるように形成することによ り、 上述の第 2実施例と同様の効果を得ることができる。

さらに ヒ述の第 2実施例においては、 各第 2の液体供給路 5 7 1 Eを第 2の圧力室 5 7 1 Cの配列方向に対して直交する方 1 (ィ ン クバヅファタンク 5 7 1 Fと第 2の液体供給路 5 7 1 Eとの接続而 5 7 1 F 1 に対して直角な方向） に形成すると共に、 各第 1の液体 供給路 5 7 1 Jを第 1の圧力室 5 7 1 Hの配列方向に対して直交す る方向 （希釈液バッファタンク 5 7 1 Kと第 1の液体供給路 5 7 1 Jとの接続面 5 7 1 K 1 に対して直角な方向） に形成した場合につ いて述べたが、 本発明はこれに限らす、 図 8 1 との対応部分に同一 符号を付して示す図 9 9に示すように、 主供給流路部 5 7 1 E 1 が 第 2の圧力室 5 7 1 Cの配列方向に対して斜め （イ ンクバッファ夕 ンク 5 7 1 Fの接続面 7 1 F 1 に対して斜め） に形成すると共に、 ΐ供給流路部 5 7 1 J 1 が第 1の圧力室 5 7 1 Hの配列方向に対し て斜め （希釈液バッファタンク 5 7 1 Kの接続面 7 1 K 1 に対して 斜め） に形成するようにしてもよい。

この場合、 第 2の圧力室 5 7 1 Cの配列方向に直角な方向に占め る第 2の圧力室 5 7 1 Cの さを格段的に短くすることができると 共に、 第 1の圧力室 5 7 1 Hの配列方向に直角な方向に占める第 1 の圧力室 5 7 1 Hの長さを格段的に短くすることができるので、 「キャリアジエツ 卜」 プリン 卜へッ ド 5 5 5を小型化することがで さる。

また図 9 9に示すように、 第 2の液体供給路 5 7 1 Eの主供給流 路部 5 7 1 E 1 を第 2の圧力室 5 7 1 Cの配列方向に対して斜めに 形成すると共に、 第 1の液体供給路 5 7 1 Jの主供給流路部 5 7 1 J 1 を第 1の圧力室 5 7 1 Hの配列方向に対して斜めに形成した場 合においても、 第 2の液体供給路 5 7 1 Eの接続孔 5 7 1 E 2 の幅 を主供給流路部 5 7 1 E 1 の幅よりも大きく形成すると共に、 第 1 の液体供給路 5 7 1 Jの接続孔 5 7 1 J 2 の幅を主供給流路部 5 7 1 J 1 の幅よりも大きく形成することにより、 上述の第 2実施例と ("]様の効果を得ることができる。 因みに図 9 9に示すように、 主供給流路部 5 7 1 E 1 のうち第 1 の主供給流路部 5 7 1 E 1Aを、 第 2の丄:供給流路部 5 7 1 E 1Bの中 心線 C 31 (すなわち第 2の圧力室 5 7 1 Cの配列方向に直角な線） と第 1の上供給流路部 5 7 1 E 1Aの巾心線 C 32とのなす角度 0 31が 7 0 ° となるように、 第 2の 力室 5 7 1 Cの配列方向に対して斜 めに形成した場合、 第 2の圧力室 5 7 1 Cの配列方 に直角な方向 に占める第 2の圧力室 5 7 1 Cの さを、 第 2の液体供給路 5 7 1 Eを第 2の圧力室 5 7 1 Cの配列方向に直角な方向に形成した場合 ( 2の液体供給路 5 7 1 Eをインクバッファタンク 5 7 1 Fの接 続面 5 7 1 F 1 に対して直角に形成した場合） に比して約 4 0 〔％〕 以下の長さに削減することができる。 従って第 2の液体供給路 5 7 1 Eが 「キャリアジエツ ト」 プリン トへヅ ド 5 5 5において第 2の 圧力室 5 7 1 Cの配列方向に直角な方向に占める割合を約 6 0 〔％〕 以上削減することができる。

同様に、 主供給流路部 5 7 1 J 1 のうち第 1の主供給流路部 5 7 1 J 1Aを、 ίβ 2 ト:供給流路部 5 7 1 J IBの屮心線 C 33 (すなわち第 1の/上力室 5 7 1 Hの配列方向に直角な線） と第 1の主供給流路部 5 7 1 J 1 Aの屮心線 C 34とのなす角度 0 32が 7 0 ° となるように、 第 1の圧力室 5 7 1 Hの配列方向に対して斜めに形成した場合、 第 1の圧力室 5 7 1 Hの配列方向に直角な方向に占める第 1の圧力室 5 7 1 Hの さを、 第 1の液体供給路 5 7 1 Jを第 1の圧力室 5 7 1 Hの配列方向に直角な方向に形成した場合 （第 1の液体供給路 5 7 1 Jを希釈液バッファタンク 5 7 1 Kの接続面 5 7 1 K 1 に対し て :角に形成した場合） に比して約 4 0 〔％〕 以下の長さに削減す ることができる。 35 23

227 従って第 1の液体供給路 5 7 1 Jが 「キャリアジェッ ト」 プリン トヘッ ド 5 5 5において第 1の圧力室 5 7 1 Hの配列方向に直角な 方向に占める割合を約 6 0 〔％〕 以上削減することができる。

かく して第 2の液体供給路 5 7 1 Eが 「キャリアジェッ ト」 プリ ン 卜ヘッ ド 5 5 5において第 2の圧力室 5 7 1 Cの配列方向に直角 な方向に占める割合を約 6◦ 〔％〕 以上削減することができると共 に、 第 1の液体供給路 5 7 1 Jが 「キャリアジェッ ト」 プリン トへ ヅ ド 5 5 5において第 1の圧力室 5 7 1 Hの配列方向に ι— 角な方向 に占める割合を約 6 0 〔％〕 以 ヒ削減することができるので、 イン クジェッ トプリン トヘッ ド 5 5 5の場合に比して一段と 「キヤリァ ジエツ ト」 プリン トへッ ド 5 5 5を小型化することができる。

また図 9 9 , 1 00に すように、 第 2の压カ室 5 7 1 C及び第 1の圧力室 5 7 1 Hの配列ピッチ P31， P 32をそれぞれ 0. 6 8 〔mm〕 、 角度 31, 032を 7 0 ° 、 各第 2の液体供給路 5 7 1 E 及び各第 1の液体供給路 5 7 1 Jの幅 W35， W38及び深さ d31 (た だし、 図 1 0 0には第 2の液体供給路 5 7 1 E側のみ示す。 ） をそ れぞれ 0. 1 〔mm〕 に選定した場合、 第 1の主供給流路部 5 7 1 E1Aの中心線 C32の間隔 d32は◦ . 68 〔mm〕 x c o s 70 ° = 0. 2 3 〔mm〕 程度になる。 従って第 2の液体供給路 5 7 1 Eの 主供給流路部 5 7 1 E 1Aの幅 W35を 0. 1 〔mm〕 に選定しても、 第 1の主供給流路部 5 7 1 E 1Aの問隔 d33を約 0. 1 3 〔mm〕 の 問隔にすることができるので、 圧力室形成部 5 7 1に樹脂部材 5 8 5を接着する際に各第 2の液体供給路 5 7 1 E^ljにおけるィンク漏 れをほとんど考慮する必要がなく、 樹脂部材 58 5の接 工程を容 易に行うことができる。 これは希釈液側についても冋様である。 さらに上述の第 2実施例においては、 ィンクを^量側に設定し、 希釈液を吐出側に設定した場合について述べたが、 本発明はこれに 限らず、 インクを吐出側に設定し、 希釈液を定量側に設定するよう にしても上述の実施例と同様の効果を得ることができる。

さらに上述の実施例においては、 シリアル型プリン夕装置に本発 明を適用した場合について述べたが、 本発明はこれに限らず、 ライ ン型プリンタ装 及びドラム 1口 1転型プリンタ装^に本発明を適用し 得る。 このライン型プリン夕装置には、 上述のインクジェッ トプリ ン トヘッ ド 5 9 0 , 6 0 0を適用し ίίίる。 また、 ライン型プリン夕 装^及びドラム问転型プリン夕装置には、 ヒ述の 「キャ リアジエツ ト」 プリ ン トヘッ ド 5 5 5， 6 30 , 64 0を適用し得る。

さらに ヒ述の実施例においては、 プレス温度が 23 0 〔 〕 程度 において 2 0~ 3 0 Ck g f / c m 2 D の圧力でォリフィスプレ一 ト 5 33， 5 7 3をそれぞれ圧力室形成部 53 1 , 5 7 1に熱 i-ト:着 した場合について述べたが、 本発明はこれに限らず、 接着強度を得 ることができればこの他種々の数値でオリフィスプレート 5 3 3， 5 73をそれぞれ圧力室形成部 53 1 , 5 7 1に熱圧着するように してもよい。

さらに上述の実施例においては、 エキシマレーザを用いた場合に ついて述べたが、 木発明はこれに限らず、 炭酸ガスレーザ等この他 種々のレーザを適用し得る。

さらに上述の実施例においては、 圧力室 5 3 1 C、 第 2の圧力 ¾ 5 7 1 C及び第 1の :力室 5 7 1 Hの幅を 0. 4 〔mm〕 に形成し た場合について述べたが、 本発明はこれに限らず、 圧力室 53 1 C, 第 2の圧力 5 7 1 C及び^ 1の圧力室 5 7 1 Hの幅としてこの他 種々の数値を適用し得る。

さらに上述の実施例においては、 液体供給路 5 3 1 Eの主供給流 路部 5 3 1 E 1 、 第 2の液体供給路 5 7 1 Eの主供給流路部 5 7 1 E 1 及び第 1の液体供給路 5 7 1 Jの主供給流路部 5 7 1 J 1 の幅 を 0 . 1 5 〔m m〕 に形成した場合について述べたが、 本発明はこ れに限らず、 液体供給路 5 3 1 Eの主供給流路部 5 3 1 E 1 、 第 2 の液体供給路 5 7 1 Eの主供給流路部 5 7 1 E 1 及び第 1の液体供 給路 5 7 1 Jの主供給流路部 5 7 1 J 1 の幅としてこの他種々の数 値を適川し得る。

この場合、 液体供給路 5 3 1 Eの幅が圧力室 5 3 1 Cの幅より小 さく、 第 2の液体供給路 5 7 1 E及び第 1の液体供給路 5 7 1 Jの 幅がそれぞれ第 2の圧力室 5 7 1 C及び第 1の圧力室 5 7 1 Hの幅 より小さい場合には、 液体供給路 5 3 1 Eの幅を圧力室形成部 5 3 1の厚み以下に形成し、 第 2の Π^:.力室 5 7 1 C及び第 1の圧力室 5 7 1 Ηの幅を圧力室形成部 5 7 1の厚み以下に形成することにより、 液体供給路 5 3 1 Εと圧力室 5 3 1 Cとの接続不良を一段と低減し 得る効果を有すると共に、 第 2の液体供給路 5 7 1 Εと第 2の圧力 室 5 7 1 Cとの接続不良及び第 1の液体供給路 5 7 1 Jと第 1の圧 力室 5 7 1 Hとの接続不良を -段と低減することができる。

さらに上述の実施例においては、 液体供給路 5 3 1 Eの接続孔 5 3 1 E 2 の幅、 第 2の液体供給路 5 7 1 Eの接続孔 5 7 1 E 2 の幅 及び第 1の液体供給路 5 7 1 Jの接続孔 5 7 1 J 2 の幅をそれぞれ 0 . 2 〔m m〕 に形成した場合について述べたが、 本発明はこれに 限らず、 液体供給路 5 3 1 Eの接続孔 5 3 1 E 2 の幅、 第 2の液体 供給路 5 7 1 Eの接続孔 5 7 1 E 2 の幅及び第 1の液体供給路 5 7 1 Jの接続孔 5 7 1 J 2 の幅としてこの他種々の数値を適用し得る。 この場合、 液体供給路 5 3 1 Eの接続孔 5 3 1 E 2 の幅を圧力室 形成部 5 3 1の厚み以 ト.に形成し、 第 2の液体供給路 5 7 1 Eの接 続孔 5 7 1 E 2 の幅及び第 1の液体供給路 5 7 1 Jの接続孔 5 7 1

J 2 の幅を圧力室形成部 5 7 1の厚み以上に形成することにより、 液体供給路 5 3 1 Eと カ室 5 3 1 Cとの接続不良を一段と低減し 得ると; Ttに、 第 2の液体供給路 5 7 1 Eと第 2の圧力室 5 7 1 Cと の接続不良及び第 1の液体供給路 5 7 1 Jと第 1の W力室 5 7 1 H との接絞不良を一段と低減することができる。

さらに上述の実施例においては、 ィンク溶液が充填される圧力室 が ·方の面に形成されると共に、 圧力室に接続孔を介して連通する 液体供給路と、 圧力室に述通するノズル導入孔とが他方の面に形成 された圧力室形成部として圧力室形成部 5 3 1 を用いた場合につい て述べたが、 本発明はこれに限らず、 0 . 1 〔m m〕 以上の厚みが あれば、 ィンク溶液が充坡される圧力室が一方の面に形成されると 共に、 カ室に接続孔を介して連通する液体供給路と、 圧力 ¾に連 通するノズル導入孔とが他方の面に形成された圧力室形成部として この他種々の圧力宰形成部を適用し得る。

さらに上述の突施例においては、 ノズル導入孔に連通するノズル が形成されて圧力室形成部の他方の面に設けられ、 ィンク溶液を吐 出ノズルから外部に吐出するオリフィスプレートとしてオリフィス プレート 5 3 3を用いたお合について述べたが、 本発明はこれに限 らず、 ガラス転移点が 2 5 0 C °C) 以 卜の熱 4塑性の有機材料であ れば、 ノズル導入孔に連通する叶出ノズルが形成されて圧力宰形成 部の他方の面に設けられ、 ィンク溶液を吐出ノズルから外部に吐出 23】 するオリフィスプレ一卜としてこの他種々のォリフィスプレートを 適用し得る。

さらに上述の実施例においては、 圧力室形成部の一方の面に接着 された圧力伝達部材として振動板 5 3 2及び突起部 5 3 4、 振動板 5 3 2及び振動板 6 0 1を川いた場合について述べたが、 本発明は これに限らず、 圧力室形成部の一方の面に接着された圧力伝達部材 としてこの他種々の圧力伝達部材を適用し得る。

さらに ヒ述の実施例においては、 圧力伝達部材に設けられ、 当該 Jd:力伝達部材の溶液幸:に接する部分を押圧することにより、 溶液室 内に所 の圧力を発生させる加圧手段として、 突起部 5 3 4及び積 ^ビエゾ 5 3 5、 振動板 6 0 1及び圧電素子 6 0 2を用いた場合に ついて述べたが、 本発明はこれに限らず、 圧力伝達部材に設けられ、 当該圧力伝達部材の溶液室に接する部分を押圧することにより、 溶 液室内に所定の圧力を発生させる加圧手段としてこの他稀々の加圧 手段を適 fflし得る。

さらに上述の ¾ '施例においては、 希釈液が充填される第 1の圧力 室及びィンクが充填される第 2の圧力室が一方の面に形成されると 共に、 第 1の圧力室に第 1の接続孔を介して連通する第 1の液体供 給路と、 第 1の圧力室に連通する第 1のノズル導入孔と、 第 2の压 力室に第 2の接続孔を介して連通する第 2の液体供給路と、 第 2の 圧力室に連通する第 2のノズル導入孔とが他方の面に形成された圧 力室形成部として圧力室形成部 5 7 1 を用いた場合について述べた が、 本発明はこれに限らず、 0 . 1 〔m m〕 以上の厚みがあれば、 希釈液が充填される第 1の圧力室及びィンクが充塡される第 2の圧 力' がー方の面に形成されると共に、 第 1の圧力室に第 1の接続孔 を介して連通する第 1の液体供給路と、 第 1の圧力室に連通する第

1のノズル導入孔と、 第 2の I：力室に第 2の接続孔を介して連通す る第 2の液体供給路と、 第 2の圧力室に連通する第 2のノズル導入 孔とが他方の面に形成された圧力室形成部として、 この他種々の圧 力室形成部を適用し得る。

さらに上述の実施例においては、 第 1のノズル導入孔に連通する 第 1の吐出ノズル及び第 2のノズル導入孔に連通する第 2の吐出ノ ズルが形成されて压力室形成部の他方の而に設けられ、 希釈液及び インクでなる混合溶液を吐出ノズルから外部に吐出するオリフィ ス プレ一卜としてオリフィスプレー卜 5 7 3を川いた場合について述 ベたが、 本発明はこれに限らず、 ガラス転移点が 2 5 0 〔 〕 以下 の熱可塑性の冇機材料であれば、 第 1のノズル導入孔に連通する吐 出ノズル及び第 2のノズル導人孔に連通する定量ノズルが形成され て圧力 形成部の他方の而に設けられ、 希釈液及びィンクでなる ¾ 合溶液を ¾出ノズルから外部に吐出するォリフィスプレートとして この他種々のオリフィスプレ一 卜を適川し得る。

さらに上述の実施例においては、 圧力室形成部の一方の面に接着 された圧力伝達部材として振動板 5 7 2、 突起部 5 7 4及び突起部 5 7 5、 ¾動板 5 7 2及び振動板 6 4 1， 6 4 2を ijいた場合につ いて述べたが、 本発明はこれに限らず、 ^力室形成部の一方の面に 接着された/上力伝達部材としてこの他種々の圧力伝達部材を適用し 得る。

さらに上述の実施例においては、 F.力伝達部材に設けられ、 当該 圧力伝達部材の笫 2の圧力室に接する部分を押圧することにより、 第 2の圧力室内に所定の ΓΠ力を発生させる第 2の加 手段として、 突起部 5 7 4及び積層ビエゾ 5 7 6並びに振動板 6 4 1及び圧電素 子 6 4 3を用いた場合について述べたが、 本発明はこれに限らず、 圧力伝達部材に設けられ、 当該圧力伝達部材の第 2の圧力室に接す る部分を押圧することにより、 第 2の圧力室内に所定の圧力を発生 させる第 2の加圧手段としてこの他種々の加圧手段を適用し得る。 さらに ヒ述の実施例においては、 圧力伝達部材に設けられ、 当該 ff.力伝達部材の第 1の圧力室に接する部分を押圧することにより、 第 1の圧力室內に所定の圧力を発 :させる第 1の加圧手段として突 起部 5 7 5及び積層ピエゾ 5 7 7並びに振動板 6 4 2及び 素子 6 4 4を用いた場合について述べたが、 本 ¾明はこれに限らず、 圧 力伝逹部材に設けられ、 Ι'ι該圧力伝達部材の第 1の圧力室に接する 部分を押圧することにより、 第 1の圧力室内に所定の圧力を発生さ せる第 1の加圧手段としてこの他種々の加圧手段を適用し得る。

4 . 第 1 1及び第 1 2の発明に対応する実施の形態

( 1 ) 第 1実施例

本実施例においては、 本発明をィ ンクのみを吐出するィンクジェ ッ 卜プリン夕装置に適用した例、 すなわち第 1 1の発明に対応する 実施例について述べる。

( 1— 1 ) インクジェッ トブリン夕装置の構成

本例のィンクジエツ 卜プリンタ装置の全体の構成であるが、 I：述 の第 1及び第 2の発明に対応する 施の形態中の第 1実施例と同様 とされているので、 ここでは説明を省略することとする。 すなわち、 本例のィンクジエツ トプリン夕装置においては、 先に示したプリン トヘッ ド 1 5の代わりに後述のィンクジェッ トプリン トヘッ ドが使 用されることとなる。 なお、 本例のインクジヱッ 卜ブリン夕装置に 3 P T/JP97/01096

234 おいても前述した制御部と同様の制御部が使用されることとなるの で、 この説明も省略することとする。

( 1 - 2 ) インクジェッ トプリン トヘッ ドの構成

次に、 本例のィンクジエツ 卜プリン夕装置のィンクジエツ トプリ ン トヘッ ドの構成について説明する。 すなわち、 本例においては、 図 1 0 1に すように、 インクジェッ トプリン トへッ ド 7 1 5は、 板状をなす圧力室形成部 7 3 1の一方の ifH 7 3 1 Aに、 振動板 7 3 2が接着されているとともに、 圧力室形成部 7 3 1の他方の面 7 3 1 Bに、 板状をなす樹脂部材であるォリフィスプレート 7 3 3が接 着されている。 そして、 インクジエツ 卜プリン トへッ ド 7 1 5は、 振動板 7 3 2の一 の丽 3 2 Aに、 突起部 7 3 4を介して圧亀素子 である積層ビエゾ 7 3 5が接合されている。 さらに、 オリフィスプ レート 7 3 3の、 後述する吐出ノズル 7 3 3 Aが開口される部位の 周辺には、 撥液処理膜 7 4 2が形成されている。

圧力室形成部 7 3 1は、 厚さが約 0 . 1 〔m m〕 程度のステンレ ス等の金属板により形成されている。 そして、 この圧力 ¾形成部 7 3 1には、 充坡されるィンクに所定の ί 力をかける圧力室 7 3 1 C と、 この圧力室 7 3 1 Cの -端側に迚通し、 インクを圧力室 7 3 1 Cに供給するための通路となる液体供給路 7 3 1 Εと、 力室 7 3 1 Cの他端側に形成され、 圧力室 7 3 1 Cに充填されたィ ンクを吐 出ノズル 7 3 3 Αに導く β通孔となるノズル導入孔 7 3 1 Dと、 液 体供給路 7 3 1 Eにインクを配給するためのインクバッファタンク 7 3 1 Fと、 ィ ンク供給管 7 3 7から供給されるィンクをインクバ ッファタンク 7 3 1 F内に導くための接続孔 7 3 1 Gとがそれぞれ 形成されている。 圧力室 7 3 1 Cは、 圧力室形成部 7 3 1の厚み方向における中央 部付近から圧力室形成部 7 3 1の一方の面 7 3 1 A側にかけて形成 されている。 ノズル導入孔 7 3 1 Dは、 圧力室 7 3 1 Cの他端側に 形成され、 圧力室形成部 7 3 1の厚み方向における中央部付近から 圧力室形成部 7 3 1の他方の面 7 3 1 B側にかけて形成されている。 液体供給路 7 3 1 Eは、 ノズル導入孔 7 3 1 Dと同様に、 圧力室 形成部 7 3 1の厚み方向における中央部付近から圧力室形成部 7 3 1の他方の面 7 3 1 B側にかけて形成されている。 そして、 この液 体供給路 7 3 1 Eは、 後述する硬質部材 7 3 1 Hにより、 ノズル導 入孔 7 3 1 Dから隔てられている。 また、 液体供給路 7 3 1 Eは、 硬質部材 7 3 1 H側の一部が圧力室 7 3 1 Cの一端側に連通するよ うに形成されている。

インクバッファタンク 7 3 1 Fも、 ノズル導入孔 7 3 1 D及び液 体供給路 7 3 1 Eと同様に、 圧力室形成部 7 3 1の厚み方向におけ る屮央部付近から圧力室形成部 7 3 1の他方の面 7 3 1 B側にかけ て形成されている。 ここで、 イ ンクバッファタンク 7 3 1 Fは、 図 1 0 2に示すように、 複数の液体供給路 7 3 1 Eと迚通する直線状 の 1本の配^であり、 各液体供給路 7 3 1 Eにィンクを配給する機 能を有している。

接続孔 7 3 1 Gは、 イ ンクバッファタンク 7 3 1 Fに連通するよ うに、 圧力室形成部 7 3 1の厚み方向における中央部付近から压カ 室形成部 7 3 1の一方の面 7 3 1 A側にかけて形成されている。

ここで、 圧力室形成部 7 3 1には、 圧力室 7 3 1 Cの底面を構成 するとともに圧力室形成部 7 3 1の他方の面 7 3 1 Bの 部を構成 し、 またノズル導入孔 7 3 1 Dの -方の側面及び液体供給路 Ί 3 1 Eの一方の側面にそれぞれ接して、 ノズル導入孔 7 3 1 Dと液体供 給路 7 3 1 Eとを隔てる硬質部材 7 3 1 Hと、 液体供給路 7 3 1 E の上面を構成するとともに 力室形成部 7 3 1の一方の面 7 3 1 A の一部を構成し、 また圧力室 7 3 1 Cの一力の側面及び接続孔 7 3 1 Gの一方の側面にそれぞれ接して、 圧力室 7 3 1 Cと接続孔 7 3 1 Gとを隔てる第 1の部材 7 3 1 I と、 圧力室 7 3 1 Cの他方の側 面及びノズル^人孔 7 3 1 Dの他方の側面にそれぞれ接するととも に圧力室形成部 7 3 1の一方の【fii 7 3 1 A及び他方の而 7 3 1 Bの 一部を構成する第 2の部材 7 3 1 J と、 イ ンクバッファタンク 7 3 1 Fの - の側 ii i及び接 ^孔 7 3 1 Gの他方の側 にそれぞれ接す るとともに圧力室形成部 Ί 3 1の一方の面 7 3 1 A及び他方の面 7 3 1 Bの一部を構成する第 3の部材 7 3 1 Kが形成される。 そして、 これら硬 部材 7 3 1 H、 1乃至第 3の部材 7 3 1 1， 7 3 1 J , 7 3 1 Kにより仕切られた空問力 それぞれ圧力室 7 3 1 C、 ノズ ル導入孔 7 3 1 D、 液体供給路 7 3 1 E、 イ ンクバッファタンク 7 3 1 F及び接続孔 7 3 1 Gとして構成される。

また、 圧力室形成部 Ί 3 1の他方の而 7 3 1 Bには、 ノズル導入 孔 7 3 1 D、 液体供給路 7 3 1 E及びィンクバッファタンク 7 3 1 Fを覆うように、 オリフ ィ スプレート 7 3 3が熱圧着によつて接着 されている。 このオリフィ スプレート 7 3 3としては、 耐熱性及び 耐薬品性に優れたネオフ レックス （商品名、 束圧化学工業株式 会社製） 等が川いられ、 厚さが略 5 0 〔〃m〕 でガラス転移点が 2 5 0 O 以 Fのものが用いられて樹脂部材となされる。

このォリフ ィ スプレート 7 3 3には、 ノズル導入孔 7 3 1 Dに連 通し、 圧力室 7 3 1 Cからノズル導入孔 7 3 1 Dを介して供給され るィンクを吐出するための吐出ノズル 7 3 3 Aが、 断面形状が例え ば所定径を有する円形状となるように形成されている。 このように、 オリフィスプレート Ί 3 3に吐出ノズル 7 3 3 Aを形成することに より、 ィンクに対する化学的な安定性を確保することができる。 ところで、 上述した圧力室 7 3 1 Cは、 図 1 0 2に示すように、 ノズル導入孔 7 3 1 Dが形成される位置での幅 C 2が、 圧力室 7 3 1 Cの主たる幅 C 1 より小となり、 かつ、 吐出ノズル 7 3 3 Aのノ ズル導入孔 7 3 1 D側の開口径 A 1 より大となるように形成されて いる。 より具体的には、 圧力室 7 3 1 Cの主たる幅 C 1を 0 . 4 〔m m〕 〜 0 . 6 〔m m〕 とした場合において、 圧力室 7 3 1 Cの ノズル導入孔 7 3 1 Dが形成される位 ίί¾での幅 C 2は、 0 . 2 C m m〕 程度とし、 圧力室形成部 7 3 1の板厚の 2倍¾度とする。 ここ で、 この カ室 7 3 1 Cのノズル導入孔 7 3 1 Dが形成される位置 での幅 C 2は、 圧力室形成部 7 3 1の板厚の 2 . 5倍以下とするこ とが^ましい。

吐出ノズル 7 3 3 Aは、 ノズル^入孔 7 3 1 Dの略中央に連通す るように形成する。 そして nt出ノズル 7 3 3 Aは、 その形状を、 ィ ンクが吐出される方向に従って次第に細くなるようなテーパー形状 とし、 本実施の形態においては、 叶出ノズル 7 3 3 Aの開口部にお ける断面形状を直径約 3 5 〔 i m〕 の円形とし、 U:力室形成部 7 3 1側における断面形状を 1 伃を約 8 0 〔/ m〕 の円形とする。 従つ て、 ί十:力室 7 3 1 Cのノズル導入孔 7 3 1 Dが形成される位 での 幅 C 2は、 圧力室 7 3 1 Cの主たる幅 C 1 より小となり、 かつ、 吐 出ノズル 7 3 3 Αのノズル導入孔 7 3 1 D側の開口径 A 1より大と なる。 また、 ノズル導入孔 7 3 1 Dの幅 E 1が、 圧力室 7 3 1 Cのノズ ル導入孔 7 3 1 Dが形成される位置での幅 C 2と略等しくなるよう に、 ノズル導入孔 7 3 1 Dを形成する。 本実施例においては、 ノズ ル導入孔 7 3 1 Dの幅 E 1を圧力室 7 3 1 Cのノズル導人孔 7 3 1 Dが形成される位 ISでの幅 C 2 と同様に 0 . 2 〔m m〕 ¾度とする。 従って、 ノズル導入孔 7 3 1 D側の一端における上 ¾吐出ノズル 7 3 3 Aの内周壁と、 上記 ΠΙ:出ノズル 7 3 3 A側の一端における上記 ノズル導人孔 7 3 1 Dの内周壁との幅方向における最大離間距離は、 0 . 1 〔 m m〕 以 ドとなる。

他方、 力室形成部 7 3 1の一 の面 7 3 1 Α側には、 圧力室 7 3 1 Cを覆うように振動板 7 3 2が、 接 剤を介して接着されてい る。

この ¾動板 7 3 2には、 圧力室形成部 7 3 1の接続孔 7 3 1 Gに 対応した位； ¾に0通孔 7 3 2 Bが穿設されている。 この貫通孔 7 3 2 Bには、 図示しないィンク夕ンクに接続されたィ ンク供給管 7 3 7が取り付けられている。 従って、 インクタンクから導入されるィ ンクは、 ィンク供給管 7 3 7及びィンクバッファタンク 7 3 1 Fを 介して液体供給路 7 3 1 Eに供給され、 液体供給路 7 3 1 Eを通つ て圧力室 7 3 1 Cに充坡されるようになされている。

&動板 7 3 2 としては、 オリフィスプレート 7 3 3と问様に、 耐 熱性及び耐薬品性に優れたネオフレックス （商品名、 三井東圧化学 工業株式会社製） 等が用いられ、 厚さが略 2 0 〔〃m〕 でガラス転 移点が 2 5 0 〔 〕 以下のものが用いられる。

また振動板 7 3 2の一方の面 7 3 2 Aにおける圧力室 7 3 1 Cに 対応する位 Kには、 板状の突起部 7 3 4が形成されている。 そして、 この突起部 7 3 4の面 7 3 4 Aには、 図示しない接着剤を介して、 積層ピエゾ 7 3 5が接着されている。 この突起部 7 3 4の而 7 3 4 Aの大きさは、 積層ビエゾ 7 3 5の突起部 7 3 4に接着される面 7 3 5 A、 及び圧力室 7 3 1 Cの開口面積より小さくなるように設定 されている。

積層ピエゾ 7 3 5は、 圧電部材と導電部材とが交 に積層されて なる。 ここで圧電部材と導電部材との積層数に限定はなく、 何層で あってもよい。

この積屑ピエゾ 7 3 5は、 図 1 0 3 ( A ) に示すように、 駆動電 圧が印加されると、 闵 1 0 3 ( A ) 中矢印 M 7 で^す方向と逆の方 向に直線的に変位して、 振動板 7 3 2を突起部 7 3 4が接着されて いる部分を屮心に持ち上げることにより、 圧力室 7 3 1 Cの体積を 増大させるようになされている。

また積層ビエゾ 7 3 5は、 図 1 0 3 ( B ) に示すように、 駆動電 圧が解放されると、 図 1 0 3 ( B ) 中矢印 M 7 で示す方向に ιΐί線的 に変位して、 突起部 7 3 4を押圧することにより、 振動板 7 3 2を 湾曲させて圧力室 7 3 1 Cの体稻を減少させ、 これによつて圧力室 7 3 1 C内の圧力を _ヒ昇させるようになされている。 この場合、 突 起部 7 3 4の大きさは積層ピエゾ 7 3 5の一方の ¾i 7 3 5 Aよりも 小さく形成されているので、 積層ピエゾ 7 3 5の変位を振動板 7 3 2の圧力室 7 3 1 Cに対応する位置に集中的に伝達することができ る。

ここで、 インクジエツ トプリン トへッ ド 7 1 5の動作について説 明する。

積層ピエゾ 7 3 5に所定の駆動電 i が印加されると、 積層ピェゾ 7 3 5が、 ¾ 1 0 3 ( A ) 中矢印 M 7 で示す方向と逆の方向に変位 する。 この積層ピエゾ 7 3 5の変位に伴い、 振動板 7 3 2における 圧力室 7 3 1 Cに対応する部分が、 図 1 0 3 ( A ) 中矢印 Aで示す 方向に持ち上げられるので、 圧力室 7 3 1 Cの体積が増加する。 こ のとき、 吐出ノズル 7 3 3 A先端のメニスカスは、 -旦圧力室 7 3 1 C側に後退するが、 積層ビエゾ 7 3 5の変位がおさまると、 表面 張力との釣り合いによって吐出ノズル 7 3 3 Aの先端近傍で安定し、 インク吐出の待機状態となる。

インク吐出時においては、 積^ピエゾ 7 3 5に印加されている駆 動電圧が解放され、 この結 ¾、 積屑ピエゾ 7 3 5が図 1 0 3 ( B ) 中矢印 M 7 で示す方向に変位する。 この積層ピエゾ 7 3 5の変位に 伴い、 振動板 7 3 2が、 図 1 0 3 ( B ) 中矢印 M 7 で示す方向に変 位する。 この振動板 7 3 2の変位により、 圧力室 7 3 1 Cの体積が 減少して圧力 ¾ 7 3 1 C内の圧力が上昇し、 この結果、 吐出ノズル 7 3 3 Aからインクが吐出される。 ここで積屑ビエゾ 7 3 5に え られている駆動電圧の時問変化は、 吐出ノズル 7 3 3 Aから目的と する量のインクを吐出し ί るように設定されている。

そして、 本実施の形態に係るプリン夕装^においては、 インクジ エツ 卜プリン トへッ ド 7 1 5の圧力室 7 3 1 Cを図 1 0 2及び図 1 0 4に示す形状とすることにより、 インク充填時においても、 圧力 室 7 3 1 C内に気泡が残らないようにしている。 すなわち、 圧力室 7 3 1 Cは、 ノズル導入孔 Ί 3 1 Dが形成される位^の幅 C 2が、 圧力室 7 3 1 Cのキ.たる幅 C 1 より小となるように形成され、 ノズ ル導入孔 7 3 1 Dが形成される位^の近傍において、 その幅が上記 ノズル導人孔 7 3 1 Dに向かうに従って次第に減少するように形成 されている。

インクジエツ トプリン 卜へッ ド 7 1 5は、 圧力室 7 3 1 Cがこの ように形成されることにより、 ィンクタンク取り付け時のィンクの 流れ、 すなわち、 圧力室 7 3 1 C内に空気が充填されている状態、 つまりィンク圧力室の ¾面に空気が存在している状態において、 ィ ンクを圧力室 7 3 1 C内に充填する場合であっても、 気泡が !£力室 7 3 1 C内に残らないようにすることができる。

ここで、 このインクジエツ 卜プリン 卜へッ ド 7 1 5にインクタン ク取り付けた時、 すなわちインク充填時の動作について、 1义 i 1 0 4 を参照しながら説明する。 先ず、 図 1 0 4 ( A ) に示すように、 圧 力室 7 3 1 Cの一端側に迚通する液体供給路 7 3 1 Eにインクが充 坊され、 この液体供給路 7 3 1 Eを通して、 圧力室 7 3 1 Cにイン クが充填され始める。 圧力室 7 3 1 C内に充填されるインクは、 図 1 0 4 ( B ) に示すように、 圧力室 7 3 1 Cの中心線近傍よりも圧 力室 7 3 1 Cの壁面近傍において早く進行する。 イ ンクの表面張力 が圧力室 7 3 1 Cの壁面を構成する材質の表面 ¾力よりも低い状態 (すなわち、 濡れ性において濡れる状態） においては、 、 然のこと ではあるが、 液体の有する毛細管現象により、 インクは、 壁面を優 先して、 進行しながら充填されることとなる。

このインクは、 図 1 0 4 ( C ) に示すように、 圧力室 7 3 1 Cの 壁面を優先して進行しながら、 圧力室 7 3 1 Cの他端側に形成され たノズル導入孔 7 3 1 Dの近傍に近づく。 この時、 圧力室 7 3 1 C の壁面の近傍を優先して進行してきたィンクは、 圧力室 7 3 1 Cが、 貫通孔であるノズル導入孔 7 3 1 D付近において、 feiが狭くなつて いること、 すなわち、 両側の壁面の問隔が狭くなつていることによ り、 壁面を進行するインクの先端部分は、 近接した状態となる。 次に、 進行するィンクの先端部分は、 図 1 0 4 ( D ) に示すよう に、 圧力室 7 3 1 Cのノズル導入孔 7 3 1 Dが形成された位置にお いて接触する。 この時、 残った気泡 7 3 6は、 壁面に付着しないで、 ノズル導入孔 7 3 1 Dのほぼ屮心部分に存在する。

そして、 ィ ンクは、 図 1 0 4 ( E ) に示すように、 毛細管現象に より、 〖II：出ノズル 7 3 3 Aの先端まで充填され、 メニスカスを吐出 ノズル 7 3 3 Aの先端近傍に形成する。

このように、 本実施の形態に係るプリ ン夕装置は、 ίΙ·:力室 7 3 1

Cのノズル導入孔 7 3 1 D形成位 での幅が、 圧力室 7 3 1 Cの他 の部分の幅よりも小とされていることから、 压力 ¾ 7 3 1 C及びノ ズル導入孔 7 3 1 0の¾面近傍に気泡が定在しないようにすること ができる。 また、 本 施の形態に係るプリン夕装置は、 圧力室 7 3

1 Cの幅を、 ノズル導入孔 7 3 1 D形成位^の近傍において、 ノズ ル導入孔 7 3 1 Dに向かうに従って次第に減少するように形成し、 圧力室 7 3 1 Cの壁面問の間隔がノズル導入孔 7 3 1 Dに向かうに 従って次第に狭くなるようにすることにより、 圧力室 7 3 1 Cの壁 面付近における ^泡の残留をより贿実に抑制することができる。

そして、 圧力室 7 3 1 C及びノズル導入孔 7 3 1 Dの中心付近に 存在していた気泡は、 吐出ノズル 7 3 3 Αの開口部からの吸引及び、 &動板 7 3 2をダミー振動させること、 といった通常のメンテナン ス行為により、 容易に吐出ノズル 7 3 3 Aから外部に放出すること ができる。

次に、 インクジエツ 卜プリン トへヅ ド 7 1 5の製造方法について、 図 1 0 5、 図 1 0 6、 1 0 7を参照しながら説明する。 先ず、 図 1 0 5 (A) に示すように、 厚さが約 0. 1 〔mm〕 程度のステン レス等の金属よりなる板材 7 3 8の一方の面 73 8 Aに、 例えば感 光性ドライフィルムゃ液体レジス ト材料などのレジス トを塗布した 後、 圧力幸: 73 1 C及び接続孔 73 1 Gに応じたパターンを有する マスクを用いてパターン露光を行う とともに、 板材 73 8の他方の 面 7 3 8 Bに、 例えば感光性ドライフィルムゃ液体レジス 卜材料な どのレジス トを塗布した後、 ノズル導入孔 7 3 1 D、 液体供給路 7 3 1 E及びィンクバッファタンク 7 3 1 Fに応じたパターンを有す るマスクを川いてパターン露光を行い、 レジス ト 7 3 9， 74 0を 形成する。

次に、 図 1 0 5 (B) に示すように、 圧力室 73 1 C及び接続孔 7 3 1 Gに応じたパターンを有するレジス ト 73 9と、 ノズル導人 孔 7 3 1 D、 液体供給路 73 1 E及びインクバッファタンク 7 3 1 Fに応じたパターンをおするレジス ト 74 0とをマスクとして、 板 材 73 8を、 例えば塩化第 2鉄水溶液でなるエッチング溶液に所定 時間浸してエツチングを行うことにより、 板材 73 8の一方の面 7 3 8 Aに圧力室 7 3 1 C及び接続孔 7 3 1 Gを形成するともに、 板 材 73 8の他方の面 738 Bに、 ノズル導入孔 7 3 1 D、 液体供給 路 7 3 1 E及びィンクバッファタンク 73 1 Fを形成する。 これに より、 上述した圧力室形成部 7 3 1が得られる。

この場合、 板材 Ί 38の一方の面 7 3 8 A及び他方の面 7 3 8 B からのエツチング は、 ともに板材 73 8の^さの約 1ノ 2強とな るように設定する。 本実施の形態においては、 板材 7 3 8の^さが 0. 1 〔mm〕 に設定されているので、 板材 73 8の片面からのェ ツチング ½は、 約 0. 0 5 5 〔mm〕 程度となるように設定する。 T/JP97/01096

244 エッチング量をこのように設定することにより、 王力室 7 3 1 C、 接続孔 7 3 1 G、 ノズル導入孔 7 3 1 D、 液体供給路 7 3 1 E及び インクバッファタンク 7 3 1 Fの寸法精度を向 ヒさせることができ るとともに、 これらを安定して形成することができる。

また、 板材 7 3 8の一方の面 7 3 8 Aからのエッチング量と他方 の而 7 3 8 Bからのエッチング fi:とが同じなので、 板材 7 3 8の一 方の面 7 3 8 Aに圧力室 7 3 1 C及び接続孔 7 3 1 Gを形成する際 のエッチングの条件と、 板材 7 3 8の他方の面 7 3 8 Bにノズル導 入孔 7 3 1 D、 液体供給路 7 3 1 E及びインクバッファタンク 7 3 1 Fを形成する際のエッチングの条件をほぼ同じ条件に設定するこ とができ、 このェツチング丄程を簡易かつ短時間に行うことかでき る。

ここでノズル導入孔 7 3 1 Dは、 その幅が、 圧力室 7 3 1 Cに圧 力が印加された際に、 圧力室 7 3 1 C内の圧力上昇に影響がない程 度に吐出ノズル 7 3 3 Aの径より大となるように形成される。 また、 圧力室 7 3 1 Cのノズル導入孔 7 3 1 D形成位 における幅とほぽ 等しくなり、 圧力室 7 3 1 Cの： 'ί·:たる幅より小となるように形成さ れている。 ここで、 ノズル導入孔 7 3 1 Dの幅は、 板 の 2 . 5倍 以下とすることが望ましい。 また、 ノズル導入孔 7 3 1 Dの幅は、 板厚と同程度とすると、 作製「程上形状誤 ^を発生しやすいので、 板厚の 1倍以上であることが作製エネ 上望ましい。 本実施の形態に おいては、 ノズル導入孔 7 3 1 Dの幅は、 0 . 2 〔m m〕 程度とし、 板厚の 2倍程度としている。

次に、 図 1 0 5 ( C ) に示すように、 レジス ト 7 3 9， 7 4 0を 除去する。 この場合、 レジス ト 7 3 9 , 7 4 0として ドライフィル ムレジス 卜を川いた場合には、 除去剤として、 例えば 5 〔％〕 以下 の水酸化ナト リウム水溶液を用い、 レジス ト 7 3 9 , 7 4 0として 液状レジス ト材料を用いた場合には、 除去剤として、 例えば専用ァ ルカリ溶液を用いる。 そして、 レジス ト 7 3 9， 7 4 0を除去した 後、 厚さが約 5 0 〔 z m〕 でガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以下のネ オフレックス （商品名、 三井東圧化学工業株式会社製） 等の樹脂材 料 7 4 1を、 Γ 力室形成部 7 3 1の他 の面 7 3 1 Bに熱圧着によ つて接 する。 この熱圧若は、 2 3 0 〔°C〕 程度のプレス温度にお いて 2 0〜3 0 〔k g f / c m 2 〕 程度の/ 力を与えることによ り行う。 熱圧 の条件をこのように設定することにより、 圧力室形 成部 7 3 1 と樹脂材料 7 4 1 との接着強度を高めることができると ともに、 両者の接着を効率良く行うことができる。

またこの場合、 樹脂材料 7 4 1には、 吐出ノズル 7 3 3 Aが形成 されていないので、 圧力室形成部 7 3 1に樹脂材料 7 4 1を接着す る工程においては、 高精度な位 :合わせ精度を必要としない分、 接 着工程を簡易に行うことができる。 さらに接着剤を用いずに、 圧力 室形成部 7 3 1に樹脂材料 7 4 1を接 しているので、 接着剤が液 休供給路 7 3 1 Eを塞いでしまうような不都合も回避できる。

次に、 図 1 0 5 ( D ) に示すように、 樹脂材料 7 4 1における圧 力室形成部 7 3 1 と対向する面に、 撥液処理膜 7 4 2を形成する。 撥液処理膜 7 4 2としては、 インクをはじき、 インク叶出孔周辺に イ ンク付着残りを生じさせず、 かつ、 エキシマレ一ザにより叶出ノ ズル 7 3 3 Aを形成した場合において、 バリ及び剥がれ等を発生し ない材料を用いることが望ましく、 例えば、 ポリイ ミ ド材料中にフ ッ桌系を分散させたもの （例えば、 変性 F E P材料 ； 9 5 8— 2 0 97/01096

246

7 (商品名、 D u P o n t社製） ) 、 あるいは、 ポリイ ミ ド系材料 のうち吸水率が 0 . 4 〔％〕 以下の材料 （例えば、 ポリイ ミ ド系ォ —バーコ一トイ ンク ； ュピコ一 卜 F S— 1 0 0 L、 F P - 1 0 0

(商品名、 宇部興産株式会社製） ） 、 さらには、 撥液性のポリベン ゾイ ミダゾール （例えば、 塗布型ポリベンゾイ ミダゾ一ル材料 ： N P B I (商品名、 へキス 卜社製） ） 等を用いる。

次に、 図 1 0 5 ( E ) に示すように、 力室形成部 7 3 1の一方 の面 7 3 1 A側から圧力室 7 3 1 C及びノズル導入孔 7 3 1 Dを介 して樹脂材料 7 4 1に対してエキシマレーザを ϋに照射して、 樹 脂材料 7 4 1及び撥液処理膜 7 4 2に吐出ノズル 7 3 3 Αを形成す る。 これにより、 上述したオリフィスプレー卜 7 3 3が得られる。

ここで、 オリフ ィ スプレート 7 3 3の素材として、 樹脂材料 7 4 1 を用いており、 当該ォリフィ スプレー ト 7 3 3が樹脂部材とされて いるので、 吐出ノズル 7 3 3 Aを容易に形成することができる。 ま た、 撥液処理膜 7 4 2においてもエキシマレーザ加 に性に優れた材 料を選定しているので、 吐出ノズル 7 3 3 Aの形成が ¾となる。

さらに、 ノズル導入孔 7 3 1 Dは、 吐出ノズル 7 3 3 Aの径ょり大 とされているので、 レーザ加工時の樹脂材料 7 4 1 と圧力室形成部 7 3 1 との位置 <Υわせ精度を緩和することができるとともに、 レー ザ加ェ時に压力室形成部 7 3 1によってレーザが遮蔽される危険性 を M避することができる。

次に、 図 1 0 6 ( A ) に示すように、 厚さが約 2 0 m ) でガ ラ ス転移点が 2 5 0 C〕 以 卜のネオフ レ ックス （商品名、 三井東 圧化学丁-業株式会社製） ^からなる振動板 7 3 2を、 その一方の主 面 ヒに、 突起部 7 3 4が形成された状態で、 圧力室形成部 7 3 1の 一方の面 7 3 1 A上に、 熱圧着によって接着する。 この熱圧着は、 2 3 0 〔°C〕 程度のプレス温度において 2 0〜 3 0 C k g f / c m 2 〕 程度の圧力を与えることにより行う。 熱圧着の条件をこのよ うに設定することにより、 圧力室形成部 7 3 1 と振動板 7 3 2との 接着強度を高めることができるとともに、 両者を効率良く接着する ことができる。 また、 突起部 7 3 4は、 振動板 7 3 2 となるネオフ レックス等のフィルム上に、 例えば C u及び N i といった金属箔フ イルム材料を板厚が 1 8 〔〃m〕 程度となるように形成した後に、 周知のプリン 卜 板を形成するプロセスと同様の工程を終ることに より形成することができる。

¾動板 7 3 2となるネオフレックス等のフィルム上に、 例えば C u及び N i といった金属箔フィルム材料を形成したものとしては、 具体的には、 図 1 0 7に示すように、 予め厚さが約 2 0 〔 m〕 で ガラス転移点が 2 5 0 C°C ) 以下のネオフレックスからなるフィル ム上に、 膜^が約 1 8 〔〃m〕 である C u材料が形成された材料 (例えば、 金 ^ラ ッピングフィルム （二井東压化学工業株式会社製） ) 等を用いることができる。

この金属ラ ッ ピングフィルムは、 振動板 7 3 2となる有機材料部 分が、 ガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以下であり 2 2 0 〔°C〕 〜 2 3 0 〔°C〕 程度の温度範囲において接着性を示すネオフレ ックスから なる第 1の屑 7 3 2 Eと、 ガラス転移点が 3 0 0 〔°C〕 以 Fであり 2 7 0 O 〜 2 8 0 〔°C〕 程度の温度範囲において接着性を示す ネオフレックスからなる第 3の層 7 3 2 Cと、 ガラス転移点が 3 0 0 〔°C〕 以上であり 3 0 0 〔°C〕 以下の温度において接着性を示さ ないポリィ ミ ド材料からなる第 2の層 7 3 2 Dとの積層体 7 3 2 ひ と C ll材料とが貼り合わされた構造となっている。 したがって、 こ の金厲ラッピングフィルムは、 低温にて軟化する接着剤を用いてい ないので、 ^動板 7 3 2上に突起部 7 3 4を、 耐熱性のある構造体 として形成することができる。

本実施の形態に係るプリン夕装置のインクジエツ トプリン トへッ ド 7 1 5は、 液体供給路 7 3 1 Eが、 ffi力室形成部 7 3 1の-一方の 面 7 3 1 Aに開口して形成されていないので、 振動板 7 3 2の接着 剤として、 上述した熱可塑性接着剂を用いる必要はさほどなく、 低 Aにて硬化する接着剤、 例えばエポキシ系の接着剤を用いて、 圧力 室形成部 7 3 1の一 の |W 7 3 1 Aに、 振動板 7 3 2を接着するよ うにしてもよい。

次に、 図 1 0 6 ( B ) に示すように、 例えばエポキシ系の接着剤 を用いて突起部 7 3 4に積屑ピエゾ 7 3 5を接若し、 その後、 イ ン ク供給管 7 3 7を貫通孔 7 3 2 Bが形成された位置に合わせて振動 板 7 3 2の一方の面 7 3 2 A上に接着する。 かく して、 インクジェ ッ トプリン 卜へッ ド 7 1 5を得ることができる。

以上のように構成される本灾施の形態に係るプリ ン夕装置は、 ィ ンクジエツ 卜プリン トへッ ド 7 1 5の压カ室 7 3 1 Cのイ ンク導入 孔形成位^における幅が、 その他の部分の幅より小となるように形 成されていることから、 圧力室 7 3 1 C及びノズル導入孔 7 3 1 D の^面近傍に 泡が定在しないようにすることが "J "能である。

そして、 もし、 ィンクタンク交換時において、 圧力室 7 3 1 C内 に気泡が存在していたとしても、 圧力室 7 3 1 Cの壁面に定在する 気泡の存在確率は極めて低い状態にあるので、 吐出ノズル 7 3 3 A の f¾ rufiiからの吸引及び、 振動板 7 3 2をダミー ¾動させること、 といった通常のメンテナンス行為により、 容易にその気泡を吐出ノ ズル 7 3 3 Aから外部に放出することができる。

従って、 本実施の形態に係るプリン夕装置は、 印字する際の動作 をより確実に行うことができる。

( 2 ) 第 2実施例

木実施例においては、 本発明をィンクを希釈液に対して定 fi混合 し、 これらを混合吐出する 「キャリアジヱッ 卜」 プリン夕装置に適 用した例、 すなわち第 1 2の発明に対応する例について述べる。

( 2 — 1 ) 「キャ リアジェ ッ ト」 プリ ン夕装 の構成

本例の 「キャ リアジェッ ト」 ブリン夕装^の全体の構成であるが、 上述の第 1及び第 2の発明に対応する実施の形態中の第 2 ¾施例と 同様とされているので、 ここでは説明を省略することとする。 すな わち、 本例の 「キャリアジェッ ト」 ブリン夕装置においては、 先に 示したプリン 卜へヅ ド 4 5の代わりに後述の 「キャ リアジェッ ト」 プリン 卜へッ ドが使用されることとなる。 なお、 本例の 「キャ リア ジェッ ト」 プリン夕装置においても前述した制御部と同様の制御部 が使用されることとなるので、 この説明も^略することとする。 ま た、 本例の 「キヤ リアジェッ ト」 プリン夕装置においても前述した ような ドライバの動作が行われ、 前述したような駆動電圧の印加夕 ィ ミングが実施されることとなるため、 この説明も^略する。

( 2 - 2 ) 「キャ リアジェッ ト」 プリ ン 卜へッ ドの構成

次に、 本例の 「キャリアジェッ ト」 プリンタ装置の 「キャ リアジ エツ 卜」 プリン トヘッ ドの構成について説明する。 すなわち、 本例 においては、 図 1 0 8に示すように、 「キャ リアジェッ ト」 ブリン 卜ヘッ ド 8 5 5は、 板状をなす土力室形成部 8 7 1の一方の面 8 7 1 Aに、 振動板 8 7 2が接着されているとともに、 圧力室形成部 8 7 1の他方の面 8 7 1 Bに、 板状をなす樹脂部材であるオリフィス プレート 8 7 3が接着されている。 そして、 「キャ リアジェッ ト」 プリン トヘッ ド 8 5 5は、 振動板 8 7 2の一方の面 8 7 2 Aに、 突 起部 8 7 4， 8 7 5を介して、 第 2の祯層ピエゾ 8 7 6及び第 1の 稂層ピエゾ 8 7 7がそれぞれ接合されている。 さらに、 オリフィス プレー卜 8 7 3の、 後述する定 ノズル 8 7 3 Aが閧口される部位 及び吐出ノズル 8 7 3 Bが開口される部位の周辺には、 撥液処理膜 8 6 7が形成されている。

压力室形成部 8 7 1は、 厚さが約 0 . 1 〔m m〕 程度のステンレ ス等の金属板により形成されている。 そして、 この圧力室形成部 8 7 1には、 充填される希釈液に所定の圧力をかける第 1の圧力室 8 7 1 Hと、 この第 1の圧力室 8 7 1 Hの一端側に連通し、 希釈液を 第 1の圧力室 8 7 1 Hに供給するための通路となる第 1の液体供給 路 8 7 1 Jと、 第 1の : 力室 8 7 1 Hの他端側に形成され、 ^β ΐの 圧力室 8 7 1 Ηに充 iされた希釈液を吐出ノズル 8 7 3 Bに導く貫 通孔となる第 1のノズル導入孔 8 7 1 I と、 第 1の液体供給路 8 7 1 Jに希釈液を配給するための希釈液バッファタンク 8 7 1 Kと、 希釈液供給管 8 8 1から供給される希釈液を希釈液バッファタンク 8 7 1 K内に導くための ί¾ 1の接続孔 8 7 1 Lとがそれぞれ形成さ れている。

また、 この圧力室形成部 8 7 1には、 充填されるインクに所定の 压力をかける第 2の圧力室 8 7 1 Cと、 この第 2の/ 力室 8 7 1 C の 端側に連通し、 イ ンクを第 2の圧力室 8 7 1 Cに供給するため の通路となる第 2の液体供給路 8 7 1 Εと、 第 2の圧力室 8 7 1 C の他端側に形成され、 第 2の圧力室 8 7 1 Cに充填されたィンクを 定量ノズル 8 7 3 Aに導く貫通孔となる第 2のノズル導入孔 8 7 1 Dと、 第 2の液体供給路 8 7 1 Eにィンクを配給するためのィンク ノ ツファタンク 8 7 1 Fと、 インク供給管 8 7 9から供給されるィ ンクをインクバッファタンク 8 7 1 F内に導くための第 2の接続孔 8 7 1 Gとがそれぞれ形成されている。

第 1の圧力室 8 7 1 Hは、 压カ室形成部 8 7 1の厚み方向におけ る中央部付近から圧力室形成部 8 7 1の一方の而 8 7 1 A側にかけ て形成されている。 第 1のノズル導入孔 8 7 1 Iは、 第 1の圧力室 8 7 1 Hの他端側に形成され、 圧力室形成部 8 7 1の厚み方向にお ける中央部付近から圧力室形成部 8 7 1の他方の而 8 7 1 Bにかけ て形成されている。

第 1の液体供給路 8 7 1 Jは、 第 1のノズル導入孔 8 7 1 I と同 様に、 圧力室形成部 8 7 1の厚み方向における中央部付近から圧力 室形成部 8 7 1の他方の [i(j 8 7 1 Bにかけて形成されている。 そし て、 この第 1の液体供給路 8 7 1 Jは、 後述する硬質部材 8 7 1 P により、 第 1のノズル導入孔 8 7 1 Iから隔てられている。 また、 第 1の液体供給路 8 7 1 Jは、 硬質部材 8 7 1 P側の一部が第 1の 圧力室 8 7 1 Hの一端側に連通するように形成されている。

希釈液バッファタンク 8 7 1 Kも、 第 1のノズル導入孔 8 7 1 I 及び第 1の液体供給路 8 7 1 Jと同様に、 圧力室形成部 8 7 1の厚 み方向における中央部付近から圧力室形成部 8 7 1の他方の面 8 7 1 B側にかけて形成されている。 ここで、 希釈液バッファタンク 8 7 1 Kは、 インクバッファタンク 8 7 1 Fと同様に、 図 1 0 9に示 すように、 複数の第 1の液体供給路 8 7 1 Jと連通する直線状の 1 7/01096

252 本の配管であり、 各第 1の液体供給路 8 7 1 Jにィンクを配給する 機能を有している。

第 1の接続孔 8 7 1 Lは、 希釈液バヅファタンク 8 7 1 Kに連通 するように、 圧力室形成部 8 7 1の厚み方向における中央部付近か ら圧力室形成部 8 7 1の ·方の面 8 7 1 A側にかけて形成されてい る。

ここで圧力室形成部 8 7 1には、 第 1の圧力室 8 7 1 Hの底面を 構成するとともに、 圧力室形成部 8 7 1の他方の面 8 7 1 Bの一部 を構成し、 また、 第 1のノズル導入孔 8 7 1 Iの -方の側 及び第 1の液体供給路 8 7 1 Jの一方の側面にそれぞれ接して、 第 1のノ ズル導入孔 8 7 1 I と第 1の液体供給路 8 7 1 Jとを隔てる硬質部 材 8 7 1 Pと、 第 1の液体供給路 8 7 1 Jの上面を構成するととも に、 圧力室形成部 8 7 1の一方の Ιύί 8 7 1 Αの一部を構成し、 また、 > 1の压カ室 8 7 1 Hの一方の側面及び第 1の接絞孔 8 7 1 Lの一 方の側面にそれぞれ接して、 笫 1の圧力室 8 7 1 Hと第 1の接続孔 8 7 1 Lとを隔てる ¾ 1の部材 8 7 1 qと、 希釈液バッファタンク 8 7 1 Kの一 の側而及び第 1の接続孔 8 7 1 Lの他方の側 jfijにそ れぞれ接するとともに、 :力室形成部 8 7 1の ·方の面 8 7 1 A及 び他方の面 8 7 1 Bの一部を構成する第 2の部材 8 7 1 Rとがそれ それ形成される。

また、 圧力室形成部 8 7 1には、 第 2の圧力室 8 7 1 Cの他方の 側面、 第 2のノズル導人孔 8 7 1 Dの他方の側而、 第 1の圧力室 8 7 1 Hの他方の側而及び第 1のノズル導入孔 8 1 Iの他方の側面 に囲まれ、 圧力 ¾形成部 8 7 1の一方の面 8 7 1 A及び他方の面 8 7 1 Bの一部を形成する第 5の部材 8 7 1 Sが形成されている。 そして、 これら硬質部材 8 7 1 P、 第 1及び第 2、 第 5の部材 8 7 1 Q , 8 7 1 R , 8 7 1 Sにより仕切られた空間が、 それぞれ第 1の圧力室 8 7 1 H、 第 1のノズル導入孔 8 7 1 1、 第 1の液体供 給路 8 7 1 J、 希釈液バッファタンク 8 7 1 K及び第 1の接続孔 8 7 1 Lとして構成される。

第 2の圧力宰 8 7 1 Cは、 圧力室形成部 8 7 1の厚み方向におけ る中央部付近から圧力室形成部 8 7 1の一方の面 8 7 1 A側にかけ て形成されている。 第 2のノズル導入孔 8 7 1 Dは、 第 2の圧力室 8 7 1 Cの他端側に形成され、 圧力幸:形成部 8 7 1の厚み方向にお ける屮央部付近から圧力室形成部 8 7 1の他方の而 8 7 1 Bにかけ て形成されている。

第 2の液体供給路 8 7 1 Eは、 第 2のノズル導入孔 8 7 1 Dと同 様に、 圧力室形成部 8 7 1の厚み方向における中央部付近から圧力 室形成部 8 7 1の他方の面 8 7 1 Bにかけて形成されている。 そし て、 この第 2の液体供給路 8 7 1 Eは、 硬質部材 8 7 1 Mにより、 第 2のノズル導入孔 8 7 1 Dから隔てられている。 また、 第 2の液 体供給路 8 7 1 Eは、 硬質部材 8 7 1 M側の一部が第 2の圧力室 8 7 1 Cの一端側に連通するように形成されている。

インクバッファタンク 8 7 1 Fも、 第 2のノズル導入孔 8 7 1 D 及び第 2の液体供給路 8 7 1 Eと同様に、 圧力室形成部 8 7 1の厚 み方向における中央部付近から圧力室形成部 8 7 1の他方の面 8 7 1 B側にかけて形成されている。 ここで、 インクバッファタンク 8 7 1 Fは、 図 1 0 9に示すように、 複数の第 2の液体供給路 8 7 1 Eと連通する直線状の 1本の配管であり、 各第 2の液体供給路 8 7 1 Eにィンクを配給する機能を^している。 第 2の接続孔 8 7 1 Gは、 インクバッファタンク 8 7 1 Fに連通 するように、 圧力室形成部 8 7 1の厚み方向における中央部付近か ら圧力室形成部 8 7 1の ·方の面 8 7 1 A側にかけて形成されてい る。

ここで圧力室形成部 8 7 1には、 第 2の圧力室 8 7 1 Cの底面を 構成するとともに、 圧力 '4形成部 8 7 1の他方の ιίιί 8 7 1 Bの一部 を構成し、 また、 第 2のノズル導入孔 8 7 1 Dの一方の側面及び第 2の液体供給路 8 7 1 Eの一方の側面にそれぞれ接して、 第 2のノ ズル導人孔 8 7 1 Dと第 2の液体供給路 8 7 1 Eとを隔てる硬質部 材 8 7 1 Mと、 第 2の液体供給路 8 7 1 Eの上面を構成するととも に、 圧力室形成部 8 7 1の-づ Jの面 8 7 1 Aの一部を構成し、 また、 第 2の圧力室 8 7 1 Cの ·方の側而及び第 2の接続孔 8 7 1 Gの一 方の側面にそれぞれ接して、 第 2の圧力室 8 7 1 Cと第 2の接続孔 8 7 1 Gとを隔てる第 3の部材 8 7 1 Nと、 インクバッファタンク 8 7 1 Fの一 の側面及び第 2の接銃孔 8 7 1 Gの他方の側面にそ れぞれ接するとともに、 ^力室形成部 8 7 1の一方の面 8 7 1 A及 び他方の面 8 7 1 Bの -部を構成する第 4の部材 8 7 1 0とがそれ それ形成される。 そして、 これら硬質部材 8 7 1 M、 第 3及び第 4 の部材 8 7 1 N , 8 7 1 0と、 前述の第 5の部材 8 7 1 Sとによつ て仕切られた空間が、 それぞれ第 2の il:力室 8 7 1 C、 第 2のノズ ル導人孔 8 7 1 D、 第 2の液体供給路 8 7 1 E、 イ ンクバッファ夕 ンク 8 7 1 F及び第 2の接 孔 8 7 1 Gとして構成される。

圧力室形成部 8 7 1の他方の面 8 7 1 Βには、 第 2のノズル導入 孔 8 7 1 D、 2の液体供給路 8 7 1 E、 イ ンクバッファタンク 8 7 1 F、 第 1のノズル導人孔 8 7 1 1、 1の液体供給路 8 7 1 J 及び希釈液バッファタンク 8 7 1 Kを覆うように、 オリフィスプレ ート 8 73が熱圧着によって接着されている。 このオリフィスプレ —卜 8 73としては、 厚さが略 50 〔 m〕 でガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以下のネオフレックス （商品名、 三井東圧科学工業株式会 社製） 等が用いられる。

このオリフィスプレート 8 7 3には、 第 2のノズル導入孔 8 7 1 Dに連通し、 第 2の カ宰 8 7 1 Cから第 2のノズル導入孔 8 7 1 Dを介して供給されるィンクを吐出するための所定径を有する定量 ノズル 8 7 3 Aが、 後述する吐出ノズル 8 7 3 B側に向くように斜 めに形成されている。 またオリフィスプレート 8 7 3には、 第 1の ノズル導入孔 8 7 1 1に連通し、 第 1の圧力室 8 7 1 Hから第 1の ノズル 入孔 8 7 1 1を介して供給される希釈液を吐出するための 吐出ノズル 8 7 3 Bが、 断面形状が例えば所定径を有する円形状と なるように形成されている。 このように、 オリフィスプレー卜 8 7 3に定量ノズル 8 7 3 A及び吐出ノズル 8 7 3 Bを形成することに より、 ィンク及び希釈液に対する化' 的な安定性を確保することが できる。

ところで、 上述した第 2の圧力室 8 7 1 Cは、 図 1 0 9に示すよ うに、 第 2のノズル導入孔 8 7 1 Dが形成される位置での幅 C 4が、 第 2の圧力室 8 7 1 Cの主たる幅 C 3よりも小となり、 かつ、 定量 ノズル 8 73 Aの第 2のノズル導入孔 8 7 1 D側の iiij口径 A 2より も大となるように形成されている。 より具体的には、 第 2の圧力室 8 7 1 Cの主たる幅 C 3を 0. 4 〔mm〕 〜0. 6 〔mm〕 とした 場合において、 第 2の圧力室 8 7 1 Cの第 2のノズル導入孔 8 7 1 Dが形成される位 ¾での幅 C 4は、 0. 2 〔mm〕 f 度とし、 圧力 室形成部 8 7 1の板厚の約 2倍程度とする。

また、 上述した第 1の圧力室 8 7 1 Hは、 第 1のノズル導入孔 8 7 1 Iが形成される位置での幅 H 2が、 第 1の圧力室 8 7 1 Hの主 たる幅 H 1よりも小となり、 かつ、 吐出ノズル 8 7 3 Bの第 1のノ ズル導入孔 8 7 1 I側の開口径 B 1 よりも大となるように形成され ている。 より J4休的には、 第 1の圧力室 8 7 1 Hの主たる幅 H 1 を 0 . 4 〔m m〕 〜0 . 6 〔m m〕 とした場合において、 第 1の圧力 室 8 7 1 Hの第 1のノズル導入孔 8 7 1 Iが形成される位置での幅 H 2は、 0 . 2 〔m m〕 程度とし、 圧力 ¾形成部 8 7 1の板 :の約 2倍程度とする。

ここで、 第 2の圧力室 8 7 1 Cの第 2のノズル導入孔 8 7 1 Dが 形成される位置での幅 C 4及び、 第 1の圧力室 8 7 1 Hの第 1のノ ズル導人孔 8 7 1 Iが形成される位置での幅 H 2は、 それぞれ圧力 室形成部 8 7 1の板厚の 2 . 5倍以下とすることが望ましい。

また、 本実施例においては、 吐出ノズル 8 7 3 Bは、 第 1のノズ ル導入孔 8 7 1 1の略中央部に連通するように形成する。 そして吐 出ノズル 8 7 3 Bは、 その形状を、 第 1の実施の形態における吐出 ノズル 7 3 3 Aと同様に、 希釈液が吐出される方向に従って次第に 細くなるようなテーパー形状とし、 吐出ノズル 8 7 3 Bの 口部に おける断 lAi形状を ί?ϊ径約 3 5 〔〃m〕 の円形とし、 圧力室形成部 8 7 1側における断面形状を直径を約 8 0 〔〃m〕 の円形とする。 従 つて、 第 1の圧力宰 8 7 1 Hの第 1のノズル導入孔 8 7 1 1が形成 される位置での幅 H 2は、 第 1の圧力室 8 7 1 Hの主たる幅 H 1 よ りも小となるとともに、 吐出ノズル 8 7 3 Bの第 1のノズル導入孔 8 7 1 I側の開口径 B 1 より人となる。 また、 第 1のノズル導入孔 8 7 1 Iの幅 J 1が、 第 1の圧力室 8 7 1 Hの第 1のノズル導入孔 8 7 1 1が形成される位置での幅 H 2 と略等しくなるように、 第 1のノズル導入孔 8 7 1 Iを形成する。 本実施例においては、 第 1のノズル導入孔 8 7 1 Iの幅 J 1 を第 1 の ΙΈ力室 8 7 1 Hの第 1のノズル導入孔 8 7 1 Iが形成される位置 での幅 H 2と同様に 0 . 2 〔m m〕 程度とする。 従って、 第 1のノ ズル導入孔 8 7 1 I側の ·端における吐出ノズル 8 7 3 Bの內周壁 と、 吐出ノズル 8 7 3 B側の一端における笫 1のノズル導入孔 8 7 1 Iの内周壁との幅方向における ¾大離問距離は、 0 . 1 〔m m〕 以下となる。

また、 定量ノズル 8 7 3 Aは、 斜めに形成されているために、 断 Ιΰί形状が楕円となる。 そして、 本実施例においては、 この定量ノズ ル 8 7 3 Αは、 圧力室形成部 8 7 1側における断面形状を短軸方向 の径が約 8 0 〔〃m〕 の楕円形とする。 従って、 第 2の圧力室 8 7 1 Cの第 2のノズル導入孔 8 7 1 Dが形成される位置での幅 C 4は、 第 2の圧力室 8 7 1 Cの小:たる幅 C 3よりも小となると共に、 ίί量 ノズル 8 7 3 Αの第 2のノズル 入孔 8 7 1 D側の閱口径 A 2より も大となる。

また、 第 2のノズル導人孔 8 7 1 Dの幅 E 2が、 第 2の圧力室 8 7 1 Cの第 2のノズル導入孔 8 7 1 Dが形成される位置での幅 C 4 と略等しくなるように、 第 2のノズル導入孔 8 7 1 Dを形成する。 本実施例においては、 第 2のノズル導入孔 8 7 1 Dの幅 E 2を第 2 の圧力室 8 7 1 Cの第 2のノズル導入孔 8 7 1 Dが形成される位] ¾ での幅 C 4と同様に 0 . 2 〔m m〕 程度とする。 従って、 第 2のノ ズル導入孔 8 7 1 D側の -端における定量ノズル 8 7 3 Aの内周壁 7/0I096

258 と、 定量ノズル 8 7 3 A側の一端における第 2のノズル導入孔 8 7 1 Dの内周壁との幅方向における最大離間距離は、 0 . 1 〔m m〕 以下となる。

他方、 圧力室形成部 8 7 1の一方の面 8 7 1 A側には、 第 2の圧 力室 8 7 1 C及び第 1の圧力室 8 7 1 Hを覆うように、 振動板 8 7 2が、 接着剤を介して接着されている。

この振動板 8 7 2には、 カ室形成部 8 7 1の第 2の接続孔 8 7 1 G及び第 1の接続孔 8 7 1 Lに対応した位^に、 それぞれ第 2の 貫通孔 8 7 2 B及び第 1の貫通孔 8 7 2 Cが穿設されている。 これ ら第 1及び第 2の貫通孔 8 7 2 C , 8 7 2 Bには、 それぞれ図示し ない希釈液タンク及びィンクタンクに接続された希釈液供給管 8 8 1及びィンク供給管 8 7 9が取り付けられている。 従って、 インク タンクから供給されるイ ンクは、 ィンク供給管 8 7 9及びインクバ ッファタンク 8 7 1 Fを介して第 2の液体供給路 8 7 1 Eに供給さ れ、 第 2の液体供給路 8 7 1 Eを通って第 2の圧力 ¾ 8 7 1 Cに充 填され、 希釈液タンクから供給される希釈液は、 希釈液供給管 8 8 1及び希釈液バッファタンク 8 7 1 Kを介して第 1の液休供給路 8 7 1 Jに供給され、 第 1の液休供給路 8 7 1 Jを通って ¾ 1の圧力 室 8 7 1 Hに充填されるようになされている。

振動板 8 7 2 としては、 オリフィスプレート 8 7 3と同様に、 耐 熱性及び耐薬品性に優れたネオフレックス （商品名、 三井東圧化 工業株式会社製） 等が用いられ、 厚さが略 2 0 〔〃m〕 でガラス転 移点が 2 5 0 (：。 C〕 以 卜のものが用いられる。

また振動板 8 7 2の一方の面 8 7 2 Aにおける第 2の圧力室 8 7 1 C及び第 1の圧力室 8 7 1 Hのそれぞれに対応する位置には、 板 状の突起部 8 74， 8 7 5がそれぞれ形成されている。 そして、 突 起部 8 74の面 8 74 Aには、 図示しない接着剤を介して、 第 2の 積層ピエゾ 8 7 6が接^され、 突起部 8 7 5の面 8 75 Aには、 図 示しない接着剤を介して、 第 1の積層ビエゾ 8 7 7が接着されてい る。 この突起部 8 74の面 8 74 A及び突起部 8 7 5の面 8 7 5 A の大きさは、 それぞれ第 2及び第 1の嵇層ビエゾ 8 76， 8 7 7の 突起部 8 74， 8 7 5が接着される面 8 7 6 a , 8 77 a, さらに は第 2の圧力室 8 7 1 C及び第 1の カ室 8 7 1 Hの閧ロ面積より 小さくなるように,没^されている。

第 2の積層ビエゾ 8 7 6は、 /王電部材と導電部材とが交互に積層 されてなる。 ここで ί+: HI部材と導 ¾部材との 層数に限定はなく、 何層であってもよい。

この第 2の積層ピエ V 8 76は、 図 1 1 0 (A) に示すように、 駆動電圧が印加されると、 ¾ 1 1 0 ( A) 中矢印 M8 で す方向と 反対の方向に直線的に変位して、 ¾動板 8 7 2を^ 1の突起部 8 7 が接着されている部分を中心に持ち上げることにより、 第 2の圧 力室 8 7 1 Cの体積を増大させるようになされている。

また、 第 2の積層ピエゾ 8 7 6は、 図 1 1 0 (B) に示すように、 駆動電圧が解放されると、 図 1 1 0 (B) 巾矢印 Bで示す方向に ¾ί 線的に変位して、 第 1の突起部 874を押圧することにより、 振動 板 8 7 2を湾曲させて第 2の ff.力室 8 7 1 Cの体積を減少させ、 こ れによって第 2の圧力室 8 7 1 C內の压力を させるようになさ れている。 この場合、 第 1の突起部 8 74の大きさは、 第 2の稂 | ビエゾ 8 7 6の 方の主面 7 6 aよりも小さく形成されているので、 第 2の積^ピエゾ 8 7 6の変位を、 ¾動板 8 7 2の第 2の圧力室 8 T/JP97/01096

260

7 1 Cに対応する位置に集中的に伝達することができる。

第 1の積層ピエゾ 8 7 7は、 第 2の積層ピエゾ 8 7 6と同様に、 圧電部材と導電部材とが交互に積層されてなる。 第 1の積層ピエゾ 8 7 7も、 圧電部材と導電部材との積層数に限定はなく、 何層であ つてもよい。

この第 1の積層ピエゾ 8 7 7は、 図 1 1 0 ( A ) に示すように、 駆動電圧が印加されると、 図 1 1 0 ( A ) 中矢印 M 8 で示す方向と 反対の方向に ίώ:線的に変位して、 振動板 8 7 2を^ 2の突起部 8 7 5が接着されている部分を屮心に持ち げることにより、 第 1の圧 力室 8 7 1 Ηの体積を増大させるようになされている。

また第 1の積層ピエゾ 8 7 7は、 図 1 1 0 ( C ) に示すように、 駆動電圧が解放されると、 図 1 1 0 ( C ) 中矢印 Cで す方向に直 線的に変位して、 第 2の突起部 8 7 5を押圧することにより、 振動 板 8 7 2を 曲させて第 1の /i:力室 8 7 1 Hの体嵇を減少させ、 こ れによって第 1の ΓΓ.力室 8 7 1 H内の圧力を上昇させるようになさ れている。 この場合、 第 2の突起部 8 7 5の大きさは第 1の積層ピ ェゾ 8 7 7の一方の主面 7 7 aよりも小さく形成されているので、 第 1の積層ビエゾ 8 7 7の変位を、 振動板 8 7 2の第 1の 力室 8 7 1 Ηに対応する位置に集中的に伝達することができる。

ここで、 「キャリアジエツ ト」 フ。リン トへッ ド 8 5 5の動作につ いて説明する。 第 1及び第 2の積層ピエゾ 7 6 , 7 7に所定の駆動電圧が与えら れると、 第 1及び第 2の積層ピエゾ 7 6 , 7 7が、 図 1 1 0 ( A ) 中矢印 M 8 で示す方向と反対の方向に変位する。 この第 1及び第 2 の積層ピエゾ 8 7 7， 8 7 6の変位に伴い、 振動板 8 7 2における 第 2の圧力室 8 7 1 C及び第 1の圧力室 8 7 1 Hに対応する部分が、 図 1 1 0 ( A ) 中矢印 M 8 で示す方向と反対の方向に持ち上げられ るので、 第 2の圧力室 8 7 1 C及び第 1の ί 力室 8 7 1 Ηの体積が 増加する。

第 2の圧力室 8 7 1 C及び第 1の圧力室 8 7 1 Ηの体積が増加す ると、 定量ノズル 8 7 3 Α及び吐出ノズル 8 7 3 Bのメニスカスは、 それぞれ一旦第 2の圧力室 8 7 1 C及び第 1の圧力室 8 7 1 H側に 後退するが、 第 1及び第 2の積層ピエゾ 8 7 7 , 8 7 6の変位が^ まると、 表面張力との釣り合いによって定量ノズル 8 7 3 A及び吐 出ノズル 8 7 3 Bの先端近傍で安定する。

インク定！ ¾時においては、 第 2の積層ピエゾ 8 7 6に印加されて いる駆動電圧が解放され、 この結朵、 第 2の積層ビエゾ 8 7 6が、 図 1 1 0 ( B ) 中矢印 M 8 で示す方向に変位する。 この第 2の桢層 ピエゾ 8 7 6の変位に伴い、 振動板 8 7 2が、 図 1 1 0 ( B ) 中矢 印 M 8 で^す方向に変位する。 この娠動板 8 7 2の変位により、 第 2の圧力室 8 7 1 Cの体積が減少して第 2の圧力室 8 7 1 C内の圧 力が上昇する。

ここで、 第 2の積層ピエゾ 8 7 6に えられている駆動電圧の時 間変化は、 定最ノズル 8 7 3 Aからィンクが飛翔しないように緩や かに設定され、 インクは、 定¾ノズル 8 7 3 Aから飛翔せずに吐出 される。

また、 第 2の積層ビエゾ 8 7 6に印加されていた駆動電圧を解放 するときの電圧値を、 画像デ一夕の階調に応じた値に設定し、 定最 ノズル 8 7 3 Aの先端から押し出されるィンク量を画像デ一夕に応 じた量となるようにする。

この定量ノズル 8 7 3 Aから吐出されたインクは、 吐出ノズル 8 7 3 Bの先端部近傍においてメニスカスを形成している希釈液と接 触して混合される。

混合溶液吐出時においては、 第 1の積層ピエゾ 8 7 7に印加され ている駆動電圧が解放され、 この結果、 第 1の積層ビエゾ 8 7 7が、 図 1 1 0 ( C ) 中矢印 M 8 で示す方向に変位する。 この第 1の積層 ビエゾ 8 7 7の変位に伴い、 振動板 8 7 2が、 図 1 1 0 ( C ) 中矢 印 M8 で示す方向に変位する。 この振動板 8 7 2の変位により、 第 1の圧力 ¾ 8 7 1 Hの体積が減少して第 1の圧力室 8 7 1 H内の圧 力が上昇し、 この結果、 il 出ノズル 8 7 3 Bから画像データに応じ たィンク濃度を有する混合 液が吐出される。 ここで第 1の積層ビ ェゾ 8 7 7に与えられている駆動電圧の時問変化は、 吐,屮,ノズル 8

7 3 Bから目的とする量の混合溶液が吐出し得るように設定される。 そして、 本実施例のプリン夕装置においては、 「キャリアジェヅ ト」 プリン 卜へッ ド 8 5 5の第 2の圧力室 8 7 1 Cを図 1 0 9に示 す形状とすることにより、 インク充填時においても、 第 2の圧力室

8 7 1 C内に気泡が残らないようにしている。 すなわち、 第 2の圧 力室 8 7 1 Cは、 第 2のノズル導入孔 8 7 1 Dが形成される位置の 幅 C 4が、 第 2の圧力室 8 7 1 Cの主たる幅 C 3より小となるよう に形成され、 第 2のノズル 入孔 8 7 1 Dが形成される位^の近傍 において、 その幅が第 2のノズル導入孔 8 7 1 Dに かうに従って 次第に減少するように形成されている。 「キヤリアジエツ 卜」 プリ ン トヘッ ド 8 5 5は、 第 2の圧力室 8 7 1 Cがこのように形成され ることにより、 イ ンクタンク取り付け時のインクの流れ、 すなわち、 第 2の圧力室 8 7 1 C内に空気が充填されている状態、 つまり第 2 の圧力室 8 7 1 Cの壁面に空気が存在している状態において、 ィン クを第 2の圧力室 8 7 1 C内に充填する場合であっても、 気泡が第 2の圧力室 8 7 1 C内に残らないようにすることができる。

さらに、 本実施例のプリン夕装置においては、 「キャリアジエツ 卜」 プリン トへヅ ド 8 5 5の第 1の圧力室 8 7 1 Hを図 1 0 9に示 す形状とすることにより、 希釈液充填時においても、 第 1の圧力室 8 7 1 H内に気泡が残らないようにしている。 すなわち、 ¾ 1の圧 力室 8 7 1 Hは、 第 1のノズル導人孔 8 7 1 1が形成される位置の 幅 H 2が、 第 1の圧力室 8 7 1 Hの主たる幅 H I より小となるよう に形成され、 第 1のノズル導入孔 8 7 1 Iが形成される位置の近傍 において、 その幅が第 1のノズル導入孔 8 7 1 Iに向かうに従って 次第に減少するように形成されている。 「キヤリアジエツ ト」 プリ ン トヘッ ド 8 5 5は、 第 1の圧力室 8 7 1 Hがこのように形成され ることにより、 希釈液タンク取り付け時の希釈液の流れ、 すなわち、 第 1の圧力室 8 7 1 H内に空気が充填されている状態、 つま り第 1 の圧力室 8 7 1 Hの壁面に空気が存在している状態において、 希釈 液を第 1の圧力室 8 7 1 H内に充填する場合であっても、 気泡が第 1の圧力^ 8 7 1 H内に残らないようにすることができる。

この 「キャリアジエツ ト」 プリン トへッ ド 8 5 5にインクタンク 及び希釈液タンクを取り付けた時、 すなわちィンク充填時及び希釈 液充填時における動作は、 上述した第 1の実施例のプリン夕装置の インクジェッ トプリン トヘッ ド 7 1 5のインク充填時の動作と同様 であるので、 詳細な説明を省略するが、 本実施の形態においても、 第 2の圧力室 8 7 1 Cが、 その第 2のノズル導入孔 8 7 1 Dが形成 される位置における幅 C 4が、 他の部分の幅 C 3よりも小とされ、 第 2のノズル導入孔 8 7 1 D形成位 f の近傍において、 その幅が第 2のノズル導入孔 8 7 1 Dに向かうに従って次第に減少するように 形成されていることから、 第 2の圧力室 8 7 1 C及び第 2のノズル 導入孔 8 7 1 Dの壁面近傍に気泡が残留しないようにすることがで きる。

また、 この 「キャリアジェッ ト」 プリ ン トヘッ ド 8 5 5は、 第 1 の圧力室 8 7 1 Hが、 その第 1のノズル導入孔 8 7 1 1が形成され る位置における幅 H 2が、 他の部分の幅 H 1 よりも小とされ、 第 1 のノズル導入孔 8 7 1 I形成位置の近傍において、 その幅が第 1の ノズル導入孔 8 7 1 Iに向かうに従って次^に減少するように形成 されていることから、 第 1の ΓΗ力室 8 7 1 H及び第 1のノズル導入 孔 8 7 1 Iの壁 i近傍に気泡が残留しないようにすることができる。 そして、 本実施例においても、 第 1の实施例と同様に、 第 2の圧 力室 8 7 1 C及び第 2のノズル導入孔 8 7 1 Dの屮心付近に残留す る気泡は、 定 (ノズル 8 7 3 Aの開 I . 面からの吸引及び、 振動板 8 7 2をダミー^勅させること、 といった通常のメンテナンス行為に より、 容易に定量ノズル 8 7 3 Aの外部に放出することができる。 また、 第 1の圧力室 8 7 1 H及び第 1のノズル導入孔 8 7 1 Iの 中心付近に残留する気泡は、 吐出ノズル 8 7 3 Bの開口面からの吸 引及び、 振動板 8 7 2をダミー振動させること、 といった通常のメ ンテナンス行為により、 容易に吐出ノズル 8 7 3 Bの外部に放出す ることができる。

次に、 「キャ リアジ工ヅ ト」 プリン トへ'ソ ド 8 5 5の製造方法に ついて図 1 1 1、 m 1 1 2、 図 1 1 3を参照しながら説明する。 先ず、 図 1 1 1 (A) に示すように、 厚さが約 0. 1 〔mm〕 程 度のステンレス等の金属部材である板材 8 8 2の一方の面 8 82 A に、 例えば感光性ドライフィルムゃ液体レジス 卜材料などのレジス トを塗布した後、 第 2の圧力室 87 1 C、 第 2の接続孔 8 7 1 G、 第 1の圧力室 8 7 1 H及び第 1の接続孔 8 7 1 Lに応じたパターン を有するマスクを用いてパターン露光を行ってレジス 卜 8 8 3を形 成するとともに、 板材 88 2の他方の面 8 8 2 Bに、 例えば感光性 ドライフィルムゃ液体レジス ト材料などのレジス 卜を塗布した後、 第 2のノズル導入孔 8 7 1 D、 2の液体供給路 8 7 1 E、 インク ノ ヅ フ ァタンク 8 7 1 F、 第 1のノズル導入孔 8 7 1 I、 第 1の液 体供給路 8 7 1 J及び希釈液バッファタンク 8 7 1 Kに応じたパ夕 —ンを有するマスクを用いてパターン露光を行ってレジス 卜 8 84 を形成する。

次に、 図 1 1 1 (B) に示すように、 第 2の圧力室 8 7 1 C、 第 2の接続孔 8 7 1 G、 第 1の圧力室 8 7 1 H及び第 1の接続孔 8 7 1 Lに応じたパターンを有するレジス 卜 88 3と、 第 2のノズル導 入孔 8 7 1 D、 第 2の液体供給路 8 7 1 E、 インクバッファタンク 8 7 1 F、 1のノズル導入孔 8 7 1 1、 第 1の液体供給路 8 7 1 J及び希釈液バッファタンク 8 7 1 Kに応じたパターンを有するレ ジス 卜 8 84とをマスクとして、 板材 8 8 2を、 例えば塩化第 2鉄 水溶液でなるエツチング溶液に所定時間浸してエッチングを行うこ とにより、 板材 88 2の一方の面 8 8 2 Aに第 2の圧力室 8 7 1 C、 第 2の接続孔 8 7 1 G、 第 1の圧力室 8 7 1 H及び第 1の接続孔 8 7 1 Lを形成する。 また板材 8 82の他方の面 8 8 2 Bには、 第 2 のノズル導入孔 8 7 1 D、 第 2の液体供給路 8 7 1 E、 インクバッ ファタンク 8 7 I F、 第 1のノズル導入孔 8 7 1 1、 第 1の液体供 給路 8 7 1 J及び希釈液バッファタンク 8 7 1 Kを形成する。 これ により、 上述した圧力室形成部 8 7 1が得られる。

この場合、 板材 8 8 2の一方の面 8 8 2 A及び他方の面 8 8 2 B からのエッチング量は、 ともに板材 8 8 2の厚さの約 1 / 2強とな るように設定する。 本実施の形態においては、 板材 8 8 2の厚さが

0 . 1 〔m m〕 に設定されているので、 板材 8 8 2の片面からのェ ツチング量は、 約 0 . 0 5 5 〔m m〕 程度となるように設定する。 エッチング量をこのように設定することにより、 第 2の圧力室 8 7 1 C、 第 2の接続孔 8 7 1 G、 第 2のノズル導入孔 8 7 1 D、 第 2 の液体供給路 8 7 1 E、 インクバッファタンク 8 7 I F、 第 1の圧 力室 8 7 1 H、 第 1の接続孔 8 7 1 L、 第 1のノズル導入孔 8 7 1

1、 第 1の液体供給路 8 7 1 J及び希釈液バッファタンク 8 7 1 K の寸法粘度を向上し得るとともに、 これらを安定して形成すること ができる。

また、 板材 8 8 2の- 方の面 8 8 2 Aからのェッチング量と他方 の面 8 8 2 Bからのエッチング量とが同じなので、 板材 8 8 2の一 方の面 8 8 2 Aに第 2の圧力室 8 7 1 C、 第 2の接続孔 8 7 1 G、 第 1の圧力室 8 7 1 H及び第 1の接続孔 8 7 1 Lを形成する際のェ ッチングの条件と、 板材 8 8 2の他方の面 8 8 2 Bに第 2のノズル 導人孔 8 7 1 D、 第 2の液体供給路 8 7 1 E、 イ ンクバッファタン ク 8 7 1 F、 第 1のノズル導入孔 8 7 1 1、 第 1 の液体供給路 8 7 1 J及び希釈液バッファタンク 8 7 1 Kを形成する際のェツチング の条件をほぼ同じ条件に設定することができ、 このエツチング工程 を簡易かつ短時間に行うことができる。 ここで第 2のノズル導入孔 87 1 D及び第 1のノズル導入孔 87 1 Iは、 それぞれの幅が、 第 2の圧力室 87 1 C及び第 1の圧力室 87 1 Hに圧力が印加された際に、 第 2の圧力室 87 1 C及び第 1 の压カ室 87 1 H内の圧力 ヒ昇に影響がない程度に、 定量ノズル 8 73 A及び叶出ノズル 873 Bの径よりそれぞれ大となるように形 成される。

また第 2のノズル導入孔 87 1 Dは、 その幅が、 第 2の圧力室 8 7 1 Cの^ 2のノズル導入孔 87 1 D形成位; ¾における幅と略等し く、 第 2の L 力 ¾ 87 1 Cの主たる幅よりも狭くなるように形成さ れる。 そして、 第 1のノズル導入孔 87 1 Iは、 その幅が、 第 1の 圧力室 87 1 Hの第 1のノズル導入孔 87 1 I形成位置における幅 と略等しく、 笫 1の £「:力室 87 1 Hの小:たる幅よりも狭くなるよう に形成される。 ここで、 第 2のノズル導入孔 87 1 D及び第 1のノ ズル導入孔 87 1 Iの幅は、 板 の 2. 5倍以下とすることが望ま しい。

また、 第 2のノズル 人孔 87 1 D及び第 1のノズル導入孔 87 1 Iの幅は、 板 とト ¾度とすると、 作製工程上形状誤差を発生し やすいので、 板厚の 1倍以上であることが作製エ^上望ましい。 本 実施例においては、 第 2のノズル導入孔 87 1 D及び第 1のノズル 入孔 87 1 Iの幅は、 0. 2 〔mm〕 程度とし、 板 :の 2倍程度 としている。

次に、 図 1 1 1 (C) に示すように、 レジス ト 883及び 884 を除去する。 この場合、 レジス 卜 883 , 884として ドライフィ ルムレジス トを用いた場合には、 除去剤として、 例えば 5 〔％〕 以 下の水酸化ナ ト リウム水溶液を用い、 レジス ト 883 , 884とし 7/01096

268 て液状レジス 卜材料を用いた場合には、 除去剤として、 例えば専用 アル力リ溶液を用いる。 そして、 レジス ト 8 8 3及び 8 8 4を除去 した後、 厚さが約 5 0 〔〃m〕 でガラス転移点が 2 5 0 C〕 以下 のネオフレックス （商品名、 三井柬圧化学 に業株式会社製） 等の樹 脂材料 8 8 5を、 圧力室形成部 8 7 1の他方の面 8 7 1 Bに熱圧着 によって接着する。 この熱圧着は、 2 3 0 C〕 程度のプレス温度 において 2 0〜 3 0 C k g f / c m 2 〕 程度の圧力を えること により行う。 熱圧 Tfの条件をこのように^定することにより、 圧力 室形成部 8 7 1 と樹脂材料 8 8 5との接着強度を高めることができ るとともに、 両者の接着を効率良く行うことができる。

また、 この場 、 樹脂材料 8 8 5には、 定 Mノズル 8 7 3 A及び 吐出ノズル 8 7 3 Bが形成されていないので、 圧力室形成部 8 7 1 に樹脂材料 8 8 5を接着するェ稈においては、 粘度な位置合わせ 精度を必要としない分、 接着. T.程を簡易に行うことができる。 さら に接^剤を用いずに、 圧力 形成部 8 7 1に樹脂材料 8 8 5を接着 しているので、 接着剤が 2の液休供給路 8 7 1 Ε及び 1の液体 供給路 8 7 1 Jを塞いでしまうような不都合も回避できる。

次に、 図 1 1 1 ( D ) に示すように、 樹脂材料 8 8 5における！ £ 力室形成部 8 7 1 と対向する iffiに、 撥液処理膜 8 6 7を形成する。

撥液処理膜 8 6 7としては、 イ ンクをはじき、 イ ンク吐出孔周辺に インク付着残りを生じさせず、 かつ、 エキシマレーザにより定量ノ ズル 8 7 3 A、 吐出ノズル 8 7 3 Bを形成した場合において、 ノ リ 及び剥がれ等を発生しない材料を用いることが望ましく、 例えば、 ポリイ ミ ド材料屮にフッ素系を分散させたもの （例えば、 変性 F E P材料 ； 9 5 8— 2 0 7 ( ( 品名、 D u P o n t社製） ） 、 あるい は、 ポリイ ミ ド系材料のうち吸水率が 0 . 4 〔％〕 以下の材料 （例 えば、 ポリイ ミ ド系ォ一バーコ一トインク ；ュピコート F S— 1 0 0 L、 F P - 1 0 0 (商品名、 宇部興鹿株式会社製） ） 、 さらには、 撥液性のポリベンゾイ ミダゾ一ル （例えば、 塗布型ポリべンゾィ ミ グゾ一ル材料 ： N P B I (商品名、 へキス 卜社製） ） 等を用いる。 次に、 図 1 1 1 ( E ) に示すように、 圧力室形成部 8 7 1の一方 の面 8 7 1 A側から第 1の圧力 ¾ 8 7 1 H及び第 1のノズル 入孔 8 7 1 Iを介して樹脂材料 8 8 5に対してエキシマレ一ザを垂^に 照射して、 樹脂材料 8 8 5に吐出ノズル 8 7 3 Bを形成する。 また 圧力幸:形成部 8 7 1の一方の面 8 7 1 A側から第 2の圧力室 8 7 1 C及び第 2のノズル導入孔 8 7 1 Dを介して樹脂材料 8 8 5に対し てエキシマレーザを吐出ノズル 8 7 3 B側に向けて斜めに照射して、 樹脂材料 8 8 5に定景ノズル 8 7 3 Aを形成する。 これにより、 上 述したオリフ ィスプレー卜 8 7 3が得られる。

ここで、 オリフィ スプレート 8 7 3の素材として、 樹脂材料 8 8 5を用いているので、 定¾：ノズル 8 7 3 A及び吐出ノズル 8 7 3 B を容易に形成することができる。 また、 撥液処理膜 8 6 7において もエキシマレ一ザ加工性に優れた材料を選定しているので、 量ノ ズル 8 7 3 A及び吐出ノズル 8 7 3 Bの形成が容易となる。 さらに、 第 2のノズル導入孔 8 7 1 D及び第 1のノズル導人孔 8 7 1 Iは、 それぞれ定量ノズル 8 7 3 A及び吐出ノズル 8 7 3 Bの径ょり大と されているので、 レーザ加工時の樹脂材料 8 8 5と圧力室形成部 8 7 1 との位置合わせ精度を緩和することができるとともに、 レーザ 加 L時に圧力室形成部 8 7 1によってレーザが遮蔽される危険性を 回避することができる。 次に、 図 1 1 2 ( A ) に示すように、 厚さが約 2 0 〔〃m〕 でガ ラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以下のネオフレ ックス （商品名、 三井東 圧化学工業株式会社製） 等からなる振動板 8 7 2を、 その一方の主 面上に、 突起部 8 7 4及び突起部 8 7 5が形成された状態で、 圧力 室形成部 8 7 1の一方の面 8 7 1 Aに、 熱圧着によって接若する。 この熱圧 は、 2 3 0 〔°C〕 程度のプレス温度において 2 0〜 3 0 〔k g f / c m 2 〕 程 ^の圧力を -えることにより行う。 熱圧着 の条件をこのように設^することによ り、 Π:力室形成部 8 7 1 と振 動板 8 7 2との接着強度を ^めることができるとともに、 両^を効 率 βく接着することができる。 また、 突起部 8 7 4 , 8 7 5は、 振 動板 8 7 2となるネオフレックス等のフィルム上に、 例えば C u及 び N iといった金属箔フィルム材料を板厚が 1 8 〔〃m〕 程度とな るように形成した後に、 周知のプリン ト基板を形成するプロセスと 同様の: 程を絰ることにより形成することができる。

振動板 8 7 2 となるネオフレックス のフィルム上に、 例えば C u及び N iといった金属箔フィルム材料を形成したものとしては、 体的には、 図 1 1 3に示すように、 予め厚さが約 2 0 〔 z m〕 で、 ガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以下のネオフレックスからなるフィル ム上に、 脱厚が約 1 8 〔〃m〕 である C u材料が形成された材料 (例えば、 金属ラッピングフ ィルム （三片 ίίί圧化学工業株式会社製） ) を用いることができる。

この金属ラ ッ ピングフ ィルムは、 振動板 8 7 2となる有機材料部 分が、 ガラス転移点が 2 5 0 〔 〕 以下であり 2 2 0 〔 〕 〜 2 3 0 〔°C〕 程度の温度範囲において接着性を示すネオフレックスから なる第 1の^ 8 7 2 Eと、 ガラス転移点が 3 0 0 〔°C〕 以 ドであり 2 7 0 〔°C〕 〜 2 8 0 〔°C〕 程度の温度範囲において接着性を示す ネオフレックスからなる第 3の層 8 7 2 Cと、 ガラス転移点が 3 0 0 〔°C〕 以上であり 3 0 0 〔。C〕 以下の温度において接着性を示さ ないポリイ ミ ド材料からなる第 2の層 8 7 2 Dとの積層体 8 7 2 α と C u材料とが貼り合わされた構造となっている。 したがって、 こ の金属ラッピングフイルムは、 低温にて軟化する接着剤を用いてい ないので、 振動板 8 7 2上に突起部 8 7 4， 8 7 5を、 耐熱忤のぁ る構造体として形成することができる。

本' 施例のプリン夕装置の 「キャ リアジエツ 卜」 プリン トへッ ド 8 5 5は、 第 2の液体供給路 8 7 1 E及び第 1 の液体供給路 8 7 1 Jが、 圧力室形成部 8 7 1の一方の面 8 7 1 Aに開口して形成され ていないので、 振動板 8 7 2の接着剤として、 上述した熱可 性接 着剤を用いる必要はさほどなく、 低温にて硬化する接着剤、 例えば エポキシ系の接着剤を川いて、 圧力室形成部 8 7 1の一方の面 8 7 1 Aに、 振動板 8 7 2を接着するようにしてもよい。

次に、 図 1 1 2 ( B ) に示すように、 例えばエポキシ系の接着剤 を用いて突起部 8 7 4， 8 7 5にそれぞれ第 2 ¾び第 1の積層ビエ ゾ 8 7 6， 8 7 7を接着し、 その後、 インク供給 8 7 9及び希釈 液供給管 8 8 1をそれぞれ第 2の貫通孔 8 7 2 B及び第 1の貫通孔 8 7 2 Cが形成された位^に合わせて振動板 8 7 2の -方の tfli 8 7 2 A上に接着する。 かく して 「キャ リアジェッ ト」 プリン トへヅ ド 5 5を得ることができる。

以上のように構成される本例のプリン夕装置においては、 「キヤ リアジェッ ト」 プリン トヘッ ド 8 5 5の第 1の圧力室 8 7 1 Hの第 1のノズル導入孔 8 7 1 I形成位 における幅力;、 その他の部分よ CT/JP97/01096

272 りも小となるように形成されていることから、 第 1の圧力室 8 7 1 H及び第 1のノズル導入孔 8 7 1 Iの壁面近傍に気泡が定在しない ようにすることが可能である。

また、 このプリン夕装置においては、 「キャリアジェッ ト」 プリ ン トヘッ ド 8 5 5の第 2の if.力室 8 7 1 Cの第 2のノズル導入孔 8 7 1 D形成位置における幅が、 その他の部分よりも小となるように 形成されていることから、 第 2の圧力 'Φ: 8 7 1 C及び第 2のノズル 導入孔 8 7 1 Dの^ ΐίΊί近傍に 泡が dT在しないようにすることが可 能である。

そして、 も し、 インクタンク交換時において、 第 2の圧力室 8 7 1 C内または第 1の/ 1:力室 8 7 1 H内に気泡が存在していたとして も、 第 2の圧力室 8 7 1 C乂は第 1の圧力室 8 7 1 Hの壁面に定在 する気泡の存在確率は極めて低い状態にあるので、 定量ノズル 8 7 3 A及び吐出ノズル 8 7 3 Bの開口而からの吸引及び、 振動板 8 7 2をダミ一振動させること、 といった通' のメンテナンス行為によ り、 容易にその 泡を定量ノズル 8 7 3 A及び吐出ノズル 8 7 3 B から外部に放出することができる。

したがって、 本実施例のプリンタ装 ifi;は、 印 する際の動作をよ り確実に行うことができる。

( 3 ) 他の実施例

上述した第 1の実施例においては、 ガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以下のネオフ レ ックスからなるオリフ ィ スプレ一卜 7 3 3を川いた 例について説明したが、 本発明はこの例に限定されるものではなく、

1の実施例で適用したオリ フ ィ スプレー ト 7 3 3の代わりに、 図

1 1 4に すようなオリフィスプレート 8 9 1を適川しても上述の 第 1の実施例と同様の効果を得ることができる。

このォリフィスプレー卜 8 9 1は、 厚さが約 1 2 5 〔 z m〕 で、 ガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以上のカプトン （デュポン社製） から なる第 2の樹脂 8 9 2の -方の主面に、 厚さが約 7 〔〃m〕 で、 ガ ラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以下のネオフレックスからなる第 1の樹 脂 8 9 3が塗布されて構成されている。 このォリフィスプレー ト 8 9 1を適用した場合には、 オリフィスプレー 卜 8 9 1にノズル導入 孔 7 3 1 Dに迚通した吐出ノズル 7 3 3 Aが形成される。

このオリフィスプレート 8 9 1は、 その厚さが、 第 1の実施例で 適/ Πしたオリフィスプレート 7 3 3の厚さより ^いので、 オリフ ィ スプレート Ί 3 3に比して一段と^い強度を確保することができる とともに、 吐出ノズル 7 3 3 Aの長さを くすることができるので、 吐出されるィンク液滴の方向性を高めることができる。

また上述の第 1の実施例においては、 積屑ビエゾ 7 3 5を川いて 力室 7 3 1 Cに圧力を印加するようになされたィ ンクジエツ トプ リン トへッ ド 7 1 5をプリン夕装置に適用した例について説明した が、 本発明はこの例に限定されるものではなく、 第 1の灾施例で適 用したインクジェヅ 卜プリン トへッ ド 7 1 5の代わりに、 図 1 1 5 及び図 1 1 6に示すようなインクジエツ 卜プリン トへッ ド 9 0 0を 適用しても、 ヒ述した第 1の実施例と同様の効果を得ることができ る。 なお、 M l 1 5 , 図 1 1 6においては、 図 1 ◦ 1に示すインク ジェッ トプリン トへヅ ド 7 1 5 と同一の構成については同一符号を 付して示している。

このインクジエツ トプリン 卜へヅ ド 9 0 0においても、 オリフィ スプレー卜 7 3 3に代えて 1:述のォリフィスプレート 8 9 1 を適用 96

274 することができ、 オリフィ スプレート 8 9 1を適用した場合は、 吐 出されるインク液滴の方向性を高める等の上述した効果を得ること ができる。

イ ンクジェヅ トプリ ン 卜へヅ ド 9 0 0は、 振動板 7 3 2の-一方の 73 2 Aにおける圧力室 7 3 1 Cに対応した位^に、 振動板 90 1が接着されているとともに、 この振動板 9 0 1上に板状の圧電素 ?9 0 2が稻層されている。

この圧電素子 9 0 2の分極及び電圧の印加方向は、 圧電素子 9 0 2に亀 '/ を印加した際に、 j it素子 9 0 2が振動板 9 0 1の而内方 向に縮んで図 1 1 5中矢印 M7 で す方向と反対の方向に撓むよう に設定されている。

従って、 このインクジェッ トプリン トヘッ ド 9 0 0は、 図 1 1 6 ( A) に示す初期状態において、 圧電素了- 90 2に駆動電圧が印加 されると、 図 1 1 6 (B) に示すように、 圧電素？ 9 0 2が、 図 1 1 6 (B) 中矢印 M7 で示す方向に撓んで振動板 9 0 1を押^する ことにより振動板 7 3 2を湾曲させる。 これにより、 圧力室 73 1 Cの体積が減少し、 圧力^ 7 3 1 C内の圧力が上昇して吐出ノズル 7 33 Aからインクが吐出する。

この場合、 圧電素子 9 0 2に印加する駆動 圧の時間変化は、 吐 出ノズル 7 3 3 Aから目的とする量のィンクを吐出し得るような電 圧波形に設定されている。

また、 上述した第 2の実施例においては、 ガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以卜のネオフレックスからなるオリフィスプレ一卜 8 73を 用いた例について説明したが、 本発明はこの例に限定されるもので はなく、 第 2の実施例に適用したオリフィ スブレー 卜 8 7 3の代わ りに、 冈 1 1 4に示すオリフィスプレート 8 9 1 を適用しても上述 の第 2の実施の形態と同様の効果を得ることができる。

特に 「キャリアジェッ ト」 プリン トへヅ ド 8 5 5においてオリフ イスプレー卜 8 9 1を用いた場合には、 定量ノズル 8 7 3 Aの傾斜 角度に余裕をもたせることができるとともに、 第 2の圧力室 8 7 1 Cと第 1の圧力室 8 7 1 Hとの間隔を容易に拡げることができるの で、 ィンク漏れ及び希釈液漏れを確突に防止することができる。 この場台、 オリフィスプレート 8 9 1に のノズル導入孔 8 7 1 D及び 1のノズル導入孔 8 7 1 Iにそれぞれ迚通した定¾ノズ ル 8 7 3 A及び吐出ノズル 8 7 3 Bが形成される。

また、 述した第 2の実施例においては、 第 2の積層ピエゾ 8 7 6及び第 1の積層ビエゾ 8 7 7を用いてそれぞれ第 2の圧力室 8 7 1 C及び第 1 の圧力室 8 7 1 Hに圧力を印加するようになされた 「キャ リアジエツ 卜」 プリ ン 卜へッ ド 8 5 5をプリ ン夕装置に適用 した例について説明したが、 本発明はこの例に限定されるものでは なく、 第 2の¾施例で適用した 「キャ リアジェッ ト」 プリ ン トへッ ド 8 5 5の代わりに、 図 1 1 7及び図 1 1 8に示すような 「キヤ リ アジヱヅ ト」 プリン トヘッ ド 1 0 4 0を適用しても、 h述した第 2 の実施の形態と同様の効果を得ることができる。 なお、 図 1 1 7 , 図 1 1 8においては、 図 1 0 8に示す 「キャリアジェッ ト」 プリ ン 卜へヅ ド 8 5 5と同一の構成については同一の符号を付して示して いる。

この 「キャリアジエツ ト」 プリン トへッ ド 1 0 4 0においても、 オリフィスプレート 8 7 3に代えて上述のオリフィスプレート 8 9 1を適用することができ、 オリフィ スプレート 8 9 1を適用した ¾ 合は、 ィンク漏れ及び希釈液漏れを確実に防止できる等の上述した 効果を得ることができる。

「キャリアジェッ ト」 プリン 卜ヘッ ド 1 0 4 0は、 振動板 8 7 2 の一方の面 8 7 2 Aにおける第 2の圧力室 8 7 1 C及び第 1の圧力 室 8 7 1 Hにそれぞれ対応した位置に、 第 2の振動板 1 0 4 1及び 1の振動板 1 0 4 2が接着されているとともに、 第 2の振動板 1 04 1上に板状の第 2の圧電素子 1 0 4 3が、 第 1の振動板 1 0 4 2上に板状の第 1の^電素子 1 0 4 4がそれぞれ積層されている。 この第 1及び第 2の 尜 Γ- 1 0 4 4 , 1 0 4 3の分極及び iii圧 の印加方向は、 第 1及び第 2の圧¾素子 1 04 4， 1 0 4 3に電圧 を印加した際に、 第 1の圧電¾ Γ- 1 0 4 4が第 1の振動板 1 0 1 2 の面内方向に縮んで図 1 1 7中矢印 M8 で示す方向に橈み、 第 2の 圧電素子 1 0 4 3が第 2の振動板 1 0 4 1の面内方向に縮んで図 1 1 7巾矢印 M8 で示す方向に撓むように設定されている。

この 「キャ リアジェッ ト」 ブリン トヘッ ド 1 0 4 0は、 図 1 1 8 ( A ) に ^す吐出待機状態においては、 第 1及び第 2の ii:電素了- 1 0 1 4， 1 0 1 3には駆動電 Γ王が印加されず、 ィンク及び希釈液は、 表面張力と釣り合う位置、 すなわち定量ノズル 8 7 3 A及び吐出ノ ズル 8 7 3 Bの先端近傍にそれぞれメニスカスが形成される。

そして、 この 「キャリアジェッ ト」 プリン トへヅ ド 1 ◦ 4 0は、 図 1 1 8 (B ) に示すインク定里時において、 第 2の圧 ¾素子 1 0 4 3に駆動電 [£が印加される。 これにより、 第 2の £電素子 1 0 4 3及び第 2の振動板 1 0 4 1が、 f¾] 1 1 8 (B) 屮矢印 M8 で示す 方^に橈んで、 振動板 8 7 2の第 2の圧力室 8 7 1 Cに対応する部 分を欠印 M8 で示す方向に湾曲させる。 この結果、 ¾¾ 2の圧力 ¾ 8 7 1 Cの体積が減少して第 2の圧力室 8 7 1 C内の圧力が上昇する。 ここで、 第 2の圧電素子 1 0 4 3に印加する電圧の電圧値は、 画 像デ一夕の階調に応じた値に設定されているので、 定量ノズル 8 7 3 Aの先端から押し出されるィンク量は画像データに応じた量とな る。

この定量ノズル 8 7 3 Aから押し出された状態にあるインクは、 吐出ノズル 8 7 3 Bの先端部近傍においてメニスカスを形成してい る希釈液と接触して混合される。

混合溶液吐出時においては、 第 1の 電素子 1 0 4 4に駆動電/王 が印加される。 これにより、 第 1の圧電素子 1 0 4 4及び第 1の ¾ 動板 1 0 4 2が、 図 1 1 8 ( C ) 中矢印 M 8 で示す方向に橈んで、 振動板 8 7 2の第 1の圧力室 8 7 1 Hに対応する部分を矢印 M 8 で 示す方向に湾曲させる。 この結果、 第 1の圧力室 8 7 1 Hの体積が 減少して第 1の J£力室 8 7 1 H内の圧力が上昇し、 吐出ノズル 8 7 3 Bから画像データに応じたィンク濃度を有する混合溶液が吐出さ れる。

ここで第 1の圧電素子 1 0 4 4に印加する駆動電 の時間変化は、 吐出ノズル 8 7 3 Bから目的とする濃度の混^溶液が吐出し得るよ うに設定されている。

また、 上述した第 2の実施例においては、 インクを定量側に設定 し、 希釈液を吐出側に設定した例について説明したが、 本発明はこ の例に限定されるものではなく、 インクを卟出側に設定し、 希釈液 を定量側に設定するようにしても上述の第 2の実施の形態と同様の 効果を得ることができる。

さらに ヒ述の実施例においては、 シリアル型プリン夕装置に本発 明を適用した場合について述べたが、 本発明はこれに限らず、 ライ ン型プリン夕装置及びドラム回転型プリン夕装置に本発明を適用し 得る。 このライン型プリン夕装置には、 上述のインクジェッ トプリ ン トヘッ ド 9 0 0を適用し得る。 また、 ライ ン型プリ ン夕装^及び ドラム回転型プリン夕装置には、 上述の 「キャ リアジェッ ト」 プリ ントヘッ ド 1 040を適用し得る。

また、 上述した第 1及び第 2の実施例においては、 厚さ約 0. 1 〔mm〕 のステンレス等の板材 73 8， 8 8 2を川いて圧力室形成 部 7 3 1及び圧力室形成部 8 7 1をそれぞれ作製した例について説 明したが、 本発明はこの例に限定されるものではなく、 板材 73 8 , 8 8 2の厚さとしてこの他種々の数値を適用し得る。 ここで )」·:力室 形成部 73 1及び圧力室形成部 87 1における各室及び孔は、 上述 したようにエッチングによって形成されるので、 板材 7 3 8 , 8 8 2の厚さは 0. 0 7 〔mm〕 以上に設定することが望ましい。 この ように、 板材 7 3 8 , 8 8 2の厚さを 0 · 0 7 〔mm〕 以上に設定 することにより、 板材 73 8 , 88 2に、 圧力室 7 3 1 C、 第 2の H^:.力室 8 7 1 C及び第 1の圧力室 8 7 1 H内の圧力を上昇させるの に十分な強度をもたせることができる。

また、 1:述した第 1及び第 2の実施例においては、 プレス温度が 2 30 〔°C〕 程度において 2 0〜3 0 〔k g f /c m2 〕 の圧力 で、 オリフィスプレート 7 33及び 8 7 3をそれぞれ圧力室形成部 7 3 1及び圧力室形成部 8 7 1に熱圧着した例について説明したが、 本発明はこの例に限定されるものではなく、 接着強度を得ることが できる範囲内で、 この他の種々の数倘でオリフィスプレート Ί 3 3 及び 8 73をそれぞれ/ 1:カ¾形成部 7 3 1及び ΓΙ^:.力 ¾形成部 8 7 1 に熱圧着するようにしてもよい。

さらに上述した第 1及び第 2の実施例においては、 エキシマレ一 ザを用いて、 樹脂材料 7 4 1に吐出ノズル 7 3 3 Aを、 樹脂材料 8 8 5に定 ノズル 8 7 3 A、 吐出ノズル 8 7 3 Bをそれぞれ形成す る例について説明したが、 本発明はこの例に限定されるものではな く、 酸ガスレーザ等の種々のレーザを用いて、 吐出ノズル 7 3 3 A、 定量ノズル 8 7 3 A、 吐出ノズル 8 7 3 Bを形成するようにし てもよい。

また、 上述した第 1及び第 2の実施例においては、 インクが充填 され、 所定の圧力が印加されるインク室として、 圧力室 7 3 1 C及 び^ 2の 1£力室 8 7 1 Cを用いた例について説明したが、 水発明は この例に限定されるものではなく、 インク室として、 この他極々の ィンク室を適用することができる。

また、 上述した第 1及び第 2の実施例においては、 インク室の配 列方向に対して垂直に形成され、 ィ ンク供給源から供給されるィン クをそれぞれ各ィンク ¾に供給するィンク流路として、 液休供給路 7 3 1 E及び第 2の液休供給路 8 7 1 Eを用いた例について説明し たが、 本発明はこの例に限定されるものではなく、 インク流路とし て、 この他種々のインク流路を適用することができる。

また、 上述した第 1及び第 2の実施例においては、 各インク流路 にそれぞれ圧力が印加された際、 各インク室から供給されるインク を記録媒体に対してそれぞれ吐出するィンク吐出穴として、 吐出ノ ズル 7 3 3 A及び定量ノズル 8 7 3 Aを用いた例について説明した が、 本発明はこの例に限定されるものではなく、 インク吐出穴とし て、 この他種々のインク吐出穴を適用することができる。 また、 上述した第 2の実施例においては、 吐出時にインクに混合 される希釈液が充填され、 所定の圧力が印加される複数の希釈液室 として、 第 1の圧力室 8 7 1 Hを用いた例について説明したが、 本 発明はこの例に限定されるものではなく、 希釈液室として、 この他 種々の希釈液室を適用することができる。

また、 七述した第 2の実施例においては、 希釈液室の配列方向に 対して垂直に形成され、 希釈液供給源から供給される希釈液をそれ それ各希釈液室に供給する希釈液流路として、 第 1の液体供給路 8 7 1 Jを用いた例について説明したが、 本允明はこの例に限定され るものではなく、 希釈液流路として、 この他種々の希釈液流路を適 用することができる。

また、 上述した第 2の実施例においては、 各希釈液流路にそれぞ れ圧力が印加された際、 各希釈液室から供給される希釈液を記録媒 体に対してそれぞれ吐出する希釈液吐出穴として、 吐出ノズル 8 7 3 Bを用いた例について説明したが、 本発明はこの例に限定される ものではなく、 希釈液吐出穴として、 この他稗々の希釈液吐出穴を 適用し得る。

また、 上述した第 1及び第 2の実施例においては、 各圧力室及び 各液体供給路が孔加工されて形成された金厲板として、 圧力室形成 部 7 3 1及び/ :1:力' :形成部 8 7 1を用いた例について説明したが、 木発明はこの例に限定されるものではなく、 各圧力室及び各液体供 給路が孔加ェされて形成された金属板として、 この他種々の金属板 を適用することができる。

また、 上述した第 1及び第 2の突施例においては、 インクを吐出 するインク吐出孔が形成された板状の樹脂材として、 オリフィスプ レート 7 3 3 , 8 7 3を用いた例について説明したが、 本発明はこ の例に限定されるものではなく、 ィンクを叶出するィンク吐出孔が 形成された板状の樹脂材として、 この他種々の樹脂材を適用するこ とができる。

また、 上述した第 1及び第 2の実施例においては、 ガラス転移点 が 2 5 0 O 以下の樹脂材として、 さが約 5 0 〔〃m〕 でガラ ス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以下のネオフレックスからなるオリフィス プレート 7 3 3， 8 7 3を用いた例について説明したが、 本発明は この例に限定されるものではなく、 ガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以 下の樹脂材であれば、 この他種々の樹脂材を適用することができる。 また、 上述した実施の形態においては、 ガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以上の第 2の樹脂と、 ガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以下の第 1の樹脂とが積層されてなる樹脂材として、 オリフィスプレート 8 9 1を用いた例について説明したが、 本発明はこの例に限定される ものではなく、 ガラス転移点が 2 5 0 C〕 以上の第 2の樹脂と、 ガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以下の第 1の樹脂とが積/ されてなる 樹脂材として、 この他種々の樹脂材を適用することができる。

また、 上述した第 1及び第 2の実施例においては、 インク供給源 から供給されるィンクを配給するィ ンク配給 Γ-段として、 インクバ ッファタンク 7 3 1 F及びインクバッファタンク 8 7 1 Fを用いた 例について説明した力 Ϊ、 本発明はこの例に限定されるものではなく、 ィンク配給 段として、 この他種々のィンク配給手段を適 fflするこ とができる。

また、 上述した第 2の実施例においては、 希釈液供給源から供給 され、 叶出時にィンクと混合される希釈液を配給する希釈液配給手 段として、 希釈液バッファタンク 8 7 1 Kを用いた例について説明 したが、 本発明はこの例に限定されるものではなく、 希釈液配給手 段として、 この他種々の希釈液配給手段を適用することができる。 産 業 上 の 利 用 の 可 能 性 本発明を適用した前述の第 1の発明のプリン夕装置においては、 吐出ノズルとこれに対応する圧力室間にこれら両者を連通するノズ ル導入孔を有する硬質部材が配置され、 第 2の発明のプリン夕装置 においては、 吐出ノズルとこれに対応する第 1の圧力室間、 定量ノ ズルとこれに対応する第 2の圧力室間にこれら両者を連通する第 1 のノズル導入孔ゃ第 2のノズル導入孔を有する硬質部材が配置され ているため、 加圧手段によって圧力室、 第 1の圧力室や第 2の圧力 室に圧力が印加された場合に、 これら圧力室内の圧力が有効かつ安 定して上昇し、 吐出ノズルや定量ノズルを樹脂部材に形成するよう にしていることから、 レーザに対する加工特性を十分満足して精度 良好に吐出ノズルゃ定 : ノズルが形成され、 生産性及び信頼性が向 上される。

また、 本発明を適用した前述の第 3の発明のプリ ン夕装置におい ては、 圧力室を圧力室形成部の一方の面側に形成し、 この面側に振 動板を配し、 この圧力室に液体を供給する液体供給路を圧力室形成 部の他方の面、 すなわち振動板が配されない吐出ノズル側に形成す るようにしており、 第 4の発明のプリンタ装置においては、 第 1及 び第 2の圧力室を圧力室形成部の一方の面側に形成し、 この面側に 振動板を配し、 第 1及び第 2の圧力室に液体を供給する第 1及び第 2の液体供給路を圧力室形成部の他方の面、 すなわち振動板が配さ れない吐出ノズルや定量ノズル側に形成するようにしているため、 振動板を接若する際に各液体供給路を接着剤によって埋めてしまう ことがなく、 振動板の接着工程を複雑化及び煩雑化することなく、 振動板が基台に高精度に接着され、 信頼性が向上される。

さらに、 本発明を適用した前述の第 5の発明のプリン夕装置及び 第 7の発明のプリンタ装置においては、 〖U:出ノズルに連通される圧 力室に液体を供給する液体供給路を圧力室配列方向や液体供給源か ら液体供給路に液休を供給する供給面に対して斜め方向に形成する ようにしており、 第 6の発明のプリン夕¾ ^及び第 8の発明のプリ ン夕装置においては、 吐出ノズルに連通される第 1の圧力室に液体 を供給する第 1の液体供給路を第 1の圧力室配列方向や液体供給源 から第 1の液体供給路に液体を供給する供給面に対して斜め方向に 形成するようにしているため、 圧力室配列方向や供給面に対して直 角な方向における液体供給路の長さが短くなり、 小型化される。 ま た、 吐出を行う吐出ノズルに圧力室及び第 1の圧力室を介して連通 する液体供給路及び第 1の液体供給路を各圧力室配列方向や液体供 給源から各液体供給路に液体を供給する供給面に対して斜め方向に 形成するようにしているため、 小型化されても、 これらの液体供給 路の さはある程度確保され、 吐出の勢いが確保される。

さらにまた、 本発明を適用した前述の第 9の発明のプリン夕装置 においては、 圧力室形成部の圧力室と液体供給路が連通しており、 これらの接続孔の溶液通過方向に :交する方向の断面積が、 液体供 給路の他の部分の溶液通過方向に I 交する方 の断面積よりも大き くなされており、 1 0の発明のプリン夕装置においては、 圧力室 形成部の第 1及び第 2の圧力室と第 1及び第 2の液体供給路が連通 しており、 これらの接続孔の溶液通過方向に直交する方向の断面積 が、 対応する第 1及び第 2の液体供給路の他の部分の溶液通過方向 に直交する方向の断面積よりも大きくなされているため、 圧力室と 液体供給路、 第 1及び第 2の圧力室と第 1及び第 2の液体供給路が 確実に接統され、 各液体供給路中における流路抵抗が略々一定とな り、 安定してインク或いは混合溶液が吐出される。 また、 このよう にすれば、 これら液体供給路の幅及び長さを大きくする必要がなく、 プリン トへッ ドが大型化することもない。

また、 本発明を適用した前述の第 1 1の発明のプリン夕装置にお いては、 圧力室のノズル導入孔との連通位 における幅を他の部分 の幅よりも小さく しており、 第 1 2の究明のプリン夕装置において は、 第 1の圧力 'Φ:の第 1のノズル導入孔との迚通位置における幅を 他の部分の幅よりも小さく しているため、 これら圧力室の壁面への 気泡の付着が抑えられ、 記 则像の画 Κが向上し、 信頼性が向上さ れる。

Claims

求 の 範 囲

1 . 圧力室と、 上記圧力室に液体を供給する液体供給路とを有する 圧力室形成部と、

上記圧力室を覆うように配置される振動板と、

丄:記振動板を介して h記圧力室に対応して配置される圧電素了-と、 上記圧力室に連通するノズル導人孔が形成される硬 部材と、 上 ¾ノズル導入孔に連通する吐出ノズルが形成される樹脂部材と を することを特徴とするプリン夕装 。

2 . 硬質部材が金属よりなることを特徴とする請求の範囲第 1项記 載のプリン夕装置。

3 . 金属が二ッケル或いはステンレススチールであることを特徴と する請求の範囲第 2項記載のプリン夕装置。

4 . 硬質部材と樹脂部材が積^されていることを特徴とする請求の 範 M第 1項記載のプリン夕装置。

5 . 硬質部材のノズル導入孔が、 樹脂部材の吐出ノズルよりも大き な径を有していることを特徴とする請求の範囲 ¾ 1項記載のプリン 夕装置。

6 . ノズル導入孔の樹脂部材側の ijy n部の周囲に突起部が形成され ていることを特徴とする請求の範囲第 1項記載のプリン夕装 ：。

7 . 硬 部材の厚さが 5 0 〔〃m〕 以上となされていることを特徴 とする請求の範囲第 1項記載のプリン夕装^。

8 . 樹脂部材が、 ガラス転移点が 2 5 0 〔°C〕 以下の樹脂よりなる ことを特徴とする請求の範囲第 1項記載のプリン夕装置。

9 . 樹脂部材が、 ガラス転移点が 2 5 0 〔 〕 以下の第 1の樹脂と ガラス転移点が 250 〔°C〕 以上の第 2の樹脂とが積層されたもの となされていることを特徴とする請求の範囲第 1項記載のプリン夕 装置。

1 0. 圧力室形成部の 方の面側に圧力室が形成され、 この面側に 振動板及び圧電素 fが ΚίΗされてなり、 圧力室形成部の他方の面側 に液体供給路が形成され、 この面側に硬質部材及び樹脂部材が配置 されてなることを特徴とする詰求の範囲第 1J¾記載のプリ ン夕装置。

1 1. 力室形成部が金属よりなることを特徴とする請求の範囲笫

1 0項記載のプリン夕装 。

1 2. 力室形成部の厚さ力³'、 0. 1 〔mm〕 以上であることを特 徴とする^求の範闻第 1 1 ¾1記載のプリン夕装置。

1 3. 複数の圧力室を所定方向に配列して有し、 各圧力室に応じて 液体供給路を冇し、 これら液体供給路に液体を供給する液体供給源 とを有し、 上記液体供給路が)十:力室の配列方向に対して斜め方向に 形成されていることを特徴とする 求の範 ffl第 1項記載のプリン夕 装置。

14. 各液休供給路が、 圧力 ¾の配列方 に対して 45° 以上， 8 0° 未満の角度で形成されていることを特徴とする^求の範囲第 1 3項記載のプリ ン夕装置。

1 5. 各液体供給路が、 それぞれ じ形状及び同じ長さを有するこ とを特徴とする請求の範囲第 1 3¾Ud載のプリ ン夕装置。

1 6. 圧力形成部が金屈よりなり、 これを孔加工して各圧力 ¾及び 各液体供給路が形成されている請求の範囲第 1 3頃記載のプリン夕 装置。

1 7. 複数の圧力室を所定方向に ί¾列して有し、 各 ίί^:.力室に応じて 液体供給路を有し、 これら液体供給路に液体を供給する液体供給源 とを有し、 上 体供給路が上記液体供給源から各液体供給路に液 体を供給する供給面に対して斜め方向に形成されていることを特徴 とする請求の範囲第 1項記載のプリン夕装置。

1 8 . 圧力室形成部の圧力室と液体供給路が連通しており、 これら の接続孔の溶液通過方向に直交する方 jの断面祯が、 液体供給路の 他の部分の溶液通過方向に直交する方向の断面積よりも大きいこと を特徴とする誥求の範囲節 1 0项記載のプリン夕装置。

1 9 . 接続孔の幅が圧力 形成部の^さよりも大きいことを特徴と する請求の範囲第 1 8项記載のプリン夕装 。

2 0 . 液体供給路の接続孔における幅と、 液体供給路の上記接統孔 以外の部分の幅のうち、 狭い方の幅が、 上記圧力室形成部の厚さ以 下の大きさとされていることを特徴とする請求の範囲第 1 8 if t]載 のプリ ン夕装置。

2 1 . 圧力室のノズル導人孔と連通する位置における幅が、 圧力室 の他の部分における幅よりも小さいことを特徴とする請求の範囲第 1項記載のプリン夕装置。

2 2 . ノズル導入孔連通位置近傍において圧力室の幅が、 上記ノズ ル導入孔連通位^に向かうに従って次第に減少するようになされて いることを特徴とする請求の範两第 2 1項記載のプリン夕装置。

2 3 . 圧力室のノズル導入孔連通位置での幅が、 ノズル導入孔の幅 と略同等であることを特徴とする^求の範囲第 2 1埙記載のプリン 夕装置。

2 4 . ノズル導入孔側の一端における吐出ノズルの内闳壁と、 吐出 ノズル側の一端におけるノズル ¾入孔の内周壁との幅方 |ujの最大離 間距離が 0 . 1 〔m m〕 以下であることを特徴とする請求の範囲第 2 1 ®記載のプリン夕装置。

2 5 . ノズル導入孔の幅が、 圧力室形成部の厚さの 2 . 5倍以下と されていることを特徴とする請求の範囲第 2 1項記載のプリンタ装 ίί¾。

2 6 . 圧力室形成部が金属よりなり、 これをエッチングして j王力室 及び溶液供給路が形成されていることを特徴とする請求の範 I用第 2 1項 載のプリ ン夕装置。

2 7 . 吐出媒体が導人される第 1の圧力室と上記第 1の圧力 ¾に¾ 出媒体を供給する第 1の液体供給路及び^量媒体が導人される第 2 の圧力室と上記第 2の圧力室に定 媒体を供給する第 2の液体供給 路を右する圧力室形成部と、

上記第 1の圧力室及び第 2の圧力室を覆うように配置される振動 板と、

記振動板を介して上記各圧力室に対応して配置される 電素子 と、

上記第 1の圧力室に連通する節 1のノズル導入孔及び上記第 2の 圧力 ¾に連通する第 2のノズル導入孔が形成される硬質部材と、 上記第 1のノズル導入孔に連通する吐出ノズル及び上記第 2のノ ズル導入孔に連通する定 Mノズルが形成される樹脂部材とを有し、 上記 ノズルから上 ¾i吐出ノズルに 1 けて定 媒体を滲み出さ せた後、 上記吐出ノズルから吐出媒体を吐出させて定量媒体と吐出 媒体を混合吐出させることを特徴とするプリンタ装 ί?。

2 8 . 硬 Π部材が金属よりなることを特徴とする 求の範囲第 2 7 ¾記載のプリンタ装 IS。 2 9 , 金属が二ッケル或いはステンレススチールであることを特徴 とする請求の範囲第 2 8項記載のプリン夕装置。

3 0 . 硬質部材と樹脂部材が積層されていることを特徴とする請求 の範囲第 2 7項記載のプリン夕装置。

3 1 . 硬質部材の第 1のノズル導人孔が、 樹脂部材の吐出ノズルよ りも大きな径を有し、 硬質部材の第 2のノズル導入孔が、 樹脂部材 の定量ノズルよりも大きな径を^していることを特徴とする請求の 範囲第 2 7項記載のプリン夕装置。

3 2 . 第 1のノズル 入孔及び第 2のノズル導人孔の樹脂部材側の 口部の周囲に突起部が形成されていることを特徴とする請求の範 囲第 7项記載のプリン夕装置。

3 3 . 硬質部材の厚さが 5 0 〔〃m〕 以上となされていることを特 徴とする請求の範囲第 2 7項記載のプリン夕装置。

3 4 . 樹脂部材が、 ガラス転移点が 2 5 0 〔 〕 以下の樹脂よりな ることを特徴とする請求の範囲第 2 7項記載のプリ ン夕装置。

3 5 . 樹脂部材が、 ガラス転移点が 2 5 0 〔 〕 以下の第 1の樹脂 とガラス転移点が 2 5 0 C〕 以上の第 2の樹脂とが積層されたも のとなされていることを特徴とする詰求の範閉第 2 7項記載のプリ ン夕装置。

3 6 . 圧力室形成部の一方の面側に第 1の圧力室及び第 2の圧力室 が形成され、 この面側に振動板及び圧電桌子が配置されてなり、 圧 力室形成部の他方の面側に第 1の液体供給路及び第 2の液体供給路 が形成され、 この面側に硬質部材及び樹脂部材が配置されてなるこ とを特徴とする請求の範囲第 2 7項記載のプリン夕装置。

3 7 . F 力室形成部が金属よりなることを特徴とする,清求の範囲第 3 6項記載のプリン夕装置。

3 8 . 圧力室形成部の厚さが、 0 . 1 〔m m〕 以上であることを特 徴とする請求の範囲第 3 7項記載のプリン夕装置。

3 9 . 拔数の第 1の圧力室を所定方向に配列して有し、 ^第 1の圧 力室に応じて第 1の液体供給路を有し、 複数の第 2の圧力室を所定 方向に配列して有し、 各第 2の圧力室に応じて第 2の液体供給路を 冇し、 これら第 1の液体供給路及び第 2の液体供給路に液体を供給 する液体供給源とを有し、 上記第 1の液体供給路が第 1の/ 力室の 配列方向に対して斜め方向に形成されていることを特徴とする ^求 の範囲第 2 7项記載のプリンタ装置。

4 0 . 各第 1の液休供給路が、 第 1の圧力室の配列方向に対して 4 5 ° 以上， 8 0 ° 未満の角度で形成されていることを特徴とする請 求の範囲第 3 9項記載のプリン夕装置。

4 1 . 各第 1の液体供給路が、 それぞれ同じ形状及び同じ長さを冇 することを特徴とする請求の範囲第 3 9项記載のプリン夕装匿。 4 2 . 圧力形成部が金属よりなり、 これを孔加 して各第 1の圧力 ¾及び各^ 1の液体供給路が形成されている 求の範囲第 3 載のプリン夕装置。

4 3 . 複数の第 1の圧力室を所定方^に配列して冇し、 各第 1の圧 力室に応じて第 1の液体供給路を有し、 複数の第 2の圧力室を所定 方向に配列して し、 各 2の圧力室に応じて第 2の液体供給路を 有し、 これら第 1の液体供給路及び第 2の液体供給路に液体を供給 する液体供給源とを有し、 ヒ記第 1の液体供給路が上記液体供給源 から各第 1の液体供給路に液体を供給する供給曲'に対して斜め方向 に形成されていることを特徴とする詰求の範囲第 2 7項記載のプリ ン夕装置。

4 4 . 圧力室形成部の第 1の圧力室と第 1の液体供給路、 第 2の圧 力室と第 2の液体供給路がそれぞれ連通しており、 これらの接続孔 の溶液通過方向に lii:交する方向の断面積が、 第 1の液体供給路及び

2の液体供給路の他の部分の溶液通過方向に直交する方向の断面 積よりもそれぞれ大きいことを特徴とする請求の範囲第 3 6項記載 のプリ ン夕装置。

4 5 . 接続孔の幅が圧力室形成部の^さよりも人きいことを特徴と する請求の範囲第 4 4项^載のプリン夕装^。

4 6 . 第 1の液体供給路の接続孔における幅と、 第 1の液体供給路 の上記接続孔以外の部分の幅のうち、 狭い方の幅が、 卜-記圧力室形 成部の厚さ以下の大きさとされるとともに、 第 2の液体供給路の接 続孔における幅と、 第 2の液体供給路の上記接続孔以外の部分の幅 のうち、 狭い方の幅が、 上 圧力室形成部の さ以下の大きさとさ れていることを特徴とする請求の範囲第 4 4項記載のプリン夕装; 。 4 7 . 1の圧力室の第 1のノズル導入孔と連通する位 における 幅が、 第 1の圧力室の他の部分における幅よりも小さく、 第 2の压 カ¾の第 2のノズル導入孔と連通する位置における幅が、 第 2の圧 力室の他の部分における幅よりも小さいことを特徴とする請求の範 開第 2 7項記載のプリン夕装置。

4 8 . 第 1のノズル導入孔連通位^近傍において第 1の圧力室の幅 が、 ヒ記第 1のノズル導入孔連通位^に向かうに従って次第に減少 するようになされており、 第 2のノズル導人孔連通位 ^近傍におい て第 2の/ i:力室の幅が、 上記第 2のノズル導人孔連通位^に向かう に従って次笫に減少するようになされていることを特徴とする請求 の範囲第 4 7項 ¾載のプリン夕装置。

4 9 . 第 1の圧力室の第 1のノズル導入孔連通位置での幅が、 第 1 のノズル導入孔の幅と略同等であり、 第 2の圧力室の第 2のノズル 導入孔連通位置での幅が、 第 2のノズル導入孔の幅と略同等である ことを特徴とする請求の範囲第 4 7 ¾記載のプリン夕装置。

5 0 . 第 1のノズル導入孔側の一端における吐出ノズルの内周壁と、 吐出ノズル側の一端における第 1のノズル導入孔の内周壁との幅方 向の最大離問距離が 0 . 1 〔m m〕 以下であり、 第 2のノズル導人 孔側の一端における定量ノズルの内周壁と、 定 ノズル側の一端に おける第 2のノズル 入孔の内周" との幅方向の最大離間距離が 0 .

1 〔m m〕 以下であることを特徴とする請求の範囲第 4 7项記載の プリン夕装置。

5 1 . 第 1のノズル導入孔及び第 2のノズル導入孔の幅が、 圧力室 形成部の さの 2 . 5倍以 ドとされていることを特徴とする請求の 範囲第 4 7项, 載のプリン夕装置。

5 2 . 圧力室形成部が金属よりなり、 これをエッチングして第 1の K力室及び第 2の圧力室、 第 1の溶液供給路及び第 2の溶液供給路 が形成されていることを特徴とする請求の範囲第 4 7項記載のプリ ン夕装置。