WO1996004985A1 - Vacuum sealing structure - Google Patents

Description

明 細 書

真空シール構造 技術分野

本発明は、 大気に対 して真空状態を維持する真空シール構造に係り 、 詳 し く は、 真空槽と他の部材又は管と管を真空状態を維持して連結する 際な どに有用な真空シール構造に関する。

背景技術

真空蒸着装置、 スパ ッ タ リ ング装置、 プラズマ発生装置、 高真空実験 装置な どの各種真空装置に、 フ ラ ンジを介して監視窓 （ ビューイ ングポ ー ト ） などの部品を真空シールして取り付けるこ とが従来から行なわれ ている。

第 1 1 図は、 従来のビューイ ングポー 卜 4 1 ' の取り付け構造を示す 断面図である。

図中、 1 3 は真空シール構造に連結される配管であ り 、 その下端は図 示を省略する真空槽に溶接され、 その上端は真空シール構造の一部を榷 成するナイ フエッ ジ型の本体側フラ ンジ 1 1 の内周に突出 した突出部 1 1 e と溶接 （ 1 3 aは溶接部を示す。 ） されている。 前記本体側フ ラ ン ジ 1 1 の上面には、 ナイ フエッ ジ 1 1 dが形成されている。

一方、 ビューイ ングポー ト 4 1 ' は、 ナイ フエッ ジ型の外側フラ ンジ 2 3 に コバール製の円筒体 7 1 を溶接 （ 7 3 は溶接部を示す。 ） し、 こ の円筒体 7 1 にガラス板 4 5 を封着 （ 4 7 は封着部を示す。 ） してな り 、 こ のガラス板 4 5 を通 して真空室の内部を観察する。 ビューイ ングボ 一卜 4 1 ' は、 前記外側フ ラ ンジ 2 3 と本体側フ ラ ンジ 1 1 との間に金 属ガスケ ッ ト 3 3 を挟み込んで圧締するこ とによ りナイ フエッ ジ 1 1 d を金属ガスケ ッ ト 3 3 に く い込まさせて真空シールを実現している。 このよ う に、 ビューイ ングポー ト等の異種の部品又は異種の材料 （被 真空シール体） を真空シールして取り付ける際には、 フラ ンジとガスケ ッ 卜 とを用いたシール構造を利用 し、 外側フ ラ ンジ 2 3に異種の部品又 は異種の材料を溶接又は封着するこ とによ り真空シールを実現している 第 1 2図は、 従来の管と管を真空状態を維持して連結する構造を示す 断面図である 。

図中、 1 3 ' 及び 7 1 ' は真空シール構造に連結される配管であ り、 それらの端は、 フ ラ ンジ 2 3及び 2 3 ' に溶接され、 該フ ラ ンジ 2 3及 び 2 3 ' の各端には、 真空シール構造の一部を構成するナイ フエッ ジ 2 3 d及び 2 3 d ' が各々形成されている。 そ して、 前記フ ラ ンジ 2 3 及びフ ラ ンジ 2 3 ' との間に金属ガスケッ ト 3 3を挟み込んで圧締する こ と によ り ナイ フエッ ジ 2 3 d及び 2 3 d ' を金属ガスケ ッ ト 3 3にく い込まさ せて真空シールを実現している。

しか しながら、 前述のシール構造の場合には溶接工程又は封着工程を 必要とする ためコス トの上昇を紹き、 更に、 溶接や封着の際に部品の損 傷を発生する可能性があ った。 そ して、 真空装置の装着後、 ガラス板 4 5等の部品の一部を破損したと き は、 外側フラ ンジ 2 3、 該外側フ ラン ジ 2 3 と溶接 した円筒体 7 1 及び該円筒体 7 1 と封着したガラス板 4 5 によ り構成される ビューイ ン グポー ト 4 1 ' ごと、 又は管 7 1 ' と フ ラ ンジ 2 3 ごと交換 しなければならないため、 メ ンテナンス費用が増大し ていた。

従って、 本発明は、 真空を内在する配管をフ ラ ンジに溶接する必要が な く 、 製造な らびに保守 ' 交換が容易な真空部品等のシール構造を提供 する こ と を 目的と している。 発明の開示

本発明は、 上述事情に鑑みなされたものであって、 第 1 の接続部 （ 1 3 、 5 3 ) と第 2 の接続部 （ 4 3 ) とを、 ガスケ ッ ト （ 3 1 ) を介 して 接続する真空シール構造 （ 1 ) において、

前記第 1 の接続部 （ 1 3 ) 及び第 2の接続部 （ 4 3 ) の少な く とも一 方が、 真空路を構成する管部材の端部を外方に開拡した鍔状部 （ 4 3 a ) と、 環状のテ一パ 冓 ( 2 1 a ) を有する支持部材 （ 2 1 、 2 1 ' ) と 、 を有 し、

前記鍔状部 （ 4 3 a ) —面に前記ガスケ ッ ト （ 3 1 ) を直接接触する と共に、 該鍔状部 （ 4 3 a ) の他面に前記テ一パ清 ( 2 1 a ) を接触し て、 前記支持部材 （ 2 1 ) を締付部材 （ 1 5 ) にて締付けるこ とによ り 、 テーパ状に形成された前記鍔状部 （ 4 3 a ) に前記ガスケッ ト （ 3 1 ) を圧締 してなる真空シール構造 （ 1 ) にある。

また、 前記支持部材 （ 2 1 ) が前記鍔状部 （ 4 3 a ) から離隔可能で ある と好ま しい。

更に、 前記支持部材 （ 2 1 ) が複数に分割されてもよい。

また、 前記ガスケ ッ ト （ 3 1 ) が環状であ って断面が矩形である と好 ま しい。

ま た、 前記ガスケ ッ ト （ 3 1 ) が金属製である と更に好ま しい。

そ して、 前記テーパ溝 （ 2 1 a ) が垂直な外側壁 （ 2 1 b ) を有して も よい。

以上の構成に基づき 、 内側面がテーパ面を形成する一対のフ ラ ンジ間 に、 矩形金属ガスケ ッ ト （ 3 1 ) と ビューイ ングポー ト （ 4 1 ) 等の被 真空シール体 （ 2 ) の板状端部 （ 4 3 a ) とを当接させて圧締するこ と によ り 、 被真空シール体 （ 2 ) を簡単にシールする真空シール構造を実 現で き る。 ま た、 内側面がテ一パ面を形成する一対のフ ラ ンジ （ 1 1 ' 、 2 1 ， ) 間に、 一対の配管の端部を外方に開拡した鍔状部 （ 4 3 a ) に矩形金 属ガスケ ッ ト （ 3 1 ) を直接接触する と共に、 該鍔状部 （ 4 3 a、 5 3 a ) の他面に前記テーパ溝 （ 2 1 a ' 、 1 1 a， ) を接触して、 前記フ ラ ンジ （ 2 1 ' ) を締付部材 （ 1 5 ) にて締付け、 テーパ状に形成され た前記鍔状部 （ 4 3 a、 5 3 a ) に前記ガスケッ ト （ 3 1 ) を圧締する こ とによ り 、 配管 （ 4 3 、 5 3 ) を簡単にシールする真空シール構造を 実現で き る 。

こ の真空シール構造 （ 1 ) によれば、 被真空シール体 （ 2 ) をフ ラ ン ジに固定する必要がないため、 固定のための溶接、 封着時の ト ラブルが 生 じる こ とがな く 、 ま た、 被真空シール体が破損した場合には、 それ自 身のみを交換すればよ く メ ンテナンスが容易である。

また、 フ ラ ン ジ （ 1 1 ' ) と配管 （ 5 3 ) 及びフ ラ ンジ （ 2 1 ' ) と 配管 （ 4 3 ) と を溶接する必要がないため、 溶接時の トラブルが生じる こ とがな く 、 配管 （ 4 3 、 5 3 ) が破損した場合は、 配管 （ 4 3 、 5 3 ) のみを交換すればよ く メ ンテナンスが容易である。

なお、 上述カ ツ コ内の符号は、 図面を参照するためのものであって、 本発明の構成をなんら限定するものではない。 図面の簡単な説明

第 1 図は、 本発明の真空シール構造の実施の形態を示す正面断面図で ある。

第 2図は、 第 1 図の矩形金属ガスケ ッ トの近傍を示す部分拡大断面図 である。

第 3 図は、 第 2図における状態から矩形金属ガスケ ッ トおよび板状端 部を除いた状態を示す部分拡大断面図である。 第 4 図は、 矩形金属ガスケッ ト （圧締による変形前） の正面断面図で ある。

第 5図は、 本発明の構成の一部であるビューイングポー 卜の部分切欠 き正面図である。

第 6図は、 本発明に基づく 真空シール構造を利用した電流導入端子の 部分切欠き正面図である。

第 7図は、 本発明に基づく 真空シール構造を利用したベローズの正面 断面図である。

第 8図は、 フ ラ ンジ部を一部変更した実施の形態を示す真空シール構 造の正面断面図である。

第 9図は、 第 8図の矩形金属ガスケッ トの近傍を示す部分拡大断面図 である。

第 1 0図は、 フ ラ ンジ部が二分割されている状態を示す斜視図である 第 1 1 図は、 従来例によるビューイ ングポー 卜の真空シール構造を示 す正面断面図である。

第 1 2図は、 従来例による管継手の真空シール構造を示す正面断面図 である。 発明を実施するための最良の形態

以下、 図面に沿って本発明の実施の形態について説明する。 尚、 第 1 図は本発明の構成を示しているが、 従来例と同一機能を有するものは同 一符号、 同一名称を使用して説明する。

第 1 図は本発明の真空シール構造の実施の形態を示す正面断面図であ り、 被真空シール体 （真空シール部品） と して円形のビューイ ングポー 卜 4 1 を用いた場合を示す。 第 2図は、 第 1 図の矩形金属ガスケッ ト周 辺の部分拡大断面図である。 第 3図は、 第 2図から矩形金属ガスケッ ト 3 1 及び板状端部 4 3 a (円筒体 4 3 ) を省略 した状態を示す。

ビューイ ングポー ト 4 1 は、 靦き窓と して機能するガラス板 4 5 と、 前記ガラス 4 5 と熟膨張係数が近いコバール等の金属製の円筒体 4 3 と からな り 、 ガラス板 4 5 と円筒体 4 3の上端部は、 ガラスによ り封着 （ 4 7 は封着を示す。 ) されて真空シールされている。 円筒体 4 3の他端 部である下方部は外側に屈曲 して板状端部 4 3 aを形成している。 前記 板状端部 4 3 a は、 外周に接近するに従い上方に傾斜 している。

真空装置本体 （不図示） も し く は真空槽 （不図示） から配管 1 3 が真 空シール して突設されてお り 、 これに対 して本体側フ ランジ 1 1 ( フ ラ ンジ） が溶接 （ 1 3 a は溶接部を示す。 ） して真空シールされている。 この実施例では、 本体側フ ラ ンジ 1 1 と してナイ フエッ ジ型フランジが 利用されてお り 、 そのナイ フエッ ジ 1 1 dの外周側のテーパ溝をシール 溝 （テーパ溝） 1 1 a と して利用 しており 、 このシール溝 1 1 aの外周 側壁 1 1 b は略垂直に設けられている。

この本体側フ ラ ンジ 1 1 のシール溝 1 1 a内に断面形状が矩形の矩形 金属ガスケ ッ 卜 3 1 が収納され、 円筒体 4 3 の板状端部 （鍔状部） 4 3 aを介 して外側フ ラ ンジ （支持部材） 2 1 とボルト 1 5 によ り圧締され ている。

本体側フ ラ ンジ 1 1 の内周側壁 1 1 c (テーパ面 ： 第 3図） と矩形金 属フ ラ ンジ 3 1 との圧接部 A (第 2図） 、 および板状端部 4 3 a と矩形 金属フ ラ ンジ 3 1 との圧接部 Bでシールされ、 矩形金属フ ラ ンジ 3 1 の 内周面側 3 1 c が外部に対 して真空シールされる。 尚、 圧接部 A及び 圧接部 B は、 矩形金属フ ランジ 3 1 の内側の角部 X及び Y (第 4図） が 圧締される こ とによ り塑性変形して本体側フラ ンジ 1 1 の内周側壁 1 1 c及び円筒体 4 3 の板状端部 4 3 aの平面に倣って平面状態になっ たも のである。

本体側フ ラ ンジ 1 1 および外側フ ラ ンジ 2 1 ともに、 シール溝 1 l a ， 2 1 aは深さ方向に幅が狭まる よう に内周側壁 1 1 c ， 2 1 cがテ一 パ面を含んで形成されている。 第 3 図に示 したテーパ角 α , |8 の大き さ は問わないが、 1 5〜 2 5度程度が好適であ り 、 典型的には 2 0度であ る 。 また、 第 1 図、 第 2図及び第 3図では外周側壁 1 1 b , 2 1 b は垂 直面と したがテ一パ面と してもよい。 更に、 第 1 図及び第 2図では、 本 体側フ ラ ンジ 1 1 と してナイ フエッ ジ 1 1 d を有するものを示 したが、 外側フ ラ ン ジ 2 1 と同様のシール漓を形成してもよ く 、 ナイ フエッ ジを 形成する必要はない。

板状端部 4 3 aの厚さ は、 特に限定する必要はなく 、 矩形金属ガスケ ッ ト 3 1 と外側フ ラ ンジ 2 1 との間で挟持でき る程度であればよい。 な お、 板状端部 4 3 aの屈曲角は外側フ ラ ンジ 2 1 のテーパ角 0 と正確に 一致 している必要はない。 すなわち、 板状端部 4 3 a と外側フ ラ ンジ 2 1 のテ一パ面と は面接触している必要はない。

各部材の素材は特に問わないが、 その一例を挙げればフ ラ ンジ 1 1 ， 2 1 がステ ン レス、 矩形金属ガスケッ ト 3 1 が無酸素銅、 板状端部 4 3 a を含めて円筒体 4 3 がコバールなどの金属である。 なお、 コバールは ガラス板 4 5 との封着を前提と して選定されているので、 被真空シール 体がビューイ ングポー ト 4 1 以外のものとなれば、 それに応じて他の封 着可能な素材が選択される。

上記構成において、 ボル ト （締付手段） によ り本体側フ ラ ンジ 1 1 及 び外側フ ラ ンジ 2 1 を相互に接近させる。 従って、 本体側フラ ンジ 1 1 及び外側フ ラ ンジ 2 1 のシール溝 （テーパ溝） 2 1 aが鍔状部 4 3 a を 矩形金属ガスケッ ト 3 1 に圧締する。 当該圧締によ り 、 該矩形金属ガス ケッ ト 3 1 の内側の角部 X及び Y (第 4 図） が塑性変形 して第 2図に圧 接部 A及び B と して示す如く 前記鍔状部 4 3 a及び前記本体側フ ラ ンジ 1 1 のシール清 （テーパ搆） 1 1 aのテーパ平面に倣って平面状にな り 、 真空の気密を維持 して大気に対してシールする。

第 5 図、 第 6 図及び第 7 図は、 被真空シール体の一例について示す説 明図であ り 、 第 5 図は既に示したビューイ ングポー 卜 4 1 を示す部分切 欠き断面図である 。 ガラス板 4 5 に対して、 板状端部 4 3 aを有する円 筒体 4 3 がガラスからなる封着部 4 7 によ り封着されている。

第 6 図は、 電流導入端子 5 1 に対して、 板状端部 4 3 aを有する円筒 体 4 3 が封着されている。

第 7 図は、 ベローズ 6 1 の一端側に対して、 板状端部 4 3 aを有する 円筒体 4 3 が封着 （ 6 1 aは封着） されている。 なお、 ベローズ 6 1 の 他端側には所望の部材、 装置、 真空室等が真空シールされて結合される 次いで、 第 8 図、 第 9図及び第 1 ◦図に沿って一部変更した実施の形 態について説明する 。 尚、 先の実施の形態に対して、 本体側フ ランジ及 び接続部 （配管） 1 3 が相違するため、 他の同一部分は、 同一符号を付 して説明を省略する。

本実施の形態は、 真空を内在する配管である円筒体 4 3及び 5 3 を真 空状態を維持して連結する真空シール構造 1 であ り 、 第 8図は、 その正 面断面図を示 している。

配管である円筒体 5 3の上端には、 前述の実施の形態の円筒体 4 3 と 同様、 外方に開拡した鍔状部 4 3 aを形成してある。 フ ランジ 1 1 ' 及 び 2 1 ， は、 前述の実施の形態の外側フ ラ ンジ 2 1 と同様にシール溝 ( テーパ清） 1 1 a ， 及び 2 1 a ' が形成してある。 前記フ ラ ンジ 1 1 ' 及び 2 1 ' は、 第 1 0 図に示す通り 、 各々 2個に分割されているため、 予め円筒体 4 3及び 5 3 に通しておく 必要はない。 上記構成において、 ボルト （締付手段） によ り フ ラ ンジ 1 1 ' 及び 2 1 ' を相互に接近さ せる。 従って、 フ ラ ンジ 1 1 ' 及び 2 1 ， のシール 溝 （ テーパ清） 1 1 a * 及び 2 1 a ， が鍔状部 4 3 a及び 5 3 aを矩形 金属ガスケッ ト 3 1 に圧締する。 当該圧締によ り 、 該矩形金属ガスケッ 卜 3 1 の内側の角部 X及び Y (第 4図） が塑性変形して第 9図に圧接部 A及び B と して示す如 く 前記鍔状部 4 3 a及び 5 3 aの平面に倣って平 面状にな り 、 真空の気密を維持して大気に対 してシールする。

【実施例】

本発明に基づ く 真空シール構造の実験例においては、 本体側フ ラ ンジ 1 1 および外側フ ラ ンジ 2 1 と してステ ン レス製のものを用い、 第 1 図 、 第 2 図及び第 3 図に示 したシール構造を製作した。 こ こ で、 円筒体 4 3 と してはコバール製のものを用い、 矩形金属ガスケ ッ ト と しては無酸 素銅製のものを用いた。

締付け トルク 7 1 k gで外側フランジ 2 1 を圧締し、 2 4 °Cノ分で 3 5 0 °Cまで上昇させ、 当該 3 5 0 °Cの状態を 3 0分間維持し、 ついで室 温に戻す熱サイ ク ルテス トを 1 0 回繰り返したと こ ろ、 ビューイ ングポ ー ト 4 1 を取 り付けた真空槽内のリ ーク レー トは 1 X 1 0 - ^{1 1} T o r r 以下であ り 、 良好な非リ ーク特性が得られた。

以上説明 したよ う に、 本発明による と、 内側面がテーパ面を形成する 一対のフ ラ ンジ間に、 矩形金属ガスケ ッ ト と ビューイ ングポー ト等の被 真空シール体の板状端部とを当接させて圧締するこ と に よ り 、 被真空シ 一ル体を簡単にシールする真空シール構造を実現できる。

また、 こ の真空シール構造によれば、 被真空シール体をフ ラ ンジに固 定する必要がないため、 固定のための溶接、 封着時の ト ラブルが生じる こ とがな く 、 ま た、 被真空シール体が破損 した場合にはそれ自身のみを 交換すればよ く メ ンテナンスが容易である。

更に、 溶接性、 放出ガス等の特性が要求され高価である真空用材料は 、 配管の部材である円筒体のみの使用でよ く 、 フ ラ ンジ部材の材質は限 定されないため、 真空シール構造が安価に製作で き る と共に、 配管の部 材である円筒体と フ ラ ンジ部材を溶接する必要がないため、 フ ラ ンジ部 材は再利用可能であ り 、 経済的である。

そ して、 フ ラ ン ジ部材を 2個に分割する構成によ り 、 配管の部材であ る円筒体を連結する作業が容易になる と共に、 予め円筒体にフ ラ ン ジ部 材を嵌合させてお く 必要がな く 管継手の製造が容易とな り コス ト ダウ ン が図れる。 つ ま り 、 円筒体にフ ラ ンジ部材を嵌合させた状態で該円筒体 の両端に鍔状部を形成する複雑な作業が合理化される。 産業上の利用可能性

以上のよ う に、 本発明に係る真空シール構造は、 真空蒸着装置、 スパ ッ 夕 リ ング装置、 プラズマ発生装置、 高真空実験装置などの各種真空装 置に、 フ ラ ンジを介 して監視窓 （ビューイ ン グポー ト ） などの部品を真 空シー ル して取り付ける場合に利用する こ とができ る。 この場合、 監視 窓 （ ビューイ ングポー ト） などの部品を交換する際、 フラ ンジは交換せ ずに経費の節減がで き る と共に、 監視窓 （ ビューイ ングポー 卜） とフ ラ ンジ との溶接も不要になるため、 フ ランジの材質が監視窓 （ ビューィ ン グポー ト ） との溶接に基づく 制約を受ける こ とな く 自由に選定する こ と がで き る。

ま た、 前記監視窓 （ ビューイ ングポー ト ） に換えて、 電流導入端子に 利用 して真空中にある電装部材、 ァクチユエ一夕に電流を導入する場合 の真空シール構造に利用する こ とができ る。

更に、 大気中の回転を真空中に伝達する場合、 ベローズの端に鍔状部 を形成 した真空シール構造を利用するこ とがで きる。

そ して 、 真空を内在する配管を連結する場合、 連結部に本発明の真空 シール構造を利用する こ とがで き る。 この場合、 管部材である円筒体を 交換する際、 フ ラ ンジは交換せずに経費の節減ができる と共に、 円筒体 と フ ラ ンジとの溶接も不要になるため、 フ ラ ンジの材質が円筒体との溶 接に基づく 制約を受けるこ となく 自由に選定するこ とがで き る。

Claims

請 求 の 範 囲

1 . 第 1 の接続部と第 2の接続部とを、 ガスケ ッ トを介 して接続する真 空シール構造において、

前記第 1 の接続部及び第 2の接続部の少な く とも一方が、 真空路を構 成する管部材の端部を外方に開拡した鍔状部と、 環状のテーパ淸を有す る支持部材 と、 を有 し、

前記鍔状部一面に前記ガスケッ 卜を直接接触する と共に、 該鍔状部の 他面に前記テ一パ清を接触して、 前記支持部材を締付部材にて締付ける こ と に よ り 、 テーパ状に形成された前記鍔状部に前記ガスケ ッ トを圧締 してなる真空シール構造。

2 . 前記支持部材が前記鍔状部から離隔可能である請求項 1 記載の真空 シール構造。

3 . 前記支持部材が複数に分割されてなる請求項 2記載の真空シール構

OH o

4 . 前記ガスケ ッ トが環状であって断面が矩形である請求項 1 ない し 3 のいずれか 1 項記載の真空シール構造。

δ . 前記ガスケ ッ トが金属製である請求項 4項記載の真空シール構造。

6 . 前記テーパ溝が垂直な外側壁を有する請求項 1 ない し 5のいずれか 1 項記載の真空シール構造。

補正書の請求の範囲

[ 1 9 9 5年 1月 2 2日 （2 2 . 0 1 . 9 5 ) 国際事務局受理：出願当初の請求の範囲 2は取り下げ られた：出願当初の請求の範囲 1， 3及び 4は補正された；他の請求の範囲は変更なし。 （ 1頁） ]

1 . (補正後） 第 1 の接続部と第 2の接続部とを、 ガスケ ッ トを介 して 接続する真空シール構造において、

前記第 〗 の接続部及び第 2の接続部の少な く とも一方が、 真空路を構 成する管部材の端部を外方に開拡 した鍔状部と、 該管部材と别体からな り かつ環状のテーパ淸を有する支持部材と、 を有し、

前記鍔状部一面に前 dガスケ ッ 卜を直接接触する と共に、 該 状部の 他面に前記テーパ潢を接触して、 前記支持部材を締付部材にて締付ける こ と に よ り 、 千 一パ状に形成された前記鍔状部に前記ガスケ ッ トを :締 してなる真空シール構造。

2 . (削除）

3 . (補正後） 前記支持部材が複数に分割されてなる請求項丄記載の真 空シ ー ル構造。

4 . (補正後） 前記ガスケ ッ トが環状であって断面が矩形である請求項 1 又は 3 記載の真空シール構造。

δ . 前記ガス ケ ッ 卜が金属製である請求項 4記載の真空シール構造。

6 . 前記テーパ清が垂直な外側壁を有する請求項 1 ない し 5のいずれか 1 項記載の真空シール構造。

1 3

補正された用紙 （条約第 19条） 条約 1 9条に基づく説明書 請求の範囲第 1 項は、 環状のテーパ溝を有する支持部材が、 第 1 の接 続部及び第 2 の接続部の少な く とも一方が有する真空路を構成する管部 材と別体からなる こ と を明確に した。 引用例 （特開平 5 — 2 4 8 5 4 2号） は、 配管 2 1 と フ ラ ン ジ本体 2 3 を気密的に溶接 （ 同公報第 5頁第 7撊第 2 1 行目 ） するこ とによ '一 体と な っている 。 一方、 別の引用例 （実開昭 5 9 — 4 8 5 7号） も、 前 述の引用例と 同様、 真空容器 2 と フラ ンジ 3 を一体ものの材料によ 形 成されている （同公報第 2図、 第 3図） 。 従って、 両引用例において、 配管部 （配管 2 1 、 真空容器 2 ) とフ ラ ンジ部 （ フ ラ ンジ本体 2 3 、 フ ラ ン ジ 3 ) とが別体でないため、 前記配管部又は前記フ ラ ン ジ部のいず れか一方が破損して交換する場合、 前記配管部及び前記フ ラ ンジ部の双 方を交換 しなければな らず、 保守における コス トの上昇を招く 。 本発明は、 支持部材 （外側フ ラ ンジ 2 1 ) と、 真空路を構成寸る ^部 材の端部を外方に開拡した鍔状部 （板状端部 4 3 a ) が別体であるため 、 該支持部材又は該管部材のいずれか一方が破損して交換を必要とする 場合、 破損 した一方のみを交換すればよ く 、 保守におけるコス トの低減 が図れる効果をえたものである。

1：' -