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WO1988006948A1 - Procede permettant de determiner la forme d'une piece usinee - Google Patents

Procede permettant de determiner la forme d'une piece usinee Download PDF

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WO1988006948A1
WO1988006948A1 PCT/JP1988/000249 JP8800249W WO8806948A1 WO 1988006948 A1 WO1988006948 A1 WO 1988006948A1 JP 8800249 W JP8800249 W JP 8800249W WO 8806948 A1 WO8806948 A1 WO 8806948A1
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WO
WIPO (PCT)
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work
shape
probe
processed
laser
Prior art date
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Ceased
Application number
PCT/JP1988/000249
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English (en)
French (fr)
Inventor
Koichiro Kitamura
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kitamura Machinery Co Ltd
Original Assignee
Kitamura Machinery Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kitamura Machinery Co Ltd filed Critical Kitamura Machinery Co Ltd
Publication of WO1988006948A1 publication Critical patent/WO1988006948A1/ja
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Ceased legal-status Critical Current

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    • G01B11/002Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
    • G01B11/005Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • G05B2219/50Machine tool, machine tool null till machine tool work handling
    • G05B2219/50252Replace, change tool with tracer head, probe, feeler

Definitions

  • This invention relates to a method for measuring the shape of a machined workpiece.
  • the machining center is equipped with multiple tools, and can perform various types of processing on the work on the table.
  • To measure the geometric shape of a machined workpiece remove the machined tool from the table of the machining center and remove it from the machining center. And fix it to the table of the 3D measuring instrument away from the center. Then, the probe of the 3D measuring machine is brought into contact with the work, and the geometrical shape of the work is measured.
  • the present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and a method of measuring the shape of a processed work capable of efficiently measuring the shape of a processed work.
  • the purpose is to provide.
  • the work is set to a tape, and the work is processed by the relative movement of the work and the tool, and the work is set to the tape. Measuring the geometrical shape of the processed workpiece by the relative movement between the processed workpiece and the probe device. This is a shape measurement method.
  • FIG. 1 is a view showing the concept of a machining center for implementing the method for measuring the shape of a processed work according to the present invention.
  • FIG. 2 is a perspective view showing an example of a machining center.
  • FIG. 3 is a side view of this example.
  • FIG. 4 is a perspective view showing a tape laser measuring device.
  • FIG. 5 is a diagram showing a peripheral portion including a laser length measuring device and a probe device.
  • FIG. 6 is a perspective view showing the probe and the work on the table.
  • FIG. 5 shows the outline of a machining center for carrying out the method of the present invention.
  • the machining center 1 includes a CNC device 2 and a probe device 3.
  • the machining center 1 shown in Fig. 2 is composed of a base, a column 11, a GNG device 2, a spindle head 2, a saddle "I3, 14", a table 15 and a laser measuring device. It has 16.
  • the spindle head 12 has a spindle 20, a main motor 21, and an automatic tool changer 22.
  • the probe device 3 can be detachably attached to the spindle head 12. For example, this installation can be done with the usual collet chuck type. .
  • an end mill 23 is detachably attached to the spindle 20.
  • the end mill 23 has a holder 23a (see Fig. 3) .
  • the probe device 3 has a holder 3a, and both holders are spinning. It can be set to be removable to dollar 20.
  • the end mill 23 and the automatic tool changer 22 such as the tool 22a can be exchanged in a usual manner.
  • the probe device 3 is substantially the same as that used for a normal three-dimensional measuring machine.
  • the device 3 has an actuator 61 for controlling the posture of the probe, and the probe 60 is driven by the operation of the actuator 60. As shown by the dashed line, it can be rotated by a predetermined angle.
  • the column 11 is provided with a support motor 24. On the side of the column 11, the laser head 40 of the laser measuring device 16 and the polarizing beam splitter 4 ⁇ are fixed. Yes. Further, a corner cap 42 is fixed to the spindle head 12.
  • a saddle 13 is fixed on the base 10.
  • the saddle 13 is provided with a saddle 14 so as to be slidable.
  • a table ⁇ 5 is provided so as to be slidable.
  • the saddle 13 has a built-in support motor 30.
  • a saddle motor 14 is provided for the saddle 14.
  • a work W is detachably fixed on the table 15.
  • a nut 33 is engaged with the sending screw 32. Nut 33 is fixed to spindle head 12. Accordingly, when the servomotor 24 is rotated, the spindle head 12 can be moved along the arrow Z direction.
  • a feed screw 26 is attached to the support motor 30.
  • a nut 27 is engaged with the feed screw 26.
  • the nut 27 is fixed to the saddle 14. By rotating the saddle motor 30, the saddle 14 can be slid in the Y-axis direction.
  • a feed screw 28 is attached to the thermomotor 31. This feed screw 28 meshes with the nut 29.
  • the nut 29 is fixed to the table 15. This allows the table 15 to slide in the X-axis direction (see Fig. 2) by rotating the servomotor 31.
  • the beam splitter 43 is fixed to the base ⁇ 0.
  • a corner cap 45 is fixed to the saddle 14.
  • a corner cube '44 is fixed to the table 15.
  • the laser length measuring device # 6 includes a laser head 40, a polarization beam splitter 41, a cone cube 42, 44, 45, and a beam splitter. And a counting section 53 to 55. These counting units 53 to 55 are connected to the CNC device 2 and the data processing unit 62. That is, the counting units 53 to 55 convert the counted values into distances in the X, ⁇ , and Z axes, and send the converted values to the CNC device 2 and the data processing unit 62. It is ready to be sent.
  • the laser head 40 has a laser light source 46, a polarizing plate 47 or 49 and a photodetector 50 or 52.
  • the laser light source 46 is preferably, for example, a He-Ne laser.
  • the laser light source 46 is of a single-frequency oscillation type in this embodiment.
  • the laser light L emitted from the laser light source 46 is divided into two laser lights L1 and L2.
  • the laser beam L 1 is reflected by the corner tube 42 and the polarized beam splitter 41, passes through the bat light plate 47, and passes to the photodetector 50. Reach.
  • the other laser beam L2 is split by the beam splitter 43 into laser beam L3 and L4.
  • the laser beam L 3 is reflected by the corner tube 45 and is beam-splitter 43 and polarized beam-splitter 41.
  • the light is received by the photodetector 50 through the polarizing plate 48.
  • the laser beam L 4 is reflected by the corner tube 44 and the beam splitter 43 to form a polarized beam splitter 41 and a polarized beam splitter 41.
  • the light is received by the photodetector 52 through the polarizing plate 49.
  • the signal GL 1 from the photodetector 50 is input to the counting section 53.
  • the signal CL 3 output from the photodetector 51 around the same time is input to the counting section 54.
  • the signal CL 4 output from the photodetector 52 is input to the counting section 55.
  • These counting sections 53 or 55 are usually used.
  • the printer 56 and the display 57 are connected to the CNC device 2.
  • the counting units 53 to 55 of such a laser length measuring device 16 count the number of movements of the interference hos and convert them into distances in the Z, Y, and X-axis directions. It has become so .
  • This type of laser Measuring device ⁇ 6 is a commonly used device.
  • thermomotors 28, 30, 24 are each connected to the CC device 2. These thermomotors 28, 30, 24 are operated based on a command of the CNC device 2.
  • the probe 60 of the probe device 3 can send a contact signal to the data processing section 62.
  • a printer 63 and a display 64 are connected to the data processing section 62.
  • the data processing unit 62 can measure the geometric shape of the mark W (see FIG. 4), for example, as the geometric shape.
  • the data processing unit 62 and the probe g3 are commonly used in a three-dimensional measuring machine. Based on the geometric shape measurement program, commands can be issued to the thermomotors 28, 30 and 24 and the actuator 61.
  • FIG. 6 shows the hole H. After the hole H is formed, the spindle head 12 in FIG. 2 is raised to a predetermined position.
  • the shape of the hole H in FIG. 6 is measured.
  • the processed work W is not removed from the table 15.
  • Fig. 3 remove end mill 23 from spindle 20 and Attach probe device 3 to spindle 20.
  • the connection line of the probe 60 and the connection line of the actuator 61 are connected to the data processing unit 62 via a connector (not shown). And connect it to the electrical outlet.
  • the servomotors 28, 30, 24 are activated based on the geometric shape measurement program of the data processing section 62, and the probe 60 is connected to the workpiece W. It moves by contacting the upper surface and the surface of the hole H.
  • the second processing is performed based on the program of the data processing section 62.
  • the actuator 60 shown in the figure can be operated to turn the probe 60 horizontally.
  • the data processor 62 determines the geometric shape of the work.
  • the laser length measuring device 16 When processing the work, the laser length measuring device 16 must be placed on the end mill 23 and the table 15 on the X, ⁇ , and Z axes. It measures the relative movement distance between the robot and the work W. When the shape of the worked workpiece is measured by the probe device 3, the laser length measuring device 16 may be used to measure the shape of the workpiece in the X, ⁇ , and Z axes. The relative movement distance between the probe device 3 and the work W on the table 15 is measured.
  • the length measuring device is a laser encoder and a linear encoder. It is good with an expression.
  • the machining center can be horizontal or other forms of comfort.
  • the machining center may be equipped with an automatic exchange device for the props. It can accommodate multiple probe devices and can exchange the probe of the spindle head and one probe of the probe automatic exchange device.
  • the laser measuring device uses a two-frequency oscillation type laser light source.
  • the present invention is useful for measuring the shape of a worked workpiece. There is no need to reconfigure the processed work.

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Description

明 細 書
加 工 ず み ウ ー ク の 形状測定方法
技術分野
こ の発 明 は加工ず み ワ ー ク の形状測定方法 に 関 す る 。
背景技術
た と え ばマ二 シ ン グセ ン タ は 、 複数の ツ ー ルを備え て お り 、 多種の加 工 を テ ー ブル上 の ワ ー ク に 施せ る 。 加 工 ず み の ワ ー ク の幾何学的形状 を測定 す る場合 は 、 加 工ず み の ヮ 一ク を マ 二 シ ン グセ ン タ の テ ー ブルか ら はず し て 、 マ ニ シ ングセ ン タ か ら 離 れた 3 次元測 定 機 の テ ー ブル に 固定 す る 。 そ の よ う に し て か ら 3 次元 測定 機の プ ロ ー ブ装置を ワ ー ク に接触さ せて 、 ワ ー ク の幾何学的形状を測定 す る ので あ る 。
し か し 、 加 工 ず みの ワ ー ク をマ 二 シ ン グセ ン タ の テ ー プ ルか ら 3 次元測定機の テ ーブル に 再設定 し な け ればな ら な い ので 、 測定作業が 面倒 で 時間 が かかる 。
発明 の 開示
こ の発明 は上 記問題点を解決す る た め に な さ れた も ので あり 、 加 工ず みの ワ ー ク の形状を 効率よ く 測定 で き る加工 ずみ ワ ー ク の形状測定方法を提供 す る こ と を 目 的 と す る 。
こ の発明 は ワ ー ク を テ 一 プル に 設定 し て 、 こ の ワ ー ク と ツ ー ルの相対移動 に よ り こ の ワ ー ク を加 工 し 、 前記テ ー プ ル に 設定 さ れ て い る 前記加 工 ず みの ワ ー ク と プ ロ ー ブ装置 と の相対移動 に よ り こ の加工ず み ワ ー ク の幾何学的形状 を 測定 す る加 工 ず み ワ ー ク の形状測定方法で あ る 。
し た が つ て こ の発明 は 、 ワ ー ク を加 工後 、 加 工ず.み の ヮ 一クの再設定をする必要がな く 、 加工ずみの ワ ー クの形状 を効率よ く 測定できる 。
図面の簡単な説明
第 1 図はこの発明の加工ずみの ワ ー ク の形状測定方法を 実施する た めのマシニ ングセ ン タ の概念を示す図である 。
第 2 図はマ二シングセ ンタ の例を示す斜視図である 。 第 3 図はこ の例の側面図である 。
第 4 図はテ一プルおょぴレー'ザ測長装置を示す斜視図で ある。
第 5 図は レーザ測長装置およびプ ロ ーブ装置を含む周辺 部分を示す図である 。
第 6 図はプロ ーブおよびテーブル上の ワ ー ク を示す斜視 図である 。
発明を実施するための最良の形態
第 Ί 図はこ の発明の方法を実施する ためのマ二シングセ ンタ の概咯を示し ている 。 マ二シ ングセ ンタ 1 は 、 C N C 装置 2 およびプ ロ ープ装置 3 を備えて いる 。
第 2 図を参照する 。 第 2 図のマ 二シングセ ンタ 1 は、 ベ ース Ί Ο 、 コ ラム 1 1 、 G N G装置 2 、 スピン ドルヘ ッ ド 丁 2 、 サ ドル " I 3 , 1 4 、 テーブル 1 5 、 レーザ測長装置 1 6 を備えて いる 。
スピンドルヘ ッ ド 1 2 は、 ス ピ ン ドル 2 0 、 主モ ータ 2 1 、 自動工具交換装置 2 2 を有 している 。 前記プ ロ ーブ装 置 3 はこのスピン ドルヘ ッ ド 1 2 に着脱可能に取付けでき る 。 た とえばこの取付は通常の コ レ ツ 卜 チャ ッ ク式 に行え る 。 ス ピ ン ドル 2 0 に はた と え ばエ ン ド ミ ル 2 3 が着脱可 能 に 取付け ら れ て い る 。 エ ン ド ミ ル 2 3 は ホルダ 2 3 a ( 第 3 図参照 〉 を有 し て いる 。 プ ロ ー ブ装置 3 は ホルダ 3 a を有 し て い る 。 い ず れの ホルダも ス ピ ン ドル 2 0 に 着脱 可能 に 設定可能で あ る 。 こ のエ ン ド ミ ル 2 3 と 自 動 工具交 換装置 2 2 の た と え ばツ ール 2 2 a と は 、 通常の 方法 で 交 換可 能であ る 。 プ ロ 一 ブ装置 3 は通 常の 3 次元 測定機 に 用 い ら れ て い る も の と 実質的 に 周 じ で あ る 。 た だ し こ の プ ロ 一ブ裝置 3 は 、 プ ロ ー プ姿勢制御用 の ァ ク チ ユ エ ー タ 6 1 を有 し て い る 。 ァ ク チ ユ エ 一 タ 6 Ί の作動 に よ り 、 プ ロ一 ブ 6 0 は一点鎖線で 示 す よ う に 所定 角度回転可 能 に な っ て い る 。
コ ラ ム 1 1 に はサ ー ポモ ー タ 2 4 が設 け ら れ て い る 。 ま た コ ラ ム 1 1 の側 部 に は 、 レ ー ザ測 長装置 1 6 の レ ー ザへ ッ ド 4 0 お よ び偏光 ビ ー ム ス プ リ ッ タ 4 Ί が 固 定 さ れて い る 。 ま た 前記ス ピ ン ドルヘ ッ ド 1 2 に は コ ー ナ キ ュ ー プ 4 2 が 固定さ れて い る 。
ベ ー ス 1 0 の上 に はサ ドル 1 3 が 固定 さ れて い る 。 サ ド ル 1 3 に は サ ド ル 1 4 が ス ラ イ ド 可 能 に 設 け ら れ て い る 。 こ のサ ドル 1 4 の上 に は テ ー ブル Ί 5 が ス ラ イ ド可能 に 設 け ら れて い る 。 サ ドル 1 3 に は サ ー ポ モ ー タ 3 0 が 内 蔵 さ れて い る 。 ま た サ ドル 1 4 に はサ ー ポ モ ー タ 3 1 が設 け ら れ て い る 。 テ ー ブル 1 5 の上 に は ワ ー ク Wが着脱可 能 に 固 定 さ れて いる 。
第 3 図 を参照す る 。 サ ー ポ モ ー タ 2 4 に は送 り ね じ 3 2 が取付け ら れている 。 この送り ね じ 3 2 に はナ ツ 卜 3 3が かみ合っ ている 。 ナツ 卜 3 3 はス ピ ン ドルヘ ッ ド 1 2 に固 定されている。 これに よ りサーポモー タ 2 4 を回転する と 、 ス ピ ン ドルヘ ッ ド 1 2を矢印 Z方向 に沿 っ て移動可能であ る。 ま た 、 サ一 ポモー タ 3 0に は送り ね じ 2 6が取付け ら れている 。 こ の送り ね じ 2 6に はナ ツ 卜 2 7がかみ合っ て いる 。 のナ ツ 卜 2 7 はサ ドル 1 4 に固定されて いる。 こ れによ り サ一 ポモー タ 3 0を回転する と 、 サ ドル 1 4を Y 軸方向にスライ ド可能である。 さ ら にサーポモー タ 3 1 に は送り ね じ 2 8 が取付け ら れている 。 こ の送り ね じ 2 8 は ナ ツ 卜 2 9 にかみ合 っ ている。 こ の ナ ツ 卜 2 9 はテーブル 1 5 に固定さ れている。 これに よ り サーポモー タ 3 1 を回 転'する こ と によ り テーブル 1 5 は X軸方向 ( 第 2図参照 ) にスライ ド可能である 。
第 4図を参照する 。 ベース Ί 0 には ビームスプ リ ッ タ 4 3が固定 されている 。 ま たサ ドル 1 4 に はコ ー ナキ ュ ープ 4 5が固定さ れて いる 。 テーブル 1 5 に はコ ーナキ ュ ーブ '4 4が固定されて いる。
第 5図を参照する と 、 前記 レーザ測長装置 Ί 6は、 レー ザヘ ッ ド 4 0、 偏光ビームスプ リ ッ タ 4 1 、 コ ーナキュ ー ブ 4 2 , 4 4 , 4 5 、 ビーム.スプ リ ッ タ 4 3お よび計数部 5 3〜 5 5を有 し て いる 。 これら計数部 5 3〜 5 5 は、 C N C装置 2 とデー タ 処理部 6 2に接続さ れている 。 すなね ち 計数部 5 3〜 5 5 は、 カ ウ ン 卜 し た値を X , Υ , Z軸 に おける距維に換算 して C N C装置 2 とデー タ 処理部 6 2 に 送れる よ う に な つ て い る 。
レ ー ザヘ ッ ド 4 0 は 、 レ ー ザ光源 4 6 、 偏光板 4 7 な い し 4 9 お よ び光検出 器 5 0ない し 5 2 を有 し て い る 。 レ ー ザ光源 4 6 は 、 た と え ば H e - N e レ ー ザが好 ま し い 。 し かも レ ーザ光源 4 6 は こ の実施例 で は単一 周波発振型 の も の で あ る 。 レ ー ザ光源 4 6 か ら 出 た レ ー ザ光 L は 、 2 つ の レ ー ザ光 L 1 と L 2 に 分 け ら れる 。 レ ー ザ光 L 1 は コ ー ナ キ ュ ー ブ 4 2 お よ び偏光 ビ ー ム ス プ リ ッ タ 4 1 に よ り 反射 さ れて 蝙光板 4 7 を通 り 光検出 器 5 0 に 達す る 。 他方 の レ 一ザ光 L 2 は ビ ー ム ス プ リ ッ タ 4 3 に お い て レ ー ザ光 L 3 L 4 に 分 け ら れる 。 レ ー ザ光 L 3 は コ ー ナ キ ュ ー ブ 4 5 に お い て 反射 さ れ ビ ー ム スプ リ ッ タ 4 3 お よ び偏光 ビ ー ム ス プ リ ツ .タ 4 1 お よ び偏光板 4 8 を 通 り 光検出器 5 0 に 受光 さ れる 。 レ ー ザ光 L 4 は 、 コ ー ナ キ ュ ー ブ 4 4 と ビ ー ム ス プ リ ッ タ 4 3 に よ り 反射 さ れて 、 偏 光 ビ ー ム スプ リ ッ タ 4 1 お よ び偏光板 4 9 を通 り 光検出 器 5 2 に 受光 さ れる 。 光 検出器 5 0か ら の信号 G L 1 は計数部 5 3 に 入 力 さ れる 。 周様 に 光検出 器 5 1 か ら 出力 さ れ た 信号 C L 3 は 計数部 5 4 に 入力 さ れる 。 光検出器 5 2 か ら 出 力 さ れた 信号 C L 4 は計数部 5 5 に 入力 さ れる 。 こ れ ら 計数部 5 3 な い し 5 5 は通 常使用 さ れて いる も ので あ る 。 C N C装置 2 に は プ リ ン タ 5 6 お よ びデ ィ スプ レ 5 7 が接続 さ れ て い る 。
こ の よ う な レ ー ザ測長装置 1 6 の計数部 5 3〜 5 5 は 、 干渉鎬の移動 す る数をそ れぞれ計数 し て Z , Y , X軸方向 の距離 に 換算す る よ う に な っ て い る 。 こ の タ イ プの レ ー ザ 測定装置 Ί 6は通常使用されているものである 。
第 5図を参照する 。 前記サー ポモー タ 2 8 , 3 0 , 2 4 はそれぞれ C C装置 2 に接続されている。 こ れらサーポ モー タ 2 8 , 3 0 , 2 4は、 C N C装置 2の指令に基づい て作動される。 またプロ ーブ装置 3 のプロ ーブ 6 0は、 デ ータ処理部 6 2に接触信号を送れる よ う にな つ ている 。 こ のデー タ処理部 6 2 に は、 プ リ ンタ 6 3やデ ィ スプ レ 6 4 が接続されて いる 。 このデー タ処理部 6 2 において前記ヮ ー ク W ( 第 4 図参照 〉 の幾何学的形状を測定できる よ う に な っ ている。 こ の幾何学的形状 と し て は、 た と えばワ ー ク Wの ^郭形状である。 こ のデー タ 処理部 6 2 とプ ロ ーブ装 g 3 は 3次元測定機に通常使われているものである 。 デー タ処理部 6 2は、 その幾何学的形状測定プ ロ グラ ムに基づ い て 、 サーポ モー タ 2 8 , 3 0 , 2 4およびァ ク チユ エ一 タ 6 1 に指令する こ とができる 。
第 2図を参照する 。 ま ず、 ワ ー ク Wをテーブルに設定 し 、 ス ピン ドル 2 0にエン ドミ ル 2 3を取付け 、 ス ピン ドルへ ッ ド 1 2をサーポモー タ 2 4の回転に よ り 下げる と と も に 主モー タ 2 1 を回転 してエン ドミル 2 3を回転する 。 これ に よ り ワ ー ク Wの上面に孔を形成する 。 第 6図 に はその孔 Hが示さ れている。 孔 Hを形成 し たあ とは第 2図のス ピ ン ドルヘ ッ ド 1 2を所定位置まで上げる 。
つぎに第 6図の孔 Hの形状を測定する。 この時は 、 加工 ず みのワ ーク Wはテ ーブル 1 5から はずさない 。 第 3図 に おいて エン ドミ ル 2 3をス ピ ン ドル 2 0から はず して 、 ス ピ ン ドル 2 0 に プ ロ ー ブ装置 3 を取付 け る 。 そ し て プ ロ一 ブ 6 0 の接続 ラ イ ン と ァ ク チ ユ エ ー タ 6 1 の接続 ラ イ ン は 図示 し な い コ ネ ク タ を介 し て デー タ 処理部 6 2 に 対 し て 電 気旳 に 接続 す る 。 デ ー タ 処理部 6 2 の幾何学的形状測定 プ ロ グラ ム に基づい て サ ー ポ モ ー タ 2 8 , 3 0 , 2 4 が作動 し 、 プ ロ ー ブ 6 0 が ワ ー ク Wの 上 面お よ び孔 H の 面を接触 し て 移動 す る 。
も し 、 ワ ー ク Wの側 面 に プ ロ ー ブ装置 3 の プ ロ ー ブ 6 〇 を接触す る場合 は 、 デ ー タ 処理部 6 2 の プ ロ グ ラ ム に 基づ いて 第 2 図 の ァ ク チ ユ エ ー タ 6 を作動 し て プ ロ ー ブ 6 0 を水平方向 に 向 け ればよ い 。
計数部 5 3〜 5 5 か ら 得 た X, Υ , Z 軸 に お け る各移動 距離 と 、 プ ロ ー ブ 6 0 か ら の 接触あ る い は非接触 の情報 と に 基づいて 、 デ ー タ 処理部 6 2 は ワ ー ク の幾何学的形状 を 決定 す る 。
こ の よ う に ワ ー ク 加 工後た だち に 加 工ず みの ワ ー ク Wの 形状を精密 に 測定 す る こ と が で き る 。
な お 、 ワ ー ク を 加 工 す る と き は 、 レ ー ザ測長装置 1 6 が . 各 X, Υ , Z 軸 に お け る エ ン ド ミ ル 2 3 と テ ー ブル 1 5 上 の ワ ー ク W と の相対運動距離を測長 し て い る 。 ま た 加 工ず みの ワ ー ク の形状 を プ ロ ー ブ装置 3 で測定 す る場合 、 周 様 に レ ー ザ測長装置 1 6 に よ り 前記各 X , Υ , Z 軸 に お け る プ ロ ー ブ装置 3 と テ ー ブル 1 5 上の ワ ー ク W と の相対運 動距離を測長 し て い る 。
と こ ろで 、 測長装置 は レ ー ザ光式 の他 リ ニ ア エ ン コ ー ダ 式などでおよい 。 マ二シングセ ンタ はよ こ形や他の形式の おのでち よい 。 加ェ中はプロ ーブ装置をケース に収納 し切 粉やほこり を除ぐ 。 測定の ときのみケー スか ら 出 してプロ ープ装置を使用 するのが好ま し い
切 り く ずやダス 卜を除去するため に テープル、 サ ドルを 防塵力バ一でおお う と と ち にス ピ ン ドルへ ヅ ド と コ ラムを 別の防塵力 パーでおおう こ とあでぎる 。
マニシ ングセ ンタ にプロ一プ自動交換装置を設けても よ い 。 これは複数本のプロ ーブ装置を収納でき、 ス ピン ドル へ ッ ドのプロ ープとプロ ーブ自 動交換装置の 1 つ のプ ロ一 ブを交換可能であ-る 。
レーザ測長装置は、 2 周波発振型の レーザ光源を用いて ち ょ い。
産業上の利用可能性
この発明 は、 加工ずみのワ ー ク の形状を測定するの に有 用である 。 加 工ずみの ワ ー ク の再設定を必要 と し ない 。

Claims

請 求 の 範 囲
ワ ー ク ( W〉 を テ ー ブル ( 1 5 ) に 設定 し て 、 こ の ヮ ー ク ( W ) と ツ ー ル ( 2 3 ) の相対移動 に よ り こ の ワ ー ク ( W ) を加 工 し 、 前記テ ー ブル ( 1 5 ) に 設定 さ れて い る 前記加 工 ずみの ワ ー ク ( W ) と プ ロ ー ブ装置 ( 3 ) と の相 対移動 に よ り こ の加 工ず み ワ ー ク ( W ) の幾何学的形状を 測定 す る加 工ず み ワ ー ク の形状測定 方法 。
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