UA46145C2 - DEVICE FOR RE-LOADING MATERIAL INTO THE POT - Google Patents
DEVICE FOR RE-LOADING MATERIAL INTO THE POT Download PDFInfo
- Publication number
- UA46145C2 UA46145C2 UA99116181A UA99116181A UA46145C2 UA 46145 C2 UA46145 C2 UA 46145C2 UA 99116181 A UA99116181 A UA 99116181A UA 99116181 A UA99116181 A UA 99116181A UA 46145 C2 UA46145 C2 UA 46145C2
- Authority
- UA
- Ukraine
- Prior art keywords
- tank
- crucible
- unit
- movement mechanism
- fact
- Prior art date
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
Description
Опис винаходуDescription of the invention
Винахід відноситься до вирощування монокристалів кремнію за методом Чохральського, зокрема, до 2 пристроїв для повторного завантаження матеріалу в тигель і може бути застосовано на установках вирощування монокристалів кремнію, обладнаних шлюзовим пристроєм для забезпечення півнеперервного вирощування монокристалів.The invention relates to the growing of silicon single crystals by the Czochralsky method, in particular, to 2 devices for re-loading the material into the crucible and can be applied to plants for growing silicon single crystals equipped with a sluice device to ensure semi-continuous growing of single crystals.
При вирощуванні монокристалів кремнію за методом Чохральського злиток кремнію витягають із розплаву кремнію на затравку необхідної орієнтації. Для запобігання окисленню розплаву та вигоранню графітових 710 деталей теплового вузла в робочій камері, у якій проводять плавлення кремнію і витягування злитка з розплаву, створюють інертну атмосферу. Півнеперервний спосіб вирощування монокристалів кремнію передбачає вивантаження з робочої камери установки вирощеного злитка кремнію і проведення повторного завантаження тигля з залишком розплаву новою порцією матеріалу. Для забезпечення повторного завантаження тигля без порушення при цьому герметичності робочої камери і без охолодження тигля, використовують пристрої для 72 повторного завантаження матеріалу в тигель, за допомогою яких здійснюють повторне завантаження тигля безпосередньо в робочій камері.When growing single crystals of silicon by the Czochralsky method, silicon ingots are extracted from the silicon melt on a seed of the required orientation. In order to prevent oxidation of the melt and burnout of the graphite 710 parts of the heat assembly, an inert atmosphere is created in the working chamber, in which the melting of silicon and the extraction of the ingot from the melt are carried out. The semi-continuous method of growing silicon single crystals involves unloading the grown silicon ingot from the working chamber of the installation and reloading the crucible with the remaining melt with a new portion of the material. To ensure reloading of the crucible without breaking the tightness of the working chamber and without cooling the crucible, devices for 72 reloading of material into the crucible are used, with the help of which the crucible is reloaded directly in the working chamber.
Відомо пристрій для повторного завантаження матеріалу в тигель, який виконано у виді стрижня з завантажувального матеріалу, що має вузол кріплення до механізму переміщення (А.Я.Нашельский. Технология спеціальних материалов злектронной техники. 1993, с.165) (1|. Стрижень являє собою полікристалічний кремній певного розміру.A device for reloading the material into the crucible is known, which is made in the form of a rod from the loading material, which has a fastening node to the movement mechanism (A. Ya. Nashelsky. Technology of special materials of electron technology. 1993, p. 165) (1|. The rod represents is polycrystalline silicon of a certain size.
Пристрій працює таким чином.The device works like this.
Злиток монокристала кремнію, що витягнутий на затравку з тигля, відокремлюють від розплаву, переміщають із робочої камери і, після проведення шлюзування, вивантажують із верхньої камери. У верхній камері матеріал для повторного завантажування тигля - полікристалічний стрижень - за допомогою вузла кріплення з'єднують із с механізмом переміщення, у якості якого може використовуватися механізм переміщення затравки. Після Ге) проведення шлюзування полікристалічний стрижень кремнію переміщують у робочу камеру, установлюють над тиглем і опускають до поверхні розплаву, що знаходиться в тиглі. Стрижень починає плавитися, заповнюючи в такий спосіб тигель.An ingot of silicon single crystal, extracted from the crucible as a seed, is separated from the melt, moved from the working chamber and, after sluicing, discharged from the upper chamber. In the upper chamber, the material for reloading the crucible - a polycrystalline rod - is connected to a movement mechanism, which can be used as a seed movement mechanism, with the help of a fastening node. After sluicing, the polycrystalline silicon rod is moved into the working chamber, placed above the crucible and lowered to the surface of the melt in the crucible. The rod begins to melt, thus filling the crucible.
Однак, за допомогою такого пристрою неможливо робити повторне завантаження тигля з матеріалу у вигляді о роздрібнених шматків полікремню або забракованих вирощених раніше злитків, а також неможливо при «ф повторному завантаженні проводити підлегування розплаву.However, with the help of such a device, it is impossible to reload the crucible with material in the form of crushed pieces of polysilicon or rejected previously grown ingots, and it is also impossible to carry out alloying of the melt during reloading.
Найбільш близьким є пристрій для повторного завантаження матеріалу в тигель, що включає резервуар, -- підтримуючі елементи, що розташовані в нижньому торці резервуара, і вузол кріплення резервуара до механізму «о переміщення ( 05, Мо4 397 352, 1987, М.кл. С ЗО В 15/02). Підтримуючі елементи виконані з танталу і здатні 3о витримувати при кімнатній температурі вагу завантаження. При підвищеній температурі підтримуючі елементи З деформуються.The closest thing is a device for reloading material into a crucible, which includes a tank, supporting elements located in the lower end of the tank, and a node for attaching the tank to the movement mechanism (05, Mo4 397 352, 1987, M.kl. C ZO B 15/02). The supporting elements are made of tantalum and are able to withstand the weight of the load for 3o at room temperature. At elevated temperature, the supporting elements C are deformed.
Відомий пристрій працює таким чином. Злиток монокристала кремнію, що витягнутий на затравку з тигля, відривають від розплаву, переміщають із робочої камери в камеру шлюзування і, після проведення шлюзування, « вивантажують із верхньої камери. У верхню камеру вводять резервуар з повторним завантаженням: у виді З шматків полікремнію циліндричної форми, між якими при необхідності додатково закладають легуючий матеріал; с за допомогою вузла кріплення з'єднують резервуар із механізмом переміщення, у якості якого може з» використовуватися механізм переміщення затравки. Після проведення шлюзування резервуар переміщають у робочу камеру, розміщують над тиглем і опускають на визначену відстань до тиглю таким чином, щоб торець резервуара знаходився в безпосередній близькості від розплаву. При підвищеній температурі підтримуючі елементи починають деформуватися, дозволяючи повторному завантаженню потрапити в тигель із розплавом. е Незважаючи на те, що цей пристрій не має недоліків вищеописаного, однак характеризується слабкоюThe known device works as follows. An ingot of silicon single crystal drawn from the crucible on a seed is separated from the melt, moved from the working chamber to the sluicing chamber and, after sluicing, "discharged from the upper chamber. A tank with repeated loading is introduced into the upper chamber: in the form of cylindrical pieces of polysilicon, between which, if necessary, additional alloying material is laid; with the help of a fastening unit, the tank is connected to the movement mechanism, which can be used as a seed movement mechanism. After sluicing, the tank is moved to the working chamber, placed above the crucible and lowered to a specified distance to the crucible so that the end of the tank is in close proximity to the melt. At elevated temperatures, the support members begin to deform, allowing the reload to enter the molten crucible. e Despite the fact that this device does not have the disadvantages described above, it is characterized by weakness
Ге»! керованістю при повторному завантажуванні матеріалу. Вказане завантажування залежать від властивостей матеріалу підтримуючих елементів, від температури в робочій камері і при наявністі залишкового деформування - танталових елементів стає некерованим. У деяких випадках це може привести до аварійної ситуації. Наприклад, «їз» 20 при деформуванні підтримуючих елементів на висоті більшій за необхідну завантажувальний матеріал при попаданні в тигель приводить до вихлюпування розплаву. сл Задачею винаходу є удосконалення пристрою для повторного завантаження тигля шляхом додаткового постачання резервуара днищем і фіксуючим кільцем, а також з'єднання підтримуючих елементів із гнучкими тягами, зв'язаними з механізмом переміщення, що забезпечує регульоване завантаження тигля. 25 Поставлена задача вирішується запропонованим пристроєм для повторного завантаження матеріалу вGee! manageability when re-loading the material. The indicated loading depends on the properties of the material of the supporting elements, on the temperature in the working chamber and in the presence of residual deformation - tantalum elements becomes uncontrollable. In some cases, this can lead to an emergency situation. For example, the "ride" 20, when the supporting elements are deformed at a height greater than the required loading material, when it enters the crucible, leads to the pouring out of the melt. The object of the invention is to improve the device for reloading the crucible by providing the tank with a bottom and a locking ring, as well as connecting the supporting elements with flexible rods connected to the movement mechanism, which ensures adjustable loading of the crucible. 25 The task is solved by the proposed device for reloading the material in
ГФ) тигель, що включає резервуар, підтримуючі елементи, що розташовані в нижньому торці резервуара, і вузол кріплення резервуара до механізму переміщення, який додатково постачено фіксуючим кільцем, розташованим о зовні резервуара і жорстко зв'язаним із ним, при цьому резервуар постачено днищем, що відчиняється, а вузол кріплення резервуара виконано у виді послідовно з'єднаних гнучких тяг, що проходять по бічній поверхні уздовж 60 прямолінійної твірної резервуара з двох протилежних його боків з утворенням підвіски над верхньою основою резервуара, а нижні кінці крайніх тяг з'єднано з можливістю руху з відповідними підтримуючими елементами. При цьому, днище виконано з двох частин, краще з двох рівних симетричних частин. Резервуар може бути виконано у виді циліндра, краще із суцільними стінками.GF) a crucible including a tank, supporting elements located in the lower end of the tank, and a node for attaching the tank to the movement mechanism, which is additionally provided with a locking ring located on the outside of the tank and rigidly connected to it, while the tank is provided with a bottom, that opens, and the tank fastening unit is made in the form of serially connected flexible rods that pass along the side surface along 60 of the rectilinear creation tank from two opposite sides of it to form a suspension over the upper base of the tank, and the lower ends of the extreme rods are connected with the possibility movements with appropriate supporting elements. At the same time, the bottom is made of two parts, preferably of two equal symmetrical parts. The tank can be made in the form of a cylinder, preferably with solid walls.
Для зручності, що дозволяє здійснювати повторне завантаження без з'єму затравки із механізму бо переміщення, підвіску гнучкої тяги заведено в хомут, що з'єднаний із механізмом переміщення.For convenience, which allows for reloading without removing the seed from the movement mechanism, the suspension of the flexible rod is wound into a collar connected to the movement mechanism.
При цьому вузол кріплення включає щонайменше три послідовно з'єднані гнучкі тяги.At the same time, the fastening unit includes at least three serially connected flexible rods.
У запропонованому винаході регульоване розкриття нижньої частини резервуара відбувається під впливом власної ваги матеріалу завантаження при рухливому з'єднанні підтримуючих елементів із гнучкими тягами, зв'язаними з механізмом переміщення. Пристрій для повторного завантаження переміщують в установці вирощування кристалів при закритому днищі, що утримується в закритому стані за допомогою підтримуючих елементів. Коли гнучкі тяги натягнуті, то підтримуючі елементи притиснуті до днища і надійно утримують днище в закритому стані. Коли пристрій для повторного завантаження за допомогою механізму переміщення доставлено безпосередньо до тиглю, механізм переміщення продовжує опускатися з регульованою швидкістю. 7/0 При зіткненні фіксуючого кільця з упором установки вирощування кристалів, відбувається зупинка руху резервуара, і, внаслідок того, що механізм переміщення продовжує опускатися, послабляється натяг гнучких тяг.In the proposed invention, the adjustable opening of the lower part of the tank occurs under the influence of the own weight of the loading material during the movable connection of the supporting elements with flexible rods connected to the movement mechanism. The device for re-loading is moved in the installation of growing crystals with a closed bottom, which is kept in a closed state with the help of supporting elements. When the flexible rods are stretched, the supporting elements are pressed against the bottom and securely hold the bottom in the closed state. When the reloading device is brought directly to the crucible by the transfer mechanism, the transfer mechanism continues to descend at an adjustable speed. 7/0 When the locking ring collides with the stop of the crystal growing unit, the movement of the tank stops, and as a result of the movement mechanism continuing to descend, the tension of the flexible rods is weakened.
Це приводить до ослаблення рухомо зв'язаних підтримуючих елементів. У результаті днище під впливом ваги завантаження відчиняється, що дозволяє завантаженню звільнитися.This leads to a weakening of the movably connected supporting elements. As a result, the bottom opens under the influence of the weight of the load, which allows the load to be released.
Винахід пояснюється малюнками, на яких зображено: на Фіг.1 - завантажений пристрій для повторного /5 завантаження тигля поза установкою для вирощування монокристалічних злитків; на Фіг.?2 - днище резервуара; на Фіг.3 - завантажений пристрій для повторного завантаження тигля в установці для вирощування монокристалічних злитків; на Фіг.4 - пристрій для повторного завантаження тигля в установці для вирощування монокристалічних злитків після завантаження тигля.The invention is explained by the drawings, which show: in Fig. 1 - loaded device for repeated /5 loading of the crucible outside the unit for growing monocrystalline ingots; in Fig. 2 - the bottom of the tank; in Fig. 3 - loaded device for reloading the crucible in the unit for growing monocrystalline ingots; in Fig. 4 - a device for re-loading the crucible in the unit for growing monocrystalline ingots after loading the crucible.
Як показано на фігурах 1-4, пристрій для повторного завантаження сировини в тигель включає резервуар 1 для матеріалу 2, що завантажується. Резервуар 1 постачено днищем, що відчиняється, яке може складатися з однієї або декількох частин. У кращому варіанті виконання винаходу днище, що відчиняється, виконано з двох рівних симетричних частин З і 4, кожна з який з'єднана з резервуаром 1 за допомогою петель 5 і 6 відповідно (Фіг. 2). У торці резервуара 1 розташовані підтримуючі елементи 7 і 8, що рухомо зв'язані з гнучкими тягами сч ов Відповідно 9 і 10. Зазначені тяги 9 і 10 проходять по бічній поверхні уздовж прямолінійної твірної резервуара 1, при цьому кожна з них проходить з однієї з двох протилежних боків резервуара. Верхній кінець кожної з тяг і) 9 і 10 з'єднано з одним із кінців гнучкої тяги 11 безпосередньо або через елемент 12. Резервуар 1 постачено фіксуючим кільцем 13, розташованим зовні резервуара 1 і жорстко зв'язаний із ним, наприклад за допомогою стояків 14 і 15. Гнучка тяга 11 утворює над верхньою основою резервуара 1 підвіску, за допомогою якої ю зо резервуар 1 кріпиться до механізму переміщення 16. Як механізм переміщення 16 використовують штатний механізм переміщення затравки 17 і вирощеного злитка. Підвіску з'єднують із механізмом переміщення 16 - безпосередньо або через хомут 18. Резервуар 1 може мати форму прямої призми, у кращому варіанті виконання - п винаходу резервуар 1 виконано у вигляді циліндра, який може бути суцільним, із тугоплавкого матеріалу, наприклад молібдену або ніобію. При необхідності гнучкі тяги 9 і 10 можуть бути складовими, тобто складатися ре) із декілька відрізків. Механізм переміщення 16 розміщено в установці вирощування монокристалів, яка «Е складається з верхньої камери 19, робочої камери 20 та пристрою для шлюзування ( на Фіг. З не показано). У робочій камері 20 розміщено тигель 21 із розплавом 22, нагрівач 23 і екран 24. У нижній частині верхньої камери 19 розташовано виступаючий елемент 25. У залежності від конструкції установки для вирощування монокристалів виступаючий елемент 25 може бути розташований у верхній частині робочої камери 20. «As shown in figures 1-4, the device for reloading raw materials into the crucible includes a tank 1 for the material 2 to be loaded. The tank 1 is provided with an opening bottom, which can consist of one or more parts. In the best embodiment of the invention, the opening bottom is made of two equal symmetrical parts C and 4, each of which is connected to the tank 1 by means of loops 5 and 6, respectively (Fig. 2). In the end of the tank 1, there are supporting elements 7 and 8, which are movably connected to flexible rods 9 and 10, respectively. The specified rods 9 and 10 pass along the side surface along the straight line of the tank 1, while each of them passes from one of two opposite sides of the tank. The upper end of each of the rods i) 9 and 10 is connected to one of the ends of the flexible rod 11 directly or through an element 12. The tank 1 is provided with a locking ring 13 located outside the tank 1 and rigidly connected to it, for example by means of risers 14 and 15. The flexible rod 11 forms a suspension above the upper base of the tank 1, with the help of which the tank 1 is attached to the movement mechanism 16. As a movement mechanism 16, a standard mechanism for moving the seed 17 and the grown ingot is used. The suspension is connected to the movement mechanism 16 - directly or through the collar 18. The tank 1 can have the shape of a straight prism, in the best embodiment - according to the invention, the tank 1 is made in the form of a cylinder, which can be solid, made of a refractory material, for example, molybdenum or niobium . If necessary, flexible rods 9 and 10 can be composite, that is, consist of several sections. The movement mechanism 16 is placed in the single crystal growing unit, which consists of an upper chamber 19, a working chamber 20 and a sluicing device (not shown in Fig. C). A crucible 21 with a melt 22, a heater 23, and a screen 24 are placed in the working chamber 20. In the lower part of the upper chamber 19, a protruding element 25 is located. Depending on the design of the unit for growing single crystals, the protruding element 25 can be located in the upper part of the working chamber 20.
Пристрій працює таким чином. з с У резервуар 1 пристрою для повторного завантаження матеріалу в тигель укладається матеріал 2, що . завантажується, для дозавантаження розплаву 22. При необхідності разом із полікремнієм, у якості якого и?» використовують стрижні, шматки полікремнію будь-якої форми, наприклад, шматки забракованих раніше вирощених злитків, у нижню частину резервуара завантажують лігатуру. Після проведення шлюзування з верхньої камери 19 установки для вирощування монокрісталів вивантажують вирощений злиток. У верхній їх камері установки для вирощування монокристалів на тримач затравки 17 підвішують хомут 18, не знімаючи затравку 17, і в хомут 18 заводять підвіску гнучкої тяги 11 резервуара 1 із матеріалом 2 для дозавантаженняThe device works like this. with c In the tank 1 of the device for re-loading the material into the crucible, material 2 is placed, which . is loaded, for reloading the melt 22. If necessary, together with polysilicon, in the quality of which rods, pieces of polysilicon of any shape are used, for example, pieces of rejected previously grown ingots, a ligature is loaded into the lower part of the tank. After sluicing, the grown ingot is unloaded from the upper chamber of 19 units for growing single crystals. In the upper chamber of the single crystal growing unit, a clamp 18 is hung on the seed holder 17 without removing the seed 17, and the suspension of the flexible rod 11 of the tank 1 with material 2 for reloading is inserted into the clamp 18
Ме, тигля 21. Підвіску гнучкої тяги 11 можна розмістити безпосередньо на механізмі переміщення 16, але в цьому - випадку тримач затравки і затравку 17 необхідно зняти. Гнучка тяга 11 через гнучкі тяги 9 і 10 натягає 5р підтримуючі елементи 7 і 8, які у такому положенні утримують відповідні частини З ії 4 днища в закритому ве стані. У такому стані резервуар 1 із завантаженням 2 за допомогою механізму переміщення 16 після проведення сп шлюзування потрапляє в робочу камеру 20. Резервуар 1 із завантаженням 2 опускають до тигля 21, що розміщений усередині нагрівача 23 і екрана 24, доти, поки фіксуюче кільце 13 не прийде в зіткнення з виступаючим елементом 25 верхньої камери 19 (Фіг.3)3. Подальше опускання механізму переміщення 16 ов приводить до ослаблення натягу гнучкої тяги 11, а також гнучких тяг 9 і 10, тому що рух резервуара 1 зупинено за допомогою фіксуючого кільця 13. Оскільки підтримуючі елементи 7 і 8, рухомо зв'язані з відповідною гнучкоюMe, crucible 21. The suspension of the flexible rod 11 can be placed directly on the movement mechanism 16, but in this case the seed holder and seed 17 must be removed. The flexible rod 11 through the flexible rods 9 and 10 pulls the supporting elements 7 and 8, which in this position keep the corresponding parts of the bottom 3 and 4 in the closed state. In this state, the tank 1 with loading 2 with the help of the movement mechanism 16, after carrying out sp lock, enters the working chamber 20. The tank 1 with loading 2 is lowered to the crucible 21, which is placed inside the heater 23 and the screen 24, until the locking ring 13 comes in contact with the protruding element 25 of the upper chamber 19 (Fig. 3)3. Further lowering of the movement mechanism 16 leads to a weakening of the tension of the flexible rod 11, as well as the flexible rods 9 and 10, because the movement of the tank 1 is stopped by means of the locking ring 13. Since the supporting elements 7 and 8 are movably connected to the corresponding flexible
Ф) тягою 9 або 10, при ослабленні натягу вони перестають підтримувати днище у закритому стані. Це приводить до ка того, що під дією ваги завантаження частини днища З і 4 відчиняються. При цьому матеріал 2 потрапляє в розплав 22 (Фіг.4). Оскільки ослаблення тяги 11 контролюється, а також регулюється за допомогою механізму бо переміщення 16, вивантаження матеріалу 2 із резервуара 1 проходить керовано.F) traction 9 or 10, when the tension is weakened, they cease to support the bottom in a closed state. This leads to the fact that, under the influence of the weight of the load, parts of the bottom C and 4 open. At the same time, material 2 enters the melt 22 (Fig. 4). Since the weakening of the traction 11 is controlled and also regulated by means of the movement mechanism 16, the unloading of the material 2 from the tank 1 takes place in a controlled manner.
Після вивантаження матеріалу за допомогою механізму переміщення 16 резервуар 1 піднімають у верхню частину робочої камери 20, і, після шлюзування, у верхню камеру 19 установки для вирощування монокристалічних злитків. У тому випадку, коли після дозавантажування тигля 21 одержаного розплаву утворилося достатньо для вирощування монокристалічного злитка, хомут 18 разом із порожнім резервуаром 1 65 вивантажують із верхньої камери, проводять її шлюзування і починають процес вирощування монокристала. У тому випадку, коли після повторного завантаження і плавлення завантаження у тиглі 21 розплаву недостатньо,After unloading the material using the movement mechanism 16, the tank 1 is lifted into the upper part of the working chamber 20, and, after sluicing, into the upper chamber 19 of the unit for growing monocrystalline ingots. In the case when, after reloading the crucible 21, the resulting melt has formed enough to grow a single crystal ingot, the collar 18 together with the empty tank 1 65 is unloaded from the upper chamber, its sluicing is carried out and the process of growing a single crystal begins. In the case when, after reloading and melting, the amount of melt in the crucible 21 is insufficient,
то повторне завантаження тигля повторюють ще раз.then reloading the crucible is repeated once more.
Таким чином, запропонований пристрій забезпечує регульоване завантаження тигля при повторному його завантаженні.Thus, the proposed device provides adjustable loading of the crucible during repeated loading.
Claims (7)
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| UA99116181A UA46145C2 (en) | 1999-11-12 | 1999-11-12 | DEVICE FOR RE-LOADING MATERIAL INTO THE POT |
| RU2000102096A RU2190047C2 (en) | 1999-11-12 | 2000-01-31 | Apparatus for recharging material to crucible |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| UA99116181A UA46145C2 (en) | 1999-11-12 | 1999-11-12 | DEVICE FOR RE-LOADING MATERIAL INTO THE POT |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| UA46145C2 true UA46145C2 (en) | 2002-05-15 |
Family
ID=21689410
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| UA99116181A UA46145C2 (en) | 1999-11-12 | 1999-11-12 | DEVICE FOR RE-LOADING MATERIAL INTO THE POT |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2190047C2 (en) |
| UA (1) | UA46145C2 (en) |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4394352A (en) * | 1980-03-17 | 1983-07-19 | Motorola, Inc. | Melt recharge apparatus |
| DE3712668A1 (en) * | 1987-04-14 | 1988-10-27 | Hans J Scheel | METHOD AND DEVICE FOR GROWING CRYSTALS BY THE CZOCHRALSKI METHOD |
| US5139750A (en) * | 1989-10-16 | 1992-08-18 | Nkk Corporation | Silicon single crystal manufacturing apparatus |
| JPH04317493A (en) * | 1991-04-15 | 1992-11-09 | Nkk Corp | Producing device for silicon single crystal |
| RU2114938C1 (en) * | 1994-01-05 | 1998-07-10 | Отделение керамических и полупроводниковых материалов Научно-исследовательского института Научно-производственного объединения "Луч" | Melter for crystal growing from melt |
-
1999
- 1999-11-12 UA UA99116181A patent/UA46145C2/en unknown
-
2000
- 2000-01-31 RU RU2000102096A patent/RU2190047C2/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2190047C2 (en) | 2002-09-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0286133B1 (en) | Monocrystal rod and method of pulling same from a melt and apparatus therefor | |
| KR0165750B1 (en) | Vertical furnace for the growth of single crystals | |
| US7001456B2 (en) | Apparatus and method for supplying Crystalline materials in czochralski method | |
| JPH03285893A (en) | Crystal pulling-up apparatus | |
| UA46145C2 (en) | DEVICE FOR RE-LOADING MATERIAL INTO THE POT | |
| US5173270A (en) | Monocrystal rod pulled from a melt | |
| EP0369626A1 (en) | Recharging device for Czochralski method | |
| US4938837A (en) | Crucible recovering method and apparatus therefor | |
| US5888298A (en) | Member-handling mechanism, and member-handling jig for a crystal pulling apparatus | |
| US4394352A (en) | Melt recharge apparatus | |
| JPH05270975A (en) | Single crystal pulling device | |
| US5196086A (en) | Monocrystal rod pulled from a melt | |
| US4557795A (en) | Melt recharge method | |
| JP3881052B2 (en) | Single crystal manufacturing equipment | |
| JPH05270974A (en) | Single crystal pulling device | |
| JPS6018634B2 (en) | Crystal pulling device | |
| US6033472A (en) | Semiconductor single crystal manufacturing apparatus | |
| US3212858A (en) | Apparatus for producing crystalline semiconductor material | |
| SU1424379A1 (en) | Apparatus for drawing crystals from melt | |
| JPH09208382A (en) | Single crystal growth equipment | |
| KR100388884B1 (en) | Single crystal growth apparatus and single crystal growth method | |
| Kume et al. | Hollow crystals of ZnS obtained by the pulling sealed tube method | |
| JPH05301793A (en) | Single crystal pulling device | |
| JP5034259B2 (en) | Single crystal manufacturing equipment | |
| RU1457463C (en) | Method of growing crystals of complex oxides |