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TWI760377B - 半導體感測器及其製造方法以及複合感測器 - Google Patents

半導體感測器及其製造方法以及複合感測器 Download PDF

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TWI760377B
TWI760377B TW106135581A TW106135581A TWI760377B TW I760377 B TWI760377 B TW I760377B TW 106135581 A TW106135581 A TW 106135581A TW 106135581 A TW106135581 A TW 106135581A TW I760377 B TWI760377 B TW I760377B
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内藤孝二郎
Kazumasa Nagao
村瀬清一郎
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日商東麗股份有限公司
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Abstract

本發明為一種半導體感測器，其用以選擇性且高感度地檢測標靶物質，半導體感測器包括：基板；第1電極；第2電極；及半導體層，設置於第1電極與第2電極之間，半導體層包含半導體成分與免疫球蛋白的部分結構體，免疫球蛋白的部分結構體於重鏈的鉸鏈區域中經由連結基L1 而鍵結或附著於半導體成分。進而，本發明為一種半導體感測器的製造方法，其中，形成半導體層的步驟包括在第1電極與第2電極之間塗佈半導體成分的步驟。

Description

半導體感測器及其製造方法以及複合感測器
本發明是有關於一種將標靶識別分子加以固定化的半導體感測器及其製造方法以及複合感測器。
近年來，欲藉由高感度地檢測生物體物質的感測器，來早期發現病症或確認治療效果的需求日益增強。為了滿足該需求，積極進行檢測生物體物質的生物感測器的開發。
於生物感測器的開發中，為了選擇性地檢測標靶(target)物質，通常於感測器的檢測部配置與標靶物質選擇性地相互作用的生物體物質。作為此種生物體物質，可使用免疫球蛋白(亦稱為「抗體」)或酵素等蛋白質、核酸(亦稱為「聚核苷酸」)、適配體(aptamer)或糖鏈等。與標靶物質選擇性地相互作用的各種物質中，免疫球蛋白的部分結構體(例如Fab)為小型，且於可將捕捉標靶物質的鍵結部位更高密度地配置於更靠半導體成分處的方面受到關注(例如，參照非專利文獻1)。免疫球蛋白或其部分結構體於生物感測器中的應用方法存在各種應用方法，可列舉：利用免疫球蛋白的流體壓力感測器、光化學反應感測器及電化學反應感測器等(例如，參照專利文獻1)。
另外，使用與標靶物質選擇性地相互作用的生物體物質的感測器中，作為特別受到關注的感測器，有場效電晶體(Field Effect Transistor，FET)型感測器(例如，參照專利文獻2、專利文獻3)。FET型感測器是藉由流經半導體中的電流或對半導體所施加的電壓的變化來進行標靶物質的檢測的感測器。於該檢測方式中，不需要利用螢光體等的標靶物質的標識化。另外，亦存在電信號的轉換快且與積體電路的連接容易的優點。
[現有技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特表平2-501860號公報
[專利文獻2]日本專利特開2017-9612號公報
[專利文獻3]國際公開第2006/103872號
[非專利文獻]
[非專利文獻1]「日本應用物理學期刊(Japanese Journal of Applied Physics)」，(日本)，2012年，51卷，p. 06FD08-1-06FD08-4
然而，於現有的FET型生物感測器中，檢測感度或檢測選擇性不充分，而無法實用化。
本發明是鑒於所述課題而成者，其目的在於提供一種檢測感度或檢測選擇性優異的半導體感測器及其製造方法以及複合感測器。
為了解決所述課題並達成所述目的，第1發明群組的一態樣的半導體感測器包括基板、第1電極、第2電極及形成於所述第1電極與所述第2電極之間而成的半導體層，所述半導體感測器中，所述半導體層包含半導體成分與免疫球蛋白的部分結構體，所述免疫球蛋白的部分結構體於重鏈的鉸鏈區域(hinge)中經由連結基L1而鍵結或附著於所述半導體成分。
第2發明群組的一態樣的半導體感測器包括基板、第1電極、第2電極及設置於所述第1電極與所述第2電極之間的半導體層，所述半導體感測器中，所述半導體層具有鍵結或附著有標靶識別分子的半導體成分，所述標靶識別分子至少具有標靶捕捉體X及連結基L2，所述標靶捕捉體X為分子量為20000以上且200000以下的蛋白質或核酸，所述連結基L2中，其原子數N為5以上且30以下，原子數N為自鍵結於所述半導體成分的原子或自鍵結於附著於所述半導體成分的基的原子至與源自所述標靶捕捉體X的原子鍵結的原子的原子數。
根據本發明的半導體感測器及其製造方法以及複合感測器，可獲得顯示高檢測選擇性與高檢測感度的半導體感測器。另外，根據本發明的半導體感測器及其製造方法以及複合感測器，可抑制半導體感測器間的性能偏差並且提高半導體感測器的長期保存穩定性。
1:基板
2:第1電極
3:第2電極
4:半導體層
5、7:第3電極
6:絕緣層
8:覆蓋構件
9:內部空間
10:免疫球蛋白
11:重鏈
12:輕鏈
13:鍵結部位
14:鉸鏈區域
15:Fab區域
16:Fc區域
17:部分結構體(Fab')
18:部分結構體(還原型免疫球蛋白半聚體)
19:CNT
20:免疫球蛋白的部分結構體
21:免疫球蛋白的部分結構體的鉸鏈區域的硫原子
AA'、BB'、CC'、DD'、EE':線
i、j、p、q:虛線
圖1A是表示本發明的實施形態之一的半導體感測器的示意平面圖。
圖1B是表示本發明的實施形態之一的半導體感測器的示意剖面圖。
圖2A是表示本發明的實施形態之一的半導體感測器的示意平面圖。
圖2B是表示本發明的實施形態之一的半導體感測器的示意剖面圖。
圖3是表示本發明的實施形態之一的半導體感測器的示意平面圖。
圖4A是表示本發明的實施形態之一的半導體感測器的示意平面圖。
圖4B是表示本發明的實施形態之一的半導體感測器的示意剖面圖。
圖5A是表示本發明的實施形態之一的半導體感測器的示意平面圖。
圖5B是表示本發明的實施形態之一的半導體感測器的示意剖面圖。
圖6A是表示本發明的實施形態之一的半導體感測器的示意平面圖。
圖6B是表示本發明的實施形態之一的半導體感測器的示意 剖面圖。
圖7A是示出免疫球蛋白的結構的示意圖。
圖7B是示出免疫球蛋白的結構的示意圖。
圖7C是示出免疫球蛋白的結構的示意圖。
圖8A是示出免疫球蛋白的部分結構體的示意圖。
圖8B是示出免疫球蛋白的部分結構體的示意圖。
圖9A是示出在半導體成分上附著有標靶識別分子的前驅物的狀態的一例的示意圖。
圖9B是示出在半導體成分上附著有標靶識別分子的狀態的一例的示意圖。
以下，對本發明的半導體感測器及其製造方法以及使用半導體感測器的複合感測器的較佳實施形態進行詳細說明，但本發明並非限定於以下的實施形態而進行解釋者，可於可達成發明的目的且不脫離發明的主旨的範圍內，根據目的或用途來進行各種變更並加以實施。
<半導體感測器>
本發明的第1發明群組的實施形態的半導體感測器包括基板、第1電極、第2電極及設置於第1電極與第2電極之間的半導體層，所述半導體感測器中，半導體層包含半導體成分與免疫球蛋白的部分結構體。免疫球蛋白的部分結構體於重鏈的鉸鏈區域中經由連結基L1而鍵結或附著於半導體成分。
本發明的第2發明群組的實施形態的半導體感測器包括包括基板、第1電極、第2電極及設置於第1電極與第2電極之間的半導體層，所述半導體感測器中，半導體層具有鍵結或附著有標靶識別分子的半導體成分。標靶識別分子至少具有標靶捕捉體X及連結基L2，標靶捕捉體X為分子量為20000以上且200000以下的蛋白質或核酸，連結基L2中，其原子數N為5以上且30以下，原子數N為自鍵結於半導體成分的原子或自鍵結於附著於半導體成分的基的原子至與源自標靶捕捉體X的原子鍵結的原子的原子數。
作為本發明的實施形態的半導體感測器的變形例，較佳為半導體感測器進而包括第3電極。即，為包括基板、第1電極、第2電極、第3電極及設置於第1電極與第2電極之間的半導體層的半導體感測器。於第1發明群組的半導體感測器中，半導體層具有半導體成分及免疫球蛋白的部分結構體，免疫球蛋白的部分結構體於重鏈的鉸鏈區域中經由連結基L1而鍵結或附著於半導體成分。或者，於第2發明群組的半導體感測器中，半導體層具有鍵結或附著有標靶識別分子的半導體成分，標靶識別分子至少具有標靶捕捉體X及連結基L2，標靶捕捉體X為分子量為20000以上且200000以下的蛋白質或核酸，連結基L2中，其原子數N為5以上且30以下，原子數N為自鍵結於半導體成分的原子或自鍵結於附著於所述半導體成分的基的原子至與源自標靶捕捉體X的原子鍵結的原子的原子數。
於任一半導體感測器中，均可藉由經由第3電極來對半導體層施加電壓而使半導體層的電特性發生變化，從而進一步提高檢測感度。
圖1A、圖2A及圖3分別是表示本發明的第1實施形態、第2實施形態及第3實施形態的半導體感測器的示意平面圖。圖1B及圖2B分別是沿圖1A的AA'線及圖2A的BB'線的示意剖面圖。
如圖1A及圖1B所示，於第1實施形態的半導體感測器中，於基板1上設置有第1電極2及第2電極3，在第1電極2與第2電極3之間配置有與第1電極2及第2電極3連接的半導體層4。
如圖2A及圖2B所示，於第2實施形態的半導體感測器中，於基板1上設置有第3電極5與絕緣層6，於絕緣層6上設置有第1電極2及第2電極3。半導體層4和第1電極2及第2電極3連接地配置於第1電極2與第2電極3之間。關於圖2A及圖2B所示的半導體感測器，第1電極2、第2電極3及第3電極5分別相當於源極電極、汲極電極及閘極電極，絕緣層6相當於閘極絕緣層而具有作為場效型電晶體(FET)的功能。
如圖3所示，於第3實施形態的半導體感測器中，於基板1上設置有第1電極2及第2電極3。半導體層4和第1電極2及第2電極3連接地設置於第1電極2與第2電極3之間，於基板1上，與第1電極2及第2電極3遠離地配置有第3電極7。
此外，於通常的FET中，藉由使對閘極電極施加的閘極電壓發生變化，可控制流經源極電極與汲極電極之間的電流。FET的遷移率可使用以下的(a)式來算出。
μ=(δId/δVg)L．D/(W．εr．ε．Vsd)...(a)
再者，Id表示源極電極-汲極電極間的電流，Vsd表示源極電極-汲極電極間的電壓，Vg表示閘極電壓，D表示絕緣層的厚度，L表示通道長度，W表示通道寬度，εr表示閘極絕緣層的相對介電常數，ε表示真空的介電常數(8.85×10-12F/m)，δ表示相當的物理量的變化量。另外，開關比可根據Id的最大值與Id的最小值的比即Id的最大值相對於Id的最小值的比來求出。
以下，對FET型感測器的原理進行說明。即，作為檢測對象的標靶物質被標靶識別分子捕捉後，藉由所捕捉的標靶物質的電荷而使FET的半導體層4中的電場發生變化。藉由抓住該變化，可檢測標靶物質。再者，於本說明書中，所謂「標靶物質」，是指被感測器中所含的標靶識別分子捕捉的對象的物質。
於圖1A及圖1B所示的第1實施形態的半導體感測器中，在將標靶物質或者包含其的溶液、氣體或固體配置於半導體層4的附近時，流經第1電極2與第2電極3之間的半導體層4的電流值或電阻值發生變化。藉由測定其變化，可進行標靶物質的檢測。於第1實施形態中，不存在閘極電極，但可將因由標靶物質的電荷所產生的電場所引起的半導體層4中的電位的變化視 為δVg，因此圖1A及圖1B所示的第1實施形態的半導體感測器亦被分類為FET型感測器。
另外，於圖2A及圖2B所示的第2實施形態的半導體感測器中，在將標靶物質或者包含其的溶液、氣體或固體配置於半導體層4的附近時，流經第1電極2與第2電極3之間的半導體層4的電流值亦發生變化。藉由測定其變化，可進行標靶物質的檢測。
另外，於圖3所示的第3實施形態的半導體感測器中，藉由第3電極7的電位，可抑制流經半導體層4的電流值。因此，測定使第3電極7的電位(閘極電壓Vg)發生變化時的流經第1電極2與第2電極3之間的電流值(源極電極-汲極電極間的電流Id)時，可獲得二維的圖表(Vg-Id圖表)。
根據Vg-Id圖表，可讀取Vg-Id圖表的Vg方向位移、Id方向位移、次臨限(subthreshold)係數等特性值。可使用該些特性值中的一部分或全部來進行標靶物質的檢測，亦可使用Id的最大值相對於最小值的比即開關比來進行標靶物質的檢測。進而，亦可使用電阻值、臨限電壓變化、阻抗(impedance)、互導(mutual conductance)、電容(capacitance)等自半導體元件獲得的已知的電特性。
標靶物質可單獨使用，亦可與其他物質或溶媒混合。於測定對象為包含標靶物質的溶液的情況下，藉由被標靶識別分子捕捉的標靶物質的電荷，電場的變化經由溶液而傳遞至半導體層 4。以下，對標靶物質的電荷的資訊經由溶液而進行傳遞的原理進行說明。若具有電荷的物質存在於溶液中，則於其周邊形成電雙層，經由該電雙層而半導體層4周邊的電場發生變化。通常而言，由於電雙層的厚度為幾nm左右的程度，因此標靶識別分子的大小亦較佳為幾nm以下。
(基板)
作為用於基板的材料，並無特別限制，例如可列舉：矽晶圓、玻璃、氧化鋁燒結體等無機材料；脂肪族聚酯、聚對苯二甲酸乙二酯、聚對苯二甲酸丁二酯、聚碳酸脂、聚碸、聚醚碸、聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚苯硫醚、聚對二甲苯、聚醯亞胺、聚乙烯醇、聚氯乙烯、聚偏二氟乙烯、聚矽氧烷、聚乙烯酚、聚芳醯胺等有機材料；或無機材料粉末與有機材料的混合物等。該些材料可單獨使用，亦可將該些中的多種材料積層或混合來使用。
亦可對基板1的表面進行加工。於將本發明的實施形態的半導體感測器，用於檢測溶液中的標靶物質的情況下，藉由對基板1的表面進行加工，可抑制測定試樣溶液中的例如蛋白質等標靶物質或其他物質附著於基板1。若標靶物質附著於基板1而非檢測部，則溶液中的標靶物質的濃度降低，將無法獲得正確的測定值。另外，若標靶物質以外的物質附著於檢測部附近的基板1上，則因該物質的電荷而導致測定值紊亂，將無法獲得正確的測定值。
作為加工方法，例如較佳為將如寡聚乙二醇鏈或寡聚 (3,4-二羥基苯丙胺酸)般的不帶電的親水性基，或如磷醯膽鹼基般的同時帶有正電荷與負電荷的親水性基賦予至基板1表面的方法。
(電極)
作為用於第1電極2、第2電極3及第3電極5、第3電極7的材料，例如可列舉氧化錫、氧化銦、氧化銦錫(Indium Tin Oxide，ITO)等導電性金屬氧化物；鉑、金、銀、銅、鐵、錫、鋅、鋁、銦、鉻、鋰、鈉、鉀、銫、鈣、鎂、鈀、鉬等金屬或該些的合金；碘化銅、硫化銅等無機導電性物質；聚噻吩、聚吡咯、聚苯胺、聚乙烯二氧噻吩與聚苯乙烯磺酸的錯合物等有機導電性物質；碳奈米管(Carbon Nano Tube，CNT)、石墨烯等奈米碳(nano carbon)材料；導電性碳黑等，但並不限定於該些。於第1電極2、第2電極3及第3電極5、第3電極7中，可單獨使用該些的材料，亦可將該些中的多種材料積層或混合來使用。
於用作半導體感測器中的電極的情況下，就對於要接觸的水溶液等的穩定性的觀點而言，第1電極2及第2電極3較佳為選自金、銀、鉑、鈀、有機導電性物質及奈米碳材料中。
第1電極2、第2電極3及第3電極5、第3電極7分別可直接密接於基板1，亦可在與基板1之間介隔接著層。於接著層兼具絕緣層6的作用的情況下，亦可將金屬性或半導體性的物質作為基板1來使用。
第1電極2、第2電極3及第3電極5、第3電極7的寬度、厚度、間隔及配置可任意設計。各電極2、3、5、7的寬度 較佳為1μm以上且1mm以下，各電極2、3、5、7的厚度較佳為1nm以上且1μm以下。第1電極2與第2電極3的間隔較佳為1μm以上且10mm以下。各電極2、3、5、7的平面形狀並不限定於矩形，亦可包含曲線，亦可成為梳型等。另外，各電極2、3、5、7的寬度、厚度亦可不同。
第3電極5、第3電極7與半導體層4的距離較佳為100nm以上且10cm以下。第3電極5、第3電極7的配置並不限定於基板1的正上方，亦可為配置於基板1上的其他構件的上層。例如，可列舉將寬度為100μm且厚度為500nm的第3電極5、第3電極7與半導體層4隔開2mm的距離而配置的構成等，但並不限定於此。如圖2A所示，亦可以絕緣層6存在於第1電極2、第2電極3及半導體層4與第3電極5之間的方式配置第3電極5。另外，如圖3所示，亦可將第3電極7以與第1電極2、第2電極3及半導體層4存在於同一平面上的方式配置。於圖3所示的半導體感測器中，第3電極7與第2電極3平行地配置，但亦可垂直或以其以外的任意角度配置。進而，作為另一形態，第3電極7亦可存在於遠離第1電極2、第2電極3及半導體層4所存在的面的位置。
於測定對象為溶液的情況下，接觸半導體層4的溶液亦可與第3電極5、第3電極7接觸。於該情況下，第3電極5、第3電極7可用作經由溶液而對半導體層4施加電壓的電極，亦可用作用以對第1電極2與溶液或第2電極3與溶液之間的電位差進 行規定的參照電極。
另外，在第1電極2與第3電極5、第3電極7之間、第2電極3與第3電極5、第3電極7之間或半導體層4與第3電極5、第3電極7之間可存在氣體層、液體層、固體層的任一者或該些的組合，亦可為真空。
(絕緣層)
作為用於絕緣層6的材料，並無特別限制，例如可列舉；玻璃、氧化矽、氧化鋁等無機材料；聚醯亞胺、聚乙烯醇、聚氯乙烯、聚對苯二甲酸乙二酯、聚偏二氟乙烯、聚矽氧烷、聚乙烯酚等有機高分子材料；或無機材料粉末與有機高分子材料的混合物等。
絕緣層6的膜厚較佳為10nm以上，更佳為50nm以上，進而更佳為100nm以上。另外，較佳為5μm以下，更佳為3μm以下，進而更佳為1μm以下。絕緣層6的膜厚可藉由原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope，AFM)或橢圓偏振(ellipsometry)法等來測定。
(覆蓋構件)
於本發明的實施形態的半導體感測器中，於基板1上亦可設置覆蓋基板1的至少一部分的覆蓋構件8。圖4A是表示本發明的第3實施形態的第1變形例的示意平面圖。圖4B是沿圖4A的CC'線的剖面圖。如圖4A及圖4B所示，第3實施形態的第1變形例的半導體感測器較佳為於基板1上具備覆蓋構件8。覆蓋構件8 在與基板1之間形成內部空間9。如圖4A所示，覆蓋構件8中的虛線i、虛線j表示覆蓋構件8與內部空間9的邊界，於虛線i、虛線j所挾持的部分的基板1側設置內部空間9。
圖5A是表示本發明的第3實施形態的第2變形例的示意平面圖。圖5B是沿圖5A的DD'線的示意剖面圖。如圖5A及圖5B所示，第3實施形態的第2變形例的半導體感測器中，於基板1上設置有形成包圍半導體層4般的內部空間9的覆蓋構件8。於第2變形例的半導體感測器中，可使半導體層4與包含標靶物質的液體有效地接觸。
圖6A是表示本發明的第3實施形態的第3變形例的示意平面圖。圖6B是沿圖6A的EE'線的示意剖面圖。如圖6A及圖6B所示，於第3變形例的半導體感測器中，於基板1上設置有第1電極2及第2電極3，在第1電極2與第2電極3之間配置有與第1電極2及第2電極3連接的半導體層4。於第3變形例的半導體感測器中，配置於基板1上的第1電極2、第2電極3及半導體層4與覆蓋構件8配置於相同側。第3電極7配置於覆蓋構件8中的與半導體層4對向的部分。覆蓋構件8上的第3電極7的配置並不限定於半導體層4的正上方，亦可為斜上側等。另外，並不限定於覆蓋構件8中的自半導體層4觀察時的上表面的部分，亦可配置於側面上。圖6A所示的覆蓋構件8中的虛線p、虛線q表示表示覆蓋構件8與內部空間9的邊界，於圖6A中，在虛線p、虛線q所挾持的部分的基板1側設置內部空間9。於第1電極2、 第2電極3及半導體層4與第3電極7之間的內部空間9中可存在氣體層、液體層及固體層的任一者或組合該些而成的層，亦可為真空。
作為覆蓋構件8的材料，例如可列舉：矽晶圓、矽橡膠、玻璃及氧化鋁燒結體等無機材料；聚醯亞胺、聚酯、聚碳酸酯、聚碸、聚醚碸、聚乙烯、聚苯硫醚及聚對二甲苯等有機材料。
(半導體層)
半導體層4的膜厚並無特別限制，但較佳為1nm以上且100nm以下。藉由處於該範圍內，可充分地以電信號的形式獲取由標靶識別分子與標靶物質的相互作用所引起的電特性的變化。半導體層4的膜厚更佳為1nm以上且50nm以下，進而更佳為1nm以上且20nm以下。
半導體層4的膜厚可藉由公知的方法、例如二次離子質量分析法(Secondary Ion Mass Spectroscopy，SIMS)或AFM等來測定。於半導體層4的厚度並不均勻的情況下，例如，於使用後述的奈米碳材料般的半導體成分作為半導體層4，標靶識別分子以附著的狀態稀疏地存在於所述半導體成分中的情況下，認為附著有標靶識別分子的奈米碳材料的厚度為半導體層4的厚度。
作為半導體層4的形成方法，亦可使用電阻加熱蒸鍍、電子束、濺鍍、CVD、來自其他基板的轉印等乾式方法，但就製造成本或對大面積的適合的觀點而言，較佳為使用塗佈法等濕式法。塗佈法包括藉由塗佈半導體成分來形成半導體層4的步驟。 作為塗佈法，具體而言，可列舉：旋轉塗佈法、刀片塗佈法、縫模塗佈法、網版印刷法、棒式塗佈機法、模板法、印刷轉印法、浸漬提拉法或噴墨法等。可根據塗膜厚度的控制或配向控制等所欲獲得的塗膜特性而自該些方法中選擇較佳的方法。再者，亦可於大氣下、減壓下或氮氣(N2)或氬氣(Ar)等惰性氣體環境下對所形成的塗膜進行退火處理。
(標靶識別分子)
本發明中所使用的標靶識別分子，於半導體層4中鍵結或附著於半導體成分。於本說明書中，所謂標靶識別分子鍵結於半導體成分時的「鍵」，是指兩個原子共有電子對並藉由能量性穩定化而形成的鍵，即所謂的「共價鍵」。另外，所謂標靶識別分子附著於半導體成分時的「附著」，是指不同種的物質彼此接觸，並藉由分子間相互作用而變得不容易分離的情況。作為此種分子間相互作用，可列舉：疏水性相互作用、π-π電子相互作用、陽離子-π相互作用、多種靜電相互作用或多種氫鍵結等。
(標靶捕捉體X)
標靶識別分子中，標靶捕捉體X為蛋白質或核酸，且識別標靶物質的形狀或帶電性基的立體構型並加以捕捉。為了識別標靶物質，對於標靶捕捉體X而言，需要某程度以上的大小。就此種觀點而言，標靶捕捉體X的分子量為20000以上。另外，於FET型感測器中，隨著半導體層4與標靶識別分子所捕捉的標靶物質之間的距離變大，由標靶物質的帶電所引起的電場的變化減少。 因此，就獲得有效的檢測感度的觀點而言，標靶捕捉體X的分子量為200000以下。
作為蛋白質，可列舉：免疫球蛋白、受體、酵素、結構蛋白質、輸送蛋白質、貯存蛋白質或馬達蛋白質等。作為蛋白質，就標靶識別能力的高度及通用性的高度而言，較佳為免疫球蛋白、免疫球蛋白的部分結構體及酵素，更佳為免疫球蛋白及免疫球蛋白的部分結構體，進而就檢測感度的高度而言，特佳為免疫球蛋白的部分結構體。作為免疫球蛋白的部分結構體，可較佳地列舉獲取免疫球蛋白的包含標靶鍵結部位的部分結構者。
於標靶物質為藉由與標靶識別分子選擇性的相互作用而檢測的物質的情況下，較佳為於感測器的感應部修飾該標靶識別分子而檢測標靶物質。因此，在製造感測器時，存在如下情況：將半導體層4暴露於溶解有標靶識別分子的溶液中而於感測器的感應部將標靶識別分子固定化。於該情況下，如上所述，較佳為預先適當加工基板1的表面。藉此，可抑制該標靶識別分子附著於感應部以外，且將標靶識別分子選擇性地固定於感應部。如此，可抑制標靶物質於感應部以外的部位被標靶識別分子捕捉，可於感應部選擇性地檢測，且可提高檢測感度。
(連結基L)
於第1發明群組中，免疫球蛋白的部分結構體經由連結基L1而鍵結或附著於半導體成分。另外，於第2發明群組中，標靶識別分子具有所述的標靶捕捉體X及連結基L2。所謂標靶識別分子 中的連結基L1及/或連結基L2，是指將標靶識別分子與半導體成分的鍵結部或附著部和第1發明群組中的免疫球蛋白的部分結構體或第2發明群組中的標靶捕捉體X之間相連的基。連結基L1及/或連結基L2的長度較佳為可確保可動性的同時使標靶識別分子保留於半導體成分的附近的程度的長度。若損及標靶識別分子的可動性，則捕捉標靶物質的標靶識別分子原本的功能會消失。另外，若連結基過長，標靶物質被標靶識別分子捕捉時的標靶物質與半導體成分的距離變得過長。其結果，藉由標靶物質的電荷而產生的電場於到達至半導體成分的期間衰減，藉由標靶物質被捕捉至半導體層4上而引起的半導體成分中的電流值變化變小。即，檢測感度會降低。
具體而言，連結基L1及/或連結基L2中，其原子數N為5以上且30以下，原子數N為自鍵結於半導體成分的原子或自鍵結於附著於半導體成分的基的原子至與源自標靶捕捉體X、特別是免疫球蛋白的部分結構體的原子鍵結的原子的原子數。該原子數N更佳為8以上，進而更佳為9以上。另外，更佳為16以下，進而更佳為13以下。於該範圍中，標靶捕捉體X、特別是免疫球蛋白的部分結構體的可動性充分提高，且標靶捕捉體X可於更靠半導體成分處捕捉標靶物質。藉由該些的作用，感度提高。
此種效果於分子量10000以上的通常稱為高分子量體的大小的蛋白質或核酸中被確認到，於分子量20000以上的標靶捕捉體中特別顯著地被確認到。
為了提高連結基於試樣溶液中的可動性，較佳為於連結基L1及/或連結基L2中包含與水的親和性大的鍵。作為此種鍵，例如可列舉：醚鍵、硫醚鍵、酯鍵、醯胺鍵、硫酯鍵、二硫酯鍵、酸酐鍵、醯亞胺鍵、脲鍵、胺基甲酸酯鍵等。該些中，就穩定性或與水的親和性的觀點而言，連結基L1及/或連結基L2較佳為包含選自由醚鍵、酯鍵、醯胺鍵、醯亞胺鍵、脲鍵及胺基甲酸酯鍵所組成的群組中的結構的至少一者，特佳為包含選自由醚鍵、醯胺鍵及醯亞胺鍵所組成的群組中的結構的至少一者。
另外，為了防止連結基的過度折曲，連結基L1及/或連結基L2較佳為包含五員環結構。作為此種五員環結構的例子，可列舉如以下所述的結構般者。
Figure 106135581-A0305-02-0020-1
進而，藉由標靶識別分子包含所述連結基，可抑制長時間保管感測器時的感測器的功能降低。若將蛋白質或核酸等分子量大的分子，藉由較短的連結基而固定化的狀態下長時間放置，由於熱能量不易散發，致使蛋白質或核酸緩緩變性。結果，亦將導致感測器的功能降低。若為上述連結基，則可維持蛋白質或核酸的可動性，因此熱能量以連結基的運動的方式散發，可使蛋白 質或核酸的變性速度降低。
作為識別附著於半導體成分的基的方法，有等溫滴定型量熱法(Isothermal Titration Calorimetry，ITC)。可藉由對將相當於所關注的基的化合物與半導體成分混合時的焓變化與熵變化進行測定，來判別相當於所關注的基的化合物與半導體成分，是僅僅處於混合狀態還是處於附著的狀態。於本說明書中，將明顯地藉由ITC而附著於半導體成分的基設為「附著於半導體成分的基」。另外，將鍵結於所述基且不單獨附著於半導體成分的基中的鍵結於「附著於半導體成分的基」的原子，設為「鍵結於附著於半導體成分的基的原子」。
於半導體成分為後述的奈米碳材料的情況下，作為附著於半導體成分的基，可列舉後述的芳香族雜環基及芳香族烴基等。另外，例如亦可列舉如芘基苯基般的多個芳香族烴基或芳香族雜環基連結而成的基。
於第1發明群組中，所述連結基L1較佳為具有經取代或未經取代的芳香族烴基及/或芳香族雜環基。特佳為：所述連結基L1具有經取代或未經取代的芳香族烴基，不含取代基的芳香族烴基的碳原子數為14以上且22以下。
於第1發明群組中，較佳為：所述免疫球蛋白的部分結構體的鉸鏈區域包含硫原子，該硫原子與所述連結基L1形成鍵。鉸鏈區域中的鍵特佳為所述連結基L1與所述免疫球蛋白的部分結構體的鉸鏈區域經由該硫原子而形成硫醚鍵。
於第1發明群組或第2發明群組中，於使用免疫球蛋白的部分結構體作為標靶捕捉體X的情況下，作為第1發明群組中的免疫球蛋白的部分結構體，或第2發明群組中的標靶捕捉體X與連結基L1及/或連結基L2之間的鍵，有硫酯鍵、二硫酯鍵、磺酸酯鍵、雙硫鍵或硫醚鍵等，就鍵形成的容易性及鍵的穩定性等而言，較佳為雙硫鍵或硫醚鍵，特佳為硫醚鍵。即，連結基較佳為包含硫醚鍵。
於第2發明群組中，亦同樣地較佳為：標靶捕捉體X為免疫球蛋白的部分結構體，該免疫球蛋白的部分結構體於重鏈的鉸鏈區域中，與連結基L2形成鍵。藉由該鍵結模式，可使用以與標靶分子鍵結的鍵結部位13以容易與標靶物質相接的方式配向。
(標靶識別分子的例子)
各種標靶識別分子中，就可容易進行對於半導體成分的鍵結或附著，且藉由環的共軛系而輔助半導體特性的觀點而言，標靶識別分子較佳為由以下的通式(1)所表示的化合物或具有由通式(2)所表示的結構作為重複單元的高分子化合物。
[化2]Ar 1 -L 2 -X (1)
於通式(1)中，Ar1為經取代或未經取代的芳香族雜環 基或者經取代或未經取代的芳香族烴基。L2為所述連結基，其原子數N1為5以上且30以下，原子數N1為自鍵結於源自Ar1的原子的原子至鍵結於源自X的原子的原子的原子數。X為所述標靶捕捉體，且包含分子量為20000以上且200000以下的蛋白質或核酸。
Figure 106135581-A0305-02-0023-2
於通式(2)中，Ar2為經取代或未經取代的芳香族雜環基或者經取代或未經取代的芳香族烴基。L2為所述連結基，其原子數N2為5以上且30以下，原子數N2為自鍵結於源自Ar2的原子的原子至鍵結於源自X的原子的原子的原子數。X為所述標靶捕捉體，且為分子量為20000以上且200000以下的蛋白質或核酸。
再者，原子數N設為沿最短路徑對自鍵結於半導體成分的原子或自鍵結於附著於半導體成分的基的原子至與源自標靶捕捉體X的原子鍵結的原子進行計數者。在對自鍵結於半導體成分的原子或自鍵結於附著於半導體成分的基的原子至與源自標靶捕捉體X的原子鍵結的原子的原子數進行計數時，於在最短路徑中 存在環結構的情況下，環結構部分的原子數設為沿該環中的最短路徑而計數者。另外，於標靶識別分子具有多個鍵結或附著於半導體成分的點的情況下，設為該些中的沿到達至標靶捕捉體X的最短路徑而計數者。再者，原子數N1及原子數N2相當於原子數N，關於該些的計數方法或較佳範圍，與原子數N相同。原子數N1及/或原子數N2特佳為8以上且16以下。
例如，於由以下的結構式所表示的標靶識別分子中，Ar1與X之間如Ar1-C-C-C-N-C-C-C-C-X般相連。因此其原子數為8，原子數為自鍵結於源自Ar1的原子的原子(此處為Ar1的相鄰的碳原子)至鍵結於源自X的原子的原子(此處為X的相鄰的碳原子)的原子數。
Figure 106135581-A0305-02-0024-3
另外，於如以下的結構式般在Ar1與X之間的連結基中包含環結構的情況下，針對Ar1與X之間，亦沿最短路徑來計數時，其原子數為7，原子數為自鍵結於源自Ar1的原子的原子至鍵結於源自X的原子的原子的原子數。
[化5]
Figure 106135581-A0305-02-0025-4
另外，以下的結構式為Ar1為芘的標靶識別分子的一例。認為該分子是以多個芘環的形式鍵結或附著於半導體成分者。於該情況下，如上所述般對自X至能以最短到達的鍵結點或附著點的原子數進行計數。即，於以下的結構式中，其原子數為2，原子數為自鍵結於源自Ar1的原子的原子至鍵結於源自X的原子的原子的原子數。
Figure 106135581-A0305-02-0025-8
連結基L2擔有將標靶捕捉體X保留於半導體成分的作用。標靶捕捉體X通常水溶性高，因此需要藉由連結基L2而保留，以便不會擴散於溶液中。
於由通式(1)所表示的化合物或具有由所述通式(2)所表示的結構作為重複單元的高分子化合物中，標靶捕捉體X較 佳為經由連結基L2而於Ar1或Ar2處固定化。
亦已知有通常將標靶識別分子於半導體層4上的絕緣層6、例如矽(Si)半導體層上的二氧化矽(SiO2)層上加以固定化的方法。然而，該固定化方法中，由於絕緣層6將遮蔽因標靶識別分子而產生的電場，導致檢測感度降低。因此，標靶捕捉體X較佳為保留於半導體成分。
進而，為了不阻礙半導體成分的導電性，標靶識別分子較佳為藉由附著而保留於半導體成分。
標靶識別分子中的Ar1及Ar2可與半導體成分進行疏水性相互作用而附著於半導體成分。於半導體成分為奈米碳材料的情況下，除了疏水性相互作用以外，π-π電子相互作用亦加入，因此相互作用特別強且可穩定地附著。推測該情況下的π-π電子相互作用為由芳香族雜環基或芳香族烴基的π電子雲與奈米碳材料的π電子雲的重疊所帶來的相互作用。
作為芳香族雜環基的例子，可列舉：呋喃基、苯并呋喃基、二苯并呋喃基、噻吩基、苯并噻吩基、二苯并噻吩基、異噻唑基、噻二唑基、噻唑基、吡啶基、喹啉基、嘧啶基、吡嗪基、三嗪基、喹噁啉基、喹唑啉基、吲哚基、卟啉基等。就與半導體成分的相互作用特別強且可穩定地附著的觀點而言，較佳為噻吩基、異噻唑基、噻二唑基或噻唑基，特佳為噻吩基或噻二唑基。
作為芳香族烴基的例子，可列舉：茀基、菲基、蒽基、芘基、三苯基、對聯苯基、苯并[a]蒽基、丙[二]烯合茀基 (fluoranthenyl group)、二苯并[a,h]蒽基、二苯并[a,h]芘基、3,4-苯并芘基、
Figure 106135581-A0305-02-0027-54
基、稠四苯基、稠五苯基、萘并[2,3-a]芘基、碗烯基(corannulenyl)、蔻基(coronenyl group)等。該些中，就處理容易度的觀點而言，較佳為菲基、蒽基、芘基、三伸苯基、對聯苯基、苯并[a]蒽基、丙[二]烯合茀基、二苯并[a,h]蒽基、3,4-苯并芘基、
Figure 106135581-A0305-02-0027-53
基、稠四苯基、稠五苯基或碗烯基(corannulenyl)。該些中，就與半導體成分的相互作用特別強且可穩定地附著的觀點而言，更佳為基於芘基、三伸苯基或丙[二]烯合茀基的基，特佳為芘基。
Ar1、Ar2及連結基L2亦可進而具有取代基。作為具有取代基時的取代基，較佳為選自由烷基、環烷基、烯基、環烯基、炔基、烷氧基、烷硫基、芳醚基、芳基硫醚基、鹵素原子、氰基、胺基、巰基、羰基、羧基及氧羰基所組成的群組中。再者，Ar1、Ar2及連結基L2亦可進而具有經取代或未經取代的芳香族雜環基或芳香族烴基，亦可具有經取代或未經取代的芳香族雜環基或芳香族烴基這兩者。芳香族雜環基或芳香族烴基具有取代基時的取代基較佳為選自由所述取代基所組成的群組中。
作為具有由通式(2)所表示的結構作為重複單元的高分子化合物，就於水溶液中與半導體成分進行疏水性相互作用，並保持穩定地鍵結或附著的狀態的觀點而言，較佳為聚伸苯、聚苯乙炔、聚噻吩、聚茀、聚噻二唑、聚苯并噻二唑，特佳為聚噻吩、聚茀、聚苯并噻二唑。
就化合物的穩定性、相互作用的強度、處理容易度等的 觀點而言，較佳為：標靶識別分子為由所述通式(1)所表示的化合物，Ar1為經取代或未經取代的芳香族烴基，不含取代基的芳香族烴基的碳原子數為14以上且22以下。更具體而言，特佳為Ar1為芘基。
作為標靶識別分子的較佳結構的具體例，可列舉以下所述者。式中，k為1以上且24以下的整數，m為1以上且9以下的整數。
Figure 106135581-A0305-02-0028-9
(免疫球蛋白)
免疫球蛋白通常亦被稱為抗體。本發明中可使用的免疫球蛋白中亦可包含任意類型、綱、亞綱的免疫球蛋白。此種免疫球蛋白中例如包含IgG、IgE、IgM、IgD、IgA、IgY、IgG1、IgG2、IgG3、IgG4、IgA1、IgA2等。該些中，較佳為以單量體的形式存在且容易處理的IgG、IgE、IgD，特佳為容易獲取的IgG。
作為IgG，亦可使用源自任何動物者。例如可列舉源自鱷魚、鴨、人類、猴、山羊、兔子、綿羊、牛、馬、狗、貓、豬、小白鼠(rat)、老鼠(mouse)、海豚等的IgG。該些中，就免疫體系的高等度與獲取的容易度而言，更佳為源自山羊、兔子、綿羊、老鼠的IgG。
於本說明書中，在表述抗體時，以源自動物、標靶物質的順序進行表述。具體而言，例如源自山羊的抗體，且與人類的血紅蛋白選擇性地相互作用的情況下，表述為「山羊抗人類血紅蛋白抗體」。
本發明中所使用的IgG亦可為與和源自動物不同的動物的IgG鍵結者。作為此種例子，可列舉：山羊抗兔子IgG抗體、兔子抗綿羊IgG抗體、山羊抗老鼠IgG抗體、老鼠抗山羊IgG抗體、山羊抗人類IgG抗體、兔子抗人類IgG抗體、綿羊抗人類IgG抗體或老鼠抗人類IgG抗體等。
關於免疫球蛋白的結構，使用單量體的IgG進行說明。IgA可視為IgG的二聚體，IgM可視為IgG的五聚體。
如圖7A所示，免疫球蛋白10中，兩條被稱為重鏈11的多肽鏈與兩條被稱為輕鏈12的多肽鏈藉由雙硫鍵而連結，從而形成一個巨大分子。
如圖7B所示，於免疫球蛋白10中存在被稱為Fab區域15的區域與被稱為Fc區域16的區域。於Fab區域15的前端存在用以與標靶分子鍵結的鍵結部位13。
如圖7B及圖7C所示，於Fab區域15與Fc區域16的邊界區域中，兩條重鏈11彼此藉由兩個雙硫鍵而連結。將該區域稱為鉸鏈區域14。鉸鏈區域14為存在於Fab區域15與Fc區域16之間的靈活的胺基酸排列。於本說明書中，即使將重鏈11彼此切離而導致鉸鏈區域14消失的情況下，方便起見，亦將曾形成鉸鏈區域14的區域稱為鉸鏈區域。
若使蛋白質分解酵素作用於免疫球蛋白10，則Fc區域16分解，而殘留包含鉸鏈區域14與Fab區域15的部分結構體。該部分結構體被稱為F(ab')2。於該分解反應中，通常使用胃蛋白酶，但只要充分研究反應條件，則亦可使用其他蛋白質分解酵素。
若使具有適當的還原力的還原劑作用於F(ab')2，則連結重鏈11彼此的雙硫鍵被切斷。藉此，如圖8A所示，生成部分結構體17，部分結構體17包含Fab區域15中的一條輕鏈12與一條重鏈11，以及鉸鏈區域14中的部分結構。部分結構體17被稱為Fab'。作為還原劑，可使用烷基硫醇或2-巰基乙胺等。
只要使Fab'作用於可與巰基反應的官能基，則可在Fab'與該官能基之間形成鍵。於本發明的實施形態的半導體感測器中，Fab'經由連結基而鍵結或附著於半導體成分，為此，可利用該反應。
作為其他例，若使還原劑作用於免疫球蛋白10，則連結重鏈11彼此的雙硫鍵被切斷。藉此，則如圖8B所示，生成部分 結構體18，部分結構體18包含一條輕鏈12與一條重鏈11，以及鉸鏈區域14具有巰基的部分結構。於本說明書中，將該部分結構體18稱為「還原型免疫球蛋白半聚體」。藉由亦使還原型免疫球蛋白半聚體作用於可與巰基反應的官能基，可在與該官能基之間形成鍵。
再者，此處，對將天然型的免疫球蛋白10加以處理而獲取其部分結構體的方法進行了說明，但本發明的免疫球蛋白的部分結構體的獲取方法並不限定於該些。只要可獲得實質上相同者，則亦可使用其他方法。作為其他方法，例如可列舉將對Fab'或還原型免疫球蛋白半聚體進行了編碼的載體導入至大腸菌來獲取的方法等。
藉由以上的處理，可使免疫球蛋白10小型化。其結果，可將藉由標靶物質的電荷而產生的電場有效地傳遞至半導體層4，從而檢測感度提高。
作為免疫球蛋白10的部分結構體的起始物質，可為單株抗體及多株抗體的任一者。就減低感測器間的特性偏差的觀點而言，較佳為單株抗體。即便於將多株抗體設為起始物質的情況下，亦可藉由包含使抗體鍵結於鍵結有精製多肽的親和管柱(affinity column)的步驟的所謂吸收法來獲得特異抗體。
於將單株抗體用作起始物質的情況下，作為該抗體，亦可使用嵌合抗體(例如，具有老鼠單株抗體的可變區域的人類抗體)、人類化抗體(例如，具有老鼠單株抗體的相輔性決定區域的 人類抗體)。另外，亦可為利用公知的遺傳工程學的方法或蛋白質工程學的方法而意圖將變異導入至免疫球蛋白的一部分的抗體。
所使用的免疫球蛋白的部分結構體的分子量亦對感測器的性能造成影響。部分結構體的分子量越小，有越可於半導體層4附近捕捉標靶物質的優點，或越可將更多數量的部分結構體導入至半導體層4的優點。另一方面，盡可能保存原本的免疫球蛋白的立體結構，可維持相對於標靶物質的鍵結能力。就該些兩個效果的平衡而言，用作標靶捕捉體X的免疫球蛋白的部分結構體的分子量較佳為20000以上，更佳為30000以上，特佳為35000以上。另外，免疫球蛋白的部分結構體的分子量較佳為120000以下，更佳為100000以下，特佳為58000以下。
本發明中的免疫球蛋白的部分結構體的分子量是藉由利用基質輔助雷射脫附離子化法-飛行時間型質量分析法(Matrix Assisted Laser Desorption Ionization Time Of Flight Mass Spectrometry，MALDI-TOFMS)來對試樣進行分析而決定的值。
(半導體成分)
作為本發明中可使用的半導體成分，有單體半導體、化合物半導體、有機半導體、奈米碳材料等。
作為單體半導體，可使用矽、鍺等IV族元素。作為使用矽時的形態，可列舉：非晶矽、多晶矽(polycrystal silicon)、單晶矽等。於使用矽半導體的情況下，可以板狀使用，亦可以矽奈米線的形狀使用。所謂矽奈米線，是指直徑為1nm以上且999 nm以下的纖維狀的矽半導體。直徑越細，越可敏感地感受到環境，因此感度佳。因此，於使用矽奈米線的情況下，較佳為直徑1nm以上且100nm以下者。
作為矽奈米線的製作方法，可列舉：固相法、液相法、氣相法、化學氣相成長法(化學氣相沈積(Chemical vapor deposition，CVD)法)、氣液固(Vapor-Liquid-Solid，VLS)法、利用基板的蝕刻的方法等。
化合物半導體進而可分類為II-VI族半導體、III-V族半導體、IV族化合物半導體、I-III-VI族半導體、II-IV-V族半導體等。作為II-VI族半導體，可列舉：ZnSe、CdS、ZnO等。作為III-V族半導體，可列舉：GaAs、InP、GaN等。作為IV族化合物半導體，可列舉SiC、SiGe等。作為I-III-VI族半導體，可列舉CuInSe2、AgGaTe2等。作為II-IV-V族半導體，可列舉ZnSiAs2、CdGeAs2等。
作為有機半導體，可列舉：稠五苯、蒽、紅螢烯、苝、蔻、酞菁等多環芳香族烴；或聚噻吩、聚對苯乙炔、聚乙炔、聚吡咯、聚苯胺等聚合物等。
作為奈米碳材料，有富勒烯、CNT、石墨烯、碳奈米角等，以下分別進行敘述。於本發明中，亦可組合使用奈米碳材料彼此。作為例子，可列舉富勒烯內包於CNT的內側的豆莢(peapod)。
富勒烯為形成有碳原子彼此藉由sp2混成軌域間相互作 用而鍵結的多面體結構的化合物。多面體包含五員環與六員環。作為構成多面體的碳數，有60、70、74、76、78等。富勒烯可以一分子使用，亦可以多個富勒烯分子聚集而成的富勒烯奈米須晶或富勒烯奈米須晶形成中空結構的富勒烯奈米纖維的形態使用。
石墨烯亦被稱為石墨烯．片，理想的是所有的碳原子彼此利用sp2混成軌域間相互作用進行鍵結並採取六邊形格子結構。若積層多層石墨烯，則成為石墨。石墨烯為不存在能帶間隙的特殊的半導體。石墨烯顯示非常高的電子遷移率，因此有望作為半導體層4中的半導體成分。
亦包含將碳層重疊至幾原子層而成者在內而被稱為石墨烯。本發明中所使用的石墨烯較佳為碳層為10原子層以下，更佳為3原子層以下，特佳為單原子層。
石墨烯的合成方法並無特別限定，例如可列舉：機械剝離法、化學剝離法、碳化矽加熱法(以下，SiC加熱法)或熱化學氣相成長法(以下，熱CVD法)等。
石墨烯存在於基板1上的情況可藉由光學顯微鏡來簡易地確認。利用光學顯微鏡的觀察雖為簡便的方法，但藉由密切觀察，亦可辨別單層、兩層、三層的石墨烯。進行更詳細的分析時可使用拉曼分光法。
作為CNT，可列舉：將一片碳膜(石墨烯．片)呈圓筒狀捲繞的單層CNT、將兩片石墨烯．片呈同心圓狀捲繞的兩層CNT、將多個石墨烯．片呈同心圓狀捲繞的多層CNT等。於本發明 中，可使用該些的任一者，但為了獲得高的半導體特性，較佳為使用單層CNT。CNT可藉由電弧放電法、化學氣相成長法(CVD法)、雷射．剝蝕(laser ablation)法等而獲得。
CNT更佳為包含80重量%以上的半導體型CNT。進而更佳為包含95重量%以上的半導體型CNT。作為獲得半導體型為80重量%以上的CNT的方法，可使用已知的方法。例如可列舉：於密度梯度劑的共存下進行超離心的方法；使特定的化合物選擇性地附著於半導體型CNT或金屬型CNT的表面，利用溶解性的差異進行分離的方法；利用電性質的差異並藉由電泳等進行分離的方法等。本發明中的半導體型CNT的含有率是於拉曼光譜中，根據金屬型CNT的波峰面積與半導體型CNT的波峰面積的比而算出的值。
於本發明中，CNT的長度較佳為短於所應用的感測器中的第1電極2與第2電極3之間的距離。具體而言，CNT的平均長度雖取決於通道長度，但較佳為2μm以下，更佳為1μm以下。所謂CNT的平均長度，是指隨機選擇的20根CNT的長度的平均值。作為CNT平均長度的測定方法，可列舉如下方法：自利用原子力顯微鏡、掃描式電子顯微鏡、穿透式電子顯微鏡等而獲得的圖像中，隨機選擇20根CNT，並獲得該些的長度的平均值。
通常所市售的CNT於長度方面有分佈，且有時包含長度長於電極間距離的CNT，因此較佳為增加使CNT短於電極間距離的步驟。例如，有效的是藉由利用硝酸、硫酸等的酸處理、超 音波處理或凍結粉碎處理等來呈短纖維狀切割的方法。另外，就提高純度的方面而言，進而更佳為併用利用過濾器的分離。
另外，CNT的直徑並無特別限定，但較佳為1nm以上且100nm以下，更佳為1nm以上且50nm以下。
本發明中，較佳為設置使CNT均勻分散於溶媒中，並藉由過濾器對分散液進行過濾的步驟。藉由自濾液獲得小於過濾器孔徑的CNT，可効率良好地獲得短於電極間距離的CNT。於該情況下，作為過濾器，可較佳地使用薄膜過濾器。過濾中所使用的過濾器的孔徑越小於通道長度越佳，較佳為0.5μm以上且10μm以下。此外，作為縮短CNT的長度的方法，可列舉酸處理、凍結粉粹處理等。
碳奈米角設為將石墨烯呈圓錐形磨圓而成的結構。碳奈米角可藉由在室溫下、氬氣環境中對石墨照射二氧化碳雷射而合成。碳奈米角的直徑較佳為2nm以上且5nm以下左右者。碳奈米角於未實施分離步驟的情況下形成集合體。本發明中，可直接使用集合體，亦可逐個分離地使用。
於本發明的實施形態的感測器中，作為半導體成分，就遷移率大、比表面積大的觀點而言，較佳為選自由富勒烯、CNT、石墨烯及碳奈米角所組成的群組中的至少一種，進而，該些中，就生產節拍的觀點而言，特佳為CNT。
於本發明的實施形態的感測器中，半導體層4中的半導體成分的表面亦可由不顯示半導體特性的極薄的膜覆蓋。其原因 在於：若半導體成分直接暴露於溶液中，則有導致始料未及的電性變化的情況。於覆蓋半導體成分的極薄的膜上亦可附著共軛系有機化合物。但是，被覆半導體成分的膜的厚度較佳為如下程度的膜厚：在將本發明的半導體元件用作感測器時，不阻礙其電性檢測。具體而言，較佳為300nm以下，更佳為200nm以下，特佳為100nm以下。
(分散劑)
於將奈米碳材料複合體用作半導體成分的情況下，較佳為使分散劑附著於奈米碳材料表面的至少一部分。藉此，可不損及奈米碳材料所保有的高的電特性而使奈米碳材料均勻分散於溶液中。另外，藉由塗佈法，可由均勻分散有奈米碳材料的溶液而形成均勻分散的奈米碳材料膜。藉此，可實現高的半導體特性。
使分散劑附著於奈米碳材料的方法可列舉如下方法等：(I)於經熔融的分散劑中添加奈米碳材料而進行混合的方法；(II)使分散劑溶解於溶媒中，並於其中添加奈米碳材料而進行混合的方法；(III)預先利用超音波等使奈米碳材料預分散，並向其中添加分散劑而進行混合的方法；(IV)於溶媒中放入分散劑與奈米碳材料，對該混合體系照射超音波而進行混合的方法。本發明中，可使用任一方法，亦可組合任意方法。
作為分散劑，並無特別限定，具體而言，可列舉：聚乙烯醇；羧基甲基纖維素等纖維素類；聚乙二醇等聚烷二醇類；聚甲基丙烯酸羥基甲酯等丙烯酸樹脂；聚-3-己基噻吩等共軛系聚合 物；蒽衍生物、芘衍生物等多環芳香族化合物；十二烷基硫酸鈉、膽酸鈉等長鏈烷基有機鹽等。就與奈米碳材料的相互作用的觀點而言，較佳為具有烷基、芳香族烴基等疏水性基者或具有共軛結構者，特佳為共軛系聚合物。只要為共軛系聚合物，則不損及奈米碳材料所保有的高的電特性而使奈米碳材料均勻分散於溶液中的效果或高的半導體特性等效果進一步提高。
(共軛系聚合物)
於本發明的實施形態的感測器中，較佳為於半導體成分的至少一部分上附著有共軛系聚合物。所謂此處所述的「附著」，是指與標靶識別分子附著於半導體層4的情況相同的現象。所謂共軛系聚合物，是指於單體單元內或於單體單元內及鄰接的單體單元間，原子間的多重鍵的共軛系相連的聚合物。共軛系聚合物亦擔有如下作用：防止由半導體成分直接與試樣溶液接觸而引起始料未及的電特性變化，並且藉由共軛系來輔助半導體成分的電子傳遞。
作為共軛系聚合物，可列舉聚噻吩系聚合物、聚吡咯系聚合物、聚苯胺系聚合物、聚乙炔系聚合物、聚對苯系聚合物、聚對苯乙炔系聚合物等，但並無特別限定。所述聚合物可較佳地使用將單一的單體單元排列而成者，但亦可使用使不同的單體單元進行嵌段共聚而成者、使不同的單體單元進行無規(random)共聚而成者、使不同的單體單元進行接枝共聚而成者。
所述聚合物中，就共軛系的電子軌域大、與半導體成分 的相互作用變大的觀點而言，較佳為於重複單元中存在包含硫原子的雜環的共軛系聚合物。其中，特佳為對於半導體成分的附著牢固且電子傳導輔助效果高的噻吩系聚合物、噻二唑系聚合物、苯并噻二唑系聚合物。
共軛系聚合物的較佳分子量以數量平均分子量計為800以上且100000以下。另外，所述聚合物未必需要為高分子量，亦可為包含直鏈狀共軛系的寡聚物。
另外，共軛系聚合物含有側鏈，較佳為於其側鏈的至少一部分含有選自由羥基、羧基、胺基、巰基、磺基、膦酸基、該些的有機鹽或無機鹽、甲醯基、順丁烯二醯亞胺基及琥珀醯亞胺基所組成的群組中的至少一個官能基，特佳為含有選自由醯胺基、酯基及醯亞胺基所組成的群組中的至少一個官能基。該些官能基彼此亦可鍵結而形成環。
於本說明書中，所謂側鏈，是指於構成共軛系聚合物的主鏈的原子上進行取代而連結的包含至少一個碳原子的分子鏈。另外，所謂於側鏈包含官能基，是指於側鏈的末端包含所述官能基或自側鏈分支而包含所述官能基。而且，所謂鏈，是指兩個以上的原子串聯連結而成者。此時，可使所述官能基中所含的一個原子含有於構成分子鏈的原子中。因此，例如，於在主鏈連結有由CH2-COOH所表示的基的情況下，其為含有羧基的側鏈。
該側鏈較佳為於分子鏈的至少一部分中含有伸烷基。另外，共軛系聚合物的側鏈較佳為介隔伸烷基而含有所述官能基。 伸烷基可直接鍵結於作為主鏈的構成共軛系聚合物的原子，亦可經由醚鍵、酯鍵等而鍵結。
所謂伸烷基，例如表示亞甲基、伸乙基、伸正丙基、伸異丙基、伸正丁基、伸第二丁基、伸第三丁基、伸環丙基、伸環己基、伸降莰基等二價飽和脂肪族烴基。伸烷基可具有取代基，亦可不具有取代基。具有取代基時的追加的取代基並無特別限制，例如可列舉：烷基或甲氧基、乙氧基等烷氧基等。另外，伸烷基的碳數並無特別限定，就獲取的容易性或成本的方面而言，較佳為1以上且20以下，更佳為1以上且8以下。
作為具有所述結構的共軛系聚合物，具體而言，可列舉如下所述般的結構。再者，各結構中的n表示重複數，為2以上且1000以下的範圍。另外，共軛系聚合物可為各結構的單一的聚合物，亦可為共聚物。另外，亦可為各結構與在其結構中不具有側鏈者的共聚物。
[化8]
Figure 106135581-A0305-02-0041-10
[化9]
Figure 106135581-A0305-02-0042-11
[化10]
Figure 106135581-A0305-02-0043-12
[化11]
Figure 106135581-A0305-02-0044-13
[化12]
Figure 106135581-A0305-02-0045-14
[化13]
Figure 106135581-A0305-02-0046-15
[化14]
Figure 106135581-A0305-02-0047-16
本發明中所使用的共軛系聚合物可藉由公知的方法而合成。合成單體時，例如可列舉使噻吩與導入有於末端具有羧基的烷基的噻吩衍生物進行偶合的方法。作為其具體例，可列舉：使經鹵化的噻吩衍生物與噻吩硼酸或噻吩硼酸酯於鈀觸媒下進行偶合的方法；使經鹵化的噻吩衍生物與噻吩格氏試劑(Grignard reagent)於鎳或鈀觸媒下進行偶合的方法等。藉由使用此種單體 進行聚合反應，從而獲得導入有於末端具有羧基的烷基鏈作為側鏈的聚噻吩系聚合物。另外，亦可將藉由相同的方法而使噻吩以外的共軛系單元與噻吩進行偶合而成者設為單體單元。將聚合性取代基導入至以所述方式而獲得的單體單元的末端，並於鈀觸媒或鎳觸媒下進行聚合，藉此可獲得包含噻吩以外的共軛系單元的共軛系聚合物。
本發明中所使用的共軛系聚合物較佳為將合成過程中所使用的原料或副產物等雜質去除。作為該方法，例如可使用矽膠管柱層析法、索式萃取法(Soxhlet extraction)、過濾法、離子交換法、螯合法等。亦可將該些方法組合兩種以上。
(保護劑)
於本發明的實施形態的半導體感測器中，亦可對半導體成分實施利用如下試劑(稱為「保護劑」)的處理，所述試劑用以妨礙標靶物質以外的物質的接近、附著。藉此，可進一步選擇性地檢測標靶物質。保護劑可物理性附著於半導體成分，亦可經由鍵而導入至半導體成分中的某處。
作為使保護劑附著於半導體成分的方法，可列舉：(I)預先利用超音波使半導體成分預分散，並向其中添加保護劑而進行混合的方法；(II)於溶媒中放入保護劑與半導體成分，對該混合體系照射超音波而進行混合的方法；(III)將塗佈於基板1上的半導體成分浸漬於經熔融的保護劑中的方法；(IV)使保護劑溶解於溶媒中，並將塗佈於基板1上的半導體成分浸漬於其中的方法 等。本發明中，可使用任一方法，亦可組合任意方法。就檢測感度的觀點而言，較佳為(III)或(IV)等利用固液反應而使保護劑附著於半導體成分的方法。
共軛系聚合物與保護劑可為相同的化合物，亦可為不同的化合物，就檢測感度的觀點而言，較佳為不同的化合物。作為保護劑的例子，可列舉：牛血清白蛋白、酪蛋白、脫脂乳等蛋白質；直鏈澱粉、纖維素、聚葡萄糖(dextran)、羧基甲基纖維素等多糖類；聚乙二醇等聚烷二醇類；乙醇胺、巰基乙醇等低分子有機化合物；聚乙烯醇、聚氧乙烯聚氧四亞甲基單甲基丙烯酸酯(polyoxyethylene polyoxytetramethylene monomethacrylate)、聚(2-甲基丙烯醯氧基乙基磷醯膽鹼)等合成高分子等。
使共軛系聚合物附著於半導體成分的步驟與利用保護劑對半導體成分進行修飾的步驟的順序並無特別限定，但較佳為於使共軛系聚合物附著後進行保護劑的修飾的順序。
(標靶物質)
作為本發明的實施形態的半導體感測器中的標靶物質，並無特別限定，例如可列舉：酵素、抗原、抗體、半抗原、肽、寡肽、多肽(蛋白質)、激素、核酸、寡核苷酸、糖、寡糖、多糖等糖類、低分子化合物、無機物質及該些的複合體、病毒、細菌、細胞、生物體組織及構成該些的物質等。該些藉由與標靶識別分子的相互作用而給本發明的實施形態的半導體感測器中的半導體層的電特性帶來變化。
藉由本發明的實施形態的半導體感測器，亦可檢測低分子化合物。作為低分子化合物，並無特別限定，例如可列舉：由生物體所產生的氨或甲烷等於常溫常壓下為氣體的化合物或者尿酸等固體化合物。
本發明的實施形態的半導體感測器使用蛋白質或核酸作為標靶捕捉體X，由於與源自生物體的物質的相性佳。因此，本發明的實施形態的半導體感測器較佳為以源自生物體的物質為檢測對象的半導體感測器。再者，此處，病毒亦以源自生物體的物質的形式進行處理。
作為本發明的實施形態的半導體感測器中的標靶捕捉體X/標靶物質的組合，例如可列舉：前列腺特異抗原用單株抗體(T-PSA-mAb)/前列腺特異抗原(Prostate Specific Antigen，PSA)、抗人絨毛膜促性腺激素抗體(anti-hCG-mAb)/人絨毛膜促性腺激素(human Chorionic Gonadotropin，hCG)、抗甲胎蛋白(Alpha Fetal Protein，AFP)多株抗體(人類組織免疫染色用抗體)/α胎蛋白(α-fetoprotein)、抗(anti)-肌鈣蛋白(troponin)T(抗肌鈣蛋白T抗體)/肌鈣蛋白T、抗肌酸激酶MB抗體(anti-Creatine Kinase-MB，anti-CK-MB)/肌酸激酶MB(CK-MB)、抗(anti)-PIVKA-II(抗維生素K缺乏誘導蛋白(protein induced by vitamin K absence or antagonist(PIVKA)-II抗體)/PIVKA-II、抗糖類抗原(anti-Carbohydrate Antigen 15-3，anti-CA15-3)(乳癌C腫瘤標記)抗體/CA15-3、抗癌胚抗原抗體(anti-Carcino Embryonie Antigen，anti-CEA)/癌胚抗原(CEA)、抗細胞角蛋白19片段抗體(anti-Cytokeratin-19-fragment，anti-CYFRA)/細胞角蛋白19片段(CYFRA)、抗p53蛋白質抗體(anti-p53)/p53蛋白質(p53)、抗血紅蛋白抗體/血紅蛋白、抗糖化血紅蛋白抗體/糖化血紅蛋白、抗腦利鈉肽(Brain Natriuretic Peptide，BNP)抗體/BNP、葡萄糖脫氫酶(Glucose Dehydrogenase，GDH)/葡萄糖、葡萄糖氧化酶/葡萄糖、脫氧核糖核酸(Deoxyribonucleic acid，DNA)/核糖核酸(Ribonucleic Acid，RNA)等。本發明的實施形態的半導體感測器可用於氣體感測器、離子感測器、心肌標記感測器、腫瘤標記感測器、血紅蛋白感測器、糖化血紅蛋白感測器等各種感測器。
於本發明的實施形態的半導體感測器中，即使遍及較寬廣的濃度範圍，仍可難以產生測定誤差的標靶物質為血紅蛋白及糖化血紅蛋白，特佳為設為以該些為檢測對象的半導體感測器。即，標靶捕捉體X較佳為與血紅蛋白或糖化血紅蛋白的至少一者選擇性地相互作用的免疫球蛋白的部分結構體。
另外，本發明的實施形態的半導體感測器適合於血紅蛋白及糖化血紅蛋白的檢測，因此亦可包含半導體感測器與檢測葡萄糖的感測器而構成複合感測器。於複合感測器中，作為標靶物質之一的糖化血紅蛋白特佳為血紅蛋白A1c(以下，簡記為HbA1c(HaemoglobinA1c))。可藉由對葡萄糖與HbA1c的成為糖尿病的指標的多種物質的生物體液中濃度進行測定的感測器來有效地進行糖尿病的病狀監視。
(生物體液)
出於檢測生物體液中的物質的目的，亦可使用本發明的實施形態的半導體感測器。所謂生物體液，是指生物於生物的體內以某種形式所具有的液體。可直接使用自生物體所採取的所有液體、例如血液、組織液、體腔液、消化液、尿、唾液、汗、淚、鼻涕、精液、淋巴液、陰道液、羊水、乳汁、腦脊液、滑液及細胞懸浮液等。另外，亦可為預先自生物體試樣中將細胞成分等破碎或去除的試樣。作為供於本發明的實施形態的半導體感測器的試樣，生物體液中，就獲取的容易性而言，較佳為血液、唾液、汗、淚、尿等，其中，血液包含大量的生物體資訊，因此更佳。
(半導體感測器的製造方法)
作為本發明的實施形態的半導體感測器的製造方法，以第1實施形態的半導體感測器的製造方法為例進行說明。該半導體感測器的製造方法包括將半導體成分塗佈於基板1上並進行乾燥而形成半導體層的步驟。再者，製造方法並不限定於如下所述。
首先，於基板1上形成第1電極2及第2電極3。形成方法例如可列舉：金屬蒸鍍、旋轉塗佈法、刀片塗佈法、縫模塗佈法、網版印刷法、棒式塗佈機法、模板法、印刷轉印法、浸漬提拉法或噴墨法等公知的方法。為了分別呈圖案狀形成電極2、3，亦可使用遮罩等來直接形成圖案。另外，亦可於基板1上塗佈抗蝕劑，並進行曝光及顯影而將抗蝕劑膜加工成所期望的圖案，然後藉由蝕刻而對電極進行圖案化。
繼而，形成半導體層4。該方法較佳為包括如下步驟的製造方法：於基板1上塗佈半導體成分的步驟；使標靶識別分子的前驅物鍵結或附著於該半導體成分的步驟；及在該標靶識別分子的前驅物與標靶捕捉體X之間形成鍵的步驟。此處，所謂「標靶識別分子的前驅物」，是指標靶識別分子中的將標靶捕捉體X除外的部分。若在標靶識別分子的前驅物與標靶捕捉體X之間形成鍵，則成為本發明中所使用的標靶識別分子。
作為使標靶識別分子的前驅物鍵結或附著於半導體成分的方法，可列舉：於真空中蒸鍍標靶識別分子的前驅物的方法；將包含半導體成分的層浸漬於溶解有標靶識別分子的前驅物的溶液中的方法；於半導體層上塗佈包含標靶捕捉體X以外的部分的標靶識別分子的前驅物的方法；或於包含半導體成分的層上塗佈溶解有標靶識別分子的前驅物的溶液的方法等。
作為在標靶識別分子的前驅物與標靶捕捉體X之間形成鍵的方法，可列舉：於真空中使標靶捕捉體X碰撞包含半導體成分的層而進行反應的方法；將包含半導體成分的層浸漬於溶解有標靶捕捉體X的溶液中的方法；於包含半導體成分的層上塗佈溶解有標靶捕捉體X的溶液的方法等。
以下，使用具體例對如下反應進行說明：使標靶識別分子的前驅物附著於半導體成分後，在標靶識別分子的前驅物與標靶捕捉體X之間形成鍵，從而形成標靶識別分子。首先，製作在兩個電極之間配置CNT作為半導體成分而成的基板。繼而，使具 有芘基與順丁烯二醯亞胺基的標靶識別分子的前驅物溶解於乙腈等有機溶媒中。使以所述方式所製作的基板浸漬於該溶液中。如此，如圖9A所示，藉由CNT 19與芘環的π-π電子相互作用，標靶識別分子的前驅物附著於CNT 19上。但是，圖中的L'為成為反應後連結基L的結構中，為除了順丁烯二醯亞胺基以外的結構。
繼而，針對以所述方式而將標靶識別分子的前驅物於CNT 19上加以固定化的基板，浸漬於溶解有作為標靶捕捉體X的免疫球蛋白的部分結構體20即Fab'的水溶液中。如此，Fab'的鉸鏈區域的硫原子21與標靶識別分子的前驅物的順丁烯二醯亞胺基反應而形成鍵，從而可獲得標靶識別分子。即，關於該反應的結果，如圖9B所示，成為標靶識別分子於CNT 19上被固定化的狀態。
關於半導體成分於基板1上的配置與標靶識別分子的固定化，可分別進行，亦可成批進行。於成批進行時，例如可列舉如下方法：預先使用鍵結或附著有標靶識別分子的半導體成分來形成半導體層的方法。
其他實施形態的半導體感測器的製造方法亦可使用所述方法。例如，第2實施形態的半導體感測器的製造方法相對於第1實施形態的半導體感測器的製造方法而增加有先於基板1上形成第3電極5與絕緣層6的步驟。
(實施例及比較例)
以下，對本發明的實施形態的具體實施例進行說明。再者， 本發明並不限定於後述實施例。再者，以下示出所使用的化合物中的以簡稱表示者。
o-DCB：鄰二氯苯
PBS：磷酸緩衝生理食鹽水
BSA：牛血清白蛋白
EDTA：乙二胺四乙酸
P3HT：聚-3-己基噻吩
DMF：二甲基甲醯胺
HRG：富組胺酸糖蛋白
NMP：N-甲基吡咯啶酮
EDC：乙基(二甲基胺基丙基)碳二醯亞胺
NHS：N-羥基琥珀醯亞胺
PBSE：芘丁酸琥珀醯亞胺酯。
實施例1
(1)半導體成分溶液A的製備
將CNT(CNI公司製造，單層CNT，含有95重量%的半導體型CNT)1.5mg與作為不含硫原子的共軛系聚合物的下述結構的聚[(間苯乙炔)-共-(2,5-二辛氧基-對苯乙炔)](西格瑪奧德里奇(Sigma Aldrich)公司製造，以下稱為共軛系聚合物[A])1.5mg添加於15mL的氯仿中，一邊降溫至冰冷，一邊使用超音波均質機(東京理化器械公司製造的VCX-500)以輸出250W進行超音波攪拌30分鐘，從而獲得CNT複合體分散液A(相對於溶媒的 CNT複合體濃度0.06g/L)。
Figure 106135581-A0305-02-0056-17
繼而，進行用以形成半導體層的半導體成分溶液A的製作。使用薄膜過濾器(孔徑10μm，直徑25mm，密理博(Millipore)公司製造的歐米泊薄膜(Omnipore Membrane))對所述CNT複合體分散液A進行過濾，將長度10μm以上的CNT複合體去除。於所獲得的濾液5mL中添加o-DCB 21mL而形成半導體成分溶液A(相對於溶媒的CNT複合體濃度0.01g/L)。
(2)老鼠抗人類HbA1c Fab'的製作
使用檸檬酸一水合物(關東化學公司製造)與10N氫氧化鈉水溶液(和光純藥工業公司製造)來製備0.1M檸檬酸鈉緩衝液(pH值3.5)。將胃蛋白酶(和光純藥工業公司製造)以成為1mg/mL的濃度的方式溶解於所述緩衝液中而形成胃蛋白酶溶液。另外，利用0.1M檸檬酸鈉緩衝液(pH值3.5)269μL對濃度7.7mg/mL的老鼠抗人類HbA1c抗體(BBI溶液劑(Solutions)公司製造)40μL進行稀釋而形成為1mg/mL。對所獲得的溶液300μL 添加3μL的胃蛋白酶溶液，並於37℃下靜置1小時。其後，添加1M三羥基甲基胺基甲烷-鹽酸緩衝液(pH值8.0)100μL而進行中和，藉此停止反應。
將所獲得的溶液10μL、純水5μL及NuPAGE LDS Sample Buffer(商品名，英傑(Invitrogen)公司製造)5μL加以混合，並於95℃下加熱5分鐘。其後，與作為分子量標記的精密加蛋白質雙重色標(Precision Plus Protein Dual Color Standard)(商品名，伯樂(Bio-Rad)公司製造)一起實施聚丙烯醯胺凝膠電泳法(SDS-PAGE)。此時，所使用的電泳槽為宜集賽帕萊特(Easy separator)(商品名，和光純藥工業公司製造)，電源裝置為麥宜帕瓦(mypower)II500(商品名，阿托(Atto)公司製造)，凝膠為超級塞布艾斯(Super Sep Ace)、5-20%(商品名，和光純藥工業公司製造)，泳動緩衝液為蛋白質泳動緩衝劑(商品名，和光純藥工業公司製造)。使用電源裝置並設為流經電泳槽的電流為20mA的一定電壓，實施電泳70分鐘。藉由奎克CBB普拉斯(Quick CBB Plus)(商品名，和光純藥工業公司製造)對凝膠及抗體消化產物進行染色後，利用純水對凝膠進行脫色，對顯現的抗體消化產物的能帶與分子量標記進行比較，藉此確認到Fc區域16被切斷而生成F(ab')2。
繼而，使用PD MiniTrap G-25管柱將F(ab')2溶液300μL的緩衝液置換為含有5mM EDTA的0.1M磷酸鈉緩衝液。其後，使用Amicon Ultra 0.5、10K(商品名，墨克密理博 (Merckmillipore)公司製造)將F(ab')2溶液濃縮。於濃縮後，使用NanoDrop 2000(商品名，賽默飛世爾科技(Thermo Fisher Scientific)公司製造)來測定濃度，結果為2.0mg/mL。將2-胺基乙硫醇鹽酸鹽(和光純藥工業公司製造)以成為0.1M的方式溶解於含有5mM EDTA的0.1M磷酸鈉緩衝液中，並將所製備的溶液10μL添加於100μL的所述F(ab')2溶液中。於37℃下靜置90分鐘並進行還原反應，藉此形成Fab'。將含有5mM EDTA的0.1M磷酸鈉緩衝液設為溶出液，使所獲得的溶液通過PD MiniTrap G-25管柱而將低分子成分去除。藉由NanoDrop 2000來對所獲得的溶液的濃度進行測定，結果為0.33mg/mL。另外，藉由MALDI-TOF-MS(布魯克(Bruker)公司製造，autoflex speed)來對所製作的Fab'的分子量進行測定，結果為48550。
(3)電極及半導體層的形成
製作用以供於第3實施形態的半導體感測器的用途的半導體元件。於玻璃製的基板1(厚度0.7mm)上以膜厚成為50nm的方式真空蒸鍍金。於其上旋轉塗佈(1000rpm×20秒)光阻劑(商品名「LC100-10cP」，羅門哈斯(Rohm and Haas)公司製造)，並於100℃下加熱乾燥10分鐘。
使用平行光遮罩對準機(Parallel Light Mask Aligner)(佳能(Canon)公司製造，PLA-501F)並介隔遮罩對所製作的光阻劑膜進行圖案曝光。其後，使用自動顯影裝置(瀧澤產業公司製造，AD-2000)並利用作為2.38重量%氫氧化四甲基銨水溶液的 ELM-D(商品名，三菱瓦斯化學(Mitsubishi Gas Chemical)公司製造)進行70秒噴淋顯影，繼而利用水清洗30秒。其後，藉由AURUM-302(商品名，關東化學公司製造)而進行5分鐘蝕刻處理後，利用水清洗30秒。於AZ去除劑(AZ REMOVER)100(商品名，安智電子材料(AZ Electronic Materials)公司製造)中浸漬5分鐘，將抗蝕劑剝離，並利用水清洗30秒。其後，於120℃下加熱乾燥20分鐘，藉此形成包含金的第1電極2、第2電極3及第3電極7。
第1電極2及第2電極3的寬度(通道寬度)分別設為300μm，第1電極2及第2電極3的間隔(通道長度)設為20μm。第3電極7與第2電極3平行地配置，並將第3電極7與第2電極3的間隔設為5mm。
使用噴墨裝置(聯科(Cluster Technology)公司製造)於形成有第1電極2及第2電極3的基板1上，滴加600pl的藉由所述(1)中記載的方法所製作的半導體成分溶液A，形成半導體層4，並於加熱板上且於氮氣流下，以150℃進行30分鐘的熱處理，從而獲得半導體元件A。
繼而，測定改變所述半導體元件A的第3電極7的電壓(Vg)時的第1電極2與第2電極3之間的電流(Id)-第1電極2與第2電極3之間的電壓(Vsd)特性。於測定時使用半導體特性評價系統4200-SCS型(吉時利儀器(Keithley Instruments)公司製造)，並於0.01M PBS(pH值7.4，西格瑪奧德里奇(Sigma Aldrich)公司製造)100μL下進行測定(測定時的室溫25℃，濕度45%)。使Vg於0V~-1V內變化時的汲極電流Id的最小值為5×10-11A，最大值為2×10-7A。求出作為Id的最大值相對於Id的最小值的比的開關比，為4×103。
(4)標靶識別分子的前驅物[A]的合成
將1-胺基甲基芘鹽酸鹽(船越(Funakoshi)公司製造)38.32mg、N-(8-順丁烯二醯亞胺癸醯氧基)琥珀醯亞胺(同仁化學研究所公司製造)51.09mg溶解於143mL的DMF中，添加碳酸氫鈉46.48mg，並攪拌7小時。其後，滴加1M鹽酸312mL，利用桐山漏斗濾取所產生的白色沈澱，並利用飽和碳酸氫鈉水溶液及純水分別進行清洗。進行減壓乾燥而獲得白色固體60.08mg。測定所獲得的白色固體的質譜(日本電子公司製造的JMS-Q1000TD)，結果M+1為453，且確認到為以下的標靶識別分子的前驅物[A]。
Figure 106135581-A0305-02-0060-19
(5)標靶識別分子的前驅物[A]對於半導體成分的附著與Fab'的固定化
繼而，將(4)中所合成的標靶識別分子的前驅物[A]10mg溶解於10mL的乙腈(和光純藥工業公司製造)中，將(3)中所形成的半導體層4於其中浸漬4小時而使標靶識別分子的前驅物[A]附著於作為半導體成分的CNT複合體。其後，利用乙腈及0.01M PBS對半導體層4進行充分洗滌。
繼而，利用PBS將(2)中所製作的老鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'溶液以成為0.10mg/mL的方式稀釋，並將半導體層4於4℃下於所稀釋的Fab'溶液中浸漬18小時。藉此，Fab'的鉸鏈區域的巰基與標靶識別分子的前驅物[A]的順丁烯二醯亞胺基進行反應，Fab'於半導體層4上被固定化。如此，可獲得具有附著有以分子量48550的老鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'為標靶捕捉體X的標靶識別分子的CNT複合體的半導體層4。於該情況下，標靶識別分子的前驅物[A]的芘環附著於CNT，因此作為最終產物的標靶識別分子的連結基L中，其原子數成為13，原子數為自鍵結於附著於半導體成分的基的原子至鍵結於源自作為標靶捕捉體的老鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'的原子的原子的原子數。
進而，進行保護劑的保護。即，將BSA(和光純藥工業公司製造)以成為10mg/mL的方式溶解於0.01M PBS中，並將半導體層4於4℃下於其中浸漬3小時。其後，利用0.01M PBS對半導體層4進行充分洗滌。藉此，Fab'間的間隙部分的半導體層4的表面由BSA被覆，從而獲得保護表面免受非選擇性的蛋白質的附著的影響的半導體感測器。
(6)作為半導體感測器的評價
將所製作的半導體感測器的半導體層4浸漬於100μL的0.01M PBS溶液中，並測定流經第1電極2與第2電極3之間的電流值(Id)。此時，設為第1電極2與第2電極3之間的電壓(Vsd)為-0.2V、第1電極2與第3電極7之間的電壓(Vg)為-0.6V的條件。測定開始時的電流Id(初期電流值)為3.74μA。
自測定開始經過3分鐘後，將於0.01M PBS溶液中以成為100μL/mL的方式溶解有BSA的溶液20μL添加於浸有半導體層4的0.01M PBS溶液中，測定開始6分鐘後，將於0.01M PBS溶液中以成為100μL/mL的方式溶解有抗生物素蛋白(和光純藥工業公司製造)的溶液20μL添加於浸有半導體層4的0.01M PBS溶液中，測定開始9分鐘後，將於0.01M PBS溶液中以成為100μL/mL的方式溶解有人類HbA1c(BBI溶液劑(Solutions)公司製造)的溶液20μL添加於浸有半導體層4的0.01M PBS溶液中。於該情況下，僅在添加包含人類HbA1c的溶液時，電流值增加0.63μA。因此，確認到該半導體感測器選擇性地檢測人類HbA1c。
將用以對作為半導體感測器的性能進行定量性評價的半導體感測器的製作條件及測定結果示於表1及表2中。表1示出作為所述實施形態的具體例的實施例，表2示出用以與實施例進行比較的比較例及參考例。此處，在添加溶解有標靶物質的試樣溶液時，電流值的變化比例大者的作為半導體感測器的性能佳。因此，藉由讀取試樣溶液添加前的Id與試樣溶液添加後的Id 來算出電流值變化比例[%]的絕對值，從而設為訊號強度。即，訊號強度[%]的算出式如以下所述。
訊號強度[%]=100×|(標靶物質添加後Id)-(標靶物質添加前Id)|/(標靶物質添加前Id)
訊號強度為16.8%。
[表1]
Figure 106135581-A0305-02-0064-20
[表2]
Figure 106135581-A0305-02-0066-21
實施例2
(1)半導體成分溶液B的製備
將CNT(CNI公司製造，單層CNT，含有95重量%的半導體型CNT)1.5mg與P3HT 1.5mg添加於15mL的氯仿中，一邊降溫至冰冷，一邊使用超音波均質機(東京理化器械公司製造，VCX-500)以輸出250W進行超音波攪拌30分鐘，從而獲得CNT複合體分散液B(相對於溶媒的CNT複合體濃度0.1g/L)。
繼而，進行用以形成半導體層4的半導體成分溶液B的製作。使用薄膜過濾器(孔徑10μm，直徑25mm，密理博(Millipore)公司製造的歐米泊薄膜(Omnipore Membrane))對所述CNT複合體分散液B進行過濾，將長度10μm以上的CNT複合體去除。於所獲得的濾液5mL中添加o-DCB 45mL而形成半導體成分溶液B(相對於溶媒的CNT複合體濃度0.01g/L)。
(2)電極與半導體層的形成
除了使用(1)中所製備的半導體成分溶液(B)來取代使用半導體成分溶液A以外，藉由與實施例1(3)相同的方法而形成第1電極2、第2電極3、第3電極7及半導體層4，從而獲得半導體元件B。於與實施例1(3)相同的條件下，測定改變半導體元件B的第3電極7的電壓(Vg)時的第1電極2與第2電極3之間的電流(Id)-第1電極2與第2電極3之間的電壓(Vsd)特性。使Vg於0V~-1V內變化時的開關比為6×103。
(3)標靶識別分子的前驅物[B]的合成
將1-胺基芘(東京化成工業公司製造)40.65mg與N-(4-順丁烯二醯亞胺丁醯氧基)琥珀醯亞胺(同仁化學研究所公司製造)57.54mg溶解於1110mL的DMF中，並攪拌7小時。其後，滴加1M鹽酸400mL，利用桐山漏斗濾取所產生的白色沈澱，並利用飽和碳酸氫鈉水溶液及純水分別進行清洗。進行減壓乾燥而獲得白色固體48.69mg。測定所獲得的白色固體的質譜(日本電子公司製造的JMS-Q1000TD)，結果M+1為383，且確認到為以下的標靶識別分子的前驅物[B]。
Figure 106135581-A0305-02-0068-22
(4)標靶識別分子的前驅物[B]對於半導體成分的附著與Fab'的固定化
取代標靶識別分子的前驅物[A]而使用標靶識別分子的前驅物[B]，除此以外，藉由與實施例1(5)相同的方法而使標靶識別分子的前驅物[B]附著於作為半導體成分的CNT複合體。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而使實施例1(2)中所製作的老鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'，於半導體層上固定化。於該情況下， 標靶識別分子的前驅物[B]的芘環附著於CNT，因此作為最終產物的標靶識別分子的連結基L中，其原子數成為8，原子數為自鍵結於附著於半導體成分的基的原子至鍵結於源自作為標靶捕捉體的老鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'的原子的原子的原子數。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而進行利用BSA的表面保護，從而獲得半導體感測器。
(5)作為半導體感測器的評價
藉由與實施例1(6)相同的方法而進行作為半導體感測器的評價。測定開始時的電流Id為4.10μA，且僅在添加人類HbA1c時，電流值增加0.81μA。因此，確認到該半導體感測器選擇性地檢測人類HbA1c。訊號強度為19.8%。
實施例3
(1)標靶識別分子的前驅物[C]的合成
將1-胺基芘(東京化成工業公司製造)54.83mg與N-琥珀醯亞胺基順丁烯二醯亞胺乙酸酯(東京化成工業公司製造)63.54mg溶解於100mL的DMF中，並攪拌7小時。其後，滴加1M鹽酸500mL，利用桐山漏斗濾取所產生的白色沈澱，並利用飽和碳酸氫鈉水溶液及純水分別進行清洗。進行減壓乾燥而獲得白色固體21.33mg。測定所獲得的白色固體的質譜(日本電子公司製造的JMS-Q1000TD)，結果M+1為355，且確認到為以下的標靶識別分子的前驅物[C]。
[化18]
Figure 106135581-A0305-02-0070-25
(2)標靶識別分子的前驅物[C]對於半導體成分的附著與Fab'的固定化
取代標靶識別分子的前驅物[A]而使用標靶識別分子的前驅物[C]，除此以外，藉由與實施例1(5)相同的方法而使標靶識別分子的前驅物[C]附著於作為半導體成分的CNT複合體。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而使實施例1(2)中所製作的老鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'於半導體層上固定化。於該情況下，標靶識別分子的前驅物[C]的芘環附著於CNT，因此作為最終產物的標靶識別分子的連結基L中，其原子數成為6，原子數為自鍵結於附著於半導體成分的基的原子至鍵結於源自作為標靶捕捉體的老鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'的原子的原子的原子數。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而進行利用BSA的表面保護，從而獲得半導體感測器。
(3)作為半導體感測器的評價
藉由與實施例1(6)相同的方法而進行作為半導體感測器的評價。測定開始時的電流Id為4.08μA，且僅在添加人類HbA1c 時，電流值增加0.43μA。因此，確認到該半導體感測器選擇性地檢測人類HbA1c。訊號強度為10.6%。
實施例4
(1)老鼠抗人類HRG Fab'的製作
藉由對老鼠抗人類HRG抗體(USCN公司製造)實施與實施例1(2)相同的處理，從而獲得老鼠抗人類HRG Fab'溶液。藉由NanoDrop 2000而測定所獲得的溶液的濃度，結果為0.32mg/mL。
藉由與實施例1(2)中對F(ab')2實施時相同的方法，來對所獲得的溶液10μL實施電泳。進而，藉由奎克CBB普拉斯(Quick CBB Plus)(商品名，和光純藥工業公司製造)對凝膠及老鼠抗人類HRG Fab'進行染色後，利用純水對凝膠進行脫色，對顯現的老鼠抗人類HRG Fab'的能帶與分子量標記進行比較。其結果，老鼠抗人類HRG Fab'的能帶存在於分子量標記的37000的能帶與50000的能帶之間的區域。另外，確認到亦無電泳中的條帶扭曲(smiling)等不良情況。於此種情況下，已知：於在電泳中所估算的分子量與藉由MALDI-TOF-MS的測定而決定的分子量之間觀察到良好的相關關係。因此，認為：所獲得的老鼠抗人類HRG Fab'的分子量於使用MALDI-TOF-MS來決定的情況下，亦可獲得自37000至50000之間的任意的值。
(2)半導體感測器的製作
針對實施例2(2)中所製作的半導體元件B，藉由與實施例1(5)相同的方法而使標靶識別分子的前驅物[A]附著於作為半導 體成分的CNT複合體。繼而，除了使用抗人類HRG Fab'來取代使用抗人類HbA1c Fab'以外，藉由與實施例1(5)相同的方法而將Fab'於半導體層上加以固定化。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而進行利用BSA的表面保護，從而獲得半導體感測器。
(3)作為半導體感測器的評價
取代人類HbA1c而使用人類HRG(派普泰克(PEPROTECH)公司製造)，除此以外，藉由與實施例1(6)相同的方法而進行作為半導體感測器的評價。測定開始時的電流Id為4.12μA，且僅在添加人類HRG時，電流值增加0.79μA。因此，確認到該半導體感測器選擇性地檢測人類HRG。訊號強度為19.2%。
實施例5
(1)半導體感測器的製作
除了未形成第3電極7以外，藉由與實施例1(3)相同的方法而形成電極。另外，除了使用實施例2(1)中所製備的半導體成分溶液B來取代使用半導體成分溶液A以外，藉由與實施例1(3)相同的方法而形成半導體層。繼而，藉由與實施例1(5)相同的方法而使標靶識別分子的前驅物[A]附著於作為半導體成分的CNT複合體，進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而將老鼠抗人類HbA1c Fab'於半導體層上加以固定化。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而進行利用BSA的表面保護，從而獲得半導體感測器。
(2)作為半導體感測器的評價
藉由與實施例1(6)相同的方法而進行作為半導體感測器的評價。測定開始時的電流Id為1.46μA，且僅在添加人類HbA1c時，電流值增加0.27μA。因此，確認到該半導體感測器選擇性地檢測人類HbA1c。訊號強度為18.5%。
實施例6
(1)共軛系聚合物[B]的合成
將聚[3-(5-羧基戊基)噻吩-2,5-二基](里克金屬公司(Rieke Metals Inc.)製造)10mg溶解於10mL的經調整為pH值4.5的10mM乙酸緩衝液(GE保健(GE Healthcare)公司製造)中。向其中添加75mg/mL EDC(GE保健(GE Healthcare)公司製造)水溶液1mL與11.5mg/mL NHS(GE保健(GE Healthcare)公司製造)水溶液1mL，於室溫下攪拌1小時。向其中添加N-(2-胺基乙基)順丁烯二醯亞胺鹽酸鹽(東京化成工業公司製造)17.8mg，進而攪拌1小時。降溫至冰冷並利用桐山漏斗濾取所析出的固體，進行減壓乾燥，藉此獲得共軛系聚合物[B]0.54mg。
Figure 106135581-A0305-02-0073-26
(2)半導體成分溶液C的製備
將CNT(CNI公司製造，單層CNT，含有95重量%的半導體型CNT)1.5mg與(1)中所製作的共軛系聚合物[B]1.5mg添加於15mL的氯仿中。針對該混合物，一邊降溫至冰冷，一邊使用超音波均質機(東京理化器械公司製造，VCX-500)以輸出250W進行超音波攪拌30分鐘，從而獲得CNT複合體分散液C(相對於溶媒的CNT複合體濃度0.08g/L)。
繼而，進行用以形成半導體層的半導體成分溶液的製作。使用薄膜過濾器(孔徑10μm，直徑25mm，密理博(Millipore)公司製造，歐米泊薄膜(Omnipore Membrane))對所述CNT複合體分散液C進行過濾，將長度10μm以上的CNT複合體去除。於所獲得的濾液5mL中添加o-DCB 27mL而形成半導體成分溶液C(相對於溶媒的CNT複合體濃度0.01g/L)。
(3)電極與半導體層的形成
除了使用(1)中所製備的半導體成分溶液(C)來取代使用半導體成分溶液A以外，藉由與實施例1(3)相同的方法而形成第1電極2、第2電極3、第3電極7及半導體層4，從而獲得半導體元件C。於與實施例1(3)相同的條件下，測定改變半導體元件C的第3電極7的電壓(Vg)時的第1電極2與第2電極3之間的電流(Id)-第1電極2與第2電極3之間的電壓(Vsd)特性。使第3電極7的閘極電壓Vg於0V~-1V內變化時的開關比為5×103。
(4)Fab'的固定化與表面保護處理
利用PBS將實施例1(2)所製作的老鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'溶液以成為0.10mg/mL的方式稀釋，並將半導體元件C的半導體層於4℃下於其中浸漬18小時。藉此，Fab'的鉸鏈區域的巰基與共軛系聚合物[B]的順丁烯二醯亞胺基反應，從而使Fab'於半導體層上固定化。於該情況下，標靶識別分子的噻吩環附著於CNT，因此於連結基L中，其原子數成為12，原子數為自鍵結於源自Ar2的原子的原子至鍵結於源自作為標靶捕捉體的老鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'的原子的原子的原子數。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而進行利用BSA的表面保護，從而獲得半導體感測器。
(5)作為半導體感測器的評價
利用與實施例1(6)相同的方法來進行作為半導體感測器的評價。測定開始時的電流Id為3.60μA，且僅在添加人類HbA1c時，電流值增加0.53μA。因此，確認到該半導體感測器選擇性地檢測人類HbA1c。訊號強度為14.7%。
實施例7
(1)半導體成分溶液D的製備
將CNT(CNI公司製造，單層CNT，含有95重量%的半導體型CNT)1.5mg添加於15mL的NMP中，一邊降溫至冰冷，一邊使用超音波均質機以輸出250W進行超音波攪拌1小時，從而形成半導體成分溶液D。
(2)電極與半導體層的形成
除了使用自動移液器(pipetman)將2μL的半導體成分溶液D滴加於通道部分來取代使用噴墨裝置滴加半導體成分溶液A以外，利用與實施例1(3)相同的方法而形成電極與半導體層，從而獲得半導體元件D。於與實施例1(3)相同的條件下，測定改變半導體元件D的第3電極7的電壓(Vg)時的第1電極2與第2電極3之間的電流(Id)-第1電極2與第2電極3之間的電壓(Vsd)特性。使Vg於0V~-1V內變化時的開關比為1×103。
(3)半導體感測器的製作
針對半導體元件D，利用與實施例1(5)相同的方法而使標靶識別分子的前驅物[A]附著於作為半導體成分的CNT複合體。繼而，利用與實施例1(5)相同的方法而將抗人類HbA1c Fab'於半導體層上加以固定化。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而進行利用BSA的表面保護，從而獲得半導體感測器。
(4)作為半導體感測器的評價
利用與實施例1(6)相同的方法來進行作為半導體感測器的評價。測定開始時的電流Id為3.61μA，且僅在添加人類HbA1c時，電流值增加0.55μA。因此，確認到該半導體感測器選擇性地檢測人類HbA1c。訊號強度為15.3%。
實施例8
(1)標靶識別分子的前驅物[D]的合成
將1-胺基甲基芘鹽酸鹽(船越(Funakoshi)公司製造)50mg、N-(4-順丁烯二醯亞胺丁醯氧基)琥珀醯亞胺(同仁化學研究所公司 製造)57.57mg溶解於93.4mL的DMF中，添加碳酸氫鈉55.46mg，並攪拌6小時。其後，滴加1M鹽酸408mL，利用桐山漏斗濾取所產生的白色沈澱，並利用飽和碳酸氫鈉水溶液及純水分別進行清洗。進行減壓乾燥而獲得白色固體53.31mg。測定所獲得的白色固體的質譜(日本電子公司製造的JMS-Q1000TD)，結果M+1為397，且確認到為以下的標靶識別分子的前驅物[D]。
Figure 106135581-A0305-02-0077-27
(2)半導體感測器的製作
除了使用標靶識別分子的前驅物[D]來取代標靶識別分子的前驅物[A]以外，利用與實施例2(4)相同的方法而使標靶識別分子的前驅物[D]附著於作為半導體成分的CNT複合體。進而，利用與實施例1(5)相同的方法而使實施例1(2)中所製作的老鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'於半導體層上固定化。於該情況下，標靶識別分子的前驅物[D]的芘環附著於CNT，因此作為最終產物的標靶識別分子的連結基L中，其原子數成為9，原子數為自鍵結於附著於半導體成分的基的原子至鍵結於源自作為標靶捕捉體的老 鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'的原子的原子的原子數。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而進行利用BSA的表面保護，從而獲得半導體感測器。
(3)作為半導體感測器的評價
利用與實施例1(6)相同的方法來進行作為半導體感測器的評價。測定開始時的電流Id為4.13μA，且僅在添加人類HbA1c時，電流值增加0.85μA。因此，確認到該半導體感測器選擇性地檢測人類HbA1c。訊號強度為20.6%。
實施例9
(1)半導體感測器的製作
除了使用標靶識別分子的前驅物[A]來取代標靶識別分子的前驅物[B]以外，利用與實施例2(4)相同的方法而使標靶識別分子的前驅物[A]附著於作為半導體成分的CNT複合體。進而，利用與實施例1(5)相同的方法而使實施例1(2)中所製作的老鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'於半導體層上固定化。於該情況下，標靶識別分子的前驅物[A]的芘環附著於CNT，因此作為最終產物的標靶識別分子的連結基L中，其原子數成為13，原子數為自鍵結於附著於半導體成分的基的原子至與源自作為標靶捕捉體的老鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'的原子鍵結的原子的原子數。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而進行利用BSA的表面保護，從而獲得半導體感測器。
(2)作為半導體感測器的評價
藉由與實施例1(6)相同的方法而進行作為半導體感測器的評價。測定開始時的電流Id為4.15μA，且僅在添加人類HbA1c時，電流值增加0.87μA。因此，確認到該半導體感測器選擇性地檢測人類HbA1c。訊號強度為21.0%。
實施例10
(1)半導體感測器的製作
針對實施例6中所製作的半導體元件C，藉由與實施例1(5)相同的方法而使標靶識別分子的前驅物[A]附著於作為半導體成分的CNT複合體。繼而，藉由與實施例1(5)相同的方法而將老鼠抗人類HbA1c Fab'於半導體層上加以固定化。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而進行利用BSA的表面保護，從而獲得半導體感測器。
(2)作為半導體感測器的評價
藉由與實施例1(6)相同的方法而進行作為半導體感測器的評價。測定開始時的電流Id為4.17μA，且僅在添加人類HbA1c時，電流值增加0.88μA。因此，確認到該半導體感測器選擇性地檢測人類HbA1c。訊號強度為21.2%。
實施例11
(1)標靶識別分子的前驅物[E]的合成
將1-胺基甲基芘鹽酸鹽(船越(Funakoshi)公司製造)50mg、N-(11-順丁烯二醯亞胺十一醯氧基)琥珀醯亞胺(同仁化學研究所公司製造)78.56mg溶解於93.4mL的DMF中，添加碳酸氫鈉48.33 mg，並攪拌6小時。其後，滴加1M鹽酸250mL，利用桐山漏斗濾取所產生的白色沈澱，並利用飽和碳酸氫鈉水溶液及純水分別進行清洗。進行減壓乾燥而獲得白色固體76.14mg。測定所獲得的白色固體的質譜(日本電子公司製造的JMS-Q1000TD)，結果M+1為495，且確認到為以下的標靶識別分子的前驅物[E]。
Figure 106135581-A0305-02-0080-28
(2)半導體感測器的製作
除了使用標靶識別分子的前驅物[E]來取代標靶識別分子的前驅物[B]以外，藉由與實施例2(4)相同的方法而使標靶識別分子的前驅物[E]附著於作為半導體成分的CNT複合體。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而使實施例1(2)中所製作的老鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'於半導體層上固定化。於該情況下，標靶識別分子的前驅物[E]的芘環附著於CNT，因此作為最終產物的標靶識別分子的連結基L中，其原子數成為16，原子數為自鍵結於附著於半導體成分的基的原子至鍵結於源自作為標靶捕捉體的老鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'的原子的原子的原子數。進而，藉由 與實施例1(5)相同的方法而進行利用BSA的表面保護，從而獲得半導體感測器。
(3)作為半導體感測器的評價
藉由與實施例1(6)相同的方法而進行作為半導體感測器的評價。測定開始時的電流Id為4.15μA，且僅在添加人類HbA1c時，電流值增加0.85μA。因此，確認到該半導體感測器選擇性地檢測人類HbA1c。訊號強度為20.4%。
實施例12
(1)標靶識別分子的前驅物[F]的合成
使2-(4-溴苯基)乙胺(東京化成工業公司製造)1.01g與順丁烯二酸酐(東京化成工業公司製造)497.6mg溶解於500mL的二乙醚中，並攪拌24小時。利用桐山漏斗濾取所析出的固體，進行減壓乾燥，結果為867.8mg。將所獲得的固體與乙酸鈉(和光純藥工業公司製造)283.4mg放入350mL的乙酸酐(和光純藥工業公司製造)中，於80℃下攪拌1小時。對反應液降溫至冰冷，使固體析出後，利用桐山漏斗進行濾取，利用純水進行清洗，並進行減壓乾燥。使用庚烷進行再結晶，結果獲得固體392.7mg。測定所獲得的固體的質譜(日本電子公司製造的JMS-Q1000TD)，結果M+1為280與280而為約1：1，且確認到為N-[2-(4-溴苯基)乙基]順丁烯二醯亞胺。
繼而，將所獲得的固體350.8mg、1-芘硼酸(東京化成工業公司製造)338.4mg及第三丁氧基鈉168.6mg放入至100ml 三口燒瓶中，添加鄰二甲苯15ml，並於容器內利用氮氣進行置換。於該混合液中添加四(三苯基膦)鈀(0)14.6mg，於90℃的油浴中加熱回流3小時。反應結束後，降溫至冰冷，利用桐山漏斗濾取所析出的固體，利用純水進行清洗，並進行減壓乾燥。使用庚烷進行再結晶，結果獲得固體309.6mg。測定所獲得的固體的質譜(日本電子公司製造的JMS-Q1000TD)，結果M+1為402，且確認到為標靶識別分子的前驅物[F]。
Figure 106135581-A0305-02-0082-29
(2)標靶識別分子的前驅物[F]對於半導體成分的附著與Fab'的固定化
除了使用標靶識別分子的前驅物[F]來取代標靶識別分子的前驅物[A]以外，藉由與實施例1(5)相同的方法而使標靶識別分子的前驅物[F]附著於作為半導體成分的CNT複合體。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而使實施例1(2)中所製作的老鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'於半導體層4上固定化。於該情況下，標靶識別分子的前驅物[F]的苯環與芘環的共軛系相連，因此可將該芘基苯基視為附著於CNT的Ar1。因此，作為最終產物的標靶識 別分子的連結基L中，其原子數N1成為5，原子數N1為自鍵結於源自Ar1的原子的原子至鍵結於源自作為標靶捕捉體的老鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'的原子的原子的原子數。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而進行利用BSA的表面保護，從而獲得半導體感測器。
(3)作為半導體感測器的評價
藉由與實施例1(6)相同的方法而進行作為半導體感測器的評價。測定開始時的電流Id為4.09μA，且僅在添加人類HbA1c時，電流值增加0.42μA。因此，確認到該半導體感測器選擇性地檢測人類HbA1c。訊號強度為10.2%。
實施例13
(1)半導體感測器的製作
藉由紫外線-臭氧產生裝置(森(SEN)特殊光源公司製造)對在表面形成有氧化膜的矽晶圓(矽科技(Silicon Technology)公司製造)表面進行30分鐘處理。其後，將矽晶圓於利用乙醇將3-胺基丙基三乙氧基矽烷(和光純藥工業公司製造)稀釋為10倍者中浸漬1小時。利用乙醇對該矽晶圓進行清洗後，於120℃下加熱30分鐘。
繼而，將該矽晶圓於單層氧化石墨烯水分散液(石墨烯實驗室公司(Graphene Laboratories Inc.)製造)中浸漬1小時後，利用純水進行清洗，藉由氮氣鼓風而加以乾燥，從而獲得氧化石墨烯膜。為了將所獲得的氧化石墨烯膜還原，將矽晶圓放入至管 爐(光洋熱電系統(KOYO THERMO SYSTEMS)公司製造)中，於包含氬氣97%、氫氣3%的混合氣體中，於1100℃下處理60分鐘。針對所獲得的於表面形成有還原石墨烯的矽晶圓，藉由與實施例1(3)相同的光微影法而形成第1電極2及第2電極3，從而製作半導體元件E。
將所製作的半導體元件E的電極間部分浸漬於100μL的0.01M的PBS溶液中，進而於該PBS溶液中插入Ag/AgCl電極，從而形成第3電極7。測定改變所製作的半導體元件E的第3電極7的電壓(Vg)時的第1電極2與第2電極3之間的電流(Id)-第1電極2與第2電極3之間的電壓(Vsd)特性。使Vg於0V~-1V內變化時的開關比為3.8×103。
(2)老鼠抗人類HbA1c Fab'的固定化
藉由與實施例1(5)相同的方法而使標靶識別分子的前驅物[A]附著於作為半導體成分的石墨烯。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而將Fab'於半導體層上加以固定化。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而進行利用BSA的表面保護，從而獲得半導體感測器。
(3)作為半導體感測器的評價
藉由與實施例1(6)相同的方法而進行作為半導體感測器的評價。測定開始時的電流Id為6.29μA，且僅在添加人類HbA1c時，電流值增加0.71μA。因此，確認到該半導體感測器選擇性地檢測人類HbA1c。訊號強度為11.3%。
實施例14
(1)標靶識別分子的前驅物[G]的合成
將1-胺基甲基芘鹽酸鹽(船越(Funakoshi)公司製造)26.78mg、Sulfo-AC5-SPDP(商品名，同仁化學研究所公司製造)59.58mg溶解於100mL的PBS(pH值7.4)中，並攪拌4小時。其後，對反應容器降溫至冰冷，然後利用桐山漏斗濾取白色沈澱，利用純水進行清洗。進行減壓乾燥而獲得白色固體43.30mg。測定所獲得的白色固體的質譜(日本電子公司製造的JMS-Q1000TD)，結果M+1為556，且確認到為以下的標靶識別分子的前驅物[G]。
Figure 106135581-A0305-02-0085-30
(2)標靶識別分子的前驅物[G]對於半導體成分的附著與Fab'的固定化
除了使用標靶識別分子的前驅物[G]來取代標靶識別分子的前驅物[A]以外，藉由與實施例1(5)相同的方法而使標靶識別分子的前驅物[G]附著於作為半導體成分的CNT複合體。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而使實施例1(2)中所製作的老鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'於半導體層上固定化。藉此，Fab'的鉸鏈 區域的巰基與標靶識別分子的前驅物[G]的吡啶基雙硫基進行反應，與吡啶-2(1H)-硫脫離的同時，將Fab'於半導體層上加以固定化。於該情況下，標靶識別分子的前驅物[G]的芘環附著於CNT，因此作為最終產物的標靶識別分子的連結基L2中，其原子數成為14，原子數為自鍵結於附著於半導體成分的基的原子至鍵結於源自作為標靶捕捉體的老鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'的原子的原子的原子數。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而進行利用BSA的表面保護，從而獲得半導體感測器。
(3)作為半導體感測器的評價
藉由與實施例1(6)相同的方法而進行作為半導體感測器的評價。測定開始時的電流Id為4.13μA，且僅在添加人類HbA1c時，電流值增加0.83μA。因此，確認到該半導體感測器選擇性地檢測人類HbA1c。訊號強度為20.2%。
實施例15
(1)標靶識別分子的前驅物[H]的合成
將1-胺基甲基芘鹽酸鹽(船越(Funakoshi)公司製造)26.78mg、二硫代雙(琥珀醯亞胺基辛酸酯)(同仁化學研究所公司製造)54.47mg溶解於100mL的DMF中，添加碳酸氫鈉39.50mg，並攪拌6小時。其後，滴加1M鹽酸500mL，利用桐山漏斗濾取所產生的白色沈澱，並利用飽和碳酸氫鈉水溶液及純水分別進行清洗。進行減壓乾燥而獲得白色固體51.55mg。測定所獲得的白色固體的質譜(日本電子公司製造的JMS-Q1000TD)，結果M+1為 661，且確認到為以下的中間體[A]。
Figure 106135581-A0305-02-0087-32
繼而，將所獲得的固體49.57mg與N-(2-胺基乙基)順丁烯二醯亞胺鹽酸鹽(東京化成工業公司製造)136.02mg溶解於70mL的DMF中，添加碳酸氫鈉27.66mg，並攪拌6小時。其後，滴加1M鹽酸350mL，利用桐山漏斗濾取所產生的白色沈澱，並利用飽和碳酸氫鈉水溶液及純水分別進行清洗。進行減壓乾燥而獲得白色固體38.43mg。測定所獲得的白色固體的質譜(日本電子公司製造的JMS-Q1000TD)，結果M+1為686，且確認到為以下的標靶識別分子的前驅物[H]。
Figure 106135581-A0305-02-0087-51
(2)標靶識別分子的前驅物[H]對於半導體成分的附著與Fab'的固定化
除了使用標靶識別分子的前驅物[H]來取代標靶識別分子的 前驅物[A]以外，藉由與實施例1(5)相同的方法而使標靶識別分子的前驅物[H]附著於作為半導體成分的CNT複合體。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而使實施例1(2)中所製作的老鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'於半導體層上固定化。於該情況下，標靶識別分子的前驅物[H]的芘環附著於CNT，因此作為最終產物的標靶識別分子的連結基L2中，其原子數成為26，原子數為自鍵結於附著於半導體成分的基的原子至鍵結於源自作為標靶捕捉體的老鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'的原子的原子的原子數。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而進行利用BSA的表面保護，從而獲得半導體感測器。
(3)作為半導體感測器的評價
藉由與實施例1(6)相同的方法而進行作為半導體感測器的評價。測定開始時的電流Id為4.10μA，且僅在添加人類HbA1c時，電流值增加0.45μA。因此，確認到該半導體感測器選擇性地檢測人類HbA1c。訊號強度為10.9%。
實施例16
(1)標靶識別分子的前驅物[I]的合成
將藉由實施例15(1)的方法而獲得的中間體[A]66.03mg與N-(6-胺基己基)順丁烯二醯亞胺鹽酸鹽(珈葆時股份有限公司(Carbosynth Ltd.)製造)25.61mg溶解於100mL的DMF中，添加碳酸氫鈉39.51mg，並攪拌6小時。其後，滴加1M鹽酸500mL，利用桐山漏斗濾取所產生的白色沈澱，並利用飽和碳酸氫鈉 水溶液及純水分別進行清洗。進行減壓乾燥而獲得白色固體56.38mg。測定所獲得的白色固體的質譜(日本電子公司製造的JMS-Q1000TD)，結果M+1為742，且確認到為以下的標靶識別分子的前驅物[I]。
Figure 106135581-A0305-02-0089-34
(2)標靶識別分子的前驅物[I]對於半導體成分的附著與Fab'的固定化
除了使用標靶識別分子的前驅物[I]來取代標靶識別分子的前驅物[A]以外，藉由與實施例1(5)相同的方法而使標靶識別分子的前驅物[I]附著於作為半導體成分的CNT複合體。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而使實施例1(2)中所製作的老鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'於半導體層上固定化。於該情況下，標靶識別分子的前驅物[I]的芘環附著於CNT，因此作為最終產物的標靶識別分子的連結基L2中，其原子數成為30，原子數為自鍵結於附著於半導體成分的基的原子至鍵結於源自作為標靶捕捉體的老鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'的原子的原子的原子數。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而進行利用BSA的表面保護，從而獲得半導體感測器。
(3)作為半導體感測器的評價
藉由與實施例1(6)相同的方法而進行作為半導體感測器的評價。測定開始時的電流Id為4.09μA，且僅在添加人類HbA1c時，電流值增加0.43μA。因此，確認到該半導體感測器選擇性地檢測人類HbA1c。訊號強度為10.4%。
實施例17
(1)標靶識別分子的前驅物[J]的合成
製備將水與第三丁醇(東京化成工業公司製造)以體積比1：1的比例混合而成的混合溶媒500mL，向其中添加1-乙炔芘(東京化成工業公司製造)113.20mg、11-疊氮-3,6,9-三氧雜十一烷-1-胺(東京化成工業公司製造)109.13mg、硫酸銅(II)五水合物(和光純藥工業製造)1.27mg、L-抗壞血酸鈉(東京化成工業公司製造)9.92mg，於室溫下攪拌18小時。其後，將反應容器降溫至冰冷1小時，使白色沈澱充分產生後，利用桐山漏斗進行濾取。進行減壓乾燥而獲得白色固體190.98mg。測定所獲得的白色固體的質譜(日本電子公司製造的JMS-Q1000TD)，結果M+1為445。於使用了銅觸媒的本反應中，選擇性生成具有可能性的兩種位置異構體中的一種異構體。因此，確認所獲得的固體為以下的中間體[B]。
[化27]
Figure 106135581-A0305-02-0091-35
使所獲得的中間體[B]111.10mg與順丁烯二酸酐(東京化成工業公司製造)24.52mg溶解於50mL的二乙醚中，並攪拌24小時。利用桐山漏斗濾取所析出的固體，進行減壓乾燥，結果為118.52mg。將所獲得的固體與乙酸鈉(和光純藥工業公司製造)15.16mg放入20mL的乙酸酐(和光純藥工業公司製造)中，於80℃下攪拌1小時。對反應液降溫至冰冷，使固體析出後，利用桐山漏斗進行濾取，並進行純水清洗、減壓乾燥。使用庚烷進行再結晶，結果獲得固體48.78mg。測定所獲得的固體的質譜(日本電子公司製造的JMS-Q1000TD)，結果M+1為525，且確認到為以下的標靶識別分子的前驅物[J]。
Figure 106135581-A0305-02-0091-36
(2)標靶識別分子的前驅物[J]對於半導體成分的附著與Fab'的固定化
除了使用標靶識別分子的前驅物[J]來取代標靶識別分子的前驅物[A]以外，藉由與實施例1(5)相同的方法而使標靶識別分子的前驅物[J]附著於作為半導體成分的CNT複合體。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而使實施例1(2)中所製作的老鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'於半導體層上固定化。於該情況下，標靶識別分子的前驅物[J]的芘環附著於CNT，因此作為最終產物的標靶識別分子的連結基L2中，其原子數成為17，原子數為自鍵結於附著於半導體成分的基的原子至鍵結於源自作為標靶捕捉體的老鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'的原子的原子的原子數。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而進行利用BSA的表面保護，從而獲得半導體感測器。
(3)作為半導體感測器的評價
藉由與實施例1(6)相同的方法而進行作為半導體感測器的評價。測定開始時的電流Id為4.11μA，且僅在添加人類HbA1c時，電流值增加0.65μA。因此，確認到該半導體感測器選擇性地檢測人類HbA1c。訊號強度為15.8%。
比較例1
(1)半導體感測器的製作
將實施例2(2)中所製作的半導體元件B的半導體層於4℃下於如下溶液中浸漬18小時，所述溶液是利用PBS將實施例1(2)中所製作的老鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'溶液以成為0.10mg/mL的方式稀釋而成。藉此，老鼠抗人類HbA1c Fab'不經由連結基而 物理性吸附於作為半導體成分的CNT複合體。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而進行利用BSA的表面保護，從而獲得半導體感測器。
(2)作為半導體感測器的評價
藉由與實施例1(6)相同的方法而進行作為半導體感測器的評價。測定開始時的電流Id為4.03μA，且僅在添加人類HbA1c時，電流值增加0.16μA。訊號強度為4.0%。
與實施例2、實施例3、實施例8、實施例9、實施例11及實施例12的訊號強度相比較，認為比較例1的訊號強度小的理由在於：(I)在使標靶捕捉體物理性吸附於CNT上時，藉由與CNT的相互作用，標靶捕捉體的形狀發生變形，從而失去標靶捕捉能力；及(II)即便標靶捕捉能力殘留，由於標靶捕捉體無可動性，因此無法捕捉標靶的標靶捕捉體亦多。若要捕捉的標靶的數量減少，則伴隨與此而訊號強度亦降低。
比較例1的初期電流值與實施例2、實施例3、實施例8、實施例9、實施例11及實施例12相比較，未確認到大的差異。認為其原因在於：由於使用作為與該些實施例相同的半導體成分的附著有P3HT的CNT，因此於導電性方面不產生大的差異。
比較例2
(1)半導體感測器的製作
除了使用PBSE(西格瑪奧德里奇(Sigma Aldrich)公司製造)來取代標靶識別分子的前驅物[B]以外，藉由與實施例2(4)相同 的方法而使PBSE附著於作為半導體元件B的半導體成分的CNT複合體。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而使實施例1(2)中所製作的老鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'固定化。於該情況下，於連結基L中，其原子數成為4，原子數為自鍵結於源自Ar的原子的原子至鍵結於源自X的原子的原子的原子數。
進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而進行利用BSA的表面保護，從而獲得半導體感測器。
(2)作為半導體感測器的評價
藉由與實施例1(6)相同的方法而進行作為半導體感測器的評價。測定開始時的電流Id為4.06μA，且僅在添加人類HbA1c時，電流值增加0.17μA。訊號強度為4.3%。
訊號強度與比較例1相比較而較大。認為其原因在於：比較例1中的藉由物理性吸附於CNT並發生變形而失去標靶捕捉能力的標靶捕捉體於比較例2中進行經由PBSE的固定化，藉此獲得標靶捕捉能力。但是，與實施例2、實施例3、實施例8、實施例9、實施例11及實施例12相比較，訊號強度依然小。認為其原因在於：其原子數為4，原子數為自鍵結於附著於CNT的基的原子至與源自標靶捕捉體的原子鍵結的原子的原子數，對於標靶捕捉體充分發揮標靶捕捉能力而言不充分。
比較例3
(1)半導體感測器的製作
除了使用未進行Fab'化處理的老鼠抗人類HbA1c全抗體來取 代使用抗HbA1c Fab'以外，藉由與比較例2相同的方法而將抗體於半導體層上加以固定化。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而進行利用BSA的表面保護，從而獲得半導體感測器。
(2)作為半導體感測器的評價
藉由與實施例1(6)相同的方法而進行作為半導體感測器的評價。測定開始時的電流Id為4.04μA，且僅在添加人類HbA1c時，電流值增加0.11μA。訊號強度為2.7%。
比較例3的訊號強度與比較例2相比較而較小。認為其原因在於：使用不進行Fab'化處理的小型化而保持分子量大的狀態的全抗體作為標靶捕捉體。即，在標靶捕捉體捕捉標靶時，與使用Fab'的情況相比較，自CNT至標靶物質的距離變遠，且CNT受到影響的電場變弱。
比較例4
(1)半導體感測器的製作
除了使用PBSE來取代標靶識別分子的前驅物[A]以外，藉由與實施例13相同的方法而製作半導體感測器。
(2)作為半導體感測器的評價
藉由與實施例1(6)相同的方法而進行作為半導體感測器的評價。測定開始時的電流Id為5.32μA，且僅在添加人類HbA1c時，電流值增加0.22μA。訊號強度為4.1%。
與實施例13的結果相比較，於比較例4的測定結果中，訊號強度變小。認為其理由和比較例1的訊號強度與實施例2、實 施例3、實施例8、實施例9、實施例11及實施例12相比較而較小的理由相同。
比較例5
(1)標靶識別分子的前驅物[K]的合成
將二硫代雙(琥珀醯亞胺基十一烯酸酯)(同仁化學研究所公司製造)62.88mg與2-胺基乙硫醇(東京化成工業公司製造)7.72mg溶解於100mL的DMF中，並攪拌4小時。其後，滴加純水500mL，利用桐山漏斗濾取所產生的白色沈澱，並利用純水進行清洗。進行減壓乾燥而獲得白色固體53.77mg。繼而，將所獲得的白色固體44.32mg與N-(1-芘基)順丁烯二醯亞胺(東京化成工業公司製造)22.30mg溶解於75mL的DMF中，並攪拌8小時。將反應溶液的溶媒蒸餾去除並加以濃縮後，藉由以甲苯為展開溶媒的矽膠管柱層析法而將反應產物與未反應物及雜質分離。將包含反應產物的分級的溶媒蒸餾去除並進行真空乾燥，藉此獲得白色固體47.82mg。測定所獲得的白色固體的質譜(日本電子公司製造的JMS-Q1000TD)，結果M+1為888，且確認到為以下的標靶識別分子的前驅物[K]。
Figure 106135581-A0305-02-0096-37
(2)標靶識別分子的前驅物[K]對於半導體成分的附著與Fab'的固定化
除了使用標靶識別分子的前驅物[K]來取代標靶識別分子的前驅物[A]以外，藉由與實施例1(5)相同的方法而使標靶識別分子的前驅物[K]附著於作為半導體成分的CNT複合體。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而使實施例1(2)中所製作的老鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'於半導體層上固定化。於該情況下，與老鼠抗人類HbA1c抗體Fab'所具有的多個胺基隨機反應而非老鼠抗人類HbA1c抗體Fab'的鉸鏈區域。標靶識別分子的前驅物[K]的芘環附著於CNT，因此作為最終產物的標靶識別分子的連結基中，其原子數成為31，原子數為自鍵結於附著於半導體成分的基的原子至鍵結於源自作為標靶捕捉體的老鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'的原子的原子的原子數。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而進行利用BSA的表面保護，從而獲得半導體感測器。
(3)作為半導體感測器的評價
藉由與實施例1(6)相同的方法而進行作為半導體感測器的評價。測定開始時的電流Id為4.05μA，且僅在添加人類HbA1c時，電流值增加0.17μA。因此，確認到該半導體感測器選擇性地檢測人類HbA1c。訊號強度為4.2%。
比較例6
(1)1-芘丙胺的合成
將反應容器內的環境置換為氮氣後，使1-芘丁酸(東京化成工業公司製造)2.20g溶解於包含二氯甲烷70mL、DMF 100μL的混合溶媒中。繼而，一邊進行攪拌，一邊滴加乙二醯氯(東京化成工業公司製造)750μL，並於該狀態下、於室溫下攪拌40分鐘。其後，將反應溶液的溶媒蒸餾去除並加以真空乾燥。使所獲得的固體溶解於10mL的丙酮中，並於0℃下滴加至2mL的正在進行攪拌的0.3g/mL疊氮化鈉水溶液中。滴加結束後，將反應溶液的溫度緩緩升溫至室溫，並於該狀態下於室溫中攪拌1小時。其後，將反應溶液注入至30mL的純水中，利用桐山漏斗濾取所產生的沈澱，利用純水進行清洗並加以真空乾燥。將所獲得的固體懸浮於10mL的苯中，一邊進行攪拌，一邊升溫至80℃，並於該狀態下攪拌90分鐘。於確認到氣體停止後，將反應溶液冷卻至室溫，進行溶媒蒸餾去除、真空乾燥。繼而，將所獲得的油狀者溶解於10mL的四氫呋喃中後，加熱至60℃，一邊進行攪拌，一邊滴加濃鹽酸(和光純藥工業公司製造)直至不產生氣體為止。進而，攪拌30分鐘後，添加10%氫氧化鈉水溶液(和光純藥工業公司製造)直至溶液成為鹼性為止。使用分液漏斗，利用氯仿進行萃取，利用無水硫酸鎂(和光純藥工業公司製造)對所獲得的氯仿溶液進行乾燥，然後進行溶媒蒸餾去除、真空乾燥。測定所獲得的固體的質譜(日本電子公司製造的JMS-Q1000TD)，結果M+1為260，且確認到為1-芘丙胺。
(2)標靶識別分子[L]的合成
於標靶識別分子[L]中，生物素為標靶捕捉體。生物素為如下所述般結構的分子量244.31的化合物。作為蛋白質的抗生物素蛋白識別生物素的結構而進行鍵結。
Figure 106135581-A0305-02-0099-38
將藉由比較例6(1)的方法而合成的1-芘丙胺25.92mg與Biotin-OSu(商品名，同仁化學研究所公司製造)34.14mg溶解於100mL的DMF中，添加碳酸氫鈉39.50mg，並攪拌6小時。其後，滴加1M鹽酸500mL，利用桐山漏斗濾取所產生的白色沈澱，並利用飽和碳酸氫鈉水溶液及純水分別進行清洗。進行減壓乾燥而獲得白色固體40.57mg。測定所獲得的白色固體的質譜(日本電子公司製造，JMS-Q1000TD)，結果M+1為486，且確認到為以下的標靶識別分子[L]。
Figure 106135581-A0305-02-0099-39
(3)標靶識別分子[L]對於半導體成分的固定化
繼而，將(2)中所合成的標靶識別分子[L]10mg溶解於10mL的乙腈(和光純藥工業公司製造)中，並將實施例2(2)中所形成的半導體元件B的半導體層於其中浸漬4小時，從而使標靶識別分子[L]附著於作為半導體成分的CNT複合體。其後，利用乙腈及0.01M PBS對半導體層進行充分洗滌。
如此，獲得具有附著有以具有至羰基為止的烷基部分且分子量227的生物素結構為標靶捕捉體的標靶識別分子的CNT複合體的半導體層。於該情況下，標靶識別分子[L]的芘環附著於CNT，因此標靶識別分子[L]的連結基L中，其原子數成為4，原子數為自鍵結於附著於半導體成分的基的原子至鍵結於原子作為標靶捕捉體的生物素的原子的原子的原子數。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而進行利用BSA的表面保護，從而獲得半導體感測器。
(4)作為半導體感測器的評價
以與實施例1(6)相同的測定條件進行作為半導體感測器的評價。即，將所製作的半導體感測器的半導體層浸漬於100μL的0.01M PBS溶液，並測定流經第1電極2與第2電極3之間的電流值(Id)。此時，設為第1電極2與第2電極3之間的電壓(Vsd)為-0.2V、第1電極2與第3電極7之間的電壓(Vg)為-0.6V的條件。測定開始時的電流Id(初期電流值)為4.01μA。
自測定開始經過3分鐘後，將於0.01M PBS溶液中以成為100μL/mL的方式溶解有BSA的溶液20μL添加於浸有半導體層的0.01M PBS溶液中，測定開始6分鐘後，將於0.01M PBS溶液中以成為100μL/mL的方式溶解有人類HbA1c(BBI溶液劑(Solutions)公司製造)的溶液20μL添加於浸有半導體層的0.01M PBS溶液中，測定開始9分鐘後，將於0.01M PBS溶液中以成為100μL/mL的方式溶解有抗生物素蛋白(和光純藥工業公司製造)的溶液20μL添加於浸有半導體層的0.01M PBS溶液中。如此，僅在添加包含抗生物素蛋白的溶液時，電流值減少0.14μA。因此，確認到該半導體感測器選擇性地檢測抗生物素蛋白。訊號強度為3.4%。
再者，在檢測人類HbA1c時，電流值增加，相對於此，在檢測抗生物素蛋白時，電流值減少，所述情況是由標靶物質各自的等電點所引起。即，人類HbA1c的等電點位於酸性側，因此於中性的PBS溶液中，人類HbA1c負向帶電，相對於此，抗生物素蛋白的等電點位於鹼性側，因此於中性的PBS溶液中正向帶電。因此，利用半導體感測器對該些進行檢測時的電流值的增減相反。
比較例7
(1)標靶識別分子[M]的合成
將1-芘丁胺(聖克魯斯生物技術股份有限公司(SANTA CRUZ BIOTECHNOLOGY,Inc.)製造)27.34mg與Biotin-OSu(商品名， 同仁化學研究所公司製造)34.14mg溶解於100mL的DMF中，添加碳酸氫鈉39.52mg，並攪拌6小時。其後，滴加1M鹽酸500mL，利用桐山漏斗濾取所產生的白色沈澱，並利用飽和碳酸氫鈉水溶液及純水分別進行清洗。進行減壓乾燥而獲得白色固體42.04mg。測定所獲得的白色固體的質譜(日本電子公司製造的JMS-Q1000TD)，結果M+1為500，且確認到為以下的標靶識別分子[M]。
Figure 106135581-A0305-02-0102-41
(2)標靶識別分子[M]對於半導體成分的固定化
除了使用標靶識別分子[M]來取代標靶識別分子[L]以外，藉由與比較例6(3)相同的方法而使標靶識別分子[M]附著於作為半導體成分的CNT複合體。於該情況下，標靶識別分子[M]的芘環附著於CNT，因此標靶識別分子的連結基中，其原子數成為5，原子數為自鍵結於附著於半導體成分的基的原子至鍵結於源自作為標靶捕捉體的生物素的原子的原子的原子數。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而進行利用BSA的表面保護，從而獲得半 導體感測器。
(3)作為半導體感測器的評價
藉由與比較例6(4)相同的方法而進行作為半導體感測器的評價。測定開始時的電流Id為4.03μA，且僅在添加抗生物素蛋白時，電流值減少0.15μA。因此，確認到該半導體感測器選擇性地檢測抗生物素蛋白。訊號強度為3.6%。
比較例8
(1)標靶識別分子[N]的合成
將1-芘丁胺(聖克魯斯生物技術股份有限公司(SANTA CRUZ BIOTECHNOLOGY,Inc.)製造)27.34mg與Biotin-SS-Sulfo-OSu(商品名，同仁化學研究所公司製造)60.67mg溶解於100mL的DMF中，添加碳酸氫鈉39.53mg，並攪拌6小時。其後，滴加1M鹽酸500mL，利用桐山漏斗濾取所產生的白色沈澱，並利用飽和碳酸氫鈉水溶液及純水分別進行清洗。進行減壓乾燥而獲得白色固體56.96mg。測定所獲得的白色固體的質譜(日本電子公司製造的JMS-Q1000TD)，結果M+1為663，且確認到為以下的標靶識別分子[N]。
Figure 106135581-A0305-02-0103-42
(2)標靶識別分子[N]對於半導體成分的固定化
除了使用標靶識別分子[N]來取代標靶識別分子[L]以外，藉由與比較例6(3)相同的方法而使標靶識別分子[N]附著於作為半導體成分的CNT複合體。於該情況下，標靶識別分子[N]的芘環附著於CNT，因此標靶識別分子的連結基中，其原子數成為13，原子數為自鍵結於附著於半導體成分的基的原子至鍵結於源自作為標靶捕捉體的生物素的原子的原子的原子數。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而進行利用BSA的表面保護，從而獲得半導體感測器。
(3)作為半導體感測器的評價
藉由與比較例6(4)相同的方法而進行作為半導體感測器的評價。測定開始時的電流Id為4.02μA，且僅在添加抗生物素蛋白時，電流值減少0.14μA。因此，確認到該半導體感測器選擇性地檢測抗生物素蛋白。訊號強度為3.5%。
比較例9
(1)中間體[C]的合成
將N-(1-芘基)順丁烯二醯亞胺(東京化成工業公司製造)29.73mg與11-胺基-1-十一烷硫醇鹽酸鹽(同仁化學研究所公司製造)26.38mg溶解於100mL的DMF中，一邊降溫至冰冷，一邊攪拌12小時。其後，將反應溶液的溶媒蒸餾去除並加以濃縮後，藉由以甲苯為展開溶媒的矽膠管柱層析法而將反應產物與未反應物及 雜質分離。將包含反應產物的分級的溶媒蒸餾去除並進行真空乾燥，藉此獲得白色固體33.79mg。測定所獲得的白色固體的質譜(日本電子公司製造，JMS-Q1000TD)，結果M+1為501，且確認到為以下的中間體[C]。
Figure 106135581-A0305-02-0105-43
(2)標靶識別分子[O]的合成
將所述(1)中所合成的中間體[C]25.01mg與Biotin-(AC5)2-OSu(商品名，同仁化學研究所公司製造)28.39mg溶解於50mL的DMF中，添加碳酸氫鈉19.96mg，並攪拌6小時。其後，滴加1M鹽酸250mL，利用桐山漏斗濾取所產生的白色沈澱，並利用飽和碳酸氫鈉水溶液及純水分別進行清洗。進行減壓乾燥而獲得白色固體41.90mg。測定所獲得的白色固體的質譜(日本電子公司製造的JMS-Q1000TD)，結果M+1為953，且確認到為以下的標靶識別分子[O]。
[化35]
Figure 106135581-A0305-02-0106-44
(3)標靶識別分子[O]對於半導體成分的固定化
除了使用標靶識別分子[O]來取代標靶識別分子[L]以外，藉由與比較例6(3)相同的方法而使標靶識別分子[O]附著於作為半導體成分的CNT複合體。於該情況下，標靶識別分子[O]的芘環附著於CNT，因此標靶識別分子的連結基中，其原子數成為30，原子數為自鍵結於附著於半導體成分的基的原子至鍵結於源自作為標靶捕捉體的生物素的原子的原子的原子數。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而進行利用BSA的表面保護，從而獲得半導體感測器。
(4)作為半導體感測器的評價
藉由與比較例6(4)相同的方法而進行作為半導體感測器的評價。測定開始時的電流Id為4.02μA，且僅在添加抗生物素蛋白時，電流值減少0.14μA。因此，確認到該半導體感測器選擇性地檢測抗生物素蛋白。訊號強度為3.5%。
比較例10
(1)中間體[D]的合成
將N-(1-芘基)順丁烯二醯亞胺(東京化成工業公司製造)29.73mg與11-胺基-1-十二烷硫醇(摩貝(MOLBASE)公司製造)23.92mg溶解於100mL的DMF中，一邊降溫至冰冷，一邊攪拌12小 時。其後，將反應溶液的溶媒蒸餾去除並加以濃縮後，藉由以甲苯為展開溶媒的矽膠管柱層析法而將反應產物與未反應物及雜質分離。將包含反應產物的分級的溶媒蒸餾去除並進行真空乾燥，藉此獲得白色固體34.76mg。測定所獲得的白色固體的質譜(日本電子公司製造的JMS-Q1000TD)，結果M+1為515，且確認到為以下的中間體[D]。
Figure 106135581-A0305-02-0107-46
(2)標靶識別分子[P]的合成
將所述比較例10(1)中所合成的中間體[D]25.71mg與Biotin-(AC5)2-OSu(商品名，同仁化學研究所公司製造)28.39mg溶解於50mL的DMF中，添加碳酸氫鈉19.95mg，並攪拌6小時。其後，滴加1M鹽酸250mL，利用桐山漏斗濾取所產生的白色沈澱，並利用飽和碳酸氫鈉水溶液及純水分別進行清洗。進行減壓乾燥而獲得白色固體42.52mg。測定所獲得的白色固體的質譜(日本電子公司製造的JMS-Q1000TD)，結果M+1為967，且確認到為以下的標靶識別分子[P]。
[化37]
Figure 106135581-A0305-02-0108-47
(3)標靶識別分子[P]對於半導體成分的固定化
除了使用標靶識別分子[P]來取代標靶識別分子[L]以外，藉由與比較例6(3)相同的方法而使標靶識別分子[P]附著於作為半導體成分的CNT複合體。於該情況下，標靶識別分子[P]的芘環附著於CNT，因此標靶識別分子的連結基中，其原子數成為31，原子數為自鍵結於附著於半導體成分的基的原子至鍵結於源自作為標靶捕捉體的生物素的原子的原子的原子數。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而進行利用BSA的表面保護，從而獲得半導體感測器。
(4)作為半導體感測器的評價
藉由與比較例6(4)相同的方法而進行作為半導體感測器的評價。測定開始時的電流Id為4.03μA，且僅在添加抗生物素蛋白時，電流值減少0.15μA。因此，確認到該半導體感測器選擇性地檢測抗生物素蛋白。訊號強度為3.6%。
根據比較例6~比較例10，可知：於要固定化的標靶識別分子為如生物素般的低分子的情況下，未確認到如本發明般的由連結基的原子數N所引起的感度提高的效果。
參考例1
(1)N-(1-芘基)順丁烯二醯亞胺對於半導體成分的附著與Fab'的固定化
除了使用N-(1-芘基)順丁烯二醯亞胺(東京化成工業公司製造)來取代標靶識別分子的前驅物[A]以外，藉由與實施例1(5)相同的方法而使作為標靶識別分子的前驅物的N-(1-芘基)順丁烯二醯亞胺附著於作為半導體成分的CNT複合體。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而使實施例1(2)中所製作的老鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'於半導體層上固定化。於該情況下，N-(1-芘基)順丁烯二醯亞胺的芘環附著於CNT，因此作為最終產物的標靶識別分子的連結基L2中，其原子數成為4，原子數為自鍵結於附著於半導體成分的基的原子至鍵結於源自作為標靶捕捉體的老鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'的原子的原子的原子數。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而進行利用BSA的表面保護，從而獲得半導體感測器。
(2)作為半導體感測器的評價
藉由與實施例1(6)相同的方法而進行作為半導體感測器的評價。測定開始時的電流Id為4.08μA，且僅在添加人類HbA1c時，電流值增加0.31μA。因此，確認到該半導體感測器選擇性地檢測人類HbA1c。訊號強度為7.6%。
參考例2
(1)中間體[E]的合成
將1-胺基芘(東京化成工業公司製造)21.73mg與二硫代雙 (琥珀醯亞胺基十一烯酸酯)(同仁化學研究所公司製造)62.88mg溶解於100mL的PBS(pH值7.4)，並攪拌6小時。其後，將反應容器降溫至冰冷後，利用桐山漏斗濾取白色沈澱，並利用純水進行清洗。進行減壓乾燥而獲得白色固體598.87mg。測定所獲得的白色固體的質譜(日本電子公司製造的JMS-Q1000TD)，結果M+1為731，且確認到為以下的中間體[E]。
Figure 106135581-A0305-02-0110-48
(2)標靶識別分子的前驅物[Q]的合成
將藉由參考例2(1)的方法而合成的中間體[E]36.52mg與N-(2-胺基乙基)順丁烯二醯亞胺鹽酸鹽(東京化成工業公司製造)8.83mg溶解於50mL的DMF中，添加碳酸氫鈉19.96mg，並攪拌6小時。其後，滴加1M鹽酸250mL，利用桐山漏斗濾取所產生的白色沈澱，並利用飽和碳酸氫鈉水溶液及純水分別進行清洗。進行減壓乾燥而獲得白色固體32.73mg。測定所獲得的白色固體的質譜(日本電子公司製造的JMS-Q1000TD)，結果M+1為756，且確認到為以下的標靶識別分子[Q]。
[化39]
Figure 106135581-A0305-02-0111-49
(3)標靶識別分子的前驅物[Q]對於半導體成分的附著與Fab'的固定化
除了使用標靶識別分子的前驅物[Q]來取代標靶識別分子的前驅物[A]以外，藉由與實施例1(5)相同的方法而使標靶識別分子的前驅物[Q]附著於作為半導體成分的CNT複合體。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而使實施例1(2)中所製作的老鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'於半導體層上固定化。於該情況下，標靶識別分子的前驅物[Q]的芘環附著於CNT，因此作為最終產物的標靶識別分子的連結基L2中，其原子數成為31，原子數為自鍵結於附著於半導體成分的基的原子至鍵結於源自作為標靶捕捉體的老鼠抗人類HbA1c抗體的Fab'的原子的原子的原子數。進而，藉由與實施例1(5)相同的方法而進行利用BSA的表面保護，從而獲得半導體感測器。
(4)作為半導體感測器的評價
藉由與實施例1(6)相同的方法而進行作為半導體感測器的評價。測定開始時的電流Id為4.08μA，且僅在添加人類HbA1c時，電流值增加0.30μA。因此，確認到該半導體感測器選擇性地檢測人類HbA1c。訊號強度為7.3%。
[產業上之可利用性]
如上所述，本發明的半導體感測器及其製造方法以及複合感測器，適合於顯示高檢測選擇性與高檢測感度的氣體感測器、離子感測器、心肌標記感測器、腫瘤標記感測器、血紅蛋白感測器或糖化血紅蛋白感測器等各種感測器。
1‧‧‧基板
2‧‧‧第1電極
3‧‧‧第2電極
4‧‧‧半導體層
7‧‧‧第3電極

Claims (17)

  1. 一種半導體感測器，包括：基板；第1電極；第2電極；及半導體層，設置於所述第1電極與所述第2電極之間，所述半導體感測器中，所述半導體層具有鍵結或附著有標靶識別分子的半導體成分，所述標靶識別分子為由下述通式(1)所表示的化合物或具有由下述通式(2)所表示的結構作為重複單元的高分子化合物，Ar 1 -L 2 -X (1)於通式(1)中，Ar1為經取代或未經取代的芳香族雜環基或者經取代或未經取代的芳香族烴基；L2為所述連結基L2，其原子數N1為5以上且30以下，所述原子數N1為自鍵結於源自Ar1的原子的原子至鍵結於源自X的原子的原子的原子數；X為所述標靶捕捉體X，且為分子量為20000以上且200000以下的蛋白質或核酸；
    Figure 106135581-A0305-02-0115-50
     於通式(2)中，Ar2為經取代或未經取代的芳香族雜環基或者經取代或未經取代的芳香族烴基；L2為所述連結基L2，其原子數N2為5以上且30以下，所述原子數N2為自鍵結於源自Ar2的原子的原子至鍵結於源自X的原子的原子的原子數；X為所述標靶捕捉體X，且為分子量為20000以上且200000以下的蛋白質或核酸；所述連結基L2中，其原子數N為5以上且30以下，所述原子數N為自鍵結於所述半導體成分的原子或自鍵結於附著於所述半導體成分的基的原子至與源自所述標靶捕捉體X的原子鍵結的原子的原子數。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的半導體感測器，其中，所述標靶識別分子為由所述通式(1)所表示的化合物，於所述通式(1)中，Ar1為所述經取代或未經取代的芳香族烴基，不含取代基的所述芳香族烴基的碳原子數為14以上且22以下。
  3. 如申請專利範圍第1項所述的半導體感測器，其中，所述原子數N為8以上且16以下。
  4. 如申請專利範圍第1項所述的半導體感測器，其中， 所述原子數N1及/或原子數N2為8以上且16以下。
  5. 如申請專利範圍第1項所述的半導體感測器，其中，所述標靶捕捉體X為免疫球蛋白或免疫球蛋白的部分結構體。
  6. 如申請專利範圍第1項所述的半導體感測器，其中，所述標靶捕捉體X為免疫球蛋白的部分結構體。
  7. 如申請專利範圍第6項所述的半導體感測器，其中，所述免疫球蛋白的部分結構體於重鏈的鉸鏈區域中，與連結基L2形成鍵。
  8. 如申請專利範圍第6項所述的半導體感測器，其中，所述免疫球蛋白的部分結構體為與血紅蛋白或糖化血紅蛋白的至少一者選擇性地相互作用的免疫球蛋白的部分結構體。
  9. 如申請專利範圍第6項所述的半導體感測器，其中，所述免疫球蛋白的部分結構體的分子量為20000以上且120000以下。
  10. 如申請專利範圍第1項所述的半導體感測器，其中，所述連結基L2包含選自由醚鍵、醯胺鍵及醯亞胺鍵所組成的群組中的結構的至少一者。
  11. 如申請專利範圍第1項所述的半導體感測器，其中，所述連結基L2包含五員環結構。
  12. 如申請專利範圍第1項所述的半導體感測器，其中，所述半導體成分為選自由富勒烯、碳奈米管、石墨烯及碳奈米角所組成的群組中的至少一種。
  13. 如申請專利範圍第1項所述的半導體感測器，其中，於所述半導體成分的至少一部分附著有共軛系聚合物。
  14. 如申請專利範圍第1項所述的半導體感測器，其進而設置有第3電極。
  15. 如申請專利範圍第1項所述的半導體感測器，其中，將源自生物體的物質設為檢測對象。
  16. 一種複合感測器，其包括：一種半導體感測器，包括：基板；第1電極；第2電極；及半導體層，設置於所述第1電極與所述第2電極之間，所述半導體感測器中，所述半導體層具有鍵結或附著有標靶識別分子的半導體成分，所述標靶識別分子至少具有標靶捕捉體X及連結基L2，所述標靶捕捉體X為分子量為20000以上且200000以下的蛋白質或核酸，所述連結基L2中，其原子數N為5以上且30以下，所述原子數N為自鍵結於所述半導體成分的原子或自鍵結於附著於所述半導體成分的基的原子至與源自所述標靶捕捉體X的原子鍵結的原子的原子數，以及檢測葡萄糖的感測器。
  17. 一種如申請專利範圍第1項所述的半導體感測器的製造方法，其為製造包括基板、第1電極、第2電極及設置於所述 第1電極與所述第2電極之間的半導體層的半導體感測器的方法，且形成所述半導體層的步驟包括在所述第1電極與所述第2電極之間塗佈半導體成分的步驟；所述半導體層具有鍵結或附著有標靶識別分子，所述標靶識別分子至少具有標靶捕捉體及連結基。
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