TWI670578B

TWI670578B - 用於半導體裝置處置器生產量最佳化之系統及方法

Info

Publication number: TWI670578B
Application number: TW103140997A
Authority: TW
Inventors: 小霍華德Ｈ羅伯茲; 雷洛伊葛洛特
Original assignee: 美商塞雷特有限責任公司
Priority date: 2013-11-27
Filing date: 2014-11-26
Publication date: 2019-09-01
Also published as: PH12016500966B1; PH12016500966A1; CN105917452A; MY188472A; CN105917452B; US9818631B2; TW201525628A; US20160293461A1; WO2015081081A1

Abstract

一種方法與系統係提供用於最佳化具有多個階段的一半導體裝置處置器的作業生產量。該方法包括在一輸入運載緩衝區接收用於測試的半導體裝置，以及在半導體裝置的該測試中操作該處置器。該方法亦包括紀錄針對該處置器的每一作業階段之作業生產量特徵，以及分析針對該處置器的每一作業階段所記錄之作業生產量特徵。此外，該方法包括判定該處置器的哪一個作業階段具有致使一最低作業節拍之最極限的限制，以及調整具有該最低作業節拍的該處置器的該作業階段的作業參數以增加該作業節拍。該方法進一步包括重複該方法直到達到一作業狀態為止，以致於對作業參數的進一步調整會導致對於該半導體裝置處置器的該作業生產量的減少。

Description

用於半導體裝置處置器生產量最佳化之系統及方法

相關申請案之交互參照

此申請案係以2013年11月27日申請之標題為System and Method for Semiconductor Device的美國臨時專利申請案第61/909,600號為基礎主張優先權，其全部內容併入本案。

發明領域

本揭露內容係有關於自動化製造系統及方法，尤其是用於半導體的測試及製造品質控制之自動化與機器人半導體設備系統及方法，其中係減少分度(index)計時延遲及總測試時間以使生產量最佳化。

發明背景

最佳化一半導體處置器之效能表示，調諧其機械運動使得該半導體處置器在既定測試時間以最慢的機械運動而在最大的生產量運作。

於半導體製造中，半導體裝置測試設備是昂貴資本的設備。傳統上，此類測試設備已包括用以處置被測試之裝置的一機器人調處器。此機器人調處器一般被稱為”處置器”，且典型地以一或多個被稱為”調處器”的機器人手臂來組態。該調處器機械地拾起用以測試的一裝置，將該裝置插入一介面測試板之中，並且發出一測試開始信號給測試器。該測試器接著對該裝置進行測試並且回傳一測試結果與一測試結束信號至該處置器，其導致該處置器將該裝置配置(disposition)到用以容納被測試裝置的一測試後托架或收容器。只要該處置器感側到有可供測試之額外的裝置，則此程序被重複。此系統整體上有時被稱為”測試單元(test cell)”。

在該處置器配置剛被測試之裝置並將該(等)裝置以將被測試之下次的裝置替換所需要的時間的期間，該測試器實質上保持閒置。針對特定測試器及系統，此閒置時間有時被稱為”分度時間(index time)”，並且牽涉等待測試以及已被測試的該等裝置之機械調處。此等機械調處在運作的速度上被各種因素所限制，舉例來說，該等因素包括用以確保將被測試的該等裝置不會被毀壞、污染、掉落、等等的物理及速度限制。

針對特定裝置、測試、測試器及系統，測試一裝置所需要的時間有時被稱為”測試時間”。當該系統運作在一製造能力時，其正於該分度時間期間進行分度，或者用其他方式正於該測試時間期間進行測試。

以前，測試設備製造商為了減少分度時間，已經集中精力於製造設備的設計以增加機械運作的速度。儘管在處置該等測試裝置的機械運作的速度已隨著時間而顯著地增加，但是在藉由該機器人處置器的測試之間仍保持有調處測試裝置所需之顯著的機械分度時間。此外，隨著機械調處設備運作之增加的速度，對於該設備的成本增加，包括校準、更換頻率、維護、部件、及其他。假如在加快許多類型的測試裝置與處置器之機械調處速度上必須滿足的該等限制及預防，機械運作的進一步加快速度易遭受經濟與物理上的阻礙。

無論如何，減少分度時間在對於測試設備的投資上可提供較佳的報酬，尤其是該測試設備是昂貴的。因此，進一步減少製造環境中測試運作所牽涉的分度時間，在此技藝與技術中將會是顯著的改善。尤其，於半導體製造中，若半導體設備的測試中的分度時間減少，則經濟及其他獲利與優點是可能的。在不需要用於測試的裝置處置器及相似機器人或自動化組件的現有機械運作的實質改變或新發展之情況下，提供用以達到縮減的分度時間之新的與改良的系統及方法亦將會是改善。由本發明人所作出之減少自動化及機器人半導體測試的分度時間之最近進展的範例係由本發明人揭露於其他專利中，包括美國專利第7,183,785 B2號、美國專利第7,508,191 B2號、美國專利第7,619,432 B2號、以及美國專利第8,400,180 B2號。

除了上文討論之減少分度時間的優點之外，亦將會是改善的是提供新的與改善的系統及方法，用以設定及組態用於自動化及機器人半導體測試設備的該等控制系統，其進一步減少與該自動化及機器人半導體測試設備相關聯的測試運作之成本、複雜性、分度時間、及停機時間。例如，傳統的自動化半導體測試設備通常被串聯化，其中每一個別的測試係相繼地被實行。串聯化測試的主要原因包括限制了可在同一時間進行的測試數量與複雜性的熱問題，以及實施非串聯化測試的複雜性。此外，傳統的用以測試之設計(DFT)通常在運行時需要該測試裝置的互斥控制，因此避免在相同時間任何其他非DFT測試被執行。

此申請案一般適用於處置器，但是具有對於處置器技術的特別重要性，其中兩個或以上的處置器係共同多工成為一單一測試器，或者其中兩個或以上的多功處置器係整合成為一單一運算單元並且連接至一單一測試器。此等系統被稱為無分度(indexless)測試單元。以無分度系統，關鍵特徵為兩個或以上的非同步但協調的核心調處器，其等可具有用於裝置測試的重疊插入。測試仍相繼實行，但於該等處置器或調處器之間交替。在此等調處器插入用於測試的裝置之處的該等多重測試點係與該測試器電性多路傳輸。以此方式，測試之間流逝的時間減到最少。

處置器最佳化的好處是該處置器的生產量增至最大，同時該處置器上的壓力減至最小。當被應用至整個測試場地(test floor)時，此轉化至廠區每單位面積較高的生產量，以及對於公司之較低的測試成本。

無分度處置器傳輸系統的特定情況呈現了處置器最佳化的機會，其未呈現於傳統的處置器設計中。舉例來說，在測試時間較分度時間更長的情況，總是有在沒有不利結果的情況下增加分度時間的機會。鑑於沒有輸入/輸出(I/O)限制的標準處置器(以最大生產量運轉)，增加的分度時間總是導致生產量的減少(不利結果)，除非有足夠地補償例如擁塞率(jam-rate)降低的次要結果。

被調諧的該等處置器動作可包括，但不限於：速度、加速度、加速度時變量、路徑、及順序。調諧一機器人處置器的一個原因是為了減少機械與電子組件上的壓力，並且藉此減少處置器失靈及故障的頻率。運作上的好處是較低的運作負擔。經濟上的好處是販售貨品較低的成本與較高的利潤率。

許多機器人裝置處置器允許一操作者或使用者藉由透過一軟體使用者介面或控制面板作出改變或調整，來手動調整一半導體處置器的機械動作。決定此等機械動作設定的因素隨著公司不同而改變，但通常可變成爭議、辯論及爭論的來源。此促成了操作該設備的製造中心與設計、管理及販售被ATE資產(asset)所測試之半導體產品的其他公司部門之間的摩擦。此轉化成不必要之組織上的無效率。關於摩擦的主要原因是，針對什麼設定會導致在一既定處置器上進行的產品組合之測試的最低成本並沒有清楚的資料。典型地，商務中心看到解決方法，如調諧該等處置器用於該處置器所支援的最大產量，同時製造中心了解最佳的運作速度係慢於該處置器的最大能力。此最佳點為取捨(trade-off)的複雜集合來到平衡，且在長期上導致最低的測試成本。此等取捨包括增加機械動作的考量以及減少機械動作的考量。

增加機械動作的動機的單一主要範例是更高的生產量(原始輸出容量)。不幸地，以最大速度來運轉一處置器會引起與增加幅度與頻率相反的因素。淨效應是減少該系統的長期生產量。一簡單的範例將會是運轉一處置器如此快速的結果，以至於關鍵的機械組件在與高速運作相關的高壓力之下而故障。當此情況發生時，該運作會被終止。取決於平均修復時間，停機時間可能會大大地降低長期的生產量至如此程度，運轉更慢的替代策略導致更高的長期的生產量。

放慢機械動作之動機的範例是那些需要該處置器長時期被中斷或者終止的情況及事件。此包括處置器失靈、擁塞、錯誤處置的裝置、故障平均間隔時間(MTBF)、輔助平均間隔時間(MTBA)、需要校準的頻率、以及定期維護的頻率。此等因素如何作用對抗長期生產量的簡單範例可由類比而作出。競爭性的賽車在決定比賽策略方面處理類似的取捨。車開得越快，而你可能會燒壞引擎或損壞一關鍵的組件並且退出競賽。然而，若你能夠找到賽速與車輛上的應力之間的最佳平衡，則較慢的賽速可以使第一個你穿過終點線，因為車子在不需要經常停下來修理和調整的情況下完成賽程。實質上，這是用較快的瞬時速度換取較快的速率(平均速度)的典型範例。最終，該團隊在尋找一組複雜的取捨進入平衡並在長期導致最快速率之最理想的點。

在敘述使用於調諧半導體處置器中的方法論方面，係利用限制理論(Theory of Constraints)。關於限制理論的另一個常見術語為”瓶頸理論(Theory of Bottlenecks)”。該限制理論將被稱為”ToC”。維基百科敘述ToC如下：該限制理論(ToC)為一管理典範，其視任何可管理的系統係被非常少數的限制而在達到更多的目標上被侷限。總是有至少一個限制，且ToC使用一聚焦程序來識別該限制，並重建其周圍的組織的其餘部分。ToC採納一慣用語”鏈條的堅固程度取決於它最弱的環節(一著不慎，滿盤皆輸)”。這表示程序、組織、等等是脆弱的，因為最弱的人或部分總是可以損害或毀壞它們或者至少不利地影響結果。

由於ToC的基本原則被應用至處置器效能的最佳化，此等基本原則將於此申請案中稍後敘述。然而，為了上下文的緣故，將會利用的一些基本元件係包括在下文中(主要假設、五大聚焦步驟、以及應用)，如維基百科敘述其等：主要假設：限制理論的該等基本原則為，組織可藉由三種度量上的變化而被測量並控制：生產量、營運費用、以及庫存量。生產量為該系統透過販售來產生錢的速率。庫存量為該系統已經投資在購買打算販之物品的所有錢。營運費用為該系統為了將庫存量變成生產量所花費的所有錢。在該目標本身可被達到之前，必要條件必須首先滿足。此等必要條件典型地包括安全、品質、法律義務、等等。對於大多數的事業，該目標本身為賺錢。然而，對於許多組織及非營利事業，賺錢為追求該目標的必要條件。不管其為目標或者為一必要條件，基於生產量、庫存量、及營運費用來了解如何做出健全的財務決策是關鍵要求。

五個聚焦步驟：限制理論係基於一目標導向系統的目標達成的速率(亦即，該系統的生產量)被至少一個限制所侷限之前提。歸謬法(reductio ad absurdum)的論點如下：若沒有事物妨礙一系統無法達到更高的生產量(亦即，一時間單位中更多的目標單元)，它的生產量將會是無限的一這在現實生活的系統中是不可能的。只有藉由增加通過該限制的流量，整體生產量可被增加。假設一系統的目標已被明確地表達且它的度量已被定義，該等步驟為：

(1)識別該系統的限制(妨礙該組織無法在一時間單位中得到更多的目標)。

(2)決定如何挖盡該系統的限制(如何得到該限制的最有效使用)。

(3)使所有其他事物次於上述決定(調準整個系統或組織以支持上述所做之決定)。

(4)提升該系統的限制(做出為了增加該限制的產能所需要的其他主要改變)。

(5)警告！若於先前的步驟中，一限制已經，則回到步驟1，但不允許惰性導致一系統的限制。

營利組織的目標是”現在與未來賺更多錢”，且它的度量係由生產量來給定，認定為：生產量、庫存量、及營運費用。該等五個聚焦步驟旨在確保持續的改善成果集中在該 (等)組織的限制上。於TOC文獻資料中，此被稱為持續改善的過程(POOGI)。此等聚焦步驟是發展下文提及的具體應用之主要步驟。

製造作業與作業管理之中，解決方案在尋求將材料拉過該系統，而非將它們推入該系統之中。主要的方法論的使用為鼓-緩衝-繩子(限制驅導式排程與管理，DBR)以及稱為簡化型鼓-緩衝-繩子(S-DBR)的一變化。鼓-緩衝-繩子為一製造執行方法論，用它的三個組成來命名。鼓是工廠的物理限制：侷限整個系統能夠生產更多的能力之工作站或機器或運作。工廠的其餘部分跟隨該鼓的節奏。其等確保該鼓有工作，以及該鼓已處理的任何事物不會被浪費。

該緩衝保護該鼓，使得其總是有流向它的工作。DBR中的緩衝具有作為其等量測單位的時間，而非材料的數量。此使得該優先系統嚴格地基於時間來運作，一訂單係被預期在該鼓。傳統的DBR通常要求在該系統中的數個點上的緩衝：該限制、同步點、以及在運輸上。S-DBR具有在運輸上的緩衝，並且透過一負載規劃機制來管理通過該鼓的工作流程。

該繩子是用於該工廠的工作發放機制。訂單係在其等到期之前的一個”緩衝時間”被至商店層。換言之，若該緩衝為5天，則該訂單在其於該限制到期前的5天被發放。將工作較此緩衝時間更早放入該系統之中，有可能產生過高的在製品(work-in-process)，並且減低整個系統的速度。

上述的方法論以及ToC所規定的原則，在了解於此所述之發明上是有用的。

發明概要

用於對此處所述之半導體裝置處置器最佳化作業生產量的該系統及方法，表示在半導體測試單元方面的一顯著進展。該等系統及方法將科學方法論利用於最佳化生產量的決定。因為作業生產量通常被看作為測試單元硬體的運作壽命期間測量的長期度量，長期可靠度的議題必須被給予與在作業生產量方面之短期改善的議題相同的重要性。短期生產量與機械應力之間的最佳平衡必須被找到。藉由實施此處所述之該等系統及方法，此平衡可合乎科學地被決定並且被實施於數據上，而非人類的思索。

鑑於上述，各種實施例可被設想。根據本揭露內容的一個實施例，一種方法係被提供用於最佳化一半導體裝置處置器的作業生產量。該方法包括在一分類的(binned)半導體裝置處置器輸入運載緩衝區接收用以測試的半導體裝置，以及在半導體裝置的該測試中操作該半導體裝置處置器一段預定的時間週期。該方法亦包括在一電子記憶體中紀錄針對該半導體裝置處置器的每一作業階段之作業生產量特徵，以及藉由一電腦來分析針對該半導體裝置處置器的每一作業階段所記錄之作業生產量特徵。此外，該方法包括藉由該電腦來判定該半導體裝置處置器的哪一個作業階段具有最極限的限制，致使一最低作業節拍 (drumbeat)，以及調整具有該最低作業節拍的該半導體裝置處置器的該作業階段的作業參數以增加該作業節拍。該方法進一步包括重複該方法直到達到一作業狀態為止，以致於在該作業狀態下，對作業參數的進一步調整均會造成對於該半導體裝置處置器的該作業生產量的減少。

於該平行同作測試系統的另一實施例中，當具有該最低作業節拍之該半導體裝置處置器的該作業階段被判定是為一半導體運輸作業時，該方法進一步藉由該電腦存取儲存於該電子記憶體中之該半導體運輸作業的組件之儲存的作業特徵，來判定增加該半導體運輸作業的速率是否將超過該半導體運輸作業的作業限制。

於進一步的實施例中，當該電腦判定增加該半導體運輸作業的速率將不會超過該半導體運輸作業的作業限制時，該方法將該半導體運輸作業的速率增加一預定的增加量。

於一實施例中，當該電腦判定增加該半導體運輸作業的速率將超過該半導體運輸作業的作業限制時，該方法降低該半導體裝置處置器的所有其他作業階段的速率以和該半導體運輸作業的速率相配。

於另一實施例中，當具有該最低作業節拍之該半導體裝置處置器的該作業階段被判定為一熱煉(soak)緩衝作業時，該方法降低該半導體裝置處置器的所有其他作業階段的速率以和該熱煉緩衝作業的生產量相配。

於進一步的實施例中，該半導體裝置處置器的該等作業階段包括一輸入運輸階段、一熱煉緩衝階段、一核心測試作業階段、以及一輸出階段。

於一實施例中，當該半導體裝置處置器包括複數個核心調處器時，該方法包括調諧該半導體裝置處置器的所有核心調處器至彼此同步。

於另一實施例中，當該複數個該等核心調處器中的任一者被判定為具有因暫停並等待另一核心調處器完成一作業的一等待時間時，該方法放慢該複數個該等核心調處器中的至少一者的速率，使該等待時間減到最小。

於進一步的實施例中，在判定增加該半導體運輸作業的速率是否將超過該半導體運輸作業的作業限制中，該半導體運輸作業的該等儲存的作業特徵包括速度、加速度及加速度時變量(jerk)的可接受作業範圍。

於一實施例中，將該半導體運輸作業的速率增加一預定增加量，係基於被速率、加速度及加速度時變量的一預定最大值所侷限的該半導體運輸作業的最快速率之判定。

於另一實施例中，針對該半導體裝置處置器的每一作業階段的該等作業生產量特徵係儲存在該電腦可存取的一效能資料庫中，且該電腦針對該半導體裝置處置器實行預定的作業生產量分析與使用者客製化的作業生產量分析兩者。

於進一步的實施例中，該方法包括當該電腦判定該半導體處置器裝置的作業生產量低於作業生產量的一預定程度時，藉由該電腦來發出使用者警報信號。

於一實施例中，該方法包括針對該半導體裝置處置器的每一作業階段藉由分析該效能資料庫中儲存的資料來實施作業生產量特徵的連續分析，針對該半導體裝置處置器的一作業階段判定一異常作業生產量特徵，以及預測該半導體裝置處置器的一作業階段未來的故障。

於另一實施例中，操作該半導體裝置處置器係在各組條件下實施於一非生產作業模式中，其中導致的作業生產量特徵被該電腦使用來產生一建議半導體裝置處置器組態。

於進一步的實施例中，該半導體裝置處置器的每一作業階段係由一數位PID控制器來調節。

於一實施例中，該方法包括，當該半導體裝置處置器包括一無分度處置器運輸系統時，且當由該電腦判定一半導體測試時間比一半導體運輸作業的分度時間更長時，增加該半導體運輸作業的分度時間。

於另一實施例中，一半導體裝置處置器系統被提供用以使作業生產量最佳化。該系統包括接收用以測試之半導體裝置的一接收緩衝區、以及在測試之前對該等半導體裝置作輸入就位(input staging)的一輸入緩衝區。該系統亦包括：一核心測試站，其包括至少一個測試該等半導體裝置的調處器；用以在測試之後對該等半導體裝置作輸出就位(output staging)的一輸出緩衝區；用以在輸出就位之後儲存半導體裝置的一運載緩衝區；以及用以運輸該等半導體裝置通過該系統的一運輸系統。該系統更包括控制該系統之運作的一控制器，包括針對該系統的每一作業階段分析作業生產量特徵、判定哪一個作業階段具有最低作業節拍、調整具有該最低作業節拍的該作業階段的作業參數以增加該節拍、以及判定何時對作業參數的進一步調整將不會導致該作業生產量的降低。

於進一步的實施例中，該輸入緩衝區包括在測試之前增加該半導體裝置之溫度的一熱煉緩衝區。

於一實施例中，該控制器為一主數位PID控制器，且該系統的每一作業階段係由與該主數位PID控制器交互作用的一數位PID控制器來調節。

於另一實施例中，該核心測試站包括複數個無分度核心調處器。

101‧‧‧輸入緩衝區

102‧‧‧工作區資源

103‧‧‧產品運輸構件

104、127‧‧‧輸出緩衝區

111‧‧‧裝置運載輸入緩衝區

112‧‧‧半導體測試器

113‧‧‧裝置運輸構件

114‧‧‧裝置運載輸出緩衝區

120‧‧‧人

121‧‧‧輸入裝置運載緩衝區

122‧‧‧輸入運輸構件

123‧‧‧熱煉緩衝區

124、204、414、514‧‧‧溫度調節資源

125‧‧‧核心運輸調處器

126、206‧‧‧測試資源

128‧‧‧輸出運輸構件

129‧‧‧分類裝置運載緩衝區

130‧‧‧人、人類操作者

201、209、411、420、511、521‧‧‧(分類裝置運載)緩衝區

202、412、512‧‧‧(輸入)運輸構件

203、413、513‧‧‧(熱煉)緩衝區

205‧‧‧核心運輸調處器、運輸構件

207、418、519‧‧‧(輸出)緩衝區

208、419、520‧‧‧(輸出)運輸構件

415、417、515、518‧‧‧核心運輸調處器、雙核心調處器、運輸構件

416、516、517‧‧‧測試收容器

611、711、712‧‧‧動作曲線圖

811、813、814‧‧‧方塊

812‧‧‧決定方塊

1200‧‧‧電腦

1201‧‧‧處理器

1202‧‧‧記憶體

1203‧‧‧顯示器

1204‧‧‧字母-數字輸入裝置

1205‧‧‧游標控制器

1206‧‧‧遠程裝置

1207‧‧‧網路

1208‧‧‧匯流排

1209‧‧‧揚聲器

1210‧‧‧麥克風

圖1A例示說明一工廠的極小模型；圖1B例示說明圖1A中的該工廠的極小模型轉化成一處置器的極小模型；圖1C例示說明圖1B中的該處置器的一精緻模型；圖2顯示針對一單核心調處器的生產量程序的一範例圖解；圖3A、3B、3C及3D例示說明用以調諧一標準處置器的順序；圖4顯示針對一雙核心調處器的生產量程序的一範例圖解；圖5顯示針對一無分度雙核心調處器處置器的生產量程序的一範例圖解；圖6例示說明一處置器系統的一範例的七段動作曲線圖；圖7例示說明一處置器系統的一範例的複合動作曲線圖，其包括七段動作曲線圖之間的等待時間；圖8例示說明用以在溫度熱煉時間(temperature soak time)成為限制時對生產量作最佳化的一流程圖；圖9顯示具有數個作業模式的一系統的基本圖解，數個作業模式包括非生產作業模式；圖10提供一系統的範例圖解，該系統用於使用以ToC為基礎之控制器來對使用PID控制器的一半導體裝置處置器系統之生產量作最佳化；圖11例示說明可被利用於實施此中所述之半導體測試的一電腦系統之範例；以及圖12，以數位PID架構的一PID實施之範例。

較佳實施例之詳細說明

鑑於前述，本揭露內容係因此意欲透過其之各種觀點、實施例及/或具體特徵或次組件中的一或多者，帶來如下文具體提及的該等優點中的一或多者。本揭露內容提供用以達到半導體裝置處置器生產量最佳化的系統及方法之敘述。

為了將ToC所規定的該等方法與原則應用至半導體測試，一測試單元必須模型化為一工廠，且該處置器必須模型化為一製造線。圖1A例示說明一工廠的極小模型。於圖1A中，一工廠的該極小模型包含一輸入作業，其包括一輸入緩衝區101；一工作區，其包括各種工作區資源102、以及將半導體從該輸入作業運輸通過該工作區至一輸出作業的一產品運輸構件103；以及一輸出作業，其包括一輸出緩衝區104。

圖1B例示說明已轉化自圖1A所顯示的該工廠的極小模型之一處置器的極小模型。於圖1B中，該處置器的該極小模型包括三的階段。該第一階段為一裝置輸出緩衝區，其包括一裝置運載輸入緩衝區111。該第二階段為測試階段，其包括一半導體測試器112。一裝置運輸構件113將半導體從該裝置輸入緩衝區運輸通過該測試階段至一裝置輸出緩衝階段，該裝置輸出緩衝階段包括一裝置運載輸出緩衝區114。

在實踐上，圖1B的該簡易模型並未提供一處置器足夠的特徵及效能來支持大量半導體測試。此類”負荷重的”處置器持續以高負載運轉。如此，它們必須具有高生產量及高可靠度。此外，該等處置器幾乎總是必須在溫度上支援測試。大多數的處置器為環境溫度及高溫(雙重溫度)，然而一些裝置處置器支援高溫、環境溫度及低溫(三重溫度處置器)。

為了支持對於半導體測試的此等大量需求，該負荷重的處置器在該等工作區之間具有多個有緩衝區的運輸系統。在高或低溫測試的情況，該溫度熱煉區其本身為一緩衝區。將此等需求應用至圖1B的簡易模型，我們得到圖1C中所例示說明的模型的精密。

圖1C的更多功能的模型包括一系列的緩衝區、運輸系統、及工作區。因為人120、130將未測試的裝置裝載至該系統之中並將已測試的裝置從該系統移除，他們現為該系統的一部分。該輸入運輸構件將裝置從該輸入裝置運載緩衝區121移動至該熱煉緩衝區123。該熱煉緩衝區123為熱工作區，於此處在測試之前使用溫度調節資源124將裝置帶至溫度。一核心運輸調處器125將裝置從使用輸入運輸構件122的該輸入緩衝區移動至它們被測試的所在區。此典型地由裝置”測試插座”所組成，該等裝置係由該核心調處器插入至該等測試插座之中。當該等裝置被插入至該等測試插座之中時，該等裝置構成與該測試器的電子測試資源126的電性連接。一機器人處置器指示該測試器開始測試。當測試完成時，該測試器將結果發送回該處置器。作為回應，該處置器從該等測試插座收回該等裝置，並且將其等移動至該輸出緩衝區127。從該輸出緩衝區127，其等被移動至該分類裝置運載緩衝區129，其等係於此處而基於該等測試結果被分離。最後，人類操作者130將該等被分類的裝置移動至遠離該測試單元的一位置。

為了將處置器設計與功能方面的廣泛變化減少至可被敘述之可管理的數量，係做出一些基本主張。有四種基本形式的半導體處置器：重力供料式、取放型、旋轉式、及帶線式。此處所述之發明將著主要重於設置有工作區之間的緩衝區及緩衝區與工作區之間的獨立運輸系統的處置器。在此等之間，該取放型處置器係被使用於圖解目的；然而，本發明同樣可應用至所有四種基本形式的半導體處置器。

處置器最大生產量係定義為當測試時間為零時該處置器的生產量。因為當該測試單元正在運作時測試時間永不為零，那麼隨之而來的是，當一處置器如製造商所具體說明的是被組態為最大生產量時，對於該處置器的限制總是在該核心作業。

緩衝區係定義為裝置儲藏庫，其對相鄰作業之間的生產量變化予以補償。緩衝區”尺寸”是指一緩衝區的容量，而緩衝區”狀態”是指在任何給定時間處於使用中的部分。

一熱煉緩衝區為緩衝區的一特殊種類，裝置必須被保持在此處同時其等在測試之前被帶到一特定溫度。一熱煉緩衝區亦運作如FIFO佇列(先進先出佇列)。為了讓該熱煉緩衝區不會變成限制，該系統必須能夠較排空該佇列更快地填滿該佇列。再次，此需要該核心總是具有較該輸入生產量更低的生產量。此亦表示該熱煉緩衝區應該總是保持幾乎滿的。此外，該佇列必須足夠長，以至於離開該佇列的所有裝置已保持於熱煉達到大於或等於最小熱煉時間的一時間。理想上，該佇列的長度將剛好夠長，以至於移動通過該佇列的一組裝置將以與所需熱煉時間完全相同的時間運輸過該佇列。在實踐上，由於許多在裝置尺寸與測試時間上之無法預料的變化，上述理想幾乎是不可能的。

對於所需的佇列長度(用裝置計數來表示熱煉緩衝區尺寸)之一般數學關係由下式給出：緩衝區尺寸=最小熱煉時間×核心生產量，其等於：最小熱煉時間×(平行度/(測試時間+分度時間))

於一高核心生產量範例：平行度=8、測試時間=2秒、分度時間=1秒、最小熱煉時間=2分鐘(120秒)、及最小緩衝區尺寸=320。

於一低核心生產量範例：平行度=4、測試時間=10秒、分度時間=3秒、最小熱煉時間=2分鐘(120秒)、及最小緩衝區尺寸=36.9。

該熱煉緩衝區於此敘述的理由是，有溫度支援的處置器具有與本發明的上下文相關的兩個作業階段。這些作業階段為：(1)當該緩衝區在測試第一次開始之前正被第一次填滿時的期間，以及(2)測試第一次開始之後的期間。

處置器工作區包括，但不限於此等類型之作業：(1)溫度熱煉(常見)、(2)測試(總是必須的)、(3)目視檢驗(不常見)、及(4)雷射標記(非常少見)。如圖1C中所顯示，溫度熱煉與測試僅僅為使用於例示說明目的之作業。然而，重要的是注意於此所述之該等方法及實施不論工作區、緩衝區、或運輸構件的數量皆適用。

利用該等原則ToC並將其等應用至一半導體測試單元，提供下列定義：該半導體測試單元可被視為一工廠。

分度時間係定義為於該核心處在運輸情況下的一組裝置花費於核心工作區的時間去掉測試時間。或者說，核心運輸時間=測試時間+分度時間。

有兩種基本類型的測試單元：具有不可排除的分度時間的(負擔分度的)那些測試單元、以及無分度測試單元。該處置器判定該測試單元是負擔分度的或是無分度的。

該測試單元的目標是以最低成本的最大長期生產量。

該處置器的一工作區是裝置必須在那等待同時經受溫度改變、測試或修改的一位置。

一運輸構件係定義為，在半導體裝置移動通過該處置器時將其等從一個位置移動到下一個所需要的機械、電性、及控制系統之集合。

一調處器係定義為在該處置器的核心運作的一運輸構件，裝置在這裡被插入而用於測試。

作業係與運輸構件相關：裝載作業：人工運輸構件將裝置裝載至裝置運載緩衝區之中；輸入作業：運輸構件將裝置從裝置運載輸入緩衝區移動至熱煉緩衝區；核心作業：核心調處器將裝置從熱煉緩衝區移動至測試，並且從測試移動至輸出緩衝區；輸出作業：運輸構件將裝置從輸出緩衝區移動至分類裝置運載之中；以及卸載作業：人工運輸構件將裝置從分類裝置運載緩衝區卸載。

一限制係定義為侷限系統生產量的該作業或該等作業。

該作業節拍係定義為該限制的生產量(每單位時間的裝置)。

移除一限制表示增加該相關連的作業的該生產量，直到其不再為該限制或者與另一作業共同分擔該限制為止。

平衡一作業表示放慢它的生產量以和該限制的生產量相配。

調諧該系統表示在該存在的限制無法被移除之後，平衡該系統的所有作業。

僅分度時間可被使用於移除在該核心的一限制或者平衡該核心作業。

移除限制係藉由增加一作業的生產量來完成。

增加一作業的生產量表示增加運輸速度。

增加運輸速度係藉由軟體控制及硬體性能規格來支持，亦或者是不。

若增加運輸係被支持的，則其可被使用者偏好或者被第二及第三階的生產量縮減器所侷限。

第二階生產量縮減器是那些中斷處置器作業並貢獻在處置器生產量方面的整體長期降低之處置器失靈及故障。此等包括，但不限於：裝置擁塞、機械順從性的減少、電性與機械組件失靈、以及電性與機械組件故障。

第三階生產量縮減器為操作者相關的。範例包括，但不限於：未能裝載並保持該裝置輸入緩衝區為填滿的、未能卸載並維持該輸出分類裝置運載緩衝區的容量、協助時間、修復時間、使用者錯誤、及有意的使用者程式設計及組態。

運輸等待時間係定義為拾取點與放置點之間零速度的期間。

一拾取點係定義為三維空間中一裝置被捕獲並被選擇來運輸的一實體位置。

一放置點係定義為三維空間中一裝置在運輸之後被放下的一實體位置。

處置器生產量係藉由該系統中的限制來判定。核心生產量在默認的情況下為該限制。核心生產量係藉由測試時間、分度時間及平行度來判定。當一產品到達該測試單元進行測試時，測試時間及平行度為固定的。僅分度時間被動態調整。因此，作為第一順序的動作，分度時間應被減到最小。將該測試單元的組態改變成包括多工處置器或無分度處置器將可幾乎排除系統分度時間。若該測試單元為負擔分度，那麼分度時間應盡可能減少。當最後剩下的限制不再能夠被移除時，應藉由使所有作業的生產量與該限制的生產量相配來平衡該系統。此方法論為於此所述之發明的一重點。

於此所述之發明係思量，基於按ToC來模型化的處置器控制程序以及運行來調節生產量的一組處置器PID控制器之一測試單元的最佳化。當一限制可被移除時，該程序將基於該系統的過去效能以及來自其他測試單元的分享經驗來做出一決定。該分享經驗以其最簡單的形式可為限制該程序被允許做什麼的使用者定義設定。以更自動化的形式，該程序可存取對來自複數個測試單元的資料作抽樣、組織及處理的大數據分析之輸出。按照後者的方案，一企業級的作業將可從自身學習並建構智力。與所有此類系統，人工監督總是必須的。

因此，本發明的目的是將精確且科學的方法應用於處置器最佳化，藉此使得與依仗不完整資料或推測的目前方法相關聯之不確定性減到最小。

隨著標準的處置器，接著，由於ToC係實行於工廠級，其係應用於：尋找限制，且若其可以且應該被移除，則將其移除。若其可被移除，而一新的限制出現，繼續該程序直到最後剩下的限制不再能夠被移除為止。最後，放慢其他作業以與該最後的限制的作業節拍相配。

對於無分度處置器，該等方法論是相似的，但實施是不同的。對於無分度測試單元，排除標準分度時間(測試的結束與測試的下一次開始之間經過的時間)。然而，無分度測試單元係等效於，與具有一單一工作區資源(測試器)的兩個工作區(兩個等效測試插座組)的電性多工串接(tandem)來運作的兩個處置器。於此方案中，每一個別處置器的分度時間為”隱藏的”，或者掩蓋在其他處置器的測試時間後面。因此儘管測試單元作為整體而沒有經歷分度時間，每一個別處置器有。每一處置器(或核心調處器)的分度時間係接著被重新定義為配置的開始到下一次插入之間經過的時間。於此情況下，測試結束典型地與該配置的開始同時發生，但裝置插入並非必定與測試開始同時發生。放慢該個別處置器分度時間會排除裝置插入與測試開始之間所經過的時間，降低該處置器上的應力，降低擁塞率，並且在沒有損失的情況下如此進行。因為該測試單元的生產量係專門地由該測試時間(分度時間為隱藏的)來判定，上述為真實的。

以無分度處置器，開始的點是不同的。本方法係用以直接處理測試時間對分度時間的比例。若測試時間大於分度時間，則藉由設定分度時間等於該測試時間來增加分度時間。此可藉由減低該等核心調處器動作的速度來達成。對於這樣做，從來沒有生產量的損失但是會有好處，包括較低的擁塞率及較少的處置器應力。若分度時間大於測試時間，則分度時間變成一機制，藉由該機制來調整該核心作業應是一限制。接著應用ToC方法與實踐。

用於一單一核心調處器的一生產量程序的範例圖解係例示說明於圖2中。

用於一單一核心調處器的方法中：一旦第一組裝置已經到達該分類裝置運載緩衝區201，則開始最佳化。

若每一作業的生產量可由該系統測量，則該限制為具有最低生產量的該作業。否則，觀察該等緩衝區201、203、207、209在做什麼來識別該限制。

除非該限制為該熱煉緩衝區203，否則加速該等運輸構件202、205及/或208來移除該限制。

緩衝區狀態當作為該限制的一改變將要發生的一前導指示器。

當該限制不再能夠被移除時，計算它的作業節拍。

藉由將所有其他作業放慢至該限制的作業節拍來平衡該系統。

當該系統預期儘管短期增加但長期生產量將掉落時，調節最大生產量。

(1)於尋找該限制，藉由比較每一作業的生產量來識別該限制。此資料應可從該等處置器控制器得到。

(2)於尋找該限制的作業節拍，該作業節拍為該限制的生產量(每單位時間的裝置)。

(3)為了移除該限制或平衡該系統：

(a)若一運輸作業202、205及/或208為該限制，如果其速度可以且應該被增加，則增加其速度。若否，則放慢所有其他作業的生產量來相配。

(b)若該熱煉緩衝作業為該限制，則降低所有其他作業以與該熱煉緩衝區的生產量相配。

(4)反覆地從頭至尾重複此程序以完成該程序。

圖3A、3B、3C及3D例示說明用以調諧一標準處置器的一簡單順序。舉此範例說明，假設該系統可直接測量運輸速率，且不需要該等緩衝區狀態用以識別該限制。圖3A顯示該等四個作業的生產量。如預期的，該核心運輸構件被識別為該限制。圖3B顯示該核心限制被移除。要做到這一點的唯一方式示減少該分度時間，直到其不再為限制為止。此點為其與該熱煉緩衝區的生產量相配之處。圖3C顯示該熱煉緩衝區與該核心現在為該限制。由於該熱煉緩衝區的生產量不能夠被增加(除非熱煉時間可被減少)，不再可能移除該限制。圖3D顯示該等輸入及輸出運輸構件被放慢到與該限制的作業節拍相配。亦即，將該等輸入及輸出運輸構件放慢到與該限制(該熱煉緩衝區及該核心)的生產量相配。該系統現已被最佳化到最高被支援的生產量，且被平衡以將該系統上的應力減到最小。

用於一雙核心調處器的生產量程序之圖解係例示說明於圖4中。

用於一雙核心調處器的方法中：一旦第一組裝置已經到達該分類裝置運載緩衝區411，則開始最佳化。

若每一作業的生產量可由該系統測量，則該限制為具有最低生產量的該作業。否則，觀察該等緩衝區411、413、418、420在做什麼來識別該限制。

除非該限制為該熱煉緩衝區413，否則加速該等運輸構件412、415、417、419來移除該限制。

當該限制不再能夠被移除時，計算它的作業節拍。

該等雙核心調處器415、417提出調諧該等核心調處器的一需求，其為完全算法的且不受該限制支配的。

(1)若可利用該測試收容器416的該測試時間比任一調處器上的分度時間更長，則在該核心處將會有一等待時間。此狀態在視覺上將以每一調處器暫停並等待其他調處器完成測試、收回並移出該核心區域之形式出現。此狀態將清除該核心區域，並允許等待中的調處器重新開始動作並將其用於測試之裝置插入。可使得這些等待時間可從軟體控制程序資源得到。若該等核心調處上有任何等待時間，放慢其等之速度並使該等待時間減至最少。對於這樣做並沒有生產量的損失。

(2)於尋找該限制，藉由比較每一作業的生產量來識別該限制。此資料應可從該等處置器控制器得到。

(3)於尋找該限制的作業節拍，該作業節拍為該限制的生產量(每單位時間的裝置)。

(4)於移除該限制或平衡該系統：

若一運輸作業為該限制，如果其速度可以且應該被增加，則增加其速度。若否，則放慢所有其他作業的生產量來相配。

若該熱煉緩衝作業為該限制，則降低所有其他作業以與該熱煉緩衝區413及該等相關連的溫度調節資源414的生產量相配。

(5)反覆地從頭至尾重複此程序以完成該程序。

用於一無分度的雙核心調處器處置器的生產量程序之圖解係例示說明於圖5中。

用於一無分度的雙核心調處器處置器的方法中：一旦第一組裝置已經到達該分類裝置運載緩衝區511，則開始最佳化。

若每一作業的生產量可由該系統測量，則該限制為具有最低生產量的該作業。否則，觀察該等緩衝區511、513、519、521在做什麼來識別該限制。

除非該限制為該熱煉緩衝區513及該等相關的溫度調節資源，否則加速該等運輸構件512、515、518及/或520來移除該限制。

當該限制不再能夠被移除時，計算它的作業節拍。

該等雙核心調處器515、518提出調諧該等核心調處器的一需求，其為完全算法的且不受該限制支配的。

(1)若可利用一個或兩個測試收容器516、517的該測試時間比任一調處器上的分度時間更長，則在該核心處將會有一等待時間。此等待無法在視覺上觀察到，但是可藉由該等軟體控制程序資源來檢測。若該等核心調處上有任何等待時間，放慢其等之速度並使該等待時間減至最少。此可藉由使該分度時間等於該測試時間而簡單地實施。對於這樣做並沒有生產量的損失。

(4)於移除該限制或平衡該系統：若一運輸作業為該限制，如果其速度可以且應該被增加，則增加其速度。若否，則放慢所有其他作業的生產量來相配。

若該熱煉緩衝作業為該限制，則降低所有其他作業以與該熱煉緩衝區513的生產量相配。

(5)反覆地從頭至尾重複此程序以完成該程序。

藉由明智地平衡所有作業至該限制來調諧該系統：目前，當一處置器限制是在該核心時，該等其他運輸系統的回應是持續運作於速度、加速度及加速度時變量的固定率。此結果為與該核心的生產量不相配的所有其他運輸構件上提出等待時間。對該核心供料的作業被阻擋，而使清除該核心的作業匱乏。這些等待時間使得在該拾取點與該放置點之間的一運輸構件的運送期間的加速度與加速度時變量事件的數量增加。這些加速度與加速度時變量事件為該運輸構件硬體遭受最大應力的期間之時間上的片刻。此適用於馬達、齒輪、皮帶、以及摩擦力、彎曲力、壓縮力、張力及剪切力施加於其上的其他機械系統。該系統將受益於一策略，該策略藉由重新分配跨越較低水平的加速度與加速度時變量之等待時間預算，同時保持運送時間為常數，來消除非必要的等待時間。這樣有效地調諧所有作業至該限制的生產量，並且以最小化第二階生產量縮減器之方式來如此進行。此調諧的方法為於此所述之發明的一重點。

於本發明的進一步改進中，該處置器系統受益於一策略，該策略藉由跨越較低水平的運輸加速度與加速度時變量之等待時間預算之自動化且算法的重新分配，同時保持運送時間及距離為常數，來消除等待時間。這樣調諧所有作業至該限制的生產量，但以最小化第二階生產量減縮器之方式來這樣做。

動作控制的目前程序為計算一動作曲線圖(motion profile)，其導致在關於速度、加速度及加速度時變量的允許最大值之內的最快可能的動作。當此方法被使用時，圖6中例示說明的一動作曲線圖611將會產生。如圖6中所例示說明的，該動作控制的程序係用以計算一動作曲線圖，其導致在關於速度、加速度及加速度時變量的允許最大值之內的最快可能的動作。

圖6中例示說明的該動作曲線圖包括最多七段，相繼地由1到7來識別，該等七段係由下列來定義：

段1：以正的加速度時變量之加速度上升。

段2：等加速度(零加速度時變量)。

段3：以負的加速度時變量之加速度下降，接近所欲速度。

段4：等速率(零加速度時變量、零加速度)。

段5：以負的加速度時變量之減速度上升，接近所欲之減速度。

段6：等減速度(零加速度時變量)。

段7：以正的加速度時變量之減速度下降，以零速度來接近所欲之位置。

於此動作曲線圖611中，若初始與最終位置足夠靠近在一起，則可能永遠不會達到最大加速度與最大速度。

該運動曲線圖之計算的此方式的問題是，嘗試在受限的最大速度、加速度與加速度時變量之條件下將該運送時間(時期7的結束)減至最少。當嘗試使生產量最大化時，此方式是可接受的。於此情況，時間應被最小化。然而，當運送時間及距離是固定的且目標為最小化應力的力時，這是次佳的。當一作業被阻擋或匱乏且等待時間被提出時，此等狀況存在於目前的處置器技術。當ToC被應用且一作業的生產量被放慢至與該限制的生產量相配時，此狀況亦將會出現。在這兩種情況中，目前的程序會導致等待時間引入至一運輸循環之中。若等待時間未被提出，僅是因為運輸速率的手動重新組態。

在由於人為原因而一作業被匱乏或阻擋的情況，該等待時間無法被預測。於此情況，沒有選擇餘地，且等待時間因必然性而必須被提出。沒有選擇餘地。舉例來說，當一使用者無法將裝置裝載至該裝置運載輸入緩衝區之中時，下游的所有其他作業可變得對裝置匱乏，且若經過足夠的時間，則會達到完全停止所有作業。對於這樣狀況的一減輕的解決方案將於本發明的說明書中稍後討論，但最終其需要人工協助。

在一作業的生產量被放慢以與該限制的生產量相配的情況，該等待時間可被預測。差異在於目前生產量的運送時間與需要與該限制相配的生產量的運送時間。由於新的運送時間為已知且固定的，在固定時間與距離的條件下設計該動作曲線圖以使加速度時變量(應力)減到最小現在為可能的。更重要的是，藉由取得等待時間並以較低的時變量與加速度率消耗其來消除該等待時間是可能的。此方法為本發明的下列改進的重點。

假設一作業的生產量必須被放慢至與該限制的生產量相配，目前的程序係將採用等待時間。此為一作業被匱乏或阻擋時所使用的相同方法。圖7例示說明，當一等待時間已被採用於七段動作曲線圖711、712之間時的一動作曲線圖之一般範例。參照圖7，彎曲線是由作為時間函數的速度v(t)所產生的該動作曲線圖。T給出總運送時間。該生產量係由平行度/T所給出。該行進距離係由 v(t)dt給出。

是否有較好且最佳的動作曲線圖，其使該運輸系統上的應力減至最低同時保持T不變？答案是有，且該方法係由下列分析給出，其中C是圖7中所顯示的該等曲線下的面積。伽馬(Gamma)為必須被解出的常數。一旦伽馬為已知，則一新的C ^∞動作曲線圖可由關於最佳速度曲線圖的最佳速度曲線圖的三段分段方程式來描述。儘管該方法係分段進行，結果的函數從0到T為連續的。再者，現在該曲線圖中僅有三段，而不是如先前7段。也沒有等加速度的期間。

用以判定一使加速度時變量最小化的最佳動作曲線圖之數學分析及解係例示說明如下：求加速度時變量的L ^∞範數(norm)的極小值摘要問題：找到滿足下式的速度υ(t)：υ(0)=υ'(0)=υ(T)=υ'(T)利用來最小化解答案為... 其中γ>0係被選擇為滿足下列條件：注意，對於所有t，|υ"(t)|≡γ熟此技藝者將理解的是，此解提供一種當C及T為已知時用以設計最小化的加速度時變量的一動作曲線圖之方法，且該最小化的加速度時變量將使得加速度最小化，並且最終使得該系統上的應力最小化時。

現提出一種算法控制的自動化方法。當應用ToC來最佳化一半導體處置器的生產量時，等待時間係從運輸系統的動作曲線圖被移除，並且如剛才所敘述的以連續且不中斷的動作來代替。

當為該限制時，自動調諧該系統：該情況出現在，溫度熱煉時間變成該限制從該核心移動至該熱煉緩衝工作區之原因的地方。此為該等熱煉緩衝區無法執行作為一緩衝區的情況。在該輸入運輸系統被阻擋時於其上採用等待時間，且在所有下游作業對裝置匱乏時在其等採用等待時間。此並非為基於ToC規定的原則之該系統被控制的平衡。此精確地為ToC嘗試對付的問題。依靠阻擋及匱乏來控制該系統中的生產量是無效率且機械上壓力重的。亦建議，特定處置器的選擇對於給定的裝置需求並非最好的一個選擇。然而，因為關於此情況並沒有回饋也沒有資料被提供給使用者，該使用者既沒有被警告，也沒有被通知。如本發明的一改進，圖8例示說明，用以在該溫度熱煉時間變成該限制時來最佳化生產量的部分流程圖。此將允許使用者做出關於改正措施選項之知情的決定，並且在最早的時間點這樣做。

圖8中，所有作業的生產量於方塊811被測量。於決定方塊812，做出該熱煉緩衝區是否為該限制的一判定。若該熱煉緩衝區並非該限制，那麼該系統重新測量所有作業的生產量，此時該程序將分岔至此處所敘述的其他程序。然而，若該熱煉緩衝區為該限制，那麼該程序使得所有其他作業與該熱煉緩衝區的生產量相配，如方塊813中所例示說明。於方塊814，在進入此處所敘述的其他程序之前，該程序警告該使用者並將該事件登錄到一效能資料庫中。

用以避免”磚牆”系統停機的分級警報系統：當該處置器限制是因為在使用者的部分未能將裝置載體裝載至該系統之中或者未能將已分類的裝置載體從該系統卸載時，目前的程序係用以在任一作業的生產量掉至零且該系統被停機時發出一警報。需要來自使用者的援助來移除該限制並恢復作業。此為”磚牆”問題的一範例。沒有”預警”系統，用以警示該使用者該問題即將達到以便在完全的系統停機之前可採取主動的行動。目前的技藝唯獨依賴該裝置運載緩衝區的目視檢驗，來識別即將達到的中斷。此技藝將可受益於實施一分級反應一自動化系統，其中係透過一系列的預警警報以防止系統停機之目的來通知該使用者。該系統將基於瞬時緩衝區狀態以及一1階導數變化率。此系統的架構可基於比例-微分回饋控制器。

此類系統係於此被仔細考慮，並且藉由但不限於下列一組規則來描述：

* 若一緩衝區在下游生產量的速率或接近下游生產量的速率開始變空，則立即發出一警報指示一上游作業正使得該緩衝區匱乏。

* 若一緩衝區在上游生產量的速率或接近上游生產量的速率開始被充滿，則立即發出一警報指示該緩衝區正被一下游作業阻擋。

* 該警報包括到一”磚牆”事件的一預計時間。為了保持該系統以目前的生產量運行，此提供操作者最少的時間來協助需求。

在逐步擴大的程序中有額外階段的一系統係被仔細考慮。一範例為，當該系統具有自被中斷起的某些固定的時間間隔時，相應發出一警報。

所有警報及使用者的回應時間係被抽樣並登錄以為了將來的分析。

非生產作業模式-特性化模式：目前的程序係用於一處置器，該處置器係基於測試下的該裝置而被組態，並且基於其效能而在作業期間被使用者調整。目前的程序將可受益於非生產作業模式。舉例來說，該處置器將以其本身在一組給定的條件下之效能為特性，並且記錄、分析、以及回報該資料與結果給使用者。該資料將被採用，儘管該處置器變更例如測試時間、分度時間、生產量、加速度時變量、加速度、速度、及插入力之作業參數的一矩陣。此特性化的結果將更準確地識別該處置器地作業”甜蜜點(sweet spot)”，並且基於經驗數據來提供組態推薦。由於此等作業設定及它們的複雜互動是系統無效率及組織阻力兩者的一來源，目前的程序將可大大地受益於與剛才所述的那一個相似的特徵。此並非目前可得的，且該方法並且是於此所述之發明的重點。

對於此處所敘述之應用ToC來使效能最佳化的系統，確實有機會具有多個模式的作業。舉例來說，除了正常作業模式之外，仔細考慮的是將存在一特性化作業，其算法地以透過例如運輸器速率及目標緩衝區狀態之設定的一矩陣將處置器效能作為特性，同時測量擁塞率及長期間生產量。此資料將可接著被使用於識別用於最大長期間生產量的該等最佳設定。該資料亦將產生所有輸入變數與結果之間的相關性。此資料將在移除與處置器設置與運作相關聯之不確定性的方面是高度重要的。從此類特性化產生的資訊的一範例將會是，在例如擁塞率的第二階影響開始降低長期間生產量的地方，瞬時生產量將可以相對的精確性被測量。此數字將接著在使用者偏好中被使用作為該目標生產量。

如作業模式的一額外範例，一最佳化模式係被仔細考慮，其將在擁塞率上升超過該等使用者偏好中的某些預定閾值，或者超過該等使用者偏好中的某些預定變化率(擁塞率的第一階導數)之後自動地被賦能。該系統將會藉由調變該生產量同時測量對於運輸速率的擁塞率靈敏度來回應。此測試的結果對於維修人員而言，在判定該問題是否需要維修或者是否為降低處置器生產量的簡單事件方面將會是有用的資訊。舉例來說，若在一系列的步驟中生產量被放慢而該擁塞率仍保持常數，則該問題係無關於運輸器速率。該結果將會用以恢復正常作業生產量，直到該處置器能夠被採取離線、偵錯、並修復。若該擁塞率顯示對該運輸器速率的有效敏感度，則解決方案可以是降低該運輸構件速率並藉此同時降低該擁塞率。此將可非常成功地將該處置器回復至關於長期生產量準則的符合性。甚至將會可能進入用以協助的時間及用以修復的時間，並可能使得該系統基於經過一段特定時間的生產量上的長期衝擊來做出該何作為的一決定。舉例來說，若該作業在未來的某個時間需要X數量個單元被測試，最好現在將該處置器離線並修復，或者該處置器是否應繼續運行但為了與目標相配而以較慢的生產量速率？一旦生產需求被提供作為輸入，如同剛才所敘述的一處置器將會具有必需用於此計算的全部資料。

圖9顯示一系統的基本圖解，該系統具有包括非生產作業模式的數個作業模式。於圖9中，例示說明的該等作業模式包括一生產模式、一偵錯模式、一特性化模式、以及一最佳化模式。

槓桿數據科學：處置器生產量很少會是該系統軟體及硬體所支援的最大生產量。實際的生產量典型地為人的直接干預之結果。此干預係以謹慎重新編程該處置器之形式，以運作在低於最大生產量。推論是基於意見、推測、因果的歷史資料、以及偶而為了方便或合算的簡單理由的複雜組合。處置器生產量的編程可受益於更科學且有條理的方法。大多數的處置器系統具有提供作業資料的能力，該作業資料可以即時模式或離線模式來分析，以為了最大長期生產量而更準確地對處置器效能作最佳化。前述目前無法以嚴格且科學的方法做到，並且是於此所述之發明的重點。

當處置器狀況及狀態被抽樣並記錄，仔細考慮的是，所有此等設定將包括在用於分析的資料集之中。熟此技藝者將可理解，為了計算有意義且有幫助的製造資料，只可能以一自動化系統的支援來擷取及分析此複雜的變數集。在沒有電腦輔助幫助的情況下觀察、紀錄、及分析對人類操作者而言簡直是太複雜。

仔細考慮的是，於處置器作業期間抽樣的資料將被擷取並登錄到資料檔用於分析。將此資料與該測試單元作業的操作者及維修紀錄相結合，將產生有助於改善以ToC為基礎之主控制程序的穩健性的資訊。此分析的結果可與例如封裝類型、裝置套件類型、及歷史資料之其他測試單元的資料相互關聯以進一步改善該程序。

此外，仔細考慮的是，當此資訊與整群的測試單元相比較並相互關聯時，該等測試單元可從彼此互相學習。實質上，其等逐步形成集體共用的經驗，該經驗可被共享並利用來更有效地達到企業的目標。此程序無疑地可使用大數據解析，並且藉由與處置器作業效能相關的設定(決定)及效果(結果)的自動化資料收集而被賦能。此將接著使得處置器資產的管理得以在本質上變得更科學，並且進一步從推測與意見移除。

仔細考慮的是，係保持一事件日誌，其包括但不限於下列資料類型：

˙所有使用者可程式設定

˙事件時間戳記

˙導致系統狀況的一改變之所有事件

˙從使用者干預產生的所有事件

˙所有效能度量

˙所有緩衝區尺寸與狀態

˙所有生產量狀態

˙所有停機時間事件及期間

˙所有離線及線上事件及期間

˙產率歷史

˙所有溫度歷史

˙所有裝置擁塞

˙所有系統故障

˙任何類型的所有系統失靈

˙所有警告

˙所有警報

˙使用者姓名及/或識別

˙系統位置

˙處置器及測試器識別

˙裝置識別

˙套件識別

˙測試時間

˙分度時間

一般的處置器設計之考量：一關鍵的問題是，什麼決定了何時一限制不再能夠被移除。若一限制已擊中”磚牆”且因為較快的生產量不被系統支援而無法被移除，那麼答案是該系統無法被移除。然而，若較快的生產量係被支援，那麼答案是需要該系統基於目前與過去的效能來預測未來的行為特性。生產量的短期增加是否將會施壓於該系統並且最終將降低長期生產量？為了回答此問題，電子記憶體係需要用以儲存並檢索過去的事件、決定、及結果。共享過去的經驗並從中學習的能力亦對此類系統的穩健性有用。

用以最佳化其他處置器模型效能的一般方法將總是遵循ToC所規定的基礎方法。由於該等緩衝區狀態係被使用作為針對機械動作的調整的一回饋控制機制，每個處置器係被預期具有一些類型的緩衝區。

一些處置器模型直接從該等裝置載體拾取並放置到該等裝置載體。於此等情況，該等裝置載體代表該等緩衝區。該輸入緩衝區係手動地被填滿，但被一機器人運輸構件清空。該輸出緩衝區係手動地被清空，但被一機器人運輸構件填滿。在牽涉人類操作者的地方，可能無法得知該等緩衝區是否正在改變。儘管總是能夠偵測一空的輸入條件或者一滿的輸出條件，該調節系統應更加仰賴於偵測每一作業階段的生產量及等待時間，而非緩衝區狀態。

仔細考慮的是，在該處置器的每一作業階段(輸入、核心、及輸出)的該等調節系統將使用一數位PID架構以等於該測試週期時間的抽樣率來實施。此為測試開始之間所經過的時間。該等PID控制器必須略去週期到週期出現的迅速改變(雜訊)，並且回應過去的事件與將被預測的行為。於此方面，PID控制架構為一邏輯解決方案並且被預期用以提供穩健性調節。ToC將提供識別該限制的高階控制，若其可被移除，若其應被移除，以及何時其他作業應被放慢來與該限制的作業節拍相配。一PID實施態樣在每一作業階段被仔細考慮以為了保持每一緩衝區在其等之目標設定點。再者，一PID實施態樣在每一作業階段被仔細考慮以為了調節每一作業階段的生產量。

數位PID架構中的一PID實施態樣的範例係例示說明於圖12中，如維基百科所建議的(來源：http://en.wikipedia.org/wiki/File:PID_en_updated_feedback.svg)。下列指定賦值將適用於被設計來調節緩衝區尺寸的一控制迴圈中：

˙y(t)：緩衝區尺寸

˙r(t)：目標的緩衝區尺寸

˙e(t)：r(t)-y(t)

˙u(t)，運輸速率控制

該等PID係數將基於由特定處置器設置決定的因子來設定，但將導致目前效能(P)、過去效能(I)、及預測效能(D)之間的不同優先級別。舉例來說，較高的D係數(K_d)將提升對短期事件的響應靈敏度，其可引起該緩衝區尺寸的突然改變。降低的K_d導致一系統較不靈敏的短期雜訊。K_i以及積分上下限將被使用於從影響緩衝區尺寸的過去經歷來調整系統對長期事件的靈敏度，過去經歷例如為擁塞、操作者未能將裝置托架裝載至該處置器輸入之中、以及機械故障。該比例項K_p應會促成大部分的輸出u(t)。

於被設計用來調節生產量的一PID控制器的情況下，下列指定賦值將適用：

˙y(t)：測量的生產量

˙r(t)：目標的生產量

˙e(t)：r(t)-y(t)

˙u(t)，運輸速率控制

調節生產量的該等PID控制器可用作於，在該等運輸系統上變化的負載之下保持該目標的生產量。舉例來說，當產率下降時，該輸出運輸構件將遭受到增加的負載。此狀況是因為必須行進更長的距離才能到廢品箱。於此情況，該PID錯誤功能將增加，且該輸出u(t)將要求該運輸構件的動作增加速率來補償。

圖10提供一系統的圖解，該系統用以使用以ToC為基礎的控制器而藉由使用其中所例示說明的PID控制器，來最佳化與先前所述之系統相似的一半導體裝置處置器系統的生產量。熟此技藝者將理解的是，有許多架構、組件、演算法、及組態，將提供必要的控制以使用限制理論中所敘述的PID控制及方法來最佳化一半導體處置器。圖10中例示說明的該系統為許多可能的高階模型其中之一。

於此單調處器、雙緩衝區模型中，一以ToC為基礎的主控制器從使用者偏好接收輸入。仔細考慮的是，該等偏好可由該使用者設定或者從一外部資料來源導出，該外部資料來源係基於廣範圍的測試單元組態及運作條件的歷史趨勢與解析來調諧偏好。該主控制器實施如稍早略述的ToC的演算法，並且藉由重新編程該等PID係數並使該等PID控制器得以調節該調處器速率來控制該系統。從該ToC控制器的觀點，判定一限制存在於何處係從饋給該PID相同的資料中抽出：運輸器生產量、運輸器等待時間、緩衝區狀態、緩衝區改變率、等等。該ToC控制器接藉由將其想要做的對該使用者設定允許的做比較，來判定一限制是否能夠且應該被移除。若該限制可被移除，那麼該ToC控制器改變輸入至該等PID控制器的該等輸入，並且允許其等調節運輸速率來達到所欲的結果。

於該主控制器為了平衡其本身而想要藉由與該作業節拍同步來放慢運輸速率的情況，由於沒有生產量的損失，沒有需要檢查使用者偏好。如此，此ToC功能是完全自律的。但是，該程序與用於增加運輸速率的程序相同：主程式改變輸入至該等PID控制器的該等輸入，並允許其等調節運輸速率來達到所欲的結果。

由該ToC主控制器共同控制的各種PID控制器的優點為，可提供一作業節拍的偏好來同步所有運輸系統。這確實需要該ToC主控制器能夠計算該限制的生產量。

此文件中所敘述的本發明代表在半導體測試單元的設計方面的一顯著的優點。已敘述系統及方法，將科學的方法帶到生產量的最佳化。由於生產量是在測試單元硬體的運作壽命期間測量的長期度量，長期可靠度的議題必須被給予與生產量方面之短期改善的議題相同的重要性。短期生產量與機械應力之間的最佳平衡必須被找到。藉由實施此處所述之該等系統及方法，此平衡可由算法地被找到並且基於數據而被調諧，而非人類的思索。

圖11例示說明可於其上實施上文所述之該等程序的一電腦1200的範例。該電腦1200包括一或多個電腦程式設計指令集，其等儲存於記憶體1202中且其等可被電腦1200中的處理器1201執行以實行上文所述之程序。當恰當地以特定的測試軟體來程控時，電腦1200變成一特殊用途電腦，其被組態用於測試操作與功能的一特定集合。

該電腦1200可以許多實體組態中的一者來呈現，包括被組態如一伺服器或者如一客戶終端。該電腦1200亦可被包括於各種裝置中，例如桌上型電腦、膝上型電腦、個人數位助理、行動裝置、電子平板、智慧型電話等等。

如圖11中所例示說明，該電腦1200包括一處理器1201及記憶體1202，該記憶體1202代表一或多個可被該電腦1200使用的各種記憶體。此等記憶體可包括一或多個隨機存取記憶體、唯讀記憶體、及可程式唯讀記憶體、等等。電腦1200亦包括至少一個以任何形式來提供的顯示器1203，包括陰極射線管、LED顯示器、LCD顯示器、及電漿顯示器、等等。該顯示器可包括用於資料鍵入的儲備，例如藉由一觸敏螢幕。額外的輸出裝置可包括一聲頻輸出裝置，例如揚聲器1209。

電腦1200更包括一或多個輸入裝置。輸入裝置可包括下列之中的一或多者，例如鍵盤的一字母-數字輸入裝置1204；例如滑鼠、觸控板或搖桿的一游標控制器1205；以及一麥克風1210。電腦1200亦使得處理器1201能夠與一或多個遠程裝置1206透過電腦1200外部的一網路1207來通訊。電腦1200內部的通訊主要使用匯流排1208。

於一替代實施例中，例如特殊應用積體電路、可程式邏輯陣列及其他硬體裝置的專用硬體實施可被建構來實施此處所述之該等方法中的一或多者。包括各種實施例的設備及系統的應用可廣泛地包括各種電子及電腦系統。此處所敘述的一或多個實施例可使用兩個或更多個特定的互連硬體模組或裝置以相關控制與資料信號來實施功能，該等控制與資料信號可於該等模組之間並透過該等模組傳遞或者可作為一特殊應用積體電路的部分。因此，本系統包含軟體、韌體、及硬體實施。

依照本揭露內容的各種實施例，此處所敘述的該等方法可由能夠被一電腦系統執行的軟體程式來實施。再者，於一範例的非限制的實施例中，實施態樣可包括分散式處理、組件/物件分散式處理、及平行處理。替代地，虛擬電腦系統處理可被建構來實行此處所敘述的該等方法或功能性中的一或多者。

儘管已經參照數個範例實施例來敘述本發明，可理解的是，已經被使用的文字為敘述及例示說明的文字，而非限定的文字。在不偏離本發明的範圍和精神而於本發明的觀點之中的情況下，可在所附加的申請專利範圍請求項的視界之中作出如目前所陳述的以及如修正的改變。儘管已經參照特定的構件、材料及實施例來敘述本發明，本發明並非意欲被限定於所揭露的該等細項；反而，本發明延伸到所有功能上等效的的結構、方法、以及使用，例如在所附加的申請專利範圍請求項的範圍之內。

儘管非暫態電腦可讀取媒體可顯示為是一單一媒體，該用語”電腦可讀取媒體”包括一單一媒體或複數個媒體，例如儲存一或多個指令集的集中式或分散式資料庫、及/或相聯快取與伺服器。該用語”非暫態電腦可讀取媒體”亦包括任何媒體，其能夠儲存、編碼或含有用以由一處理器執行的一指令集，或者其導致一電腦系統實行此處所揭露的該等方法或作業中的任何一者或多者。

於一特定的非限制的範例實施例中，電腦可讀取媒體可包括一固態記憶體，例如一記憶卡或者容納一或多個不變性唯讀記憶體的其他封裝。再者，電腦可讀取媒體可以是一隨機存取記憶體，或者其他依電性可重寫記憶體。此外，電腦可讀取媒體可包括例如磁碟或磁帶一磁光或光學媒體，或者用以擷取例如透過一傳輸媒體傳遞的信號之載波信號的其他儲存裝置。因此，本揭露內容係被考慮包括資料或指令可被儲存於其中的任何電腦可讀取媒體或其他等效與後繼媒體。

儘管本說明書敘述可參照特定標準與協定以特定實施例來實施的組件及功能，本揭露內容並非被限定至此類標準與協定。舉例來說，用於網際網路及其他分封交換網路傳輸的標準代表現有技術的範例。此類標準週期性地由更快或更有效率之實質上具有相同功能的同等標準來取代。因此，具有相同或相似功能的替代標準及協定被視為其等之同等標準及協定。

此處所敘述的該等實施例的圖解係意欲提供各種實施例的結構的一般理解。該等圖解並非意欲被用作為，利用此處所敘述的該等結構或方法之設備及系統的所有元件與特徵的完整敘述。在檢閱本揭露內容之後，許多其他實施例對於熟此技藝者可以是顯而易見的。其他實施例可被利用並從本揭露內容衍生出，如此可在不偏離本揭露內容的範圍的情況下，作出結構的或邏輯的代替物及改變。此外，該等圖解僅為表徵的，且並非按比例繪製。該等圖解之中的某些部分可被擴大，而其他部分可被縮到最小。因此，本揭露內容及該等圖式將被視為例示說明的，而非限制的。

本揭露內容的一或多個實施例在本文中個別及/或共同地以該用語”發明”來稱之僅僅是為了方便，而並無意欲志願將此申請案的範圍限制到任何特定發明或發明概念。再者，儘管於本文中已經例示說明並敘述具體的實施例，應可察知的是，被設計來達到相同或相似目的之任何後繼的配置可取代所顯示的該等具體實施例。此揭露內容係意欲涵蓋各種實施例的任何及所有的後繼改版或變化。在檢閱本敘述之後，該等上述實施例的組合以及於本文中未具體敘述的其他實施例對於熟此技藝者將是顯而易見的。

本揭露內容的摘要將不會被使用來解釋或限制該等申請專利範圍請求項的範圍或意義，係以上述理解來提交本揭露內容的摘要。此外，於前述詳細說明中，為了簡化本揭露內容之目的，各種特徵可被聚集在一起或被敘述在單一實施例中。此揭露內容並非被解釋為反映所聲稱的實施例需要的特徵比明確詳述於每一請求項中更多之意圖。反而，如下列申請專利範圍請求項反映的，發明標的可被引導到少於所揭露的任何實施例的所有特徵。因此，下列申請專利範圍請求項將被併入至詳細說明之中，每一請求項基於其本身來分別界定請求標的。

上述揭露的標的係被視為例示說明的，而並非限制的，且所附加的申請專利範圍請求項係意欲涵蓋所有落入本揭露內容之真實精神與範圍的此類修改、增強、及其他實施例。因此，在法律允許的最大程度下，本揭露內容的範圍將由下列申請專利範圍請求項與其等之同等內容的最廣可允許的解釋來判定，且不應被前述詳細說明所限制或侷限。

Claims

一種用於最佳化一半導體裝置處置器的作業生產量之方法，該方法包含下列步驟：在一分類的半導體裝置處置器輸入運載緩衝區接收用以測試的半導體裝置；在半導體裝置的該測試中操作該半導體裝置處置器一段預定的時間週期；在一電子記憶體中紀錄針對該半導體裝置處置器的每一作業階段之作業生產量特徵；藉由一電腦來分析針對該半導體裝置處置器的每一作業階段所記錄之作業生產量特徵；藉由該電腦來判定該半導體裝置處置器的哪一個作業階段具有致使一最低作業節拍之最極限的限制；調整具有該最低作業節拍的該半導體裝置處置器的該作業階段之作業參數以增加該作業節拍；以及重複該方法直到達到一作業狀態為止，以致於在該作業狀態下，任何對作業參數的進一步調整均會造成對於該半導體裝置處置器的該作業生產量的減少。
如請求項1之方法，其進一步包含：當具有該最低作業節拍之該半導體裝置處置器的該作業階段被判定為一半導體運輸作業時，藉由該電腦存取儲存於該電子記憶體中之該半導體運輸作業的組件之儲存的作業特徵，來判定增加該半導體運輸作業的速率是否將超過該半導體運輸作業的作業限制。
如請求項2之方法，其進一步包含：當該電腦判定增加該半導體運輸作業的速率將不會超過該半導體運輸作業的作業限制時，使該半導體運輸作業的速率增加一預定的增加量。
如請求項2之方法，其進一步包含：當該電腦判定增加該半導體運輸作業的速率將超過該半導體運輸作業的作業限制時，降低該半導體裝置處置器的所有其他作業階段的速率以與該半導體運輸作業的速率相配。
如請求項1之方法，其進一步包含：當具有該最低作業節拍之該半導體裝置處置器的該作業階段被判定為一熱煉緩衝作業時，降低該半導體裝置處置器的所有其他作業階段的速率以與該熱煉緩衝作業的生產量相配。
如請求項1之方法，其中該半導體裝置處置器的該等作業階段包括一輸入運輸階段、一熱煉緩衝階段、一核心測試作業階段、以及一輸出階段。
如請求項1之方法，該方法進一步包含：當該半導體裝置處置器包括複數個核心調處器時，調諧該半導體裝置處置器的所有核心調處器至彼此同步。
如請求項7之方法，該方法進一步包含：當該複數個該等核心調處器中的任一者被判定為具有因暫停並等待另一核心調處器完成一作業的一等待時間時，放慢該複數個該等核心調處器中的至少一者的速率以使該等待時間減到最小。
如請求項3之方法，其中，在判定增加該半導體運輸作業的速率是否將超過該半導體運輸作業的作業限制之步驟中，該半導體運輸作業的該等儲存的作業特徵包括速度、加速度及加速度時變量的可接受作業範圍。
如請求項9之方法，其中，使該半導體運輸作業的速率增加一預定增加量之步驟係基於被速度、加速度及加速度時變量的一預定最大值所侷限的該半導體運輸作業的最快速率之判定。
如請求項1之方法，其進一步包含：針對該半導體裝置處置器的每一作業階段的該等作業生產量特徵係儲存在該電腦可存取的一效能資料庫中，該電腦能夠針對該半導體裝置處置器實行預定的作業生產量分析與使用者客製化的作業生產量分析兩者。
如請求項11之方法，其進一步包含：當該電腦判定該半導體處置器裝置的該作業生產量低於作業生產量的一預定程度時，藉由該電腦發出使用者警報信號。
如請求項11之方法，其進一步包含：藉由分析該效能資料庫中儲存的資料，針對該半導體裝置處置器的每一作業階段實施作業生產量特徵的連續分析，針對該半導體裝置處置器的一作業階段判定一異常作業生產量特徵，以及預測該半導體裝置處置器的一作業階段的未來的故障。
如請求項1之方法，其進一步包含：該操作該半導體裝置處置器之步驟係於各組條件下實施於一非生產作業模式中，其中所導致的作業生產量特徵被該電腦使用來產生一建議的半導體裝置處置器組態。
如請求項1之方法，其中該半導體裝置處置器的每一作業階段係由一數位PID控制器來調節。
如請求項1之方法，該方法進一步包含：當該半導體裝置處置器包括一無分度處置器運輸系統時，且當由該電腦判定一半導體測試時間比一半導體運輸作業的分度時間更長時，增加該半導體運輸作業的該分度時間。
一種用於最佳化作業生產量的半導體裝置處置器系統，該系統包含：一接收緩衝區，其接收用以測試的半導體裝置；一輸入緩衝區，其在測試之前使該等半導體裝置作輸入就位；一核心測試站，其包括至少一個測試該等半導體裝置的調處器；一輸出緩衝區，用以在測試之後使該等半導體裝置作輸出就位；運載緩衝區，用以在輸出就位之後儲存半導體裝置；一運輸系統，用以運輸該等半導體裝置通過該系統；一控制器，其控制該系統之運作，包括針對該系統的每一作業階段分析作業生產量特徵、判定哪一個作業階段具有最低作業節拍、調整具有該最低作業節拍的該作業階段的作業參數以增加該節拍、以及判定何時對作業參數的進一步調整將不會導致該作業生產量的降低。
如請求項17之系統，其中該輸入緩衝區包括在測試之前增加該等半導體裝置之溫度的一熱煉緩衝區。
如請求項17之系統，其中該控制器為一主數位PID控制器，且該系統的每一作業階段係由與該主數位PID控制器交互作用的一數位PID控制器來調節。
如請求項17之系統，其中該核心測試站包括複數個無分度核心調處器。