TWI337552B - Treatment method and treatment apparatus for gas containing nitrous oxide - Google Patents

Description

1337552 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於含有氧化亞氮的氣體之處理方法及處理 裝置。 【先前技術】 1 9 60年之後，公知提出有手術室的麻醉氣體污染和手 φ 術室工作者的健康問題，因長時間吸入洩漏於手術室內的 麻醉氣體而產生健康障礙。所謂麻醉氣體，係含有氧化亞 氮、揮發性麻醉劑及氧的混合氣體，所謂剩餘麻醉氣體， 係指患者呼吸後的麻醉氣體。剩餘麻醉氣體的組成係接近 麻醉氣體的組成，含有揮發性麻醉劑、高濃度的氧化亞氮 及氧。在美國，國立職業安全健康硏究所（NIOSH)作爲環 境暴露基準，建議：氧化亞氮（N2〇)需抑制在25ppm以下 ’揮發性麻醉劑需單獨抑制在2ppm，在與氧化亞氮倂用 Φ 的情況需抑制在〇.5ppm以下。因此，將剩餘麻醉氣體排 除裝置安裝於所有的麻醉器被規定爲義務，在現在，手術 室內環境係成爲可幾近達到上述基準。 另外’因爲氧化亞氮具有鎭痛、麻醉作用，所以於世 界各國於無痛分娩或牙科治療時使用氧化亞氮。在這些情 況’因爲揮發性麻醉劑不被使用，所以剩餘麻醉氣體的主 成分係成爲氧化亞氮和氧及二氧化碳。於分娩室內亦同樣 地，室內環境係成爲可幾近達到上述基準。 所謂剩餘麻醉氣體排除裝置，係使來自患者之呼氣的 -4- 1337552 剩餘麻醉氣體與壓縮空氣等同時排出、或藉由真空铽浦等 來排出至室外的裝置。然而，藉由剩餘麻醉氣體排除裝置 _ 而從各手術室內或分娩室、或者牙科醫療設施被除去的氣 體’其現狀係不做任何對策而被放出至大氣中。 在最近，注目於地球溫暖化問題，於地球溫暖化防止 國際會議（C Ο P 3 )中，與二氧化碳、甲烷、氟氯烷等相同， 氧化亞氮係作爲引起溫室效應所致之溫度上昇（溫暖化效 0 果爲二氧化碳的約3 00倍）之地球規模的環境污染物質而 被特別注目。 另外’被使用於半導體製造程序的氧化亞氮亦漸漸增 力口’從地球環境保護的觀點來看，增加了對應該等狀況之 必要性。 於使用剩餘麻醉氣體排除裝置來排出剩餘麻醉氣體時 ’從地球環境保護的觀點來看，並不能直接放出至大氣中 >必須將包含於剩餘麻醉氣體中的揮發性麻醉劑或氧化亞 φ 氮除去或予以無害化。 通常，從手術室1房間排出的排氣量，係在多數的醫 療設施，加上同在之室內空氣，爲30~ 4 0L/min。但是，依 距醫療設施’剩餘麻醉氣體排除裝置的系統或排出方法有 各式各樣之方式，而有遠超過迄今的剩餘麻醉氣體處理裝 置的處理能力者。例如，在亦加上成爲手術室內的房間整 體的換氣氣體之排出管線者，處理量會成爲lm3/min以上 ，通常在處理此流量的情況，反應器係成爲小型工廠設備 等級（plant-level)。因此•若流量變多則剩餘麻醉氣體處理 -5- !337552 裝置則會大型化’爲了將大量的處理氣體加熱至特定溫度 而會產生熱交換器的大型化、及伴隨此之加熱器的形狀或 容量的大型化，於消耗能量增大以外，於醫院內設置處理 裝置的情況會產生設置空間或重量限制等的問題。特別是 ’有吸附除去揮發性麻醉劑的系統之情況，若處理氣體成 爲大流量則吸附劑會立刻失效，爲了實用化係必須使裝置 相當大型化，所以現實上難以實用化。

另一方面，從分娩室或牙科醫療設施排出的剩餘麻醉 氣體，係不包含揮發性麻醉劑，而由氧化亞氮和氧所構成 ’故用以進行該處理的裝置並不複雜，但從前述的問題點 等來看’連續且有效率地處理包含於如1 mVmin以上之流 暈較多的剩餘麻醉氣體中之氧化亞氮的裝置尙未被實用化 。在連續且有效率地處理包含於大流量之剩餘麻醉氣體中 的氧化亞氮’不僅是單單將處理裝置大型化就好，另外亦 有設置場所的大小或重量的限制，對各零件需要費心於用 以能源效率的提高或省空間化。然而，此種處理方法及處 理裝置係迄今並未發明，在對於氧化亞氮所致之地球溫暖 化的關心高漲中’期待有可連續處理從手術室或分娩室、 牙科醫療設施等排出之特別是含有流通量較多之氧化亞氮 之氣體的處理方法及處理裝置之開發。 作爲習知的處理裝置，例如：可舉出（丨）日木特開昭 64〜511126號公報的高溫觸媒裝置或（2)日本特開2〇〇4 一 92〇號公報的熱交換器和觸媒反應器一體型裝置、（3)日本 特開昭5 5 - 56823號公報的接觸氧化裝置等。在前述（1)的 -6- 1337552 高溫觸媒裝置，係提案熱交換器與觸媒塡充部成爲一體構 造的反應器，但因爲其係以小型化作爲目的之反應器，所 以在流通量變多的情況，會發生在加熱器部的熱傳達之熱 效率不充分之狀況。另外，在前述（1)報告之通常的反應器 之例（第5圖），係於加熱器部無擋板，無關於流量大小， 難謂有效率地使用加熱器的熱。

另外’在則述（2)的熱父換器與觸媒反應器一體型裝置 ，提案有熱交換器與反應器成爲一體型的構造之反應器， 但本反應器，係從該構造的特性，在處理流量爲lm3/mi η 以下可充分的發揮處理能力，但在處理流量較多時則壓力 損失變大，無法使目的之流量流向反應器內，有無法進行 充分的處理之問題點。 在前述（3)的接觸氧化裝置，熱交換部分與加熱器被固 定化，在加熱器故障時，必需同時交換所有熱交換部分與 加熱器部，有維護或成本上的問題。 另外，（4)以觸媒分解的方法，例如：開示於日本特公 昭6 1 — 454 86號公報、日本特公昭62 - 27844號公報等將 氧化亞氮以觸媒分解的方法。這些方法，雖然可分解高濃 度的氧化亞氮，但身爲氮氧化物之一氧化氮（NO)及二氧化 氮（N〇2)(以下，稱爲NO,)產生5~32ppm，有產生超過NO: 的容許濃度3ppm(TWA :時問加權平均）的量之N0.產生之 情況的問題。而且在前述（4)提案的方法，係接觸時間爲 0.2 秒以上，亦即空間速度（SV : Space Velocity)爲 1 8,000Hr 1以下者，有處理量的限制。有SV越大，則接觸 1337552 時間越短，反應效率越降低等的問題。 〔專利文獻1〕日本特開昭64-511126號公報 〔專利文獻2〕日本特開2004-920號公報 〔專利文獻3〕日本特開昭5 5 - 5 6 8 23號公報 〔專利文獻4〕日本特開昭61_45486號公報 〔專利文獻5〕日本特開昭62-27 844號公報

〔發明所欲解決的課題〕 本發明係於如此的背景下所發明者，以提供處理含有 氧化亞氮的氣體之方法及裝置作爲課題。 〔用以解決課題的手段〕 本發明者們，係爲了解決前述課題專心致力硏討的結 果’發現例如，將從分娩室及牙科醫療設施或半導體製造 φ 程序排出之含有氧化亞氮的氣體，導入至加熱部及具有複 數的間隙的流路，使前述氣體分歧爲沿著流路而流動之氣 體流與流動於形成於流路的間隙之氣體流，以使沿著流路 而流動的氣體流與已分歧的氣體流合流之方式流動，且藉 由使前述氣體與加熱部接觸而使其昇溫至特定溫度後，使 其與觸媒接觸，可有效率地分解氧化亞氮爲氧和氮，如此 可解決前述的課題，達到完成本發明。 更具體來說，使含有氧化亞氮的氣體’與氧化亞氮分 解處理後的出口氣體進行熱交換，接著使其與一體成形擋 -8- 1337552 板的加熱部接觸，昇溫至特定溫度後與氧化亞氮分 接觸。 於本發明，係藉由使用一體成形擋板的加熱部 可容易從裝置卸下加熱部，所以可有效率地實施熱 加熱器的交換等的維護。另外，藉由在一體成形擋 熱部側的擋板間形成之間隙、或讓加熱部的擋板與 分解反應裝置之壁面的擋板之間具有間隙，可減輕 φ 通時的壓力，在使1 m3/min以上的流量流通時可減 損失。另外’於故障時或維護時，因爲具有擋板與 被一體化的構造，因可從熱交換器卸下，所以不必 器整體’僅交換加熱器即可，在操作性及成本面上 躍的優點。 所以’本發明係關於以下的[1 ]〜[丨〇 ]的事項。 [1 ]一種含有氧化亞氮之氣體之處理方法，係使 化亞氮的氣體與觸媒接觸，分解處理包含於前述氣 Φ 氧化亞氮之方法’其中，將前述氣體導入具有加熱 數間隙的流路’使前述氣體分歧爲沿著流路而流動 流與流動於被形成於流路的間隙之氣體流，以使沿 而流動之氣體流與已分歧之氣體流合流之方式流動 由使則述氣*體與加熱部接觸而使其昇溫至特定溫度 其與觸媒接觸而分解氧化亞氮。 [2]如上述[1]所記載之氣體之處理方法，被形 述流路的間隙’係形成於與加熱部一體成形的擋板 是:开< 成於加熱部與被一體成形的擋板與形成於分解 解觸媒 ，因爲 交換及 板之加 形成於 氣體流 輕壓力 加熱器 熱交換 產生飛 包含氧 體中的 部及複 之氣體 著流路 ，且藉 後，使 成於前 間、或 反應裝 -9- 1337552 置之壁面的擋板之間。 [3] 如上述[1]或[2]所記載之氣體之處理方法’包含於 前述氣體中的氧化亞氮的濃度爲lOppm〜30%。 [4] 如上述[1]〜[3]中任一項所記載之氣體之處理方法， 氧化亞氮的分解溫度爲200~600°C。 [5] 如上述[1]~[4]中任一項所記載之氣體之處理方法， 於氧化亞氮的分解時產生之NCK的量爲5ppm以下。

[6] 如上述[1]~[5]中任一項所記載之氣體之處理方法， 檢測包含於分解氧化亞氮後的氣體之氧化亞氮的濃度，根 據檢測出之氧化亞氮的濃度而控制氧化亞氮的分解溫度。 [7] —種含有氧化亞氮之氣體之處理裝置，係使包含氧 化亞氮的氣體與觸媒接觸，分解處理包含於前述氣體中的 氧化亞氮之裝置’其中，具備熱交換器、一體成形擋板的 加熱部、塡充氧化亞氮分解觸媒的分解反應器、及檢測分 解反應器的出口氣體中之氧化亞氮的濃度之檢測器；藉由 被一體成形於前述加熱部的擋板與形成於分解反應裝置之 壁面的擋板及分解裝置的壁面而形成氣體流路，且於氣體 流路在前述擋板之間、或前述擋板與被形成於分解反應裝 置之壁面的擋板之間形成間隙。 [8] 如上述[7]所記載之氣體之處理裝置，含有氧化亞 氮的氣體’被導入熱交換器，接著流過前述氣體流路及分 解反應器’再度通過熱交換器而被排出。 [9] 如上述[7]或[8]所記載之氣體之處理裝置，具備 :以前述檢測器檢測出’導入至熱交換器前後的氣體中之 -10- 1337552 氧化亞氮的濃度，根據檢測出之氧化亞氮的濃度而控制前 述分解反應器的溫度之溫度控制裝置。 [10]如上述[7]~[9]中任一項所記載之氣體之處理裝 置，一體成形擋板的加熱部爲可由前述分解處理裝置裝卸 〔發明的效果〕

如使用本發明之氣體的處理方法及處理裝置’則將從 分娩室及牙科醫療設施等排出之含有氧化亞氮的氣體’藉 由熱交換器而有效率的加熱，接著可將氧化亞氮分解爲氮 和氧。藉由使用本發明之氣體的處理方法及處理裝置’由 地球環境保護的觀點來看，可不放出有破壞臭氧層之虞’ 地球溫暖化氣體之氧化亞氮至大氣中而使其無害化。另外

，本發明的處理裝置，係儘管處理量爲大流量而作爲簡潔 構造，亦可設置於醫院的屋頂或機械室、配管集合空間等 ，比較上空間較小的醫院內的設施’而且因爲可連續地處 理含有氧化亞氮的1 m3/min以上的氣體’所以有經濟效益 【實施方式】 以下，詳細地說明關於本發明之理想的態樣。 首先，說明關於本發明的含有氧化亞氮的氣體之處理 方法。 本發明的氣體的處理方法爲：將含有氧化亞氮的氣體 -11 - 1337552 導入至加熱部及具有複數間隙的流路，使前述氣體分歧爲 沿著流路而流動之氣體流與流動在形成於流路的間隙之氣 體流，以使沿著流路而流動之氣體流與已分歧之氣體流合 流之方式流動，且藉由使前述氣體與加熱部接觸而使其昇 ' 溫至特定溫度後’使其與觸媒接觸而分解氧化亞氮之氣體 的處理方法。 於本發明，加熱含有氧化亞氮的氣體的加熱器（加熱 φ 部），具有加熱部與擋板被一體化的構造，且因爲通過設 置於此加熱器部與本體擋板部之間的間隙之加熱部，可減 輕產生於流路內的差壓，同時因爲於維護時或加熱器故障 時等係不需交換整個含有擋板的熱交換部分，如僅交換加 熱器即可，所以作業比起先前顯著地變爲簡便，有有利於 ' 操作性面及成本面的優點。 另外，於實施本發明的方法時，因爲室內空氣亦一起 流向氧化亞氮分解裝置，所以有空氣中的塵埃進入系統內 φ 的可能性。因而’爲了防止此狀況，於熱交換器前設置過 濾器爲佳。 例如，從分娩室排出之含有氧化亞氮的氣體，係與分 娩室內的室內換氣空氣一起被排出，該氧化亞氮濃度成爲 約10~ 10,000ppm。另一方面，從牙科醫療設施排出的含有 氧化臣氮的氣體之氧化亞氮濃度則成爲i 〇〜3 0 %。 含有氧化亞氮之氣體中的氧化亞氮，接著使用氧化亞 氮分解觸媒而被分解爲氮和氧。作爲氧化亞氮分解觸媒’ 不特別限定，可使用即存的觸媒，例如，可使用於氧化鋁 -12- 1337552 擔載（support) 了貴金屬的氧化鋁系觸媒。 於分解氧化亞氮時，有超過容許濃度的量之NCK生成 的情況，但是，對於爲了使NCK的生成量成爲1 PPm以下 ,作爲氧化亞氮分解觸媒而使用選自下述的（I)〜（HI)所構 成之群之至少1種的觸媒爲理想。 (I) 選自鎂、鋅、鐵及錳所構成之群中至少1種的金屬 、與鋁及铑爲被擔載於載體的觸媒。

(II) 選自鎂、鋅、鐵及錳所構成之群中至少1種的金 屬、與铑爲被擔載於氧化鋁載體的觸媒。 (III) 於藉由鋁的至少一部分、與選自鎂、鋅、鐵及錳 所構成之群中至少1種的金屬，形成尖晶石型結晶性複合 氧化物的載體擔載铑的觸媒。 塡充了氧化亞氮分解觸媒的分解反應器的溫度，例如 可設定於200〜600°C的範圍，理想爲300°C ~500°C、更理想 爲3 5 0 °C〜4 50 °C爲佳。藉由將塡充了觸媒的分解反應器的 ® 溫度設定於此溫度範圍，可有效率地分解氧化亞氮之同時 ’如使用前述的分解觸媒，可使N〇x的生成量成爲ippm 以下。在分解反應器的溫度低於200°C之情況係有氧化亞 氮不能充分的被分解，另外在高於6 00 °C的溫度係觸媒的 壽命變短之同時，在醫院內等的設施設爲高於600 °C的高 溫’由安全觀點上亦不理想。 一般而言，被含有於麻醉氣體的氧化亞氮的濃度係在 70%以下的範圍使用。從分娩室的剩餘麻醉氣體排除裝置 排出的剩餘麻醉氣體，係偕同室內空氣而稀釋至數％的氧 -13- 1337552 化亞氮濃度。另外，在牙科醫療設施係有成爲約30%前後 的高濃度。如考慮觸媒的分解能力則即使直接導入至觸媒 層亦沒有問題，但若考慮觸媒的活性及觸媒的壽命時，則 導入至觸媒層之氧化亞氮的濃度係較低爲佳。因而，稀釋 ' 向氧化亞氮分解反應器導入的氣體，理想爲氧化亞氮的濃 度作爲10%以下，更理想係作爲5%以下爲佳。 作爲稀釋含有氧化亞氮的氣體之氣體，如爲不對觸媒 φ 帶來影響的氣體則不特別限制，例如可使用：空氣、氮或 氮、氬等的惰性氣體。從經濟性的層面，直接使用乾燥空 氣或大氣爲理想。 另外，被導入至氧化亞氮分解裝置的氣體的溫度爲約 常溫，但藉由觸媒而分解的氣體係被加熱至200〜600 °C。 " 因而，於本發明的處理方法，係藉由使被導入於分解裝置 前與後的氣體一同通過設置於分解反應器的出入口的熱交 換器，利用在被導入於分解裝置的氣體與從分解裝置排出 Φ 的氣體之間進行熱交換，使加熱能量與冷卻能量減少而可 提高能量效率。如此藉由提高能量效率，成爲可將氣體與 觸媒的接觸時間縮短至0.2秒以下。 而且，於本發明的處理方法，在放出從分解裝置排出 的分解氣體於大氣中之前’檢測氧化亞氮的濃度，可根據 此檢測濃度而控制分解裝置的反應溫度。監視從分解裝置 的出口排出的氣體中的氧化亞氮的濃度，檢測氧化亞氮分 解觸媒的活性降低之同時’依據已檢測出之氧化亞氮的濃 度，係可進行提高分解反應溫度等的控制。 -14 - 1337552 接著，說明關於本發明的含有氧化亞氮的氣體之處理 裝置。 本發明的裝置，係使包含氧化亞氮的氣體與觸媒接觸 ，分解處理包含於前述氣體中的氧化亞氮之裝置；具備熱 交換器、一體成形擋板的加熱部、塡充氧化亞氮分解觸媒 的分解反應器、及檢測分解反應器的出口氣體中之氧化亞 氮的濃度之檢測器；藉由被一體成形於前述加熱部的擋板 φ 與形成於分解反應裝置之壁面的擋板及分解裝置的壁面而 形成氣體流路，且於氣體流路在前述擋板之間，或前述擋 板與被形成於分解反應器的壁面的擋板之間形成間隙之’ 含有氧化亞氮的氣體的處理裝置。 更具體而言，其特徵爲具有：在從塡充氧化亞氮分解 ' 觸媒的反應器排出的氣體與未處理的氣體之間用以熱交換 的熱交換器、及於維護時如可易於交換加熱器之加熱器加 熱部爲具有與擋板一體化的構造之加熱器；而且，爲了減 輕產生於流路內的差壓而於前述擋板間，或前述擋板與形 成於分解反應器之壁面的檔板之間’具有間隙的構造’以 及具備被塡充了分解包含於氣體中之氧化亞氮的觸媒之分 解反應器及檢測處理前後的氣體中之氧化亞氮濃度之檢測 器。 前述擋板之間，或前述擋板與形成於分解反應器的壁 面的擋板之間的間隙’係不特別限制而可加以設定。但是 ，若間隔過廣則因爲在充分的熱交換前被處理氣體會移_ 而並不理想，另外，過窄亦因爲差壓減低效果減少或於加 -15- 1337552 熱器交換時難以作業等的不良狀態產生，所以上述間隙的 間隔爲5〜30mm的範圍爲理想。 在從塡充了氧化亞氮分解觸媒的分解反應器排出之氣 體與未處理氣體之間用以熱交換的熱交換器，係以通過其 ' 之含有氧化亞氮的氣體被導入至塡充氧化亞氮分解觸媒的 分解反應器之方式，與分解反應器連接。另外，被熱交換 的氣體，係被導入至分解反應器之間，藉由具有加熱器加 φ 熱部與擋板一體化的構造之加熱器而被加熱。 以下，關於本發明的氣體的處理裝置，一邊照添附的 圖面，同時更具體的說明。 第1圖爲模式地揭示將含有氧化亞氮的氣體於分解處 理前進行熱交換，接著分解氧化亞氮之本發明的氣體處理 ' 裝置之1例。表示於第1圖的氣體處理裝置，係由氧化亞 氮檢測器1、過濾器2、用以吸引含有氧化亞氮的氣體之 鼓風機（blower)3、熱交換器4、擋板一體化加熱器5、氧 Φ 化亞氮分解反應器6、氧化亞氮分解觸媒7、反應溫度控 制電路8'反應後氣體稀釋用鼓風機9、處理氣體導入閥 VI及排氣閥V2構成。 在第1圖的氣體處理裝置，被處理氣體，係經由閥 V1而導入至氧化亞氮檢測器1，經由過濾器2、熱交換器 4而導入至氧化亞氮分解反應器6。反應器6的觸媒層的 溫度爲至達到特定溫度’從閥V 2吸引室內空氣，但無閥 V2亦可。 第2圖係揭不檔板一體型加熱器的細節之模式圖。加 -16- 1337552 熱部係由護套加熱器（S h e a t h H e a t e r) 1 0和放入溫度控制用 的護套熱電偶13之保護管Π及擋板12而構成。擋板12 係對於護套加熱器丨〇，被垂直的安裝。1 4爲端子箱。 第3圖係揭示流通於本案發明的處理裝置之含有氧化 ' 亞氮的氣體之流向。亦即’從圖面的裝置之右上所示之氣 體導入管，被導入至氧化亞氮分解反應器的氣體，係進入 具有加熱部及複數間隙的流路，氣體係分歧爲沿著流路而 φ 流動之氣體流與流動於形成於流路的間隙之氣體流，沿著 流路之氣體流係以與已分歧之氣體流合流之方式流動。此 時，可藉由與加熱部接觸而昇溫至特定溫度。之後，使其 與氧化亞氮分解觸媒接觸而分解爲氮與氧而從氣體排出管 排出。 〔產業上的可利用性〕 本發明係將從分娩室及牙科醫療設施等排出之含有氧 Φ 化亞氮的氣體，藉由熱交換器而有效率地進行熱交換，接 著可分解氧化亞氮爲氮和氧，可不使地球溫暖化氣體之氧 化亞氮放出至大氣中而使其無害化，另外因爲可連續地處 理含有氧化亞氮的ImVmin以上的氣體，於產業上可有效 的利用。 【圖式簡單說明】 〔第1圖〕係揭示本發明的氣體處理裝置之1例的模 式圖。 -17- 1337552 〔第2圖〕係揭示用於本發明的氣體處理裝置之擋板 一體化加熱器之丨例的模式圖。 〔第3圖〕係揭示於本發明的氣體處理裝置中氣體的 流向之模式圖。 【主要元件符號說明】 1 :氧化亞氮氣體檢測器 φ 2:過濾器 3 :鼓風機 4 :熱交換器 5 :擋板一體化加熱器 6:氧化亞氮分解反應器 ' 7 :氧化亞氮分解觸媒 8 :反應溫度控制電路 9 :反應後氣體稀釋用鼓風機 Φ 1 0 :護套加熱器 1 1 :熱電偶保護管 12 :擋板 13 :護套熱電偶 1 4 :端子箱 V }:處理氣體導入閥 V2 :排氣閥 -18-

Claims (1)

1337552 ι·

十、申請專利範圍

第094142122號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國99年9月30日修正 1. 一種含有氧化亞氮之氣體之處理方法，係使包含氧 化亞氮的氣體與觸媒接觸，分解處理包含於前述氣體中的 • 氧化亞氮之方法，其特徵爲： 係將前述氣體導入具有加熱部及複數間隙的流路’使 前述氣體分歧爲沿著流路而流動之氣體流與流動於被形成 於流路的間隙之氣體流，以使沿著流路而流動之氣體流與 已分歧的氣體流合流之方式流動，且藉由使前述氣體與加 熱部接觸而使其昇溫至特定溫度後，使其與觸媒接觸而分 解氧化亞氮的方法； 被形成於前述流路的間隙，係形成於與加熱部被一體 • 成形的擋板間，或是形成於與加熱部一體成形的擋板與形 成於分解反應裝置之壁面的擋板之間者； 該間隙的間隔係5〜30mm ; 前述氣體流的全流量係1 m3 / m i η以上； 包含於前述氣體中的氧化亞氮的濃度係10ppm~30%; 氧化亞氮的分解溫度係200~600°C ; 於氧化亞氮的分解時產生之NO,的量係5ppm以下； 檢測出包含於分解氧化亞氮後的氣體之氧化亞氮的濃 度，並依據檢測出之氧化亞氮的濃度來控制氧化亞氮的分 IJ37552 解溫度。 2. —種使用於申請專利範圍第1項所記載之含有氧化 亞氮之氣體之處理方法的處理裝置，係使包含氧化亞氮的 氣體與觸媒接觸，分解處理包含於前述氣體中之氧化亞氮 的裝置，其特徵爲： 具備熱交換器、一體成形擋板的加熱部、塡充氧化亞 氮分解觸媒的分解反應器、及檢測分解反應器的出口氣體 中之氧化亞氮的濃度之檢測器；藉由被一體成形於前述加 熱部的擋板與形成於分解反應裝置之壁面的擋板及分解裝 置的壁面而形成氣體流路，且於氣體流路在前述擋板之間 、或前述擋板與被形成於分解反應裝置之壁面的擋板之間 形成間隙； 該間隙的間隔係5〜30mm ; 流通於前述氣體流路之氣體的全流量’係lm3/min以 上。 3. 如申請專利範圍第2項所記載之氣體之處理裝置’ 其中，含有氧化亞氮的氣體，被導入熱交換器，接著流過 前述氣體流路及分解反應器’再度通過熱交換器而被排出 〇 4. 如申請專利範圍第2項或第3項所記載之氣體之處 理裝置，其中，具備：以前述檢測器檢測出導入至熱交換 器前後的氣體中之氧化亞氮的濃度’根據檢測出之氧化亞 氮的濃度而控制前述分解反應器的溫度之溫度控制裝置。 5. 如申請專利範圍第2項所記載之氣體之處理裝置， 1337552 其中，一體成形擋板的加熱部爲可由前述分解處理裝置裝 卸。