TWI386503B - 一種用於濺鍍機台之承載台 - Google Patents

Description

一種用於濺鍍機台之承載台

本發明涉及一種用於濺鍍機台之承載台。

鍍膜技術作為表面工程技術領域之重要組成部分，其係利用物理、化學手段於固體表面塗覆一層特殊性能之薄膜，從而使固體表面具有耐磨損、耐高溫、耐腐蝕、抗氧化、防輻射、導電、導磁或絕緣等許多優越性能，從而達到提高產品品質、延長產品壽命、節約能源及獲得顯著技術經濟效益的作用。濺鍍係利用輝光放電產生之離子去撞擊靶材，將靶材內之原子撞出而沈積於基材上。由於濺鍍具有極佳的沈積效率、大尺寸的沈積厚度控制、精確的成份控制及較低的製造成本等優點，因此於工業上的應用非常廣泛。

現如今，為了防止手機相機光學模組中之鏡筒、鏡座等元件受到手機中其他元件之電磁干擾，通常需要於光學模組中之鏡筒、鏡座等組件上鍍一層抗EMI(Electro Magnetic Interference)膜。在業界，常用連續式濺鍍機(in-line sputtering)對鏡筒、鏡座等元件進行鍍膜，這種連續式濺鍍機具有速度快、產量高且鍍膜品質好等優點。然而，這種連續式濺鍍機所包括的用於承載待鍍元件之載台的導熱性能不佳，導致載台上之元件溫度過高進而造成扭曲變形等損傷。

有鑑於此，提供一種導熱性能較好的用於濺鍍機台之承 載台實為必要。

以下將以實施例說明一種導熱性能較好的用於濺鍍機台之承載台。

一種用於濺鍍機台之承載台，其包括：至少一中空管狀結構，該至少一中空管狀結構包括兩端部及位於該兩端部之間之中間部，該中間部為吸熱部，該兩端部至少之一者為冷卻部，該兩端部分別具有第一齒牙，該至少一中空管狀結構用於套設待鍍膜之元件；一中空載具，該中空載具上設置有第二齒牙，該至少一中空管狀結構之兩端部之第一齒牙與該第二齒牙相嚙合，該中空載具用於吸收該至少一中空管狀結構之冷卻部傳遞之熱量；一驅動裝置，其用於驅動該至少一中空管狀結構沿該中空載具之第二齒牙之排列方向運動。

相對於先前技術，該用於濺鍍機台之承載台包括具有中空載具及用於套設待鍍膜之元件之中空管狀結構，在對待鍍膜之元件進行鍍膜時，待鍍膜之元件上之熱量會通過中空管狀結構傳導至該中空載具從而防止待鍍膜之元件上之溫度過高進而對其造成損傷。

下面將結合附圖與實施例對本發明用於濺鍍機台之承載台作進一步之詳細說明。

請參閱圖1及圖2，本發明實施例提供之用於濺鍍機台之承載台10包括中空管狀結構11，中空載具12及驅動裝置13。

該中空管狀結構11包括兩端部及位於兩端部之間之中間部，待鍍膜之元件將套設於該中空管狀結構11上。該中空管狀結構11之兩端部分別具有第一齒牙110。於此，該中空管狀結構11為一熱管，其中間部為吸熱部用於承載待鍍膜之元件，其兩端部為冷卻部。可以理解的是，該中空管狀結構11之兩端部亦可以分別套設一套筒，該套筒之外側設置有該第一齒牙110，該套筒之內側與該中空管狀結構11之兩端部緊密接觸。

可以理解的是，該中空管狀結構11亦可為其他結構，只要能夠承載待鍍膜之元件並使待鍍膜之元件不會與該中空管狀結構11發生相對移動即可。

該載具12包括第一載具120與第二載具121，該第一載具120與第二載具121並列設置且延伸方向相同。該第一載具120與第二載具121之結構基本相同，下面將以該第一載具120為例進行說明。

該第一載具120為中空之長條狀結構，該第一載具120的一長條形承載表面上設置有複數第二齒牙122，該複數第二齒牙122沿該第一載具120之延伸方向均勻排布，值得注意的是，該第一載具120與第二載具121之第二齒牙122設置於鄰近該中空管狀結構11之兩端部的同一側。該中空管狀結構11之兩端部分別設置於該第一載具120及第二載具121上，且該中空管狀結構11之兩端部之第一齒牙110分別與該第一載具120及第二載具121上之第二齒牙122相嚙合。

該第一載具120之中空結構中裝設有冷卻流體124，該冷卻流體124可為純水、氨水、甲醇、丙酮、庚烷或其混合液體，於該冷卻流體124中亦可加入導熱粒子以進一步提高導熱效率，如奈米碳管、碳奈米球、銅奈米粉或其任意組合之粒子。

該第一載具120上具有進液口126與出液口128，該進液口126與出液口128分設於該第一載具120上，於本實施例中，該進液口126與出液口128分設於該長條狀結構第一載具120之兩端，該冷卻流體124從該進液口126流入並從出液口128流出。可以理解的是，該進液口126及出液口128之數量及設置位置可以根據實際需要進行設計。

可以理解的是，該第一載具120與第二載具121可以為一體結構，同時該一體結構為中空之方形結構。

該第一載具120應選用導熱性良好之材料，例如：銅、鋁、鐵、鎳、鈦、鋼、碳鋼、不銹鋼，及銅、鋁、鐵、鎳、鈦任意組合之合金等。於本實施例中，該第一載具120所用材料為銅。

該驅動裝置13作用于該中空管狀結構11上用以驅動該中空管狀結構11沿該第一載具120之延伸方向A即該第二齒牙122之排布方向運動。由於該中空管狀結構11之兩端部之第一齒牙110與載具12上之第二齒牙122相嚙合，所以於該中空管狀結構11沿該第一載具120之延伸方向A運動之同時，該中空管狀結構11自身亦會旋轉。

該驅動裝置13包括馬達131與傳動帶132，該馬達131可 以驅動該傳動帶132移動，該傳動帶132之外側設置有第三齒牙1320，該第三齒牙1320可與該中空管狀結構11上之第一齒牙110相嚙合。於本實施例中，一傳動帶132設置於該第一載具120之上方並使該傳動帶132外側之第三齒牙132與該中空管狀結構11一端之第一齒牙110相嚙合，該馬達131與該傳動帶132之內側緊密接觸以利於該馬達131利用其與傳動帶132間之摩擦力驅動該傳動帶132移動；同時，該第二載具121之上方亦設置有一馬達131與一傳動帶132，其與該第一載具120上方之馬達131與傳動帶132配置方式相同，於此不再贅述。

請參見圖3，本實施例中以待鍍膜之元件係鏡頭模組之鏡座為例加以說明，濺鍍源101設置於該第一載具120與第二載具121之間區域之上方，即與該中空管狀結構11相對。該驅動裝置13驅動該中空管狀結構11沿該第一載具120之延伸方向A運動，同時自身亦會旋轉，套設於該中空管狀結構11上之鏡座102會於該中空管狀結構11自轉之帶動下旋轉，從而有利在於鏡座102上形成均勻之鍍膜。

當鏡座102被承載著沿該第一載具120之延伸方向A運動並對其進行鍍膜時，冷卻流體124從該進液口126流入並從出液口128流出。該鏡座102上之熱量會經由該中空管狀結構11之吸熱部傳導至其冷卻部，該熱量再經由與該中空管狀結構11之兩端部即冷卻部相接觸之載具12傳給該冷卻流體124，最終該鏡座102上之熱量會經由從進液口126進入並從出液口128流出之冷卻流體124帶走，從而防止鏡座102上之溫度過高進而損傷該鏡座102。

綜上所述，本發明確已符合發明專利之要件，遂依法提出專利申請。惟，以上所述者僅為本發明之較佳實施方式，自不能以此限制本案之申請專利範圍。舉凡熟悉本案技藝之人士援依本發明之精神所作之等效修飾或變化，皆應涵蓋於以下申請專利範圍內。

10‧‧‧承載台

11‧‧‧中空管狀結構

12‧‧‧載具

13‧‧‧驅動裝置

101‧‧‧濺鍍源

102‧‧‧鏡座

110‧‧‧第一齒牙

120‧‧‧第一載具

121‧‧‧第二載具

122‧‧‧第二齒牙

124‧‧‧冷卻流體

126‧‧‧進液口

128‧‧‧出液口

131‧‧‧馬達

132‧‧‧傳動帶

1320‧‧‧第三齒牙

圖1係本發明實施例之承載台之立體示意圖。

圖2係圖1中沿II-II之截面示意圖。

圖3係利用圖1中承載台對待鍍膜之元件進行鍍膜之一狀態示意圖。

10‧‧‧承載台

11‧‧‧中空管狀結構

12‧‧‧載具

13‧‧‧驅動裝置

110‧‧‧第一齒牙

120‧‧‧第一載具

121‧‧‧第二載具

122‧‧‧第二齒牙

126‧‧‧進液口

128‧‧‧出液口

131‧‧‧馬達

132‧‧‧傳動帶

1320‧‧‧第三齒牙

Claims (9)

1. 一種用於濺鍍機台之承載台，其包括：至少一中空管狀結構，該至少一中空管狀結構包括兩端部及位於該兩端部之間之中間部，該中間部為吸熱部，該兩端部至少之一者為冷卻部，該兩端部分別具有第一齒牙，該至少一中空管狀結構用於套設待鍍膜之元件；一中空載具，該中空載具上設置有第二齒牙，該至少一中空管狀結構之兩端部之第一齒牙與該第二齒牙相嚙合，該中空載具用於吸收該至少一中空管狀結構之冷卻部傳遞之熱量；一驅動裝置，其用於驅動項所述之至少一中空管狀結構沿該中空載具之第二齒牙之排列方向運動。
2. 如申請專利範圍第1項所述之承載台，其中：該中空載具包括兩個並列設置之第一載具與第二載具，該第一載具與第二載具之鄰近該至少一中空管狀結構之兩端部之一側均設置有該第二齒牙。
3. 如申請專利範圍第2項所述之承載台，其中：該第一載具與第二載具上設置之第二齒牙分別沿該第一載具與第二載具之延伸方向均勻排布。
4. 如申請專利範圍第2項所述之承載台，其中：該第一載具與第二載具為條狀結構。
5. 如申請專利範圍第1或4項所述之承載台，其中：該中空載具包括冷卻流體入口與冷卻流體出口，該冷卻流體入口及冷卻流體出口均與該中空載具相貫通。
6. 如申請專利範圍第1項所述之承載台，其中：該至少一中 空管狀結構為一熱管，該熱管之兩端均具有第一齒牙。
7. 如申請專利範圍第1項所述之承載台，其中：該中空載具所用材料為銅、鋁、鐵、鎳、鈦、鋼、碳鋼、不銹鋼，或銅、鋁、鐵、鎳、鈦任意組合之合金。
8. 如申請專利範圍第1項所述之承載台，其中：該驅動裝置包括傳動帶及驅動該傳動帶移動之馬達，該傳動帶之外側設置有第三齒牙，該第三齒牙與該至少一中空管狀結構上之第一齒牙相嚙合。
9. 如申請專利範圍第2項所述之承載台，其中：該驅動裝置包括第一傳動帶，第二傳動帶及驅動該第一傳動帶及第二傳動帶移動之馬達，該第一傳動帶與第二傳動帶之外側均設置有第三齒牙，該第一傳動帶及第二傳動帶之第三齒牙分別與該至少一中空管狀結構兩端部之第一齒牙相嚙合。