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TWI271019B - Can type linear motor armature and can type linear motor - Google Patents

Can type linear motor armature and can type linear motor Download PDF

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TWI271019B
TWI271019B TW93109602A TW93109602A TWI271019B TW I271019 B TWI271019 B TW I271019B TW 93109602 A TW93109602 A TW 93109602A TW 93109602 A TW93109602 A TW 93109602A TW I271019 B TWI271019 B TW I271019B
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TW
Taiwan
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armature
cover
linear motor
winding
frame
Prior art date
Application number
TW93109602A
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English (en)
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Inventor
Toru Shikayama
Yoshiyuki Nagamatsu
Mamoru Takaki
Mitsuhiro Matsuzaki
Original Assignee
Yaskawa Electric Corp
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Publication date
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Priority claimed from JP2003369768A external-priority patent/JP2005137105A/ja
Application filed by Yaskawa Electric Corp filed Critical Yaskawa Electric Corp
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Application granted granted Critical
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    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
    • H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K5/00—Casings; Enclosures; Supports
    • H02K5/04—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof
    • H02K5/12—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof specially adapted for operating in liquid or gas
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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Linear Motors (AREA)
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Description

1271019 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明，是關於被使用在半導體製造裝置或工作機的 平台搬運上的同時，線性馬達本體的低溫度上昇是爲要求 條件的罐裝型線性馬達。 【先前技術】 習知，做爲被使用在半導體製造裝置或工作機的平台 搬運上的同時，線性馬達本體的低溫度上昇是爲要求條件 的罐裝型線性馬達，例如有揭示在專利文獻1 (日本特開 2002-27730號公報）、專利文獻2 (日本特開2000-4572 號公報）中的罐裝型線性馬達。其中，對於專利文獻1的 線性馬達，是使用圖面進行以下說明。 第9圖爲表示習知技術的罐裝型線性馬達整體透視圖 。於第9圖中，圖號10爲定子，圖號11爲框體，圖號 1 2爲罐裝罩，圖號1 3爲螺栓螺絲，圖號1 4爲壓板，圖 號15爲端子台，圖號16爲冷媒供給口，圖號17爲冷媒 排出口，圖號2 5爲活動元件，圖號2 6爲勵磁軛支援構件 ，圖號27爲勵磁轭，圖號28爲永久磁石。一方的活動元 件2 5，是由：平板狀的二個勵磁軛2 7 ;安裝在各勵磁軛 2 7表面的永久磁石2 8 ;及，被插入在二個勵磁軛2 7之間 的同時整體合計爲4個的勵磁轭支援構件2 6所構成，具 有兩端爲開口的中空空間部。接著，上述永久磁石2 8是 形成爲極性不同複數的磁石交替相鄰並排配置在勵磁軛 -5- (3) 1271019 體1 1的表裡緣，設有繞著周圍的溝槽，於該溝槽配置Ο 環21。接著，罐裝罩12是配置在框體11的表裡成可覆 蓋著框體1 1。沿著框體1 1的緣從罐裝罩1 2的上面舖設 壓板1 4，以螺栓螺絲1 3鎖緊，使罐裝罩1 2和框體1 1固 定在一起。電樞繞組1 8，是以備有3相並激同心繞組線 圈的複數線圈群所構成，貼住在繞組固定框1 9的左右兩 側。對電樞繞組1 8的供電，是由安裝在框體1 1上的端子 台1 5來執行。端子台1 5和電樞繞組1 8是以導線（未圖 示）分別接電。此外，冷媒是由框體1 1上設置的冷媒供 給口 1 6供給，然後從冷媒排出口 1 7排出。於這之間，冷 媒是流動在位於電樞繞組1 8和罐裝罩1 2之間的冷媒通道 2 0，以對發熱的電樞繞組1 8進行冷卻。 如此構成的罐裝型線性馬達，是藉由將因應著活動元 件2 5和定子1 0的電相對位置而定的指定電流流動於電樞 繞組1 8，以與永久磁石2 8形成的磁場進行作用對活動元 件2 5產生推力，使活動元件2 5如第9圖箭頭符號所示的 行進方向移動。此時，因銅耗造成發熱的電樞繞組1 8是 由流動在冷媒通道2 0的冷媒進行冷卻，所以能夠抑制罐 裝罩12的表面溫度上昇。 然而，習知技術的罐裝型線性馬達，因經過冷媒通道 2 0的冷媒是流動在電樞繞組1 8的表面，所就產生以下問 題： (1 )於一般對於電樞繞組1 8構成用的導線是使用具 有絕緣用包覆層的漆包線，但是於繞組作業時或電樞繞組 -7-

Claims (1)

  1. I271Q19. Γ l6( (1) 拾、申請專利範圍 第93 109602號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國95年1月19日修正 1 . 一種罐裝型線性馬達電樞，具備有：由成型爲平板 狀的複數線圈群所形成的電樞繞組；設置成是框緣狀圍著 上述電樞繞組的金屬製框體；及可密閉著上述框體兩開口 部的罐裝罩，其特徵爲： 是將上述電樞繞組的兩側面朝長度方向，以二個繞組 固定框夾入固定著； 於上述罐裝罩和上述繞組固定框之間所形成的空間內 設有冷媒通道； 於上述框體和上述繞組固定框的間隙設有密封材， 是於事先彎曲上述罐裝罩，使上述罐裝罩的彎曲凸面 彼此是配置成互相與上述繞組固定框成相向。 2.—種罐裝型線性馬達，其特徵爲，具備有：如申請 專利範圍第1項所記載的罐裝型線性馬達電樞；及與上述 電樞是中介著磁性空隙成相向配置，並且極性不同的複數 永久磁石是爲交替相鄰排列的勵磁軛，此外，是將上述電 樞和上述勵磁軛當中的任一方爲定子，將另一方爲活動元 件，使上述勵磁軛和上述電樞形成爲可相對性運行。 3 . —種罐裝型線性馬達電樞，是由罐裝罩密封著電樞 繞組，將配置在密閉空間內的該電樞繞組由冷媒進行冷卻 # (Mg日修(更)正替換負 (2) 的罐裝型線性馬達電樞，其特徵爲： 上述電樞具備有： 具有「平板的上下端是分別朝內側彎曲成形爲凸狀的 段差部」及「形成在上述上下端所分別設置的段差部間的 直線部」的繞組固定框； 具有「平板的上下端是分別朝外側彎曲成形爲凸狀的 段差部」及「形成在上述上下端所設置的段差部間的直線 部」的罐裝罩； 被保持在上述繞組固定框的直線部間的電樞繞組； 形成爲被保持在上述罐裝罩的段差部和上述繞組固定 框的段差部之間，並且圍成框緣狀的框體； 形成在上述罐裝罩的直線部、上述繞組固定框的直線 部及上述框體之間空間的冷媒通道； 設置在上述罐裝罩外側面的壓板； 及於形成爲是圍繞著上述第2框體兩側面緣的溝槽上 所配置的0環， 此外，是中介著貫穿上述壓板、上述罐裝罩、上述框 體及上述繞組固定框的罐裝罩固定用螺栓，來結合上述壓 板 '上述罐裝罩、上述框體、上述繞組固定框以構成上述 電樞。 4. 一種罐裝型線性馬達，其特徵爲，具備有：申請專 利範圍第3項記載的上述電樞；及與上述電樞是中介著磁 性空隙成相向配置，並且極性不同的複數永久磁石是爲交 替相鄰排列的勵磁輛，此外將上述電樞和上述勵磁軛當中 -2 - i名尹eg日修(更)正替換頁I (3) 的任一方爲定子，將另一方爲活動元件，使上述勵磁軛和 上述電樞形成爲可相對性運行。
    -3-
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