TW591125B

TW591125B - Method and apparatus for removing Ti-derived film

Info

Publication number: TW591125B
Application number: TW088102194A
Authority: TW
Inventors: Akio Kariya; Takumi Hamajima; Satoshi Morimoto; Toshiaki Ishimaru; Akihide Kakutani
Original assignee: Mitsubishi Heavy Ind Ltd
Priority date: 1998-02-13
Filing date: 1999-02-11
Publication date: 2004-06-11
Also published as: US6531049B1; BR9904824A; EP0989210A1; EP0989210A4; WO1999041435A1

Description

591125 A7 _______B7_ 五、發明説明（1 ) 【發明之技術範疇】本發明係有關於一種除去塗抹於切削工具等表面上之Ti系被膜的方法及其裝置。【習知技術】近年來，為提升一切削工具的耐磨損性大多會在高速度工具鋼的表面上塗抹一層氮化鈦或碳化鈦等的丁^系被膜。就該種切削工具而言，由於其刃部部份的被膜係會隨著使用而比其他部份的被膜早耗損，因此，在一定期間使用後，則必須將其被膜完全一次除去，且對其刃部進行研削加工再進行調整，之後再塗抹_Ti系被膜，以使其可重複使用。有關上述該種重複使用過程中的Ti系被膜去除係例如已揭示於特開平5-112885號公報中者。就該公報所揭示的Ti塗抹被膜之除去方法而言，其係將一於高速度工具鋼之母材上塗抹有一層Ti系被膜（TiN，TiC，TiCN，Ti)的切削工具浸泡（12小時）在一溫度為1 〇〜4〇度範圍的混合水溶液中，據以將其Ti系被膜除去，其中，上述混合水溶液係包含有復合磷酸鹼金屬鹽1〜20重量％、一種以上之烴胺系有機酸鹼金屬鹽1〜1〇重量％、乙烯二胺·酢酸鹼金屬鹽2〜15重量％、鹼金屬氫氧化物〇.丨〜5重量％、過氧化氫3〜7重量％。然而，就公開於該公報中之鈦塗抹被膜之除去方法而言，由於其係必須將一塗有Ti系被膜的切削工具以一定的時間（12小時）浸泡在一規定混合水溶液中，因此，本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公楚） 4 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

五、發明説明（2 ) 在除去Ti系被膜上係必須花費相當長的時間（被膜去除速度：約0·3 // m/h ),所以有處理效率不佳的問題。特別是在除去TiAIN被膜時，即使將切削工具浸泡在水溶液中6〇小時’亦無法完全將其除去，此時的被膜去除速度係未達〇· 1 # m/h 〇有鏗於此，本發明之主要目的係提供一種可將一塗抹於一構件表面上的Ti系被膜有效率地除去的去除方法及其裝置。為達上述目的，本發明係提供一種丁丨系被膜去除方法，其係將一電極及一塗抹有丁丨系被膜的構件浸泡在一〇H-離子濃度為102〜溶液中，且將一正電壓加於該構件側，並將一負電壓加於該電極側。據此，即可將一塗抹於一構件表面上的Ti系被膜有效率地除去。此外，本發明之溶液係為一含有pH==1〇〜17之鹼金屬氫氧化物的水溶液。據此，即可輕易地執行將一塗抹於一構件表面上的Ti系被膜除去的作業。此外，於本發日月中，a水溶液的溫度係保持在常溫至該水溶液的沸點溫度之間。據此，即可在短時間内將塗抹於一構件表面上的丁i系被膜除去。又，於本發明中，該水溶液於初期時係以加熱的方式而使其溫度上升，之後則藉由其反應熱來昇溫，據以使其概度保持在-定的溫度。據此，即可於作業開始時立即進行Ti系被膜的除去，同時，亦可使已除去Ti系被膜 591125 A7 B7 五、發明説明（3 的構件表面有良好的潤飾。又，於本發明中，該溶液亦可為一將鹼金屬氫氧化物溶解於溶解鹽及有機溶劑中的溶液。再者，於本發明中，該Ti系被膜係為氮化鈦鋁。據此 ’即可在短時間内將該氮化鈦紹的Ti系被膜確實地除去。再者，於本發明中，該溶液亦可為一含有鹼金屬氫氧化物及過氧化氫的水溶液。此外’本發明更提供一種Ti系被膜去除裝置，其係包含有一用以保持ΟΗΓ離子濃度為1〇2〜1〇·4 mol/1i溶液的槽；一浸泡於該溶液中的電極；及一用以提供一正電壓至一塗抹有Ti系被膜之構件上，以及提供一負電壓至該電極上的電源。藉由此一簡單的構成，即可將一塗抹於一構件表面上的Ti系被膜有效率地除去。又，於本發明中，該溶液係為一含有pH = 10〜17之鹼金屬氫氧化物的水溶液，而該槽中係設有一用以使該水溶液之溫度加熱，並使其溫度保持在常溫至該水溶液之沸點溫度之間的加熱機構。據此，即可輕易地於短時間内執行將一塗抹於一構件表面上的Ti系被膜除去的作業。【圖式簡單說明】第1圖為用以實施本發明之第1實施例所述之Ti系被膜除去方法的除去裝置概略構成圖。第2圖為用以實施本發明之第2實施例所述之Ti系被本紙張尺度適用中國國家標準^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ’、可| 591125 A7 ----- B7 五、發明説明（4 ) ^ 膜除去方法的除去裝置概略構成圖。【較佳實施例】以下係依據圖示來說明有關本發明之實施例。【第1實施例】於第1實施例之Ti系被膜去除裝置中，如第1圖所示，槽1中係貯留保存有一含有例如氫氧化卸或氫氧化納等的驗金屬氫氧化物、及過氧化氫的水溶液丨0。該槽1係連結有一鹼金屬氫氧化物溶液供給裝置2、及一過氧化氮水供給裝置3，其中，該驗金屬氫氧化物溶液供給裝置2係用以作為鹼金屬氫氧化物供給機構，其係用以於每一規定時間每次供給一規定量之一定濃度的鹼金屬氫氧化物溶液；該過氧化氫水供給裝置3係用以作為過氧化氮供給機構，其係用以於每一規定時間每次供給一規定量之一定濃度的過氧化氫水《此外，該槽1係更連結有一水溶液排出裝置4，該水溶液排出裝置4係用以作為水溶液排出機構，其係用以於每一規定時間每次排出一規定量的貯留水溶液10。此外，於該槽1中係配設有一將該槽1中央包圍起來的電極5，該電極5係與配設於該槽1外之電源6的負極相連接。又，該槽1中係配設有一塗抹有Ti系被膜的構件u ’其中，該構件11係為電極5所圍住。以下係說明有關使用本實施例之Ti系被膜去除裝置來進行Ti系被膜去除的方法。承上所述，先將一與電源6之正極相連接的構件11浸本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

>91125 A7 B7 五、發明説明（5 泡在貯留有一含有鹼金屬氫氧化物、及過氧化氫的水溶液10中，且使該構件U得以為電極5所包圍，接著作動各供給裝置2、3，而於每一規定時間每次供給一規定量之一定濃度的鹼金屬氫氧化物及過氧化氫水至該槽1中，另外，啟動該排出裝置4，而於每一規定時間每次排出一規定量之槽1中的水溶液1〇。藉由此一作動，槽丨中水溶液 1 〇的驗金屬氫氧化物及過氧化氫間的濃度即可常保持在一定的範圍内。接著，在此一狀態下，而從電源6加一負電壓到電極 5上’同時，加一正電壓到構件丨丨上，當浸泡於水溶液1〇中的電極5與構件11間通以電流時，則塗抹於該構件丨j表面上的Ti系被膜將會藉由水溶液10而作化學性的去除，及作電氣化學性的去除。據此，由於相較於習知將其浸泡於規定的水溶液，來除去的方式而言，本去除方法係可較為有效率地將Ti 系被膜去除，因此，可大幅縮短處理時間，並且可大幅降低處理成本。特別·是對TiAIN被膜而言，若利用習知方式，則即使經長時間（60小時）亦無法完全將其除去，但，若使用本實施例之去除方式，則可在短時間小時左右）内完全將其去除。再者，於本實施例中，雖然於該用以貯留水溶液又〇的槽1内係浸泡有一用以付加負電壓的電極5，但事實上，該槽亦可兼作電極而形成為_槽型電極，此時，水溶以中本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格 (請先閲讀背面之注意事項再填窝本頁)

591125 A7 發明説明（6 液10係貯留於該電極内部，而構件係浸泡於其中。為進一步確認本實施例之丁丨系被膜去除方法的效果，以下將依據上述實施例來進行下述的確認實驗。【實驗例1】 <實驗條件> 對象構件··高速度工具鋼的滾刀（外徑·· 75mm，長度·· 150mm)刀部被膜種類·· TiAIN被膜塗抹的膜厚：2〜8//m (齒根附近7〜，由側面到齒根附近2〜3/zm) 驗金屬氫氧化物的含有量：15重量％ (ρη=14·4) 過氧化氫的含有量：3重量％混合水溶液量：8公升混合水溶液溫度：藉由反應熱昇溫到度C 構件與電極間的電流：20Α 構件與電極間的電壓：約3〜6V <實驗方法> 將7J部塗抹有TiAIN被膜的滾刀浸泡於一含有鹼金屬氫氧化物15重量％及過氧化氫3重量％的水溶液中，且將一正電壓加至該滾刀上，同時將一負電壓加到該電極上’而使在該滾刀與該電極間產生一電流。 <實驗結果〉經4小時處理後，TiAIN被膜係可完全自滾刀之刃部除去。此時的被膜除去速度係為0.5//m/h以上。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 9

591125 A7 _____________ B7 五、發明説明（7 ) 【實驗例2】 <實驗條件> 對象構件：高速度工具鋼的平板（大小：2〇x2〇x5inm) 被膜種類：TiCN被膜塗抹的膜厚：5//m 驗金屬氫氧化物的含有量：1〇重量％ (ρΗ=14·3) 過氧化氫的含有量：1重量％混合水溶液量：500CC 混合水溶液溫度··保持60度C左右構件與電極間的電流：5Α 構件與電極間的電壓：約3〜6V 〈實驗方法〉將塗抹有TiCN被膜的平板浸泡於一含有鹼金屬氫氧化物10重量％及過氧化氫1重量％的水溶液中，且將一正電壓加至該平板上，同時將一負電壓加到該電極上，而使在該平板與該電極間產生一電流。〈實驗結果> 經4小時處理後，TiCN被膜係可完全自平板除去。此時的被膜除去速度係為1.2# m/h以上。【比較例1】 <實驗條件> 對象構件：高速度工具鋼的滾刀（外徑：75mm，長度·· 150mm )刃部本紙張尺度適财關家鮮（CNS) A4規格（21GX297公釐） 10 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

591125 A7 -—- _B7_ 五、發明説明（8 ) 被膜種類·· TiAIN被膜塗抹的膜厚：2〜8 // m (齒根附近7〜8 /z m，由側面到齒根附近2〜3 # m ) 驗金屬氫氧化物的含有量：3重量％ (ρΗ=14·4) 過氧化氫的含有量：5重量％混合水溶液量：10公升混合水溶液溫度：藉由反應熱昇溫到40度C <實驗方法> 將刀部塗抹有TiAIN被膜的高速度工具鋼之滾刀浸泡於一含有鹼金屬氩氧化物3重量％及過氧化氫5重量％的水溶液中。此外，電氣處理係不予實施。 <實驗結果> 即使經120小時的浸泡，TiAIN被膜亦無法完全從該滾刀之刀部除去。此時被膜除去速度係不到〇.1μιη/1ι。由上述實驗結果可知，由於利用本實施例之丁丨系被膜去除裝置來進行去除的方法係將一塗抹有Ti系被膜的構件浸泡於一含有鹼金屬氫氧化物及過氧化氫的水溶液中，且將一正電壓加至該構件上，同時將一負電壓加到該電極上，而使在該構件與該電極間產生一電流，據以去除Τι系被膜；相較於習知單純地將一塗抹有Ti系被膜的構件浸泡於一含有鹼金屬氫氧化物及過氧化氫之水溶液中的Ti系被膜去除方法，本發明之去除方法係可有效率地將 Τι系被膜去除，因此，大幅縮短處理時間，並可大幅降低處理成本。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) Α4規格（210X297公釐） 11 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、可| 591125 五、發明説明（9 【第2實施例】於第2實施例之Ti系被膜去除裝置中，如第2圖所示，槽1中係貯留保存有一驗金屬氫氧化物水溶液2〇。該槽1中係配設有圓筒形狀的電極5 ,且其上端部係由一組裝於槽1上部之絕緣的蓋子21所支撐，同時，該電極5係與一配設於該槽丨外之電源6的負極相連接。此外，一塗抹有Ti系被膜的構件丨丨係被置於該槽1的中央，使其為該電極5所包圍，同時，該構件丨丨係與該電源6的正極相連接。又，在該槽1之下部係裝配有一可用以將該水溶液2〇加熱的加熱器22，且該槽1内係裝配有一搜拌機23 ,用以撲拌昇溫後的水溶液20，以使其溫度不會過度集中。再者，亦可以一可加熱及冷卻的溫度調節機來代替上述加熱器22。此外，該槽1係亦可為一雙槽結構，其内槽係用以貯留水溶液20，而其外槽係用以裝配該加熱器22及授拌機23。以下係說明有關使用本實施例之Ti系被膜去除裝置來進行Ti系被膜去除的方法。其係先將一與電源6之正極相連接的構件丨丨浸泡在貯留有一含有鹼金屬氫氧化物之水溶液2〇的槽1中，且使該構件11得以為電極5所包圍，其中，該電極5之上端部係由蓋子21所支撐。此外，作動該加熱器22來加熱該槽1中的水溶液2〇，而使其溫度升高，同時，啟動該攪拌機23來攪拌加溫中 12 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 591125 五、發明説明（ίο ) 的水溶液20。接著，在此一狀態下，而從電源(5加一負電壓到電極 5上，同時，加一正電壓到構件丨丨上，當浸泡於水溶液中的電極5與構件11間通以電流時，則塗抹於該構件11表面上的Ti系被膜將會藉由水溶液2〇而作化學性的去除，以及作電氣化學性的去除。再者，當水溶液20的溫度上升到適當溫度時，則可將該加熱器22的動作停止，之後再藉由反應熱來使其溫度保持在適當溫度。此外，事實上，該加熱器22及授拌機23對Τι系被膜去除而言並非為必須的構成構件，此時該水溶液20的溫度係可藉由該水溶液2〇與丁i系被膜間的電氣化學反應來進行加溫。此外’於本實施例中，由於該水溶液2〇係只為鹼金屬氫氧化物水溶液，因此可不需要鹼金屬氫氧化物溶液供給裝置及水溶液排出裝置4，但，由於該水溶液2〇的加溫會使水蒸發而使濃度產生微小變化，因此，本發明之裝置亦可加設有一使水溶液2〇之濃度維持一定的水供給裝置。於本實施例中，藉由鹼金屬氫氧化物之水溶液2〇來進行除去Ti系被膜（水溶液20與Ti系被膜間的界面）的反應係可以下式來表示：

TiAlN+5H20 HTi03-+Al〇2-+9HT+N个+7e- 又’當Ti系被膜係含有氮化鈦或鐵時係可以下式來表示： _ b77 五、發明' —

TiN -> Ti2++ 1/2N2+ 2e'

Fe+2H20 -> Hfe02*+3H++2e' 據此’相較於習知將其浸泡於規定的水溶液中來除去的方式而言，由於本去除方法係可較為有效率地將Ti 系被膜去除，因此，可大幅縮短處理時間，並且可大幅降低處理成本《特別是對TiAIN被膜而言，若使用本實施例之去除方式，則可在短時間（數分左右）内完全將其去除。又’當該水溶液2〇於初期時係以加熱器22的方式而使其溫度上升，且將一正電壓加於該構件丨丨上，而使浸泡於該水溶液20中的電極5及構件11間通以電流時，則 I7 了使除去Ti系被膜的構件11表面能有良好的潤飾，而不會留有去除時的斑點。為進一步確認本實施例之Ti系被膜去除方法的效果 ’以下將依據上述實施例來進行下述的確認實驗。【實驗例1】 <實驗條件> 對象構件··高速度工具鋼的滾刀（外徑：75mm，長度：150mm)刃部被膜種類·· TiAIN被膜塗抹的膜厚：2〜8/zm (齒根附近7〜8/zm，由側面到齒根附近2〜3 /z m ) 鹼金屬氫氧化物的含有量：50重量％ (pH =14.9) 水溶液溫度：保持在80〜90度C之間

構件與電極間的電流·· 10〇A 本紙張尺度適用中國國家標準（⑽）A4規格（210><297公釐） 14 (請先閲讀背面之注意事項再填窝本頁)

591125 A7 B7五、發明説明（12 ) 構件與電極間的電壓：約4V <實驗方法〉將刃部塗抹有TiAIN被膜的滚刀浸泡於一含有鹼金屬氫氧化物50重量的水溶液中，且將一正電壓加至該滾刀上，同時將一負電壓加到該電極上，而使在該滾刀與該電極間產生一電流。 <實驗結果> 經2分鐘處理後，TiAIN被膜係可完全自滾刀之刃部除去。此時的被膜除去速度係為4 /z m/min以上。【實驗例2】 <實驗條件> 對象構件：高速度工具鋼的平板（大小：20x20x5mm) 被膜種類：TiAIN被膜塗抹的膜厚：5/zm 鹼金屬氫氧化物的含有量：25重量％ (ρΗ==14·6) 水溶液溫度··保持在40〜60度C之間構件與電極間的電流：30Α 構件與電極間的電壓：約2V 〈實驗方法〉將塗抹有TiAIN被膜的平板浸泡於一含有鹼金屬氫氧化物25重量％的水溶液中，且將一正電壓加至該平板上，同時將一負電壓加到該電極上，而使在該平板與該電極間產生一電流。 <實驗結果> (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 15 591125 A7 B7五、發明説明（13 ) 經10小時處理後，TiAIN被膜係可完全自平板除去。此時的被膜除去速度係為0.5/z m/h以上。【實驗例3】 <實驗條件> 對象構件：高速度工具鋼的立銑刀（外徑：30mm，長度：100mm)刃部被膜種類：TiN被膜塗抹的膜厚：2〜5/zm 鹼金屬氫氧化物的含有量：50重量％ (ρΗ=14·9) 水溶液溫度：保持在80〜90度C之間構件與電極間的電流：50Α 構件與電極間的電壓：約3V <實驗方法> 將刃部塗抹有TiN被膜的立銑刀浸泡於一含有鹼金屬氫氧化物50重量的水溶液中，且將一正電壓加至該立銑刀上，同時將一負電壓加到該電極上，而使在該立銑刀與該電極間產生一電流。 <實驗結果> 經5分鐘處理後，TiN被膜係可完全自立銑刀之刃部除去。此時的被膜除去速度係為1 // m/min以上。【比較例1】 <實驗條件> 對象構件：高速度工具鋼的滾刀（外徑：75mm，長度·· 150mm )刃部丨、可 (請先閲讀背面之注意事項再填窝本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 16 591125 A7 ------------- -B7 _ 五、發明説明（14 ) 被膜種類：TiAIN被膜塗抹的膜厚·· 2〜8/zm (齒根附近7〜8#m，由側面到齒根附近2〜3 # m ) 驗金屬氫氧化物的含有量：3重量％過氧化氫的含有量·· 5重量％混合水溶液溫度：藉由反應熱昇溫到4〇度c <實驗方法> 將刃部塗抹有TiAIN被膜的高速度工具鋼之滾刀浸泡於一含有鹼金屬氫氧化物3重量％及過氧化氫5重量％的水溶液中。此外，電氣處理係不予實施。 <實驗結果> 即使經60小時的浸泡處理，TiAIN被膜亦無法完全從該滾刀之刃部除去，且其表面係變成黑色。由上述實驗結果可知，由於利用本實施例之Ti系被膜去除裝置來進行去除的方法係將一塗抹有Ti系被膜的構件浸泡於一含有鹼金屬氫氧化物的水溶液中，且將一正電壓加至該構件上，同時將一負電麼加到該電極上，而使在該構件與該電極間產生一電流，據以去除Ti系被膜，相較於習知Ti系被膜去除方法，本發明之去除方法係可有效率地將Ti系被膜去除，因此，大幅縮短處理時間，並可大幅降低處理成本。由上述第1及第2實施例中的各項實驗可知，水溶液 10、20中的鹼金屬氫氧化物之濃度越高則越容易在短時間内將被膜去除，更具體而言，其pH == 1〇〜π者為佳。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 17 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

591125 A7 -----— B7___ 五、發明説明（15 ) 此外’當有使用過氧化氫時，其比例係為1〇重量％以上者為佳。此外’該水溶液10、2〇的溫度係最好保持在常溫至該水溶液的沸點溫度之間，例如，以保持在20〜200度C 之間者為佳。再者’電源6提供到該電極5及構件n上的覆載電流係以較高者為佳’然，實際上的使用係約為5〜6〇a左右〇另外，於本實施例中，雖然作為本發明之溶液者係為一含有鹼金屬氫氧化物及過氧化氫的水溶液1〇、或是為一鹼金屬氫氧化物的水溶液2〇，但其亦可為阿摩尼亞 ’甚者，其亦不限於水溶液，而可為將鹼金屬氫氧化物溶解於溶解鹽及有機溶劑中的溶液^在此一情況下，於溶解鹽與除去的Ti系被膜間的界面上係亦可產生如上述反應式所表示的反應。亦即，於本發明中，所使用的溶液係可為OH·離子濃度為1〇2〜1〇·4 的溶液，據此，即可產生上述作用效果。綜上所述，由於本發明之Ti系被膜去除方法及其裝置係可藉由將一電極與塗抹有Ti系被膜的構件浸泡在一含有鹼金屬氫氧化物的水溶液中，且將一正電壓加到該構件上’同時將一負電壓加到該電極上，而使其兩者之間產生電流，據以有效率地在短時間内將該Ti系被膜去除，因此，其係可被利用於一高速度工具鋼的切削工具等的重複利用上，進而使其耐磨損性提高。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 18 ....... 訂 ----------0::, (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

Claims

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經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

、申請專利範圍第88102194號專财請射請專職IS修正本93年1月19曰 1 · 一種Ti系被膜去除方法，其特徵在於·· 其係將一含有pH=l〇〜17之鹼金屬氫氧化物的水溶液昇溫至40°C至沸點間，將一電極及一塗抹有耵系被膜的構件浸泡在該一定溫度之水溶液中，且將一正電壓加於該構件側，並將一負電壓加於該電極側，其中該電壓範圍為2〜6 V。 2·如申請專利範圍第丨項之丁丨系被膜去除方法，其中，該水溶液的溫度係保持在該水溶液之沸點溫度以下。 3·如申請專利範圍第丨項之Ti系被膜去除方法，其中，該水溶液於初期時係以加熱的方式而使其溫度上升，之後則藉由其反應熱來昇溫，據以使其溫度保持在一定的溫度。 4·如申請專利範圍第1項之Ti系被膜去除方法，其中該溶液係為一將鹼金屬氫氧化物溶解於溶解鹽及有機溶劑中的溶液。 5·如申請專利範圍第1項之Ti系被膜去除方法，其中，該 Ti系被膜係為氮化鈦鋁。 6·如申請專利範圍第1項之Ti系被膜去除方法，其中該溶液係為一含有鹼金屬氫氧化物及過氧化氫的水溶液。 7· —種Ti系被膜去除裝置，其特徵在於： δ亥去除裝置係包含有一用以保持含有pfj=l 〇〜17 之驗金屬氫氧化物之水溶液的槽；將該槽内的水溶液昇溫至一定溫度以上且保持在沸點溫度以下之加熱本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱）

(請先閱讀背面之注意事寫本頁) 兮ο

591125 A8 B8 C8 __ D8 --------—_______ ------------ 六、申請專利範圍機構，一浸泡於該溶液中的電極；及一用以提供一正電壓至一塗抹有Ti系被膜之構件上，以及提供一負電壓至該電極上的電源。 8·如申請專利範圍第7項之丁丨系被膜去除裝置，其中該溶液係為一含有pH =10〜17之驗金屬氫氧化物的水溶液，而該槽中係設有將該水溶液之溫度調節在一定溫度以上且在該水溶液之沸點溫度以下的溫度調節機構。 (請先閱讀背面之注意事 • ϋ n «ϋ I n n n^-OJ· n ϋ ϋ n n 頁)

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