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TW392067B - Capacitive pressure transducer with improved electrode support - Google Patents

Capacitive pressure transducer with improved electrode support Download PDF

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TW392067B
TW392067B TW087109577A TW87109577A TW392067B TW 392067 B TW392067 B TW 392067B TW 087109577 A TW087109577 A TW 087109577A TW 87109577 A TW87109577 A TW 87109577A TW 392067 B TW392067 B TW 392067B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
chamber
pressure
diaphragm
insulator
assembly
Prior art date
Application number
TW087109577A
Other languages
English (en)
Inventor
John A Denner
Original Assignee
Mks Instr Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mks Instr Inc filed Critical Mks Instr Inc
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Description

經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明(') 相醞枝術參考 本發明係有關於椹露於共同審査中之美國專利申請第 08/748.820虢名稱為”壓力感知器”之主題。此壓力感知 <•7 器係由本發明之發明人發明並是讓與本發明之讓受人。 發明背帚 龙發明係關於雷容聒力式換能器。更特別的是本發明 闞於用於雷客懕力式換能器之、改良式電極支撐物。 第1A圈顯示一組合之先前技術之電容壓力式換能器組 合件100之局部剖面側視_。第1B圖顯示換能器組合件 100之分解剖而側視圖。為便於圖説計,第1A圆和第1B 鬭W及本發明掲露中之其他圓示並不按比例繪製。美國 專利第4.82 3,603虢揭露一換能器組合件100之一般形式 之雷客囅力式換能器組合件。美國專利第5,029,377號及 第4.78 號亦掲露有闢本發明所揭霓之電容壓力式換 能器。 簡言之.換能器組合件100包含一骹體,其界定一第一 密封內宰110及一第二密封內室112。室110和112是由一 _薄.撺件.導電之隔膜120互相隔離。如下面之更為詳 拥之討論,隔膜120是裝配為可反應於室110和112中壓力 之不囿而撓曲或變曲。換能器組合件100提供一參數,其 杲隔_檫曲最之栴示,故此參數因而是間接的不同壓力 之栴示。換能器100提供之微差動壓力之參數是隔膜120 餌一電樺〗3 0間之雷容最。 換能器組合件100包含一 P_x覆蓋140及一 Pj殻體150 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T 經滴部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明(> ) (術語”P_x”標示一未知壓力,將於下文中討論)。第2A圖 顬示一 P_x毂艚150之俯視_。P_x殻體150具有一管狀形 狀及界审一中央內隙孔152(顯示於第2A_中並在第1B圖 中由苜換15 3相示)。P_x骰體150之上方表面是階梯形並 揋供一肩154.其是圃鐃隙孔15 2之周邊伸延。P_x殻體 150亦包含一下方表面。P_x覆蓋140是一圓形金牖片並 杲提供有一界定之中央隙孔144之壓力管142。P_x覆蓋 140畏砷忡附著牵P_x殼艚150之下方表面156(例如用熔 接)。隔贈120ΪΡ常是一薄的,圓形,可撓曲之傳導材料 薄H f例如不锈鋼)。如上所述,第1A圖和第1B匾是不成 (:h例》賻.而隔_120正常是與圖示之換能器組合件100 夕其他組件相比例更為較薄。隔膜120接觸P_x殻體150 夕肩154.如第1A鬮所示。隔膜120之外周邊正常是熔接 卒P_x躲髑150 W硬件的保持隔膜120之外周邊至P_x殻體 1 5 0 之肩 1 5 4。 Ρ-χ?5Μ140. P_x殼體150,及隔膜120協同界定内密 封宰110。P_x覆薷140f定底部,Pj殻體150界定側猜, 及隔_120界定室110之頂部。管142中之流體是與隔膜 120之下方表而在流艚薄絡中。 換能器組合件100亦包含一 P_r殻體160及一 P_r覆蓋 170(術語” P_r”檷示一參考壓力,將於下文中討論)。第 2B_醑示P_r骰髑160之俯視圓。P_r骰體160具有一管狀 形狀祐界定一中央隙孔162(顯示於第2B圔中並由第1B圖 中;?媒2(5 3栴示)。P_r骹體160之上方表面是有階梯形並 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 MTK部中决桴率局Η Η消费合作社印聚 A7 B7__ 五、發明説明(3 ) 提供一下方艚164及一上方肩186。下方肩164画繞鼴孔 ^2之周邊伸延,而上方艚166則園繞下方肩164之周邊 伸延。P_r殼體160亦包含一下方表面I68,面對艚1β4, p_r殻震160之下方表面168是硬性地固定至隔膜 艾^之少卜周邊之上方表商(例如用熔接法)》Ρ-r覆篕 是一 _形金颺片,並提供有一界定中央除孔174之壓力 管172。P_r覆蹇170是硬性附著至?_1*艟||160(例如用焊 接),以使P_r覆蓋170之外部厢邊舆P_r殼醒180之上方 肩166相接觸》 P_r覆藎17〇, P_r殼讎160,及隔膜120協同界定内密 封室112«»隔膜120界定底部,P_r殼讎160界定鎇艟,而 p j覆羞1 7 0界定室1 1 2之頂部。在管1 7 2中之流«I可流通 «除孔174,並通《中央嫌孔162(顙示於第2B_中)進入 室112内。如此在管172中之流讎輿隔膜120之上方表面作 流鳢遽絡。霣榷130是收容於室112中,但並不干擬其中 流動之液讎,將於下文討論。 電極130正常是自非導霣(或絶緣 >之Ρϋ瓷塊製造並具有 -_简形狀》第2C_顯示霣極130之底视國。霣榷130之 下方表面成陏梯形並包含一史央面135及一自中央面135 之外部周邊伸延之]0 1 3 6。霣極1 3 0亦界定一陳孔1 3 2 (顯 示在第2C匾中並由第1B_中之嫌133指示)。此外電極130 包含一頗薄之導饑134,其是沈積{例如用電)至中央面 135上。導驩134是明確地顯示在第1B國及第2C圖中,但 為解説方便計,導_134並未願示在第1A_中》霣榷130 是夾持在P_r覆蓋輿p_r殼讎之下方扃164之間,如第1A_ -5- 本紙張尺度適用中國國家榡準(CNS ) A4规格(2丨0X297公釐) (請先閲讀背面之注項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局貝工消費合作社印聚 A7 B7五、發明説明(4 ) 所示。爾痗130中之隙孔132允許流體自由地流通過電極 130在隔_120之上方表面與壓力管172之間。夾緊電極 130牵P r>骹髁160W保持導髑134與隔膜120之空間闞係 。雷保130IF常被定位為使導體134與隔膜120間之空間 果相當的小(例如大約在0.0002米左右)。 導傅134及隔膜120形成電容器138之平行板。如已熟 知.C = 其中C是二平行板間之電容量,Α是二板間 之共同面稹.e是蓽於二板間之材料之一常數(真空中e = 1).而d是板間之距離。因之電容器138提供之電容最是 隔輯120與導爾]34間之距難之函數。當隔膜120反應於 宰110及U2間瞟力差別之改變而上下撓曲時,電容器138 提供之窜容最亦是改變。在時間之任何一刻.電容器 1 3 8提供之雷客詈是指示室1 1 〇與1 1 2間之差別壓力。已 知之雷路(例如一樺儲能電路,其特擻是其諧振頻率是 雷鸾器138所提供之霄容最之函數)可使用於测量由電容 翠138椹供之窜容最並提供一代表此差別壓力之電氣信 號0 梅能器組合件100包含一導電之饋電器180以允許測量 罱容器138提供之電容最。饋電器180之一端182接觸電極 130。饋爾器180通過P_r覆蓋170中之隙孔伸出,Μ使饋 窜器180之另一端184是在換能器組合件100之外邊。饋電 器180班伸浦過之P_r覆蓋中之隙孔被密封,例如Μ熔化 之破逋寒18 5密封W維持宰112中之壓力及饋電器180與 P_r薄蔫170之霄氣絕緣。饋電器180是與電氣連接至導 -5- ---;---_-----,------訂------崎· I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明(Γ ) 賻134。窜楝〗3 0—般地包含一電鍍之穿孔(未顧示)Μ允 許導辑13 4(在電極130之底部表面上)與接觸於電極130之 卜方夹而之钃霄器180之端182電氣連接。因之纊電器180 掃供雷氣瘅接於窜容器]38之一極板(即是導體134)。由 於隔瞎120杲熔接卒P_r骰體]60,此P_r骰體160提供電氣 瘅接牵爾窓器138之另一極板(即是隔膜120)。因之電容 器揋供之爾容最可由p_r骰體160與饋電體180之端184 ^間雷氣镩接之一測最電路(未顯示)作測量。實際上換 能器猢合件1()〇之骰髑一般是接地的,如此電容器138提 供之雷容最可簡單地由電氣連接測最電路至饋電器180之 端〗8 4作出測晕。 導賻134—锻地是配置在甯極130之下方表面上圖形” 環狀”組態中(如第2C圖所指示)。此外,有些先前技術 \ 夕聒力式換能器包含超過一個配置在電極130上之導體, 具有相對齡Η之鏞雷器電氣連接至導體。類此之換能器 苺Φ提供二《霄容器:一第一電容器由隔膜120與電極 卜夕一導餺形成,及一第二電容器由隔膜120與電極 U0I·之另一導镅形成。就如所知,Μ此方式提供多個電 容最能有利讷提供對換能器之溫度補償。 宑操作時換能器組合件10〇正常是使用作一絕對壓力換 能器。存此形式中室112正常是由施加一真空泵(未顯示) 苺i?力管172而首先被抽空。室已被抽空後,管172即 被密封,或被夾|卜.Μ維持室112内之真空。此建立了在室 112中之"參考”嗎力。雖然真空是一便利之參考壓力,但 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 1- ! 本紙張尺度適用中國國家標隼(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐〉 較Μ部中央桴蜱而只工消費合作社印家 A7 _B7 五、發明説明(6) 亦已知有使用其他壓力作參考壓力。由於在室112中之壓 力是已知或是參考壓力,用於構成室112之組件(即Ρ-Γ» 讎及P_r覆綦170)皆被引用為P_r組件(即"參考臛力"組件> 。在參考壓力已建立在室11 2後,屋力管142®達接至一流 體源以允許測遣該流體之K力。以此方式_結鼷力管142 之输送流讎主室並至隔離之下方表面),此流讎之β 力即是要_量者·由於室中之屋力未知,或待澜量, 故用於構成室110之阻件覆蓊140及Ρ_χ毅* 150>即 引用為P_x組件(邸"未知壓力"組件)》隔膜120之中心在反 應於室110典112間之差別壓力而上下撓曲。換能器組合件 100允許澜置隔膜之彎曲量,因此並允許_量室110中相對 室112中已知β力之醒力》 換能器组合件自然亦能使用為一差別壓力換觴器。 以此形式,壓力管142是連接至一第一流讎源(未顯示}, 而壓力管172是連接至一第二流體顙(未願示其次換 能器组合件允許二流臞之壓力間不同之澜量。 換能器組合件1㈣有一項問題偽两於導驩134與隔膜120 間之空間》在換能器組合件l〇fl操作畤,隔膜12Q自然是 上下撓曲,因此改變隔膜120輿導體134間之空間。但是 換能器組合件為了要提供一貢的精確功力讀數,在 隔膜120輿導黼134間提供一恆定樣稱空間就是重要之事 β因之在一特別壓力差別下,重要的是確保隔膜120輿導 體134間之距離常是相同。此在隔膜120與導黼134間之鉅 離,當作室110典室112間之壓力差別者可引述為"樣稱距 -8 - 本紙張尺度適用中國國家榇準(CNS ) Α4規格(210X297公釐) {請先閱讀背面之注^^項再填寫本頁)
經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明(7 ) 雛” Uontina丨distance)。在製造大量之換能器組合件 100時,軍要的是一貫地提供相同之標稱距離於隔膜120 與導賻1 3 4之間。更要在換能器組合件100之每一單元中 .要緊地保譖其標稱距離保持恆定並不會随時間而變化。 先前抟術之換能器組合件1〇〇包含一彌性元件192,用 W維持一恆定榑稱距離。彌性元件192是擠壓在卩」覆蓋 170明雷裱130之頂部之間。‘P_r骹體160之下方肩164支持 雷择;130之_136。由於P_r覆蔫170是熔接至P_r殻體160, 汝褶件元件192提供一彈簧力量向下推壓電極130並保持 雪择M3 0存一枏對P_r骰艚160之固定位置。彌性元件192 浦常是便用一 ”波形墊圈"(wave washer)安裝,(即一金 鼷0形環式垫圈,其在垂直於環之平面方向有一處或多 嫌_曲)。锂性元伴192提供一頗大之彈簧力量(例如大約 I 一百磅左右)芮而保持電極130在一穩定之位置。 雖然換能器關合件1 〇 〇穩定地保持電極} 3 〇,但導體1 34 餌隔_120間之標稱距雛能反應於,例如機械的或熱效的 斯輾.铧一長時間後有小最的變動。如精於此技術之人 土所認知.Μ限镰保持位置之元件,如電極130能經一長 時間後屏掲小最移動(有時稱為”潛變”)。此種潛變有時 能改擊棒稱距雛並因此不利地影響換能器組合件100之精 確。确聒之情況亦能致使電極130之不需要移動。在換能 器相合件100之正常操作時,隔膜120決不會接觸電極130 。但#超過換能器組合件100之ΙΗ常操作限度之在室110 中之大膜力(印過in能致使隔膜120接觸電極130並輕微 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、-'° 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) A7 B7 經"部中央標率局員Η消費合作社印裂 五、發明説明 ( 2 ) 1 1 1 m m m 忡 元 件 192 。當過 m 況 消失 5 滿 模 120回 歸 至 正 1 1 I 常 操 作 位 冒 時 强 性 元 件 1 92再擴張並_ _置電極130。 有 1 1 時 爾 m 130之新位冒將是稍微不間j 於過壓情況前之原來位 讀 先 1 1 胥 〇 眈 種 位 胥 之 改 能 導 致 檷 稱 距 離 之 移 位 並 不 利 地 影 閱 1 背 1 m 梅 辟 器 m 合 伴 1 0 0之精確度 〇 之 闶 本 發 明 之 冃 榑 是 提 供 —* 種 具 有 改 良 式 裝 配 電 極 之 注 意 1 I 事 1 m 力 式 換 能 器 m 合 件 〇 項 1 填 1 發 明 m 寫 本 % I 太 發 明 提 供 __. 檷 用 於 一 壓 力 式 換 能 器 中 一 電 極 之 改 良 頁 '---· 1 I 裝 RR 〇 該 奘 m 提 供 電 極 穩 定性之改良。 1 I 本 發 明 一 形 態 中 提 供 __. 種 改 良 之 壓 力 式 換 能 器 組 合 1 1 伴 〇 m 合 件 包 含 一 毅 體 * 一 隔 膜 t 一 板 » 一 絕 緣 體 » 1 訂 1 1 及 一 m 餺 〇 般 體 界 定 一 內 部 空 穴 〇 隔 膜 是 裝 配 在 毅 體 中 分 割 內 部 空 穴 成 一 第 一 室 及 一 第 二 室 〇 隔 膜 之 一 部 分 1 1 反 m 於 大 於 存 第 二 室 中 m 力 之 第 一 室 中 之 壓 力 而 撓 曲 於 1 | 第 一 方 向 • 目 此 部 分 隔 膜 反 應 於 大 於 在 第 一 室 中 壓 力 之 1 第 二 窣 中 m 力 而 槔 曲 於 枏 反 第 ___. 方 向 之 第 二 方 向 t 板 是 1 第 一 Ά 第 二 室 之 一 中 固 定 主 0 體 (例如用熔接或螺釘) 1 I 〇 m 緣 賻 亦 是 安 詈 存 眈 室 中 並 是 固 定 至 極 板 〇 導 體 是 安 1 1 詈 m 埭 艚 h 〇 隔 膜 和 導 體 賦 有 電 容 量 之 特 激 〇 此 電 容 1 1 最 是 代 表 存 第 __. 和 第 二 室 中 壓 力 間 之 不 同 〇 1 I 本 發 明 之 另 一 禅 形 態 κι 提 供 一 種 換 能 器 組 合 件 » 其 包 1 1 含 —· m 髒 * 一 隔 膜 • 一 導 體 * 及 一 强 性 元 件 0 此 彈 性 元 1 1 件 搭 安 冒 在 m 艚 中 並 提 供 一 力 量 負 餳 移 導 體 離 開 隔 膜 〇 1 I 10 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 經濟部中央標準局員工消費合作社印繁 A7 B7 五、發明説明(9 ) 本發明之其他目的及優點亦將由精於本技術之人士自 下寸詳卵說明而更為明瞭,其中幾個實施例將簡單地使 用本發明之最佯樽式顯示及說明。亦將認識本發明能使 用於其他及不間之實施例,及其细節可能在各種方面修 改.全部都不會療背本發明。因此圈示及說明是認為本 案由請离利範圃中所指明之應用領域之本質解說而非是 一播瞅制或樺限之意義。 為要完令瞭解本發明之本質和目的應參考下面之詳妞 說明祐押解關聯之伴随鬮示,各匯中相同之參考數字皆 闲於栴示枏固或枏似之零件,其中: _式指LI說„朋_ 第1A_顧示先前枝術組合之換能器組合件之局部剖面 傾禅.酾; 第1B画醑示在第1A麵中所示之組合件之分解剖面側視 第2A矚顧示第1A-1B園中所示之P_x骰體之俯視圜; 第2B圃顯示第1A-1B黼中所示之P.r殼體之俯視圖; 第2Γ國顯示第中所示之電極之底視圖; 第3 A_顯示根據本發明構成之一電容性壓力式換能器 朗合伴之局部剖而側視圓; 第3 B_顧示第:? A圖中所示之組合件之分解剖面側視圖; 第4A及4B國分別顯示第3A-3B圖中所示之電極之最佳 實胸例之剖面側視矚及底視園; 第5圖顯示根據本發明構成之另一壓力式換能器組合 -11- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 1 . 經濟部中央標準局貝工消費合作社印繁 A7 B7 五、發明説明(^ ) 伴之分解剖面側視國; 第(5國顯示第5圔中所示之P_r覆蓋之底視圖; 第7 __示根據本發明構成之又另一壓力式換能器組 合件之分解剖而俩視圖;Μ及 第8國醻示根據本發明構成之再另一壓力式換能器組 合伴^分解剖而側視画。 齡佯育桐例之詳冊說明 第3Α_額示根撺本發明構成之一組合之換能器組合件 ?00夕局部剖而俩視鬮。第3Β園顯示換能器組合件200之 分解剖而側裉圖。存此較佳實施例中用於構成換能器組 合件200之多樣組件是相同或相似於先前技術之換能器 相合伴100使用之組件。更特別的是換能器組合件200包 含卩_>(薄蓋140, Ρ_χ骰體150,隔膜120,P_r毅體160及 P-r薄蒹170之組件皆是用於先前技術之換能器組合件 100中。佴是換能器_合件200不用電極130而包含改良 窜概2 30。审加換能器組合件200刪除彈性元件192之需 華而磨可不包含此元件。 如國先前抟術之換能器組合件100—樣,P„x覆蓋140, P_x殺髑150.及隔腸120是連接在一起Μ形成密封之內 宰110於隔_之一例。亦如先前技術之換能器組合件100 一樣.隔膜120. P_r骹髑160及P_r覆蓋170是埋接在一 起W形成密封之內室112於隔膜之另一側。 雷樺2 30包含一金臑板232, —間隔物234,及一陶瓷 板2 或其他形式之絕緣物)。間隔物234是定位在金靨 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) -----------, .------,π------β — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明(u ) 板2 32朗_瓷板236之間。一結合件(未顯示),類如螺钉 ,緬钉.或黏著酬保持金靨板232,間隔物234,及陶瓷 板236夯宙地在一起。在一些實施例中,間隔物234是形 成為余画板2 32之一幣艚部分,而在其他實施例中,間 隔物23 4阜提供為一分離及顯明組件。金鼷板232及P_r If鵂160导砷忡地罔定在一起,例如用熔接,因之金屬 柢?32:^外固ϋ接觸於_164。陶瓷板236之下方表面是 W習知式樣提供有一罱氣導體238(顬示在第3Β匾中,但 不#第3 Α圃中)。固定金顧板232至肩164 Μ安定地定位 _饍238伸其朗隔_120有空間關係。導體238和隔膜120 形成一雷客器240。在導艚238與隔膜120之禰稱距離可 由例如撰擇一具有所要厚度之間隔物234控制之。 換能器組合件200包含一電氣傳導之饋電器280,用於 窜氣地瘅接牵導艚2 3 8。饋電器280之一端282接觭陶瓷 板2 36之h方表而。饋電器280延伸穿過金國板232及P_r 爾蔫170之隙孔,而饋電器280之他端284則在換能器組 合件200之外»。如先前技術之換能器組合件100,有饋 罱器2 80延伸其中之P_r覆蓋170之隙孔被密封(例如用玻 璃寒ISIS) W維持室〗12內之壓力及使鎖電器280電氣絕緣 於P_r瘠蔫170。金臛板23 2界定一隙孔,由第3B_中之 線2 33指出.其中即由饋電器2 8 0延伸通過。此隙孔較佳 地早較饋爾器280大,W使饋甯器280不會接觴金靨板232 。眈使餳窜器280與金鼸板232電氣絕緣,並亦使板232兩 瘠^聒力相WM確保管172中之壓力是連通至隔膜120之 • 1 3 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210Χ297公釐) ----------」------ΐτ------片、I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印掣 A7 B7 五、發明説明(α ) 卜方表而。饋電器280之下方端282是電氣連接至導體238 罱器280是霄氣缠接至電容器2 40之一極板(即是導體 8).而卩_「骹體160即是雷氣連接至電容器240之另一極 板(即|隔_ 1 2 0 )。 存較佯奮油?例中,髑電器280不是结構式支持陶瓷板 2M。反而陶瓷板23 6是由缠接牵硬性固定P_r殼體160之 余曝板? 32专持之。如第5,7,8圖中更清楚之顯示,電氣 _爾器可包含一薄甯銷及一導電螺旋彌簧。此銷是硬性 W因审牵P_r覆薷而螺旋玀簧刖自銷延伸至陶瓷電極。 吐禪箐畢雷氣瘅接牵安置在陶瓷電極上之導體用,此弹 篝祐不提供此電橘之結構支持。 朗先前抟衡之甯橘13 0(願示於第1A及1B圖中)不一樣, 梅能器組合件200之電欏2 30不是由壓縮一彈性元件所產 牛夕彌镑力最保持在位詈上。而是電極230之金圈板232 阜碑件地固定牵P_r骰體160(例如用熔接或螺釘)。一結 合件硬忡地保持電極230之陶瓷板2 3 6(及導體238)經間 隔物2 3 4牵余靨板2 32。此啻質地降低電極230經長時間 柊_或潜繫之趨勢,因而改良換能器組合件200之性能 。罱極2 30對反赚於機械及熱效衝擊K及對過壓情況之 稱定均有改良。由於金鼷板232是硬性地固定至卩_「殻體 160.怫膊情況不會傾向於致使有任何可査覺之電極230 柊_。 存換能器組合件200之最佳實施例中,陶瓷板236是由 俥固宗陶瓷板236之中央部分金靨板232而裝配。陶瓷板 -1 4- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、-° 經滴部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明(〇 ) 2 之外固嫌是與P_r骹體160有一空間相隔而並非接觸 。呔明先前枝術之換能器組合件100顯著不同,此中陶 瓷電極130之令部外周邊是由P_r•殻體(及彈性元件192) 守持。此改良了窜欏230之穩定性。 換能器擗合件200亦是較先前技術之換能器組合件100 审簡隳地膊浩。當興造先前枝術之換能器組合件100時, 爾禳130中之階梯或扃136必須精密地加工。但在換能器 粗合件200中剔除了扃之需要,因此降低臨界形體之公 華0 罱禳2 3 0之大小較佯地是決定為配合如先前技術之換 能器纟目合件之P_r骹體中之替換零件。從事在先前技術 夕換辟器組合件100R組合件200(tt組合件200是由K電 極2 3 0代換先前抟術之電檷130所構成)之試驗有指出換 能器組合件200提供有改良之性能。 第4Α» 4B圃分別顯示一電極230之較佳實施例之剖面 撕視釀(及痣視鬮。在此實_例中,金围板232,間隔物 2 3 4.及陶瓷板2 36之每一個皆界定一中央纘孔242。鑽 孔242存金賺板2 3 2中之部分較佳是切螺紋Μ允許一螺訂 244(顯示於第4Β圖中)保持金鼸板,間隔物234,及陶瓷 板23ft—起。陶瓷板23β亦最佳界定一沉陷246,其是連 接至耮孔242之並較其寬W允許螺釘244之纘维坑。有箱 要W眈方式提供螺钉2 4 4之螺維坑W防止螺釘2 4 4之任何 部分推人霄氣導賻238與隔膜120間之空間內。在其他實 袖?例中.一锄訂或一黏著繭可用Μ代替螺釘244。在又 -1 5 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐) n m m I -- - - - -- > · - - 1 - - I T m n m----------n ^ I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經滴部中央標準局員工消費合作社印掣 A7 B7 五、發明説明(4 ) 另一啻_例中,嫘釘(或螺栓)244之一端通過纘孔244伸 钲及一螺帽(未顒示)是旋入在其端與螺釘244協同保持間 隔物2:? 4朗板232 ,236—起。在此實施例中,鑽孔242可Μ 或不可以切螺紋。第4Α_亦顯示界定在金屬板232中之隙 孔2 4 8 .昍浦怫此隙孔。 存备較佯官施例中,Ρ_χ薄蓋140, Ρ_χ殻體150, 1>_「殻 髑1(50. P_r覆薷170,金饜板232,及間隔物234皆Μ相同 之余瞩骋作(例如用英高賴"INC0NNEL®'—種鎳,锇,及 铬之合金)。陶瓷板2 3 6較隹是Μ礬土或鎂橄攬石(即矽酸 鐽)郸作。 為便於說明,換能器組合件200已是描述為具有一單一 導醑穷胥#罱極230上,但是精於本技術之人士將認識在 其他啻嘸例中.換能器組合件200可包含一個或多個導體 安胥在霄禳230 h。此外,精於本技術之人士亦將認識板 232不需接觸P_r毅體之肩164,而是能代之Μ固定至P_r 躲餺160或P_r薄蓋170之其他位置。此外在其他實施例 中.板232亦能被_除而陶瓷(或絕緣體)板236能由硬性 因审牵P_r穀艚或P_r覆蓋之另一種形式之金靨结構所支 持° 第5圈顧示根捕本發明櫞成之一換能器組合件300之 另一宵施例之分解剖而側視鼸。換能器組合件300包含 隔膊1?0奘配存P_r骰體160與一合成一體2P_x殻體/覆 蔫3 4 0。隔瞭1 2 0之外周邊是固定至Ρ X殻體/覆蓋3 40 Μ 形成存隔隖120之一側上之第一内部密封室U 0。Ρ 殼 -1 6 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐) ------:-----i-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
,1T 經漪部中央標準局員工消費合作社印繁 A7 B7 五、發明説明(d ) 膊/覆蓋3 40#提供有_力管142M允許聯结加壓氣體源 (未顯录)牵窣110。P_r骰髖160亦是固定至隔膜120之外 画靖存隔瞭120相反於室110之側。 梅能器網合件300亦包含一改良之P_r覆蓋370及一環狀 彌忡元件390。第(5 («顯示P_r•覆蓋370之底視圖。如第5B _及第β國顧示,P_r•覆蓋370之下方表面是階梯化並界 审一中央而3 72. —第一扃373, —第二肩374, —第三肩 3 7 5.及一第四觸3 7β。第一扃373至少繞中央面372之一 部分固请班伸;第二肩3 74至少繞第一扃373之一部分周 *钲伸;第三膚3 75牵少饒第二扃374之一部分周邊延伸 ;及第四肩3 76牵少繞第三肩375之一部分周邊延伸。在 國說之實_例中,央而372是圓形,而扃373 -376皆是環 形祐是與中央而3 72同心。第一輿第二肩373, 374是由 垂首商378分_。 當換能器組合件300組合時,P_r覆蓋370之第四肩376 捺觴P_r骹餺1R0之上方肩166。第三扃375最佳接觭,或 接圻接觴卩_「骰體160之下方肩164。在圖說之實施例中, 第二眉374爭自第三扃3 75凹進(M便第二肩374之安置較 第三肩37 5更辕於隔膜120),第一扃373是自第二肩374凹 椎.及中央而3 72是自第一肩373凹進。 換能器栩合件3 〇〇亦包含一電極330。電極330具有如 罱極1 3 0相同之一般形式.但窜極3 3 0之外周邊較小於電 保130者。《常霄極3 30是圓简形。電極330之下方表面 辱·睹梯形並提供一中央面及一肩336,其繞中央面之周 -17- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本I)
、1T Α7 Β7 五、發明説明(/“) 邊延伸。霣棰330亦包含一導讎(未顯示),像箱積至下 方表面之此中央面上。 當換能器組合件3 0 0組合時,P - r覆31 3 7 0是硬性地附 砮(例如用熔接)至P-*·殼體16〇。P_r覆綦37 0,P_r毅體 160,及晡膜120協同形成第二密封内室112在第一内室 H0之對面》雄然没有圈説,但精於本技術之人士將認 識P_r覆篕370可提供有一 β力管以提供出入口至室112 »镡性元件390之外部分停止在P-Γ殼醱160之下方腾164 上。當換能器组合件300組合時,R_r覆綦之第三肩375及 P-γ殼鼸之下方扃164最好是擠壓镡性元件390之外属邊。 蘀性元件3 90之内周邊接觸爾極3 3 0之肩336,並提供有助 於推鼷電檷330離開隔膜12Q之力量β更特叩的是此禪性 元件390推壓霣極以使霣極330之上表面接觸P_rll蓋之第 一扃3 7 3兹由其支持》進一步地PJ覆綦370之垂亶面378 限制電極330之移動於平行__12〇之方向。P_r覆«370 之大小最佳是成形為能使霉極330相稱的配合於分隔第一 與第二扃3 7 3 , 3 7 4之垂直面378内。 在圈說之實施例中,換能器組合件300包含兩锢《氣 鋇電器,其延伸通遇Ρ-Γ覆藎3 7 0並造成霣極接_於霣棰 330之下方表面上安置之阐镧導體(未顯示)。每一 饋 霣器380是由可用例如玻璃製成之绝緣龌395»絶嫌鼸 395«氣绝嫌饑轚器380輿P — r覆篕370並亦維持第112内 侧之_力。 P_r覆綦370硬性地支持電梅330並防止«槿330自隔膜 120向外之方向移動(例如反襄於一遇歷情況時 >。彈性 元件390提供頗小之力董(例如約1-磅左右)以防止電槿 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS >Α4規格(2丨0Χ_2^^嫠) (讀先閲讀背面之注項再填寫本I ) 訂 .#漭部中央*!.卑而货工消费合作社印笨 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明(7 ) 33 0向著隔_120移動。由彈性元件390所施加之頗小力 晕維持雷铕卜.方表面與p_r覆蓋之第一肩373相接觴。P_r 覆蓋3 7 0闶獲性地支持電極3 3 0並硬性的防止電極3 3 0 自隔_120向外之方向柊動。 先前抟術之換能器組合件1〇〇使用彌性元件192 Μ提供 一額^:之力最(例如100磅)Μ推壓電極130向下直至隔膜 試圓砷件地保持電樺在位置上。與先前技術相反,在換 辟器艄合件3〇〇中,喱性元件390提供一頗小力(例如10 碚)W偏柊爾樺3 30向上雛開隔膜,而P_r覆蓋370硬性地 昉止®禳330自隔膜120雛開之方向移動。換能器組合件 200RI fr有利W維持存隔_120與電極330之導體(未顯示) 間夕一實質恆定撢稱間距。 第7國顧示根據本發明櫞成之一壓力式換能器組合件 400夕另一啻庵例之分解側視_。換能器組合件400最佳 包含相同用於組合件300(顯示於第5圖中)之Pj殻體/ 覆蔫3 40¾ P_r覆蓋3 70。但是換能器組合件400不用使用 於換能器網合件3〇〇之P_r殼體160及電極330,而包含一 圖筒形P_r'骹體460及一圓筒形電極430。P_r殻體460是較 P_r骹餺160簡爾.因P_r骹體460僅包含一單一肩466(而 不早兩俩肩)。精於本抟術之人士將認識提供每一肩狀 霈一分鯡之加丁步驟。如此,由於P_r殼體460僅包含一 _ 一肩·掰P_r•殺餺1R0相較僅需較小之成本去生産β 相似的是雷橄4 3 0較電極3 3 0簡單。如上文所討論,電 禳:? 30提供一扃336。電欏430刖不提供一扃而提供一槽 -19- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、νβ 經濟部中央標準局員工消費合作社印繁 A7 B7 五、發明説明(1 ) 02牵巾茌爾樺430固邊之一部分上,精於本技術之人士將 認識提供類如槽43 2之槽是較不昂貴於提供一如肩336之 _#頻如爾樺430之陶瓷組件上。因此電極430M較電極 2 30為小之成本牛產。 常相合時,卩_「覆蒲3 70是固定至?_「殻體460,以便 P_r薄蔫270之肩376接觸P_r骹體之扃466。彈性元件490 夕外画濞不要由P_r骹體之一部分支持,而寧可固定至 P_r薄蔫3 70夕第三扃3 75,例如用螺訂492或類如鉚訂或 鮎著其他结合件。彍件元件490之內周邊在槽432之 肉側捺觴甯樺430妝麻加一力量偏移電極430靠在P_r毅 賻270 ;>第一 0 373卜.。彌性元件490與P_r覆蓋370提供 改良之支持至電極4 3 0 .與在換能器組合件3 0 0 (顯示在 第5國中)提供者相似。但不是使用P_r殼體之一肩去支 持禪件元伴之外固邊,寧使镏性元件之外周邊固定至 P_r·覆蔫。tt有利地刪除在Pj殼體中對額外肩之需要。 第8鬭顯示根據水發明構成之更另一壓力式換能器組 合伴F5 00之剖面側視圖。換能器組合件500包含一管狀 ?^夸棺5 90。卩_广支撐5 90界定一中央隙孔592。卩_^支撐 !^0之下方表而是成階梯形並界定一第一肩593, —第二 » —第三·595。第一扃593鐃隙孔592之周邊延 Λ 伸。第二扃鐃第一肩59 3之周邊延伸。第三肩595繞第二 膚5 94之固»伸征。第一及第二扃593, 5 94是由一垂直 而5 9R分離。存眈_說管_例中.中央隙孔592是圓形; 第一.第二及第三肩5 9 3,594 ,595皆是環狀;及第一,第 -20- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐) ------------------訂------一 I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經漓部中央標率局員工消費合作社印顰 A7 B7 五、發明説明(l?) 二.玲第三肩593.594.,595皆與中央隙孔592同心。 當換能器相合件500被組合時,彈性元件390之外周邊 夕下方表而停丨卜.在P_r骰賻160之肩164上。P_r支撐590之 第三盾停it存彈件元件390之外周邊之上方表面上。 彌件元件3 90之內周邊偏移電極330之肩336向上,Μ致 電極:Π0由P_r专撺590之第一扃593及垂直面596而停留 局限。P_r薄蔫170是固定至匕^骰體160,以使P_r覆蓋 170之下方表而接觸P_r骹髖160之上方肩166。彈性元件 檇瞟於卩_^骹賻170WP_r·支撺590之上方表面之間 並使出一向下力量至P_r支撐物5 90上。 先前抟術之換能器組合件100使用金靨之弾性元件192 W直接地偏柊黼瓷爾橛於向下方向。與之相反,換能器 相合物5 00中之余_彌性元件偏移P_r支撐物590而不是 陶瓷電極。闵此存換能器組合件500中,敝露於由弾性 元件192提供之頗大力最之全部組件(即是P_r支撐590, 彌忡元件3 90. P_r骰艚160,及P_r覆蓋170)皆可用相同 材料(例如金靨)興作。陶瓷電極330是由P_r骰體590支 持而不是彍件元伴192。換能器組合件500因此提供對電 棰之更為稱定之改良支持。 闶為在h沭之_具中可造成某些改變而不會背離本發 明在呔牵诛之領域,故在上述說明中或顯示於匾示中之 令部材料皆竟鬮# 一禪國示之解釋而無限制之意義。如 一奮例罱樺4 3 0(顯示於第7鬮中)能使用為不同之組合 伴300(顧示於第5鬮中)或組合件500(顯示於第8圖中) -21 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T 經Μ部中决#準而只-T消費合作社印繁 A7 __ B7 五、發明説明(V ) 中之霉極。相似的是霣極330(顯示於第5圈中)能使用 於變化之組合件400中(顯示於第7圈中如》—實例, 電極230之金鼷板232(顯示於第3A-3B函中)能固定至P_r 覆蓋而不是P_r殼體β又如另一實例,在國說環狀導臞 時,精於本技術之人士将認嫌,不同形狀及數目之導體 可安置在電棰上以輿隔膜形成諸霣容器。再如另一實例, 在電極2 3 0 (顳示於第3Α及3Β_中)之較佳實施例中,僅 有陶瓷板236之中央部分是固定在金屬板232。但精於本 技術之人士将認識此是一種較佳資施例不是本發明之一 嫌極限β在其他實施例中,絶緣板236之其他部分可固 定至金鼷板323。進一步地,在其他實施例中之绝鐮板 236之部分或全部周邊亦可接嫌P_r殼體160。 -22- 本紙張尺度適用中國國家榇準(CNS ) Α4規格(210X297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
A7 B7五、發明説明(W ) 耷考符號說明 100,200,300.400,500...換能器組合件 110...................第一室 112...................第二室 120...................隔親 1 3 0.230.330 ...........電極 1 40...................P_x 覆蓋 1 5 0...................P _ X 殼體
13 2.152,162,174,592...隙孔 133.15 3.1H 2 3 3 · 2 6 3 ...線 13R. 154. 164. 166,3 3 6. ..IS (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經消部中央標率局員工消費合作社印聚 1 5 R . 1 6 8...............下方表面 1 42.1 72 ...............壓力管 144,248...............中央隙札 160...................P j殻體 170...................P._r 覆蓋 164...................下方肩 1 RR...................上方肩 13 5.238 ...............中央面 1 .S4...................導體 1 3 8,240 ...............電容器 180.280.380 ...........饋電器 184.182.282.284 .......端 185...................玻璃塞 -23- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X29*7公釐) 訂 經滴部中央標率局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明(_ ) 1 9 2 , 3 90 , 4 90 ...........翬性元件 2 3 2 ...................金腸板 2 3 4 ...................間隔物 2 3 R...................陶瓷板 2 42 ...................纘孔 244 ...................螺钉 340 ...................P —X殻體/覆蓋 37 0 ...................改良之P_r覆蓋 37 6 ...................第四肩 37 2...................中央面 3 7 5.595 ...............第三肩 3 7 8.596 ...............垂直面 3 7 4.594 ...............第二肩 39 5...................絕緣體 460...................圓筒形P —r殻體 4 3 0..................._筒形電極 466 ...................單一肩 43 2...................槽 B90...................P r支持 3 7 3.59 3 ...............第一肩 246 ...................沈陷 (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T 24- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(21〇Χ297公釐)

Claims (1)

  1. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 ~ 第87109577號「具有改良式電極支撐物之電容壓力式換能 器」專利案 (88年12月修正) 7\申請專利範圍: 1. —種壓力式換能器組合件,包括: (A) 一殼體,界定一內空穴; (B) —隔膜,裝配在該殻體中並分隔該內空穴成爲一第 一室及一第二室,該隔膜之一部分在反應於該第一 室中之壓力是較高於該第二室中之壓力時,以一第 —方向撓曲,該隔膜之該部分在反應於該第二室中 之壓力是較髙於該第~室中之壓力時,以相反於該 第一方向之一第二方向撓曲; (C) 一板在該第一室中固定至該殼體; (D) —絕緣體,安置在該第一室中,該絕緣體是固定 至該板: (E) —導體,安置在該絕緣體上,該導體及該隔膜具有 一電容量之特徵,該電容量是代表在該第一與第二 室中之該二壓力間之不同。 2. 如申請專利範圍第1項之組合件,其中該板及該殼體 皆是金屬的。 3. 如申請專利範圍第2項之組合件,其中該板是熔接至 該殼體。 4. 如申請專利範圍第1項之組合件,其中該絕緣體包括 ~陶瓷材料。 (請先聞讀背面之注f項再填寫本頁) Ύβ 線 ! 本紙張尺度逋用中國國家標準(CNS ) M規格(21〇χ297公兼)
    經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 ~ 第87109577號「具有改良式電極支撐物之電容壓力式換能 器」專利案 (88年12月修正) 7\申請專利範圍: 1. —種壓力式換能器組合件,包括: (A) 一殼體,界定一內空穴; (B) —隔膜,裝配在該殻體中並分隔該內空穴成爲一第 一室及一第二室,該隔膜之一部分在反應於該第一 室中之壓力是較高於該第二室中之壓力時,以一第 —方向撓曲,該隔膜之該部分在反應於該第二室中 之壓力是較髙於該第~室中之壓力時,以相反於該 第一方向之一第二方向撓曲; (C) 一板在該第一室中固定至該殼體; (D) —絕緣體,安置在該第一室中,該絕緣體是固定 至該板: (E) —導體,安置在該絕緣體上,該導體及該隔膜具有 一電容量之特徵,該電容量是代表在該第一與第二 室中之該二壓力間之不同。 2. 如申請專利範圍第1項之組合件,其中該板及該殼體 皆是金屬的。 3. 如申請專利範圍第2項之組合件,其中該板是熔接至 該殼體。 4. 如申請專利範圍第1項之組合件,其中該絕緣體包括 ~陶瓷材料。 (請先聞讀背面之注f項再填寫本頁) Ύβ 線 ! 本紙張尺度逋用中國國家標準(CNS ) M規格(21〇χ297公兼) 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 A8 B8 C8 D8 '申請專利範圍 5. 如申請專利範圍第1項之組合件,其中該絕緣體之僅 有其一中央部分固定至該板,且一間隙是提供在該絕 緣體之外周邊與該殻體之間》 6. 如申請專利範圍第1項之組合件,更包括一間隔件, 安置在該絕緣體與該板之間。 7. 如申請專利範圍第i項之組合件,其中該板包括一間 隔件,該間隔件是安置在該絕緣體近側。 8. 如申請專利範圍第i項之組合件,更包含一導電之饋 電器,該饋電器之一端是安置在該第一室中,而該饋 電器之另一端是在該殻體之外,該饋電器延伸通過在 該板及該殻體中之隙孔,該饋電器是電氣地連接至該 導體並是電氣地與該板及與該殼體絕緣。 a—種壓力式換能器組合件,包括: (A) —殻體,界定一內空穴; (B) —隔膜,裝配在該殻體中並分隔該內空穴成爲一第 一室及一第二室,該隔膜之一部分在反應於該第一 室中之壓力是較髙於該第二室中之壓力時,以一方 向撓曲,該隔膜之該部分在反應於該第二室中之壓 力是較髙於該第一室中之壓力時,以相反於該第一 方向之一第二方向撓曲; (C) 一板,在該第一室中固定至該殻體; (D) —絕緣體,安置在該第一室中; (E) —結合件,固定該絕緣體之一中央部分至該板; -2- 本紙張尺度逋用中國國家標率(CNS ) Α4規格(210X297公釐) ---^--------严,----------------訂.------^ (請先Μ讀背面之注$項再嗔寫本頁) A8 B8 C8 -----------D8_ t .......... 11 " "' ..... '申請專利範圍 (F)~導體,安置在該絕緣體上,該導體及該隔膜具有 一電容量之特徵,該電容量是代表在該第一與第二 室中該二壓力間之不同。 ία如申請專利範圍第9項之組合件,其中該結合件包括 一螺釘。 11. 如申請專利範圍第9項之組合件,其中該結合件包括 一鉚釘。 12. 如申請專利範圍第9項之組合件,其中該結合件包括 一黏著劑。 13. 如申請專利範圍第9項之組合件,其中該板硬性地支 持該絕緣體。 14. 如申請專利範圍第9項之組合件,其中該殻體及該板 皆是金屬的。 15. 如申請專利範圍第14項之組合件,其中該板是熔接至 該殻體。 16· —種壓力式換能器組合件,包括: (A) —殼體,界定一內空穴; (B) —隔膜,裝配在該殻體中並分隔該內空穴成爲一第 —室及一第二室,該隔膜之一部分在反應於該第一 室中之壓力是較高於該第二室中之壓力時,以一第 一方向撓曲,該隔膜之該部分在反應於該第二室中 之壓力是較高於該第一室中之壓力時,以相反於該 第一方向之一第二方向撓曲; -3- 本紙張尺度適用中困國家梯準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 (C) 一板,在該第一室中固定至該殼體; (D) —絕緣體,安置在該第一室中; (E) —間隔物,安匱在該板與該絕緣體之間; (F) —結合件,固定該絕緣體之一中央部分及該間隔物 至該板; (G> —導體,安置在該絕緣體上,該導體及該隔膜具 有一電容量之特徵,該電容量是代表在該第一與第 二 室中該二壓力間之不同。 17-如申請專利範圍第16項之組合件,其中該結合件包括 一螺釘。 如申請專利範圍第16項之組合件,其中該結合件包括 —獅釘。 19. 如申請專利範圍第16項之組合件,其中該結合件包括 一黏著劑。 20. 如申請專利範圍第16項之組合件,其中該殻體及該板 皆是金屬的。 2L如申請專利範圍第20項之組合件,其中該板是熔接至 該殼體。 22·—種壓力式換能器組合件,包括: (A) —金屬殻體,界定一內空穴; (B) —隔膜,裝配在該殼體中並分隔該內空穴成爲一第 一室及一第二室,該隔膜之一部分在反應於該第一 室中之壓力是較高於該第二室中之壓力時,以一第 本紙張尺度逍用中國國家橾率(CNS ) A4规格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 #、申請專利範園 I - n - n υ ϋ I I I I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 一方向撓曲,該隔膜之該部分在反應於該第二室中 之屋力是較高於第一室中之壓力時,以相反於該第 一方向之一第二方向撓曲; (C) 一金屬元件,在該第一室中固定至該金屬殻體之 至少一部分; (D> —絕緣體,安置在該第一室中,該絕緣體是固定 至該金屬元件; (E)—導體,安置在該絕緣體上,該導體及該絕緣體具 有電容量之特徵,該電容量是代表在該第一與第二 室中該二屋力間之不同。 231~種壓力式換能器組合件,包括: (A) —殻體,界定一內空穴; 線 (B) —隔膜,裝配在該殻體中並分隔該內空穴成爲一 第一室及一第二室,該隔膜之一部分在反應於該第 一室中之壓力是較高於該第二室中之壓力時,以一 第一方向撓曲,該隔膜之該部分在反應於該第二室 中之壓力是較高於該第一室中之屋力時,以相反於 該第一方向之一第二方向撓曲; 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (C> 一導體,安置在該第一及第二室之一中,該導體 及該隔膜具有一電容量之特徵,該電容量是代表在 該第一與第二室中二壓力間之不同; (D) —彈性元件,安置在該一室中,該彈性元件提供 一力量,其偏移該導體離開該隔膜。 -5- 本紙張尺度逍用中國两家揉率(CNS ) A4规格(210X297公釐) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 24如申請專利範圍第23項之組合件,更包含—絕緣體, 該導體是安置在該絕緣體上。 2&如申請專利範圍第24項之組合件,其中該彈性元件接 觸該殼體之一部分及該絕緣體之一部分。 26如申請專利範圍第23項之組合件,其中該殻體包括— 側牆及一覆蓋,該側牆之下方部分是固定至該隔膜之 一部分,該覆蓋之一部分是固定至該側牆之一上方部 分,該側牆,該覆蓋,及該隔膜界定該第一室。 27·如申請專利範圍第26項之組合件,更包含一絕緣體, 該導體是安匱在該絕緣體上。 2&如申請專利範圍第27項之組合件,其中該彈性元件偏 移該絕緣體離開該隔膜朝向該覆蓋。 29·如申請專利範圍第28項之組合件,其中該彈性元件之 一部分接觸該側牆。 30. 如申請專利範圍第2 8項之組合件,更包含一結合件, 該結合件保持該彈性元件之一部分與該覆蓋接觸。 31. 如申請專利範圍第28項之組合件,其中該覆蓋硬性地 防止該絕緣體自該隔膜離開之方向移動。 32—種壓力式換能器組合件,包括: (A) —殻體,界定一內空穴; (B) —隔膜,裝配在該殻體中並分隔該內空穴成爲一第 一室及一第二室,該隔膜之一部分在反應於該第一 室中之壓力是較高於該第二室中之壓力時,以一第 -6- 本纸張X度逋用中國國家搞率(CNS ) A4规格(210X297公釐) ! I·'1 11·1 ϋ 1 r—— —- I 111 線, (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 —方向撓曲,該隔膜之該部分在反應於該第二室中 之壓力是較高於該第一室中之壓力時,以相反於該 第一方向之一第二方向撓曲; (C) 一金屬板在該第一室中固定至該殻體; (D) —絕緣體,安置在該第一室中,該絕緣體是固定 至該板; (E) —導體,安置在該絕緣體上,該導體及該隔膜具有 一電容量之特徵,該電容量是代表在該第一與第 二室中之該二壓力間之不同。 3S—種壓力式換能器組合件,包括: (A) —殼體,界定一內空穴; (B) —隔膜,裝配在該殻體中並分隔該內空穴成爲一第 一室及一第二室,該隔膜之一部分在反應於該第一 室中之壓力是較高於該第二室中之壓力時,以一第 一方向撓曲,該隔膜之該部分在反應於該第二室中 之壓力是較高於該第一室中之壓力時,以相反於該 第一方向之一第二方向撓曲; (C) 一板,在該第一室中焊接於該殻體; (D) —絕緣體,安置在該第一室中,該絕緣體是固定至 該板; (E) —導體,安置在該絕緣體上,該導體及該隔膜具有 一電容量之特徵,該電容量是代表在該第一與第 二室中之該二壓力間之不同。 本紙張尺度適用中國國家揉準(CNS ) A4规格(210X297公釐) I —Μ I I Ir— I I I I I I I I I I 線, (請先W讀背面之注$項再旗寫本頁) A8
    '申請專利範圍 &•-種壓力式換能器組合件,包括: (A) —殼體,界定一內空穴; (B) —隔膜,裝配在該殻體中並分隔該內空穴成爲一第 一室及一第二室,該隔膜之一部分在反應於該第一 室中之壓力是較高於該第二室中之壓力時,以一第 一方向撓曲,該隔膜之該部分在反應於該第二室中 之壓力是較高於該第一室中之壓力時,以相反於該 第一方向之一第二方向撓曲; (C) 一板,在該第一室中固定至該殼體,該板含有一第 一材料; 〇>) —絕緣體,安置在該第一室中,該絕緣體是固定至 該板,該絕緣體含有一相異於該第一材料之第二材 料; (E)—導體,安置在該絕緣體上,該導體及該隔膜具有 一電容量之特徵,該電容量是代表在該第一與第 二室中之該二壓力間之不同。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -rr *γβ 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度逍用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X297公釐)
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