TW263569B - - Google Patents

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263569 at ____—___ _B7_ 五、發明説明（i ) 本發明是針對光阻劑一比如那些用來形成印刷電路板 者，以及更特別和水性光阻劑有關。 本發明背長眘料 在目前感光影像（photoimageable)組成物被用作防 蝕料（r e s i s t )以形成印刷電路、印刷電路板、熔焊光罩 (mask )或之類的已有一段時間了。最早的光阻劑爲溶劑 性（solvent-borne)和溶劑可顯影的（ solventdevelopable)。水性可顯影防蝕料的發展代表使 用現場和一般環境中溶劑排放減少的一大進展。對於持續 性强調要使現場和一般環境中之有機溶劑降低，已引發對 水性光阻劑-它是以含水液體形成和來應用，的硏究。 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本育) 美國專利號碼5 ，0 4 5 ，4 3 5 -其內容在此納入 本文參考資料，說明一種可在鹼性含水溶液中顯影的水性 光阻劑組成物。該組成物含有一個多功能的單體、一個光 引發劑和一個不溶於水之羧基化丙烯酸共聚物的膠乳（ latex)。爲使組成物安定並可調整其黏度，該專利說明 以鹼一比如氨水、另一個胺類、或氫氧化鈉，來使膠乳聚 合物中和到至少爲2 5 %。 在需要以氨水，一級、二級及三級胺類來中和結合劑 之羧酸官能性的光學顯影組成物中-比如美國專利號碼 5 ，0 4 5 ，4 3 5中所說明的，有試著要在乾燥過程中 將胺類除去。任何殘留的鹼會產生很强的對水敏感度。結 果是使用這些材料的乾燥視窗要很狹小。此外，胺類所需 本紙張尺度逍用中國家標準（CNS〉Α4规格（210Χ297公釐）-4 _ 經濟部中央揉準局貝工消费合作杜印製 263569 A7 B7 __ 五、發明説明（2 ) 求之揮發性也會產生潛在性的環境問題，以致危及原本優 先考慮水性塗膜的基本理由-即無毒性、無排放氣的塗膜 。另外就是，當中和時爲^無胺類#時則會和銅的表面形 成强的螯合鍵，而產生使殘餘物顯影的反應性問題，接著 是蝕刻的延遲發生。 本發明概要 本發明的水性感光影像組成物由含水組成物構成，它 含有A)約3 0至約8 0重量％之其酸價在約4 0至 2 5 0的膠乳結合劑聚合物，B )約1 5至約5 0重量％ 的α，/? -乙烯型不飽和單體-不包括胺基丙烯酸酯（以 下的D)) ，（3)約0. 1至約2 5重量％可生成自由基 的光引發劑或光引發劑試藥系統，D)約0. 1至約20 重量％以便可中和約1至約4 0莫耳％之膠乳結合劑聚合 物酸性的胺基丙烯酸酸：和Ε )最多約4 0重量％的另外 中和用鹼和/或聚醚聚亞胺酯締合增稠劑，其用量足以使 感光影像組成物以含水乳化液形式安定下來，重量百分比 是以成份Α — Ε的總重爲基準。 某呰較佳雠系的詳細說明： 可用於本發明感光影像組成物中的膠乳結合劑聚合物 通常是以α，/? -乙烯型不飽和單體的乳液聚合化來製備 。使用具有足夠酸性的單體以提供約4 0至約2 5 0 ，較 宜至少約爲8 0 ，的酸價。典型的乳液聚合化製程和—些 本紙張尺度適用中國國家揉率（CNS ) Α4规格（210Χ297公釐）-5 - -------__!-，裝------訂-----·—線 « (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央揉準局員工消费合作社印¾ 263569 A7 B7______ 五、發明説明（3 ) 適用之乳液的例子可參見美國專利號碼 3，929，743，該文獻在此納入本文參考資料。 結合劑的剩餘酸性可由具有以下通式的單體提供：

CH2=CRl-C0〇-R2-0-S03H，CH2=CRl-CONH-R2-〇-S〇3H，CH2=CRL COOH ，CH2=R1-COO-R2-〇〇C-R3-COOH ，CH2=CR1-C00-R2-0- PO3H2，CH2=CR1-CONH-R2-〇-P〇3h2 > 和 CH2=CR1-CO-NH-(r4) -COOH， 其中R1是H或Me，{^是匚】一C<5的伸烷基，尺3是（：1 -C6的伸烷基或伸苯基，以及R4是相同或不同並可選自 CH2 和 CHOH，以及 q = l 至 6° 一些適用之酸性單體的特定例子有丙烯酸、甲基丙烯 酸、順丁烯二酸、反丁烯二酸、順甲基丁基二酸、2 -丙 烯醯胺一 2 —甲基丙磺酸、2 —羥乙基丙烯醯磷酸酯、2 -羥丙基丙烯醯磷酸酯、2 -羥基-α -丙烯醯磷酸酯等 等。一個或以上的這類酸性單體可被用來形成結合劑聚合 物。酸性單體可與非酸性單體，比如丙烯酸的酯類-甲基 丙烯酸酯、甲基甲基丙烯酸酯、羥乙基丙烯酸酯、丁基丙 烯酸酯、辛基丙烯酸酯、2 —乙氧乙基丙烯酸酯、第三丁 基丙烯酸酯、1 ，5 —戊二酵二丙烯酸酯、Ν，Ν —二乙 基胺乙基丙烯酸酯、乙二醇二丙烯酸酯、1 ，3 —丙二醇 二丙烯酸酯，癸甲二醇二丙烯酸酯、癸甲二醇二甲基丙烯 酸醋、1 ，4 —環己二醇二丙嫌酸醋、2 ，2 —二羥甲基 (methylol)丙烷二丙烯酸酯、甘油基二丙烯酸酯、三丙 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) 裝 .if ：j«

^ 83108859 珑專利中請索中文说明書修A買 民_ 84年8 Λ县 Α7 Β7 五、發明説明（5 ) 基丙烯酸酯所中和掉。然而，中和作用可以胺基丙嫌酸醋 和另外的鹼一比如氨水或一級、二級或三級胺類，的組合 來完成。可用於本發明之胺基丙烯酸酯的通式如下： A-X-B-C0-CR = CH2 ，其中 A = NZ2，其中Z是相同或不同的，並且是選自Η 、線型或分枝C 1— Cs焼類、C6 — C 12環形或 雙環烷類、苯基或C i — C 4經烷基取代的苯基、 或某基或（：i - C 4單—或雙一烷基取代的棻基， 或者 A = N —六氣妣陡基（p i p e r d i η〔））、N —嗎福咐基 (morpholino) 、Ν - 皮考啉基（picolino)、 N — P塞次偶氮基（t h i a z ! η 〇 ) 、N —伸乙基亞胺 基、或Ν -伸丙基亞胺基。 Β = 0，S 或 ΝΖ，（或當 X 是（CmHzm —〇）^時 則什麼都不是）。 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) X =線型或分枝C : — C 烷類，C 6 — C 12環形或雙 環光烷類、苯基或C i _ C 4經烷基取代基的苯基 、或棻基或C i - C4單—或雙一烷基取代的某基 ，或（CmH2m-〇）η，其中m = 1 — 4以及η = 1 — 20° R = H或Ci— C8烷基。 較佳的胺基丙烯酸酯爲三級胺基丙烯酸酯。一些適用 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) Α4规格（21 〇 X 297公釐） *« t % 263569 A7 B7 五、發明説明（4 ) 二烷二丙烯酸酯、甘油基二丙烯酸酯、2 , 2 -雙（對— 徑苯基）一丙院二甲基丙烧酸醋、三乙二醇二丙嫌酸醋、 聚氧乙基一2 ，2-雙（對—翔苯基）—丙院二甲基丙烧 酸酯、三乙二醇二甲基丙烯酸酯、聚氧丙基三羥甲基丙烷 三丙烯酸酯、乙二醇二甲基丙烯酸酯、丁二醇二甲基丙烯 酸酯、1 ，3 —丙二醇基二甲基丙烯酸酯、〖，2 ，4 — 丁三薛基三甲基丙嫌酸醋、2 ，2 ，4 —三甲基一 1 ，3 —戊二醇二甲基丙烯酸酯' 季戊四酵三甲基丙烯酸酯、1 -苯基伸乙基 1 ， 2 二甲基丙烯酸酯、季戊四醇四甲 基丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、1 ， 5-戊 二醇二甲基丙烯酸酯、和1 ，4 —苯二醇二甲基丙烯酸酯 :苯乙烯和經取代的苯乙烯-比如2 —甲基苯乙烯，和乙 烯基甲苯和乙烯基酯-比象乙烯丙烯酸酯和乙烯基甲基丙 烯酸酯，以提供所需求的酸價。 爲協助確保感光影像組成物是可利用接觸來形成影像 ' · · 的一比如乾燥成不剝落（t a c k - f !· e e )狀態，膠乳結合劑 聚合物的玻璃轉移溫度（Tg )較宜至少爲6 0 °C —以微 分掃描卡計法（DSC) @2 0°C/分鐘來量測。聚合物 的重量平均分子量（Mw)在約5 0 0 0和約 2 0 0 ，0 0 0之間—以凝膠滲透層析法（GPC)使用 聚苯乙烯檫準物來量測。 結合劑聚合物中至少約1莫耳％的酸性會被胺基丙烯 酸酯所中和》結合劑聚合物的全部4»和比例佔其酸性約1 至約4 0其耳％。蛟宜爲所有的結合劑聚合物酸性都被胺 本紙ft尺度遑羯中家梯舉（CNS ) A4*L格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本页) ----d------IT---------- Μ 263569 at B7 五、發明説明（6 ) 的胺基丙烯酸酯包括一但不局限於，N，N —二乙胺乙基 丙烯酸酯，N，N —二甲胺乙基丙烯酸酯，N，N —二甲 胺丙基丙烯酸酯，N，N -二甲胺丙基丙烯酸酯，和N， N—二甲胺乙基丙烯酸酯。 與目前爲止用來中和結合劑聚合物的胺類不同的是， 胺基丙烯酸酯會變成防蝕料永久的一部份，並且在乾燥中 不會被除去。由於分子中的丙烯酸酯部份會與其他的單體 B )進行聚合化，以致胺基丙烯酸酯分子不同溶，因此得 以避免對水的敏感度。 吾人使用胺基丙烯酸酯的驚人成果是可避免殘餘物的 顯影，以及蝕刻的延遲發生。不是螯合鍵已被胺基丙烯酸 酯所減弱，就是未經曝照之防蝕料中的材料會更容易溶解 於顯影液中。 經濟部中央樣準局貝工消费合作杜印51 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 使用胺基丙烯酸酯的另一個優點是較短的曝照時間。 在好幾個系統中可使曝照時間縮短一半。胺基可在光固化 (photGcure)時扮演有效的質子源。較短的曝照時間意 謂著每小時有較多的板子可被處理。此外，較快的光照速 度（photospeed)可允許將相當昂貴的光引發劑除去，因 此可降低整體的成本。 使用胺基丙烯酸酯的另一個好處是可塗覆性。在水性 環境中，胺基丙烯酸酯具有降低膠束（micelle)大小進而 使黏度減少的效應。黏度降低表示需要加入的水可減少； 因此可達到較高的固體含量一即最多約6 0%的固體。總 地來講，該材料具有比固體量較少的材料要好的可塗覆性 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4洗格（210X297公釐）-9 - 經濟部中央揉率局負工消費合作社印掣 263569 a7 _B7____ 五、發明説明（7 ) 。另外乾燥時間也可縮短◊此外，具有較高固體含量的材 料可允許有較厚的塗膜，這可使針孔現象（pin holing )和其他相關於厚度的塗膜缺陷降至最小。 使用胺基丙烯酸酯的另一個事先未預期到的好處是乾 燥防蝕料表面黏著性（tackiness)降低。加入丙烯酸單 體通常會有反效果。因爲在曝照當中，光照工具（ p h ο t: 〇 t ο ο 1 )與光阻劑表面有緊密的接觸，因此表面必須 是不具黏性，否則光照工具會受損壞。 另一個未預期到的優點是快速的脫膜（sripping)時 間，會比已達到的脫膜時間要快3倍。 爲製造影像，該負性圖作用的感光影像組成物除了要 含有胺基丙烯酸酯外，還要含有感光可聚合單體，尤其是 α，乙烯型不飽和單體-包括有大部份是多官能基單 體。適用的單體包括前面列出用來形成結合劑的那些單體 。特別適用的單體包括多官能基丙烯酸單體，比如四乙二 醇二丙烯酸酯（TEGDA)、三羥甲基丙烷三丙烷酸酯 (ΤΜΡΤΑ) 、丁二醇二甲基丙烯酸酯（BDDMA) 和季戊四醇三丙烯酸酯（Ρ ΕΤΑ )。單體部份包括水溶 性和不溶於水的單體；然而，單體中應含有足夠高比例之 不溶於水（2 0°C時在水中的溶解度約低於〇 . 3 g/ 1 0 0ml )的單體—比如比約2 0莫耳百分比高，如此 單體部份就整體而言是不溶於水的。 爲引發單體在經锕系（actinic)輻射照射後的聚合 化，感光影像組成物中含有適當量的光引發劑或光引發劑 本紙張尺度逍用中國國家揉率（CNS ) A4規格（210X297公釐）_ ]0 · 訂 撕 - (請先W讀背面之注意事項再填寫本頁) 263569 B7 經濟部中央標率局員工消費合作杜印裝 五、 發明説明（ 8 ) 1 試 藥 系 統 0 適 用 的 光 引發 劑 包 括 安 息 香 m N 苯 偶 醯 縮 X 1 1 苯 乙 酮 、 苯 酮 和 具 有 胺類 的 相 關 化 合 物 0 較 佳 的 引 發 劑 有 1 | 硫 氧 雜 箆 酮 ( t h i 〇 X a n t h 〇 n e ) — 比 如 2 — 異 丙 基 硫 氧 雜 箆 1 I 酮 尤 其 是 其 中 連 結 有胺 類 者 0 讀 先 V] 1 水 性 感 光 影 像 組 成物 較 宜 包 括 選 自 環 聚 ( 二 甲 基 矽 氧 背 1 I 面 烷 ) 、 經 聚 醚 改 性 的 聚（ 二 甲 基 矽 氧 院 ) \ 聚 ( 二 甲 基 矽 之 I 1 1 I 氧 院 ) 及 其 混 合 物 的 聚（ 矽 氧 院 ) ， 其 中 聚 ( 二 甲 基 矽 氧 举 項 1 再 1 1 院 ) 和 經 聚 醚 改 性 的 聚（ 二 甲 基 矽 氧 院 ) 是 較 佳 的 〇 聚 ( 填 寫 本 裝 矽 氧 焼 ) 的 用 量 在 約 0 . 1 至 約 1 0 W t % — 相 對 於 成 份 頁 1 I A ) — D ) 0 聚 ( 矽 氧烷 ) 部 份 最 適 宜 爲 環 聚 ( 二 甲 基 矽 1 1 I .氧 烷 ) 和 經 聚 醚 改 性 的重 量 比 在 約 1 • 9 和 約 9 1 之 間 1 I I 的 聚 ( 二 甲 基 矽 氧 院 )° 這 類 混 合 物 的 — 個 例 子 是 道 康 寧 1 訂 公 司 ( Do W Co r η in g) 的Q ^ - -3 ( 7 ，它是經聚醚改 I i 性 聚 ( 二 甲 基 矽 氧 院 )和 環 聚 ( 二 甲 基 矽 氧 焼 ) 的 8 0 ； 1 1 2 0 混 合 物 〇 聚 ( 矽 氧烷 ) 有 於 提 供 不 具 黏 性 的 表 面 9 適 I 1 於 接 觸 印 刷 用 〇 紡 | 適 用 的 聚 ( 二 甲 基矽 氧 烷 ) 的 通 式 爲 1 | ( C Η 3 ) 3 — ( S i (Μ e ) 2〇， η — 其 中 η 是 0 — I 1 I 4 5 0 0 0 0 1 1 1 環 聚 ( — 甲 基 矽 氧烷 ) 的 通 式 是 1 1 一 [ S ( Μ e 2 ) -〇〕 η — 其 中 η 是 3 至 6 0 0 1 .1 經 聚 醚 改 性 的 聚 (二 甲 基 矽 氧 燒 ) 的 通 式 爲 1 1 1 1 1 本紙張尺度逍用中國國家揉準（CNS>A4洗格（ 210X297公釐）-11 一 263569 ------- 五、發明説明（9 ) A7 B7

yH3 ch3(CH3)3Si—Ο—十 i—〇—和―〇—si(CH3)3 平，Cihi yin2Αη—R

經濟部中央樣準局員工消費合作社印装 其中 n = 〇 至 1500 ，x = l 至 2 ，000 ，y = i 至 2 0 〇 〇 ，R = H 或 CH3，R 一 = (CH2) 0 — 5，以 及基團下標X和y爲任意順序。 聚（矽氧烷）的分子量可在非常寬廣的範圍內變化。 低分子量的聚（矽氧烷）的重量平均分子量在1 〇 〇 一 6 0 0的Mw範圍內：高分子量的聚（较氧院）的重量平 均分子量在2 ，000至500 ，〇〇〇的M w範圍內。 水性感光組成物較宜包括有表面活性劑，它是用量佔 上述成份A)— D)之結合重量約〇. 5至約3. 0 w t %的氟脂族氧乙烯。這類表面活性劑的通式爲： C F a - (CF2) n-Y-Ym-Z :其中 η = 0 至 2 0，Y=S〇2— N (Ci-C!。烷基），Χ = CH2-CH2-〇 或 CH ( C Η a ) — CH2-O，m=0 至 2 0，和 Z=CH2— CH2— OH 或 CH (CHa) - CH2-〇H° 利用至少部份對結合劑聚合物的酸性部份（"'◦iety) 本紙張尺度逍用中國國家橾率（CNS) Α4洗格（210Χ297公釐）-12 - (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) ,裝· 訂 經濟部中央樣準局員工消費合作枉印裂 263569 A7 _B7_五、發明説明（10 ) 進行中和來對乳化液提供安定作用。如美國專利申請號碼 0 8/1 9 9 ，0 3 7所說明一本申請案是其部份延續， 可使用聚醚聚亞胺酯締合增稠劑來使乳化液安定和作黏度 的調整。聚醚聚亞胺酯締合增稠劑爲具有至少2個疏水性 鏈段一它是疏水性異氰酸鹽的殘段，通常異氱酸鹽具有2 或以上的異氰酸鹽官能性一和至少一個以尿烷結合來將疏 水性鏈段接合的親水性聚醚鏈段的聚合物。用作締合增稠 劑的嵌段聚合物的形式包括有ΑΒΑ、 （ΑΒ) η、星形 聚合物等等。聚醚鏈段是由聚（烯烴氧化物）鏈段形成， 由像聚氧化丙烯和氧化乙烯的單體形成。爲有足夠的親水 性，通常需要至少約3莫耳百分比的聚（烯烴氧化物）鏈 段爲氧化乙烯殘段。異氯酸鹽殘段的疏水性部份通常是烷 基、環烷基或芳基部份。聚醚聚亞胺酯締合增稠劑及其功 能可參見 A.J.M.Knoef 和 H.Slinger land, 'Urethane-Based Polymeric Thickners for Aqueous Coating Systems# (用於含水塗膜系統之以尿烷爲主的聚合物增 稠劑）’ J〇C C A ’ 1992年9月’第335 — 3 3 8 頁；J.H.Bieleman 等人，Polymers Paint Colour Joura 1 1986 ，第 176 卷（4169)第 450 — 4 6 0 頁；和A.J.Whitton和 R.E. Van Doren Polymers Paint Colour Journal 1991，第 181 卷（ 4 2 8 6 )第3 7 4 — 3 7 7頁。特別適用之聚醚聚亞胺 酯締合增稠劑及其合成可參見Eramons等人擁有的美國專利 號碼4 ，〇 7 9 ，0 2 8 ，在此將該文獻納人本文參考資 本纸張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐）~- η - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央榡率局貝工消费合作社印裝 2β3569 五、發明説明（11 ) 料°適用的聚醚聚亞胺酯締合增稠劑還可參見Hoy等人擁 有的美國專利號碼4 ，4 2, 6 ，4 8 5和Ruffner等人擁 有的4 ，7 4 3 ，6 9 8 ，在此將各篇文獻納人本文參考 資料。適用市售締合增稠劑的例子有DSX1 5 1 4 ( Henkel出品）和QR 7 0 8 (Rohra和Haas出品）。當使用 時’締合增稠劑的用量在相對於成份A ) -E )的總重爲 約1至約4 0 (締合增稠劑含有全部的或部份的成份E ) )0 藉著使用聚醚聚亞胺酯締合增稠劑，則通常可減少在 結合劑聚合物膠乳中的中和作用。 除了上面列出的成份外，也可使用微量（通常約少於 1〇重量％的A—E總重）的俥統添加劑，包括有防沬劑 '擠氧化劑、染料、黏性提升劑、助滑劑、和其他的表面 張力改性劑。 在一個製備本發明水性感光影像組成物的較佳方法中 ，那些最和疏水相相溶的成份-比如引發劑、抗氧化劑和 染料，會與單體部份加成混合在一起來生成單體基質（ bas e )，而那些最和含水相相溶的成份-比如防沫劑、中 和劑表面活性和締和增稠劑，則與膠乳聚合物加成混合在 —起形成聚合物混合物（ΠΜΧ)。使疏水相與聚合物混合 物混合來形成疏水相一在一水中的乳液。接著將高沸點溶 劑，表面活性劑一包括助滑劑，表面張力改性劑，和黏性 提升劑加入。 最終的水性組成物通常是約2 0和約4 0重量百分比 A7 (請先W讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝· -=0 本紙張尺度逍用中困國家橾率（CNS)A4規格（ 210X297公釐）-Μ . 263569 A7 ____ B7 五、發明説明（l2 ) 之間的固體。在水性組成物中，結合劑聚合物（不含胺基 丙烯酸酯）佔約1 0至約3 Q重量％，胺基丙烯酸酯是約 〇. 〇5至約10重摄％，另外的單體是約3至20重量 %，引發劑則是約0 . 3至約1 0重置％。 當使聚（矽氧烷）時，通常是以倍經乳化水性組成物 約0 _ 〇 2至約1 w t %的量來使用。如果使氟脂族氧乙 烯加成物表面活性劑時，它通常以佔經乳化水性組成物約 0 〇6至約2wt%的量存在。締合增稠劑通常佔經乳 化水性組成物約0· 5至約2Owt%的量來使用。 可以任何技藝上已知用來對溶於溶劑之感光影像之組 成物進行塗敷的塗覆系統對組成物進行塗敷，比如浪輪塗 覆、浸漬塗覆、噴灑塗覆或幕塗（curtain)塗覆。 翅濟部中央棣隼局員工消費合作枉印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明組成物是以傳統方式來應用，不是以液體組成 物直接塗覆至金屬包層空白（blank)層狀物上，就是塗 覆至聚合物基質片上來形成乾燥薄膜。在塗覆後，使組成 物乾燥以除水，同時還除去揮發物-比如氨水或胺、水等 ，因此可使溶液混合物不溶於酸性或中性含水媒質中。當 感光影像組成物乾燥時，系統會聯合（coalesce)起來形 成連續性薄膜。乾燥較宜在略微升高的溫度下進行，以便 加速水的除去，和趕走氨水或揮發性胺類。乾燥較宜在 9 0 T：的溫度時進行。 在形成乾燥薄膜時，將水性組成物塗覆至可彎曲的基 質片上-比如聚對苯二甲酸乙二醇酯，然後乾燥以將水和 揮發物除去。接著，將保護層-比如聚乙烯，塗覆至感光 本紙張尺度適用中國國家樣率（CNS ) Α4规格（210X297公釐）~- ]5 - 263569 經濟部中央橾準局属工消费合作社印S- A7 B7 _ 五、發明説明（13 ) 影像組成物層上，再將乾燥薄膜捲入捲線筒中。在使感光 影像組成物層乾燥當中，吾人發現在某些情形希望使殘餘 水含量在約1和約2重量％之間（相對於感光影像聚合物 層的固體而言）。該殘餘水份可使感光影像組成物層在被 層壓至基質時-比如鍍銅板子，可順應表面缺陷。 加工是一種傳統方式。在傅統製程中，感光影像組成物層 —由液體組成物形成者或以由乾燥薄膜轉移而成的層，被 塗覆至鍍銅板上的銅表面。锕系輻射通過適當的藝術形狀來 使感光影像組成物層曝照。在锕系輻射的曝照下，可使光 照區域內的單體進行聚合化而生成可抗顯影劑的交聯結構 。接著使組成物在稀鹸性含水溶液中-比如1 %的碳酸鈉 溶液，顯影。鹼性溶液會與結合劑聚合物的羧基形成鹽類 ，使它們可溶並可除去。在顯影後，可以蝕劑將防蝕料中 那些被除去區域內的銅除去，因此可形成印刷電路。然後 使用適當的脫膜劑（stripper)來將剩餘的防蝕料除去。 本發明不只可提供水性一級影像光阻劑，還可提供形 成熔焊光罩用組成物。所謂熔焊光罩在此是指硬質的不變 形（permanent)層，它至少可符合耐磨試驗一如1卩（：一 SM — 8 4 Ο B，附表1 2的資格/依循標準概要（ I π s t i t u C e f 〇 r 丨 n t e r c ο η n e c t i π g C i r c u i t s，交聯線路技 術學院）。爲變成硬質和不變形，通常需要使感光影像組 成物在板子曝照、顯影和加工後可固化-比如以熱和/或 UV固化來進行。提供後固化的一個方式是提供主幹上有 自由一 0H基國的結合劑聚合物，它可和胺基塑料（ (請先閱讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) 裝 --6 r 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS)A4規格（210X；297公着）-16 _ 263569 A7 B7 五、發明説明（14 ) a/mnoplast)樹脂一比如三聚氰胺/甲醛樹脂和尿素/甲 醛樹脂，形成交聯來固化。，另一種選擇則是，感光影像組 成物可含有相溶的環氧樹脂及用於環氧樹脂的固化劑（ curative) °吾人發現本發明水性感光影像組成物在塗覆 至鍍銅基質後仍存在有優良的貯存期限，並可在數天後仍 殘留在鍍銅板子上。 本發明將以特定實施例來作更詳細的說明。 實施例1 水性感光影像組成物依據以下附表1來形成。赛能數 據是依據以下的附表2 :附表1中的 '"單體基質，是依據 附表3 ;所有的材料有混合在一起、過濾，然後加至含水 部份。附表4是製備印刷電路板的加工條件。配方1和4 是依據本發明；配方2和3是對照用。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 絮· 經濟部中央橾隼局貝工消费合作社印裂 本紙張尺度適用中國國家棋準（CNS ) A4规格（210X297公釐）-17 - 經濟部中央橾準局負工消费合作社印製 263569 A7 B7 五、發明説明（

骂陴：溧当铒茚»岫这抖瑯锢fi。 Nell CL-3S囊S梢(N慧蠢濰馨。 Q4-3667s>>£!J)?rlo80:20s藤效is^F#u-ffl_^娜論苕翅1:-«_^鲫前滴卟豸。 DMAMP=2-ffl菏 g-2-.g-l-31gl TExanol(伊斯曼公司(Eastman)) Huorad FC170-C (3M) 04-3667(道康寧公司） 單體基質 BYK-033(BYK/Chemie) 去離子水 DSX-1514(Henkel) 氨水 DMAMP 80 二甲基胺乙基丙烯酸酯 Neocryl Cl-340(100%固體） 配方名稱 聯合溶劑 表面張力改性劑 丨臓劑 丨參見附表3 防沫劑 一級溶劑 締合增稠劑 一雛類中和劑 三級胺類中和劑 胺基丙烯酸酯! 羧酸黏合劑 主成份形式 4^ Ln 〇 0.45 20.5 ι>—^ 〇 100.0 4^ Ιλ 〇 〇 ·〇 〇 to Ιλ 40.0 丨苎 Ιλ Η—1 Ο 0.45 20.5 H—* 〇 100.0 Ρ 〇 to Lh ο ο 40.0 1¾ Lh 一 ο ! 0.45 20.5 >—* 〇 100.0 to •Lft ο ο ο ο 40.0 1$ \y\ ο 丨 0.45 I | 20.5 I * 〇 100.0 Ο ο ο ο Κ) 40.0 IS —-------^---f '策------訂 (請先W讀览面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度逍用中國國家橾率（CNS ) Α4规格（210X297公釐）__ f 一 83. 3.10,000 經濟部中央梂準局負工消費合作社印袈 263569 A7 B7 五、發明説明（4)

光化速度(在60 mj/cm2) 塗膜均一性 塗膜缺陷 丨 耐鹼性 銅诱(保持3天後）1 乳化液安定性(保持1週） 固體百分比 黏度(起始） 效能M果 配方名稱 銅階數9 丨 無條狀 〇空洞數/平方呎 良好 均質/安定 40% 850 cps Ιϊ 銅階數7 無條狀 〇空洞數/平方呎: 一般至良好 非常輕微 1 均質/安定 40% 1790 cps 1¾ 銅階數6.5 輕微條狀 7空洞數/平方呎 一般至良好 嚴重 1 相分離 40% 1500 cps IS 銅階數9 ! 無條狀 〇空洞數/平方呎 浦 均質/安定 60% 19000 cps IS --^--------1 —J. %------訂-----.丨Μ I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國鬭家梂準（CNS ) Α4规格（2Ι0Χ297公釐）一 ^ 一 83. 3.10,000 263569五、發明説明（/7 )

A B 經濟部中央橾準局薦工消費合作社印裝 TMPTA=lli-ffi唞®aiailia^斑龉 [N ^ XD ϋ 殳| _ I Β § 视丨丨1穸I §铒^ g g m [N rV 單體基質成份 你 cs< nti} 一龙 1 md 成份型式 17.6 0.05 0.03 0.59 1.49 0.09 0.5 0.25 每個配方克數 |^細3 « Ϊ, : ^ { '衣 訂 (請先閱讀背*·'之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度逍用中國國家樣率（CNS ) A4规格（210X297公釐）— 83. 3.10,000 經濟部中央梂隼局員工消费合作社印31 263569 at B7 _______ 五、發明説明（18 ) 加工條件 塗膜一Burk le (單邊）滾輪塗数機，每英吋2 2個噴嘴 基質-銅包層 曝照一HMW ORC，3 〇 1 B型，重氮技藝工作 顯影-1 %碳酸鈉單水合物，8 5 T，2 X折點（break point ) 蝕刻_ 3正氯化銅，1 4 0 T，最小1 · 3 X触刻

汽提—3 %氫氧化鈉，1 3 0 °F 效能解釋 黏度—於最初和在7 0 T —週後在Brookfield黏度計量測 乳化液安定性-安定是依據硝基清漆混合物的整體均—性 來評估 耐鹼性-耐鹼性是在P Η爲9 . 2的鹼蝕刻後量測 塗膜缺陷-在滾輪塗敷後計數塗膜空洞（薄點）數目 塗膜均一性-在塗敷後立刻觀察均一性 光化速度（photospeed)—使用Stouffer2 1階來量測最 後剩餘階數（各階有1/2的 變異） (附註：較高階數表示有較高程度的聚合化） 本纸張尺度逍用中困國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-21 - »--^裝-- -* (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂

Claims (1)

1. ^--^: 本 ABCD 六、申請專利範圍 附件一： 第83 1 08859號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國84年9月修正 1 . 一種感光影像組成物，其能在含水媒質中成爲乳 化液，其含有 .A) 3 0至8 0重量％之膠乳結合劑聚合物，其爲酸 官能性苯乙烯/丙烯酸系聚合物，酸價爲4 0至2 5 0， B) 1 5至5 0重量％的《，/?-乙烯型不飽和單體 ，不包括胺基丙烯酸酯， C) 0. 1至2 5重量％可生成自由基的光引發劑或 光引發劑試藥系統， D ) 0 . 1至2 0重量％以便可中和I至4 0莫耳％ 之膠乳結合劑聚合物酸性的胺基丙烯酸酯；以及 E )最多4 0重量％的另外中和用鹼和/或聚醚聚亞 胺酯締合增稠劑，其用量與該胺基丙烯酸酯結合即足以使 感光影像組成物以含水乳液形式安定下來， I nn In 1^1 m ^-^mm HI t^n ϊ i 一OJ (請讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 係 係個 中 其 其一其， ， t 。物 物含 物 準成 成片 成 基組 組載 組 爲像 像負 像 重影 影該 影 總光 光和 光 的慼 感層 感 E 之 之該 的 一項 項中 項 A 1 1 其 1 份第 第， 第 成圍。圍物 圍 以範液範狀 範 是利化利層 利 比專乳專層 專 分請的請一 請 百申中申的 申 量如質如上。如 重.媒.片膜 . 該 2 水 3 載薄 4 含 負燥 在 在乾 本紙張尺度適用中國D家標準（CNS ) Α4规格（210 X 297公釐）-1 - ABCD 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 263569 六、申請專利範圍 E)含有1至4 0重量％ —以成份A — E總重爲基準一的 該聚醚聚亞胺酯締合增稠劑。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .策. 訂 本紙張尺度適用中國國家揉窣（CNS)A4洗格（210X297公釐）-2 -