TW201429540A - 淨化系統 - Google Patents
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Abstract
本發明係關於使用用於淨化包含例如用於半導體製造之液體之液體之可移除式淨化器匣之模組化淨化系統。一淨化系統可包含一可移除式淨化器匣，其具有一淨化器入口埠及一淨化器出口埠；及一歧管總成。該歧管總成可包含複數個連接系統以提供歧管埠以提供流體往返於該匣。在一些實施例中，該等連接系統可使用連接螺母，其等可在旋轉小於360度的情況下提供360度螺紋接合。
Description
本申請案主張以下申請案之優先權：2012年10月1日申請之名為「Modular Filter With Tension Members」之美國臨時專利申請案第61/708,470號、2013年3月8日申請之名為「Modular Filter With Tension Members and Manifold for Modular Filters」之美國臨時專利申請案第61/775,051號、2013年4月19日申請之名為「Manifold for Modular Filters,Modular Filter Cassettes and Connection Systems」之美國臨時專利申請案第61/813,983號、2013年5月23日申請之名為「Modular Filter with Tension Members」之美國臨時專利申請案第61/826,880號及2013年6月17日申請之名為「Manifold for Modular Filters,Modular Filter Cassettes and Connection Systems」之美國臨時專利申請案第61/835,884號，其等各自針對全部目的以引用方式全部併入本文中。
本發明係關於淨化及過濾系統。更特定言之，本文中描述之實施例係關於模組化淨化及過濾系統。甚至更特定言之，本文中描述之實施例係關於用於淨化半導體製造流體之模組化淨化及過濾系統。
半導體製程對污染極為敏感，這係因為即使在一半導體晶圓上沈積一小顆粒或其他污染物(金屬、非揮發性殘留物)亦可導致缺陷。
因此，通常採用具有移除亞微米顆粒、如金屬離子之殘留物及其他污染物之隔膜之超淨淨化器。雖然已研發出不同過濾模組以過濾半導體製造液體，但是避免矩形過濾器，這係因為矩形設計通常不能滿足一緊湊設計中可承受用於半導體製造之壓力之過濾及流速要求。因此，許多現有過濾器模組係圓柱形，具有具備其中駐留過濾器隔膜之單件式圓柱形轉筒或套筒之一外殼。通常，此等過濾器含有圍封在一外部保持架與一內部核心之間之一圓形摺疊式過濾器隔膜。流體自頂部或底部進入過濾器模組，在行進穿過保持架之前在套筒之間流動，行進穿過過濾器隔膜至中空核心並退出模組。
現有圓柱形過濾器模組具有若干缺點。一缺陷係：圓形摺疊式隔膜過度限制流體流動，這係因為隔膜必須朝中心更緊密包裝以達成圓形組態。另一缺陷係：圓柱形外殼經模製或擠壓成單件，從而使其難以或不可能添加垂直於圓柱軸延伸之幾何形狀。此外，許多現有過濾器模組難以安裝及更換。因為用於半導體製造之許多液體具有腐蝕性或有毒，所以過濾器模組更換對工人有害。
採用圓柱形過濾器之當前過濾系統具有有限可組態度。在許多情況下，過濾器係透過多個單元以一固定組態連接，使其難以視需要將通過過濾器之流動自連續改變為平行。此外，許多過濾系統僅使用單一類型的過濾器，從而限制在單一過濾系統中應用用於不同目的或顆粒大小之不同過濾器之能力。
本發明描述模組化淨化系統及方法之實施例。根據一實施例，一淨化系統可包括一大體上矩形可移除式淨化器匣及一歧管總成。該歧管總成可包括複數個連接系統以連接至該淨化器匣。
在一實施例中，該淨化器匣包括具有一第一側壁、一第二側壁、一第三側壁及一第四側壁之一主體，且可界定一介質腔。該第一
側壁與該第二側壁相對且該第三側壁與該第四側壁相對。該淨化器匣可包含多個埠，其等包含流體連接至該介質腔之一第一部分之一第一淨化器埠及連接至該介質腔之一第二部分之一第二淨化器埠。該介質腔之該第一部分及該第二部分可由一或多個淨化元件而彼此分離。一或多個張力部件可耦合至該介質腔之該第一側壁及該第二側壁，該等張力部件將該介質腔分為複數個區段。
該淨化器主體可經組態具有加強結構。根據一實施例，該等加強結構包括延伸可(在一實施例中)提供雙重功能(提供流徑及加強該主體)之裝置之長度(或其他長度)之加強肋。該等加強肋可界定弧形、橢圓形或其他圓形流徑，藉此提供加強拱形件。因此，根據一實施例，一系列加強拱形件可沿該側壁界定該等流徑。
根據一實施例，該主體可包含複數個箍環狀結構以透過該壓力容器結構分佈負載，從而容許該壓力容器承受高壓及高溫應用。該等箍環狀結構可提高箍環應力以拉緊該第一側壁、該第二側壁、該第三側壁及該第四側壁。
可在該複數個區段之各者中安置一淨化器元件。一淨化器元件可包含聚合物隔膜之一經壓縮大體上矩形褶襉網片(pleat pack)，其經配置使一第一組褶襉尖端面向該淨化器腔之該第一部分及一第二組褶襉尖端面向該淨化器腔之該第二部分，或可包含其他形式的淨化器元件。
該淨化器匣可包含一組流動通道以引導流體通過串聯或並聯安置在腔道中之淨化器元件。該等流動通道可安置在端帽、該等側壁中或其他處。根據一實施例，沿該第一側壁安置一第一組流動通道且沿該第二側壁安置一第二組流動通道。該第一組流動通道及該第二組流動通道可在該複數個腔道之相對側上對準該複數個腔道。該第一組主流動通道可流體耦合至該第一淨化器埠且該第二組流動通道可流體耦
合至該第二淨化器埠。
可在該第一組流動通道中界定一第一組子通道且可在該第二組流動通道中界定一第二組子通道。該第一組流動通道可包括連接至該第一組子通道之一第一組充氣室，且該第二組主流動通道可包括連接至該第二組子通道之一第二組充氣室。在一些實施例中，該等流動通道(及子通道)係由沿該等側壁安置之一系列拱形件界定。
該淨化器匣可包括任何數目個埠接頭。在一些情況下，該等埠接頭可包含外螺紋及其他特徵部。因此，根據一實施例，一淨化器匣可包含具有第一淨化器埠接頭外螺紋之一第一淨化器接頭及具有第二埠接頭外螺紋之一第二淨化器埠接頭。
可提供包含該複數個連接系統之一歧管總成。該歧管可連接至單一匣或多個匣，且可經組態以提供連續淨化、平行淨化或其等之一組合。該複數個連接系統可經組態以同時密封多個淨化器埠。在一些情況下，該等連接系統經組態以容許一使用者從一淨化器匣之一前側密封該淨化器匣之後埠。該複數個連接系統可耦合至一主歧管板。該連接系統之一或多者可移動或固定。因此例如，一第一連接系統可相對於該主歧管板移動，且一第二連接系統可固定。
一連接系統可包括一連接外殼，其界定一連接外殼開口；一歧管接頭；及一連接螺母，其安置在該連接外殼開口中。該連接螺母可包含一組連接螺母內螺紋。該等連接螺母內螺紋可接合該等第一淨化器埠接頭外螺紋。該等連接螺母內螺紋可經組態以在連接螺母旋轉小於360度的情況下在該第一淨化器埠接頭與歧管接頭之間產生一密封。在一些實施例中，旋轉小於360度可導致至少360度或更大的螺紋接合，且在其他實施例中可導致小於360度螺紋接合。該螺紋接合可提供足以將該第一淨化器埠接頭密封至該第一歧管接頭之一圓周軸向密封力。在一實施例中，該等連接螺母內螺紋及該等第一淨化器埠接
頭外螺紋係多線螺紋。
該連接螺母可進一步包括接合連接外殼內螺紋之外螺紋且可經組態以禁止該連接螺母在軸向負載下旋出。根據另一實施例，該連接螺母不包含螺母外螺紋，但是固定在該連接外殼中以防軸向移動並同時仍能夠旋轉。
該歧管總成亦可包含安置在相同或不同於該第一連接螺母之一外殼中之一第二連接螺母。因此例如，該第二連接螺母可安置在該第一連接外殼中之一第二開口中或一第二連接外殼中之一開口中。該第二連接螺母可包含外螺紋以接合一組第二連接外殼內螺紋(或可不包含外螺紋)。根據一實施例，該第二連接螺母可操作地耦合至該第一連接螺母使得該第一連接螺母及該第二連接螺母同時旋轉。例如，該淨化系統可包括一齒輪總成，其將一第一連接螺母操作地耦合至一第二連接螺母使得該第一連接螺母及該第二連接螺母同時旋轉。該第二連接螺母可在第二連接螺母旋轉小於360度的情況下將一第二淨化器埠接頭密封至一第二歧管接頭。
一連接系統可包含一旋轉部件，其自該第一連接螺母及該第二連接螺母延伸至該淨化器匣之相對側。該旋轉部件可操作地耦合至該齒輪總成使得該旋轉部件的旋轉會使該第一連接螺母及該第二連接螺母旋轉。在一實施例中，該旋轉部件包括具有齒輪齒之一齒輪臂。該齒輪臂可由一或多個齒輪操作地耦合至該第一連接螺母及該第二連接螺母。在一實施例中，該齒輪臂直接耦合至該第一連接螺母且操作地耦合至該第二連接螺母。該齒輪臂可進一步包括延伸超過該匣之一主臂部分。
一傳動軸件可接納在該臂部分之一傳動軸件通路中，該傳動軸件可在該傳動軸件通路中自一完全收縮位置平移至一完全插入位置。自一傳動手柄延伸之一對準柱可接納在該匣之一對準開口中且可提供
用於該傳動軸件之一樞轉點。該對準開口可經鍵合使得該傳動軸件可插入一第一距離，接著繞該樞轉點旋轉一選定角距離，且接著向前推動至一完全插入位置。在一實施例中，該對準開口可經鍵合，使得當該組第一連接螺母內螺紋對準該等第一埠接頭外螺紋且該組第二連接螺母內螺紋對準該等第二埠接頭外螺紋時，該對準柱之一部分對準該對準開口中之一入口通路。在此情況下，該對準柱及該對準開口可有助於確保在該齒輪臂旋轉之前，該等連接螺母係在適當定向上且在適當位置中。
該傳動軸件可在一角位置範圍內繞該樞轉點旋轉。根據一實施例，在一第一組選定角位置中，該傳動軸件不能平移至一完全插入位置，但在某些選定角位置中，該傳動軸件可平移至該完全插入位置。例如，這可用來鎖定該齒輪臂之旋轉。例如，在該第一組角位置中，該傳動軸件之一第一端可與一連接外殼之一正面重疊，但在可對應於其中該等連接螺母產生一360度密封之一位置之選定角位置中，該傳動軸件之該第一端可對準其中可插入該傳動軸件之該第一端之一特徵部(諸如該連接外殼之側中之一缺口或其他特徵部)以鎖定該齒輪臂之旋轉。
該連接系統及該接頭可包含對準特徵部以有助於確保該等接頭外螺紋及該等連接螺母內螺紋適當對準。在一實施例中，該接頭之該等對準特徵部可包含一對準肋。該齒輪臂或其他旋轉部件可包含一狹槽以接納該對準肋。該對準肋及該狹槽可經組態使得該旋轉部件在該對準肋可進入該狹槽之前旋轉至某個角度(例如，對應於其中該等螺紋對準之一位置)。該對準肋及該狹槽可呈螺旋狀。
一連接螺母及埠接頭可包含特徵部以確保該連接螺母與該埠接頭之間適當對準。一連接螺母可包括一第一對準特徵部且該埠接頭可包括一互補對準特徵部。該第一對準特徵部可與該組連接螺母內螺紋
之一螺紋線分開一距離，使得除非該第一對準特徵部配接該接頭之該對應對準特徵部，否則該組連接螺母內螺紋不能接合接頭外螺紋。在一些情況下，該連接系統之該對準特徵部在該連接螺母可旋轉之前行進穿過該接頭之該對準特徵部(或反之亦然)。
根據一實施例，例如，一連接螺母可包含與該等連接螺母內螺紋之一螺紋線分開之一組內突出體，而一埠接頭可包括與該等埠接頭外螺紋分開且包含一組缺口之一埠肋。該等內突出體及該埠肋可分開，使得除非內突出部行進穿過該對準缺口，否則該等螺母內螺紋不能接合該等埠接頭外螺紋。在一些情況下，該等對準特徵部可經組態使得僅某些匣裝配在某些歧管中(或在一歧管內之特定位置中)(例如，以確保適當匣用於某些應用)。例如，缺口組及該等內突出體可在不同接頭/連接螺母之幾何形狀、間隔或其他態樣中有所變更。
本文中提供之實施例藉由提供一緊湊淨化器匣而提供一優點，該緊湊淨化器匣可提供相當於具有相同隔膜面積之一圓柱形淨化器之淨化、流速及壓降但包裝更緊湊。具有較小大小之淨化器匣甚至可用可變形材料(諸如全氟烷氧基聚合物(PFA))及用於半導體製造系統之其他此等材料予以達成。
本文中描述之實施例藉由最大化摺疊式淨化器(諸如摺疊式多微孔聚合物隔膜)之有效性提供另一優點。對於矩形褶襉網片，褶襉網片密度可在該裝置內保持均勻，從而最大化淨化面積之有效性。對於具有相同淨化面積之裝置，一矩形褶襉網片將表現如同其具有多於一圓形摺疊式隔膜之淨化面積。
作為使用矩形褶襉網片之實施例之另一優點，一矩形形狀褶襉網片大體上容許褶襉高於一圓形淨化器匣之褶襉。因此，一矩形褶襉網片可更好地填充一體積並與一圓形褶襉網片相比提供一更均勻形狀，藉此減小一矩形褶襉網片裝置之封套尺寸。
作為另一優點，實施例可減小淨化器堵塞。在許多當前淨化系統中，單一淨化器負責淨化整個流體流。因此，基於欲淨化之最精細顆粒大小選擇所使用的淨化器。這意謂一精細粒度(通常昂貴的)淨化器係用以淨化大顆粒及小顆粒二者，從而導致不適當堵塞。然而，本文中描述之淨化系統之實施例容許連續淨化，從而提供優於其中使用單一淨化器之傳統淨化系統之一優點。在最後一個淨化器之前，可使用其他可能更便宜的淨化器以預淨化去除較大顆粒及其他污染物。這可導致減小惡化或擴大最終淨化器之容量。
作為另一優點，許多製造商(例如，半導體製造商)使用遍及一製造系統分佈(例如，分佈在進入點處、底板中、製造工具處)之淨化系統。容許以單一淨化單元連續淨化之一淨化系統可避免需要多個分離淨化系統且容許在製造系統中之單一點處發生所有淨化。
作為又另一優點，實施例可提供一種用於流體接頭之快速連接機構，且在一些實施例中可提供一種容許同時密封多個接頭之快速連接系統。在一些情況下，即使埠位於一過濾器匣後面且遠離一使用者，該快速連接系統亦可容許該使用者密封該等埠。此外，該快速連接可不具備O形環，從而改良污染物控制並提供更可靠的較高溫操作。
100‧‧‧過濾器匣
102‧‧‧主體
104‧‧‧第一端帽
106‧‧‧第二端帽
108‧‧‧第一埠
110‧‧‧第二埠
112‧‧‧第三埠
114‧‧‧第四埠
120‧‧‧第一端
122‧‧‧第二端
123‧‧‧第一側
124‧‧‧第二側
125‧‧‧第三側
126‧‧‧第四側
130‧‧‧徑向肋
132‧‧‧徑向肋
134‧‧‧對準孔
136‧‧‧對準孔
138‧‧‧軸肩
140‧‧‧對準開口
142‧‧‧對準開口
210‧‧‧第一側蓋/介質蓋
220‧‧‧第二側蓋
225‧‧‧淨化器元件
230‧‧‧主殼體
232‧‧‧底座
234‧‧‧外側壁
236‧‧‧外側壁
238‧‧‧張力部件
239‧‧‧整合腔道蓋/第二腔道蓋
240‧‧‧腔道蓋
242‧‧‧支撐部件
244‧‧‧框架部件
246‧‧‧舌狀物
252‧‧‧支撐部件
260‧‧‧側支撐部件
262‧‧‧分開肋
263‧‧‧分開肋
264‧‧‧流動通道/子通道
270‧‧‧側支撐部件
272‧‧‧分開肋/間肋
273‧‧‧分開肋/間肋
274‧‧‧流動通道/子通道/次級流動通路
280‧‧‧角隅
290‧‧‧角隅
302‧‧‧端表面
304‧‧‧主流動通道
310‧‧‧充氣室區域
311‧‧‧充氣室區域
312‧‧‧內表面
314‧‧‧內表面
316‧‧‧轉折
320‧‧‧突片
400‧‧‧端帽流動通道
401‧‧‧埠腔室
402‧‧‧第二端帽流動通道
403‧‧‧埠腔室
410‧‧‧充氣室
411‧‧‧充氣室
420‧‧‧流動通道
421‧‧‧埠腔室/出口腔室
422‧‧‧第二流動通道
423‧‧‧埠腔室
506‧‧‧端壁
512‧‧‧內壁/端壁
602‧‧‧腔道部分
604‧‧‧彎曲端角隅
606‧‧‧角隅
608‧‧‧增加應力之區域
610‧‧‧增加應力之區域
700‧‧‧過濾器匣
702‧‧‧主體/匣外殼
704‧‧‧第一端帽
706‧‧‧第二端帽
708‧‧‧第一埠
710‧‧‧第二埠
712‧‧‧第三埠
714‧‧‧第四埠
720‧‧‧端
722‧‧‧端/腳座
724‧‧‧導引槽
726‧‧‧導引槽
728‧‧‧手柄連接部件
730‧‧‧表面
732‧‧‧標籤固持件
734‧‧‧標籤
772‧‧‧腳座
800‧‧‧側蓋
804‧‧‧側支撐部件
806‧‧‧間肋
808‧‧‧間肋
810‧‧‧側蓋
814‧‧‧側支撐部件
816‧‧‧分開肋
818‧‧‧分開肋
820‧‧‧埠腔室
821‧‧‧流動通道
830‧‧‧埠腔室
831‧‧‧流動通道
840‧‧‧埠腔室
841‧‧‧流動通道
850‧‧‧埠腔室
851‧‧‧流動通道
905‧‧‧腔道蓋
910‧‧‧腔道蓋
925‧‧‧淨化器元件
1000‧‧‧過濾器匣
1002‧‧‧過濾器匣主體
1004‧‧‧端帽
1006‧‧‧端帽
1008‧‧‧埠
1010‧‧‧埠
1012‧‧‧埠
1014‧‧‧埠
1100‧‧‧過濾器匣
1102‧‧‧主體
1104‧‧‧第一端帽
1106‧‧‧第二端帽
1108‧‧‧第一埠
1110‧‧‧第二埠
1112‧‧‧第三埠
1114‧‧‧第四埠
1200‧‧‧過濾器匣
1202‧‧‧匣外殼
1204‧‧‧第一端帽
1206‧‧‧第二端帽
1208‧‧‧第一埠
1210‧‧‧第二埠
1224‧‧‧導引槽
1226‧‧‧導引槽
1228‧‧‧卡扣配合狹槽
1230‧‧‧手柄連接部件
1232‧‧‧可移除式手柄
1300‧‧‧端帽
1302‧‧‧主埠
1304‧‧‧次級埠/出口埠
1308‧‧‧塑形腔
1320‧‧‧通道
1400‧‧‧匣端帽
1402‧‧‧埠
1404‧‧‧埠
1406‧‧‧端帽流動通道
1408‧‧‧端帽流動通道
1500‧‧‧端帽
1502‧‧‧底座
1510‧‧‧第一埠接頭
1512‧‧‧接頭外螺紋
1514‧‧‧埠肋
1516‧‧‧分開缺口
1520‧‧‧第二埠接頭
1522‧‧‧接頭外螺紋
1524‧‧‧埠肋
1526‧‧‧分開缺口
1530‧‧‧對準開口
1540‧‧‧流動通路
1542‧‧‧流動通路
1550‧‧‧區域
1554‧‧‧區域
1556‧‧‧區域
1630‧‧‧主殼體
1640‧‧‧腔道蓋
1660‧‧‧框架部件
1662‧‧‧凹槽
1664‧‧‧舌狀物
1700‧‧‧連接系統
1702‧‧‧連接外殼
1710‧‧‧連接螺母
1712‧‧‧第一接頭
1714‧‧‧第二接頭
1715‧‧‧第一側
1716‧‧‧第二側
1720‧‧‧較小直徑區域
1722‧‧‧較大直徑區域
1730‧‧‧第一區段
1732‧‧‧第二區段
1740‧‧‧互補徑向軸肩
1742‧‧‧端部分
1744‧‧‧埠接頭外螺紋
1746‧‧‧連接螺母內螺紋
1750‧‧‧螺母外螺紋
1752‧‧‧外殼內螺紋
1802‧‧‧連接外殼
1804‧‧‧連接外殼內螺紋
1810‧‧‧連接螺母
1812‧‧‧螺母內螺紋
1814‧‧‧螺母外螺紋
1820‧‧‧流體接頭
1822‧‧‧接頭外螺紋
1824‧‧‧接頭
1900‧‧‧連接系統
1900a‧‧‧連接系統
1900b‧‧‧連接系統
1900c‧‧‧連接系統
1900d‧‧‧連接系統
1902‧‧‧連接外殼
1910‧‧‧第一連接螺母
1912‧‧‧第一流體接頭
1920‧‧‧第二連接螺母
1922‧‧‧第二流體接頭
1930‧‧‧齒輪臂
1932‧‧‧傳動臂
1934‧‧‧螺母耦合部件
1936‧‧‧齒輪齒
1940‧‧‧齒輪
1950‧‧‧傳動手柄
1952‧‧‧傳動軸件
1954‧‧‧端帽對準柱
1960‧‧‧表面
1962‧‧‧外殼之表面
1964‧‧‧缺口/凹槽
1965‧‧‧位置
2002‧‧‧第一連接螺母開口
2004‧‧‧第二連接螺母開口
2006‧‧‧狹槽
2008‧‧‧緊固件開口
2010‧‧‧螺紋孔
2100‧‧‧外螺紋
2102‧‧‧內螺紋
2104‧‧‧內突出體
2106‧‧‧彈性指狀物
2108‧‧‧特徵部
2109‧‧‧軸肩
2110‧‧‧連接螺母軸肩
2112‧‧‧流體接頭軸肩
2202‧‧‧特徵部
2204‧‧‧特徵部
2206‧‧‧齒輪臂插入件
2208‧‧‧徑向突出體
2209‧‧‧壓縮環
2210‧‧‧部分
2220‧‧‧傳動軸件通路
2222‧‧‧傳動軸件尖端
2230‧‧‧彈性指狀物
2232‧‧‧環形凹槽
2300‧‧‧對準開口
2302‧‧‧入口通道
2304‧‧‧第一徑向通道
2306‧‧‧第二徑向通道
2308‧‧‧第二軸向通道
2310‧‧‧肋狀物
2312‧‧‧脊部
2350‧‧‧插入件
2400‧‧‧連接系統
2400a‧‧‧連接系統
2400b‧‧‧連接系統
2400c‧‧‧連接系統
2400d‧‧‧連接系統
2402‧‧‧連接外殼
2430‧‧‧齒輪臂
2432‧‧‧狹槽
2434‧‧‧肋狀物
2440‧‧‧凹槽
2450‧‧‧傳動手柄
2452‧‧‧傳動軸件
2454‧‧‧凸座
2500‧‧‧歧管總成
2501‧‧‧主歧管板
2502‧‧‧導引臂
2506‧‧‧匣對準特徵部
2510‧‧‧歧管埠
2512‧‧‧歧管埠
2514‧‧‧歧管埠
2516‧‧‧歧管埠
2604‧‧‧連接系統延伸部
2606‧‧‧連接系統延伸部
2608‧‧‧狹槽
2612‧‧‧孔
2614‧‧‧孔
2702‧‧‧過濾器匣
2800‧‧‧歧管總成
2801‧‧‧主歧管板
2802‧‧‧導引臂
2806‧‧‧匣對準特徵部
2810‧‧‧過濾器匣
2830‧‧‧對準開口
2902‧‧‧步驟
2904‧‧‧步驟
2906‧‧‧步驟
2908‧‧‧步驟
2910‧‧‧步驟
3000‧‧‧連接系統
3010‧‧‧連接螺母
3011‧‧‧外螺紋
3012‧‧‧連接外殼
3014‧‧‧彎頭接頭
3016‧‧‧端帽
3020‧‧‧旋轉部件
3022‧‧‧臂
3024‧‧‧平台
3026‧‧‧工具界面
3102‧‧‧螺母內螺紋
3104‧‧‧螺母外螺紋
3200‧‧‧歧管總成
3202‧‧‧過濾器總成/過濾器匣
3204‧‧‧下部支撐臂
3205‧‧‧連接系統
3206‧‧‧上部支撐臂
3207‧‧‧連接系統
3208‧‧‧中間部分
3210‧‧‧接合手柄
3214‧‧‧連接外殼
3216‧‧‧連接螺母
3218‧‧‧接頭
3220‧‧‧旋轉部件
3222‧‧‧楔形榫軌道
3300‧‧‧上部延伸臂
3302‧‧‧過濾器對準支架
3304‧‧‧過濾器底座
3310‧‧‧背板
3312‧‧‧導引臂
3314‧‧‧導銷
3320‧‧‧導銷
3322‧‧‧狹槽
3600‧‧‧過濾系統
3700‧‧‧歧管總成
3702‧‧‧過濾器匣
3704‧‧‧下部支撐臂
3705‧‧‧下部連接系統
3706‧‧‧上部支撐臂
3707‧‧‧上部連接系統
3708‧‧‧中間部分
3710‧‧‧連桿
3712‧‧‧過濾器對準支架
3714‧‧‧導引臂/導軌
3715‧‧‧狹槽
3720‧‧‧旋轉部件
3800‧‧‧歧管總成
3802‧‧‧過濾器匣
3806‧‧‧導引臂
3810‧‧‧上部連接系統
3812‧‧‧下部連接系統
3820‧‧‧桿
3850‧‧‧狹槽
3902‧‧‧垂直對準組塊
3904‧‧‧樞轉組塊
3910‧‧‧上部歧管埠
3920‧‧‧過濾器端帽
3930‧‧‧供應線
3940‧‧‧桿
3950‧‧‧樞轉軸
4002‧‧‧樞轉組塊
4004‧‧‧外殼底座
4006‧‧‧柱
4010‧‧‧過濾器匣端帽
4060‧‧‧樞轉軸
4100‧‧‧歧管總成
4102‧‧‧過濾器匣
4104‧‧‧下部支撐臂
4105‧‧‧下部連接系統
4106‧‧‧上部支撐臂
4107‧‧‧上部連接系統
4108‧‧‧支撐支架
4110‧‧‧下部板
4112‧‧‧上部板
4120‧‧‧傳動軸件
4200‧‧‧齒輪
4202‧‧‧齒輪
5200‧‧‧主體
5210‧‧‧第一側蓋
5220‧‧‧第二側蓋
5225‧‧‧淨化器元件
5230‧‧‧主殼體
5232‧‧‧底座
5234‧‧‧外側壁
5236‧‧‧外側壁
5238‧‧‧張力部件
5239‧‧‧整合腔道蓋
5240‧‧‧腔道蓋
5244‧‧‧架部件
5260‧‧‧側支撐部件
5262‧‧‧分開肋
5263‧‧‧分開肋
5264‧‧‧流動通道部分
5270‧‧‧側支撐部件
5272‧‧‧分開肋
5273‧‧‧分開肋
5274‧‧‧流動通道部分
5292‧‧‧標籤固持件
5294‧‧‧標籤
5300‧‧‧過濾器匣
5301‧‧‧主體
5302‧‧‧第一端帽
5304‧‧‧第二端帽
5306‧‧‧第一埠
5308‧‧‧第二埠
5310‧‧‧第三埠
5312‧‧‧第四埠
5400‧‧‧過濾器匣
5401‧‧‧主體
5402‧‧‧第一端帽
5404‧‧‧第二端帽
5406‧‧‧第一埠
5408‧‧‧第二埠
5410‧‧‧第三埠
5412‧‧‧第四埠
5500‧‧‧過濾器匣
5501‧‧‧主體
5502‧‧‧第一端帽
5504‧‧‧第二端帽
5506‧‧‧第一埠
5508‧‧‧第二埠
5510‧‧‧第三埠
5512‧‧‧第四埠
包含隨附本說明書並形成其部分之圖式以描繪本發明之實施例之某些態樣。藉由參考該等圖式中圖解說明之例示性且因此非限制性實施例將更加容易明白本發明之一更清晰印象及具備本發明之系統之組件及操作之一更清晰印象，其中相似參考數字指定相同組件。注意，該等圖式中圖解說明之特徵不一定按比例繪製。
圖1A及圖1B係一匣之一實施例之圖形表示。
圖2係一匣主體之一實施例之一視圖之一圖形表示。
圖3係一側蓋之一實施例之一圖形表示。
圖4A及圖4B係一側蓋及端帽之一實施例之圖形表示。
圖5係通過一系統之流動之一實施例之一圖形表示。
圖6係一匣中之應力之一實施例之一圖形表示。
圖7係一匣之另一實施例之一圖形表示。
圖8A至圖8B係一側蓋及端帽之另一實施例之圖形表示。
圖9係通過一匣之另一實施例之流動之一圖形表示。
圖10係一匣之另一實施例之一圖形表示。
圖11係一匣之另一實施例之一圖形表示。
圖12係一匣之另一實施例之一圖形表示。
圖13A及圖13B係一端帽之一實施例之圖形表示。
圖14係一端帽之一實施例之一圖形表示。
圖15A至圖15D係一端帽之一實施例之圖形表示。
圖16係一主殼體及介質蓋之另一實施例之一圖形表示。
圖17A及圖17B係一連接系統之一實施例之圖形表示。
圖18係一連接系統之另一實施例之一圖形表示。
圖19A及圖19B係一連接系統之另一實施例之圖形表示。
圖20係一連接外殼之一實施例之一圖形表示。
圖21A係一連接螺母之一實施例之一圖形表示。
圖21B係一連接螺母及接頭之一實施例之一圖形表示。
圖22A至圖22B係一傳動系統之一實施例之圖形表示。
圖23係一對準開口之一實施例之一圖形表示。
圖24A至圖24C係一傳動系統之另一實施例之圖形表示。
圖25係一歧管總成之一實施例之一圖形表示。
圖26係一主歧管板之一實施例之一圖形表示。
圖27係一歧管及匣之一實施例之一圖形表示。
圖28係一歧管總成及匣之另一實施例之一圖形表示。
圖29係將匣連接至一歧管總成之一實施例之一圖形表示。
圖30係一連接系統之另一實施例之一圖形表示。
圖31係一連接系統之一實施例之一視圖之一圖形表示。
圖32係一歧管總成及匣之另一實施例之一圖形表示。
圖33係一歧管總成及匣之另一實施例之一圖形表示。
圖34A至圖34E係將一匣連接至一歧管總成之另一實施例之圖形表示。
圖35A至圖35E係將一匣連接至一歧管總成之另一實施例之圖形表示。
圖36係一組歧管總成及匣之一實施例之一圖形表示。
圖37A至圖37B係一過濾器匣之另一實施例之圖形表示。
圖38係一過濾器匣之另一實施例之一圖形表示。
圖39A至圖39B係一連接系統之另一實施例之圖形表示。
圖40係一連接系統之另一實施例之一圖形表示。
圖41係一歧管總成及匣之另一實施例之一圖形表示。
圖42係一連接系統之另一實施例之一圖形表示。
圖43係一匣之另一實施例之一圖形表示。
圖44係一匣之又另一實施例之一圖形表示。
圖45係一匣之又另一實施例之一圖形表示。
圖46係一匣之又另一實施例之一圖形表示。
參考隨附圖式中圖解說明且下列描述中詳述之非限制性實施例更加完整地解釋淨化系統及其各種特徵及有利細節。省略已知起始材料、處理技術、組件及設備之描述以免不必要地在細節方面混淆本發明。然而，應瞭解，在指示較佳實施例時，詳細描述及特定實例係僅
藉由圖解之方式且非藉由限制之方式給定。熟習此項技術者根據本發明將明白基礎概念之精神及/或範疇內之各種替代、修改、添加及/或重新配置。
如本文中使用，術語「包括」、「包含」、「具有」或其任何其他變體旨在涵蓋一非排斥包含。例如，包括一系列元件之一程序、物品或設備不一定僅限於該等元件，但是可包含未明確列出或此程序、物品或設備固有之其他元件。進一步言之，除非明確說明相反的情形，否則「或」係指一包含性或而非一排斥性或。例如，以下任何一者滿足一條件A或B：A為真(或存在)且B為假(或不存在)，A為假(或不存在)且B為真(或存在)，以及A及B皆為真(或存在)。
此外，本文中給定之任何實例或圖解無論如何皆不會被視為約束、限於搭配其等使用之任何術語或表達其定義。相反，此等實例或圖解被視為關於一特定實施例描述且僅為視為闡釋性。一般技術者應明白，搭配此等實例或圖解使用之任何術語將涵蓋可由或不一定由任何術語或說明書中其他處給定之其他實施例，且所有此等實施例旨在包含於該(該等)術語之範疇內。指定此等非限制性實例及圖解之用語包含(但不限於)：「例如」、「在一實施例中」。
為便於解釋，可關於一第一軸(x軸)、一第二軸(y軸)及一第三軸(z軸)描述實施例。此外，實施例可被稱作具有一頂側、底側、前側、後側、左側及右側以及一高度、深度及寬度。此等軸及術語係藉由解釋方式提供。可以其他方式定向並組態實施例。此外，雖然某些項目可被稱作「第一」、「第二」、「第三」、「第四」等等(例如，一第一側壁、第二側壁)，但是應瞭解此等術語係用於解釋且多個此等項目之任一者皆可被視為「第一」、「第二」等等。
本文中描述之實施例係關於一緊湊型大體上矩形壓力容器及用於提供流體往返於壓力容器之歧管，其包含能夠自液體移除如顆粒、
離子、氣體等等之污染物之淨化器匣。更特定言之，一些實施例係關於用於淨化多種流體(包含(但不限於)半導體製程流體，諸如用於濕式蝕刻及清洗應用之化學物質)之淨化器匣。在其他實例中，實施例可應用於淨化微影處理中之化學物質(光化學物質)。光化學物質包含諸如底材(primer)、助黏劑、光阻、邊珠去除劑(edge bead remover)、抗反射塗層、顯影劑、介電質等等之材料。可在使用點(POU)、底板或其他處過濾化學物質。淨化器匣亦可用以過濾其他液體，包含漿體。
一淨化器匣可包含自一製程液體或其他流體添加或移除材料之一淨化元件。一淨化元件或淨化器元件係指可自一液體或其他流體添加或移除材料之任何淨化介質。例如，可由介質移除之污染物包含(但不限於)顆粒、凝膠、分子污染物、離子、溶解氣體、氣泡或此等之組合。可添加之材料可包含如臭氧及二氧化碳之氣體。如本文中使用之過濾係指自一液體或其他流體移除污染物之所有或一部分之動作或步驟。淨化可包含(但不限於)機篩、靜電、化學鍵結、離子交換、螯合作用、吸收、脫氣及此等之組合。
介質係指自一液體或其他流體移除污染物或將材料轉移至液體或其他流體中之一材料或材料組合。介質可包含(但不限於)用於移除顆粒之多孔隔膜；用於脫氣液體之無孔隔膜；具有離子交換基團或配位基之多孔隔膜，或隔膜內含有離子交換介質之多孔隔膜，或囊封離子交換、吸收或用於移除液體中之離子或殘留物之其他反應性微粒介質(諸如(但不限於)矽珠粒、離子交換珠粒或活性碳)之多孔隔膜。一介質可為多孔介質(例如，用於過濾)或無孔介質(例如，用於氣體交換)。在一些實施例中，介質可用以將材料轉移至諸如一液體之一製程流體中。一實例將包含用於對液體添加臭氧氣體或二氧化碳氣體之一多孔或無孔隔膜。在各種實施例中，淨化器匣含有一或多種介質。
一淨化介質可包含一隔膜。例示性隔膜包含(但不限於)由聚合物
材料製成之隔膜。實例可包含(但不限於)聚烯烴，如超高分子量聚乙烯、聚丙烯及高密度聚乙烯；鹵化聚烯烴，諸如聚四氟乙烯及聚偏二氟乙烯；全氟化聚合物，如全氟烷氧基聚合物(PFA)及氟化乙烯丙烯(FEP)；聚碸、包含尼龍6,6之聚醯胺及聚酯。隔膜可為多孔、無孔或具有去皮表面(多孔或無孔)。多孔隔膜可為單層或多層且包含具有跨隔膜之厚度之對稱或不對稱(及組合)小孔大小之隔膜。隔膜可藉由熔噴或電紡絲澆鑄、擠壓或形成或可為由此等之一組合製成之多層隔膜。聚合物結網材料及其他材料可連同一隔膜一起摺疊。在一些實施例中，一無孔隔膜可用於熱量交換。
在論述特定實例之前，某種背景可能有用。在過濾半導體製造流體時，通常需要平衡保留或污染物移除、流速、大小及跨過濾器之壓降。隨著保留或污染物移除或流速增加，過濾器之大小亦增加以減小增加的壓降。例如，對於一給定過濾介質，將小孔大小減小50%可使流阻增加400%。這意謂為維持一所要流速，過濾器中之壓降將大幅增加。為補償壓降增加，因此可能必須增加過濾器外殼之大小及對應隔膜面積。然而，大型過濾器的使用歸因於空間約束或其他考慮而可能非所要或不可行。
習知地，圓柱形過濾器表示大小、顆粒保留或污染物移除、流速及壓力損失之一良好的平衡。因此，半導體製造產業大體上採用圓柱形過濾器。避免矩形過濾器，這係因為一矩形過濾器中之應力要求矩形過濾器經製造大於一相當的圓柱形過濾器以達成相同過濾及流速。此外，認為半導體製造過濾器中通常經歷的壓力將造成典型的矩形設計中的高局部應力。此等應力將導致通常用於半導體製造裝置之非反應性材料(諸如全氟烷氧基聚合物(PFA)及聚四氟乙烯(PTFE))屈服，從而導致過濾器故障。
本文中描述之實施例可提供一種淨化器匣，其具有呈一緊湊設
計之一大體上矩形外形，與具有一相當的過濾器介質面積之一圓柱形過濾器相比，該淨化器匣可提供相當或優越的保留(或其他淨化)、流速及壓降。該匣可進一步提供較低外殼表面面積及無效體積以改良過濾效能。在一些實施例中，該匣可由諸如PFA之材料及其他非反應性材料形成，且可因此適用於搭配半導體製造流體使用。RFID標籤及其他特徵部可整合於一淨化器匣中以促進程式化操作並促進由機器人進行過濾器替換。
根據一實施例，一淨化器匣可組態為一過濾器匣。可使用多種淨化器元件，包含由隔膜形成以過濾一液體或其他流體之摺疊式過濾器。隔膜可經選擇以達成所要顆粒大小保留或其他淨化結果。對於一些半導體製造應用，可選擇具有20奈米、15奈米、10奈米或更小之顆粒大小保留之多孔隔膜。對於亞15奈米保留，可將一相對較高流速維持在此等保留額定值，包含(但不限於)大於每分鐘15公升。例如，可由介質移除之污染物包含(但不限於)顆粒、凝膠、分子污染物、離子、溶解氣體、氣泡或此等之組合。
半導體製造中經歷之另一問題係缺少一適當快速連接接頭。可承受較高壓力之許多接頭必須旋轉若干次以完成一密封。此等連接尤其難以在狹小空間中使用，且無法促進由機器人進行過濾器替換。為此，本文中描述之實施例進一步提供一種快速連接接頭，其可用於多種應用，包含半導體製造系統。快速連接接頭可提供非O形環密封。非O形環設計可減小污染物並提供更可靠的高溫操作。快速連接接頭可進一步提供防止插入錯誤或不正確就位之特徵部。
應注意，雖然已就一過濾器匣描述本文中描述之實施例，但是過濾器匣可包含如上所述般執行淨化之任何適當淨化介質。在一些情況下，一匣可經組態用於其他應用，諸如熱量交換或其他應用。
圖1A及圖1B係一過濾器匣100之一實施例之圖形表示。為論述之
目的，將就一第一端120(一頂端)、一第二端122(一底端)、一第一側123(一前側)、一第二側124(一後側)、一第三側125及一第四側126描述過濾器匣。過濾器匣100具有具備一大體上矩形外形之一主體102、一第一端帽104及一第二端帽106。主體102可提供其中安置一淨化器元件之一內部腔。端帽104及端帽106提供經流體耦合至內部腔之埠(例如，第一埠108、第二埠110、第三埠112及第四埠114之一或多者)。取決於過濾器匣100之組態，該一或多個埠之任一者可用作一入口埠、一出口埠、一排氣埠、排放埠或其他類型的埠。在一些情況下，該等埠可經放置使得可顛倒過濾器匣(例如，過濾器匣可在端120作為頂部且端122作為底部(或反之亦然或在另一定向上)之情況下配接至一歧管)。可使用任何適當機構，包含(但不限於)透過音波黏結、熱黏結、黏著劑或其他連結方案或透過機械緊固件或其等之一組合進行的連結，將各種外殼組件耦合在一起。
在其他實施例中，埠接頭可在內部具有螺紋或不具備螺紋。如所描繪，埠在x-y平面中開向匣100後面且穿過埠之主要流徑平行於z軸。一端帽上之埠在x及y軸二者上彼此偏離。由於埠沿y軸偏離，端帽可能較為狹窄，從而容許過濾器匣100之總寬度(例如，x方向上的大小)保持較小。雖然圖解說明兩個端帽，但是一過濾器匣可具有一端帽，而另一端被密封。在其他實施例中，埠可安置在匣之一側壁中或其他處且未使用端帽。
如圖1A中描繪，埠接頭可包含埠接頭外螺紋以接合一歧管或其他組件之螺紋。此外，一埠接頭可包含自端帽之一表面延伸且自各自埠開口(例如，埠108及埠112)後移之一徑向突出埠肋(例如，徑向肋130及徑向肋132)。徑向肋130及徑向肋132可用作一對準特徵部且有助於確保如下論述般進行一密封連接。在一些實施例中，不存在徑向肋。一徑向肋之一實例係下文結合圖24論述之一螺旋肋。然而，徑向
肋130及徑向肋132亦可具有其他組態。
端帽可包含諸如對準孔、軌道、導槽或類似物之特徵部以接合一歧管總成上之互補特徵部以有助於確保適當地放置過濾器匣。在圖1A之實施例中，端帽104包含對準孔134且端帽106包含開向匣100前面之對準孔136以接納一歧管之導銷(例如，諸如下文論述之對準把手或其他導軌)。對準孔134/136可接納一歧管之對應導軌以垂直定位並固持匣100。端帽104可進一步包含一對準開口140且端帽106可包含對準開口142。根據一實施例，對準開口140軸向對準埠108且對準開口142軸向對準埠112。對準開口140及對準開口142可如下文論述般接納一傳動手柄之一對準柱。匣100之外側壁可進一步包含可用以支撐並對準匣之軸肩138。例如，軸肩138可接觸一歧管之導引臂或其他對準特徵部以有助於對準並支撐匣100。
如下文論述，匣100可包含用於方便安全地處置之額外特徵部(諸如標籤、手柄等等)。作為一實例，可在匣100與埠開口相對之側上安置腳座或平坦表面以容許匣100擱在一表面上使得埠開口面向上且不傾倒。
圖2係自一端觀察之主體102之一實施例之一圖形表示(例如，移除端帽106)。主體102可界定一介質腔。介質腔可隔離為腔道，其中各腔道中安置一淨化器元件225。根據一實施例，平行腔道在x-z平面及x-y平面中具有一大體上矩形(包含正方形)外形。雖然展示三個腔道，但是過濾器匣可具有更多或更少個腔道。腔道可經密封使其等彼此阻隔使得流體未在腔道之間流動。在其他實施例中，可提供開口使得流體可在隔離腔道之間流動。
根據一實施例，主體102包括第一側蓋210、第二側蓋220、主殼體230及腔道蓋240(指示其等之一者)。主殼體230、第一側蓋210、第二側蓋220及端帽可使用緊固件、音波黏結、干涉配合或其他耦合機
構耦合在一起，且可協同以形成介質腔及平行腔道。主殼體230提供在外側壁234與外側壁236之間延伸之一底座232及自底座232延伸之一組分開張力部件238。側壁234、側壁236、側蓋210及側蓋220可形成內腔之側壁。主殼體側壁及張力部件238可沿長軸在腔內延伸一長度以形成腔道側壁。底座232介於腔道側壁之間(例如，外側壁234/236與一張力部件238之間及兩個張力部件238之間)之部分形成整合腔道蓋239，其包括一格柵以容許流體流入或流出對應腔道。在一些實施例中，一支撐部件252可延伸格柵之長度以提供額外支撐。在一些情況下，支撐部件252可被分成不連續區段以容許格柵之不同部分在用於組裝程序之熱量下獨立地膨脹或收縮。例如，多個格柵狹槽可全程跨一整合腔道蓋239延伸，從而將支撐部件252分為區段。
底座232之一側可包含促進將側蓋220耦合至底座232之特徵部。根據一實施例，底座提供可熱黏結或以其他方式耦合側蓋220之一部分之一組側蓋安裝表面。在相對側上，外側壁234、外側壁236及張力部件238遠離底座232之端可提供促進將側蓋210耦合至主殼體230之特徵部。例如，遠端表面可提供可黏結或以其他方式耦合側蓋210之一部分之側蓋安裝表面。
腔道蓋240跨越在各主殼體側壁234/236與一張力部件238之間或相鄰張力部件238之間，且可延伸腔道之長度以覆蓋腔道與底座232相對之側。腔道蓋240可包括包含延伸腔道蓋240之長度之框架部件244之一外框架及跨越在框架部件244之間之一格柵部分。延伸格柵之長度之一支撐部件242可對一腔道蓋240提供額外剛性。在一些情況下，支撐部件242可被分成不連續區段以容許格柵之不同部分在熱量下獨立地膨脹或收縮。腔道蓋240中之開口可相同或不同於底座232之整合腔道蓋239中之開口。
框架部件244面向側蓋210之表面可提供一側蓋安裝表面以促進
側蓋210之耦合。例如，側蓋安裝表面可提供可黏結或以其他方式耦合側蓋210之一部分之一表面。腔道蓋240亦可包含耦合特徵部以促進使用一卡扣配合、干涉配合、音波黏結或根據任何適當耦合機構將腔道蓋240耦合至主殼體230。根據一實施例，腔道蓋240可包含自框架部件244突出之舌狀物246。舌狀物246係接納在各自外側壁234/236或張力部件238之對應凹槽中以將腔道蓋240卡住在適當位置中。
如圖2中描繪，在一淨化器元件225之一上游側及一下游側二者上提供一腔道蓋(例如，呈腔道蓋240及整合腔道蓋239之形式)。在其他實施例中，僅在淨化器元件225之一側上提供一腔道蓋。在又另一實施例中，完全不使用腔道蓋。具有腔道蓋以覆蓋淨化器元件225之上游側及下游側之一優點係：可在正向流動及反向流動中支撐淨化器元件225，從而容許匣在任一流動方向上類似地運行。
側蓋210可包含側支撐部件260、對準張力部件238之一組分開肋262，且可包含對準介質蓋支撐部件242之一組分開肋263。在圖1A及圖1B之定向上，側支撐部件沿側蓋210之前側(側123)及後側(側124)邊緣延伸。側蓋220可類似地包含側支撐部件270、對準張力部件238之一組分開肋272及大體上對準第二腔道蓋之支撐部件252之一組分開肋273。
可沿側壁安置流動通道。為此，側支撐部件260、分開肋262及分開肋263可延伸一長度並協同以形成一組平行流動通道264，其等沿其等長度開向腔道蓋240。類似地，側支撐部件270、分開肋272及分開肋273可延伸一長度並協同以形成一組平行流動通道274，其等沿其等長度開向腔道蓋239。流動通道之端可經流體耦合至入口埠、出口埠、排氣埠或排放埠之一或多者。
雖然每個腔道描繪兩個流動通道，但是匣之每個腔道可具有單一流動通道。例如，可省略肋狀物263及273或肋狀物263/273與各自
腔道蓋之間可存在一間隙。其他實施例之每個腔道可具有額外流動通道。流動通道264及274可具有任何所要形狀及大小，且相同側或相對側上之不同流動通道可具有不同組態。根據一實施例，流動通道可呈弧形、橢圓形或圓形以沿界定通道之側蓋內側產生一系列拱形件。圓形或橢圓形形狀可產生箍環應力以拉緊主體，從而最大化其強度能力。
各側蓋上之分開肋之一些分開以對準張力部件238。此等肋狀物之內表面可耦合至張力部件之端。例如，肋狀物272之內表面可在張力部件238之底座處耦合至主殼體230且肋狀物262之內表面可耦合至張力部件238之遠端。因此，當壓力容器腔受到壓力時，張力部件238將於側蓋210及220上撐住一力以減小或防止側蓋210及220彎曲。張力部件238之大小及組態可經選擇使得在期望操作壓力下，壓力容器腔之體積變形小於一所要百分比。
其他分開肋可對準腔道蓋之支撐部件242(例如，分開肋263對準腔道蓋240之支撐部件242且分開肋273對準腔道蓋239之支撐部件252)。肋狀物263及273之端可耦合至各自支撐部件242/252或肋狀物263及273之端與各自支撐部件之間可保留一間隙。
主體102可包括更好地分佈力之一系列箍環狀結構。根據一實施例，內表面中平行於腔道延伸之轉折彎曲。因此，例如，側蓋210之角隅280、側蓋220之角隅290及流動通路繞平行於腔道之軸彎曲。此外，主殼體側壁234及236具有彎曲外部，且側蓋210及220在自側125至側124及側123之轉折及自側126至側124及側123之轉折處具有彎曲角隅。
圍繞腔道之箍環狀結構在腔室中產生壓力以造成至少部分箍環應力(法向於正切於曲率之一方向上之壓力之應力)且分佈應力。效應可能係在中心腔道上方於側蓋210及側蓋220中產生張力且沿側壁之中
心軸於側壁234及236中產生張力。箍環狀結構之組態可經選擇使得馮米斯應力(von Mises stress)小於側蓋210、側蓋220、側壁234及側壁236以及張力部件、過濾器蓋及其他特徵部及當加壓主體時經歷此應力之配接位置之屈服應力。
如上所述，腔道可提供淨化器元件固持區域以固持淨化器元件225。淨化器元件225可為多孔聚合物隔膜之褶襉網片，其等經摺疊使得隔膜褶襉之長度平行於匣之長軸。褶襉尖端可經定向使得在一側上的褶襉尖端指向側蓋210，而相對褶襉尖端經定向以指向側蓋220使得褶襉尖端鄰接各自腔道蓋。在此配置中，一組褶襉尖端面向腔之上游部分且另一組褶襉尖端面向腔之下游部分。淨化器元件225可為分離淨化器元件，或淨化器元件之各者可為相同連續褶襉網片之部分，使得(例如)一淨化器元件225之最後的褶襉轉折至下一個淨化器元件225之第一褶襉中，且該淨化器元件之最後的褶襉轉折至下一個淨化器元件225之第一褶襉中，以此類推。各淨化器元件之褶襉可由單一隔膜或多個隔膜形成，隔膜由相同或不同材料形成。較佳地，褶襉壓縮在一起並在上游側上形成一大體上較平坦矩形入口界面且在下游側上形成一大體上較平坦矩形出口界面。一腔道中一給定隔膜區域之隔膜褶襉壓縮量可經選擇以最佳化一所要壓降對流速。在一些實施例中，腔道蓋(例如，腔道蓋240)可經輪廓化以增加所曝露之褶襉網片之表面面積，這可呈現輪廓化形狀。
圖3係側蓋220之一實施例之一圖形表示，側蓋220可與側蓋210相似或可不同。側蓋220包括側支撐部件270、間肋272及間肋273。側支撐部件270、間肋272及間肋273之內表面可提供可黏結或以其他方式耦合至其他組件之安裝表面。側蓋220亦可包含可提供可黏結或以其他方式耦合至一端帽之端帽安裝表面之端表面302。
側支撐部件270及分開間肋272可形成對準腔道之一組主流動通
道304，且分開間肋273可在主流動通道內形成一組子通道274。一主流動通道304可在一端或兩端處包括一充氣室區域(例如，充氣室區域310及充氣室區域311)。充氣室區域310可為具有大於子通道274之一橫截面面積之一區域(例如，自該端觀察時)且可用以在減小損失的情況下將流體分佈至子通道274且亦幫助減小歸因於黏結溢料(bonding flash)或將端帽耦合至主體之錯位造成的壓力損失效應。在所描繪之實施例中，充氣室區域310具有具備圓形角隅290之一大體上矩形橫截面(自該端觀察時)，而子通道274具有一半圓形外形。
增加充氣室區域310之入口橫截面可降低由側蓋220造成的壓降。例如，使用一腔道蓋作為一參考，其中充氣室區域310之內表面312相距腔道蓋比子通道274之內表面314之頂點相距腔道蓋遠3毫米之一組態提供的壓力損失與其中內表面312及內表面314之頂點與腔道蓋相距相同距離之一組態相比有所降低。此外，將轉折316塑形至子通道274中可減小壓降。因此，在充氣室區域310與次級流動通路274之間之包括一內圓角、倒角之一轉折或其他形狀的轉折316可展現出小於一銳利角隅之壓降，但是在一些實施例中可使用角隅。
又，如圖3中圖解說明，側蓋220亦可包含自一側支撐部件270之前側外表面突出之突片320。突片320可包含一凹槽、開口或其他特徵部以容納標籤、手柄或如下文論述之其他組件。此外，蓋220之突片320與介質蓋210(未展示)上之對應突片一起作用可提供腳座使得一過濾器匣可放置在一平坦表面上，使得埠面向上且不傾倒。
圖4A及圖4B係耦合至端帽104及端帽106之側蓋220(圖4A)及側蓋210(圖4B)之一實施例之一橫截面之圖形表示。端帽106可包含在子通道274之一端處將一埠腔室401流體耦合至充氣室310之端帽流動通道400及在子通道264之一端處將充氣室410流體耦合至埠腔室403之一第二端帽流動通道402。端帽104可包含在子通道264之另一端處將
一埠腔室421流體耦合至充氣室411之一流動通道420及將充氣室311流體耦合至埠腔室423之一第二流動通道422。從圖4A及圖4B應注意，端帽及側蓋可為所描繪之相似部分。在其他實施例中，該兩個側蓋可具有不同特徵部或不對稱使得其等不可互換。
參考圖5，過濾器匣100之一實施例之一剖視圖，該過濾器匣100具有黏結或以其他方式耦合至側蓋210、側蓋220及主殼體230(圖2)之端以形成一密封外殼之端帽104及端帽106。端帽104具有可用作腔道之一端處之一端壁之一內壁512，且端帽106具有可用作腔道之另一端處之一端壁之一內壁506。張力部件238及主殼體側壁之端可密封至端壁506及512。此外，過濾器隔膜之端亦可藉由(例如)用一聚合物樹脂裝填接著黏結至端壁506及512而密封，使得過濾器隔膜之端與可讓流體流過之端壁之間不存在空間。
端帽104包含形成通道420及埠腔室421之一塑形腔及包括流動通道422及埠腔室423之一塑形腔。所描繪之實施例中之埠腔室421大體上係圓柱形且可呈錐形以在埠開口處較寬。埠腔室421至流動通道420之界面可偏離流動通道420與充氣室411之間的界面。因此，流動通道420可自埠腔室421向外傾斜行進至充氣室411。流動通道420可具有與充氣室411之橫截面入口面積相同之一恆定橫截面面積。在其他實施例中，流動通道420可具有一不同橫截面面積且可具有不同於充氣室411之橫截面面積之一橫截面面積。在又另一實施例中，可將流動通道420分為多個內部通道。
端帽106包含形成通道400及埠腔室401之一塑形腔及包括流動通道402及排放埠腔室403之一塑形腔。所描繪之實施例中之埠腔室401大體上係圓柱形且可呈錐形以在埠開口處較寬。埠腔室401至流動通道400之界面可偏離流動通道400與充氣室310之間的界面。因此，流動通道400可自埠腔室401向外傾斜行進至充氣室310。流動通道400可
具有與充氣室310之橫截面入口面積相同之一恆定橫截面面積。在其他實施例中，流動通道400可具有一不同橫截面面積且可具有不同於充氣室310之橫截面區域之一橫截面面積。在又另一實施例中，可將流動通道400分為多個內部通道。端帽106可進一步包含形成流動通道402及排放埠腔室403之一塑形腔。
在圖5之實例中，一液體供應系統經組態使得埠112係入口埠，埠108(圖1A)係出口埠，埠114(圖1A)係一出口排放埠且埠110係一入口排氣埠。在操作中，流體可透過埠112進入過濾器匣，藉由流動通道400自埠腔室401引導至充氣室310且分佈至主流動通道304及/或子通道274。流體流過腔道蓋239、在一褶襉尖端-尖端方向上流過淨化器元件225且流過腔道蓋240而至側蓋210中之主流動通道及/或子通道264。因此，過濾器匣可提供有效法向流動過濾。在側蓋210中流動之流體可在通道420及出口腔室421中合併。流體透過出口埠退出腔室421。流體中之氣體可上升至排氣埠(埠110)，且當自過濾器匣移除壓力時，流體中之氣體可排出排放埠及出口埠(例如，啟動時)或入口埠。各種流徑經組態以避免無效空間--即其中一製程流體可滯留之空間。因此，過濾器匣可提供增加的清潔度。
關於排氣，主體102可由一材料形成使得內部表面比淨化器元件更親近氣體--或換言之，淨化器元件可經選擇以比外殼材料更疏遠氣體--以促進氣體對外殼側壁之親和力。例如(但非限制)，側蓋220材料與淨化器元件225之間的表面能量之差可大於10達因/平方公分。因此，淨化器元件與側壁之間可存在一表面能量梯度。因此，隨著流體沖洗一側蓋220之內部，流體中之氣體將被吸附至側壁。因此與氣體行進穿過淨化器元件相比，氣體更加可能上升至過濾器排氣口。因此，入口排氣口可位於過濾器之上游側上的最高點處以有助於確保氣體不會被困。
在圖5之實施例中，流動通道經組態使得流動平行行進穿過各褶襉網片。然而，在其他實施例中，流動通道可經組態使得流體連續流過淨化器元件225(例如，流過呈側蓋及/或端帽之幾何形狀)。因此，可在各腔道中放置不同淨化器元件使得各腔道用於一淨化目的(例如，預過濾、脫氣、離子交換、精緻過濾等等)。
使用具有三個腔道(例如，一第一腔道、第二腔道、第三腔道)之一介質腔之一實例，一入口流動通道可連接至第一腔道之一第一側上之一分佈通道。流體可流過分佈通道並流過第一腔道中之淨化器元件。第一腔道之第二側上之流動通道可將流動引導至第二腔道，且流體可流過第二腔道中之淨化器元件而返回至第一側。過濾器之第一側上之一分佈通道可將接收自第二腔道之流體引導至第三腔道。流體可流過第三腔道中之淨化器元件而至連接至出口埠之一分佈通道。在另一實施例中，端帽可包含流動通道以按一連續方式將流體自一腔道引導至下一個腔道。在又另一實施例中，多種類型的淨化器元件(例如，兩種或更多種類型的褶襉網片)可堆疊在一腔道中，使得即使流體被平行引導至腔道，亦可在單一腔道中串聯執行多種類型的淨化器元件(例如，在圖5之實施例中，一粗糙過濾褶襉網片可位於蓋239附近且一精細過濾褶襉網片可位於一腔道中之蓋240附近)。
在過濾期間，過濾器匣將受到壓力。過濾器匣之實施例可併有(在一安全因數下)防止或最小化在期望操作壓力下的變形之特徵部。轉向圖6，圖6係一主體102之一實施例之一圖形表示，其展示一例示性應力分佈及額外應力分佈特徵部。
如上所述，實施例可圍繞各腔道提供一箍環狀結構。為此，一側蓋210之一實施例可具有對應於各腔道之一腔道部分602。各腔道部分602可包括彎曲外部角隅。例如，最外面的腔道部分602包含彎曲端角隅604使得自一側至一相鄰側之外表面轉折彎曲。此外，外表面可
在相鄰腔道部分602之間的角隅606處向內彎曲(例如，以產生大體上對準張力部件238之平行折痕)。因此，在側蓋210之各外部角隅處，內表面可彎曲(例如，歸因於流動通道或角隅280(如圖2中所示)之曲率)，且外表面可彎曲。
提供箍環狀結構可提供一所要應力外形。如圖6中描繪，雖然可存在應力增加之一些局部區域，但是側蓋210中經計算馮米斯應力大體上在各腔道部分602之中心軸附近最高(如由增加應力之區域608指示)，且各主殼體側壁中之馮米斯應力大體上在沿各主殼體側壁之中心軸處最高(如由側壁234中(及類似地側壁236中)之增加應力之區域610指示)。在一安全因數下，馮米斯應力保持在主體102之屈服強度以下。
圖7係一過濾器匣700之另一實施例之一圖形表示。過濾器匣700具有具備一大體上矩形外形之一主體702、一第一端帽704及一第二端帽706。匣外殼702可提供其中安置一淨化器元件之一內部腔。如上所述，內部腔可隔離為一組腔道，其中各腔道中安置一大體上矩形褶襉網片或其他淨化器元件。
端帽704及端帽706可提供經流體耦合至內部腔之埠(例如，第一埠708、第二埠710、一第三埠712及第四埠714之一或多者)。取決於過濾器匣700之組態，該一或多個埠之任一者可用作一入口埠、一出口埠、一排氣埠、排放埠或另一類型的埠(且可存在更多或更少個埠)。如圖7中描繪，埠接頭具有埠接頭外螺紋以連接至一歧管或其他供應器。根據一實施例，螺紋式埠可為如下文論述之多線螺紋。
如所描繪，埠在x-y平面中朝匣700前面敞開且穿過埠之主要流徑平行於z軸。在一些情況下，埠可經放置使得過濾器匣可顛倒(例如，過濾器匣可在端720作為頂部且端722作為底部(或反之亦然)之情況下配接至一歧管)。
端帽可包含諸如對準孔、軌道、導槽或類似物之特徵部以接合一歧管總成上之互補特徵部以有助於確保適當地放置過濾器匣。在圖7之實施例中，端帽704包含導引槽724且端帽706包含開向匣700前面之導引槽726。導引槽724/726可接納一歧管之對應導引臂以垂直定位並固持匣700。
一匣可包含連接至與埠開向的側相同之匣之側之一搬運手柄。例如，匣700包含手柄連接部件728以容許一可移除式手柄從匣後面連接。此配置容許一使用者(諸如一人類使用者或機器人)在所有埠面向上的情況下搬運匣。根據一實施例，手柄連接部件可包括在側邊緣處自匣向後延伸且界定自一可移除式手柄接納突出部之開口之突片。在另一實施例中，手柄連接特徵部可整合於表面730中。在又另一實施例中，可整合一手柄。在另一實施例中，手柄連接特徵部可併入端帽704及706、側蓋中或其他處。
一匣亦可包含容許方便地搬運並存放該匣之特徵部。根據一實施例，匣可在該匣與埠開口相對之側上或其他處包含平坦表面以容許將匣放置在一平坦表面上。例如，匣700包括自端帽704及端帽706之前側延伸之腳座772。因此，匣700可放置在一存放貨架上，其中埠面向上且匣700不翻倒或滾動。
匣700亦可包含一標籤系統。雖然可使用基於黏著劑之標籤，但是此等標籤在附接至PFA裝置時通常剝落(尤其對於高溫應用而言)。根據一實施例，匣700可包含一或多個標籤固持件732。根據一實施例，標籤固持件732可包括自匣之側邊緣附近或其他處向後延伸且界定面向彼此之一組凹槽之一突片或其他延伸部。標籤734可為裝配在凹槽中之一卡扣配合標籤，且亦可製成使得(若需要)在匣組裝操作期間插入標籤。標籤可由一塑膠材料、金屬或其他材料製成。例如，標籤可包括經雷射切割、模製、直接注入等等之彩色PTFE或PFA材料，
使得其與過濾器匣成對比且使文字高度可見。色彩編碼標籤讓使用者易於區分裝置。例如，一種色彩的標籤可用以加標籤於15奈米的過濾器，而另一種色彩標籤可用以加標籤於10奈米的過濾器。對於用於需要一「全鐵氟龍(all Teflon)」命名之應用之過濾器匣，PTFE材料維持過濾器匣之此命名。若需要，可使用替代材料。在圖1A及圖1B之實施例中可使用一標籤系統，且(例如)可在側123或124上實施該標籤系統。亦可在淨化器匣之其他實施例中實施標籤。
圖8A至圖8B係匣700之一實施例之一橫截面之圖形表示，其等描繪耦合至端帽704及706之側蓋800及側蓋810。注意，該兩側係對稱的。在圖8A及圖8B之實施例中，側蓋800可包含可黏結或以其他方式耦合至一組側壁之側支撐部件804、可耦合至張力部件之分開間肋806及可耦合至一腔道蓋之分開問肋808(在一些情況下，並非所有分開間肋皆耦合至腔道蓋)。側支撐部件804及分開肋806可形成對應於過濾器外殼中之各腔道之流動通道，且分開肋808進一步將主流動通道分為較小流動通道。側蓋810可包含可黏結或以其他方式耦合至一組側壁之側支撐部件814、可耦合至張力部件之分開間肋816及可耦合至一腔道蓋之分開間肋818。側支撐部件814及分開肋816形成對應於過濾器外殼中之各腔道之流動通道，且分開肋818進一步將腔道分為較小流動通道。然而，在圖8A至圖8B之實施例中，側蓋中未提供充氣室。
參考圖8A，端帽704可包含一塑形腔，其提供一埠腔室820及將埠腔室820連接至分佈流動通道之一第一端之一流動通道821。端帽706可包含一塑形腔，其提供一埠腔室830及將埠腔室830連接至由側蓋800界定之分佈流動通道之第二端之一流動通道831。參考圖8B，端帽704提供一第二塑形腔，其提供一埠腔室840及將埠腔室840連接至由側蓋810界定之分佈流動通道之第一端之一流動通道841。端帽
706提供一第二塑形腔，其提供一埠腔室850及將埠腔室850連接至由側蓋810界定之分佈流動通道之第一端之一流動通道851。埠腔室可傾斜使得埠腔室820之頂面朝埠710之開口向上傾斜，埠腔室830之底面朝埠714之開口向下傾斜，埠腔室840之上表面朝埠708之開口向上傾斜，且埠腔室850之底面朝埠712之開口向下傾斜。對於埠腔室820及840，這意謂到達埠腔室之氣體可退出各自埠。
圖9係通過具有主體702、端帽704及端帽706之過濾器匣700之流動之另一實施例之一圖形表示。在此實例中，一供應器系統經組態使得埠712(圖7)係一入口埠，埠714係一出口埠，埠708係一上游(入口)側排放埠，且埠710係一下游(出口)側排放埠。在操作中，流體透過埠開口流入埠腔室850中且經由流動通道851引導至安置在側蓋810上之上游流動分佈通道，通過一腔道蓋905、通過一淨化器元件925且通過一腔道蓋910。流動通道831連接安置在側蓋800上之下游流動通道與埠腔室830，使得流體可流入埠腔室830中且經由埠714退出過濾器匣700。
如上所述，側蓋可比淨化器元件925更加親近氣體。因此，氣泡可被吸附至側蓋。上游流體分佈通道可將氣體引導至埠腔室840，且下游流體分佈通道可將氣體引導至埠腔室820。埠腔室840及820可經設計使得氣體流至各自埠開口並流出匣700。
圖10係一過濾器匣1000之另一實施例之一圖形表示，過濾器匣1000具有一過濾器匣主體1002、端帽1004及端帽1006。過濾器匣1000可類似於過濾器匣700(圖7)。然而，如圖10中描繪，端帽1004具有沿x及y軸二者彼此偏離之埠1008及1010，且端帽1006具有沿x及y軸二者彼此偏離之埠1012及1014。埠沿y軸偏離可容許將埠一起更緊密地放置在x方向上，因此容許過濾器匣1000之總寬度(x方向上的大小)保持較小。
圖11是一過濾器匣1100之另一實施例之一圖形表示。過濾器匣1100具有具備一大體上矩形外形之一主體1102、一第一端帽1104及一第二端帽1106。主體1102可提供其中安置一淨化器元件之一內部腔。端帽1104及端帽1106可提供經流體耦合至內部腔之埠(例如，第一埠1108、第二埠1110、第三埠1112及第四埠1114之一或多者)。取決於過濾器匣1100之組態，該一或多個埠之任一者可用作一入口埠、一出口埠、一排氣埠、排放埠或另一類型的埠。在圖11之實施例中，埠不具備螺紋。
圖12是一過濾器匣1200之另一實施例之一圖形表示。過濾器匣1200具有具備一大體上矩形外形之一主匣外殼1202、一第一端帽1204及一第二端帽1206。匣外殼1202可提供其中安置一淨化器元件之一內部腔。端帽1204及端帽1206可提供經流體耦合至內部腔之埠(例如，第一埠1208、第二埠1210、一第三埠及一第四埠之一或多者)。取決於過濾器匣1200之組態，該一或多個埠之任一者可用作一入口埠、一出口埠、一排氣埠、排放埠或另一類型的埠。
端帽可包含諸如對準孔、軌道、導槽或類似物之特徵部以接合一歧管總成上之互補特徵部以有助於確保適當地放置過濾器匣。在圖12之實施例中，端帽1204包含導引槽1224且端帽1206包含開向匣1200前面之導引槽1226。導引槽1224/1226可接納一歧管之對應導引臂以垂直定位並固持匣1200。此外，端帽1204或端帽1206可包含垂直卡扣配合狹槽1228以接納歧管上之銷以水平定位並固縛匣1200。
匣1200可進一步包含手柄連接部件1230。根據一實施例，手柄連接部件可包括在側邊緣處自匣向後延伸之突片。突片界定可自一可移除式手柄1232接納突出部之開口。
圖13A至圖13B係一端帽1300之另一實施例之圖形表示。端帽1300可包含在一第一平面(例如，一x-y平面)中敞開之一主埠1302及在
一第二平面(例如，一x-z平面)中敞開之一次級埠1304。根據一實施例，主埠1302可用作如上所述般組態或以其他方式組態之一入口或出口，且次級埠1304可用作一排氣口或排放口。端帽1300可進一步界定一塑形腔1308，其與內部流體分佈通道流體連通且經塑形使得界定腔1308之所有內部表面將會將氣泡引導至通道1320及出口埠1304，使得埠1304用作一排氣埠，或將流體引導至埠1304使得埠1304用作一排放口。
圖14係一匣端帽1400之另一實施例之一圖形表示。端帽1400包括埠1402及1404。進入埠1402之流體被分佈至端帽1400內部之一系列端帽流動通道1406。流體可透過端帽1400內部之端帽流動通道1408接納且在退出埠1404之前合併在端帽1400中。端帽流動通道1406及1408可對準界定在過濾器主體中之對應流動分佈通道，且可經配置以連續或平行分佈流體。端帽流動通道可對準(例如)充氣室、主流動通道或子通道，且可搭配多種埠設計使用。
圖15A至圖15D係一端帽1500之另一實施例之圖形表示。端帽1500包括可耦合至一匣主體之一底座1502、一第一埠接頭1510及一第二埠接頭1520。雖然展示兩個埠接頭，但是可使用一埠接頭或具有兩個以上埠接頭之裝置。埠接頭可具有外螺紋(如螺紋1512及1522所示)。埠接頭可在相同或相反方向上具有螺紋。
埠接頭可包含對準特徵部，其等可協同一連接系統之對應對準特徵部而促進埠接頭與連接系統之對準。對準特徵部可經組態使得除非接頭及連接系統之對應特徵部對準或配接，否則螺紋1512及1522之螺紋線不能接合連接系統之對應螺紋。
根據一實施例，例如，一組對準特徵部可包含對準一連接螺母之內突出體(例如，圖21A之連接螺母1910之內突出體2104)之缺口。為此，在已圖解說明之實施例中，一環形對準肋如由埠肋1514及1524
所示般自各埠接頭向外徑向延伸。各對準肋可在肋狀物之周邊處包含分開對準缺口。例如，肋狀物1514包含分開缺口1516且肋狀物1524包含分開缺口1526。分開對準缺口可經配置使得僅當螺紋1512及1522適當地對準一連接系統之螺紋時，該連接系統中之一對準特徵部方可行進穿過該等缺口。
埠肋1514可自埠接頭外螺紋1512之螺紋線後移一選定距離，使得除非對準特徵部行進穿過對準缺口1516，否則螺紋1512之螺紋線不能接合連接系統之對應螺紋。類似地，埠肋1524可自埠接頭外螺紋1522之螺紋線後移一選定距離，使得除非對準特徵部行進穿過對準缺口1526，否則螺紋1522之螺紋線不能接合連接系統之對應螺紋。雖然使用對應突出體及缺口之實例，但是可採用任何適當對準特徵部。
端帽1500可具有一對準開口1530以接受一傳動手柄對準插入件。對準開口1530可軸向對準埠1510或可以其他方式定位。對準開口1530可形成一鍵孔使得手柄可僅在一所要定向上裝配在對準開口1530中。
圖15D係底座1502之一底部之一視圖。底座1502可包含用於流動通路之開口，其等將埠1510及埠1520流體連接至過濾器主體中之流動通路。為此，至底座1502中之流動通路1540之開口可經定位使得其介接一第一組充氣室，且至流動通路1542之開口可經定位使得其介接一第二組充氣室。雖然展示為單一流動通路，但是流動通路1540及1542之各者可被分為若干流動通路。
底座1502亦可提供可黏結或以其他方式耦合至匣主體之端之一表面。例如，區域1550可黏結至側蓋之端，且區域1554可黏結至主殼體側壁之端。區域1556可將一端壁提供至過濾器匣主體內部之一組腔道，且可提供可黏結或以其他方式耦合張力部件及腔道蓋之端之一表面。
圖16係一主殼體1630及腔道蓋1640之另一實施例之一圖形表示。在圖16之實施例中，腔道蓋1640包含具有框架部件1660之一框架。腔道蓋1640及主殼體1630可包含促進使用一卡扣配合、干涉配合、音波黏結或根據任何適當耦合機構將腔道蓋1640耦合至主殼體1630之特徵部。根據一實施例，腔道蓋1640可包含沿框架部件1660之長度延伸之凹槽1662。自主殼體側壁及張力部件突出之舌狀物1664可接納在對應凹槽1662中以產生一卡扣配合。在其他實施例中，舌狀物可位於腔道蓋1640上且凹槽位於側壁及張力部件上。亦可使用其他機構以固縛腔道蓋。
可以任何適當方式組裝過濾器匣。根據一實施例，可將一側蓋(例如，圖2之側蓋220)黏結至主殼體且接著將褶襉網片插入在腔道中。一褶襉網片之第一及最後的褶襉可沿褶襉網片之長度伸出。可在各褶襉網片之第一及最後的翻瓣卡住在一腔道蓋與各自側壁或張力部件之間的情況下附接分離的腔道蓋。可將第二側蓋(例如，圖2之側蓋220)黏結至主殼體。可裝填或以其他方式密封主體之端以密封腔道及褶襉網片之端。接著可將端帽黏結至主體。在另一實施例中，例如，第一步驟可為安裝淨化元件及腔道蓋且接著串聯黏結側蓋210、220、端帽104及端帽106或同時黏結此等組件之兩者或更多者。可在腔道中放置其他淨化介質或促進如本文中描述之其他製程(例如，熱量交換)之介質。
如上所述，過濾器匣之實施例可用於多種應用，包含(但不限於)半導體製造應用。在一些半導體製程中，過濾器通常以小於100psi操作。本文中描述之實施例可提供一全聚合物匣(一過濾器，其中該過濾器之流體流徑及結構組件由聚合物材料製成，且無需(例如)金屬支撐板、金屬安裝支架等等)(包含一過濾器匣，其中主體及端帽主要或完全係由PFA、PTFE或其他非反應性材料形成)，其可具有100psi(.68
MPa)或更大(包含大於400psi(2MPa))之破裂壓力，且在一些情況下在小於提供相當的保留及壓降之一圓柱形過濾器所需體積之一體積中大於900psi(6.2MPa)。
此外，流速通常為約5公升/分鐘(lpm)至20公升/分鐘(lpm)，且通常使用可處置多達50lpm之過濾器。過濾器匣之實施例可用於具有廣泛範圍的流速(包含小於50lpm之流速及大於50lpm之流速)之應用。如上所述之過濾器匣可在亞15奈米顆粒之過濾期間提供高流速(例如，大於15lpm)。過濾器匣亦可經組態使得其他淨化介質執行其他過濾或淨化製程。
此外，過濾器匣可展現出一所要壓降。根據一實施例，一過濾器匣可經組態以具有一基線壓降(在一流體具有1MPa之一黏度且未安裝淨化器元件的情況下之壓降)，包含(但不限於)在40公升/分鐘下小於30kPa(在一些情況下，包含小於10kPa)、在30公升/分鐘下小於20kPa(在一些情況下，包含小於10kPa)、在20公升/分鐘下小於20kPa(在一些情況下，包含小於10kPa)之一基線壓降。通常，過濾器之組態可平衡流速及壓降。
給腔道添加一淨化介質可增加壓降，且淨化器元件之組態可經選擇以平衡保留效能與壓降。一般而言，以一給定流速跨一過濾器之壓降將隨褶襉高度(褶襉尖端之間的距離)及相同量的隔膜面積之壓縮比的增加而增加。壓縮比係一褶襉網片相對於一比率1.0壓縮的量，其中褶襉並未分離且並未進一步壓縮在一起。因此，例如，具有100個褶襉及.0415公分之一厚度之一過濾器隔膜在1.0之一壓縮比下將具有近似4.15公分之一寬度，但在0.7之一壓縮比下具有近似2.905cm之一寬度。
對於一給定隔膜過濾面積，固持一矩形褶襉網片所需體積大致上係：
v=a*t*cr，其中：v=過濾器網片體積，a=過濾面積，t=過濾器隔膜之未壓縮厚度
cr=壓縮比。
現在採用具有一隔膜面積3m2、210毫米之一褶襉網片長度(平行於褶襉)、63毫米之一內徑及76毫米之一外徑及0.0415公分之一厚度之一圓柱形過濾器，圓柱形淨化器元件需要近似714cm3的體積且寬度必須為至少7.6公分。對於相同隔膜面積，具有1.0之一壓縮比之一正方形褶襉網片可為近似124cm3。
一褶襉網片可藉由選擇褶襉之長度、褶襉之高度及褶襉網片之寬度而配置在一所要體積中。褶襉之高度及壓縮比可影響跨褶襉網片之壓降。所要褶襉高度及壓縮比可透過測試不同隔膜而判定。取決於應用及流動需要，一褶襉網片可具有任何所要壓縮比，包含(但不限於)0.6至1.0之一壓縮比。在一些情況下，褶襉不一定被壓縮(可具有大於1之一比率)。
過濾器匣之實施例可由多種材料製成，多種材料包含(但不限於)親油性樹脂、全氟化樹脂(諸如(但不限於)聚四氟乙烯(PTFE)、氟化乙烯丙烯(FEP)、全氟烷氧基聚合物(PFA))、聚偏二氟乙烯(PVDF)、聚醯亞胺、聚醚醯亞胺、聚碳酸酯、聚丙烯(PP)、聚乙烯(PE)、聚二醚酮(PEEK)、金屬或其他材料。根據一實施例，外層可由一相對便宜的聚合物形成，而內層可包括不太可能與製程流體反應或污染製程流體之一更昂貴的聚合物。例如，組件可包括由聚丙烯、PET或可承受一應用之溫度及壓力需求之其他材料形成之一外殼體。在外殼體內側，通常更昂貴、更耐化學腐蝕、較高純度的材料之一內層可經熱成型且附接至外層。在另一實施例中，可在外層內側上方包覆模製所要
材料之一內層。過濾器之整個濕潤表面可為更耐化學腐蝕、純度較高的聚合物，諸如PTFE、FEP、PFA或其他材料。
諸如下文論述之腔道蓋之內部組件可由多種材料製成，多種材料包含(但不限於)親油性樹脂、全氟化樹脂(諸如(但不限於)PTFE、FEP、PFA)、PVDF、聚醯亞胺、聚醚醯亞胺、聚碳酸酯、PP、PE、PEEK、金屬或其他材料。在一實施例中，腔道蓋可由多層形成。核心可包括相對便宜的第一聚合物(例如，聚丙烯)，而接觸流體之任何層可包括不太可能與製程流體反應或污染製程流體之一更耐化學腐蝕、純度較高的第二聚合物。根據一實施例，第二聚合物可包覆模製在第一聚合物上。例如，PET之熔化溫度低於PFA及PTFE。根據一實施例，因此，具有PFA及PTFE組份之一過濾器總成之一或多個部分可經PET包覆模製或裝填。PET具有低多孔性、跨寬溫度範圍的良好強度及低於PFA之熔化溫度之優勢。此外，PET一般比PFA便宜。
過濾器匣可經組態以提供法向流動過濾(NFF)，其中流體在所施加的壓力下直接朝過濾器隔膜對流。太大而不能行進穿過隔膜之小孔之顆粒累積在隔膜表面處或過濾介質之深度中，而小分子行進穿過隔膜小孔至下游側。根據一實施例，過濾器匣可經選擇以移除微米及/或亞微米顆粒(例如，100nm或更小之顆粒)。可在單一過濾系統單元中串聯應用多個過濾器以連續移除較小顆粒或不同類型的顆粒。可最後串聯放置最精細過濾器使得在較大顆粒到達該最後的過濾器之前濾除較大顆粒。這可減小最精細(通常最昂貴)的過濾器之磨損。在其他實施例中，匣可經組態用於交叉流動過濾，例如(但不限於)切向流動過濾或氣體接觸。
在一實施例中，過濾器匣使用非圓形摺疊式淨化器元件。例如，一實施例可包含一或多個矩形摺疊式過濾器，其中一第一組褶襉尖端面向介質腔之上游部分及一第二組褶襉尖端面向介質腔之下游部
分。第一組褶襉尖端可大體上配置在一第一平面中，且第二組褶襉尖端可大體上配置在一第二平面中。淨化器元件可提供一大體上較平坦的矩形入口界面及一大體上較平坦的矩形出口界面。在多孔聚合物隔膜的情況下，使用矩形褶襉尖端可在與傳統半導體液體過濾器相同之佔據面積中提供相當多的額外過濾區域。過濾器之褶襉可由單一隔膜或多個隔膜形成，隔膜由相同或不同材料形成。此外，聚合物結網材料及其他材料可連同隔膜一起摺疊。可使用容許在隔膜中橫向流動(平行於褶襉流動)之一隔膜。
將一褶襉網片分成由張力部件分離之多個腔道提供強度之一改良，從而容許使用一較小匣。在一些情況下，可使用一相對較薄壁的匣。根據一實施例，可形成一PFA匣，其中外殼之厚度係致使流體相距裝置之四側上之外表面小於5毫米且在一些情況下小於4毫米。在佔據面積減小且材料較少的情況下，此一匣可提供可相當於圓柱形過濾器之過濾、流速及壓降。例如，可形成具有一PFA主體之一匣，其具有3m2隔膜，該3m2隔膜達成與具有一3m2隔膜之一相當的圓柱形過濾器相同之過濾、流速及壓降，但體積較小且佔據小於一半的寬度。因此，過濾器匣之實施例可經組態以減小佔據面積及維護空間需要。注意，3m2隔膜及其他尺寸被提供作為一實例，且可形成包含任何適當隔膜面積之匣，且該匣可包含其他類型的淨化介質。此外，過濾器匣可由多種材料形成且用於其他淨化應用或其他應用。
除使大小減小以外，過濾器匣可使複雜度減小。根據一實施例，可使用最小數量個獨有部分形成一過濾器匣，從而減小製造複雜度及成本。在一些實施例中，此等部分可包含一主殼體、側蓋、腔道蓋及端帽。然而，在其他實施例中，過濾器匣可由任何數量個部分形成。
此外，與圓柱形過濾器相比，過濾器匣可改良排放及排氣且降
低外殼表面面積及無效體積以改良效能及清潔度。本文中描述之實施例亦可藉由促進個別平行及連續過濾來促進先進的過濾應用。本文中描述之實施例亦可更容易受機器人操控，從而促進過濾器替換及維護之自動化。
如可根據前述瞭解，過濾器匣可具有多種組態。熟習此項技術者將瞭解，可組合各個圖式中所示之特徵且且可搭配其他實施例使用一實施例中所示之特徵。此外，雖然某些組件可展示為整體式或分離式，但是亦可以其他方式配置該等組件。因此，雖然側壁234、側壁236、第二腔道蓋239及張力部件被描繪為整合於一主殼體230中，但是其等亦可為分離組件。例如，第二腔道蓋239可為分離蓋且張力部件238可與側蓋之一者成一體。此外，應瞭解，尚考慮其他配置，諸如與一主體成一體之埠或其他組態。此外，雖然已主要就過濾描述匣，但是匣可提供一緊湊壓力容器以用於任何適當淨化應用或其他應用，包含(例如)作為一虛擬匣、一加壓混合器、一熱量交換器或其他應用。
一匣可使用任何適當連接件接合一供應器系統。例如，可使用如Gashgaee等人在2009年6月16日發佈且名為「O-Ring-Less Low Profile Fittings and Fitting Assemblies」之美國專利第7,547,049號中(該案係以引用方式全部併入本文)描述之非O形環接頭及接頭總成或其他連接機構連接一過濾器匣。在其他實施例中，過濾器可使用諸如以下專利中描述之一連接機構使得可透過旋轉而連接：2002年4月30日發佈且名為「Connector Apparatus and System Including Connector Apparatus」之美國專利第6,378,907號、2006年4月4日發佈且名為「Connector Apparatus and System Including Connector Apparatus」之美國專利第7,021,667號、2007年11月20日發佈且名為「Method and System for Purging a Dispensed Fluid Within a Fluid Dispensing System
Including a Filter-Free Connector Apparatus」之美國專利第7,296,582號、2008年4月1日發佈且名為「Method and System for Purging a Dispensed Fluid with a Fluid Dispensing System Including A Filter-Free Connector Apparatus」之美國專利第7,350,821號、2006年5月2日發佈且名為「Connector Apparatus and System Including Connector Apparatus」之美國專利第7,037,424號，該等案係各以引用方式全部併入本文。此外，過濾器匣埠可使用此項技術中已知或開發之任何其他適當連接件(包含(但不限於)FlareMountTM、Pillar 5300、Super Pillar、Flaretek、PrimeLock®、Galtek、Swagelok連接件)而連接。
圖17A及圖17B係一例示性連接系統1700之一實施例之圖形表示。連接系統1700包括界定一螺母接納區域之一連接外殼1702、安置在螺母接納區域中之一連接螺母1710、至少部分由螺母接納之一第一接頭1712及一第二接頭1714。第一接頭1712提供開向第一接頭1712靠近連接螺母1710之端之一流體流動通路，且第二接頭1714提供開向第二接頭1714靠近連接螺母1710之一端之一流體流動通路。第一接頭1712及第二接頭1714可經組態以配接或鄰接使得流動通路可經連接以形成一連續流動通路。較佳地，接頭係經組態以在軸向力下形成一密封之互補接頭，諸如一Primelock®接頭、FlareMountTM接頭或此項技術中已知或開發之其他接頭。雖然接頭1712被圖解說明為一母接頭且接頭1714被圖解說明為一公接頭，但是在其他實施例中，接頭1712可為一公接頭且接頭1714可為一母接頭。接頭之一者可為(例如，如圖1A中所示之)一匣之一端帽之部分。
連接螺母1710包括沿連接螺母1710之一主軸自一第一側1715延伸至一第二側1716之一開口。螺母圍封接頭之一者之端部分且可繞與流動通路同軸之接頭旋轉。穿過螺母之開口可具有包含較小直徑之一區域1720及較大直徑之一區域1722之不同直徑之區域。根據一實施
例，螺母之開口在穿過連接螺母1710之開口之一第一端處具有一較狹窄直徑，且在穿過連接螺母1710之開口之第二端處具有一較大直徑(形成一階狀軸肩)。
根據一實施例，接頭之一者可經塑形使得接頭之一第一部分行進穿過較狹窄直徑之區域，而一第二部分具有大於較狹窄直徑之區域之一直徑(或其他塑形佔據面積)。如所描繪，例如，第一接頭1712之端部分具有行進穿過螺母之左端之一第一區段1730及太大而不能行進穿過較狹窄直徑區域1720之一第二區段1732。在此實施例中，連接螺母1710及第一接頭形成在使用期間經塑形且經定位以鄰接之互補徑向軸肩1740(例如，連接螺母1710之一內軸肩鄰接接頭1712之一外軸肩)。第二接頭1714可包含透過螺母開口之第二端接納之一端部分1742。第二接頭1714之接納部分可包含外螺紋1744。
一組連接螺母內螺紋1746安置在連接螺母1710之第二端附近且可經設計以接合埠接頭外螺紋1744。連接螺母1710亦可包含安置在連接螺母1710之外側之至少一部分上且接合安置在外殼1702內側上之外殼螺紋1752之外螺紋1750。
在操作中，第一接頭1712及第二接頭1714之端可放在一起。當第二接頭1714之端部分在適當位置處時，連接螺母1710可經旋轉以使螺母內螺紋1746接合接頭外螺紋1744。接頭外螺紋1744上及接頭1712之軸肩1740上之力將第一接頭1712及第二接頭1714按壓在一起以產生一密封(如圖17B中所示)。
連接系統1700可用以有助於尤其維護其中形成或由軸向力促進密封之接頭之密封。螺母內螺紋1746及接頭外螺紋1744可經選擇使得連接螺母1710旋轉小於360度可密封接頭(且在一些情況下旋轉小於180度)。連接螺母1710旋轉小於360度可導致360度以上螺紋接合或大於360度螺紋接合以產生足以密封接頭之一軸向密封力。
根據一實施例，螺母內螺紋1746繞第二接頭1714 360度產生軸向力(朝第一接頭1712推動第二接頭1714之力)而無須連接螺母1710旋轉360度。即，螺母內螺紋1746可繞接頭360度接合接頭外螺紋1744，而無須使連接螺母1710旋轉360度以產生360度接合。為此，螺母內螺紋1746及接頭外螺紋1744可為多線螺紋，諸如雙線螺紋、三線螺紋等等。一雙線、三線或其他多線螺紋可大致上旋轉一半或更少而繞全密封連接件提供360度軸向負載。螺母內螺紋1746及接頭外螺紋1744可為接受高軸向負載之螺紋。螺紋可包含各種標準的螺紋外形，包含(但不限於)1個至12個UNF螺紋、鋸齒螺紋、梯形螺紋或其他螺紋。此外，可使用定做或專屬螺紋。
在一實施例中，螺母內螺紋1746及接頭外螺紋1744可為雙線螺紋，其中各螺紋線偏離近似180度且螺紋自各螺紋線延伸至少180度。在此情況下，連接螺母1710可經旋轉以接合雙線螺紋。螺母旋轉180度將導致雙線螺紋繞外部接頭進行360度接合。更特定言之，使用一第一螺紋之螺紋線作為參考，開始於第一螺紋線之螺母內螺紋1746之第一螺紋可自0度至180度接觸接頭外螺紋1744且開始於一第二螺紋線之螺母內螺紋1746之一第二螺紋可自180度至360度接觸接頭外螺紋1744，使得接頭1714上存在繞接頭360度之一軸向力。雖然使用180度之實例，但是亦可使用其他長度的雙線螺紋。
使用三線螺紋之實例，各螺紋線可偏離近似120度且螺紋可自各螺紋線延伸近似135度。在此情況下，連接螺母1710旋轉135度將產生360度接合。在此實例中，開始於第一螺紋線之螺母內螺紋1746之第一螺紋可自0度至135度接觸接頭外螺紋1744，開始於一第二螺紋線之螺母內螺紋1746之一第二螺紋可自120度至255度接觸接頭外螺紋1744，且開始於一第三螺紋線之一第三螺紋可自240度至15度接觸接頭外螺紋1744，使得接頭1714上存在繞接頭360度之一軸向力。雖然
使用135度之實例，但是亦可使用其他長度的三線螺紋。
因此，多線螺紋組態可用以在連接螺母1710旋轉小於360度(且在一些情況下小於180度)的情況下繞全密封連接件提供360度軸向負載。在其他實施例中，軸向負載可小於360度，但是足以產生一密封。例如，負載外形中可存在小的間隙，前提係該密封仍可頂住間隙(例如，存在其中不具備螺紋接合之一角度範圍)。一般技術者應瞭解，所提供之螺紋實例係藉由實例方式提供且可使用多線螺紋之其他組態。
連接系統1700可包含一反向旋轉防止特徵部以產生一足夠大的力，使得連接螺母1710將不會在軸向負載下反向旋轉(旋轉以釋放該密封)。根據一實施例，反向旋轉防止特徵部可為一摩擦配合。摩擦配合可由外殼內螺紋1752與螺母外螺紋1750之間的摩擦力而提供。螺母外螺紋1750及外殼內螺紋1752可為經選擇以在螺紋之間產生足夠大的表面面積接觸之較精細螺紋，使得連接螺母1710與連接外殼1702之間存在有效大小的摩擦力以防止連接螺母1710在期望軸向負載(包含循環軸向負載)下反向旋轉。然而，有效大小的摩擦力可足夠低使得在連接螺母1710上施加足夠大的外部旋轉力時，連接螺母1710可反向旋轉，藉此容許脫離接頭。在此情況下，螺母外螺紋1750固持連接螺母1710之位置且螺母內螺紋1746支承軸向負載。反向旋轉防止螺紋可包含任何標準的螺紋，包含統一螺釘螺紋或提供足夠大的摩擦力之定做螺紋。亦可使用其他螺紋設計，包含(但不限於)鋸齒螺紋。根據一實施例，螺母外螺紋1750及外殼內螺紋1752係單線螺紋。
亦可提供一鎖定機構(例如，諸如接頭之旋轉部件上之止回爪及/或凹口、卡扣配合或其他特徵部)以防止螺母1710非所期地反向旋轉。在一些情況下，可使用鎖定機構來代替較高摩擦力螺母外螺紋1750以防止螺母旋出(同時仍包含螺母外螺紋或根本不包含螺母外螺
紋)。在一些實施例中，連接螺母1710不具備外螺紋且螺母1710由一替代固定機構而軸向固持在適當位置。
一連接系統可包含將螺母固持至一所需角度範圍之特徵部(諸如螺紋上之止動塊)以防止螺母旋轉超過某個點。特定言之，螺母之旋轉可限於一第一角位置與一第二角位置之間之一範圍，其中第一角位置對應於全接合且一第二角位置對應於全脫離。在第二角位置中，內螺紋之螺紋線將處於一已知位置，從而有助於確保使螺母內螺紋與接頭外螺紋適當地對準。
一連接系統可被調適為不同埠大小。可基於埠大小、軸向行進需求、負載需求及密封效能需求改變內螺紋及外螺紋。組件可由多種材料製成，多種材料包含聚合物材料，諸如(但不限於)親油性樹脂、全氟化樹脂(諸如(但不限於)PTFE、FEP、PFA)、PVDF、聚醯亞胺、聚醚醯亞胺、聚碳酸酯、PP、PE、PEEK、金屬或其他材料。根據一實施例，連接系統可主要由PFA形成以對半導體產業提供一真實超淨PFA、快速連接密封連接件。由(例如)PFA形成之連接系統可在一安全因數下提供規定用於FlareMountTM連接件之所需150lbs.(667牛頓)力。
連接系統可用於多種應用，包含獨立接頭、直立管套接接頭、彎頭接頭或其他接頭，且可整合於其他裝置中。雖然上文圖解說明之接頭以一FlareMountTM密封機構為特徵，但是亦可使用其他樣式的接頭。接頭可經Purebond®熔接至管道或管子或使用一或兩端處之一管子連接件而模製。接頭亦可插入至管子之擴邊端中。接頭之一者亦可熔接至一過濾器外殼上或模製至一過濾器外殼中(例如，一Chemline或Chemlock®過濾器外殼或(例如)其他過濾器外殼)。替代地亦可使用連接系統以進行一管子密封樣式連接。
圖18係使用一經修改螺紋設計之一連接系統之一實施例之一圖
形表示。已圖解說明之連接系統之部分包括具有連接外殼內螺紋1804之一連接外殼1802、具有螺母內螺紋1812及螺母外螺紋1814之一連接螺母1810及具有一外螺紋1822之一流體接頭1820。亦圖解說明另一接頭1824之一部分。
螺母內螺紋1812及接頭外螺紋1822可為經修改鋸齒螺紋。一美國標準鋸齒螺紋具有與法向軸成7度之一負載螺腹角及與法向軸之相對側成45度之一離隙螺腹角，從而產生52度之一螺紋角(在一負載螺腹角與相鄰離隙螺腹角之間的角度)。螺母內螺紋1812及接頭外螺紋1822之實施例可具有小於45度之一離隙螺腹角。根據一實施例，離隙螺腹角介於15度至40度之間，但是可以更小。負載螺腹角可介於0度至15度之間且如離隙螺腹角一樣可在法向軸之相同或相對側。在一實施例中，例如，離隙螺腹角係近似30度且負載螺腹角係近似3度以提供一33度螺紋角。在另一實施例中，負載螺腹可傾斜使得螺紋角小於離隙螺腹角。換言之，負載螺腹及離隙螺腹可與離隙螺腹一樣傾斜至法向軸之相同側。
此外，在一些實施例中，接頭外螺紋1822之負載螺腹角可不同於螺母內螺紋1812之負載螺腹角以增加干涉。例如，如圖解說明，接頭外螺紋之負載螺腹可為近似0度，而連接螺母內螺紋之負載螺腹朝接頭螺紋負載螺腹傾斜若干度。在一些實施例中，連接螺母1810不具備外螺紋且軸向固定在外殼中，同時使用另一機構以防止連接螺母1810反向旋轉。
此外，外殼內螺紋1804及螺母外螺紋1814可經組態以增加干涉。根據一實施例，例如，外殼內螺紋1804及螺母外螺紋1814之負載螺腹角可不同。
上文論述之連接件可由任何適當材料形成，材料包含(但不限於)PVDF、FEP、PP、PFA及PTFE、包括聚合物之組份、金屬或其他
材料，其等滿足用於半導體製造之需求。在一些情況下，若期望高溫，則可期望使用展現出較低潛變之材料。因此，例如，當應用超過攝氏100度時可較佳對連接螺母及接頭使用PFA，這係因為PTFE在此等溫度下展現出更大潛變。在任何情況下，一連接系統可超過半導體製造接頭之限制條件，且在室溫或更高溫度下可承受245psi(1.69MPa)達5分鐘(例如，在室溫下承受535psi(3.7MPa)達5分鐘)。例如，當在室溫下施加壓力達5分鐘時，由PFA及PTFE形成之圖18之一連接系統可具有大於415psi之一洩漏壓力(214lbs.軸向密封力)(2.87MPa及952牛頓密封力)。接頭之洩漏壓力在室溫下可大於500psi(3.4MPa)且甚至大於950psi(6.6MPa)。例如，具有由PFA形成之一螺母及接頭之一連接系統可因此在一安全因數下提供規定用於FlareMountTM連接件之所需150lbs.(667牛頓)力(例如，一連接系統可對1英寸(2.54公分)接頭提供高於210lbs.(934牛頓)軸向力)。
一連接螺母可具有任何適當外觀尺寸且可整合為另一組件之一部分。在一些實施例中，連接螺母可以一翼形螺母樣式設計為特徵，其中該等翼經定位使得一使用者可在螺母上提供扭力負載以接合或脫離接頭。在其他實施例中，可提供容許一使用者更容易施加扭力於螺母之另一形式的旋轉部件。在一實施例中，一連接螺母可耦合至一齒輪總成或使一或多個連接螺母旋轉之其他傳動系統。傳動系統可任意複雜且可一次同時使多個連接螺母旋轉以產生若干密封件。
圖19A及圖19B係一連接系統1900之一實施例之圖形表示。連接系統1900包括一連接外殼1902、可繞一第一流體接頭1912旋轉之一第一連接螺母1910、可繞一第二流體接頭1922旋轉之一第二連接螺母1920及傳動系統。連接外殼1902包含自外殼1902之一第一側行進穿過外殼1902至外殼1902之一第二側之螺紋式開口。螺紋可經組態以接合連接螺母1910及1920之螺母外螺紋。傳動系統操作地耦合至第一連接
螺母1910及第二連接螺母1920以同時使第一連接螺母1910及第二連接螺母1920在外殼1902內旋轉。
齒輪臂1930之一第一端處之一螺母耦合部件1934延伸至外殼1902之第一側。一傳動臂1932自螺母耦合部件1934延伸超過外殼1902之第二側一所要距離。連接螺母耦合部件1934耦合至第一螺母1910且包含具有齒輪齒1936之一外表面。齒輪臂1930驅動耦合至第二連接螺母1920之一第二齒輪1940。齒輪臂1930用作旋轉部件使得齒輪臂1930之旋轉導致第一連接螺母1910及第二連接螺母1920同時旋轉以在第一流體接頭1912與一過濾器匣上之一接頭之間及第二流體接頭1922與一過濾器匣上之一第二接頭之間形成一密封。
當齒輪臂1930旋轉時，較小的齒輪1940亦在相反方向上旋轉以在接合較大埠的同時接合較小埠。此機構容許在齒輪臂1930上使用一個旋轉動作密封兩個埠。在已圖解說明之實施例中，齒輪具有一1.6：1齒輪比，因此較小的連接螺母1920旋轉次數大於較大的連接螺母1910(但是亦可使用任何適當齒輪比)。若連接螺母1910經組態具有三線內螺紋使得旋轉165度導致360度(或更大)螺紋接合，則連接螺母1920可經組態具有三線或其他多線內螺紋使得旋轉264度導致360度(或更大)螺紋接合。注意，當連接螺母轉動時，連接螺母可朝過濾器匣端帽(或其他接頭)平移。因此，齒輪臂1930及齒輪1940亦可平移。在其他實施例中，連接螺母產生小於360度螺紋式接合(及小於360度圓周軸向密封力)，但仍產生足夠大的力以密封接頭。
較小的連接螺母1920之內螺紋及外螺紋可具有相對於連接螺母1910之內螺紋及外螺紋調整之一節距，使得過濾器及螺母軸向移動與齒輪臂1930旋轉相同之距離。齒輪比及節距高度可基於所需埠大小及軸向行進距離之選取而改變。此外，可提供齒輪以使額外連接螺母旋轉以對額外埠提供密封，且連接系統可經嚙合使得所有連接螺母在相
同方向上旋轉。
可提供容易受人類或機器人使用者操控之一傳動手柄1950。一傳動軸件1952自手柄1950朝外殼1902延伸且可接納在齒輪臂1930中之一傳動軸件通路中。傳動軸件1952及傳動軸件通路可用齒條接合或以其他方式組態以容許在通路中平移傳動軸件1952。一端帽對準柱1954可平行於傳動軸件1952延伸。端帽對準柱1954可接納在一過濾器匣端帽中之一互補開口(例如，圖15之開口1530)中。端帽對準柱1954界定傳動軸件樞轉軸。
齒輪臂1930之旋轉可限於一特定旋轉範圍，且可提供鎖定齒輪臂1930之角位置之特徵部。為此，傳動軸件通路更靠近連接外殼1902、接近齒輪臂1930之第一端之一部分可敞開以曝露傳動軸件1952之外表面。傳動軸件1952可收縮使得隨著傳動軸件1952繞其樞轉點旋轉，傳動軸件1952最接近連接外殼1902之端可行進超過表面1960。即，傳動軸件通路及外殼1902可經組態使得傳動軸件1952之端重疊外殼1902之表面1960且在繞傳動軸件樞轉軸之一角位置範圍中與外殼1902之表面1960分開。在某些位置中，雖然傳動軸件1952之端可接納在表面1960之一開口中，但是外殼之側中之一缺口或凹槽1964或其他特徵部將齒輪臂1930鎖定在一所要角位置中。因此，例如，傳動軸件1952之端可在表面1960上方自位置1965行進至缺口1964。當傳動軸件1952對準缺口1964時，傳動軸件1952可經平移使得傳動軸件1952之一部分接納在缺口1964(一接合位置)中，從而防止齒輪臂1930旋轉。
可使用其他機構以禁止齒輪臂1930旋轉。作為另一實例，外殼1902之表面1962及螺母耦合部件1934之接觸面可包含錐齒輪齒或其他特徵部使得可維持齒輪臂1930之角位置。亦可使用其他鎖定機構，諸如凹口及止回爪、鎖定銷、夾具。
在一些實施例中，可由圓點及箭頭或其他視覺指示符標記旋轉
之結束點。圓點及箭頭亦提供用以確認接合或脫離之一視覺指示符之一實例。在又另一實施例中，可使用當旋轉部件在適當位置中時開啟之LED或其他指示燈，從而再次提供適當接合/脫離之一指示。
圖20係一連接外殼1902之一實施例之一圖形表示，其描繪具有內螺紋之一第一連接螺母開口2002及具有內螺紋之一第二連接螺母開口2004。雖然圖解說明兩個連接螺母開口，但是實施例可包含具有一或多個螺紋式開口之一連接外殼及對應連接螺母及流體接頭。在其他實施例中，外殼可軸向固定不具備螺紋之連接螺母。圖20進一步描繪安置在外殼1902之側壁中之缺口1964，其經組態以卡住傳動軸件1952之一部分。
連接外殼1902可包括具有可經塑形使得連接外殼1902可如下文論述般安裝至一歧管板之一狹槽2006之一支架。緊固件開口2008容許使用一螺釘、銷或其他部件以將連接外殼1902耦合至歧管板。一螺紋孔2010可容許一匣對準特徵部耦合至連接外殼1902。
圖21A係一連接螺母1910之一實施例之一圖形表示。連接螺母1910包括外螺紋2100及內螺紋2102。內螺紋2102可經組態使得旋轉小於360度(且在一些情況下旋轉小於180度)可在接頭之間產生一密封(且可產生360度螺紋式接合或大於或小於360度螺紋式接合)。外螺紋2100可經組態以防止連接螺母1910旋出。在其他實施例中，連接螺母1910可缺少外螺紋且可軸向固定在外殼中，同時使用另一機構以防止連接螺母1910反向旋轉。
連接螺母1910可包括對準一接頭上之互補特徵部之一組對準特徵部。例如，連接螺母1910可包括自螺母開口之內部徑向表面向內突出之突出體2104。突出體2104可對準一接頭上之特徵部。參考圖15B，例如，突出體2104可配合穿過對準肋1514中之缺口1516。突出體2104可與內螺紋2102之螺紋線分開，使得除非突出體2104行進穿過
對應缺口，否則內螺紋2102不能接合特徵部外螺紋(例如，圖15B之螺紋1512)。突出體2104可經定位使得當連接螺母1910係在關於端帽或其他接頭螺紋之一特定定向上時，內螺紋2102可僅接合固定件外螺紋。此外，在已圖解說明之實施例中，連接螺母1910在突出體行進穿過缺口後才能旋轉。因此，接頭之對準特徵部及連接系統上(在此實例中，連接螺母上)之對準特徵部防止連接螺母在螺紋彼此相對適當地定位之前旋轉。
連接螺母1910可進一步包括自一側延伸之彈性指狀物2106。彈性指狀物2106可由一齒輪臂或齒輪卡住。彈性指狀物2106之端處之特徵部2108可提供可鄰接一齒輪或齒輪臂之一表面之軸肩2109。
圖21B係連接螺母1910及流體接頭1912之一實施例之一圖形表示。穿過連接螺母1910之開口可包括較大直徑之一區域及小直徑之一區域以形成一連接螺母軸肩2110。流體接頭1912接納在連接螺母1910中之部分可具有具備一較小直徑之一部分及具備一較大直徑之一部分以形成鄰接連接螺母軸肩2110之流體接頭軸肩2112。連接螺母軸肩2110可抵著流體接頭軸肩2112推動以提供足以將流體接頭1912密封至另一過濾器匣之一埠或其他組件之一軸向力。
圖22A係一傳動系統之一實施例之一圖形表示。齒輪臂1930可包含具有一開口以接納一第一連接螺母之一螺母耦合部件1934及具有一開口以接納一第二連接螺母之齒輪1940。特徵部2202及2204可產生可讓各自連接螺母之彈性指狀物行進穿過之通道。彈性指狀物之端處之特徵部(圖21A之特徵部2108)可用以將連接螺母緊固至齒輪臂或齒輪開口中。當齒輪臂及齒輪旋轉時，特徵部2202及2204可藉由在彈性臂之側緣上推動而施加徑向力於各自連接螺母，從而導致連接螺母旋轉。
圖22A進一步圖解說明具有一傳動軸件1952及一端帽對準柱1954
之一傳動手柄之一實施例。傳動軸件1952可插入至齒輪臂1930之一通路中。傳動軸件1952之所有或一部分及該通路可用齒條接合。根據一實施例，傳動軸件通路齒條可由一插入件2206提供至齒輪臂1930之端中。端帽對準柱1954可包括配合在一端帽開口中之通道中之一或多個徑向突出體2208。通道及突出體2208可協同以導引傳動手柄1950之移動以有助於確保如下文論述之一適當密封。對準柱1954之端可包括具有一環形凹槽及唇緣之一可壓縮環2209。唇緣可如下文進一步論述般由端帽之一部分卡住。
圖22B係圖22A中所示之一傳動系統之實施例之一橫截面視圖之一圖形表示。齒輪臂1930包括接納傳動軸件1952之傳動軸件通路2220。傳動軸件通路2220之一端部分敞開以曝露傳動軸件1952之一部分(部分2210處指示)。
傳動軸件1952可在傳動軸件通路2220中平移，使得傳動軸件尖端2222可被推進且收縮。在收縮傳動軸件1952之方向上的平移可受限於插入件2206。插入件2206可包含與傳動軸件1952同軸且向內推動之一組彈性指狀物2230。當傳動軸件1952收縮一定距離時，彈性指狀物2230向內推動進入環形凹槽2232以禁止在該方向上進一步平移。插入件2206可在通路2220中旋轉使得傳動手柄1950可繞傳動軸件1952之軸旋轉，直至將對準柱1954向前推動進入端帽對準開口，從而使齒條與狹槽對準，狹槽允許進一步推進傳動手柄1950以將該兩個部分旋轉地鎖定在一起。
圖23係安置在一端帽或其他組件中以接納對準柱1954(圖22A)之一對準開口2300之一實施例之一圖形表示。可在對準開口2300內側上界定多個肋狀物或其他特徵部以界定一系列軸向通道及徑向通道。根據一實施例，該等特徵部界定入口通道2302、一第一徑向通道2304、一第二徑向通道2306及連接第一徑向通道與第二徑向通道2306之第二
軸向通道2308(展示其等之一者)。在一實施例中，可在插入至一端帽開口中之一插入件2350中界定該等通道。
參考圖19至圖23，當對準柱1954插入至開口2300中時，突出體2208接納在入口通道2302中。這意謂在可插入對準柱1954之前，傳動系統必須在正確定向上。此定向可與其中連接螺母1910及連接螺母1920之內螺紋適當對準一端帽、接頭或其他固定件上之外螺紋之定向一致。可平移傳動手柄1950，從而在通路2220中平移傳動軸件1952。然而，第二軸向通道2308未對準入口通道2302(例如，肋狀物2310與入口通道2302重疊且用作一止動塊)，使得傳動手柄1950之進一步平移受限。傳動手柄1950可旋轉直至突出體2208對準軸向通道2308。此位置可對應於其中傳動軸件1952對準外殼1902中之缺口1964且連接螺母1910及連接螺母1920旋轉以產生一360度密封之一位置。接著可進一步推進傳動手柄1950使得傳動軸件1952接納在缺口1964中。壓縮環2209之環狀唇緣可在脊部2312上方行進使得脊部2312卡住在壓縮環2209之凹槽中。壓縮環2209及脊部2312可產生當傳動軸件1952完全接合缺口1964時提供觸覺回饋之一卡扣配合。此外，壓縮環2209及脊部2312提供防止傳動軸件1952突然收縮之一機構。
因此，對準開口2300可提供一鍵合特徵部，其經組態使得當傳動軸件1952在一第一角位置中時，可將傳動軸件1952推進一有限第一距離。傳動軸件1952可接著藉由旋轉齒輪臂1930而旋轉至一第二角位置，該第二角位置對應於一密封連接。傳動軸件1952可被推進至一最終完全插入位置，其中傳動軸件1952用作一固定銷以防止進一步角旋轉。
圖24A係類似於連接系統1900之一連接系統2400之一部分之一實施例之一圖形表示。連接系統2400可包含接合一端帽、接頭或其他固定件上之一互補對準特徵部之一對準特徵部。在此實例中，旋轉部件
(例如，齒輪臂2430)具有一狹槽2432，狹槽2432具有法向於齒輪臂2430之徑向行進之方向(即，平行於樞轉軸之側中)之一入口。狹槽2432可接納一端帽、接頭或其他固定件上之一徑向延伸肋2434(例如，圖1之肋狀物130)。此等配接特徵部部分纏繞在埠之軸周圍。根據一實施例，狹槽2432及肋狀物2434經組態，使得當連接螺母內螺紋及端帽、接頭或其他固定件之外螺紋經正確定位以容許進行適當接合時，肋狀物2434之端與狹槽2432之入口對準。因此，連接系統對準特徵部及互補端帽、接頭或其他固定件對準特徵部經組態使得在齒輪臂旋轉之前，該等螺紋係在適當位置中及適當定向上。
根據一實施例，肋狀物2434歸因於肋狀物2434之橫截面由於肋狀物2434徑向伸出(圖24B中所示)而變得更大而固持在齒輪臂2430之狹槽2432中。狹槽2432亦可隨著狹槽徑向伸出而變得更寬。此外，根據一實施例，狹槽2432及肋狀物2434可呈螺旋形。此機構可用以有助於相對於過濾器端帽固持齒輪臂2430之位置，且亦可隨著齒輪臂2430繞埠軸旋轉而(例如，透過一干涉配合)在端帽與流體接頭之間產生更大軸向負載。連接外殼2402之另一側上之負載可大致上等效於由狹槽2432之壁與肋狀物2434之間的接合之干涉配合產生之負載。這可有助於將負載分佈在旋轉機構之兩側上以確保一平滑旋轉及密封接合。肋狀物2434及狹槽2432可具有近似等於(即，較大連接螺母之)連接螺母內螺紋之節距之一節距。
傳動軸件可以一凸座或經設計以接合位於過濾器接頭之螺旋肋狀物2434上之一凹槽2440之其他特徵部為特徵。當在流體密封過濾器之後向前推動傳動軸件時，迫使凸座進入肋狀物2434上之凹槽2440中。這在靠近過濾器接頭處提供一防旋轉特徵部。若傳動軸件並非在正確定向上，則將不會接合該特徵部，從而警告使用者傳動手柄未旋轉至正確定向且密封並不完全。圖24B圖解說明肋狀物2434之一橫截
面之一實施例。圖24C係具有具備凸座2454之一傳動軸件2452之傳動手柄2450之一實施例之一圖形表示。
圖25係用於傳遞流體往返於一過濾器匣之一歧管總成2500之一實施例之一圖形表示。為便於解釋，接納過濾器匣之一歧管總成之側將被稱為前側。歧管總成2500可經組態以對各過濾器匣提供介接一過濾器匣入口埠之一入口界面埠、介接一過濾器出口埠之一過濾器出口界面埠、介接一過濾器排氣埠之一過濾器排氣界面埠及介接一過濾器排放埠之一過濾器排放界面。各個流體供應線可連接至歧管接頭以提供入口、出口、排氣及排放線。使用圖5之流動實例，歧管埠2510係將流體供應給一過濾器入口之一過濾器入口界面埠，歧管埠2512係自過濾器出口接納流體之一過濾器出口界面埠，歧管埠2514係一排放界面埠且歧管埠2516係一排氣界面埠。供應線可經配置使得過濾器匣平行或連續執行過濾。
歧管埠可由一或多個成對組的連接系統(諸如連接系統1900(例如，連接系統1900a與連接系統1900b對及連接系統1900c與連接系統1900d對))及其他系統提供。連接系統可耦合至主歧管板2501。根據一實施例，一對中之一連接系統固定，而另一連接系統可相對於主歧管板2501平移以在過濾器匣或歧管歸因於溫度而膨脹或收縮時容許一定的順性且適應過濾器匣之各種高度。
導引臂2502或其他特徵部可向前延伸。一過濾器匣之一軸肩或其他特徵部(例如，諸如圖1A之軸肩138)可鄰接導引臂2502。一匣對準特徵部2506亦可向前延伸且用以相對於歧管進一步定位過濾器使得密封連接件全部適當地接合。各匣對準特徵部2506可由一過濾器匣之一特徵部(例如，一對準孔，諸如圖1之對準孔134)接納。
參考圖19A至圖25，一過濾器匣可如下接合一歧管。在初始位置處，傳動手柄1950將被抽出至一收縮位置且齒輪臂1930相對於圖25中
圖解說明之位置逆時針旋轉至一「敞開」或「非接合」位置(使得可在一匣接納區域中放置一淨化匣)。淨化器匣可經放置使得過濾器匣之軸肩鄰接導引臂2502且匣對準特徵部2506接納在過濾器匣端帽中之對應開口中。在此位置中，過濾器匣埠應大致上軸向對準歧管埠。若未對準，則傳動手柄1950可經旋轉使得端帽對準柱1954對準過濾器匣中之對準開口且齒條接合齒輪臂插入件2206(圖22B)。可向前推動傳動手柄1950使得端帽對準柱進入至過濾器匣中之鍵合對準開口中。可進一步平移傳動手柄1950直至對準柱1954碰撞對準開口之軸向入口通道2302之端處之止動塊。此動作可朝連接螺母1910及1920平移過濾器匣埠，使得過濾器匣之外螺紋之螺紋線適當對上連接螺母內螺紋。
傳動手柄1950可繞由端帽對準柱提供之樞轉點順時針旋轉直至突出體2208對準軸向通道2308。接著可向前平移傳動手柄1950使得傳動軸件1952接合缺口1964且由脊部2312卡住壓縮環2209。傳動手柄1950之旋轉導致連接螺母旋轉，從而在歧管埠與過濾器埠之間產生一密封。連接螺母之旋轉導致連接螺母在連接外殼1902中平移。可同時操控底部及頂部傳動手柄1950使得一次密封所有埠或可首先密封頂部或底部組的埠。在一些情況下，可較佳首先密封頂部埠使得匣之重量不會在下部埠上施加不適當的力矩。
應注意，連接系統1900a、1900b、1900c及1900d可經致動以在旋轉小於360度的情況下一次產生多個埠密封，且可經組態以容納任何數目個連接螺母(例如，2、3、4、5、6個等等)。即使過濾器匣可介於歧管與操作員之間，亦可自歧管前側進行此操控，這係因為齒輪臂1930在匣之上方/下方/周圍延伸至前側。因此，操作員可不用碰觸後埠即可密封過濾器匣之後埠。
此外，對準特徵部及簡單且受控制的平移及旋轉運動促進由機器人替換過濾器之效能。亦可包含額外特徵部，諸如歧管及過濾器匣
上之IR標籤、對準標記或可由一機器人或掃描儀讀取以促進精確的過濾器替換之其他特徵部。
圖26係一主歧管板2501之一實施例之一圖形表示。主歧管板2501可包括一組連接系統延伸部2604及2606。延伸部2604可包含狹槽2608以容納(例如，透過圖20之開口2008)行進穿過連接外殼之一緊固件使得上部連接外殼可垂直平移，且延伸部2606可包含孔2612使得下部連接外殼固定。在另一實施例中，上部連接外殼可固定且下部連接外殼可平移，或上部及下部連接皆可固定或皆可平移。主歧管板2501可包含一系列安裝孔2614使得主歧管板2501可安裝至一支撐件。
圖27係連接過濾器匣2702之一歧管總成2500之一實施例之一圖形表示。過濾器匣2702可包括任何適當的過濾器匣。雖然圖27圖解說明經組態以接受兩個過濾器匣之一歧管，但是歧管亦可經組態用於單一匣或任何數目個匣(例如，2、3、4、5、6或更多個)。
圖28係一歧管總成2800之另一實施例之一圖形表示，歧管總成2800類似於歧管總成2500但經組態以接納具有螺旋狀肋狀物2434且使用具有接合螺旋狀肋狀物之狹槽之齒輪臂之過濾器匣2810。歧管總成2800可經組態以對各過濾器匣提供介接一過濾器匣入口埠之一入口界面埠、介接一過濾器出口埠之一過濾器出口界面埠、介接一過濾器排氣埠之一過濾器排氣界面埠及介接一過濾器排放埠之一過濾器排放界面。各個流體供應線可連接至歧管接頭以提供入口、出口、排氣及排放線。供應線可經配置使得過濾器匣平行或連續執行過濾。
歧管埠可由一或多個成對組的連接系統2400(例如，連接系統2400a與連接系統2400b對及連接系統2400c與連接系統2400d對)及其他系統提供。連接系統可耦合至主歧管板2801。根據另一實施例，一對中之一連接系統固定，而另一連接系統可相對於主歧管板2801平移。
可提供導引臂2802。一過濾器匣之一軸肩或其他特徵部可鄰接導引臂2802。匣對準特徵部2806亦可用以相對於歧管進一步定位過濾器使得密封連接件全部適當地接合。匣對準特徵部可由過濾器匣之一特徵部(例如，一對準孔，諸如圖1之對準孔134)接納。對準開口2830可接納一傳動手柄之一對準柱以導引傳動手柄之移動。
圖29圖解說明在歧管2800中安裝過濾器2810之例示性步驟。在步驟2902處，可放置過濾器使得過濾器埠對準歧管埠連接螺母。在步驟2904處，下部傳動手柄旋轉使得對準柱對準下部端帽中之對準開口。在步驟2906處，推進下部傳動手柄直至其到達第一止動塊。對準柱用作樞軸。在步驟2908處，使用樞軸以使傳動手柄旋轉，這會使齒輪臂旋轉，從而導致連接螺母旋轉並形成一密封。在此程序期間，齒輪臂中之螺旋狀狹槽接合螺旋狀肋狀物。在步驟2910處，向前平移傳動手柄至其最終位置。在此平移期間，一凸座(例如，圖24C之凸座2454)可卡住在螺旋狀肋狀物中之一缺口(例如，圖24A之缺口2440)中。可對各手柄重複此程序。
圖30圖解說明用於連接至一過濾器匣端帽或其他接頭之一連接系統3000之另一實施例。連接系統3000可包含安置在一連接外殼3012上之一連接螺母3010。連接螺母3010將一彎頭接頭3014連接至一端帽3016上之一接頭。一旋轉部件3020促進螺母3010之旋轉。根據一實施例，旋轉部件3020包括耦合至螺母3010且與穿過螺母3010之開口相距一徑向距離之一臂3022。臂3022可自螺母3010之一端面延伸。臂3022可長於與端帽接頭同軸之彎頭接頭3014之一第一部分。旋轉部件3020亦可包含垂直於臂3022延伸之一平台3024使得平台3024之一外面平行於螺母3010之端面。平台3024可包含一工具界面3026以容許一旋轉工具鑽頭(例如，諸如六角起子、Philips鑽頭、平頭鑽頭、星形鑽頭)或其他工具接合旋轉部件。旋轉部件3020旋轉會使螺母3010旋轉。在一
些實施例中，旋轉部件3020小於360度(包含小於180度，且在一些情況下小於135度)的旋轉可導致螺母之內螺紋360度接合端帽3016之外螺紋。
旋轉部件3020之旋轉範圍可受到限制使得螺母3010在已知位置中停止旋轉。這可有助於確保螺母3010之螺紋適當地對準在完全脫離位置中。在一些實施例中，旋轉之結束點可由圓點及箭頭或其他視覺指示符標記。圓點及箭頭亦提供用以確認接合或脫離之一視覺指示符之一實例。在又另一實施例中，可使用當旋轉部件在適當位置中時開啟之LED或其他指示燈，從而再次提供適當接合/脫離之一指示。
圖31係連接系統3000之一實施例之一橫截面之一圖形表示。如圖31中描繪，連接螺母3010可包含接合端帽3016之埠接頭上之外螺紋3011之螺母內螺紋3102及接合連接外殼3012之內螺紋之螺母外螺紋3104。如上所述，螺紋可經組態使得螺母3010在旋轉小於360度的情況下在接頭3014與端帽3016之間產生一360度密封且將不會在期望負載下旋出。
亦可提供一鎖定機構(例如，諸如接頭之旋轉部件上之止回爪/凹口、旋轉部件與接頭之間之卡扣配合或其他組件或其他特徵部)以防止旋轉部件非所期地旋轉。在一些情況下，可使用鎖定機構來代替螺母外螺紋以防止螺母旋出。
圖32圖解說明一歧管總成3200之另一實施例。一過濾器總成3202可耦合至歧管總成3200使得流體可經引導往返於過濾器匣3202。雖然以一垂直定向展示，但是過濾器及歧管可用於包含水平之任何定向。歧管總成3200包括在一第一方向上延伸以行進至過濾器匣接納區域(例如，一隔間)下方之一下部支撐臂3204及在第一方向上延伸以懸掛在過濾器匣接納區域上方之一上部支撐臂3206。下部支撐臂3204及上部支撐臂3206對用以將過濾器匣之埠連接至引導流體往返於過濾器
匣之接頭之連接系統3205及3207提供支撐。一中間部分3208使下部支撐臂3204及上部支撐臂3206分離一距離。
上部支撐臂3206可耦合至一延伸臂，其可相對於中間部分3208延伸使得可改變上部支撐臂3206與下部支撐臂之間的距離。拉動手柄3210會(例如，垂直)平移上部支撐臂3206。主總成之中間部分3208可提供導引槽，其等導引自延伸臂或一過濾器對準支架延伸之銷。
根據一實施例，連接系統可如上所述般操作，但是亦可使用其他連接系統。因此，一連接系統可包含容置可繞一接頭3218旋轉之一連接螺母3216之一連接外殼3214。一旋轉部件3220可使連接螺母3216旋轉以將接頭3218密封至一過濾器匣之埠。
流體供應線可連接至連接系統接頭使得任何埠用作一排氣界面埠、排放界面埠、過濾器入口界面埠或過濾器出口界面埠。使用圖9之流徑，例如上部連接系統埠可提供排氣界面埠，而下部連接系統埠提供過濾器入口界面埠及過濾器出口界面埠。
各上部連接外殼3214及下部連接外殼3214可分別耦合至上部支撐臂及下部支撐臂使得容許連接外殼(例如，水平)平移以適應過濾器匣之放置並容許當各自螺母3216旋轉以接合/脫離接頭時移動連接外殼3214。連接外殼3214可獨立移動。連接外殼3214可藉由卡住容許水平平移連接外殼3214之導引特徵部而耦合至支撐臂。在已圖解說明之實例中，導引特徵部係楔形榫軌道(其中指示一楔形榫軌道3222)。
圖33係歧管總成3200之另一視圖之一圖形表示，歧管總成3200包含耦合至對連接系統3205及3207提供支撐之上部支撐臂3206及一過濾器對準支架3302之上部延伸臂3300。圖33亦描繪上部延伸臂3206及下部延伸臂3204可提供過濾器底座(例如，過濾器底座3304)以符合過濾器匣端之外形。
過濾器對準支架3302安置在中間部分3208之側壁之間之一通道中，且包括一背板3310及分開導引臂3312或自背板3310向前延伸以由過濾器匣上之互補特徵部接納(或背板可接納特徵部，諸如來自匣之突出部)之其他特徵部，藉此有助於在一初始位置中對準過濾器匣。過濾器對準支架3302可在與延伸臂3300相同之方向上相對於主總成移動。
根據一實施例，自背板3310之側突出之導銷3314可卡住在中間部分3208之側壁中之狹槽中。此外，自延伸臂3300向前突出之一導銷3320可卡住在背板3310之狹槽3322中。隨著延伸臂3300向下平移，背板3310可與延伸臂3300一起向下移動。在相反方向上，可在對應狹槽3322之頂部上推動導銷3320以使背板3310恢復向上升起。可提供諸如一彈簧之一偏壓部件以將延伸臂3300偏壓至一延伸位置或一非延伸位置。
圖34A至圖34E係將一過濾器匣3202耦合至歧管總成3200之一實施例之圖形表示。過濾器匣3202被插入至歧管總成3200之過濾器接納區域中。過濾器匣接納該等臂或過濾器對準支架之其他導軌(圖34A)。可向下推動接合手柄3210以使過濾器匣3202下降至一過濾器下部位置且使上部支撐臂下降至其中過濾器匣埠軸向對準連接螺母之一上部支撐臂下部位置(圖34B至圖34C)。應注意，對於一定範圍的行進，過濾器對準支架及延伸臂3300可一起行進直至過濾器對準支架到達其底部位置。此時，延伸臂3300可繼續平移直至上部支撐臂3206處於其最終位置。接合手柄3210可旋轉以朝歧管埠驅動過濾器匣3202(圖34D)。旋轉部件3220可經旋轉以密封歧管埠及過濾器埠(圖34E)。
在另一實施例中，延伸臂3300操作地耦合至一連桿或其他機構以來回平移過濾器匣使得延伸臂3300之垂直移動可轉化為過濾器匣之水平移動。在一實施例中，延伸臂3300在一第一運動範圍內移動以降
低過濾器對準支架3302且在一第二運動範圍內移動以平移過濾器匣3202。接合手柄3210操作地耦合至一機構以移動上部連接外殼及歧管埠。圖35A至圖35E係在此一實施例中插入一過濾器匣之一實施例之圖形表示。過濾器匣3202插入至歧管總成3200之過濾器接納區域中。過濾器匣接納該等臂或過濾器對準支架之其他導軌。可向下推動接合手柄3210以使過濾器匣3202下降至一過濾器下部位置且使上部支撐臂下降至其中過濾器匣埠軸向對準連接螺母之一上部支撐臂下部位置(圖35A至圖34C)。應注意，對於一定範圍的行進，過濾器對準支架3302及延伸臂3300可一起行進直至過濾器對準支架到達其底部位置。此時，延伸臂3300可繼續平移直至上部支撐臂3206處於其最終位置。延伸臂3300可操作地耦合至過濾器匣3202使得延伸臂3300在垂直方向上之進一步平移將過濾器匣3202朝歧管埠推動(圖35C)，從而導致底部過濾器匣埠接納在底部連接螺母中。接合手柄3210可旋轉以朝上部匣埠驅動上部歧管埠直至上部匣埠接納在連接螺母中(圖35D)。旋轉部件3220可經旋轉以密封歧管埠及過濾器埠(圖35E)。
圖36係包括多個過濾器匣之一過濾系統3600之一實施例之一圖形表示。供應線可經組態使得過濾器匣按需要提供連續或平行過濾或其等之一組合，展示可並排定位多個歧管。
圖37A及圖37B係一歧管總成3700及過濾器匣3702之另一實施例之圖形表示。歧管總成3700可包括一下部支撐臂3704、一上部支撐臂3706及一中間部分3708。下部支撐臂3704耦合至提供下部歧管埠之下部連接系統3705，且上部支撐臂3706耦合至提供上部歧管埠之上部連接系統3707。下部連接系統3705及上部連接系統3707可如上所述般操作。中間部分3708可耦合至下部支撐臂3704及上部支撐臂3706且可分離支撐臂。中間部分3708界定其中安置過濾器對準支架3712之一通道。過濾器對準支架3712可相對於中間部分3708移動。過濾器對準支
架3712可包含可接納在一過濾器匣之對應特徵部中之導引臂3714。
上部支撐臂3706相對於中間部分3708繞一旋轉軸樞轉。連桿3710透過中間部分3708之側中之狹槽3715將上部支撐臂3706連接至過濾器對準支架3712。上部支撐臂3706旋轉導致過濾器對準支架3712平移。
在操作中，匣3702可放置在下部支撐臂3704與上部支撐臂3706之間之匣接納區域中使得導軌3714接納在過濾器匣3702之對應特徵部中。上部支撐臂3706可經旋轉，導致過濾器對準支架3712至下部連接系統及上部連接系統3707自過濾器對準支架3712向下下降至過濾器匣3702之相對側。旋轉部件3720可經旋轉以在歧管埠與過濾器埠之間完成一密封。
圖38係用於接納一過濾器匣3802之一歧管總成3800之又另一實施例之一圖形表示。歧管總成3800可包括界定提供匣接納區域以接納匣3802之一或多個過濾器隔間之一外殼。一過濾器對準支架提供自過濾器隔間後側突出之導引臂3806。導引臂3806可接納在過濾器匣之對應特徵部中。在匣接納區域上方安置一上部連接系統3810且在匣接納區域下方安置一下部連接系統3812。上部連接系統3810可操作地連接至一桿3820。桿3820之平移可導致由狹槽3850導引上部連接系統3810平移。根據一實施例，桿3820具有螺紋，因此平移上部連接系統3810必須使桿3820旋轉。
圖39A及圖39B係上部連接系統3810之一實施例之圖形表示。一垂直對準組塊3902耦合至桿3820使得桿3820之平移導致垂直對準組塊3902垂直移動。一樞轉組塊3904耦合至垂直對準組塊3902且可繞樞轉軸3950(其可由一樞轉銷(亦參見圖39B)提供)旋轉一受控制的量以將力均勻地分佈在埠之間。樞轉組塊3904包含接合過濾器端帽3920上之對應埠之上部歧管埠3910。供應線3930可行進穿過垂直對準組塊3902
且連接至埠3910以引導流體往返於埠3910。供應線3930可呈撓性以適應垂直對準組塊3902之垂直移動。在圖39B中描繪之實施例中，垂直對準組塊相對於側壁中之狹槽3850(亦參見圖39A)移動。桿3940可在頂部埠脫離之後使底部埠之匣升起。圖39B中亦展示接合端帽3920之一導引臂3806之一實例。
圖40係一下部連接系統3812之一實施例之一圖形表示。下部連接系統3812可包含耦合至一外殼底座4004之一樞轉組塊4002。樞轉組塊4002繞樞轉軸4060(其可由一樞轉銷提供)旋轉一受控制的量以將力均勻地分佈在埠之間。樞轉組塊4002提供介接過濾器匣端帽4010上之對應埠之下部歧管埠。一組柱4006自底座4004向上延伸。柱4006可為經組態以接合端帽4010之配接特徵部(例如，圖12之狹槽1228)以在密封接合之前適當地定位埠之卡扣配合柱。
參考圖38至圖40，一匣3802可透過線性運動而插入至一過濾器隔間中，使得導引臂3806接合匣端帽3920及4010中之狹槽。桿3820旋轉可導致垂直對準組塊3902沿總成側壁中之狹槽向下平移。在一實施例中，對準支架亦可移動，從而同時平移過濾器匣3802。上部歧管埠3910與過濾器匣埠之間的距離可在一第一運動範圍內保持相同，直至匣3802到達其最低位置且接著上部歧管埠3910與過濾器匣埠之間的距離降低。在另一實施例中，樞轉組塊3904可接合端帽3920上之密封件並在匣的運動範圍內向下推動匣3802。端帽4010之配接特徵部可接合至柱4006(在一些實施例中具有觸覺回饋)中且端帽4010上之埠接合下部樞轉組塊4002上之歧管埠。桿3820可旋轉直至產生一足夠大的密封力。圖38至圖40之實施例提供單一桿的旋轉可密封四個埠之一優點。
圖41係用於接納一過濾器匣4102之另一歧管總成4100之一實施例之一圖形表示。歧管總成包括支撐一下部連接系統4105之一下部支撐臂4104及支撐一上部連接系統4107之一上部支撐臂4106。下部支撐
臂4104及上部支撐臂4106耦合至固持下部支撐臂4104及上部支撐臂4106使其等分開一距離之一支撐支架4108。支撐支架4108可提供一定的垂直順性。根據一實施例，支撐支架4106可由可相對於彼此垂直滑動之兩個或更多個板(例如，下部板4110及上部板4112)形成。一可移除式傳動軸件4120可行進穿過上部支撐臂4108並驅動連接系統之一或多個齒輪(相同或不同傳動軸件可用於下部支撐臂4104)。
圖42係包括一傳動系統之上部連接系統4107之一實施例之一圖形表示。傳動軸件4120接合齒輪4200。隨著傳動軸件4120旋轉，齒輪4200轉動額外齒輪，諸如齒輪4202。在一實施例中，齒輪4202可如上所述般連接至一連接螺母。在另一實施例中，可繞一標準的螺紋式接頭安置齒輪4202使得齒輪4202必須旋轉多次旋轉以完成一密封。在其他實施例中，桿可驅動同時驅動兩個(或更多個)螺母之一齒輪總成。
應注意，在歧管總成中，上部連接系統及下部連接系統可不同(例如，連接外殼可不同)使得匣可僅安裝在一定向上。外殼亦可不同使得將不會裝配不適用於一特定應用之一過濾器。不同對準特徵部可用以限制何種過濾器或過濾器端帽可裝配至一給定歧管總成中。
圖43係自一端觀察之主體5200(例如，移除端帽104及端帽106)之一實施例之一圖形表示。主體5200可界定一介質腔。介質腔可隔離為腔道，其中各腔道中安置一淨化器元件5225。根據一實施例，平行腔道在x-z平面及x-y平面中具有一大體上矩形(包含正方形)外形。雖然展示三個腔道，但是過濾器匣可具有更多或更少個腔道。腔道可經密封使其等彼此阻隔使得流體未在腔道之間流動。在其他實施例中，可提供開口使得流體可在隔離腔道之間流動。圖43進一步圖解說明標籤固持件5292中之標籤5294。
根據一實施例，主體5200包括第一側蓋5210、第二側蓋5220、主殼體5230及腔道蓋5240(指示其等之一者)。主殼體5230、第一側蓋
5210、第二側蓋5220及端帽可使用緊固件、音波黏結、干涉配合或其他耦合機構耦合在一起，且可協同以形成介質腔及平行腔道。主殼體5230提供在外側壁5234與外側壁5236之間延伸之一底座5232及自底座5232延伸之一組分開張力部件5238。側壁5234、側壁5236、側蓋5210及側蓋5220可形成內腔之側壁。主殼體側壁及張力部件5238可沿長軸在腔內延伸一長度以形成腔道側壁。底座5232介於腔道側壁之間(例如，外側壁5234/5236與一張力部件5238之間及兩個張力部件5238之間)之部分形成整合腔道蓋5239，其包括一格柵以容許流體流入或流出對應腔道。
底座5232之一側可包含促進將側蓋5220耦合至底座5232之特徵部。根據一實施例，底座提供可黏結或以其他方式耦合側蓋5220之一部分之一組側蓋安裝表面。在相對側上，外側壁5234、外側壁5236及張力部件5238遠離底座5232之端可提供促進將側蓋5210耦合至主殼體5230之特徵部。例如，遠端表面可提供可黏結或以其他方式耦合側蓋5210之一部分之側蓋安裝表面。
腔道蓋5240跨越在各主殼體側壁5234/5236與一張力部件5238之間或相鄰張力部件5238之間，且延伸腔道之長度以覆蓋腔道與底座5232相對之側。腔道蓋5240可包括包含延伸腔道蓋5240之長度之框架部件5244之一外框架及跨越在框架部件5244之間之一格柵部分。腔道蓋5240中之開口可相同或不同於底座5232之整合腔道蓋5239中之開口。
框架部件5244面向側蓋5210之表面可提供一側蓋安裝表面以促進側蓋5210之耦合。例如，側蓋安裝表面可提供可黏結或以其他方式耦合側蓋5210之一部分之一表面。腔道蓋5240亦可包含耦合特徵部以促進使用一卡扣配合、干涉配合、音波黏結、熱黏結或根據任何適當耦合機構將腔道蓋5240耦合至主殼體5230。根據一實施例，腔道蓋
5240可包含舌狀物、凹槽或其他特徵部使得腔道蓋5240可卡住在適當位置中。
如圖43中描繪，在一淨化器元件5225之一上游側及一下游側上提供一腔道蓋(例如，呈腔道蓋5240及整合腔道蓋5239之形式)。在其他實施例中，僅在淨化器元件5225之一側上提供一腔道蓋。在又另一實施例中，完全不使用腔道蓋。具有腔道蓋以覆蓋淨化器元件5225之上游側及下游側之一優點係：可在正向流動及反向流動中支撐淨化器元件5225，從而容許匣在任一流動方向上類似地運行。
側蓋5210可包含側支撐部件5260、對準張力部件5238之一組分開肋5262及一組分開肋5263。側蓋5220可類似地包含側支撐部件5270、對準張力部件5238之一組分開肋5272及一組分開肋5273。注意，與圖2之肋狀物263及273相比，肋狀物5263及5273並未全程延伸至腔道蓋。即，腔道蓋5240與肋狀物5263之端之間存在一間隙及肋狀物5273之端與腔道蓋5239之間存在一間隙。
可沿側壁安置流動通道。為此，側支撐部件5260、分開肋5262及分開肋5263可延伸一長度並協同以形成細分為流動通道部分5264之一組平行流動通道，流動通道部分5264沿其等長度開向腔道蓋5240。類似地，側支撐部件5270、分開肋5272及分開肋5273可延伸一長度並協同以形成細分為流動通道部分5274之一組平行流動通道，流動通道部分5274沿其等長度開向腔道蓋5239。流動通道之端可形成如上所述之充氣室且經流體耦合至入口、出口、排氣口或排放口之一或多者。
雖然每個腔道描繪細分為兩個部分之一流動通道，但是匣之每個腔道可具有多個隔離流動通道。流動通道5264及5274可具有任何所要形狀及大小，且相同側或相對側上之不同流動通道可具有不同組態。根據一實施例，流動通道可呈弧形、橢圓形或圓形以在側蓋內側上產生一系列拱形件。每個腔道亦可使用一弧形、橢圓形或圓形形狀
(例如，使得流體通道未被細分，但仍為圓形)。
各側蓋上之分開肋之一些分開以對準張力部件5238。此等肋狀物之內表面可耦合至張力部件之端。例如，肋狀物5272之內表面可在張力部件5238之底座處耦合至主殼體5230且肋狀物5262之內表面可耦合至張力部件5238之遠端。因此，當壓力容器腔受到壓力時，張力部件5238將於側蓋5210及5220上撐住一力以減小或防止側蓋5210及5220彎曲。張力部件5238之大小及組態可經選擇使得在期望操作壓力下壓力容器腔之體積變形小於一所要百分比。
主體5200可包括如上所述般更好地分佈力之一系列箍環狀結構。根據一實施例，內表面中平行於腔道延伸之轉折彎曲。因此，例如，如上文結合圖2論述，側蓋5210之角隅、側蓋5220之角隅及流動通路繞平行於腔道之軸彎曲。此外，主殼體側壁5234及5236具有彎曲外部，且側蓋5210及5220具有彎曲角隅(例如，參考圖1A及圖1B，在自側125至側124及側123之轉折及自側126至側124及側123之轉折處)。
如上所述，腔道可提供淨化器元件固持區域以固持淨化器元件5225。淨化器元件5225較佳地係褶襉網片，其等經摺疊使得褶襉之長度平行於匣之長軸。褶襉尖端可經定向使得一側上之褶襉尖端指向側蓋5210，而相對褶襉尖端經定向以指向側蓋5220使得褶襉尖端鄰接各自腔道蓋。在此配置中，一組褶襉尖端面向腔之上游部分且另一組褶襉尖端面向腔之下游部分。淨化器元件5225可為分離淨化器元件，或淨化器元件之各者可為相同連續褶襉網片之部分，使得(例如)一淨化器元件5225之最後的翻瓣轉折至下一個淨化器元件5225之第一翻瓣中，且該淨化器元件之最後的翻瓣轉折至下一個淨化器元件5225之第一翻瓣中，以此類推。各淨化器元件之褶襉可由單一隔膜或多個隔膜形成，隔膜由相同或不同材料形成。較佳地，褶襉壓縮在一起並在上
游側上形成一大體上較平坦矩形入口界面且在下游側上形成一大體上較平坦矩形出口界面。一腔道中一給定隔膜區域之隔膜壓縮量可經選擇以達成一所要壓降及流速。如上所述，亦可在腔道中放置其他淨化介質或用於其他目的(例如，熱量交換)之其他介質。
圖44係一過濾器匣5300之另一實施例之一圖形表示，過濾器匣5300包括一主體5301、一第一端帽5302及一第二端帽5304。主體5301可如上所述般組態。端帽5302可提供一第一埠5306及一第二埠5308，且端帽5304可提供一第三埠5310及一第四埠5312。該等埠可提供一入口埠、一出口埠、一排氣埠及一排放埠。例如，埠5306可為一出口埠，埠5308可為一排氣埠，埠5310可為一入口埠，且埠5312可為一排放埠。在圖44之實施例中，埠接頭可為用於(例如)半導體製造之標準埠接頭。
端帽5302可經組態使得匣之一上游側上之氣體被引導至第二埠5308(例如，端帽5302可經設計或以其他方式塑形使得排氣埠係在腔之上游側上之最高點處)，且端帽5304可經組態使得下游側上之流體流至埠5312(例如，端帽5304可經設計或以其他方式塑形使得排放埠係在腔之下游側上之最低點處)。
圖45係一過濾器匣5400之另一實施例之一圖形表示，過濾器匣5400包括一主體5401、一第一端帽5402及一第二端帽5404。主體5401可如上所述般組態。端帽5402可提供一第一埠5406及一第二埠5408，且端帽5404可提供一第三埠5410及一第四埠5412。該等埠可提供一入口埠、一出口埠、一上游排氣埠及一下游排氣埠。例如，埠5406可為一下游排氣埠，埠5408可為一上游排氣埠，埠5410可為一入口埠，且埠5412可為一出口埠。端帽5402可經組態使得氣體被引導至第一埠5406及第二埠5408(例如，端帽5402可經設計或以其他方式塑形使得排氣埠係在腔之上游側及腔之下游側上之最高點處)。可以其他方式
採用該等埠。例如，埠5410及埠5412可用於使匣進行排放。在圖45之實施例中，埠接頭可為用於(例如)半導體製造之標準埠接頭。
圖46係流體埠面向前面及後面之一過濾器匣5500之另一實施例之一圖形表示，過濾器匣5500包括一主體5501、一第一端帽5502及一第二端帽5504。主體5501可如上所述般組態。端帽5502可提供一第一埠5506及一第二埠5508，且端帽5504可提供一第三埠5510及一第四埠5512。該等埠可提供一入口埠、一出口埠、一排氣埠及一排放埠。在此情況下，所有埠可為水平埠。在圖46之實施例中，埠接頭可為用於(例如)半導體製造之標準埠接頭。
端帽5502可經組態使得匣之一上游側上之氣體被引導至排氣埠(例如，端帽5502可經設計或以其他方式塑形使得排氣埠係在腔之上游側上之最高點處)，且端帽5504可經組態使得下游側上之流體流至埠5512(例如，端帽5504可經設計或以其他方式塑形使得排放埠係在腔之下游側上之最低點處)。在一實施例中，埠5510亦可經設計以容許進行排放。
雖然已描述特定實施例，但是此等實施例僅僅係闡釋本發明且非限制本發明。本發明之已圖解說明之實施例之本文描述(包含發明摘要及發明內容中的描述)不旨在詳盡無遺或將本發明限於本文中揭示之精確形式(且特定言之，發明摘要或發明內容內包含任何特定實施例、特徵或功能不旨在將本發明之範疇限於此實施例、特徵或功能)。相反，該描述旨在描述闡釋性實施例、特徵及功能以使此項技術中之一般技術者理解本發明且不將本發明限於任何特定描述之實施例、特徵或功能，包含發明摘要或發明內容中描述之任何此實施例、特徵或功能。雖然本文中已僅針對闡釋性目的而描述本發明之特定實施例及實例，但是如熟習此項技術者將認知並明白，各種等效修改在本發明之精神及範疇內係可行的。如指示，鑑於本發明之已圖解說明
之實施例之前述描述，可對本發明作出此等修改，且此等修改包含在本發明之精神及範疇內。因此，雖然本文中已參考本發明之特定實施例而描述本發明，但是修改之一範圍、各種改變及替代旨在前述揭示內容中，且應明白在一些例項中，在不脫離如陳述之本發明之範疇及精神的情況下，可採用本發明之實施例之一些特徵而不對應地使用其他特徵。因此，可作出許多修改以將一特定情形或材料調適至本發明之本質範疇及精神。
例如，本文中描述之任何過濾器結構可包括使用一第二聚合物包覆模製在一或多個表面上之一第一聚合物。作為另一實例，介質可包含可藉由化學塗層、電漿處理、雷射或燈具處理等進行表面改質以包含離子交換基團、親水基、疏水基及輔助淨化由多孔隔膜處理之流體之其他官能基團之隔膜。作為另一實例，離子交換介質可放置在隔膜袋中且此等袋密封至匣之通道或腔道中。在另一實施例中，可將具有嵌入式離子交換隔膜之一多孔隔膜摺疊並黏結至腔道中。亦將可在一匣內使用一多孔或無孔隔膜藉由使一液體在外殼之一側上流動並透過匣之另一側上之接頭施加氣體或牽引真空而氣化或脫氣液體。在另一實施例中，一匣可經組態以使用一無孔隔膜轉移熱量。
在本說明書內對「一實施例」、「一特定實施例」或類似術語的引用意謂結合實施例描述之一特定特徵、結構或特性包含在至少一實施例中且不一定存在於所有實施例中。因此，片語「在一實施例中」、「在一特定實施例中」或類似術語在本說明書內各處的各自出現不一定係指相同實施例。此外，任何特定實施例之特定特徵、結構或特性可以任何適當方式與一或多個其他實施例組合。應瞭解，鑑於本文中的教示，本文中描述並圖解說明之實施例之其他變動及修改係可行的且被視為本發明之精神及範疇之部分。
在本文中的描述中，提供數種特定細節(諸如組件及/或方法之實
例)以提供對本發明之一完整理解。然而，熟習此項技術者應認知，一實施例能夠在不具備該等特定細節之一或多者的情況下或在具有其他設備、系統、總成、方法、組件、材料、部分及/或類似物的情況下加以實踐。在其他例項中，並未具體展示或詳細描述已知結構、組件、系統、材料或操作以避免混淆本發明之實施例之態樣。雖然可藉由使用一特定實施例圖解說明本發明，但是這未將且的確未將本發明限於任何特定實施例，且一般技術者將認知額外實施例可容易理解且係本發明之一部分。
亦應明白，該等圖式及/或圖中描繪之元件之一或多者亦可以一更分離或整體方式實施，或甚至在某些情況下被移除或呈現為不可操作，這在符合一特定應用時係有用的。此外，除非另有具體說明，否則該等圖式/圖中之任何標示箭頭應僅被視為例示性且非限制。
上文已關於特定實施例描述優勢、其他優點及解決問題之方法。然而，該等優勢、優點及解決問題之方法及可導致任何優勢、優點及解決問題之方法發生或變得更明顯之任何組件不應被解釋為一重要、必需或本質特徵或組件。
1900a‧‧‧連接系統
1900b‧‧‧連接系統
1900c‧‧‧連接系統
1900d‧‧‧連接系統
1950‧‧‧傳動手柄
2500‧‧‧歧管總成
2501‧‧‧主歧管板
2502‧‧‧導引臂
2506‧‧‧匣對準特徵部
2510‧‧‧歧管埠
2512‧‧‧歧管埠
2514‧‧‧歧管埠
2516‧‧‧歧管埠
Claims (35)
- 一種淨化系統，其包括：一大體上矩形可移除式淨化器匣，該淨化器匣進一步包括：一淨化器主體，其包括一第一側壁、一第二側壁、一第三側壁及一第四側壁，該第一側壁與該第二側壁相對且該第三側壁與該第四側壁相對，該淨化器主體界定一介質腔；一或多個張力部件，其(其等)耦合至該介質腔之該第一側壁及該第二側壁，該一或多個張力部件將該介質腔分為複數個區段；一淨化器元件，其安置在該複數個區段之各者中；一第一淨化器埠接頭，其提供流體連接至該介質腔之一上游部分之一第一淨化器埠；一第二淨化器埠接頭，其提供流體連接至該介質腔之一下游部分之一第二淨化器埠；一歧管總成，其包括提供歧管埠之複數個連接系統，該等歧管埠包括：一第一歧管埠，其耦合至該第一淨化器埠接頭；及一第二歧管埠，其耦合至該第二淨化器埠接頭。
- 如請求項1之淨化系統，其中各淨化器元件包括一經壓縮大體上矩形褶襉網片，其經配置使一第一組褶襉尖端面向該介質腔之該上游部分及一第二組褶襉尖端面向該介質腔之該下游部分。
- 如請求項1之淨化系統，其中該淨化器主體經組態具有複數個箍環狀結構以分佈應力。
- 如請求項1之淨化系統，其中該淨化器匣進一步包括沿該第一側壁安置之一第一組流動通道及沿該第二側壁安置之一第二組流 動通道，該第一組流動通道及該第二組流動通道在該複數個區段之相對側上，該第一組流動通道之各者流體耦合至該第一淨化器埠且經組態以將流體分佈至該複數個區段之一第一側，且該第二組流動通道之各者流體耦合至該第二淨化器埠且經組態以自該複數個區段之一第二側接納流體。
- 如請求項4之淨化系統，其進一步包括沿該第一側壁安置之一第一系列加強拱形件及沿該第二側壁安置之一第二系列加強拱形件。
- 如請求項5之淨化系統，其中該第一系列加強拱形件提供該第一組流動通道且該第二系列加強拱形件提供該第二組流動通道。
- 如請求項1之淨化系統，其中該第一淨化器埠及該第二淨化器埠係面向後側埠且其中該複數個連接系統經組態以容許一使用者從該淨化器匣之一前側密封該等面向後側埠。
- 如請求項1之淨化系統，其中該複數個連接系統經組態以同時密封多個淨化器埠。
- 如請求項1之淨化系統，其中該歧管總成包括一對準特徵部以使該淨化器匣與該歧管總成對準。
- 如請求項9之淨化系統，其中該對準特徵部包括一或多個導引臂。
- 如請求項1至10中任一項之淨化系統，其中該複數個連接系統包括一第一連接系統，該第一連接系統進一步包括：一第一連接外殼，其界定一第一連接外殼第一開口；及一第一連接螺母，其安置在該第一連接外殼第一開口中且可繞第一歧管接頭旋轉，該第一連接螺母包括一組第一連接螺母內螺紋，該等第一連接螺母內螺紋經組態以接合一組第一淨化器埠接頭外螺紋以在該第一連接螺母旋轉小於360度的情況下在 該第一歧管接頭與該第一淨化器埠之間產生一密封。
- 如請求項11之淨化系統，其中該第一組第一連接螺母內螺紋及該組第一淨化器埠接頭外螺紋係多線螺紋，其等經組態以在該第一連接螺母旋轉小於360度的情況下產生至少360度螺紋式接合。
- 如請求項11之淨化系統，其中該第一連接外殼包括一第一組第一連接外殼內螺紋且該第一連接螺母包括一組第一連接螺母外螺紋，其中該組第一連接螺母外螺紋接合該第一組第一連接外殼內螺紋。
- 如請求項11之淨化系統，其中該歧管進一步包括：可繞第二歧管接頭旋轉之一第二連接螺母，該第二連接螺母包括一組第二連接螺母內螺紋，該等第二連接螺母內螺紋經組態以接合一組第二淨化器埠接頭外螺紋以在旋轉小於360度的情況下在該第二歧管接頭與該第二淨化器埠接頭之間產生一密封。
- 如請求項14之淨化系統，其中該第二連接螺母係安置在該第一連接外殼或一第二連接外殼中。
- 如請求項14之淨化系統，其進一步包括一齒輪總成，其操作地耦合至該第一連接螺母及該第二連接螺母使得該第一連接螺母及該第二連接螺母同時旋轉。
- 如請求項16之淨化系統，其中該第一埠接頭及該第二埠接頭面向該歧管總成且其中該第一連接系統包括延伸超過該淨化器匣之一旋轉部件，該旋轉部件操作地耦合至該齒輪總成使得該旋轉部件之旋轉會使該第一連接螺母及該第二連接螺母旋轉。
- 如請求項17之淨化系統，其中該旋轉部件包括耦合至該第一連接螺母之一齒輪臂，該齒輪臂包括： 齒輪齒，其等接合操作地耦合至該第二連接螺母之一齒輪；及一臂部分，其延伸超過該淨化器匣。
- 如請求項18之淨化系統，其中該第一連接系統進一步包括一傳動手柄且該傳動手柄包括：接納在該臂部分之一傳動軸件通路中之一傳動軸件，該傳動軸件可在該傳動軸件通路中自一完全收縮位置平移至一完全插入位置；及接納在該匣之一對準開口中之一對準柱，該對準柱提供用於該傳動軸件之一樞轉點。
- 如請求項19之淨化系統，其中該對準開口經鍵合使得該傳動軸件插入一第一距離，接著繞該樞轉點旋轉一選定角距離，且接著完全插入。
- 如請求項19之淨化系統，其中該對準開口經鍵合，使得當該第一連接螺母及該第二連接螺母脫離對準該等第一埠接頭外螺紋之該組第一連接螺母內螺紋及對準該等第二埠接頭外螺紋之該組第二連接螺母內螺紋時，該對準柱之一部分對準該對準開口中之一入口通路。
- 如請求項11之淨化系統，其中該第一連接螺母包括與該組第一連接螺母內螺紋之一螺紋線分開之一第一組對準特徵部且該第一埠接頭包括與該等第一埠接頭外螺紋分開之一組互補對準特徵部，使得除非該第一組對準特徵部配接該組互補對準特徵部，否則該組第一連接螺母內螺紋不能接合該等第一埠接頭外螺紋。
- 一種用於接納具有複數個埠接頭之一淨化器匣之歧管總成，該歧管總成包括： 一第一連接系統，其包括：一第一連接外殼，其界定一第一連接外殼第一開口；一第一歧管接頭；及一第一連接螺母，其安置在該第一連接外殼第一開口中且可繞該第一歧管接頭旋轉，該第一連接螺母包含一組第一連接螺母內螺紋，該等第一連接螺母內螺紋經組態以接合該匣之第一埠接頭外螺紋以在該第一連接螺母旋轉小於360度的情況下在第一埠接頭與第一歧管接頭之間產生一密封；及與該第一連接系統分開之一第二連接系統，該第二連接系統經組態以接合該匣上之至少一額外埠接頭。
- 如請求項23之歧管總成，其中該第一連接外殼包括一第一組第一連接外殼內螺紋且該第一連接螺母包括接合該第一組第一連接外殼內螺紋之一組第一連接螺母外螺紋以產生一摩擦力以禁止該第一連接螺母在一軸向密封負載下反向旋轉。
- 如請求項23之歧管總成，其中該第一連接螺母包括與該組第一連接螺母內螺紋之一螺紋線分開之一第一組對準特徵部且該第一埠接頭包括與該等第一埠接頭外螺紋分開之一組互補對準特徵部，使得除非該第一組對準特徵部配接該組互補對準特徵部，否則該組第一連接螺母內螺紋不能接合該等第一埠接頭外螺紋。
- 如請求項23至25中任一項之歧管總成，其進一步包括：一第二歧管接頭；及一第二連接螺母，該第二連接螺母包括一組第二連接螺母內螺紋，該組第二連接螺母內螺紋經組態以接合一第二埠接頭上之外螺紋且在該第二連接螺母旋轉小於360度的情況下密封該第二歧管接頭及該第二埠接頭。
- 如請求項26之歧管總成，其進一步包括一齒輪總成，其操作地耦合至該第一連接螺母及該第二連接螺母使得該第一連接螺母及該第二連接螺母同時旋轉。
- 如請求項27之歧管總成，其中該第一連接系統包括一旋轉部件，其經組態以自該第一連接螺母及該第二連接螺母延伸至該匣之一相對側，該旋轉部件操作地耦合至該齒輪總成使得該旋轉部件之旋轉會使該第一連接螺母及該第二連接螺母旋轉。
- 如請求項28之歧管總成，其中該旋轉部件包括耦合至該第一連接螺母之齒輪臂，該齒輪臂包括：齒輪齒，其等接合操作地耦合至該第二連接螺母之一齒輪；及一臂部分，其向前延伸。
- 如請求項29之歧管總成，其中該第一連接系統進一步包括一傳動手柄，其包括：接納在該臂部分之一傳動軸件通路中之一傳動軸件，該傳動軸件可在該傳動軸件通路中自一完全收縮位置平移至一完全插入位置；及一對準柱，其經組態以接納在該匣之一對準開口中且提供用於該傳動軸件之一樞轉點。
- 如請求項30之歧管總成，其中該傳動軸件可在一角位置範圍內繞該樞轉點旋轉，其中在一第一組選定角位置中，該傳動軸件不能平移至該完全插入位置，且在一選定角位置中，該傳動軸件可平移至該完全插入位置以鎖定該齒輪臂之旋轉。
- 如請求項31之歧管總成，其中在該第一組角位置中，該傳動軸件之一第一端與該第一連接外殼之一正面重疊，且在該選定角位置中，該傳動軸件之該第一端對準其中可插入該傳動軸件之 該第一端之一特徵部。
- 如請求項23至25中任一項之歧管總成，其中該歧管總成包括一對準特徵部以使該匣與該歧管總成對準。
- 如請求項23至25中任一項之歧管總成，其中該第一連接系統可相對於該主歧管板移動且該第二連接系統經固定。
- 如請求項23至25中任一項之歧管總成，其進一步包括經組態以將流體連續或平行提供至匣之供應線。
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