SU741122A1 - Способ рентгеновского спектрального анализа - Google Patents
Способ рентгеновского спектрального анализа Download PDFInfo
- Publication number
- SU741122A1 SU741122A1 SU782612642A SU2612642A SU741122A1 SU 741122 A1 SU741122 A1 SU 741122A1 SU 782612642 A SU782612642 A SU 782612642A SU 2612642 A SU2612642 A SU 2612642A SU 741122 A1 SU741122 A1 SU 741122A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- ray
- radiation
- angle
- spectral analysis
- analysis
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 10
- 238000010183 spectrum analysis Methods 0.000 title description 5
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 6
- 238000000441 X-ray spectroscopy Methods 0.000 claims description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 2
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 claims 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 17
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 239000008710 crystal-8 Substances 0.000 description 1
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 1
- 230000005865 ionizing radiation Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000008707 rearrangement Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000004846 x-ray emission Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
Изобретение относится к рентгеновской спектроскопии и предназначено для анализа эмиссионных спектров различных материалов, возбуждаемых ионизирующим излучением, например электронами или ионами. 5
Известен способ рентгеновского спектрального анализа, включающий возбуждение характеристического спектра электронным пучком, облучение кристалла-анализатора рентгеновским излучением анализ»-10 руемого объекта, изменение угла падения рентгеновского излучения на кристалл-анализатор и регистрацию дифрагированного излучения [1]. Точность измерения спектральных линий этим способом в основном определяется механической системой перемещения элементов измерительной схемы и их юстировкой.
Известен также способ рентгеновского спектрального анализа [2], включающий возбуждение характеристического спектра исследуемого объекта рентгеновским пучком и регистрацию эмиссионного излучения с помощью полупроводникового детектора излучения. Способ позволяет существенно упростить процесс анализа, однако точность измерения длины волны спектральной линии также невысока. Это обусловлено относительно низким энергетическим разрешением полупроводникового детектора, которое в лучшем случае достигает -^10^ эВ при энергии квантов -^Ю^кэВ.
Наиболее близким техническим решением к предложенному является способ [3] рентгеновского спектрального анализа, включающий поочередное возбуждение эмиссионного излучения объекта и этанола, облучение им кристалла - анализатора и регистрацию дифрагированного излучения.
При анализе этим способом не устраняются ошибки измерения, обусловленные неточным отсчетом углов в измерительной схеме, так как опорная и исследуемая линии спектра врав нива ются путем последовательной регистрации указанных спектральных линий с перестановкой объекта и эталона. Затрудняется измерение длины
7411 волны характеристического излучения, поскольку изменяется химическая связь. При повторной калибровке измерительной схемы возникает необходимость вывода анализируемого объекта из пучка возбуждающего излучения и установки эталона, что усложняет проведение измерений.
Цель изобретения - повышение точности определения относительного изменения длины волны спектральной линии.
Для этого при проведении рентгеновского спектрального анализа, включающего поочередное возбуждение эмиссионного излучения объекта и эталона, облучение им кристалла-анализатора и регистрацию дифрагированного излучения, согласно изобретению, сводят пучки эмиссионного рентгеновского излучения на одну прямую, для чего направляют их на зеркало: один под углом, равным углу выхода аномально отраженного излучения, а другой - под углом не менее критического угла полного внешнего отражения.
Существо предлагаемого способа анализа состоит в том, что при падении рентгеновского пучка на поверхность твердого тела под углом, большим предельного угла полного внешнего отражения , на угловой диаграмме рассеяния наблюдается пик, лежащий в области углов отражения, меньших 4^· Угловое положение этого пика Ч'д в отличие от зеркального практически не зависит от угла скольжения прямого пучка и определяется в основном плотностью отражающей среды.
Таким образом, если направить на отражающую поверхность два рентгеновских пучка, один под углом скольжения, большим Μ’κ,η другой - под углом, равным то удастся свести вдоль одного направления часть излучения от двух разтичных падающих пучков, что и используотся в предложенном способе.
На чертеже изображена схема устройст— ia для осуществления способа.
Устройство содержит источники электронов 1, 2, ограничивающие диафрагмы 3-6, зеркало 7, кристалл-анализатор 8, детектор излучения 9. Вращение кристалла-анализатора 8, ограничивающей диа- ’ фрагмы 6 и детектора 9 осуществляется вокруг оси О.
Стрелками показаны направления электронных пучков, непрерывными линиями- 55 направления распространения рентгеновских пучков. Измерительная часть устройства собрана по схеме Брегга-Брента но. Фиктивным источником излучения в измеритель— ной схеме является диафрагме 5, которая облучается потоком излучения от фокусирующего зеркала 7.
Способ осуществляется следующим образом.
Включают один из источников электронов 1 или 2, возбуждающий эмиссию рентгеновского излучения исследуемого образца 10 или эталона 11. Рентгеновское излучение, испускаемое образцом 10, коллимируется диафрагмой 3, а испускаемое эталоном 11 - диафрагмой 4 и направляется на фокусирующее зеркало 7. При этом, если включен источник 1, то пучок лучей от образца 10 падает под углом полного внешнего отражения на поверхность зеркала 7 и зеркально отражается в направлении диафрагмы 5, а если включен источник 2, пучок от эталона 11 падает под углом скольжения, большим предельного угла полного внешнего отражения, и отражается в двух направлениях: частично в щель диафрагмы 5, частично зеркально на поглощающую створку диафрагмы 5. Излучение, прошедшее через диафрагму 5, попадает на кристалп-анал«^затор 8. Запись участка спектра, содержащего сравниваемые спектральные линии объекта 10- и эталона 11, осуществляют в шаговом режиме. При этом в каждой угловой точке, последовательно включая и выключая источники 1, 2, отдельно регистрируют сигналы от объекта и эталона. Переход в другую угловую точку осуществляется путем синхронного перемещения кристалла-анализатора 8 и детектора 9 с ограничивающей диафрагмой 6 соот— · ветственно йа углы и 2й.в-В результате такой съемки профили спектральных линий оказываются наложенными друг на друга, причем со строгой привязкой к одной и той же точке отсчета.
Предложенный способ анализа уменьшает влияние погрешностей гониометрического устройства, при этом исключается необходимость механического перемещения исследуемого и эталонного объектов, что позволяет повысить точность определения энергетической структуры исследуемых объектов и упрощает калибровку измери- . тельной системы.
Claims (3)
1.Патент США Nfo 3005О98, кл, G 01 Т 1/36, опублик. 1958.
2.Вольдсет Р. Прикладна спектроскопи рентгеновского излучени . М., Атомиздат , 1977, с. 28.
3.Коффман Д., Молл С., Нортон Дж. Вли ние изменени длины волны, обусловленного химической св зью на результаты количественного рентгеноспектрального
анализа. Сб. Физические основы рентгеноспектрального локального анализа. М., Наука, 1973, с. 297 (прототип).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU782612642A SU741122A1 (ru) | 1978-05-10 | 1978-05-10 | Способ рентгеновского спектрального анализа |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU782612642A SU741122A1 (ru) | 1978-05-10 | 1978-05-10 | Способ рентгеновского спектрального анализа |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU741122A1 true SU741122A1 (ru) | 1980-06-15 |
Family
ID=20763332
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU782612642A SU741122A1 (ru) | 1978-05-10 | 1978-05-10 | Способ рентгеновского спектрального анализа |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU741122A1 (ru) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2303776C1 (ru) * | 2005-12-15 | 2007-07-27 | Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова Российской академии наук | Способ управления пространственным положением рентгеновского пучка |
| RU2352923C1 (ru) * | 2007-10-22 | 2009-04-20 | Институт кристаллографии имени А.В. Шубникова Российской Академии Наук (ИК РАН) | Способ фокусировки синхротронного излучения |
-
1978
- 1978-05-10 SU SU782612642A patent/SU741122A1/ru active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2303776C1 (ru) * | 2005-12-15 | 2007-07-27 | Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова Российской академии наук | Способ управления пространственным положением рентгеновского пучка |
| RU2352923C1 (ru) * | 2007-10-22 | 2009-04-20 | Институт кристаллографии имени А.В. Шубникова Российской Академии Наук (ИК РАН) | Способ фокусировки синхротронного излучения |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7076024B2 (en) | X-ray apparatus with dual monochromators | |
| US6680996B2 (en) | Dual-wavelength X-ray reflectometry | |
| US6621888B2 (en) | X-ray inspection by coherent-scattering from variably disposed scatterers identified as suspect objects | |
| JP3889851B2 (ja) | 膜厚測定方法 | |
| JP2004333131A (ja) | 全反射蛍光ｘａｆｓ測定装置 | |
| EP0894264B1 (en) | X-ray spectrometer with an analyzer crystal having a partly variable and a partly constant radius of curvature | |
| JP4677217B2 (ja) | サンプル検査方法、サンプル検査装置、マイクロエレクトロニックデバイス製造用クラスタツール、マイクロエレクトロニックデバイス製造用装置 | |
| JPH0252980B2 (ru) | ||
| SU741122A1 (ru) | Способ рентгеновского спектрального анализа | |
| US3891853A (en) | Energy compensated spectrofluorometer | |
| GB2343825A (en) | X-ray micro-diffraction apparatus comprising a cylindrical surrounding the specimen | |
| JP3034420B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析におけるバックグランド補正法 | |
| JPH11281597A (ja) | 光電子分光装置及び表面分析法 | |
| JP2921597B2 (ja) | 全反射スペクトル測定装置 | |
| JPH01244344A (ja) | Ｘ線吸収スペクトル測定装置 | |
| JP3029899B2 (ja) | ガラス線量測定装置 | |
| USH922H (en) | Method for analyzing materials using x-ray fluorescence | |
| JP3204636B2 (ja) | 蛍光ガラス線量計測定装置 | |
| JPS6353457A (ja) | 二次元走査型状態分析装置 | |
| JP2880381B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析装置 | |
| JPH1183766A (ja) | Ｘ線反射率測定装置 | |
| Tur’yanskii et al. | Measurements of x-ray absorption spectra by the prism spectroscopy method | |
| Ivanov et al. | Inverstigation of optical characteristics of polymers in the vacuum ultraviolet region | |
| RU2216010C2 (ru) | Многоканальный рентгеновский дифрактометр | |
| JP2003028816A (ja) | 全反射蛍光ｘ線分析装置 |