SU574172A3 - Ion scattering spectrometer - Google Patents
Ion scattering spectrometerInfo
- Publication number
- SU574172A3 SU574172A3 SU7502172007A SU2172007A SU574172A3 SU 574172 A3 SU574172 A3 SU 574172A3 SU 7502172007 A SU7502172007 A SU 7502172007A SU 2172007 A SU2172007 A SU 2172007A SU 574172 A3 SU574172 A3 SU 574172A3
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- ions
- energy
- analyzer
- primary
- signal
- Prior art date
Links
- 238000004969 ion scattering spectroscopy Methods 0.000 title claims description 5
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 47
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 claims description 6
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 6
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims description 2
- 235000002566 Capsicum Nutrition 0.000 claims 1
- 206010011703 Cyanosis Diseases 0.000 claims 1
- 239000006002 Pepper Substances 0.000 claims 1
- 235000016761 Piper aduncum Nutrition 0.000 claims 1
- 235000017804 Piper guineense Nutrition 0.000 claims 1
- 244000203593 Piper nigrum Species 0.000 claims 1
- 235000008184 Piper nigrum Nutrition 0.000 claims 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 1
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 210000004761 scalp Anatomy 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/295—Electron or ion diffraction tubes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/203—Measuring back scattering
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/225—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using electron or ion
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/022—Circuit arrangements, e.g. for generating deviation currents or voltages ; Components associated with high voltage supply
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/10—Ion sources; Ion guns
- H01J49/14—Ion sources; Ion guns using particle bombardment, e.g. ionisation chambers
- H01J49/142—Ion sources; Ion guns using particle bombardment, e.g. ionisation chambers using a solid target which is not previously vapourised
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/28—Static spectrometers
- H01J49/282—Static spectrometers using electrostatic analysers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/44—Energy spectrometers, e.g. alpha-, beta-spectrometers
- H01J49/46—Static spectrometers
- H01J49/48—Static spectrometers using electrostatic analysers, e.g. cylindrical sector, Wien filter
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Description
(54) СПЕКТРОМЕТР ИОННОГО РАССЕЯНИЯ(54) SPECTROMETER OF ION SCATTERING
атомом анализируемого образца. Такой спектр может быть использован дл получени информации о процессах обмена и об электронных состо ни х атомов исследуемого материала. Кроме того, эти спектры полезны дл разрешени смежных эпементов периодической таблицы.atom analyzed sample. Such a spectrum can be used to obtain information on the exchange processes and on the electronic states of the atoms of the material under study. In addition, these spectra are useful for resolving adjacent elements of the periodic table.
Недостатком известных устройств спектроскопии ионного рассе ни вл етс отсутствие воэ можности получить спектры, показывающие процессы электронного .A disadvantage of the known ion scattering spectroscopy devices is the lack of the ability to obtain spectra showing electron processes.
Цель изобретеш1 - упрощение технологии получени спектров, показьшающих процессы электронного обмена. Достигаетс это тем, что спектрометр ибшюго рассе 1ш содержит средства дл изменени кинетической энергии пучка первичных ионов в задаьшом временном диапазоне и заданном интервале кинетических энергий, средства дл синхр01В1зации процессов изменени энергии, анализа рассе нных ионов и индикации, операптно св зашше, например, через источник шггаьш , с источником первичных ионов, анализатором и индикаторным устройством.The goal of the invention is to simplify the technology of obtaining spectra showing the processes of electronic exchange. This is achieved by the fact that the spectrometer ibshygo scattering 1sh contains means for changing the kinetic energy of the primary ion beam in a given time range and a given range of kinetic energies, means for synchronizing the processes of changing energy, analyzing scattered ions and indications operatively connected, for example, through a source shnggsh, with a source of primary ions, an analyzer and an indicator device.
Кроме того, источник питани содержит генератф развертки дл управл емого периодического измене1П1 напр же1ш , а средства дл сшофонизации содержат подключенные к анализатору устройства дл регистрации нагф жегт , при котором ионам, рессе ш1ым атомами данной атомной массы, соответствует максимальный сигнал, идл подачи сигаапа смещени на анализатор.In addition, the power source contains a sweep generator for controlled periodic change of 1P1 voltage, and means for encoding contain devices that are connected to the analyzer for recording naggers, in which the ions with the atomic atoms of a given atomic mass correspond to the maximum signal analyzer.
Кроме того, спектрометр содержит средства дл многократного измене м кинетической энергии пучка первич15ых ионов в любом диапазоне энергий, а таЁсже средства дл усредне1ш сигнала, полученного при многократных из№Неш х кинетической энергии пучка первичных ионов; средства дл усреднени сигнала содержат цифровую многоканальную пересчбтную схему, си10ф01газирован1ую с генератс ом развертки й-подключешую к анализатору. Помимо этого спектрометр содержит средства дл получе ш производной сигнала, которые включают схему дл многократной модул ции поверхностного потенциала образца и частот но-и фазочувствительное устройство дл регистрации результирукхцшс многократных изменений сигнала. In addition, the spectrometer contains means for multiple changes in the kinetic energy of a beam of primary ions in any energy range, and also means for averaging the signal obtained from multiple NeX kinetic energy of a beam of primary ions; The means for averaging the signal contain a digital multichannel recombination circuit that is s10f01gased with a sweep generator that is connected to the analyzer. In addition, the spectrometer contains means for obtaining a derivative of the signal, which includes a circuit for multiple modulation of the surface potential of the sample and a frequency and phase-sensitive device for recording the resultant multiple changes in the signal.
На фиг. 1 показана блок-схема предлагаемого спектрометра ионного рассе ни ; на фиг. 2 - комбинаци блок-схем и пршщшшальньк схем; иа фиг. и 4 - типичные спектры выхода рассе нных ионов. (Не , как функции их кинетической энергии дл Рв и Bi соответственно); на фиг. 5 - спектры выхода ионов Не ,рассейнных на элементарном In и нидил, наход щемс в соедийёнии Jri As; нафиг. 6спектры выхода ионов Ne, расоб ШьЛ та Рв; на фиг. 7 и 8 - спектры выхода нонов Ne Af. рдссе нных на In соответственно.FIG. Figure 1 shows the block diagram of the proposed ion scattering spectrometer; in fig. 2 is a combination of flowcharts and ps schemes; FIG. and 4, typical output spectra of scattered ions. (Not, as a function of their kinetic energy for Pb and Bi, respectively); in fig. 5 — output spectra of He ions dispersed on elemental In and nidyl, located in the Jri As compound; see 6 spectra of the release of Ne ions, rasbol and Rv; in fig. 7 and 8 are the output spectra of non Ne Af. shown on In, respectively.
Предлагаемый спектроластр вакуумную камеру 1, В1огтри которой устаж)влены источник 2 Н01ЮВ, средства 3 дл направлешш ионст на образец 4, держатель образца (не показан ), анализатор и детектор рассе 1гаых ионов 5. Источник ионов 2 питаетс от источника 6 переменного напр жени , который соединен со средствами синхронизащш 7, оперативно св занными с анализатором и детектором рассе нных ионов 5 и индикаторным устройством 8. Элементы 6,7, 8 расположены вне вакуумной камеры 1.The proposed spectrolaster vacuum chamber 1, whose scalp has been installed, has a source of 2 H01UV, means 3 for directing ionst to sample 4, a sample holder (not shown), an analyzer and a detector of 1 ions 5. The ion source 2 is powered by an alternating voltage source 6, which is connected to synchronization means 7, operatively connected with the analyzer and the detector of scattered ions 5 and the indicator device 8. Elements 6, 7, 8 are located outside the vacuum chamber 1.
Чтобы управл ть составом получаемого ионного пучка во врем работы устройства, камера 1 вакуумируетс до давлени менее торр с помощью вакуумного насоса и расположенного внутри камеры геттера (не показаны). Накачка luiepTHoro газа в источник ионов осуществл етс прерьшисто. Парциальное давление нужного газа в камере устанавливаетс с помощью соответствующих клапанов (Не показаны) на уровне пор дка 55 10 и из ер етс , например, с помощью ионизационных манометров. В качестве инертного газа обычно используют гелий, аргон и неон. Предусмотрены электрические вводы (не показаны ) дл обеспече1ш соединени между элементами , наход щимис внутри и снаружи камеры. Внутри камеры расположен держатель так, чтобы поверхность исследуемого образца 4 находилась на пути первичного ионного пучка. Выход щий из источника ионов 2 пучок проходит по крайней мере через две пары отклон кщих пластин 9, зар жаемых источником питанил 10, который управл етс вручную или с помощью профаммного устройства. Это обеспечивает возможность сканировани ионного пучка по поверхности образца 4.In order to control the composition of the resulting ion beam during operation of the device, chamber 1 is evacuated to a pressure less than Torr by means of a vacuum pump and a getter located inside the chamber (not shown). The pumping of the luiepTHoro gas into the ion source is carried out flawlessly. The partial pressure of the desired gas in the chamber is established using appropriate valves (not shown) at a level of about 55 10 and is extracted, for example, with ionization gauges. Helium, argon and neon are commonly used as inert gases. Electrical inputs (not shown) are provided to provide a connection between the elements inside and outside the chamber. Inside the chamber is the holder so that the surface of the sample 4 is in the path of the primary ion beam. The beam emerging from the ion source 2 passes through at least two pairs of deflecting plates 9, charged by the power source 10, which is controlled manually or by means of a pro- ity device. This allows the ion beam to be scanned over the surface of sample 4.
Анализатор и детектор рассе нных ионов 5 содержит обычньш 127.°-иый электростатический анализатор и ионный детектор 2. Электростатический анализатор содержит входную и выходную диафрагмь 3 и 4, соответственно, с длинными и узкими щел ми, и две электростатические пластины 5. Диафрагмы 3 и 4 заземлены, хот в некоторых случа х может оказатьс : желательным подать на каждую диафрагму смещение одинакового или различного потенциала относительно земли. Входна даафрагма 13 расположена на рассто ш1и пор дка см от анализируемой поверхности. Держатель образца и анализатор вьшолнены таким образом, чтобы сохранить посто нным угол рассе ни независимо от того, на какую часть потерхности мишени падает первичный пучок.The analyzer and the detector of scattered ions 5 contain the usual 127. ° -th electrostatic analyzer and ion detector 2. The electrostatic analyzer contains an input and output diaphragm 3 and 4, respectively, with long and narrow slits, and two electrostatic plates 5. Aperture 3 and 4 is grounded, although in some cases it may be: it is desirable to apply for each diaphragm an offset of the same or different potential relative to the ground. The input daafragma 13 is located at a distance of about cm from the analyzed surface. The sample holder and analyzer are designed in such a way that the angle of scattering is kept constant regardless of which part of the target surface falls on the primary beam.
Пластины 15 анализатора зар жаютс выходным сигналом с устройства сиихронизации 7, которое прикладьшает потенциал к пластинам 5 таким образом, чтобы направить ионы обладаюшие заданной массой и энергией, через шели входной и выходной диафрагм анализатора 11 в ионный детектор 2, в котором поступающие ионы генерируют электроиы, собираемые коллектором 16,преобразуншшм ток электронов, в электрокньш сигнал, принимаемый схемой 7 обработки сигнала. Сигнал со схемы 17 затем кюжет быть воспроизведен на Ш1дикаторж м устройстве 8 любого известного типа . Ишользуемый ионный детектор 12 содержитThe analyzer plates 15 are charged by the output signal from the synchronization device 7, which applies the potential to the plates 5 in such a way as to direct ions having a given mass and energy through the shells of the analyzer input and output diaphragms 11 to the ion detector 2, in which the incoming ions generate electrons, collected by the collector 16, converting the electron current into an electro signal received by the signal processing circuit 7. The signal from the circuit 17 is then displayed on a clipboard device 8 of any known type. Used ion detector 12 contains
камеру 18 и негферьшный канальный электронный умножитель 19, запитьшаемый от высоковольтного источника 20,the chamber 18 and the non-ferry channel electron multiplier 19, washed down from the high-voltage source 20,
Источник 6 переменного напр жени предпочтительно содержит программируемый источник 21 высокого напр жени , выходной сигнал которого может управл тьс путем изменени сопротивлени на его входных клеммах, переменное сопротивление 22, соединенное с двигателем 23 посто нного тока, управл емого источником питани 24. Скорость изменени сопротивлени переменного сопротивлени 22, а следовательно,и напр жени , пр№ кладьтаемого к источнику ионов 2, может гжн тьс , например, дл того, чтобы обеспечить однократную шш многократную развертку ионов в диапазоне заданных энергий.The alternating voltage source 6 preferably comprises a programmable high voltage source 21, the output of which can be controlled by varying the resistance at its input terminals, a variable resistance 22 connected to a direct current motor 23 controlled by the power source 24. The rate of change of the variable resistance the resistors 22, and therefore also the voltage applied to the ion source 2, can be, for example, in order to provide a single multiple scan s in the predetermined energy range.
Напр жение источника питани 21 прикладываетс также к устройству синхронизации 7, содержащему делитель напр жени с потенциометром 25, который устанавливает определенную;а:олю напр е ки , поданного на источник ионов 2,и подает указанную долю на пластины 15 анализатора 11. В результате этого, в любой данный момент времени, независимо от того, какое напр жение прикладьтаетс к источнику ионов 2, через анализатор 11 к детектору 12 будут проходить только ионы, рассе нные на атомах образца, имеющих определенную массу. Устройство синхронизации 7 содержит также другой делитель напр жени 26 дл получени напр жени ,- пропорционального напр жению на пластинах анализатора и подаваемого на индикаторное устройство 8.The voltage of the power source 21 is also applied to the synchronization device 7, which contains a voltage divider with potentiometer 25, which sets a certain value: a: to the voltage applied to the ion source 2, and supplies the specified fraction to the plates 15 of the analyzer 11. As a result At any given time, regardless of the voltage applied to the ion source 2, only ions scattered on the sample atoms of a certain mass will pass through the analyzer 11 to the detector 12. The synchronization device 7 also contains another voltage divider 26 for receiving a voltage, proportional to the voltage on the analyzer plates and supplied to the indicator device 8.
Схема 17 обработки электронного сигнала содержит предусилитель 27, импульсный усилитель 28, интегральный дискриминатор 29, интенсиметр 30 и фазочувствительный синхронизирующий усилитель 31. Сигнал с коллектора электронов 16, гфопорциональный числу попадающих в детектор в единицу времени рассе нных ионов, усиливаетс предусилитепем 27, затем усиливаетс и формируетс в усилителе 28. Интегральный дискриминатор 29 подавл ет паразитный шум в сигнале и выходной сигнал подсчитьтаетс в интенсиметре 30, который вырабатывает аналоговое выходное напр жение, соответствующее числу ионов, зарепютрированных детектором в единицу времени .The electronic signal processing circuit 17 comprises a preamplifier 27, a pulse amplifier 28, an integral discriminator 29, an intensity meter 30 and a phase-sensitive clock amplifier 31. The signal from the electron collector 16, which is proportional to the number of scattered ions, is amplified by amplification 27, then amplified and is formed in the amplifier 28. The integral discriminator 29 suppresses spurious noise in the signal and the output signal is counted in the intensity meter 30, which produces an analog output to p voltage corresponding to the number of ions zarepyutrirovannyh detector per unit time.
Чтобы улучщить указанное соответствие, в спектрометр введены средства получени производной сигнала, включающие 1шзкочастотный генератор 32, включенный последовательно с образцом 4 и устройством 33 дл измерени тока. Генератор 32 модулирует потенциал образца 4 и измен ет таким образом кинетическую энергию первичных ионов. Така модул ци кинетической энергии может быть получена любыми другими способами, например , путем модул ции подаваемого на источник ионов напр жени питани . Сигнал с низкочастотного генератора 32 подастс с помощью проводника 34 к синхронизирующему усилителю 31 дл того , чтобы выработать опорньмсип.ил, соответствующий этой модулжщи. Модул ил аналорового выходного напр жегги етект фуетс помощью синхрониз1фующего усилител 31 в соответствии с опорным сигналом и, таким образом, вырабатывает сигнал, характеризующий производную исходного электронного сигнала.In order to improve this correspondence, means for obtaining a derived signal were inserted into the spectrometer, including a 1-frequency generator 32 connected in series with sample 4 and a device 33 for measuring current. Generator 32 modulates the potential of sample 4 and thus changes the kinetic energy of the primary ions. Such modulation of the kinetic energy can be obtained by any other means, for example, by modulating the supply voltage applied to the ion source. The signal from the low-frequency oscillator 32 is fed by conductor 34 to the clock amplifier 31 in order to generate an op-amp corresponding to this modulus. The analog output voltage module is powered by a clock amplifier 31 in accordance with the reference signal, and thus produces a signal indicative of the derivative of the original electronic signal.
Дл слутаев, когда така обработка выходного сигнала нежелательна, предусмотрен пвухпозиционный переключатель 35, предназначенный дл отключени или блокировки генератора 32 от С1шхронизирущего усачител 31.For such cases, when such output signal processing is undesirable, a two-position switch 35 is provided for disabling or blocking the generator 32 from the C1 clock synchronizer 31.
Сигнал с синхр01шзирующего усилнтелл 31 предпочтительно использовать дл правлени двухкоордкнатного устройства по оси Y, а сигнал с устройства синхрониэации 7 - дл управлени по оси X. В результате может быть получен график зависимое™ числа отсчетов в единицу времени от кинетической энерпш первичных ионов.The signal from the synchronizing amplifiers 31 is preferably used to control the two-coordinate device along the Y axis, and the signal from the synchronization device 7 is used to control along the X axis. As a result, a graph of the dependent ™ number of counts per unit time from the kinetic energy of the primary ions can be obtained.
В варианте реализации, когда источник 6 переменного напр же ш средства дл многократной развертки напр жешш в задашюм диапазоне, целесообразно ввести в схему 17 обработки эжктронного сигнала средства усреднени сигналов, сфорMnpoBaifflbix во врем последоьательных разверток, чтобы получить сигнал с улушкнным отношением сигнал/шум. Это средство усреднетда представл ет собой многокар альное щ фровое пересчетное устройство , сш{хрокизирова шое с устройством синхронизащш 7 и соединенное с выходом интегрального |дискрим1шатора 29.In an embodiment, when the variable source source 6 for repeated scanning of the voltage within the given range, it is advisable to introduce means of averaging signals into the circuit of the ectronic signal, form MnpoBaifflbix during successive sweeps, in order to obtain a signal with a good signal-to-noise ratio. This averaging tool is a multi-channel radar counting device, which is synchronized with the device of synchronization 7 and connected to the output of the integral disk recorder 29.
Графики числа отсчетов в зависимости от кинетической энергии первичных ионов могут быть использованы дл построени кривых выхода рассе нных ионов, которые не завис т от изменеж™ тока первичных ионов н разрешающей способност 1 анализатора, обусловле1шых изменетшми энергии первич1сых ионов. В каждый из р д. Bbi amniix велишн первичной энергии количество отсчетов в единицу времени пол чают нз графика и дел т на ток первичных ионов, соответствующий велищше кинетической энергии первичных ионов. Полученна величина дет1тс на величину кинетической энергии первичных ионов, что в результате дает выход ионов дл данной энергии. Этот последний процесс делени ос тцестЬим, так как число проход щих через анализатор ионов пропорционально их энергии из характеристик разрещени данного анализатора. На фиг. 3-8 показаны такие коррект1фова тые кр{шые выхода, которые показьшают преимущества изобретешт .The number of counts versus the kinetic energy of the primary ions can be used to construct scattered ion yield curves that do not depend on the variation of the primary ion current and the resolution of 1 analyzer, due to the changes in the energy of the primary ions. In each of the Bbi amniix magnitudes of the primary energy, the number of counts per unit of time is obtained on the graph and divided by the primary ion current corresponding to the kinetic energy of the primary ions. The resulting magnitude is det1ts by the magnitude of the kinetic energy of the primary ions, which results in an ion yield for a given energy. This latter dividing process is the seventh one, since the number of ions passing through the analyzer is proportional to their energy from the resolution characteristics of the analyzer. FIG. Figures 3–8 show such correct digital outputs that show the advantages of the invention.
Claims (8)
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US507713A US3920989A (en) | 1974-09-20 | 1974-09-20 | Ion scattering spectrometer utilizing charge exchange processes |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU574172A3 true SU574172A3 (en) | 1977-09-25 |
Family
ID=24019819
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU7502172007A SU574172A3 (en) | 1974-09-20 | 1975-09-19 | Ion scattering spectrometer |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US3920989A (en) |
| JP (1) | JPS5435957B2 (en) |
| CA (1) | CA1021882A (en) |
| CH (1) | CH594249A5 (en) |
| DE (1) | DE2542362C3 (en) |
| FR (1) | FR2285610A1 (en) |
| GB (1) | GB1526787A (en) |
| NL (1) | NL7508730A (en) |
| SU (1) | SU574172A3 (en) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0722011B2 (en) * | 1983-03-30 | 1995-03-08 | 日新電機株式会社 | High resolution ion scattering analyzer |
| IT1246375B (en) * | 1990-04-11 | 1994-11-18 | Consiglio Nazionale Ricerche | APPARATUS AND METHOD FOR THE ABSOLUTE DETERMINATION OF THE ENERGY OF A BAND OF IONS |
| JP2642881B2 (en) * | 1994-09-28 | 1997-08-20 | 東京大学長 | Ultrasensitive hydrogen detection method using slow multiply charged ions |
| CA3229072A1 (en) * | 2017-01-18 | 2018-08-09 | Shine Technologies, Llc | High power ion beam generator systems and methods |
| CN114252653B (en) * | 2021-01-06 | 2023-12-12 | 中国科学院物理研究所 | Ultrafast imaging device and method thereof |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3480774A (en) * | 1967-05-26 | 1969-11-25 | Minnesota Mining & Mfg | Low-energy ion scattering apparatus and method for analyzing the surface of a solid |
| US3665182A (en) * | 1969-08-18 | 1972-05-23 | Minnesota Mining & Mfg | Elemental analyzing apparatus |
| US3665185A (en) * | 1970-10-19 | 1972-05-23 | Minnesota Mining & Mfg | Ion scattering spectrometer with neutralization |
-
1974
- 1974-09-20 US US507713A patent/US3920989A/en not_active Expired - Lifetime
-
1975
- 1975-07-22 NL NL7508730A patent/NL7508730A/en not_active Application Discontinuation
- 1975-08-25 CA CA234,059A patent/CA1021882A/en not_active Expired
- 1975-09-19 JP JP11353375A patent/JPS5435957B2/ja not_active Expired
- 1975-09-19 CH CH1216675A patent/CH594249A5/xx not_active IP Right Cessation
- 1975-09-19 FR FR7528800A patent/FR2285610A1/en active Granted
- 1975-09-19 GB GB38626/75A patent/GB1526787A/en not_active Expired
- 1975-09-19 SU SU7502172007A patent/SU574172A3/en active
- 1975-09-19 DE DE2542362A patent/DE2542362C3/en not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US3920989A (en) | 1975-11-18 |
| GB1526787A (en) | 1978-09-27 |
| CH594249A5 (en) | 1977-12-30 |
| CA1021882A (en) | 1977-11-29 |
| FR2285610B1 (en) | 1981-08-07 |
| JPS5157494A (en) | 1976-05-19 |
| JPS5435957B2 (en) | 1979-11-06 |
| NL7508730A (en) | 1976-03-23 |
| DE2542362C3 (en) | 1980-01-17 |
| DE2542362A1 (en) | 1976-04-01 |
| FR2285610A1 (en) | 1976-04-16 |
| DE2542362B2 (en) | 1979-05-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US2370673A (en) | Mass spectrometry | |
| EP0534935B1 (en) | Method and apparatus for generating particle beams | |
| Motz | Bremsstrahlung differential cross-section measurements for 0.5-and 1.0-Mev electrons | |
| US4707602A (en) | Fourier transform time of flight mass spectrometer | |
| US4058724A (en) | Ion Scattering spectrometer with two analyzers preferably in tandem | |
| US3953732A (en) | Dynamic mass spectrometer | |
| GB2246468A (en) | Detecting ions after mass analysis. | |
| US6586728B1 (en) | Variable width digital filter for time-of-flight mass spectrometry | |
| JPS59946B2 (en) | mass spectrometer | |
| SU574172A3 (en) | Ion scattering spectrometer | |
| US3665182A (en) | Elemental analyzing apparatus | |
| Brubaker et al. | Performance studies of a quadrupole mass filter | |
| US4808818A (en) | Method of operating a mass spectrometer and a mass spectrometer for carrying out the method | |
| US2721271A (en) | Radio frequency mass spectrometer | |
| US4134014A (en) | Spectroscopy | |
| JP3358065B2 (en) | How to operate a secondary ion time-of-flight mass spectrometer | |
| US3986024A (en) | Arrangement for electrical detection of ions for mass-spectroscopic determination of the mass-magnitudes and mass-intensities of ions | |
| GB1431736A (en) | Device for measuring electron signals accompanied by strong back-ground noise | |
| US3260845A (en) | Method for the analysis of x-rays from an electron probe device | |
| Murphy et al. | Operation of a microchannel plate counting system in a mass spectrometer | |
| US4695724A (en) | AC-modulation quadrupole mass spectrometer | |
| EP0475674A2 (en) | Method and apparatus for mass spectrometry | |
| EP1170779A1 (en) | Isotopomer mass spectrometer | |
| Daly et al. | Detector for the metastable ions observed in the mass spectra of organic compounds | |
| US3230362A (en) | Bakeable mass spectrometer with means to precisely align the ion source, analyzer and detector subassemblies |