полнено на однолучевой цветной электроннолучевой трубке с .непрерывной Структурой экрана , а амплйтудный дискриминатор и усилитель , соединенный с источником ускор| ющего нанр жени , включены между управл ющим и ускор ющим электродами трубки.filled with a single-color color electron beam tube with a continuous screen structure, and an amplitude discriminator and amplifier connected to an acceleration source | The nanometers are connected between the control and accelerating electrodes of the tube.
На чертеже показано предлагаемое устройство .The drawing shows the proposed device.
Источник электронов 1 создает нучок электранов. Фокусирующа система 2 формирует электронный зонд 3, который иод действием отклон ющей системы 4 сканирует по исследуемому объекту 5. Детектор излучени 6 преобразует сигаал от вторичных электронов, излучаемых микроучаСТ1Ком исследуемого объекта, в видеасигнал, который усиливаетс усилителем видеосигнала 7 и подаетс на управл ющий электрод ЭЛТ 8 дл уп ра1влени интенсивностью сканирующего под действием от1 :лон ющей системы 9 луча и на амплитудный дискриминатор 10. Амплитудный дискриминатор 10 квантует видеосигнал «а уровни, Каждому из которых соответствует определенный цвет свечени ЭЛТ 8. Выходной сигнал амплитудного дискриминатора 10 управл ет усилитеЛем 11, питающимс от источника ускор ющего напр жени 12. Устройство включает также генератор отклонени пучков 13. Сигнал с выхода усилител 11 измен ет потенциал на ускор ющем электроде ЭЛТ 8, что, в свою очередь, измен ет цвет свечени экрана ЭЛТ.The source of electrons 1 creates nookok elektranov. The focusing system 2 forms an electronic probe 3, which, by the action of the deflecting system 4, scans the object under study 5. The radiation detector 6 converts the signal from the secondary electrons emitted by the micro-object of the object under study to a video signal that is amplified by the video signal amplifier 7 and fed to the control electrode of the CRT 8 to control the intensity of the scanner under the action of the luminous system 9 of the beam and the amplitude discriminator 10. The amplitude discriminator 10 quantizes the video signal “a which corresponds to a specific color of the CRT 8. The output signal of the amplitude discriminator 10 controls amplification 11 supplied from the accelerating voltage source 12. The device also includes a beam deflection generator 13. The signal from the output of the amplifier 11 changes the potential at the accelerating electrode of the CRT 8, which in turn changes the color of the CRT screen.
Таким образом, видеосигнал, полученный из потенциального рельефа исследуемого образца , разбиваетс по амплитуде на р д дискретных уровней и каждый из этих уровней изображаетс на экране ЭЛТ определенным цветам. Изменение амплитуды видеосигнала.Thus, the video signal obtained from the potential relief of the sample under study is broken down in amplitude into a series of discrete levels, and each of these levels is depicted on a CRT screen in specific colors. Change the amplitude of the video signal.
соответствующего какой-либо точке образца, в пределах определенного уровн амплитуды будет измен ть ркость соответ1СТ1вующей точки экрана, при этом цвет данной точки ЭКрана будет определ тьс уровнем видеосигнала. Предлагаемое устройство позвоЛЯет повысить временную разрешающую способность с сохранением .высокой разрешающей способности по контрастности, что дает возадожность более точно различать структуру исследуемого объекта и исключить ошибки при анализе контрастности изображени .corresponding to any point of the sample, within a certain amplitude level, will change the brightness of the corresponding STI next point of the screen, and the color of this point of the SCREEN will be determined by the video signal level. The proposed device makes it possible to increase the temporal resolution while maintaining high contrast resolution in contrast, which makes it possible to more accurately distinguish the structure of the object under study and eliminate errors in analyzing the image contrast.