SU1748114A1

SU1748114A1 - Интерференционное просветл ющее покрытие

Info

Publication number: SU1748114A1
Application number: SU904893822A
Authority: SU
Inventors: Светлана Даниловна Тушина; Галина Федоровна Волкова; Вера Николаевна Дроздова; Наталья Федоровна Дергай
Original assignee: Конструкторское бюро точного электронного машиностроения
Priority date: 1990-12-25
Filing date: 1990-12-25
Publication date: 1992-07-15

Description

длин волн Ai и Аа определ етс следующей зависимостью 1,2 т S 2.

На фиг. 1 приведена конструкци покрыти ; на фиг, 2 - спектральные кривые отражени дл различных марок стекла.

На подложку 1 (фиг. 1) из стекла с показателем преломлени nt 1,46 - 1,62 нанесены три сло 2-4 Первый слой 2, прилегающий к подложке, имеет показатель преломлени пн 1,381 0,01 и оптическую толщину О.бАо ± 0,01 АО, второй слой 3 имеет показатель преломлени пе 1,63 + 0,01 и оптическую толщину 0,75Ао, 0,01Ао, а третий слой 4, граничащий с воздухом, имеет показатель преломлени пн 1,38 ± 0,01 и оптическую толщину 0,25 Ао+ O.OlAo .

Интерференционное просветл ющее покрытие работает следующим .

Луч 5 падает на подложку 1 в точке Ai, проход последовательно три сло 2-4, частично преломл етс частично отражаютс лучи 5, 5 и 5, границах слоев и выходит из системы луч 6. Толщины слоев, показатель их преломлени выбраны таким образом, что в результате интерференции лучей 5, 5, 51 интенсивность отраженного луча близка к нулю дл заданной длины волны Ai, в УФ области спектра.

Расчет конструкции просветл ющего покрыти производилс на ЭВМ с помощью специально разработанной программы с применением математического аппарата, с учетом дисперсии показателей преломлени примен емых материалов.

Пример . Реализаци покрыти осуществл лась вакуумным напылением на установке A700Q фирмы Lelbofd Heraeus, оборудованной системой безмасл ной откачки типа Turbovac 1500 прецизионным фотометрическим контролем ОМ-200 в комплекте с расширителем диапазона работы (дейтериева лампа, фотоумножитель и комплект интерференционных фильтров дл УФ-области спектра).

Контроль оптической толщины слоев в процессе напылени производилс по контрольному образцу с помощью ОМ-2000 регистрацией измерени величины отраженного сигнала. Контрольный образец представл ет собой плоскопараллельную пластину, полированную с одной стороны, диаметром 42 мм, толщиной 2 мм из стекла К8 с показателем преломлени 1,52. Все три диэлектрических сло наносились на подогретую до 350°С подложку за один цикл испарени , причем толщина первого сло составл ла 0,5А°+ O.OlAo, второго 0,75Ао± 0,01Ао и третьего 0,25 АО ± 0.0 lAg. где Ао 330нм.

В качестве испарител использовалс ESV-6 мощностью 6 кВт с двум четырехпо- зиционными тигл ми Каждый из трех слоев контролировалс по своему контрольному

образцу Свидетелю. Дл первого и третьего слоев в качестве материала с показателем преломлени 1,38+ 0,01 использовалс фтористый магний MgF2, который испар лс электронным лучом, расфокусированным

по размерам чейки тигл . Ток эмиссии 20 - 50 мА, скорость напылени 4-5 А/с. Дл второго сло с показателем преломлени 1,63 ± 0,01 использовали AlaOa, который испар лс электронным лучом, ток эмиссии

-4 00 мА. После нанесени слоев с оптическими толщинами 0,5Aot 0,01Ао, 0,75Ао+ 0.01 АО и 0,25Aoi O.OlAo детали охлаждались в каме ре до комнатной температуры, затеми проводились измерени спектральных

характеристик на спектрофотометре Perkin Elmer с приставкой на отражение.

При внедрении предлагаемого покрыти в серийном производстве были изготовлены и исследованы покрыти на оптических элементах с показател ми преломлени 1,46, 1.52 дл А 337 и 600 нм.

На фиг. 2 приведены кривые спектрального отражени , полученные экспериментальным путем на стеклах с показател ми преломлени п 1,46 (крива 1), п, 1,52 (крива 2).

Измерение коэффициента отражени проводились на спектрофотометре Perkin

Elmer.

Приведенные на фиг. 2 спектральные кривые показывают, что предлагаемое про- стветл ющее покрытие дл заданных длин волн А и А2 позвол ет получить коэффициенты отражени R 0,2% и R 0,5% дл различных марок стекла в диапазоне 1,46... 1,52. По результатам измерений коэффициентов отражени просветл ющих покрытий на разных стеклах установлено:

- остаточный коэффициент отражени дл любой пары длин волн At и Аа в диапазоне спектра 290 - 600 нм не превышает 0,2% в УФ и 0,5% в видимой област х спектра;

- покрытие устойчиво во второсодержа- щей среде и может быть использовано в резонаторах эксимерных лазеррв;

- покрытие технологично, носит универсальный характер и может быть использовано в серийном производстве при просветлении оптических систем, работающих с лазерными источниками на А 193 нм, А 248 нм, А 308 нм и системами фокусировки в видимой области спектра.

Claims

Формула изобретени

Интерференционное просветл ющее пбкрытие, дл оптических элементов с показателем преломлени 1,45 - 1,62, содержащее три сло , первый и третий из которых, счита от подложки, выполнены из материала с показателем преломлени 1,38 ± 0,01 и с оптической толщиной 0,5До+ 0,01 До и

0,35До ± 0,0 соответственно, а второй слой выполнен из материала с показателем преломлени 1,63 + 0,01, отличающее с тем, что, с целью получени остаточного отражени не более 0,2% дл Ai и не более

0,5% дл Аг при 1,2 S-}| :S2 второй слой

выполнен с оптической толщиной 0,75 АО+ 0,01/U.

J S

(Шг,1

S s

/

300 338 376 414 432 490 528 566 804 642 680

Фиг.1

ч

L NH