SU1628011A1 - Устройство дл измерени удельного сопротивлени полупроводниковых материалов - Google Patents
Устройство дл измерени удельного сопротивлени полупроводниковых материалов Download PDFInfo
- Publication number
- SU1628011A1 SU1628011A1 SU884491228A SU4491228A SU1628011A1 SU 1628011 A1 SU1628011 A1 SU 1628011A1 SU 884491228 A SU884491228 A SU 884491228A SU 4491228 A SU4491228 A SU 4491228A SU 1628011 A1 SU1628011 A1 SU 1628011A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- output
- amplifier
- resistor
- current
- semiconductor material
- Prior art date
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 9
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 16
- 238000011835 investigation Methods 0.000 claims 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 2
- 239000010802 sludge Substances 0.000 abstract 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к технике контрол полупроводниковых материалов и может быть использовано дл выходного и входного контрол на предпри ти х-изготовител х и потребител х кремни . Цель изобретени - повышение точности путем снижени синфазной составл ющей входного напр жени дифференциального усилител . Устройство содержит токовые 1, 2 и потенциальные 3 4 зонды, источник 6 тока, операционный усилитель 7, буферные усилители 8, 9, дифференциальный усилитель 10, вольтметр 11, резисторы 12, 13. 1 ил.
Description
Ё
frD D D
о ю со
о
Изобретение относитс к технике контрол полупроводниковых материалогз и, в частности , может быть использовано дл выходного и входного контрол на предпри ти х-изготовител х и потребител х кремни .
Цель изобретени - повышение точности .
На чертеже приведена структурна электрическа схема устройства дл измерени удельного сопротивлени полупроводниковых материалов.
Устройство дл измерени удельного сопротивлени полупроводниковых материалов содержит первый 1 и второй 2 токовые, третий 3 и четвертый 4 потен циальные зонды, подключенные к контролируемому полупроводниковому материалу 5, источник 6 тока, операционный усилитель 7, первый и второй буферные усилители 8 и 9, дифференциальный усилитель 10, вольтметр 11. а также первый и второй резисторы 12 и 13. Источник 6 тока соединен с зондом 1, зонд 2 соединен с выходом усилител 7. Неинвер- тирующий вход усилител 7 соединен с общей шиной, инвертирующий вход соединен с общей точкой резисторов 12 и 13. Зонды 3 и 4 соединены с входами усилителей 8 и 9 соответственно, выходы усилмте- лей 8 и 9 соединены с входами усилител 10 и входом резистора 12 и выходом резистора 13, выход усилител 10 соединен с вольтметром 11.
Устройство дл измерени удельного сопротивлени полупроводниковых материалов работает следующим образом.
Источник 6 тока формирует через токовые зонды 1 и 2 заданное значение тока. Операционный усилитель 7 за счет действи отрицательной обратной св зи по цепи: выход операционного усилител 7, второй токовый зонд 2, контролируемый объект 5, третий потенциальный зонд 3, первый буферный усилитель 8, первый резистор 12, инвертирующий вход операционного усилител 7, и по цепи: выход операционного усилител 7, второй токовый зонд 2. контролируемый объект 5, четвертый потенциальный зонд 4, второй буферный усилитель 9,
второй резистор 13, инвертирующий вход - операционного усилител 7 обеспечивает поддержание на своем инвертирующем входе нулевого напр жени . Благодар этому и
за счет равенства сопротивлений первого и второго резисторов на входах дифференциального усилител 10 формируютс равные по значению, но противоположные по знаку напр жени . Разность этих напр жений, выделаема дифференциальным усилителем 10, пропорциональна информативному напр жению между потенциальными зондами, а следовательно, и удельному сопротивлению, причем синфазна составл юща входного
напр жени дифференциального усилител 10 практически равна нулю.
В результате этого погрешность устройства , обусловленна синфазной составл ющей входного напр жени дифференциального
усилител 10, также равна нулю. Это позвол ет повысить точность измерени ,
Claims (1)
- Формула изобретени Устройство дл измерени удельного сопротивлени полупроводниковых материалов содержащее первый, второй токовые, третий и четвертый потенциальные зонды, которые имеют онтакт с исследуемым по- лупроводник зым материалом,источниктока , выход которого соединен с первым токовым зондом, а общий вывод - с общей шиной, первый и второй резисторы, соединенные последовательно, операционный усилитель, выход которого соединен с вторым токовым зондом, входы которого: неин- зер/ирующий соединен с общей шиной, а инвертирующий - с выходом первого резистора , первый и второй буферные усилители , входы которых соответственно соединеныс третьим и четвертым потенциальными зондами , дифференциальный усилитель, входы которого соединены с выходами первого и второго буферных усилителей, выход которого со- единен с вольтметром, отличающеестем, что, с целью повышени точности, вход первого резистора и выход второго резистора соответственно соединены с выходами первого и второго буферных усилителей.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU884491228A SU1628011A1 (ru) | 1988-10-10 | 1988-10-10 | Устройство дл измерени удельного сопротивлени полупроводниковых материалов |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU884491228A SU1628011A1 (ru) | 1988-10-10 | 1988-10-10 | Устройство дл измерени удельного сопротивлени полупроводниковых материалов |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1628011A1 true SU1628011A1 (ru) | 1991-02-15 |
Family
ID=21402963
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU884491228A SU1628011A1 (ru) | 1988-10-10 | 1988-10-10 | Устройство дл измерени удельного сопротивлени полупроводниковых материалов |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1628011A1 (ru) |
-
1988
- 1988-10-10 SU SU884491228A patent/SU1628011A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| За вка GB № 2156084, кл. G 01 R 27/08, 1984. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4060715A (en) | Linearized bridge circuitry | |
| US4528499A (en) | Modified bridge circuit for measurement purposes | |
| US3076933A (en) | Circuit for measuring the difference in the integrated amplitude of two sets of pulses | |
| US2659862A (en) | Apparatus for electrical measurement of thickness using current ratios | |
| US3577074A (en) | Bridge measuring circuit | |
| US3227953A (en) | Bridge apparatus for determining the input resistance and beta figure for an in-circuit transistor | |
| GB1263673A (en) | Improvements in or relating to resistance bridge circuits | |
| Samitier et al. | A current-mode interface circuit for a piezoresistive pressure sensor | |
| SU1628011A1 (ru) | Устройство дл измерени удельного сопротивлени полупроводниковых материалов | |
| US3350635A (en) | Solar cell and test circuit | |
| RU2071065C1 (ru) | Преобразователь механических величин в электрический сигнал | |
| KR850000359B1 (ko) | 호올(Hall)소자의 동상 전압제거 회로 | |
| US2959733A (en) | Hall effect magnetometer | |
| Walker | Applications of a dc constant-current source | |
| SU788037A1 (ru) | Инфранизкочастотный измеритель комплексных проводимостей | |
| US3495169A (en) | Modified kelvin bridge with yoke circuit resistance for residual resistance compensation | |
| SU437978A1 (ru) | Омметр | |
| SU394735A1 (ru) | УСТРОЙСТВО дл ИССЛЕДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ МАТЕРИАЛОВ | |
| SU808875A1 (ru) | Устройство дл измерени отношени РАзНОСТЕй ТЕМпЕРАТуР | |
| US2866159A (en) | Apparatus responsive to the product of voltage and current of electrical circuits | |
| SU712775A1 (ru) | Автоматический измеритель составл ющих комплексного сопротивлени | |
| SU1661588A1 (ru) | Устройство дл измерени разности температур | |
| SU1275479A1 (ru) | Масштабный преобразователь | |
| SU1170378A1 (ru) | Измеритель вольт-амперных характеристик двухполюсников | |
| SU430338A1 (ru) | Устройство для измерения электрическихпараметров полупроводниковыхматериалов |