SU1622690A1

SU1622690A1 - High-vacuum valve

Info

Publication number: SU1622690A1
Application number: SU874321333A
Authority: SU
Inventors: Виктор Владимирович Блинов; Николай Иванович Козлов; Александр Николаевич Тарантай; Олег Петрович Пчеляков
Original assignee: Институт Физики Полупроводников Со Ан Ссср; Предприятие П/Я А-3726
Priority date: 1987-10-26
Filing date: 1987-10-26
Publication date: 1991-01-23

Abstract

Изобретение позвол ет повысить надежность работы высоковакуумного клапана за счет увеличени срока службы сипьфона и уменьшить габариты за счет пр моугольной формы выполнени проходных отверстий в корпусе. В полости корпуса с горловиной. 10 и проходными соосными отверсти ми 8 размещен запорный элемент.The invention makes it possible to increase the reliability of operation of a high vacuum valve by increasing the service life of the pyphone and to reduce the dimensions due to the rectangular shape of the passage holes in the housing. In the cavity of the body with the neck. 10 and through-passable coaxial holes 8 a locking element is arranged.

Description

Изобретение относитс к области арма- туростроени , в частности к вакуумной технике , и предназначено дл обеспечени передачи пластинчатых изделий между герметичными камерами в вакуумных установ- ках молекул рно-лучевой эпитаксии.The invention relates to the field of armature construction, in particular, to vacuum technology, and is intended to ensure the transfer of plate products between sealed chambers in vacuum installations of molecular beam epitaxy.

Цель изобретени - повышение надежности работы клапана за счет увеличени срока службы сильфона, а также уменьшение габаритов клапана за счет пр моуголь- ной формы выполнени проходных отверстий в корпусе.The purpose of the invention is to increase the reliability of the valve by increasing the service life of the bellows, as well as reducing the size of the valve due to the straight shape of the bore holes in the housing.

На фиг. 1 изображен высоковакуумный клапан, общий вид, совмещенный с разрезом; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1.FIG. 1 shows a high-vacuum valve, a general view, combined with a slit; in fig. 2 shows section A-A in FIG. one.

Высоковакуумный клапан состоит из основных узлов: корпуса 1, ввода 2 качательного движени с запорным элементом, привода 3 поворота, средства 4 поджати . Корпус 1 состоит из фланца 5 с цилиндриче- ской полостью 6 дл запорного элемента, выполненного в виде пластины 7. Во фланце 5 выполнены пр моугольное проходное отверстие 8, соосное полости 6, с уплотнитель- ными выступами 9 с торца и подсоединительным элементом типа конф- лэт с другого торца дл герметичного подсоединени клапана к другим вакуумным элементам.The high-vacuum valve consists of the main components: housing 1, insertion 2 of oscillating motion with a locking element, rotation actuator 3, means 4 are pressed. The housing 1 consists of a flange 5 with a cylindrical cavity 6 for a locking element made in the form of a plate 7. In the flange 5 there is a rectangular bore 8, coaxially with cavity 6, with sealing lugs 9 at the end and a connecting element Let from the other end for hermetically connecting the valve to other vacuum elements.

Пр моугольное проходное отверстие выполнено в виде щели с соотношением сторон С/О - 0,05-0,25, где С - меньша сторона пр моугольного отверсти ; D - больша его сторона, Полость 6 фланца 5 соединена с горловиной 10 корпуса дл ус- тановки ввода 2 качательного движени с запорной пластиной 7, повтор ющей форму щелей, и патрубком 11 дл установки магни- торазр дного насоса 12. Фланец 5 шпильками 13 жестко соединен с фланцем 14, в котором выполнено проходное пр моугольное отверстие 15 с подсоединительными элементами типа конфлэт соосно отвер- тию 8 фланца 5. Между фланцами 5 и 14 установлен подвижный патрубок 16, соеди- ненный с ними гибкими элементами 17 и имеющий возможность осевого перемещени . На подвижном патрубке выполнено пр моугольное отверстие 18 соосно отверсти м во фланцах 5 и 14 и уплотнительный The rectangular through hole is made in the form of a slit with a C / O aspect ratio of 0.05-0.25, where C is the smaller side of the rectangular hole; D is a large side; Cavity 6 of the flange 5 is connected to the neck 10 of the housing to install an input 2 of oscillating motion with a locking plate 7 that follows the shape of the slots and a pipe 11 for installing the magnet discharging pump 12. The flange 5 is rigidly pins 13 by studs 13 connected to a flange 14, in which a through-going rectangular hole 15 is made with connecting elements of the type conflet coaxially with the opening 8 of the flange 5. Between the flanges 5 and 14 there is a movable nozzle 16 connected to them with flexible elements 17 and having the possibility of axial movement. A rectangular hole 18 coaxially with holes in flanges 5 and 14 and a sealing hole are made on the movable nozzle.

выступ 19. Поверхности уплотнительных выступов полированы.projection 19. The surfaces of the sealing projections are polished.

Ввод 2 качательного движени с запорной пластиной 7 состоит из патрубка 20, на который герметично присоединен сильфон 21, к другому торцу сильфона 21 закреплен герметично рычаг 22 с ос ми 23 поворота, установленными посредине сильфона. На торце рычага 22 в обойме 24 закреплена обращенна к горловине 10 меньшей стороной запорна пластина 7 с уплотнительны- ми выступами 25. Ось поворота рычага смещена на половину меньшей стороны пр моугольного отверсти корпуса (Е 1 /2С). Рычаг 22 св зан со штоком 26 привода 3 поворота пальцем 27. Шток 26 установлен в корпус 28 и соединен с сильфоном 29 дл подачи управл ющего газа через штуцер 30. С другой стороны штока 26 установлена возвратна пружина 31. Средство 4 поджати состоит из тонкостенного тора 32. установленного между фланцами 33 и 34. Фланец 33 закреплен на резьбе к корпусу 1. а фланец 34 жестко соединен шпильками 35 с патрубком 16 На шпильках 35 между фпанцем 33 и патрубком 16 установлены возвратные пружины 36 и регулировочные гайки 37. Дл подачи управл ющего газа тор 32 снабжен штуцером 38.Input 2 of swinging movement with a locking plate 7 consists of a nozzle 20, on which the bellows 21 is hermetically attached, to the other end of the bellows 21 a lever 22 is tightly fixed with pivot axes 23 installed in the middle of the bellows. At the end of the lever 22, a locking plate 7 with sealing protrusions 25 facing the neck 10 is fastened with the smaller side. The axis of rotation of the lever is shifted to half the smaller side of the rectangular opening of the housing (Е 1 / 2С). A lever 22 is connected to a rod 26 of a rotary actuator 3 by a finger 27. A rod 26 is installed in a housing 28 and connected to a bellows 29 for supplying control gas through a fitting 30. On the other side of the rod 26, a return spring 31 is installed. 32. installed between flanges 33 and 34. Flange 33 is threaded to housing 1. And flange 34 is rigidly connected by studs 35 to branch pipe 16 On studs 35, return springs 36 and adjusting nuts 37 are installed between pin 33 and branch pipe 16. gas torus 32 is supplied with pieces 38.

Клапан работает следующим образом, Дл закрывани клапана подают управл ющий газ в штуцер 30. Сильфон 29, расшир сь под действием давлени , перемещает шток 26, перемещение штока через палец 27 передаетс на рычаг 22, который , поворачива сь вокруг осей 23, устанавливает пластину 7 в исходное положение. При подаче управл ющего газа через штуцер 38 тор 32, расшир сь от давлени , через фланец 34, шпильки 35 перемещает патрубок 16. зажимающий запорную пластину 7. Полированные поверхности уплотнительных выступов 9 и 19, зажима полированные поверхности профилированных выступов 25 запорной пластины 7, создают герметичное соединение, образу замкнутую полость 6. Дл обеспечени надежности работы клапана магниторазр дный насос 12 откачивает полость 6. что позвол ет поддерживать в полости высокий вакуум и контролировать качество уплотнени при напуске атмосферы с одной стороны.The valve operates as follows. In order to close the valve, control gas is supplied to choke 30. Bellows 29, expanding under pressure, moves rod 26, the rod moves through pin 27 to lever 22, which, turning around axes 23, sets plate 7 to the starting position. When the control gas is supplied through the nozzle 38, the torus 32, expanding from pressure, through the flange 34, the stud 35 moves the nozzle 16. clamping the locking plate 7. The polished surfaces of the sealing projections 9 and 19, the clamps the polished surfaces of the profiled projections 25 of the locking plate 7, create tight connection, forming a closed cavity 6. To ensure the reliability of the valve operation, the magnet-discharge pump 12 pumps out the cavity 6. which allows maintaining a high vacuum in the cavity and controlling the quality of the seal when sk atmosphere on one side.

Дл открывани клапана снимают давление с тора 32. Под действием возвратных пружин 36 патрубок 16 отодвигаетс от корпуса 5, При сн тии давлени в сильфоне 29 под действием пружины 31 запорна пластина убираетс в полость 6.To open the valve, the pressure from the torus 32 is relieved. Under the action of the return springs 36, the nozzle 16 moves away from the housing 5. When the pressure in the bellows 29 is relieved by the action of the spring 31, the locking plate is removed into the cavity 6.

Claims

Invention Formula

High vacuum valve containing

housing with a throat and co-axial bore through holes and placed in a cavity

housing shut-off element, hermetically sealed

intercepting through holes with the help of pressing means and associated with a rotational drive through an input of swinging motion by a lever installed in the neck of the housing, characterized in that, in order to increase reliability and reduce overall dimensions, at least one of the through holes , and the locking element is made in the form of a plate that repeats the shape of the slit, and the lever is fixed to the smaller side of the plate, facing in the direction of the throat.

H

BUT .

-one

W 33, 56 37/7/6

77

0e--

1