SU1666941A1 - Способ препарировани образцов - Google Patents
Способ препарировани образцов Download PDFInfo
- Publication number
- SU1666941A1 SU1666941A1 SU894732513A SU4732513A SU1666941A1 SU 1666941 A1 SU1666941 A1 SU 1666941A1 SU 894732513 A SU894732513 A SU 894732513A SU 4732513 A SU4732513 A SU 4732513A SU 1666941 A1 SU1666941 A1 SU 1666941A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- samples
- sample
- preparation
- jet
- electrolytic
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 6
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims abstract description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000005554 pickling Methods 0.000 claims 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 5
- 238000004627 transmission electron microscopy Methods 0.000 abstract description 2
- 238000012827 research and development Methods 0.000 abstract 1
- 239000012190 activator Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- 244000025254 Cannabis sativa Species 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical class O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000635 electron micrograph Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000005464 sample preparation method Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к области научно-исследовательской де тельности и может быть использовано при приготовлении образцов дл просвечивающей электронной микроскопии их утонением посредством струйной электролитической или химической полировки. Целью изобретени вл етс повышение качества образца. Способ препарировани образцов включает утонение образцов путем электролитической или химической полировки их поверхности ламинарной струей трав щего раствора. Новым в предлагаемом способе вл етс то, что полировку производ т пульсирующей ламинарной струей. 2 ил.
Description
Изобретение относитс к научно-исследовательской де тельности и может быть использовано при приготовлении образцов дл просвечивающей электронной микроскопии путем их утонени посредством струйной электролитической или химической полировки.
Целью изобретени вл етс повышение качества образца.
На фиг. 1 изображено устройство струйного травлени , схема; на фиг. 2 - схема устройства струйного химического травлени стационарной ламинарной струей.
Устройство, реализующее предлагаемый способ препаривани образцов, содержит оптическую систему контрол толщины образца, состо щую из источника света 1, иллюминаторов 2 и фотодатчика 3, ванну 4, содержащую объектодержатель с образцом 5 и сопло 6. емкость дл трав щего раствора 7 и магистраль 8 дл его подачи к образцу, перегородку с отверстием в центре 9 и магнитный активатор 10.
Иллюминаторы 2 выполнены соосно с соплом 6, источником света 1 и фотодатчиком 3, причем сопло расположено на стенке ванны напротив образца и соединено с емкостью дл трав щего раствора через отверстие 11 в ее боковой стенке посредством магистрали 8, а активатор расположен на дне емкости дл трав щего раствора.
Устройство функционирует следующим образом.
Емкость 7 заполн ют трав щим раствором и посредством магнитной мешалки 12 привод т во вращение активатор 10, который , в свою очередь, вовлекает во вращение часть трав щего раствора, наход щегос под перегородкой 9, который под действием центробежной силы и волн от активатора
О
о о
2
выбрасываетс через отверстие 11 в магистраль 8 и через сопло 6 поступает к образцу в виде пульсирующей (с частотой вращени активатора) ламинарной струи. При электролитической полировке на образец при этом подают положительный относительно сопла потенциал. Контроль за толщиной образца осуществл ют по нарастанию светового потока от источника света 1 на фотодатчик 3 по мере утонени образца и по влени на нем просвечивающих участков и сквозных отверстий.
Пример. Качество поверхности образцов , полученных утонением пластин кремни марки КЭФ-2.0 толщиной 400 мкм путем химической полировки пульсирующей ламинарной струей химического тра- вител , представл ющего собой смесь плавиковой и азотной кислот в соотношении 1:3, оценивали визуально по электрон- ным микрофотографи м в сравнении с
микрофотографи ми аналогичных образцов , препарированных по прототипу на устройстве , изображенном на фиг. 2. Из микрофотографий видно, что образцы, препарированные по предлагаемому способу имеют более гладкую поверхность, чем образцы , препарированные по прототипу.
Использование предлагаемого способа препарировани образцов повышает достоверность электронно-микроскопических исследований за счет уменьшени количества артефактов, вызываемых препарированием .
Claims (1)
- Формула изобретени Способ препарировани образцов, включающий утонени образцов путем электролитической или химической полировки их поверхности ламинарной стр/ей трав щего раствора, отличающийс тем, что, с целью повышени качества образца , используют пульсирующую струю.Редактор К.КрупкинаСоставитель Л.Гор нковаТехред М.МоргенталКорректор И .МускаФиг. 2
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU894732513A SU1666941A1 (ru) | 1989-08-25 | 1989-08-25 | Способ препарировани образцов |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU894732513A SU1666941A1 (ru) | 1989-08-25 | 1989-08-25 | Способ препарировани образцов |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1666941A1 true SU1666941A1 (ru) | 1991-07-30 |
Family
ID=21467412
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU894732513A SU1666941A1 (ru) | 1989-08-25 | 1989-08-25 | Способ препарировани образцов |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1666941A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106400099A (zh) * | 2016-10-12 | 2017-02-15 | 福州大学 | 一种电子背散射衍射试样电解抛光装置 |
-
1989
- 1989-08-25 SU SU894732513A patent/SU1666941A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Авторское свидетельство СССР N 763763, кл. G 01 N 1/28 , 1980. Авторское свидетельство СССР Nfe 953493, кл G 01 N 1/28. 1982 Авторское свидетельство СССР Mr 754249, кл G С N 1/28, 1980. Хирш Л , Хови А., Киколсон Р., Пэшли Д., Уэлан М. Электронна микроскопи тонких кристаллов М.. Мир, 1968, с. 574. * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106400099A (zh) * | 2016-10-12 | 2017-02-15 | 福州大学 | 一种电子背散射衍射试样电解抛光装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Korotcenkov et al. | Silicon porosification: state of the art | |
| Dubelaar et al. | Design and first results of CytoBuoy: A wireless flow cytometer for in situ analysis of marine and fresh waters | |
| US6231814B1 (en) | Magnetic material attracting/releasing control method making use of a pipette device and various types of analyzer using the method | |
| CA2031515A1 (en) | Devices for Use in Chemical Test Procedures | |
| ES2086288T5 (es) | Productos limpiadores liquidos. | |
| FI915022A0 (fi) | Kyvett. | |
| DE10011555T1 (de) | Automatisches Diagnoseanalysegerät und Verfahren | |
| CA2106507A1 (en) | Specimen processor method and apparatus | |
| CA2124639A1 (en) | Pipette device constructed to prevent contamination by aerosols or overpipetting | |
| EP0928950A3 (en) | Method for detecting and examining slightly irregular surface states, and its use for fabricating liquid crystal display devices | |
| ATE74795T1 (de) | Vorrichtung zum mischen mindestens eines waessrigen stoffes. | |
| CN109580506A (zh) | 一种基于数字微流控技术的真菌检测系统及真菌检测方法 | |
| SU1666941A1 (ru) | Способ препарировани образцов | |
| US4436822A (en) | Reagent mixing system and method | |
| CN109827949A (zh) | 一种用于检测合成色素的sers基底及拉曼检测方法 | |
| CA2266472A1 (en) | Aliquoting method for automatic sample examination and measurement instrument | |
| ES2128401T3 (es) | Aparato automatico de dosificacion inmunologica. | |
| Gölander et al. | A new technique to prepare gradient surfaces using density gradient solutions | |
| ATE118886T1 (de) | Vorrichtung zur diskontinuierlichen, kolorimetrischen, chemischen on-line feld- oder prozessüberwachung von flüssigen proben. | |
| JPS55131770A (en) | Automatic instillating apparatus | |
| JPS63262568A (ja) | 洗浄装置 | |
| JPS5654357A (en) | Dispensing method | |
| SU866043A1 (ru) | Способ очистки поверхности воды от нефт ных п тен | |
| Carpenter | Improving epifluorescent monitoring methods in estimating numbers of bacteria in ultrapure water. | |
| ATE76289T1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur herstellung waessriger kolloide. |