SU1532810A1

SU1532810A1 - Method of determining surface roughness

Info

Publication number: SU1532810A1
Application number: SU874270670A
Authority: SU
Inventors: Валерий Дмитриевич Шульц; Игорь Николаевич Алексушин
Original assignee: Челябинский Электрометаллургический Комбинат
Priority date: 1987-05-27
Filing date: 1987-05-27
Publication date: 1989-12-30

Abstract

Изобретение относитс к измерительной технике, в частности к методам контрол качества поверхности с использованием ионизирующего излучени . Целью изобретени вл етс повышение точности измерени шероховатости различающихс по химическому составу образцов путем регистрации отношени пространственно измененных параметров характеристического излучени поверхности. Флуоресцентное характеристическое излучение одного из элементов, вход щих в состав образца, отбирают под углом и его интенсивность измер ют устройством выделени и измерени интенсивности вторичного характеристического излучени . После изменени углов падени и регистрации измер ют интенсивность излучени . 1 ил.The invention relates to a measurement technique, in particular to methods for monitoring surface quality using ionizing radiation. The aim of the invention is to improve the accuracy of measuring the roughness of samples differing in chemical composition by recording the ratio of spatially altered parameters of the characteristic radiation of the surface. The fluorescent characteristic radiation of one of the elements included in the sample is taken at an angle and its intensity is measured by a device for isolating and measuring the intensity of the secondary characteristic radiation. After changing the angles of incidence and recording, the radiation intensity is measured. 1 il.

Description

Изобретение относитс к измерительной технике, в частности к методам контрол качества поверхности с использованием ионизирующего излучени .The invention relates to a measurement technique, in particular to methods for monitoring surface quality using ionizing radiation.

Целью изобретени вл етс повышение точности измерени шероховатости различающихс по химическому составу образцов путем регистрации отношени пространственно измененных параметров характеристического излучени от одного из элементов состава поверхности .The aim of the invention is to improve the accuracy of measuring the roughness of samples differing in chemical composition by detecting the ratio of spatially altered parameters of the characteristic radiation from one of the elements of the surface composition.

На чертеже изображена схема устройства , реализующа предлагаемый способ измерени шероховатости поверхности.The drawing shows a diagram of the device that implements the proposed method for measuring surface roughness.

Устройство содержит источник 1 гамма- или рентгеновского излучени . Исследуемый образец обозначен позицией 2, а устройство выделени и измерени интенсивности вторичного характеристического излучени - позицией 3. На чертеже изображены углы 0, и f падени первичного излучени и углы V, и Фг отбора вторичного излучени при первом и втором измерени х соответственно .The device contains a source of 1 gamma or x-ray radiation. The sample under study is designated 2, and the device for isolating and measuring the intensity of the secondary characteristic radiation is position 3. The drawing shows the angles 0 and f of the incidence of the primary radiation and the angles V and Fg of the selection of the secondary radiation during the first and second measurements, respectively.

В качестве устройства 3 можно использовать , например, кристальмонохро- матор пропорциональный, сцинтилл ци- онный или полупроводниковый счетчик с последующим выделением характеристического излучени пороговыми устройствами и т.п.As device 3, you can use, for example, a proportional crystal crystal, a scintillator or a semiconductor counter, followed by the release of characteristic radiation by threshold devices, etc.

Способ осуществл етс следующим образом .The method is carried out as follows.

Первичное излучение от радиоактивного источника 1 или рентгеновской трубки направл ют под углом У, на поверхность исследуемого образца 2.Primary radiation from a radioactive source 1 or x-ray tube is directed at an angle Y, to the surface of the sample 2.

СПSP

соwith

N9N9

0000

Флуоресцентное характеристическое излучение одного из элементов, вход щих в состав образца, отбирают под углом V. и его интенсивность измер ют устройством 3. Затем измен ют углы Ч1, и относительно условного центра на поверхности и измер ют интенсивность характеристического излучени при новых значени х углов fa и и сравнивают их отношение с градуировоч- ной характеристикой, построенной дл образцов известной шероховатости.The fluorescent characteristic radiation of one of the elements included in the sample is taken at an angle V. and its intensity is measured by device 3. Then the angles Ч1 are changed, and relative to the conditional center on the surface, the intensity of characteristic radiation is measured at new values of the angles fa and compare their ratio with a calibration characteristic constructed for samples of known roughness.

С целью повышени экспрессности измерени отбор характеристического излучени можно производить одновременно двум устройствами 3 выделени и регистрации при различных углах отбора V, и t , угол Ч не мен етс .In order to increase the expressiveness of the measurement, the selection of the characteristic radiation can be performed simultaneously by two devices 3 for detecting and registering at different sampling angles V, and t, the angle H does not vary.

При этом изменение углов и V производ т в одном и том же направлении по отношению к контролируемой поверхности и не об зательно на одну и ту же величину.The change in the angles and V is produced in the same direction with respect to the test surface and not necessarily by the same value.

Дл получени максимальной чувствительности измен ют углы Ч и ф одновременно и устанавливают в одном случае максимально, в другом минимально конструктивно возможные. Энергию первич- ного излучени выбирают исход из достаточности возбуждени флуоресцирующего элемента.In order to obtain maximum sensitivity, the angles Φ and Φ are changed simultaneously and are set in one case as much as possible, in the other as minimally possible as possible. The energy of the primary radiation is chosen on the basis of the sufficiency of the excitation of the fluorescent element.

Предлагаемый способ позвол ет pa-v ботать по единой градуировочной харак теристике дл образцов с резко различ ЛThe proposed method allows pa-v to be processed according to a single calibration characteristic for samples with sharply different L

vv

5five

00

5five

0 0

5 ным химическим составом и увеличить чувствительность более чем в 4 раза, т.е. соответственно улучшить точность определени шероховатости поверхности.5 chemical composition and increase the sensitivity more than 4 times, i.e. accordingly, improve the accuracy of surface roughness determination.

Claims

Invention Formula

The method of determining the surface roughness, which consists in irradiating the surface to be tested with a beam of primary ionizing radiation with specified parameters, records the intensity of the secondary characteristic radiation of one of the elements included in the surface, changes one of the beam parameters, re-irradiates the surface of the primary beam, register the intensity of the secondary characteristic radiation of the same element, which is part of the surface, and with respect to The measured intensities determine the amount of roughness, characterized in that, in order to improve the accuracy of measuring the roughness of samples differing in chemical composition, the angle of incidence of the beam of primary radiation is used as a variable beam parameter, and the angle at which the primary radiation is recorded change in the same direction with respect to the test surface as the angle of incidence of the beam of primary radiation.

/ -

BUT/