SU1590145A1 - Apparatus for ultrasonic machining of microwire - Google Patents
Apparatus for ultrasonic machining of microwire Download PDFInfo
- Publication number
- SU1590145A1 SU1590145A1 SU874352020A SU4352020A SU1590145A1 SU 1590145 A1 SU1590145 A1 SU 1590145A1 SU 874352020 A SU874352020 A SU 874352020A SU 4352020 A SU4352020 A SU 4352020A SU 1590145 A1 SU1590145 A1 SU 1590145A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- tube
- microwire
- holes
- waveguide
- liquid
- Prior art date
Links
- 238000003754 machining Methods 0.000 title 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 abstract description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000003534 oscillatory effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
Изобретение может быть использовано в микроэлектронике и направлено на расширение его функциональных возможностей за счет обеспечени очистки микропроволоки 6 в жидкой среде 2. Дл этого в устройстве, включающем ультразвуковой преобразователь 4 с волноводом 3 и инструментом, выполненным в виде цилиндроконической трубки 5, в коническом участке инструмента выполн ют сквозные отверсти , которые обеспечивают интенсивные жидкостные потоки внутри трубки как за счет акустических течений, так и за счет турбулизации жидкости, например, лопастным винтом 8. 1 з.п. ф-лы, 4 ил.The invention can be used in microelectronics and is aimed at expanding its functionality by providing cleaning of microwire 6 in liquid medium 2. For this purpose, in a device including an ultrasonic transducer 4 with a waveguide 3 and a tool made in the form of a cylindrical tube 5, in the conical section of the instrument through holes are made that provide intense liquid flows inside the tube due to both acoustic flows and liquid turbulization, for example, a blade m ZP screw 8. 1 f-ly, 4 ill.
Description
Фиг.1 1
Изобретение может быть применено в микроэлектронике- дл обработки микропроволоки .The invention can be applied in microelectronics for processing microwires.
Целью изобретени вл етс расши- рение функциональных возможностей устройства за счет обеспечени очистки микропроволоки в жидкой среде.The aim of the invention is to expand the functionality of the device by ensuring the cleaning of the microwire in a liquid medium.
На фиг.1 приведено устройство при его работе дл очистки микропроволоки с сохранением функции ее калибровки, общий вид; на фиг.2-4 - присадки расположени отверстий на коническом участке инструмента.Figure 1 shows the device when it is working to clean the microwire while maintaining the function of its calibration, general view; Figures 2 to 4 show the additive positions of the holes in the conical portion of the tool.
Устройство содержит ванну 1 дл рабочей жидкости 2, в которую опуш,ен волновод 3 ультразвукового преобразовател 4. К волноводу 3 присоедине инструмент, выполненный в ви,е цилин дроконической трубки 5, -внутр енн полость которой предназначена, дл обработки микропроволоки 6, подаваемой с помощью роликов 7 . В Ве ННу 1The device contains a bath 1 for the working fluid 2, in which the edge of the waveguide 3 of the ultrasonic transducer 4. To the waveguide 3 attach the instrument, made in the shape of a cylindrical tube 5, - the inner cavity of which is intended to process the microwire 6 supplied with using rollers 7. In be nnu 1
помещен лопастньш винт 8, который обеспечивает устранение загр знений из области очистки. Трубка 5 снабжена р дом радиальных отверстий 9.The blade screw 8 is placed, which ensures the elimination of contaminants from the cleaning area. The tube 5 is provided with a series of radial holes 9.
Устройство работает следующим образом.The device works as follows.
Микропроволока 6 подаетс посредством роликов 7 в .полость цилинд- роконической трубки 5, наход щейс в ванне 1с рабочей жидкостью 2;. Посредством ультр азвукового преобразовател 4 создаютс ультразвуковые колебани , передающиес через волновод 3 на трубку 5. Вследствие этого микрпроволока 6 вовлекаетс в колебательный процесс, что позвол ет в .трубке 5 концентрировать каёитационные про- цессы, интенсифицирующие очистку, чтThe microwire 6 is fed by the rollers 7 into the cavity of the cylindro-conical tube 5 contained in the bath 1c with the working fluid 2 ;. Ultrasonic transducer 4 is created by ultrasonic vibrations transmitted through waveguide 3 to tube 5. As a result, microwire 6 is involved in an oscillatory process, which allows concentrating cleaning processes to intensify in tube 5
5five
Q Q
д d
00
5five
30thirty
3535
одновременно с колебани ми микропро- волоцси 6 относительно стенок трубки 5 обеспечивает проведение ее калибровки путем сглаживани выступов на поверхности микропроволоки 6. Наличие в трубке 5 радиальных отверстий 9 обеспечивает увеличение доступа рабочей жидкости 2 в зону очистки с помощью лопастного винта 8.at the same time with the oscillations of microvoltage 6 relative to the walls of the tube 5, it is calibrated by smoothing the protrusions on the surface of the microwire 6. The presence in the tube 5 of the radial holes 9 provides an increase in the access of the working fluid 2 to the cleaning zone using the propeller screw 8.
В трубке 5 цилиндрический участок чистовой обработки выбирают диаметром ,2-1,7 диаметра микропроволоки 6. Трубка 5 изготавливаетс из материала твердостью 88,5-91 HRA.In tube 5, the cylindrical finishing section is chosen with a diameter of 2-1.7 microwire 6 diameters. Tube 5 is made of a material with a hardness of 88.5-91 HRA.
Выполнение -участка трубки 5 в виде конуса обеспечивает удобство в загрузке микропроволоки 6 в трубку 5.The execution of the section of the tube 5 in the form of a cone provides ease of loading the microwire 6 into the tube 5.
Формула и 3 о б р е. т е и и Formula and 3 about b e. T e and and
1.Устройство дл ультразвуковой обработки микропроволоки, включающее ультразвуковой преобразователь с волноводом и инструментом, выполенным1. A device for ultrasonic processing of microwires, including an ultrasonic transducer with a waveguide and a tool made
в виде цилиндроконической трубки с конической частью в виде конфуэора из материала твердостью 88-91 HRA, отличающеес тем, что, с целью расширени функциональных возможностей устройства путем обеспечени очистки микропроволоки в жидкой, среде, конический участок инструмента имеет сквозные отверсти , смещенные относительно друг друга в диаметральной плоскости трубки.in the form of a cylindrical tube with a conical part in the form of a confueor of material with a hardness of 88-91 HRA, characterized in that, in order to expand the functional capabilities of the device by ensuring the cleaning of the microwire in a liquid medium, the conical section of the tool has through holes that are offset relative to each other in diametral plane of the tube.
2.Устройство по П.1, отличающеес тем, что отверсти смещены относительно друг друга по образующей трубки.2. A device according to Claim 1, characterized in that the apertures are offset relative to each other along the generator tube.
Фие.З ЛНе MSffse oi Phie.Z LNe MSffse oi
Фив.2 h не Ю1Thebes.2 h not U1
ФтЛFtl
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU874352020A SU1590145A1 (en) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | Apparatus for ultrasonic machining of microwire |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU874352020A SU1590145A1 (en) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | Apparatus for ultrasonic machining of microwire |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1590145A1 true SU1590145A1 (en) | 1990-09-07 |
Family
ID=21345716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU874352020A SU1590145A1 (en) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | Apparatus for ultrasonic machining of microwire |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1590145A1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103732332A (en) * | 2011-08-18 | 2014-04-16 | Memc电子材料有限公司 | Method and system for removing contamination from a sawing wire |
-
1987
- 1987-12-28 SU SU874352020A patent/SU1590145A1/en active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Грачев А.А., Кожевников А.П. и др. Ультразвукова микросварка.- М. : Энерги , 1977, с.78-91. (Б-ка технолога радиоэлектронной аппаратуры . Вып.11). * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103732332A (en) * | 2011-08-18 | 2014-04-16 | Memc电子材料有限公司 | Method and system for removing contamination from a sawing wire |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4504264A (en) | Apparatus for and method of removal of material using ultrasonic vibraton | |
| US2580716A (en) | Method and means for removing material from a solid body | |
| DE3873765D1 (en) | MACHINE TOOL FOR ULTRASONIC GRINDING. | |
| US4278101A (en) | Apparatus for cleaning endoscope | |
| US20020152851A1 (en) | Elliptical vibration cutting method and elliptical vibration cutting apparatus | |
| SU1590145A1 (en) | Apparatus for ultrasonic machining of microwire | |
| RU2053029C1 (en) | Generator of hydrodynamic oscillations | |
| JPH07502459A (en) | Ultrasonic excited honing tool and its readjustment method | |
| CA2270455A1 (en) | A method of and a device for acoustically monitoring the course of a process, such as a milking process | |
| ES2321476T3 (en) | VIBRATION TOOL OF LARGE DIMENSIONS, ESPECIALLY FOR WELDING APPLICATIONS. | |
| JP4190682B2 (en) | Ultrasonic processing equipment | |
| US3499350A (en) | Boring bar with means to reduce vibrations | |
| GB1470053A (en) | Vibratory forming of materials | |
| JP2562513B2 (en) | Gun drill | |
| RU2203782C1 (en) | Method for working openings by means of axial tool at applying ultrasonic oscillations | |
| JPH07301613A (en) | Automatic polyelectrolyte measuring device | |
| SU1424914A1 (en) | Spinning head for rotary extrusion | |
| SU657868A1 (en) | Bending oscillation irradiator | |
| SU1184617A1 (en) | Apparatus for ultrasound drilling of materials | |
| SU863046A1 (en) | Apparatus for drawing tubes | |
| SU844139A1 (en) | Chuck for vibration working of parts | |
| RU2203781C1 (en) | Method for working openings by means of axial tool at applying ultrasonic oscillations | |
| JP2000199519A (en) | Washing method of dynamic pressure bearing | |
| SU874229A1 (en) | Device for ultrasonic working of parts | |
| RU2000859C1 (en) | Method for ultrasonic cleaning of holes |