[go: up one dir, main page]

SU1466260A1 - Устройство для обработки подложек в вакууме - Google Patents

Устройство для обработки подложек в вакууме

Info

Publication number
SU1466260A1
SU1466260A1 SU4106775/21A SU4106775A SU1466260A1 SU 1466260 A1 SU1466260 A1 SU 1466260A1 SU 4106775/21 A SU4106775/21 A SU 4106775/21A SU 4106775 A SU4106775 A SU 4106775A SU 1466260 A1 SU1466260 A1 SU 1466260A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
discharge
cathode
anode
source
substrate
Prior art date
Application number
SU4106775/21A
Other languages
English (en)
Inventor
Л.П. Саблев
А.А. Андреев
С.Н. Григорьев
В.Н. Луценко
А.Г. Попов
Р.И. Ступак
Original Assignee
Л.П. Саблев
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Л.П. Саблев filed Critical Л.П. Саблев
Priority to SU4106775/21A priority Critical patent/SU1466260A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1466260A1 publication Critical patent/SU1466260A1/ru

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Изобретение относится к технике упрочнения режущего инструмента и деталей машин методом вакуумно-плазменной технологии. Цель изобретения - упрощение конструкции. В вакуумной камере 1 размещен изолированный подложкодержатель 2 для подложек 3. Экран 6 служит для формирования границы металлической плазмы между катодом электродугового испарителя и анодом 4. Источник (И) 7 постоянного тока отрицательного полюсом соединен с катодом соединен с катодом 5, а положительным с общим выводом двухпозиционного переключателя 8, два позиционных вывода которого подключены к подложкодержателю 2 и аноду 4 соответственно. Управление переключателем 8 производится с помощью регулятора 9 температуры. Благодаря наличию границы металлической плазмы, являющейся плазменным катодом не самостоятельного газового разряда, возможно применение одного И 7. В этом случае две разнородные в физическом отношении области дугового разряда в парах металла катода 5 и не самостоятельного газового разряда включены в цепь И 7 последовательно. Использование устройства позволяет провести быстрый нагрев подложки 3, когда анодом разряда является подложка 3. Кроме того, возможно проведение процесса химикотермической обработки в необходимом температурном интервале при максимально активной газовой среде (ток разряда в процессе поддержания температуры на необходимом уровне остается постоянным). 2 ил.
SU4106775/21A 1986-08-04 1986-08-04 Устройство для обработки подложек в вакууме SU1466260A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4106775/21A SU1466260A1 (ru) 1986-08-04 1986-08-04 Устройство для обработки подложек в вакууме

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4106775/21A SU1466260A1 (ru) 1986-08-04 1986-08-04 Устройство для обработки подложек в вакууме

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1466260A1 true SU1466260A1 (ru) 1996-01-10

Family

ID=60534538

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU4106775/21A SU1466260A1 (ru) 1986-08-04 1986-08-04 Устройство для обработки подложек в вакууме

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1466260A1 (ru)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2208064C1 (ru) * 2001-11-19 2003-07-10 Уфимский государственный авиационный технический университет Способ электронно-ионного азотирования крупногабаритных изделий в низкотемпературной газоразрядной плазме и устройство для его осуществления
RU2453628C1 (ru) * 2011-01-12 2012-06-20 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Кубанский государственный технологический университет" (ГОУ ВПО "КубГТУ") Устройство для нанесения покрытий на диэлектрики в разряде
RU2599950C1 (ru) * 2015-06-02 2016-10-20 Владимир Николаевич Климов Способ ионно-плазменного азотирования деталей из инструментальных сталей

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2208064C1 (ru) * 2001-11-19 2003-07-10 Уфимский государственный авиационный технический университет Способ электронно-ионного азотирования крупногабаритных изделий в низкотемпературной газоразрядной плазме и устройство для его осуществления
RU2453628C1 (ru) * 2011-01-12 2012-06-20 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Кубанский государственный технологический университет" (ГОУ ВПО "КубГТУ") Устройство для нанесения покрытий на диэлектрики в разряде
RU2599950C1 (ru) * 2015-06-02 2016-10-20 Владимир Николаевич Климов Способ ионно-плазменного азотирования деталей из инструментальных сталей

Similar Documents

Publication Publication Date Title
BR0012892A (pt) Processos para limpar e para revestir uma superfìcie eletricamente condutora, conjunto de anodo, e, aparelho para limpar e/ou revestir uma superfìcie eletricamente condutora
AU6708296A (en) An electrolytic process for cleaning electrically conducting surfaces
DK304386D0 (da) Fremgangsmaade og apparat til udfaeldning
GB1446500A (en) Corona discharge method of depleting alkali metal ions from a glass surface region
FR2464309B1 (fr) Procede de realisation de revetements couleur or
BR8807357A (pt) Aparelho de eletrodos
AU5920190A (en) Electrolytic cell for electrolytic processes in which gas is evolved
SU1466260A1 (ru) Устройство для обработки подложек в вакууме
DE69528935D1 (de) Verfahren zum Plasma-Schmelzen und Plasmaschmelzofen
JPS5241103A (en) Equipment for electrolysis of metal suspension
CA2048470A1 (en) Plasma processing apparatus having an electrode enclosing the space between cathode and anode
SE8401750D0 (sv) Schaltanordnung fur direktes wermen einer ionenschmelze, vor allem von glas durch durchgang eines elektrischen wechselstromes einer niedrigeren frequenz als 50 hz
JPS6442574A (en) Arc power source device for vacuum arc discharge type pvd device
WO1999010563A3 (de) Verfahren und vorrichtung zum energiesparenden gleichzeitigen elektrolytischen behandeln von mehreren werkstücken
FR2403645A2 (fr) Four pour le traitement thermochimique, en continu, de pieces metalliques, par bombardement ionique
WO2002090624A3 (en) A process and apparatus for cleaning and/or coating metal surfaces
JPS5533719A (en) Electron gun
JPS57102027A (en) Processing of amorphous thin film
JPS57196520A (en) Rinsing method for epitaxial growing apparatus
FR2385290A1 (fr) Four pour traitement thermo-ionique a multicathodes
PL160761B2 (pl) Urzadzenie do jonowej cieplno-chemicznej obróbki zwlaszcza wyrobów ze stopów zelaza PL
JPS5521846A (en) Hollow cathode ion source
JPS5521525A (en) Treating method for surface of brazer aluminum product
JPS57126999A (en) Electrolytic treatment of strip like metal plate
JPS5538946A (en) Sputtering apparatus