SU1337646A1

SU1337646A1 - Method of measuring surface roughness

Info

Publication number: SU1337646A1
Application number: SU864014337A
Authority: SU
Inventors: Рейн Антсович Лаанеотс
Original assignee: Таллинский Политехнический Институт
Priority date: 1986-01-23
Filing date: 1986-01-23
Publication date: 1987-09-15

Abstract

Изобретение касаетс технических измерений отклонени от плоскости и может быть применено также дл проверки образцовых мер толщины покрытий . Целью вл етс повьшение точности измерений за счет измерени от 6 7 / / J / 8 // / , / . / X ,,,i}.2. // . i 2 1 Фиг Л 4 единой базы и соблюдени компаратор- ного принципа дл измерени неровностей поверхности. На основании 1 устанавливают элемент 2 с контролируемой поверхностью 3 и элемент 4 с предварительно аттестованной поверхностью 5, причем размеры аттестованной поверхности 5 выбирают равными или большими размеров контролируемой поверхности 3, а сами поверхности выставл ют компланарно. После выставки поверхностей устанавливают измерительное устройство 6 так, чтобы его измерительный наконечник 7 касалс поверхности 3, а опорный наконечник 8 - аттестованной поверхности 5, и, перемеща измерительное устройство 6 по заданной траектории, измер ют неровности поверхности.3. 2 ил. | (Л J / 8 , / . / X .2. со с: О5 Фиг Л 4The invention relates to technical measurements of deviation from the plane and can also be applied to verify exemplary measures of coating thickness. The goal is to increase the measurement accuracy by measuring from 6 7 / / J / 8 // /, /. / X ,,, i} .2. //. i 2 1 Fig L 4 a single base and compliance with the comparator principle for measuring surface irregularities. Based on 1, an element 2 with a controlled surface 3 and an element 4 with a pre-certified surface 5 are installed, the dimensions of the certified surface 5 are chosen to be equal to or larger than the surface 3 being monitored, and the surfaces themselves are set to be coplanar. After the surfaces are exposed, the measuring device 6 is installed so that its measuring tip 7 contacts the surface 3, and the support tip 8 - to the certified surface 5, and by moving the measuring device 6 along a predetermined trajectory, the surface irregularities are measured. 2 Il. | (L J / 8, /. / X .2. S with s: O5 Fig L 4

Description

Изобретение относитс к техническим измерени м, а именно дл измерени отклонени от плоскости. Способ может быть использован также и дл поверки образцовых мер толщины покрытий .The invention relates to technical measurements, namely, to measure the deviation from the plane. The method can also be used for calibration of standard measures of coating thickness.

Целью вл етс повышение точности измерений, что обеспечиваетс измерением от одной базы и соблюдением компараторного принципа (принципа Аббе).The goal is to improve the accuracy of measurements, which is provided by measuring from one base and observing the comparator principle (the Abbe principle).

На фиг.1 показана схема измерени по предложенному способу; на фиг.2 - злементы с контролируемой и аттестованной поверхностью с траекторией перемещени измерительного и опорного наконечников, вид сверху.Figure 1 shows a measurement scheme for the proposed method; 2, elements with a controlled and certified surface with a trajectory of movement of the measuring and reference tips, top view.

Способ измерени неровности поверхности заключаетс в следующем.A method for measuring surface irregularities is as follows.

На основании 1 устанавливают элемент 2, поверхность 3 которого необходимо контролировать. Таким злемен- том может быть и образцова мера толщины покрыти . Р дом с элементом 3 устанавливают элемент 4 с аттестованной поверхностью 5. Поверхность 5 выставл ют компланарно контролируемой поверхности 3. Далее устанавливают измерительное устройство 6 таким образом, чтобы измерительный наконечник 7 касалс контролируемой поверхности 3, а опорный наконечник 8 - аттестованной поверхности 5, иOn the basis of 1 set element 2, the surface of which 3 must be controlled. A sample measure of the thickness of the coating can also be such an element. Next to the element 3, an element 4 is installed with a certified surface 5. Surface 5 is exposed to a coplanarly controlled surface 3. Next, a measuring device 6 is installed so that measuring tip 7 touches the controlled surface 3, and support tip 8 is certified surface 5, and

Редактор Н.ГорватEditor N.Gorvat

Составитель Н.БочаровCompiled by N. Bocharov

Техред М.Ходанич Корректор Л.БескидTehred M. Khodanich Proofreader L. Bezkid

Заказ 4117/35Тираж 676ПодписноеOrder 4117/35 Circulation 676 Subscription

ВНИИПИ Государственного комитета СССРVNIIPI USSR State Committee

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска наб., д. 4/3for inventions and discoveries 113035, Moscow, Zh-35, Raushsk nab. 4/3

Производственно-полиграфическое предпри тие, г. Ужгород, ул. Проектна , 4Production and printing company, Uzhgorod, st. Project, 4

провод т измерени отклонени поверхности 3 относительно аттестованной поверхности 5. Траекторию 9 перемещени наконечников 7 и 8 измерительного устройства 6 выбирают такой, чтобы получить полную информацию о необходимом количестве точек контролируемой поверхности 3. Размеры аттестованной поверхности 5 выбирают равными (или большими) размерам контролируемой поверхности 3, чтобы в процессе измерени не пришлось проводить перестановку дополнительного злемента 4, что приведет к снижению точности .measures the deviation of the surface 3 relative to the certified surface 5. The trajectory 9 of the movement of the tips 7 and 8 of the measuring device 6 is chosen so as to obtain complete information about the required number of points of the test surface 3. The dimensions of the certified surface 5 are chosen equal (or large) to the size of the test surface 3 so that in the measurement process there is no need to rearrange the additional element 4, which will lead to a decrease in accuracy.

Claims

Invention Formula

The method of measuring surface irregularities, which consists in the fact that on the basis of an element with a controlled surface and an additional element with certified

surface, expose these surfaces relative to each other and measure the deviations of the test surface from the certified one, characterized in that, in order to improve the measurement accuracy, the dimensions of the certified surface are chosen equal or large in size of the test surface and expose it to the coplanar test surface.

I