SU1224773A1 - Конденсор - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к оптике и позвол ет повысить равномерность освещенности за счет коррекции комы с одновременным повышением технологичности устройства. Конденсор содержит последовательно расположенные-по ходу луча плоскопараллельную пластинку 1, два апланатических мениска 2 и 3, вогнутостью обращенных к предмету , и плосковыпуклую линзу 4, выпуклостью обращенную к изображению. Фокусное рассто ние линзы 4 св зано, с фокусным рассто нием конденсора и показателем преломлени  аппанатических менисков 2 и 3 определенной зависимостью , а показатель преломлени  оптической среды линзы 4 составл ет 1,60-1,65, что обеспечивает оптимальную коррекцию сферической аберрации. 1 ил. с S (Л с / Ж

Description

« 1

Изобретение относитс  к оптике, а именно к конденсорам, и может найти применение в микроскопии.

Целью изобретени   вл етс  повьше- .ние равномерности освещенности за счет коррекции комы с одновременным повьшением технологичности.

Конденсор должен создава 1 ь хорошее качество изображени  источника излучени , обычно расположенного вблизи оптической оси, что требует исправлени  сферической аберрации и услови  синусов. Эти требовани  должны соблюдатьс  тем строже, чем больше угол охвата конденсора, т.е. его апертурный угол.

Обычно в качестве конденсора используютс  оптические системы, состо щие из двух, трех, четырех линз, рассчитанных на минимум сферической аберрации 3-го пор дка. Число линз Б конденсоре определ етс  числовой апертурой и увелич ением. Однако проведенные исследовани  показали, что в таких системах одновременно нельз  обеспечить удовлетворительную коррекцию сферической аберрации и строгое выполнение услови  синусов, Уже при числовой апертуре А 0,5 отступление от изопланазии составл ет несколько процентов, вследствие чего по вл етс  больша  остаточна  кома, котора  ухудшает качество изображени .

На чертеже изображена предлагаема  оптическа  схема конденсора.

Конденсор состоит из последовательно расположенных по ходу луча плоскопараллельной пластинки t, двух аплапатических менисков 2 и 3 и гшос- ковыпуклой линзы 4, выпуклой поверхностью обращенной к изображению с фокусным рассто нием

I г f

4 ПА.М к

где Пд - показатель преломлени  апланатических менисков; fi - фокусное рассто ние конденсора ,

из оптической среды с показателем преломлени  п. 1,60-1,65.

. Принципиальное отличие предлагаемого конденсора от известных систем Заключаетс  в том, что он построен На основе компенсации аберраций, в том числе и высших пор дков отдельных элементов, а не путем расчета fra минимум сферической аберрации Зто пор дка.

10

2247732

Форма четвертого компонента и его ориентаци , а также значени  показател  преломлени  оптической среды, из которой он выполнен, получены на основе исследовани  свойств бесконечно тонких компонентов их основных параметров , определ ющих сферическую аберрацию и кому системы, а также на основе экспериментальных исследований . Оптимальна  коррекци  сферической аберрации при строгом соблюдении услови  синусов обеспечиваетс  в системе конденсора, если его последний компонет выполнен в виде плосковыпуклой линзы, выпуклостью обращенной к изображению из оптической среды с показателем преломлени  ,60 - 1,65, а фокусное рассто ние которого св зано с фокусным рассто нием всего конденсора и показателем переломлени  апланатических менисков следующей зависимостью:

20

- L-fi25

30

35

По сравнению с прототипом в предложенном конденсоре улучшено качество изображени  за счет более строгого выполнени  услови  синусов. Так при апертуре А 0,6 у прототипа отступление от услови  неизопланазии составл ет 1%, у нового - 0,33% при одинаковой коррекции сферической аберрации. Улучшена также технологичность конструкции.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   40

   45

   Конденсор, содержащий четыре компонента , первый из которьп: - плоскопараллельна  пластинка, второй и третий - апланатические мениски, вогнутостью обращенные к предмету, отличающийс  тем, что, с целью повьш1ени  равномерности освещенности за счет коррекции комы с одновременным повьш1ением технологичности , четвертый компонент выполнен в виде плосковыпуклой линзы, выпуклой поверхностью обращенной к изобра- жению с фокусным рассто нием

   ,. г / Ч A.M IIC где П| - показатель преломлени 

   аппанатических менисков; f - фокусное рассто ние конденсора ,

   из оптической среды с показателем преломпени  п 1,60-1,65.

   - L-fi

   По сравнению с прототипом в предложенном конденсоре улучшено качество изображени  за счет более строгого выполнени  услови  синусов. Так при апертуре А 0,6 у прототипа отступление от услови  неизопланазии составл ет 1%, у нового - 0,33% при одинаковой коррекции сферической аберрации. Улучшена также технологичность конструкции.

   ормула изобретени 

   40

   45

   Конденсор, содержащий четыре компонента , первый из которьп: - плоскопараллельна  пластинка, второй и третий - апланатические мениски, вогнутостью обращенные к предмету, отличающийс  тем, что, с целью повьш1ени  равномерности освещенности за счет коррекции комы с одновременным повьш1ением технологичности , четвертый компонент выполнен в виде плосковыпуклой линзы, выпуклой поверхностью обращенной к изобра жению с фокусным рассто нием

   ,. г / Ч A.M IIC где П| - показатель преломлени 

   аппанатических менисков; f - фокусное рассто ние конденсора ,

   из оптической среды с показателем преломпени  п 1,60-1,65.