SU1185207A1 - Method of detecting molecules in the atmosphere of unmeasured components - Google Patents
Method of detecting molecules in the atmosphere of unmeasured components Download PDFInfo
- Publication number
- SU1185207A1 SU1185207A1 SU843700751A SU3700751A SU1185207A1 SU 1185207 A1 SU1185207 A1 SU 1185207A1 SU 843700751 A SU843700751 A SU 843700751A SU 3700751 A SU3700751 A SU 3700751A SU 1185207 A1 SU1185207 A1 SU 1185207A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- molecules
- temperature
- atmosphere
- vibrationally excited
- component
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 3
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 claims abstract 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims abstract 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 2
- 238000002161 passivation Methods 0.000 abstract 1
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 7
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 229910000480 nickel oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N oxonickel Chemical compound [Ni]=O GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 238000004868 gas analysis Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000011821 neutral refractory Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
СПОСОБ ДЕТЕКТИРОВАНИЯ МОЛЕКУЛ В АТМОСФЕРЕ НЕИЗМЕРЯЕМОГО КОМПОНЕНТА путем измерени электропроводности помещенного в эту атмосферу чувствительного элемента, изготовленного в виде полупроводниковой пленки окисла металла, нанесенной на подложку и предварительно запассивированной в отношении неизмер емого компонента, отличающийс тем, что, с целью повышени чувствительности детектировани колебательно-возбужденных молекул , перед измерением измен ют температуру чувствительного элемента и при каждом значении температуры на чувствительный элемент подают калибровочные смеси газов, содержа§ щие известные концентрации колебательно-возбужденных молекул, нахосл д т температуру, при которой сигнал с изменени электропроводности чувствительного элемента пр мо пропорционален концентрации колебательно-возбужденных молекул, и при этой температуре производ т измерение.A METHOD FOR DETECTING MOLECULES IN THE ATMOSPHERE OF AN UNSIZEABLE COMPONENT by measuring the electrical conductivity of a sensing element placed in this atmosphere, made in the form of a semiconductor film of metal oxide deposited on a substrate and pre-passivated in respect of an immeasurable component, such as, and with the aim of increasing the efficiency of the patterns, the patterns of the detectors and passivations in the center of the detector. molecules, the temperature of the sensitive element is changed before the measurement and at each temperature value for h vstvitelny element serves calibration gas mixtures soderzha§ Suitable known concentrations of vibrationally excited molecules nahosl d t the temperature at which signal changes with the electric conductivity sensor is directly proportional to the concentration of the vibrationally excited molecules, and at this temperature measurement T is produced.
Description
1 11 Изобретение относитс к газовому анализу и может быть использовано с целью детектировани различных колебательно-возбужденных молекул в среде невозбужденных молекул. Целью изобретени вл етс повышение чувствительности детектировани колебательно-возбужденных молекул . Как показали исследовани , данный способ детектировани молекул обеспечивает измерение концентрации коле бательно-возбужденных молекул в исследуемой смеси с максимальной чувст вительностью.. Пример 1. Детектирование колебательно-возбужденных молекул кислорода с помощью чувствительного элемента из окиси цинка. Тонкую полупроводниковую пленку окиси цинка нанос т на нейтральную огнеупорную подложку из кварца., снаб женную платиновыми контактами дл измерени электропроводности. Подготовленный таким образом чувствительный элемент помещают )з-вакуум, напускают 0 до давлени 1-10 торр и повышают его температуру путем нагре вани . Периодически повышение температуры прекращают, чувствительный элемент выдерживают в атмосфере кислорода в течение некоторого времени, пока не установитс посто нное значе ние электропроводности, затем подают в объем строго определенные концентрации колебательно-возбужденных моле кул кислорода (10°-10 ) и изме р ют сигнал изменени его электропро водности. В случае пр мо пропорциональной зависимости между концентрацией измер емого компонента и сигналом изменени электропроводности чувствительного элемента повышение температуры прекращают.Б частности, при температурах 150-200 С наблюдает с пр мо пропорциональна зависимост между концентрацией колебательно-воз бужденных молекул Oj и сигналом изменени электропроводностк чувствительного элемента. В этих услови х 7 чувствительный элемент из окиси цинка приготовлен дл измерени концентрации колебательно-возбужденных молекул кислорода ,в смеси. Пример 2. Цетектирование колебательно-возбужденных молекул азота с помощью чувствительного элемента из окиси цинка. Последовательность операций така же, как и в примере 1. При этом температура чувствительного элемента не повышаетс , а понижаетс . В частности , при температуре - 80 С наблюдаетс пр мо пропорциональна зависимость между концентрацией колебательно-возбужденных молекул азота в смеси и сигналом изменени электропроводности чувствительного элемента. В этих услови х чувствительный элемент из окиси цинка пригоден дл измерени концентрации колебательно-возбужденных молекул азота в смеси. Пример 3. Детектирование колебательно-возбужденных молекул кислорода с помощью чувствительного элемента из окиси никел . Последовательность операций така же. как и в примере 1, только чувствительный элемент изготовл етс из окиси никел . В частности, при температуре З50с наблюдаетс пр мо пропорциональна зависимость между концентрацией колебательно-возбужденных молекул кислорода в смеси и сигналом изменени электропроводности чувствительного элемента. В этих услови х чувствительный элемент из окиси никел пригоден дл определени концентрации колебательновозбужденных молекул кислорода в смеси. Способ детектировани молекул по изобретению позвол ет с повышенной чувствительностью измер ть концентрации колебательно-возбужденных молекул различных газов в смеси с невозбужденными молекулами, что улучшает и упрощает исследовани физико-химических процессов в различных област х техники.1 11 The invention relates to gas analysis and can be used to detect various vibrationally excited molecules in an environment of unexcited molecules. The aim of the invention is to increase the sensitivity of the detection of vibrationally excited molecules. As studies have shown, this method of detecting molecules provides a measurement of the concentration of vibrationally excited molecules in the mixture under study with maximum sensitivity. Example 1. Detection of vibrationally excited oxygen molecules with the help of a zinc oxide sensing element. A thin semiconductor zinc oxide film is deposited on a neutral refractory substrate made of quartz, equipped with platinum contacts to measure the electrical conductivity. The sensitive element thus prepared is placed in a 3-vacuum, injected 0 to a pressure of 1-10 Torr and its temperature is raised by heating. Periodically, the temperature rise is stopped, the sensitive element is kept in an oxygen atmosphere for some time until a constant value of electrical conductivity is established, then strictly defined concentrations of vibrationally excited oxygen molecules (10 ° -10) are supplied to the volume and the signal of change is measured. its electrical conductivity. In the case of a directly proportional relationship between the concentration of the component being measured and the change signal of the electrical conductivity of the sensitive element, the temperature is stopped. For example, at temperatures of 150-200 C, it is directly proportional to the relationship between the concentration of vibrationally excited Oj molecules and the change signal of the electrical conductivity of the sensitive element . Under these conditions, a zinc oxide sensing element is prepared to measure the concentration of vibrationally excited oxygen molecules in the mixture. Example 2. Detection of vibrationally excited nitrogen molecules using a zinc oxide sensitive element. The sequence of operations is the same as in Example 1. At the same time, the temperature of the sensing element does not rise, but decreases. In particular, at a temperature of -80 ° C, a relationship is directly proportional to the relationship between the concentration of vibrationally excited nitrogen molecules in the mixture and the signal of a change in the electrical conductivity of the sensitive element. Under these conditions, the zinc oxide sensing element is suitable for measuring the concentration of vibrationally excited nitrogen molecules in the mixture. Example 3. Detection of vibrationally excited oxygen molecules with the help of a sensitive element of nickel oxide. The sequence of operations is the same. as in example 1, only the sensing element is made of nickel oxide. In particular, at a temperature of 50 ° C, a relationship is directly proportional to the relationship between the concentration of vibrationally excited oxygen molecules in the mixture and the signal of a change in the electrical conductivity of the sensitive element. Under these conditions, the nickel oxide sensing element is suitable for determining the concentration of vibrationally excited oxygen molecules in the mixture. The method for detecting molecules according to the invention makes it possible with increased sensitivity to measure the concentration of vibrationally excited molecules of various gases in a mixture with unexcited molecules, which improves and simplifies the study of physicochemical processes in various fields of technology.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU843700751A SU1185207A1 (en) | 1984-02-15 | 1984-02-15 | Method of detecting molecules in the atmosphere of unmeasured components |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU843700751A SU1185207A1 (en) | 1984-02-15 | 1984-02-15 | Method of detecting molecules in the atmosphere of unmeasured components |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1185207A1 true SU1185207A1 (en) | 1985-10-15 |
Family
ID=21103537
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU843700751A SU1185207A1 (en) | 1984-02-15 | 1984-02-15 | Method of detecting molecules in the atmosphere of unmeasured components |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1185207A1 (en) |
-
1984
- 1984-02-15 SU SU843700751A patent/SU1185207A1/en active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Гершензон Ю.М., Егоров В.И. Розенштейн В.Б. Определение коэффициента аккомодации колебательной энергии молекул азота на поверхности молибденового стекла. - Хими высоких энергий, 1973, т, 7, № 6, с. 533-536. Поспелова И.Н,, М сников И.А. Полупроводниковые детекторы на атомы водорода и другие активные частицы. - Заводска лаборатори , 1971, № 10, с. 1202-1205. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0529668B1 (en) | Chemical sensor for carbon monoxide detection | |
| FI82554C (en) | CALIBRATION FOUNDATION FOER MAETNING AV DEN RELATIVA HALTEN AV GAS ELLER AONGA. | |
| CN110988272A (en) | Method for correcting measured values of a hydrogen sensor | |
| US20040227087A1 (en) | Analyzer for measuring multiple gases | |
| US5683570A (en) | Gas detection method | |
| RU2038590C1 (en) | Sensor of ammonia concentration | |
| SU1185207A1 (en) | Method of detecting molecules in the atmosphere of unmeasured components | |
| JP3510447B2 (en) | Gas concentration measurement method | |
| Koll et al. | Micromachined CMOS calorimetric chemical sensor with on-chip low noise amplifier | |
| CA1316715C (en) | Thin film moisture sensing elements and process for the manufacture thereof | |
| US4990236A (en) | Thin film moisture sensing element | |
| US20030075443A1 (en) | Electrochemical sensor compensated for relative humidity | |
| RU2133029C1 (en) | Ammonia concentration sensor | |
| SU1742700A1 (en) | Oxygen determination method | |
| US6133042A (en) | Modulated oxygen-flux method and apparatus to improve the performance of a calorimetric gas sensor | |
| SU1193557A1 (en) | Pickup for determining arsine | |
| SU851143A1 (en) | Device for measuring oxygen partial pressure in vacuum | |
| SU894523A1 (en) | Method of sensing element preparation | |
| RU2740737C1 (en) | Cascade semiconductor detector for gas chromatography | |
| SU1695211A1 (en) | Method of determination of gas admixture | |
| SU1249425A1 (en) | Transducer for determining arsine | |
| RU2172951C1 (en) | Method of manufacturing thin-film sensor for assessment of ammonia in gas medium | |
| SU681369A1 (en) | Method of measuring electric signals of chromatographic detectors | |
| SU567985A1 (en) | Method of detecting influx of air into a high-vacuum system | |
| SU1061023A1 (en) | Device for gas and vapour analysis |