;л ; l
эо Изобретение относитс к дозированию с-грессивньгх жидкостей, в Чс1сТ ности к устройства - дл микродознровани агрессивных легколетучих рёагемксов,- например четыреххлористо кремни ,, и смешивание их с гаэом-но сителем, и может быть использовано в полупроводгшковом производстве,, Известен щелевой расходомер жидкости , со,цер)т;а1ций неподвижный корпус , врашающийс в нем дозирующий диск с капилл рньдм мерником, канал принудительного ввода жидкости и ка нал вывода жидкости газомнсЗсигелем , выполненный в виде сооснщх и независимых отверстий fl. Недостатком известного устройства вл етс необходимость применени ддополнительных систем дл принудиTeJibHoro нвола и вывода жидкости и дозатора (соп-ла, устройства дл под вода сжатого газа-носител ), что ус ло;;.п ет регулирование и, в конечном итоге,, снижает точность дозировани Пространственное разнесение резерву ара с агрессивной жидкостью и доза Pp., а также наличие воздушнлх промежутков между дозирующим узлом и БЬПЗОДНЬВД каналом не обеспечивает гер:.;етичь:ос.ть устройства з целом,, Наиболее близким по технической сугдности к изобретению вл етс объемный мккро,цозат.ор л идкости, со держащий корпус, установленный в нем зразиающийс диск с капилл рными каналами-мерниками, прину,п,ительной подачей жидкости насосом и выводом oтдoз 5poвaннoй жидкости сжатым газом-носителем через каналы, выполненные в корпусе соосно с мерник,э.ми на одной окружности и кмеюш,ие одина ковые геометрические -размер. Кроме того, привод вращени диска выполнен с регулированием скорости вр щени , устанавливающей скорость подачи жидкости Г 2 J. Однако иззестнса устройство не обеспечивает достаточную точность ,дозировки из-за плохой герметичности устройства (наличи воздушных промежутков между дозирующим узлом и выводньм каналом). Кроме того, применение дополнительной системы дл прину,цительного ввода и вывода жидкости из дозатора (насоса) усложн ет устройство и регулирование дозировани , Целыо изобретени вл етс упрощение конструкции микродозатора. Поставленна цель достигаетс те что в микродозаторе жидкости, содержащем корпус и установленный в нем диск с капилл рными каналамимерниками , корпус выполнен в виде .двух сосудов, сообйдаюгцихс через запорны-й элемент с верхним сосудом дл дозируемой жидкости и нижним дл смешени с несущим газом, причем диск установлен между двум сосудами , а капилл рный канал выполнен в виде продольной клинообразной выемки в диске с возможность, соединени через верхний канал с верхним сосудом и через нижний ка- нал и капилл рное отверстие с расширением в нижней части - с нижним сосудом, при этом капилл рное отверстие расположено смежно с острием клинообразной выемки, а нижний канал - с торцовой частью клинообразной выемки. На фиг.1 изображен микродозатор жидкости; на фиг.2 - то же, вид сбоку; на фиг.З - узел j на фиг.1. Микродозатор жидкости состоит из двух соединенных между собой сосудов : сосуда 1 дл дозируемой жидкости , сосуда 2 дл смешени с несущим газом, УПЛОТНЯЮЩИХСЯ через прокладку 3, -диска 4 с продольной клинообразной выемкой 5, уплотн ющегос через прокладку б, прижим 7 и планку 8. В сосудах установлены штуцеры 9-11, краны 12 и 13 пробок, прижимающиес к сосудам угловыми т гами 14, обводна трубка 15, выполнен канал 16, отверсти 17 и 18 и капилл р 19 с расширителем 20. Микродозатор работает следующим образом. Дозируемую жидкость заливают в сосуд 1 при открытом кране 12. Кранпробку 12 устанавливают в первое положение , предназначенное дл исходного выравнивани давлений в сосудах 1 и 2. Продувку реакционной камеры .газом-носителем осуществл ют при полностью перекрытом кране-пробке 12, Кран 13 повернут в положение, обеспечивающее пропускание газа из входного ытуцера 11 в штуцер 10 и далее по обводной трубке 15, штуцеру 9 в реактор. Дл осуществлени дозируемой подач-и жидкости краны 12 и 13 перевод т во второе рабочее положение: газ-носитель из входного штуцера 11 через второй канал в кране 13 поступает в сосуд 2, Диск 4 приводитс во вращение электродвигателем . Жидкость из сосуда 1 через отверстие 17 заполн ет мерник 5 в его верхнем положении. Вращением диска 4 мерник переводитс в нижнее положение, в котором жидкость под действием капилл рных сил вьшодитс в капилл р 19, а объем мерника 5 заполн етс газом через отверстие i8. Дл увеличени капилл рного эффекта при перетекании жидкости мерник выполнен в виде клинообразной выемки. Из капилл ра 19 жидкость перетекает в расширитель 20 и в сосуд 2, смешива сь в нем с проход щим газом-носителем . Смесь газа с агрессивной жидкостью проходит через канал 16 и втоThis invention relates to the dosing of c-strong liquids, in Ch1ct to the device - for micro-cognition of aggressive, volatile ryaemks, for example silicon tetrachloride, and mixing them with a gas-carrier, and can be used in semiconductor production, the slit fluid meter is known , co, cer; t; аcii, a fixed case, a dispensing disk with a capillary tube, a vortex of a measuring device, a channel for forcibly introducing a liquid, and a gas output channel with a gas cylinder, which is built in the form of coaxial and independent holes fl TIFA. A disadvantage of the known device is the need to use additional systems to force Tejibhoro nvol and withdraw the liquid and dispenser (nozzle, device for pressurized compressed carrier gas), which succeeds ;;.the regulation and, ultimately, reduces the accuracy Dosing Spatial separation of the reservoir with an aggressive liquid and the dose of Pp., as well as the presence of air gaps between the dosing unit and the storage channel, the channel does not provide the ger:.; this: the device is closest to the technical point of view A volumetric microcircuit, a liquid capacitance containing a housing, an erasing disc with capillary measuring channels installed in it, a receiver, pumping liquid and pumping out the 550 liquid with compressed carrier gas through channels made in the body is coaxial with the mernik, em on one circle and cross, and the same geometric dimensions are. In addition, the drive of the disk rotation is made with regulation of the speed of the speed setting the flow rate of the liquid G 2 J. However, from the test the device does not provide sufficient accuracy due to the poor tightness of the device (the presence of air gaps between the dosing unit and the outlet channel). In addition, the use of an additional system for a trough, a citeline inlet, and a liquid outlet from the dispenser (pump) complicates the design and regulation of the dosing. The goal is achieved by the fact that in the microbatch fluid containing the body and the disk with capillary channels installed in it, the body is made in the form of two vessels, communicating through the stop element with the upper vessel for the dosing liquid and the bottom for mixing with the carrier gas, and the disk is installed between two vessels, and the capillary channel is made in the form of a longitudinal wedge-shaped notch in the disk with the possibility of connecting through the upper channel with the upper vessel and through the lower channel and the capillary hole with the extension in the lower part, with rhenium, with the lower vessel, while the capillary opening is located adjacent to the tip of the wedge-shaped groove, and the lower channel with the end part of the wedge-shaped groove. 1 shows a liquid microdispenser; figure 2 is the same, side view; on fig.Z - node j in figure 1. The liquid microdispenser consists of two interconnected vessels: vessel 1 for the metered liquid, vessel 2 for mixing with the carrier gas, SEALING through the gasket 3, the-disk 4 with the longitudinal wedge-shaped notch 5, sealing through the gasket b, the clamp 7 and the bar 8. Fittings 9-11 are installed in the vessels, valves 12 and 13 of the plugs are pressed against the vessels by angular plugs 14, the bypass tube 15, channel 16, holes 17 and 18 and capillary p 19 with the expander 20. The microdischer works as follows. The dosing liquid is poured into the vessel 1 with the faucet 12 open. The crank plug 12 is set to the first position intended for the initial pressure equalization in the vessels 1 and 2. Blowing the reaction chamber with the carrier gas is carried out with the plug 12 completely closed. the provision for the transmission of gas from the inlet pipe 11 into the nozzle 10 and further along the bypass tube 15, the nozzle 9 into the reactor. In order to carry out dosed feeds and liquids, the taps 12 and 13 are transferred to the second operating position: the carrier gas from the inlet fitting 11 through the second channel in the tap 13 enters the vessel 2, the disk 4 is driven by an electric motor. The liquid from the vessel 1 through the hole 17 fills the dipstick 5 in its upper position. By rotating the disk 4, the measuring device is transferred to the lower position, in which the liquid is driven by capillary forces into the capillary 19, and the volume of the measuring device 5 is filled with gas through the opening i8. To increase the capillary effect when the liquid flows, the measuring device is made in the form of a wedge-shaped notch. From the capillary 19, the liquid flows into the expander 20 and into the vessel 2, mixing therein with the passing carrier gas. The mixture of gas with corrosive liquid passes through the channel 16 and second